JP2005126757A - 化合物薄膜の製造装置および方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 製膜室としての真空容器1内に設置した基板7の製膜面にVIb族元素を含んだ化合物薄膜を蒸着形成する化合物薄膜の製造装置を、前記真空容器1に対して開閉バルブ16を介して連通する第2の真空容器15を設け、この真空容器15内にVIb族元素であるSe蒸着源12の一部を設置した構成とする。
【選択図】 図1
Description
太陽光発電技術研究組合、松下電器産業株式会社、太陽光発電技術研究開発先進太陽電池技術研究開発「CIS系薄膜太陽電池モジュール製造技術開発」、平成13年度新エネルギー・産業技術総合開発機構委託業務成果報告書、P.45(2002)
好ましくは、配管に、一端が弁手段に連通し、他端が基板の製膜面の近傍で開口するVIb族元素吹き出し管を設ける。また好ましくは、複数のVIb族元素吹き出し管を設ける。
より好ましくは、VIb族元素吹き出し管の開口部と基板の製膜面との距離を50mm以内とする。さらに好ましくは、VIb族元素吹き出し管の開口部と基板の製膜面との距離を30mm以内とする。
また本発明は、真空排気可能な製膜室内に設置した基板の製膜面にVIb族元素を含んだ化合物薄膜を蒸着形成する化合物薄膜の製造方法において、VIb族元素の一部を前記製膜室に弁手段を介して連通した真空室内のVIb族元素蒸着源から供給しつつ前記化合物薄膜の製膜を行う工程と、前記弁手段を閉じ、前記真空室内のVIb族元素蒸着源を補給する工程とを行うようにしたものである。
基板の製膜面の近傍で開口するVIb族元素吹き出し管を有することにより、VIb族元素を基板製膜面に効率よく供給することができ、製膜室内壁など、基板の製膜面以外への付着量を低減できる。
図1は本発明の一実施形態における化合物薄膜の製造装置の概略構成を示す断面図、図2は同装置を別方向から示す断面図である。
まず、真空容器1内をターボ分子ポンプ2により5×10−4Pa以下の圧力まで排気する。
このことにより、真空容器1内を中間ローラ5から中間ローラ6へ向かう方向に走行する基板7の製膜面に連続的にCu、In,Ga,Seの蒸気(蒸着粒子)が供給され、それにより製膜面上でCu(In,Ga)Se2が形成され、その結晶成長が基板加熱ヒータ8による加熱で促進される結果、製膜面上にCu(In,Ga)Se2薄膜が形成されていく。
7 基板
9 Cu蒸着源
10 In蒸着源
11 Ga蒸着源
12 Se蒸着源
15 真空容器
16 開閉バルブ
21 吹き出し管
22 配管加熱ヒータ
Claims (8)
- 真空排気可能な製膜室内に設置した基板の製膜面にVIb族元素を含んだ化合物薄膜を蒸着形成する化合物薄膜の製造装置であって、前記製膜室に対して弁手段を介して連通する真空室を設け、この真空室内にVIb族元素の蒸着源の一部を設置した化合物薄膜の製造装置。
- 製膜室と真空室とを弁手段を介装した配管で連通させ、この配管の内壁を管内のVIb族元素が蒸気状態に維持される温度に加熱する加熱機構を設けた請求項1記載の化合物薄膜の製造装置。
- 一端が弁手段に連通し、他端が基板の製膜面の近傍で開口するVIb族元素吹き出し管を設けた請求項1または請求項2のいずれかに記載の化合物薄膜の製造装置。
- 複数のVIb族元素吹き出し管を設けた請求項3記載の化合物薄膜の製造装置。
- VIb族元素吹き出し管の開口部と基板の製膜面との距離が50mm以内である請求項3または請求項4のいずれかに記載の化合物薄膜の製造装置。
- VIb族元素吹き出し管の開口部と基板の製膜面との距離が30mm以内である請求項3または請求項4のいずれかに記載の化合物薄膜の製造装置。
- VIb族元素がO、Se、S、およびTeの内の少なくとも1種である請求項1〜請求項6のいずれかに記載の化合物薄膜の製造装置。
- 真空排気可能な製膜室内に設置した基板の製膜面にVIb族元素を含んだ化合物薄膜を蒸着形成する化合物薄膜の製造方法において、VIb族元素の一部を前記製膜室に弁手段を介して連通した真空室内のVIb族元素蒸着源から供給しつつ前記化合物薄膜を製膜する工程と、前記弁手段を閉じ、前記真空室内のVIb族元素蒸着源を補給する工程とを行う化合物薄膜の製造方法。
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