JP2005125681A - 液滴吐出ヘッド製造方法及び液滴吐出ヘッド並びに液滴吐出装置、電界発光表示パネル製造装置、マイクロアレイ製造装置及びカラーフィルタ製造装置 - Google Patents
液滴吐出ヘッド製造方法及び液滴吐出ヘッド並びに液滴吐出装置、電界発光表示パネル製造装置、マイクロアレイ製造装置及びカラーフィルタ製造装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005125681A JP2005125681A JP2003365442A JP2003365442A JP2005125681A JP 2005125681 A JP2005125681 A JP 2005125681A JP 2003365442 A JP2003365442 A JP 2003365442A JP 2003365442 A JP2003365442 A JP 2003365442A JP 2005125681 A JP2005125681 A JP 2005125681A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- droplet discharge
- discharge head
- nozzle
- manufacturing
- diaphragm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Abstract
【課題】 吐出特性のばらつきを抑え、できる限り均一にするような液滴吐出ヘッドの製造方法等を得、また、得られた液滴吐出ヘッドを用いて、記録する記録装置、生体分子等を吐出してマイクロアレイを製造する装置等を得る。
【解決手段】 ノズル12が形成されたノズルプレート3と、ノズル12と連通する流路内の液体を加圧するために振動する振動板4が形成されたキャビティプレート1との組み合わせを、ノズル孔12Aの径と振動板4の厚みとに基づいて決定する工程と、決定したノズルプレート3とキャビティプレート1とを積層し、接合する工程とを有している。
【選択図】 図1
【解決手段】 ノズル12が形成されたノズルプレート3と、ノズル12と連通する流路内の液体を加圧するために振動する振動板4が形成されたキャビティプレート1との組み合わせを、ノズル孔12Aの径と振動板4の厚みとに基づいて決定する工程と、決定したノズルプレート3とキャビティプレート1とを積層し、接合する工程とを有している。
【選択図】 図1
Description
本発明は液滴吐出ヘッド、その製造方法等に関するものである。特に吐出特性のばらつきを抑えるための構成に関するものである。そして、そのようにして製造した液滴吐出ヘッドを用いた、カラーフィルタや電界発光素子を用いた表示基板(パネル)等の製造装置等に関するものである。
液滴吐出方式(代表的なものとして、インクを吐出して印刷等を行うために用いるインクジェット方式がある)の装置は、家庭用、工業用を問わず、あらゆる分野の印刷に利用されている。液滴吐出方式では、例えば複数のノズルを有する液滴吐出ヘッドを対象物との間で相対移動させ、対象物の所定の位置に液体を吐出するものである。この方式は、特に最近、液晶(Liquid Crystal)を用いた表示装置を作製する際のカラーフィルタ、有機電界発光(Organic ElectroLuminescence :以下、OELという)素子を用いた表示パネル(以下、電界発光表示パネル(OLED)という)、DNA、タンパク質等、生体分子のマイクロアレイ等の製造に利用されている。
ここで、液滴を吐出させるための方法として、液体が通る流路の一部で、吐出する液体(以下、単に液体という)を加熱して気体(バブル)を発生させた圧力によって、ヘッドに備えた各ノズルから液滴を吐出させる方法と、流路の一部に液体を溜めておく吐出室を備え、吐出室の少なくとも一面の壁(ここでは、底壁とする。この壁は他の壁とも一体形成されているが、以下、この壁のことを振動板ということにする)を撓ませて形状変化させて吐出室内の圧力を高め、連通するノズルから液滴を吐出させる方法とがある。
近年、液滴吐出ヘッドが有する各ノズル間の間隔を狭くして高密度化させ、さらに液滴の吐出量を小さくすることで、よりきめ細かな印刷等を可能にし、液滴吐出によって製造される物(対象物)の品質を上げている。高密度になるほど各部材の寸法を高精度で形成しないと、製造された液滴吐出ヘッド間(特に異なるウェハ間で製造された液滴吐出ヘッド)で吐出性能(例えば液滴の吐出速度、吐出量)に大きなばらつきが生じる。対象物の品質を装置間でばらつきを抑え、均一にしようとするためには、各液滴吐出ヘッドの吐出特性のばらつきを抑えることが重要となる。そこで、吐出特性をできる限り均一にするために、部材形成の精度条件を厳しくし、さらに振動板等による駆動条件(回数等)等を装置毎に調整することで、吐出特性のばらつき抑制を図っていた(例えば特許文献1及び2参照)。
通常、液滴吐出ヘッドの各部材の形成寸法は中心寸法(規定寸法)±公差が許容範囲とされている。中心寸法は吐出特性が考慮された上で設定されているが、公差は吐出特性ばかりではなく、加工限界も考慮されて設定されている。そのため、高密度化によって中心寸法が小さくなっても、公差もそれに比例して小さくなるというわけではない。したがって、高密度化が進むと、許容範囲内で形成された部材といっても、例えば、寸法が大きな方(公差のプラス側)に偏った部材で製造した液滴吐出ヘッドと寸法が小さな方(公差のマイナス側)に偏った部材で製造した液滴吐出ヘッドとの吐出特性のばらつきがますます大きくなることが予想される。設計通りの吐出特性に近づけるためには、各部材の形成寸法を中心寸法に近づけることが理想であるが、前述したように非常に困難であるし、それにより製造上の負荷が増大し、生産性にも問題が生じる。
そこで、本発明はこのような状況を解決するため、吐出特性のばらつきを抑え、できる限り均一にするような液滴吐出ヘッドの製造方法等を得ることを目的とする。また、得られた液滴吐出ヘッドを用いて、記録(印刷)する記録装置、生体分子等を吐出してマイクロアレイを製造する装置等を得ることを目的とする。
本発明に係る液滴吐出ヘッドの製造方法は、部材が形成された複数の基板を積層して接合する液滴吐出ヘッドの製造方法において、形成された部材の寸法に基づいて、吐出性能を均一にするための基板の組み合わせを決定し、決定した基板同士を積層して接合するものである。
本発明においては、形成された部材の寸法に基づいて接合する基板の組み合わせを決定し、積層して接合することにより、寸法の偏りによってヘッド間に生じ得る吐出特性のばらつきを抑えることができる。また、吐出特性を均一にするために駆動条件の調整を行う場合であっても、その調整幅が小さく、容易に調整を行うことができる。
本発明においては、形成された部材の寸法に基づいて接合する基板の組み合わせを決定し、積層して接合することにより、寸法の偏りによってヘッド間に生じ得る吐出特性のばらつきを抑えることができる。また、吐出特性を均一にするために駆動条件の調整を行う場合であっても、その調整幅が小さく、容易に調整を行うことができる。
また、本発明に係る液滴吐出ヘッドの製造方法は、ノズルが形成されたノズルプレートと、ノズルと連通する流路内の液体を加圧するために振動する振動板が形成されたキャビティプレートとの組み合わせを、ノズルの孔の径と振動板の厚みとに基づいて決定する工程と、決定したノズルプレートとキャビティプレートとを積層し、接合する工程とを有するものである。
本発明においては、ノズルの孔(液滴の吐出口となる部分)の径と振動板の厚みとに基づいて組み合わせるノズルプレートとキャビティプレートとを決定し、決定したノズルプレートとキャビティプレートとを積層し、接合する。吐出特性に最も影響を及ぼすノズルの孔の径と振動板の厚みとを考慮してノズルプレートとキャビティプレートとを決定し、接合するようにしたので、効果的に吐出特性のばらつきを抑えることができる。
本発明においては、ノズルの孔(液滴の吐出口となる部分)の径と振動板の厚みとに基づいて組み合わせるノズルプレートとキャビティプレートとを決定し、決定したノズルプレートとキャビティプレートとを積層し、接合する。吐出特性に最も影響を及ぼすノズルの孔の径と振動板の厚みとを考慮してノズルプレートとキャビティプレートとを決定し、接合するようにしたので、効果的に吐出特性のばらつきを抑えることができる。
また、本発明に係る液滴吐出ヘッドの製造方法は、ノズルの孔の径が規定寸法より大きいものと振動板の厚みが規定寸法よりも厚いものとを組み合わせる。
本発明においては、他の条件が同じであれば、ノズルの孔の径が大きいほど吐出量が多くなる傾向があり、振動板の厚みが厚いほど吐出量が少なくなる傾向があることを利用して、ノズルの孔の径が規定寸法より大きいものと振動板の厚みが規定寸法よりも厚いものとを組み合わせて接合する。したがって、振動板の厚み、ノズルの孔の径と吐出量の関係が相まって、吐出特性のばらつきを抑えることができる。
本発明においては、他の条件が同じであれば、ノズルの孔の径が大きいほど吐出量が多くなる傾向があり、振動板の厚みが厚いほど吐出量が少なくなる傾向があることを利用して、ノズルの孔の径が規定寸法より大きいものと振動板の厚みが規定寸法よりも厚いものとを組み合わせて接合する。したがって、振動板の厚み、ノズルの孔の径と吐出量の関係が相まって、吐出特性のばらつきを抑えることができる。
また、本発明に係る液滴吐出ヘッドの製造方法は、ノズルの孔の径が規定寸法より小さいものと振動板の厚みが規定寸法よりも薄いものとを組み合わせる。
本発明においては、他の条件が同じであれば、ノズルの孔の径が小さいほど吐出量が少なくなる傾向があり、振動板の厚みが薄いほど吐出量が多くなる傾向があることを利用して、ノズルの孔の径が規定寸法より大きいものと振動板の厚みが規定寸法よりも厚いものとを組み合わせて接合する。したがって、振動板の厚み、ノズルの孔の径と吐出量の関係が相まって、吐出特性のばらつきを抑えることができる。
本発明においては、他の条件が同じであれば、ノズルの孔の径が小さいほど吐出量が少なくなる傾向があり、振動板の厚みが薄いほど吐出量が多くなる傾向があることを利用して、ノズルの孔の径が規定寸法より大きいものと振動板の厚みが規定寸法よりも厚いものとを組み合わせて接合する。したがって、振動板の厚み、ノズルの孔の径と吐出量の関係が相まって、吐出特性のばらつきを抑えることができる。
また、本発明に係る液滴吐出ヘッドは、流路内の液体を加圧するための振動板を有するキャビティプレートと、キャビティプレートに積層して接合され、振動板の厚みとの関係で、吐出性能を均一にするための組み合わせが決定された孔径のノズルを有するノズルプレートとを備えたものである。
本発明においては、流路内の液体をノズルから吐出させるために、振動して液体を加圧する振動板を有するキャビティプレートと、吐出特性との関係において、その振動板の厚みと対応するノズルの孔の径を有するノズルプレートとを備えている。したがって、吐出特性に最も影響を及ぼすノズルの孔の径と振動板の厚みとをうまく組み合わせ、ヘッド間の吐出特性のばらつきを抑えた液滴吐出ヘッドを得ることができる。
本発明においては、流路内の液体をノズルから吐出させるために、振動して液体を加圧する振動板を有するキャビティプレートと、吐出特性との関係において、その振動板の厚みと対応するノズルの孔の径を有するノズルプレートとを備えている。したがって、吐出特性に最も影響を及ぼすノズルの孔の径と振動板の厚みとをうまく組み合わせ、ヘッド間の吐出特性のばらつきを抑えた液滴吐出ヘッドを得ることができる。
また、本発明に係る液滴吐出装置は、上記の液滴吐出ヘッドを有し、さらに、液滴吐出ヘッドにインクを供給するインク供給手段と、ヘッド位置制御信号に基づいて液滴吐出ヘッドを移動させる走査駆動手段と、記録対象となる記録部材と液滴吐出ヘッドとの相対位置を変化させる位置制御手段とを少なくとも備えたものである。
本発明においては、上記の液滴吐出ヘッドを有し、さらにその液滴吐出ヘッドにインクを供給するインク供給手段、ヘッドを移動させる走査駆動手段、記録対象とヘッドとの相対位置を変化させる位置制御手段とを少なくとも備えることで、各ヘッド間、装置間の吐出特性のばらつきを抑えた液滴吐出装置を得ることができる。また、例えば、各装置間の吐出特性をさらに均一にするために駆動条件の調整を行う場合でも、容易に調整することができる。
本発明においては、上記の液滴吐出ヘッドを有し、さらにその液滴吐出ヘッドにインクを供給するインク供給手段、ヘッドを移動させる走査駆動手段、記録対象とヘッドとの相対位置を変化させる位置制御手段とを少なくとも備えることで、各ヘッド間、装置間の吐出特性のばらつきを抑えた液滴吐出装置を得ることができる。また、例えば、各装置間の吐出特性をさらに均一にするために駆動条件の調整を行う場合でも、容易に調整することができる。
また、本発明に係る電界発光表示パネル製造装置は、電界発光素子となる材料を含む液体を吐出する液滴吐出ヘッドとして、上記に記載の液滴吐出ヘッドを少なくとも備えたものである。
本発明においては、上記の液滴吐出ヘッドを有し、液滴吐出装置と同様に、さらに液滴吐出ヘッドに発光材料を含む溶液を供給する材料供給手段と、位置制御信号に基づいてインクノズルから表示パネルに向けての溶液の吐出を制御する制御手段とを少なくとも備えている。したがって、各ヘッド間、装置間の吐出特性のばらつきを抑え、各装置とも素子形成のための材料をほぼ均一に成膜することができる。
本発明においては、上記の液滴吐出ヘッドを有し、液滴吐出装置と同様に、さらに液滴吐出ヘッドに発光材料を含む溶液を供給する材料供給手段と、位置制御信号に基づいてインクノズルから表示パネルに向けての溶液の吐出を制御する制御手段とを少なくとも備えている。したがって、各ヘッド間、装置間の吐出特性のばらつきを抑え、各装置とも素子形成のための材料をほぼ均一に成膜することができる。
また、本発明に係る電界発光表示パネル製造装置において、発光材料は有機化合物である。
本発明においては、有機化合物を発光材料とする。したがって、発光特性がよい有機化合物を材料としているので、質のよい有機電界発光表示パネル(OLED)を得ることができる。
本発明においては、有機化合物を発光材料とする。したがって、発光特性がよい有機化合物を材料としているので、質のよい有機電界発光表示パネル(OLED)を得ることができる。
また、本発明に係るマイクロアレイ製造装置は、生体分子を含む液体を吐出する液滴吐出ヘッドとして、上記に記載の液滴吐出ヘッドを少なくとも備えたものである。
本発明においては、上記の液滴吐出ヘッドを有し、液滴吐出装置と同様に、さらに液滴吐出ヘッドとマイクロアレイ基板とを相対的に移動させる駆動手段と、液滴吐出ヘッドが有するノズルからマイクロアレイ群に向けての生体分子を含む液体の吐出を制御する制御手段とを少なくとも備えている。したがって、各ヘッド間、装置間の吐出特性のばらつきを抑え、各装置ともアレイ形成のための生体分子を均一に吐出することができる。
本発明においては、上記の液滴吐出ヘッドを有し、液滴吐出装置と同様に、さらに液滴吐出ヘッドとマイクロアレイ基板とを相対的に移動させる駆動手段と、液滴吐出ヘッドが有するノズルからマイクロアレイ群に向けての生体分子を含む液体の吐出を制御する制御手段とを少なくとも備えている。したがって、各ヘッド間、装置間の吐出特性のばらつきを抑え、各装置ともアレイ形成のための生体分子を均一に吐出することができる。
また、本発明に係るカラーフィルタ製造装置は、カラーフィルタを形成させる液体を吐出する液滴吐出ヘッドとして、上記に記載の液滴吐出ヘッドを少なくとも備えたものである。
本発明においては、上記の液滴吐出ヘッドを有し、液滴吐出装置と同様に、さらに液滴吐出ヘッドにカラーフィルタを形成させる溶液を供給する材料供給手段と、位置制御信号に基づいてインクノズルからカラーフィルタ基板に向けての溶液の吐出を制御する制御手段とを少なくとも備えたものである。したがって、各ヘッド間、装置間の吐出特性のばらつきを抑え、各装置ともフィルタ形成のための液体を均一に吐出することができる。
本発明においては、上記の液滴吐出ヘッドを有し、液滴吐出装置と同様に、さらに液滴吐出ヘッドにカラーフィルタを形成させる溶液を供給する材料供給手段と、位置制御信号に基づいてインクノズルからカラーフィルタ基板に向けての溶液の吐出を制御する制御手段とを少なくとも備えたものである。したがって、各ヘッド間、装置間の吐出特性のばらつきを抑え、各装置ともフィルタ形成のための液体を均一に吐出することができる。
実施の形態1.
図1は本発明の第1の実施の形態に係る液滴吐出ヘッドを分解して表した図である。図1はフェイス型の液滴吐出ヘッドを表している。図1において、第1の基板であるキャビティプレート1は(110)面方位のシリコン単結晶基板(この基板を含め、以下、単にシリコン基板という)で構成されている。キャビティプレート1には、吐出室5となる凹部(底壁が振動板4となる)及び各ノズル共通に吐出する液体を貯めておくためのリザーバ7となる凹部を形成する。これらの凹部はノズルプレート3に形成されるオリフィス6となる細溝と共に液体の流路となり、各部材は流路の一部となる。凹部の形成には、例えば異方性ウェットエッチングによる方法を用いる。リザーバ7はタンク(図示せず)から液体供給口13を介して供給される液体を貯めておく。また、電極端子19は電極8と同期し、キャビティプレート1に反対の電荷を供給する。
図1は本発明の第1の実施の形態に係る液滴吐出ヘッドを分解して表した図である。図1はフェイス型の液滴吐出ヘッドを表している。図1において、第1の基板であるキャビティプレート1は(110)面方位のシリコン単結晶基板(この基板を含め、以下、単にシリコン基板という)で構成されている。キャビティプレート1には、吐出室5となる凹部(底壁が振動板4となる)及び各ノズル共通に吐出する液体を貯めておくためのリザーバ7となる凹部を形成する。これらの凹部はノズルプレート3に形成されるオリフィス6となる細溝と共に液体の流路となり、各部材は流路の一部となる。凹部の形成には、例えば異方性ウェットエッチングによる方法を用いる。リザーバ7はタンク(図示せず)から液体供給口13を介して供給される液体を貯めておく。また、電極端子19は電極8と同期し、キャビティプレート1に反対の電荷を供給する。
第2の基板となるガラス基板2は厚さ約1mmであり、図1で見るとキャビティプレート1の下面に接合される。ここで、本実施の形態では、ガラス基板にホウ珪酸系の耐熱硬質ガラスを用いる。ガラス基板2には、キャビティプレート1に形成される各吐出室5に合わせ、エッチングにより深さ約0.25μmの凹部9を設ける。その内部に電極8、リード部10及び端子部11(以下、これらを合わせて電極部という)を設ける。本実施の形態では、電極部の材料として、酸化錫を不純物としてドープしたITO(Indium Tin Oxide:インジウム錫酸化物)を用い、スパッタリング法により凹部9内に例えば約0.1μmの厚さで成膜する。したがって、振動板4(後述するTEOS絶縁膜14も含めて)と電極8との間で形成されるギャップ(空隙)Gは、約0.15μmとなる。ここでは電極部の材料としてITOを用いるが、例えばクロム等の金属等を材料に用いてもよい。
第3の基板となるノズルプレート3は例えば厚さ約180μmのシリコン基板である。ガラス基板2とは反対の面(図1の場合には上面)でキャビティプレート1と接合している。ノズルプレート3には、吐出室5と連通するノズル12が形成される。ノズル12は、後述する図2で示すように、テーパ状に近づけるために2段で構成しており、内側(キャビティプレート1と接合される側)の径が外側の径(これはノズルプレート3の外面にある液滴の吐出口となるノズル孔12Aの径と同じである)よりも大きい。これは、液体流れの整流作用により、液体の直進性を高めるためである。また、内側の面(図1の場合には下面)にはオリフィス6となる細溝を設け、吐出室5となる凹部とリザーバ7となる凹部とを連通させる。18はダイヤフラムである。なお、ここではノズル12を有するノズルプレート3を上面とし、ガラス基板2を下面として説明するが、実際に用いられる場合には、ノズルプレート3の方がガラス基板2よりも下面となることが多い。
図2は液滴吐出ヘッドの側面からの断面図である。ノズル12のノズル孔12Aから吐出させる液体を吐出室5で貯めておき、吐出室5の底壁である振動板4を撓ませることにより、吐出室5内の圧力を高め、ノズル孔12Aから液滴を吐出させる。ここで、本実施の形態の振動板4は、高濃度のボロンドープ層で構成されている。これはアルカリ性水溶液でシリコンの異方性ウェットエッチングを行った場合、高濃度(約5×1019atoms・cm-3以上)のボロン拡散領域で極端にエッチングレートが小さくなることを利用して振動板4の厚みをできる限り均一にするためである。また、振動板の剛性を調整する役割も果たす。具体的には、吐出室5となる凹部を異方性ウェットエッチング法で形成する場合に、ボロンドープ層においてエッチングレートが極端に小さくなる、いわゆるエッチングストップ技術を用いて、振動板4の厚さ、吐出室5の容積を高精度に形成する。エッチングストップとは、エッチング面から発生する気泡が停止した状態とし、実際のウェットエッチングにおいては、気泡の発生の停止をもってエッチングがストップしたものと判断する。また、キャビティプレート1の少なくとも下面(ガラス基板2と対向する面)には、例えばTEOS(Tetraethyl orthosilicate Tetraethoxysilane:テトラエトキシシラン、珪酸エチル)を用いたプラズマCVD(Chemical Vapor Deposition )法による絶縁膜を0.1μm成膜する(以下、この膜をTEOS絶縁膜14という)。これは、液滴吐出ヘッド(振動板4)を振動(駆動)させた時の絶縁破壊及び短絡を防止するためである。
15は、ワイヤ21を介して端子部11と接続され、電極8に電荷の供給及び停止を制御する発振回路である。発振回路15は例えば20kHzで発振し、電極8に0Vと30Vのパルス電位を印加して電荷供給を行う。この発振回路15が駆動し、電極8に電荷を供給して正に帯電させると、振動板4は負に帯電し、静電気力により電極8に引き寄せられて撓む。これにより吐出室5の容積は広がる。そして、電極8への電荷供給を止めると振動板5は元に戻るが、そのとき吐出室5の容積も元に戻るから、その圧力により液滴16が吐出し、例えば記録対象となる記録紙17に着弾することによって記録が行われる。また、キャビティプレート1のシリコン基板と発振回路15とは、電極端子19を介して電気的に接続される。また、22は電極8の部分に異物等が混入しないようにするための封止部である。
図3は液滴吐出ヘッドを構成する部材の主要な諸元値例を表す図である。図3では形成寸法によって3通りに分けられた液滴吐出ヘッドの諸元値について示している。ここで示す吐出量の値は吐出する液体の種類によっても異なるが、この諸元値は同種類の液体を用いた場合が想定されている。図3で示されている諸元値の中でも、吐出特性に最も影響を与えるのが振動板4の厚みとノズル12のノズル孔12Aの径である。振動板4の厚みは、振動板4の剛性、それによる変形に影響し、ひいては吐出液体へに加える圧力に影響を与える。またノズル12に形成されたノズル孔12Aの径は、液体が形成するメニスカスの大きさ等に影響を与える。この2つの諸元値については、形成寸法が少しずれただけでも、吐出特性(特に吐出量)が大きく異なるため、加工時には、作製条件を厳しくし、公差も小さくしている。また、振動板4の厚み及びノズル12のノズル孔12Aの径は他の部材に比べると中心寸法も小さい。つまり、それだけ薄く、小さく形成しなければならない上に、公差も小さいので、その分、加工がさらに厳しくなる。とはいえ、他の部材の中心寸法に対する公差の割合と比べると大きい(許容範囲の割合が広くなる)。つまり、吐出特性との関係で最も厳しい加工をしなければならない振動板4の厚みとノズル孔12Aの径とが、加工限界等の制約で許容範囲が広くならざるを得ないことになる。
図4は振動板4の厚みと吐出量との関係を表す図である。ここでは、吐出室5の長さ(長手方向)を3.1mm、吐出室5の高さ(深さ)を139.2μm、電極8とキャビティプレート1との間に印加する駆動電圧を30V、ギャップGを0.13μm、ノズル孔12Aの径を17μmとした場合の関係を表している。図4から考えると、一般に、許容範囲内においては振動板4の厚さが厚いほど吐出量が少ない。逆に薄いほど吐出量が多い傾向がある。
図5はノズル孔12Aの径と吐出量との関係を表す図である。ここでは、振動板4の厚みを0.85μm、吐出室5の長さ(長手方向)を3.1mm、吐出室5の高さ(深さ)を139.2μm、電極8とキャビティプレート1との間に印加する駆動電圧を30V、ギャップGを0.13μmとした場合の関係を表している。図5から考えると、一般に、許容範囲内においてはノズル12のノズル孔12Aの径が大きいほど吐出量が多い。逆に小さいほど吐出量が少ない傾向がある。なお、図4及び図5の数値は傾向を示すものであり、吐出量の値は吐出する液体の種類によっても異なる。
図1のように、通常、液滴吐出ヘッドは3つの基板を重ね合わせた3層構造になっている。そのため、ノズル12を形成したノズルプレート3と振動板4を形成したキャビティプレート1とを別個に作製した後に接合することができる。そこで、本実施の形態では、図4及び5に見られるような傾向を鑑み、従来、許容範囲内の寸法で形成されたノズルプレート3とキャビティプレート1とを区別なく接合していたのを、振動板4が厚く形成されたキャビティプレート1とノズル孔12Aの径が大きいノズルプレート3とを接合して液滴吐出ヘッドを製造するようにする。また、振動板4が薄く形成されたキャビティプレート1とノズル孔12Aの径が小さいノズルプレート3とを接合して液滴吐出ヘッドを製造するようにする。このようにして、互いのプレートは中心寸法で作製されたものでなくても、最終的に製造された液滴吐出ヘッド全体としてばらつきを抑え、各ヘッドの吐出特性を所望のものに近づけるようにする。
図6は第1の実施の形態に係る液滴吐出ヘッドのキャビティプレート1の作製工程を表す図である。図6に基づいてキャビティプレート1をはじめとする液滴吐出ヘッド製造例について説明する。なお、実際には、シリコンウェハにより複数個分の液滴吐出ヘッドの部材を形成することとなるが、図6ではその一部分だけを表して説明する。
まず、キャビティプレート1となるシリコン基板51(この時点では、通常ウェハ状である)の両面を研磨し、厚さを140μmにする。そして、シリコン基板51に付着した微小パーティクル(粒子等、大気中の浮遊物、人体からの発塵等)を洗浄するためのSC−1洗浄(アンモニア水と過酸化水素水の混合液による洗浄)及びシリコン基板51に付着した金属を洗浄するためのSC−2洗浄(塩酸と過酸化水素水の混合液による洗浄)のコンビネーション洗浄を行い、加工精度に影響を与える異物の除去を行う(図6(a))。ここで、特にパーティクルや金属を除去できるのであれば、洗浄方法はSC−1洗浄やSC−2洗浄に限る必要はない。
洗浄した後、シリコン基板51を熱酸化炉に入れ、酸素及び水蒸気雰囲気中で例えば摂氏1075℃、4時間の条件で熱酸化処理を施してシリコン基板51表面に1.2μmの酸化膜52を成膜する(図6(b))。ここで、シリコン基板51を熱酸化炉内に投入し、取出しするタイミングは、熱酸化炉内が摂氏800℃(又はそれ以上)の時に行う。その後、シリコン基板51膜側に、吐出室5及びリザーバ7を形成するためのレジストパターニングを施す。そして、フッ酸系エッチング液で酸化膜52のエッチングを行う。その後、レジストを剥離するとパターニングされた酸化膜52ができる(図6(c))。
次にボロンドーブ層を形成する面53(以下、面53という)に成膜されている酸化膜52を剥離する。そこで、面53の反対の面54(以下、裏面54という)にレジストをコーティングする。そのレジストを保護膜として、面53側の酸化膜52をフッ酸系エッチング液でエッチングする。その後、レジストを剥離する(図6(d))。
面53に付着している異物を除去するため、再度SC−1洗浄及びSC−2洗浄を行った後、面53をB2 O3 を主成分とする固体の拡散源に対向させ、石英ボードにセットする。そして、縦型炉にその石英ボートをセットし、炉内を窒素雰囲気にして温度を摂氏1050℃に上昇させて6時間保持し、ボロン(ホウ素)をシリコン基板51中に拡散させ、ボロンドーブ層55(ボロンの濃度は、1.0×1020atoms・cm-3である。)を形成する(図6(e))。ここでも、シリコン基板51を炉内に投入し、取出しするタイミングは、炉内の温度が摂氏800℃(又はそれ以上)の時に行う。
ボロンドーブ層55のシリコン基板51表面にはボロン化合物が形成される。これを酸素及び水蒸気雰囲気中において、例えば摂氏600℃の条件で1時間30分酸化させ、B2 O3 +SiO2 に化学変化させる。B2 O3 +SiO2 となることにより、フッ酸水溶液でのエッチングを行うことができる。そして、裏面54に保護膜となるレジストをコーティングした後、B2 O3 +SiO2 をフッ酸水溶液でエッチングして除去する。その後レジストを剥離する。
次に、プラズマCVDにより、成膜時の処理温度が摂氏360℃、高周波出力が700W、圧力が33.3Pa(250mTorr)、ガス流量がTEOS流量100cm3 /min(100sccm)、酸素流量1000cm3 /min(1000sccm)の条件で保護膜をボロンドープ層表面に3.0μm成膜する(図6(f))。そして、シリコン基板51を35重量パーセントの濃度の水酸化カリウム(KOH)水溶液に浸し、パターニングしていない部分の厚さが約10μmになるまでウェットエッチングを行う(図6(g))。その後、さらにシリコン基板51を3重量パーセントの濃度の水酸化カリウム水溶液に浸し、ボロンドーブ層55が現れてエッチングストップとみなすことができるまでエッチングを続ける(図6(h))。このボロンドーブ層55が、吐出室5の振動板4となる。このように2種類の濃度の異なる水酸化カリウム水溶液を用いたエッチングを行うことによって、振動板4の面荒れを抑制することができる。
そして、フッ酸水溶液で酸化膜52をエッチングする(図6(i))。次に圧力が66.7Pa(0.5Torr)、O2 流量が1000cm3 /min(1000sccm)、高周波出力が250W、処理温度が摂氏360℃、処理時時間が1分間の条件でO2 プラズマ処理を施す。その後、プラズマCVDによりTEOS絶縁膜14をシリコン基板51全面に成膜する。成膜時の処理温度が摂氏360℃、高周波出力が250W、圧力が66.7Pa(0.5Torr)、ガス流量が、TEOS流量100cm3 /min(100sccm)、酸素流量1000cm3 /min(1000sccm)の条件で0.1μm成膜する(図6(j))。このようにTEOS絶縁膜14成膜前にO2 プラズマ処理を施すことにより、シリコン基板51表面がクリーニングされ、TEOS絶縁膜14の絶縁耐圧の均一性を向上させることができる。その後、窒素雰囲気中、処理温度が摂氏1000℃、処理時間が1時間の条件でTEOS絶縁膜14上にアニール処理を施す。アニール処理を行い、高温にさらすことでTEOS絶縁膜14の緻密性を向上させ、絶縁耐圧をさらに向上させることができる。
次にガラス基板2の作製について説明する。まず、ガラス基板2の表面にCrの膜を0.03μm形成する。その上に、さらにAuの膜を0.07μm形成する。そして、その膜の上にキャビティプレート1の振動板4とほぼ同じ間隔、形状になるような凹部9や電極部の溝を設けるためのフォトレジストパターンを形成する。その後、ヨウ素ヨウ化カリウム等のAuエッチング液及び硝酸第2セリウムアンモニウム等のCrエッチング液でエッチングを行う。このエッチングにより露出しているAu/Crの膜は除去される。その後、フォトレジストパターンを除去し、フッ酸系エッチング液でエッチングを行うと、ガラス基板2のAu/Crの膜を除去した部分がエッチングされ、凹部9が形成される。その後、ヨウ素ヨウ化カリウム等のAuエッチング液及び硝酸第2セリウムアンモニウム等のCrエッチング液でエッチングを行い、Au/Crの膜を完全に除去した後、スパッタ法によるスパッタリングを行って、電極部となるITOを成膜する。そして電極部の溝内部にのみITOを残すためのフォトレジストパターンを形成し、硝酸と塩酸の混合液でITOのエッチングを行う。
次にノズルプレート3の作製について説明する。シリコン基板に、成膜した酸化膜にパターニングを行う。ここで、ノズルを2段階で形成するために、ハーフエッチングを行う。そして、ICPドライエッチング又は上記のようなウェットエッチングを施すことにより、吐出室5の位置に合わせて2段のノズル12を形成し、ノズル孔12Aを開ける。また、ノズル形成と同時又は別のエッチング工程によってオリフィス6となる細溝及びダイヤフラム18を形成する。
このようにして作製したキャビティプレート1、ガラス基板2及びノズルプレート3を接合する。キャビティプレート1とノズルプレート3とを接合する際には、前述したように、振動板4が厚く形成されたキャビティプレート1とノズル孔12Aの径が大きいノズルプレート3とを組み合わせ、また、振動板4が薄く形成されたキャビティプレート1とノズル孔12Aの径が小さいノズルプレート3とを組み合わせて、所定の吐出特性にできるだけ近づけるようにして接合する。各諸元値(特にキャビティプレート1における振動板4の厚み、ノズルプレート3におけるノズル孔12Aの径)は各部材形成後に行う検査で計測されるので、適切なプレートを選択して接合することができる。
接合して得られた接合体をダイシングによって切断し、さらに、発信回路15と端子部11、電極端子19とをワイヤ21で電気的に接続して液滴吐出ヘッドができる。また、電極8に異物等が混入して駆動に影響を与えないように、封止部22で封止を行う。ここで、上述の製造方法は一例であり、例えばキャビティプレート1と電極基板2とを先に接合させた上で、キャビティプレート1上の部材形成を行うような工程で液滴吐出ヘッドを製造してもよい。
以上のように第1の実施の形態によれば、吐出特性のばらつきを抑えるように配慮した上で、キャビティプレート1とノズルプレート3との組み合わせを決定し、接合して液滴吐出ヘッドを製造するようにしたので、吐出特性のばらつきを抑えることができる。また、吐出特性を均一にするために駆動条件の調整を行う場合であっても、その調整幅が小さく、容易に調整を行うことができる。そして、その際、振動板4の厚さが中心寸法よりも厚く形成されたキャビティプレート1とノズル孔12Aの径の大きさが中心寸法よりも大きく形成されたノズルプレート3とを組み合わせ、振動板4の厚さが中心寸法よりも薄く形成されたキャビティプレート1とノズル孔12Aの径の大きさが中心寸法よりも小さく形成されたノズルプレート3とを組み合わせるようにすることで、より効率よくばらつきを抑えることができる。
実施の形態2.
上述した実施の形態では、フェイス吐出型の液滴吐出ヘッドについて説明したが、本発明ではこれに限定するものでなく、液滴吐出ヘッドの側面からの吐出を行う、いわゆるエッジ吐出型の液滴吐出ヘッドにも適用することができる。
上述した実施の形態では、フェイス吐出型の液滴吐出ヘッドについて説明したが、本発明ではこれに限定するものでなく、液滴吐出ヘッドの側面からの吐出を行う、いわゆるエッジ吐出型の液滴吐出ヘッドにも適用することができる。
また、上述の実施の形態では、キャビティプレート1とノズルプレート3との組み合わせについて決定したが、電極基板2において、例えば、凹部9の深さ、電極8の厚さ等に基づいて組み合わせを考慮するようにしてもよい。
実施の形態3.
図7は上述の実施の形態で製造した液滴吐出ヘッドを用いた液滴吐出装置の一例である記録(印刷)装置の主要な構成手段を表す図である。この液滴吐出装置はいわゆるシリアル型の装置である。図7において、装置は、被印刷物であるプリント紙110が支持されるドラム111と、プリント紙110に液体を吐出し、記録を行う、上述の実施の形態で説明した液滴吐出ヘッド112とで主に構成される。また、図示していないが、液滴吐出ヘッド112に液体を供給するための液体タンクがある。プリント紙110は、ドラム111の軸方向に平行に設けられた紙圧着ローラ113により、ドラム111に圧着して保持される。そして、送りネジ114がドラム111の軸方向に平行に設けられ、液滴吐出ヘッド112が保持されている。送りネジ114が回転することによって液滴吐出ヘッド112がドラム111の軸方向に移動するようになっている。
図7は上述の実施の形態で製造した液滴吐出ヘッドを用いた液滴吐出装置の一例である記録(印刷)装置の主要な構成手段を表す図である。この液滴吐出装置はいわゆるシリアル型の装置である。図7において、装置は、被印刷物であるプリント紙110が支持されるドラム111と、プリント紙110に液体を吐出し、記録を行う、上述の実施の形態で説明した液滴吐出ヘッド112とで主に構成される。また、図示していないが、液滴吐出ヘッド112に液体を供給するための液体タンクがある。プリント紙110は、ドラム111の軸方向に平行に設けられた紙圧着ローラ113により、ドラム111に圧着して保持される。そして、送りネジ114がドラム111の軸方向に平行に設けられ、液滴吐出ヘッド112が保持されている。送りネジ114が回転することによって液滴吐出ヘッド112がドラム111の軸方向に移動するようになっている。
一方、ドラム111は、ベルト115等を介してモータ116により回転駆動される。また、プリント制御手段117は、印画データ及び制御信号に基づいて送りネジ114、モータ116を駆動させ、また、ここでは図示していないが、液滴吐出ヘッド112に接続された発振回路を駆動させて振動板を振動させる制御をしながら印刷を行わせる。
以上のように第3の実施の形態によれば、上述の実施の形態1及び2の液滴吐出ヘッドを用いて装置を構成するようにしたので、各装置間での吐出特性のばらつきを抑え、均一にすることができる。そのため、例えば着弾ずれ、スポット径のばらつきを小さくすることができる。また、吐出特性を均一にするため、液滴吐出ヘッドの駆動条件を調整する場合にも、ばらつきが小さいので調整を容易に行うことができる。
実施の形態4.
上記の第3の実施の形態では、本発明の液滴吐出ヘッドを備えた印刷装置によりインク吐出による印刷の例を示したが、本発明はこれに限定するものではない。例えば、本発明の液滴吐出ヘッドを電界発光表示パネル製造装置に備え、有機又は無機の電界発光素子となる材料を含んだ液体をこの液滴吐出ヘッドにより表示パネル上に吐出させ、定着させることにより電界発光表示パネルを製造することができる。ここで、高分子の材料では蒸着法を用いることができないので、液滴吐出による製造が特に有効である。また、生体分子を含む溶液を吐出する装置に、この液滴吐出ヘッドを溶液吐出のために備えることにより、DNA(Deoxyribo Nucleic Acids :デオキシリボ核酸)、タンパク質等の生体分子のマイクロアレイを製造したり、生体に関する検査をしたりするための装置を得ることができる。また、液晶等を用いた表示装置に用いられるカラーフィルタの製造装置を得ることができる。これらの装置は、業務用途として使われることが多い関係上、特に各ノズル間の吐出特性のばらつきが少ないことが要求されるが、本発明の液滴吐出ヘッドを備えたこれらの装置はその要求を満たすことができる。また、染料の吐出等、他のあらゆる工業用途、家庭用途に、上述の実施の形態の液滴吐出ヘッドを備えた装置を用いることができる。
上記の第3の実施の形態では、本発明の液滴吐出ヘッドを備えた印刷装置によりインク吐出による印刷の例を示したが、本発明はこれに限定するものではない。例えば、本発明の液滴吐出ヘッドを電界発光表示パネル製造装置に備え、有機又は無機の電界発光素子となる材料を含んだ液体をこの液滴吐出ヘッドにより表示パネル上に吐出させ、定着させることにより電界発光表示パネルを製造することができる。ここで、高分子の材料では蒸着法を用いることができないので、液滴吐出による製造が特に有効である。また、生体分子を含む溶液を吐出する装置に、この液滴吐出ヘッドを溶液吐出のために備えることにより、DNA(Deoxyribo Nucleic Acids :デオキシリボ核酸)、タンパク質等の生体分子のマイクロアレイを製造したり、生体に関する検査をしたりするための装置を得ることができる。また、液晶等を用いた表示装置に用いられるカラーフィルタの製造装置を得ることができる。これらの装置は、業務用途として使われることが多い関係上、特に各ノズル間の吐出特性のばらつきが少ないことが要求されるが、本発明の液滴吐出ヘッドを備えたこれらの装置はその要求を満たすことができる。また、染料の吐出等、他のあらゆる工業用途、家庭用途に、上述の実施の形態の液滴吐出ヘッドを備えた装置を用いることができる。
1 キャビティプレート、2 ガラス基板、3 ノズルプレート、4 振動板、5 吐出室、6 オリフィス、7 リザーバ、8 電極、9 凹部、10 リード部、11 端子部、12 ノズル、12A ノズル孔、13 液体供給口、14 絶縁膜、15 発振回路、16 液滴、17 記録紙、18 ダイヤフラム、19 電極端子、21 ワイヤ、22 封止部、51 シリコン基板、52 酸化膜、53 面、54 裏面、55 ボロンドープ層、110 プリント紙、111 ドラム、112 液滴吐出ヘッド、113 紙圧着ローラ、114 送りネジ、115 ベルト、116 モータ、117 プリント制御手段
Claims (10)
- 部材が形成された複数の基板を積層して接合する液滴吐出ヘッドの製造方法において、
形成された部材の寸法に基づいて、吐出性能を均一にするための基板の組み合わせを決定し、決定した基板同士を積層して接合することを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。 - ノズルが形成されたノズルプレートと、前記ノズルと連通する流路内の液体を加圧するために振動する振動板が形成されたキャビティプレートとの組み合わせを、前記ノズルの孔の径と振動板の厚みとに基づいて決定する工程と、
決定したノズルプレートとキャビティプレートとを積層し、接合する工程と
を有することを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。 - 前記ノズルの孔の径が規定寸法より大きいものと振動板の厚みが規定寸法よりも厚いものとを組み合わせることを特徴とする請求項2記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
- 前記ノズルの孔の径が規定寸法より小さいものと振動板の厚みが規定寸法よりも薄いものとを組み合わせることを特徴とする請求項2記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
- 流路内の液体を加圧するための振動板を有するキャビティプレートと、
該キャビティプレートに積層して接合され、前記振動板の厚みとの関係で、吐出性能を均一にするための組み合わせが決定された孔径のノズルを有するノズルプレートと
を備えたことを特徴とする液滴吐出ヘッド。 - 請求項5に記載の液滴吐出ヘッドを有し、
該液滴吐出ヘッドにインクを供給するインク供給手段と、
ヘッド位置制御信号に基づいて前記液滴吐出ヘッドを移動させる走査駆動手段と、
記録対象となる記録部材と前記液滴吐出ヘッドとの相対位置を変化させる位置制御手段と
を少なくとも備えたことを特徴とする液滴吐出装置。 - 電界発光素子となる材料を含む液体を液滴吐出ヘッドから吐出し、パネルに形成する電界発光表示パネル製造装置において、
前記液滴吐出ヘッドとして、請求項5に記載の液滴吐出ヘッドを備えたことを特徴とする電界発光表示パネル製造装置。 - 前記電界発光素子となる材料は、有機化合物であることを特徴とする請求項7記載の電界発光表示パネル製造装置。
- 生体分子を含む液体を液滴吐出ヘッドから吐出し、アレイに形成するマイクロアレイ製造装置において、
前記液滴吐出ヘッドとして、請求項5に記載の液滴吐出ヘッドを少なくとも備えたことを特徴とするマイクロアレイ製造装置。 - カラーフィルタを形成する液体を液滴吐出ヘッドから基板へ吐出し、フィルタ基板に形成するカラーフィルタ製造装置において、
前記液滴吐出ヘッドとして、請求項5に記載の液滴吐出ヘッドを少なくとも備えたことを特徴とするカラーフィルタ製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003365442A JP2005125681A (ja) | 2003-10-27 | 2003-10-27 | 液滴吐出ヘッド製造方法及び液滴吐出ヘッド並びに液滴吐出装置、電界発光表示パネル製造装置、マイクロアレイ製造装置及びカラーフィルタ製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003365442A JP2005125681A (ja) | 2003-10-27 | 2003-10-27 | 液滴吐出ヘッド製造方法及び液滴吐出ヘッド並びに液滴吐出装置、電界発光表示パネル製造装置、マイクロアレイ製造装置及びカラーフィルタ製造装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005125681A true JP2005125681A (ja) | 2005-05-19 |
Family
ID=34644106
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003365442A Pending JP2005125681A (ja) | 2003-10-27 | 2003-10-27 | 液滴吐出ヘッド製造方法及び液滴吐出ヘッド並びに液滴吐出装置、電界発光表示パネル製造装置、マイクロアレイ製造装置及びカラーフィルタ製造装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005125681A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100630872B1 (ko) | 2005-11-28 | 2006-10-04 | 한국기계연구원 | 기판에 액상 전도성 물질을 도포하기 위한 장치 및 방법 |
JP7389961B2 (ja) | 2019-07-26 | 2023-12-01 | 株式会社リコー | 液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、及び、液体を吐出する装置 |
-
2003
- 2003-10-27 JP JP2003365442A patent/JP2005125681A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100630872B1 (ko) | 2005-11-28 | 2006-10-04 | 한국기계연구원 | 기판에 액상 전도성 물질을 도포하기 위한 장치 및 방법 |
JP7389961B2 (ja) | 2019-07-26 | 2023-12-01 | 株式会社リコー | 液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、及び、液体を吐出する装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5002030B2 (ja) | インクジェットプリントヘッドの圧電アクチュエータ及びその形成方法 | |
JP2007202337A (ja) | 静電アクチュエータ、液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置及び静電駆動デバイス並びにそれらの製造方法 | |
JP2005125681A (ja) | 液滴吐出ヘッド製造方法及び液滴吐出ヘッド並びに液滴吐出装置、電界発光表示パネル製造装置、マイクロアレイ製造装置及びカラーフィルタ製造装置 | |
JP5612819B2 (ja) | ノズル基板、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置の製造方法 | |
JP2005119044A (ja) | 液滴吐出ヘッド及び液滴吐出ヘッド製造方法並びに液滴吐出装置、電界発光表示パネル製造装置、マイクロアレイ製造装置及びカラーフィルタ製造装置 | |
JP2008279707A (ja) | ノズル基板、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置の製造方法 | |
JP2005074860A (ja) | 液滴吐出ヘッド製造方法及び液滴吐出ヘッド並びに液滴吐出記録装置、電界発光基板製造装置、マイクロアレイ製造装置及びカラーフィルタ製造装置 | |
JP2007182009A (ja) | ノズル基板、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置の製造方法 | |
JP2006198820A (ja) | アクチュエータ、静電アクチュエータ及び液滴吐出ヘッド並びに静電アクチュエータの製造方法 | |
JP2007326195A (ja) | 電極基板、静電アクチュエータ、液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置及び静電駆動デバイス並びにそれらの製造方法 | |
JP2007143342A (ja) | 静電アクチュエータ、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置並びにそれらの製造方法 | |
JP2009119699A (ja) | マスク基板及びその製造方法並びに液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置の製造方法 | |
JP2004306443A (ja) | 液滴吐出ヘッド製造方法及び液滴吐出ヘッド並びに液滴吐出記録装置、電界発光基板製造装置、マイクロアレイ製造装置及びカラーフィルタ製造装置 | |
JP2005103800A (ja) | 液滴吐出ヘッド及び液滴吐出ヘッド製造方法並びに液滴吐出記録装置、電界発光基板製造装置、マイクロアレイ製造装置及びカラーフィルタ製造装置 | |
JP3969055B2 (ja) | インクジェットヘッド及びインクジェットヘッド製造方法及び製造装置並びにインクジェット記録装置、カラーフィルタ製造装置並びに電界発光基板製造装置 | |
JP4120317B2 (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
JP4701935B2 (ja) | 液滴吐出ヘッドの製造方法 | |
JP2005161706A (ja) | 液滴吐出ヘッド、その製造方法及び液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置 | |
JP2010240914A (ja) | 静電アクチュエーター、液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置、及び静電アクチュエーターの製造方法 | |
JP2006082380A (ja) | 液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置及び液滴吐出ヘッドの製造方法 | |
JP2012218242A (ja) | 液体噴射ヘッドの製造方法 | |
JP2007118393A (ja) | 液体噴射ヘッドの製造方法、及び、その液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置 | |
JP2008265019A (ja) | 静電アクチュエータ、液滴吐出ヘッド及びその製造方法並びに液滴吐出装置 | |
JP2007190730A (ja) | マスク基板及びその製造方法並びに液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置の製造方法 | |
JP2005163119A (ja) | ウエットエッチングマスクの成膜方法、ウエットエッチングマスク、ウエットエッチングマスクにより形成された基板を有する静電アクチュエータ、液滴吐出ヘッド、半導体装置、及びこれらを搭載した画像形成装置、電子機器。 |