JP2005121564A - 光学密着不要なブロックゲージ校正方法および装置 - Google Patents
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 114
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 17
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 148
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims abstract 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N iron(III) oxide Inorganic materials O=[Fe]O[Fe]=O JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 2
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
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Abstract
【解決手段】光源に低コヒーレンス光源を用いた三角光路干渉計を用い、その光路中にブロックゲージ5と透明基板6を配置する。ブロックゲージ5と透明基板6を一体として光軸方向に走査しながら、透明基板6の裏面反射光4またはブロックゲージ5の一端14の表面からの反射光3と、透明基板6を透過した後の透明基板6の裏面12からの反射光1または透明基板6を透過した後のブロックゲージ5の他端13の表面からの反射光2との組み合わせからなる低コヒーレンス干渉縞を少なくとも2組測定し、各干渉縞発生時の前記ブロックゲージ5と透明基板6の一体移動距離を求めることによりブロックゲージの長さL1 を測定することができる。
【選択図】図1
Description
x1(d)=D-L2+2nL2+2d (1)
x2(d)=D-L2+2nL2+2z+2d (2)
x3(d)=D-L2-2z-2L1-2d (3)
x4(d)=D-L2-2d (4)
となる。
y13(d)= x1(d)- x3(d)=2nL2+2z+2L1+4d (5)
y14(d) = x1(d)- x4(d)=2nL2+4d (6)
y23(d) = x2(d)- x3(d)=2nL2+4z+2L1+4d (7)
y24(d) = x2(d)- x4(d)=2nL2+2z+4d (8)
となる。光路長差がゼロになるときに検出器11上で低コヒーレンス光の干渉縞が観測される。
d13=(-nL2-z-L1)/2 (9)
d14=(-nL2)/2 (10)
d23=(-nL2-2z-L1)/2 (11)
d24=(-nL2-z)/2 (12)
である。式(9),(12)より、
2(d24-d13)= L1 (13)
となり、被校正ブロックゲージ5の長さL1が求められる。
2(d14-d24)= z (14)
で求めることができる。
6 透明基板
7 ビームスプリッタ
8 三角光路干渉計の原点
9 透明基板の中心
10 三角光路干渉計の入射光
11 検出器
12 透明基板の裏面
13 ブロックゲージの端面
14 ブロックゲージの端面
15 透明基板
20 第一番目の干渉計
21 第二番目の干渉計
Claims (6)
- 低コヒーレンス光源を用いた三角光路干渉計の光路中にブロックゲージと透明基板とを光軸方向に一体移動可能に配置し、
前記ブロックゲージと前記透明基板とを一体として光軸方向に走査しながら、透明基板裏面反射光またはブロックゲージ一端表面反射光と、透明基板透過後の透明基板裏面反射光または透明基板透過後のブロックゲージ他端表面反射光との組み合わせからなる低コヒーレンス干渉縞を少なくとも2組測定し、
各干渉縞発生時の前記ブロックゲージと透明基板の一体移動距離を求めることによりブロックゲージの長さを測定することを特徴とするブロックゲージの校正方法。 - 低コヒーレンス光源を用いた三角光路干渉計の光路中に第1透明基板とブロックゲージと第2透明基板とを順に配置するとともに、前記第1透明基板と第2透明基板のいずれか一方と前記ブロックゲージとを光軸方向に一体移動可能に配置し、
前記ブロックゲージと前記透明基板とを一体として光軸方向に走査しながら、該透明基板裏面反射光またはブロックゲージ一端表面反射光と、該透明基板透過後の該透明基板裏面反射光または該透明基板透過後のブロックゲージ他端表面反射光との組み合わせからなる低コヒーレンス干渉縞を少なくとも2組測定し、
各干渉縞発生時の前記ブロックゲージと透明基板の一体移動距離を求めることによりブロックゲージの長さを測定することを特徴とするブロックゲージの校正方法。 - 低コヒーレンス光源を用いた三角光路干渉計と他の干渉計とを直列に配置し、
前記三角光路干渉計はその光路中にブロックゲージと透明基板とを配置し、或いは第1透明基板とブロックゲージと第2透明基板とを順に配置し、
前記他の干渉計の光路長を変化させながら、該透明基板裏面反射光またはブロックゲージ一端表面反射光と、該透明基板透過後の該透明基板裏面反射光または該透明基板透過後のブロックゲージ他端表面反射光との組み合わせからなる低コヒーレンス干渉縞を少なくとも2組測定し、
各干渉縞発生時の光路差を求めることによりブロックゲージの長さを測定することを特徴とするブロックゲージの校正方法。 - 低コヒーレンス光源を用いた三角光路干渉計の光路中にブロックゲージと透明基板とを光軸方向に一体移動可能に配置し、
前記ブロックゲージと前記透明基板とを一体として光軸方向に走査する手段と、
前記走査手段により走査しながら前記透明基板裏面反射光またはブロックゲージ一端表面反射光と、該透明基板透過後の該透明基板裏面反射光または該透明基板透過後のブロックゲージ他端表面反射光との組み合わせからなる低コヒーレンス干渉縞を測定する手段とを備え、
前記干渉縞を少なくとも2組測定し、各干渉縞発生時の前記ブロックゲージと透明基板の一体移動距離を求めることによりブロックゲージの長さを測定することを特徴とするブロックゲージの校正装置。 - 低コヒーレンス光源を用いた三角光路干渉計の光路中に第1透明基板とブロックゲージと第2透明基板とを順に配置し、前記第1透明基板と第2透明基板のいずれか一方と前記ブロックゲージとを光軸方向に一体移動可能に配置し、
前記ブロックゲージと前記透明基板とを一体として光軸方向に走査する手段と、
前記走査手段により走査しながら前記透明基板裏面反射光またはブロックゲージ一端表面反射光と、該透明基板透過後の該透明基板裏面反射光または該透明基板透過後のブロックゲージ他端表面反射光との組み合わせからなる低コヒーレンス干渉縞を測定する手段とを備え、
前記干渉縞を少なくとも2組測定し、各干渉縞発生時の前記ブロックゲージと透明基板の一体移動距離を求めることによりブロックゲージの長さを測定することを特徴とするブロックゲージの校正装置。 - 低コヒーレンス光源を用いた三角光路干渉計と他の干渉計とを直列に配置し、
前記三角光路干渉計はその光路中にブロックゲージと透明基板とを配置し、或いは第1透明基板とブロックゲージと第2透明基板とを順に配置し、
前記他の干渉計の光路長を変化する手段と、
前記透明基板裏面反射光またはブロックゲージ一端表面反射光と、該透明基板透過後の該透明基板裏面反射光または該透明基板透過後のブロックゲージ他端表面反射光との組み合わせからなる低コヒーレンス干渉縞を測定する手段とを備え、
前記干渉縞を少なくとも2組測定し、各干渉縞発生時の光路差を求めることによりブロックゲージの長さを測定することを特徴とするブロックゲージの校正装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003358832A JP3944583B2 (ja) | 2003-10-20 | 2003-10-20 | 光学密着不要なブロックゲージ校正方法および装置 |
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005121564A true JP2005121564A (ja) | 2005-05-12 |
JP3944583B2 JP3944583B2 (ja) | 2007-07-11 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3944583B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107132135A (zh) * | 2017-06-26 | 2017-09-05 | 深圳市樊溪电子有限公司 | 一种非接触式手持落锤弯沉仪的沉陷值检测系统 |
-
2003
- 2003-10-20 JP JP2003358832A patent/JP3944583B2/ja not_active Expired - Lifetime
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CN107132135A (zh) * | 2017-06-26 | 2017-09-05 | 深圳市樊溪电子有限公司 | 一种非接触式手持落锤弯沉仪的沉陷值检测系统 |
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A621 | Written request for application examination |
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