JP2005129745A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板11上の第1の層間絶縁膜13に設けられた接続孔15および、第2の層間絶縁膜14に設けられた配線溝16の内壁を覆う状態で第1のバリア層21が設けられている。また、第1のバリア層21上に設けられた第2のバリア層22を介して、接続孔15および配線溝16にはCuからなるビア18および配線19がそれぞれ設けられている。そして、第1のバリア層21は金属で形成されており、第1のバリア層21の酸化物は、第2のバリア層22の酸化物よりも高い導電性を有することを特徴とする半導体装置である。
【選択図】図1
Description
次に、本発明の第2の半導体装置における実施の形態の一例について図1を用いて説明する。なお、第1実施形態と同様の構成には同一の番号を付して説明する。
Claims (12)
- 基板上の絶縁膜に設けられた溝パターンと、前記溝パターンの内壁を覆う状態で設けられた第1のバリア層と、前記第1のバリア層上に設けられた第2のバリア層と、前記溝パターンの内部に前記第1のバリア層と前記第2のバリア層とを介して設けられた導電層とを備えた半導体装置であって、
前記第1のバリア層は金属で形成されており、当該第1のバリア層の酸化物は、前記第2のバリア層の酸化物よりも高い導電性を有する
ことを特徴とする半導体装置。 - 前記第1のバリア層は、ルテニウム、ロジウム、イリジウム、オスミウムおよびレニウムからなる群から選ばれた少なくとも一種で形成されている
ことを特徴とする請求項1記載の半導体装置。 - 前記導電層は銅を含む材料で形成されているとともに、前記第2のバリア層は銅の拡散防止性を有する材料で形成されている
ことを特徴とする請求項1記載の半導体装置。 - 前記第2のバリア層は、タンタル、窒化タンタル、チタンおよび窒化チタンからなる群から選ばれた少なくとも一種で形成されている
ことを特徴とする請求項3記載の半導体装置。 - 前記絶縁膜は酸化シリコンよりも低い誘電率を有する
ことを特徴とする請求項1記載の半導体装置。 - 基板上の絶縁膜に設けられた溝パターンと、前記溝パターンの内壁を覆う状態で設けられた第1のバリア層と、前記第1のバリア層上に設けられた第2のバリア層と、前記溝パターンの内部に前記第1のバリア層と前記第2のバリア層とを介して設けられた導電層とを備えた半導体装置であって、
前記第1のバリア層は、前記第2のバリア層の酸化物よりも高い導電性を有する金属酸化物で形成されている
ことを特徴とする半導体装置。 - 前記第1のバリア層は、ルテニウム、ロジウム、イリジウム、オスミウムおよびレニウムからなる群から選ばれた少なくとも一種の金属の酸化物で形成されている
ことを特徴とする請求項6記載の半導体装置。 - 前記第1のバリア層は、組成式MIaMIIbOc(ただし、a、b、cは原子%で表した組成、MIは白金、イリジウム、ルテニウム、ロジウム、パラジウム、オスミウムおよびレニウムからなる群より選ばれた少なくとも一種を表し、MIIはハフニウム、タンタル、ジリコン、ニオブ、バナジウム、モリブテン、タングステンおよびチタンからなる群より選ばれた少なくとも一種を表す)で表され、その組成範囲が90≧a≧40、15≧b≧2、4≦c、a+b+c=100である材料で形成されている
ことを特徴とする請求項6記載の半導体装置。 - 前記第1のバリア層は、組成式Pda(Rh100-x-y-zPtxIryRuz)bOc(ただし、a、b、c、x、y、zは原子%で表した組成)で表され、その組成範囲が70≧a≧20、40≧b≧10、60≧c≧15、a+b+c=100、100>x≧0、100>y≧0、100>z≧0、100>x+y+z≧0である材料で形成されている
ことを特徴とする請求項6記載の半導体装置。 - 前記導電層は銅を含む材料で形成されているとともに、前記第2のバリア層は銅の拡散防止性を有する材料で形成されている
ことを特徴とする請求項6記載の半導体装置。 - 前記第2のバリア層は、タンタル、窒化タンタル、チタンおよび窒化チタンからなる群から選ばれた少なくとも一種で形成されている
ことを特徴とする請求項10記載の半導体装置。 - 前記絶縁膜は酸化シリコンよりも低い誘電率を有する
ことを特徴とする請求項6記載の半導体装置。
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2003
- 2003-10-24 JP JP2003364082A patent/JP2005129745A/ja active Pending
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