JP2005115394A - 広範囲ズーム機能を備えた超広帯域紫外顕微鏡映像システム - Google Patents
広範囲ズーム機能を備えた超広帯域紫外顕微鏡映像システム Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】カタディオプトリックレンズ群及びズーミングチューブレンズ群を含む顕微鏡システムは、極UV波長で高光学解像度と、連続的に調整可能な倍率と、高開口数とを有する。このシステムは、部品点数を削減し、システムの製造プロセスを簡単化するため、対物レンズ、チューブレンズ及びズーム光学系のような顕微鏡モジュールを統合する。好ましい実施例によれば、全屈折ズーミングチューブレンズと組み合わせることにより、非常に広い極紫外スペクトル域に亘って優れた画質が得られる。ズーミングチューブレンズは、一般的に性能を制限する高次色収差を補償するように変更される。
【選択図】図4
Description
映像顕微鏡システムに係り、特に、UVカタディオプトリック対物レンズ群及び広範囲ズーミング用チューブレンズ群を含む映像システムに関する。
13 中間像
15 視野レンズ群
17 カタディオプトリック群
19 最終像
21、22、23、24、25、27 レンズ部品
37、38 中心孔
39、43 レンズ
41、45 反射コーティング
47 開口部
80 プラットフォーム
82 ウェーハ
84 集積回路ダイス
86 カタディオプトリック対物レンズ
88 光線束
90 ズーミングチューブレンズ
92 検出器
94 ケーブル
96 データプロセッサ
101 収差補正器レンズ群
101’ 収差補正群
103 焦点レンズ
103’ 集光レンズ
105 中間像平面
105’ 中間焦点
107、107’ 視野レンズ
108’、109’ レンズ素子
109、119 厚いレンズ
111 ミラーコーティング
111’ 、113’ 鏡面
113 球面鏡
115 最終像
115’ 最終焦点
117’、119’ 中心開口
119 中心孔
120 対象物
121’ 表面
122 カタディオプトリックレンズ群
123 平面状反射器
124 凸反射器
125 凹レンズ
126 中間像面
127 視野レンズ群
128 カタディオプトリック対物レンズ部
129 焦点レンズ群
130 低度数レンズ群
131 開口絞り
132 ビームスプリッタ
139 ズーミングチューブレンズ群部
140 検出器アレイ
141 ズーミングチューブレンズ構造体
142、143 移動レンズ群
144 折り畳み式鏡群
Claims (34)
- 紫外域内の少なくとも一つの波長を含む複数の波長に亘って高次色収差を変えることなくズーム若しくは倍率変更を行うことができる、遠紫外に透明な屈折材料で作られたレンズ群を含むチューブレンズ部と、
非ズーミング高開口数カタディオプトリック対物レンズ部とを有する、高開口数の広スペクトル域カタディオプトリック光学システム。 - 上記遠紫外に透明な屈折材料は石英ガラス及びフッ化カルシウムを含む請求項1記載の光学システム。
- 上記カタディオプトリック対物レンズ部は回折面を使用する請求項1記載の光学システム。
- ズーミング中、若しくは、上記チューブレンズ部の倍率の変更中に移動しない検出器アレイを更に有する請求項1記載の光学システム。
- 上記対物レンズレンズ部は、残りの色収差を除去し、上記チューブレンズ部を高次色収差に関して補償する色消し処理された視野レンズ群を含み、
上記チューブレンズ部と上記対物レンズ部の組み合わせは、球面収差、コマ収差、及び、非点収差の色変動を補正する、請求項1記載の光学システム。 - 検出器アレイと、
広帯域紫外放射線源と、
上記検出器アレイ上で紫外波長域に亘り焦点を維持する広帯域紫外ズーミング若しくは倍率変更を行うことができる、遠紫外に透明な屈折材料で作られたレンズ群を含む高開口数カタディオプトリック光学システムとを有する、高解像度の広帯域紫外映像システム。 - 上記検出器アレイはズーミング中に静止状態を維持する請求項6記載の映像システム。
- 上記カタディオプトリック光学システムは、残りの色収差を除去してチューブレンズ部を高次色収差に関して補償するため視野レンズ群を色消し処理する補償手段を備えた対物レンズ部を含み、
上記チューブレンズ部と上記対物レンズ部の組み合わせは、球面収差、コマ収差及び非点収差の色変動を補正する、請求項6記載の映像システム。 - 高開口数の広スペクトル域カタディオプトリック光学システムであって、
レンズ表面が光学システムの光路に沿って第1の所定位置に配置され、光学システム内で紫外線を中間像に集光させ、同時に、光学システムの残りの部分と組み合わされて、紫外線域の少なくとも一つの波長を含む波長帯域に亘り像収差及び収差の色変動の両方を高いレベルで補正するよう曲率及び上記位置が選択された、遠紫外に透明な屈折材料で作られた複数のレンズ部品を有する焦点レンズ群と、
上記中間像の付近で上記光路に沿って並べられ正味の正の度数を備え、分散が異なり、レンズ表面が第2の所定位置に配置され、上記波長帯域に亘って上記光学システムの少なくとも2次縦方向色と1次及び2次横方向色を含む色収差を実質的に補正するように曲率が選択された複数のレンズ部品を有する視野レンズ群と、
第3の所定位置に配置された少なくとも2枚の反射面及び少なくとも1枚の屈折面を有し、上記中間像の実像を形成するよう選択された曲率を有し、上記焦点レンズ群と組み合わされて、上記波長帯域に亘り光学システムの1次縦方向色を実質的に補正するカタディオプトリックリレーレンズ群と、
光学システムの光路に沿って第4の所定位置に配置されたレンズ表面を備え、高次色収差を変えることなくズーム若しくは倍率変更を行うことができるズーミングチューブレンズ群とを含み、
少なくとも一つのズーミングしないレンズ群は、上記波長帯域に亘って、上記ズーミングチューブレンズ群の補正されていない安定した高次色収差の残りの部分を実質的に補償する、光学システム。 - 上記チューブレンズ群は高次色収差を実質的に変えることなくズーム若しくは倍率変更を行うことができる請求項1記載の高開口数の広スペクトル域カタディオプトリック光学システム。
- 上記チューブレンズ部は少なくとも1枚の回折レンズを含む請求項1記載の高開口数の広スペクトル域カタディオプトリック光学システム。
- 上記カタディオプトリック光学システムは映像システムの倍率範囲及び上記検出器アレイによって検出される紫外スペクトル域に亘って、ほぼ回折限界の画質を維持する請求項6記載の映像システム。
- 上記チューブレンズ群は高次色収差を実質的に変えること無くズーム若しくは倍率変更を行うことができる請求項9記載の光学システム。
- 上記ズーミングチューブレンズ群は少なくとも1枚の回折レンズを含む請求項9記載の光学システム。
- 上記視野レンズ群は分散の異なる少なくとも2種類の屈折材料から形成された複数のレンズ部品を含む請求項9記載の光学システム。
- 検出器アレイと、
少なくとも0.23乃至0.29ミクロンの紫外波長帯域を有する広帯域紫外放射線源と、
上記検出器アレイ上でほぼ回折限界の画質を維持する広帯域紫外ズーミングを行うことができる、遠紫外に透明な屈折材料で作られたレンズ群を含む高開口数カタディオプトリック光学システムとを有する、高解像度の広帯域紫外映像システム。 - 上記カタディオプトリック光学システムは、光学システムの倍率範囲及び上記検出器アレイによって検出された紫外スペクトル域に亘ってほぼ回折限界の画質を維持する請求項16記載の映像システム。
- 上記カタディオプトリック光学システムは、視野レンズを色消し処理し、残りの色収差を実質的に除去し、これにより、チューブレンズ部を高次色収差に関して実質的に補償する補償手段を備えた対物レンズ部を有し、
上記対物レンズ部と上記チューブレンズ部の組み合わせは球面収差、コマ収差及び非点収差の色変動を実質的に補正する、請求項16記載の映像システム。 - 高開口数の広スペクトル域カタディオプトリック光学システムであって、
光学システム内で紫外線を中間像に集光させ、同時に、光学システムの残りの部分と組み合わされて、紫外線域の少なくとも一つの波長を含む波長帯域に亘り像収差及び収差の色変動の両方を高いレベルで補正するよう曲率及び位置が選択された屈折面を備えた複数のレンズ部品を有する焦点レンズ群と、
上記中間像の付近で上記光路に沿って並べられ正味の正の度数を有し、上記波長帯域に亘って上記光学システムの少なくとも2次縦方向色と1次及び2次横方向色を含む色収差を実質的に補正するように曲率が選択された屈折面を備えた、遠紫外に透明な屈折材料で作られた複数のレンズ部品を有する視野レンズ群と、
上記中間像の実像を形成するよう選択された曲率を有する少なくとも2枚の反射面及び少なくとも1枚の屈折面を備え、上記焦点レンズ群と組み合わされて、上記波長帯域に亘り光学システムの1次縦方向色を実質的に補正するカタディオプトリックリレーレンズ群と、
高次色収差を変えることなくズーム若しくは倍率変更を行うことができ、屈折面を備えたチューブレンズ群とを含み、
少なくとも一つのズーミングしないレンズ群は、上記波長帯域に亘って、上記チューブレンズ群の補正されていない安定した高次色収差の残りの部分を実質的に補償する、光学システム。 - 上記チューブレンズ群は、高次色収差を変えることなくズーム若しくは倍率の変更を行うことができる全屈折ズーミングチューブレンズ群である請求項19記載の光学システム。
- 上記チューブレンズ群は少なくとも1枚の回折レンズを備えたズーミングチューブレンズ群である請求項19記載の光学システム。
- 紫外波長域に亘る像を受容し得る検出器アレイと、
紫外波長帯域を生ずる広帯域紫外放射線源と、
カタディオプトリック光学システムとを含む、高解像度の広帯域紫外映像システムであって、
上記カタディオプトリック光学システムは、
光学システム内で紫外線を中間像に集光させ、同時に、光学システムの残りの部分と組み合わされて、紫外線域の少なくとも一つの波長を含む波長帯域に亘り像収差及び収差の色変動の両方を高いレベルで補正するよう曲率及び位置が選択された屈折面を備えた、遠紫外に透明な屈折材料で作られた複数のレンズ部品を有する焦点レンズ群と、
上記中間像の付近に設けられ、上記波長帯域に亘って上記光学システムの少なくとも2次縦方向色と1次及び2次横方向色を含む色収差を実質的に補正するように曲率が選択された屈折面を備えた複数のレンズ部品を有する視野レンズ群と、
上記中間像の実像を形成するよう選択された曲率を有する少なくとも2枚の反射面及び少なくとも1枚の屈折面の組み合わせを備え、上記焦点レンズ群と組み合わされて、上記波長帯域に亘り光学システムの1次縦方向色を実質的に補正するカタディオプトリックリレーレンズ群と、
高次色収差を変えることなくズーム若しくは倍率変更を行うことができ、複数の屈折面を備えたズーミングチューブレンズ群とを含み、
少なくとも一つのズーミングしないレンズ群は、上記波長帯域に亘って、上記ズーミングチューブレンズ群の補正されていない安定した高次色収差の残りの部分を実質的に補償する、映像システム。 - 上記検出器アレイはズーミング中若しくは倍率の変更中に静止した状態を保つ請求項22記載の映像システム。
- 上記カタディオプトリック光学システムは、視野レンズを色消し処理し、残りの色収差を実質的に除去し、これにより、チューブレンズ部を高次色収差に関して実質的に補償する補償手段を備え、
レンズ部の組み合わせは、上記波長帯域に亘る球面収差、コマ収差及び非点収差の色変動を実質的に補正する、請求項22記載の映像システム。 - 高開口数の広スペクトル域カタディオプトリック光学システムであって、
光学システム内で紫外線を中間像に集光させ、同時に、光学システムの残りの部分と組み合わされて、紫外線域の少なくとも一つの波長を含む波長帯域に亘り像収差及び収差の色変動の両方を高いレベルで補正するよう配置された屈折面を備えた、遠紫外に透明な屈折材料で作られた複数のレンズ部品を有する焦点レンズ群と、
正味の正の度数を有し、上記波長帯域に亘って上記光学システムの少なくとも2次縦方向色と1次及び2次横方向色を含む色収差を実質的に補正するように曲率が選択された屈折面を備えた複数のレンズ部品を有する視野レンズ群と、
高次色収差を変えることなくズーム若しくは倍率変更を行うことができ、複数の屈折面を備えたズーミングチューブレンズ部と、
上記ズーミングチューブレンズ群の補正されていない安定した高次色収差の残りの部分を実質的に補償する手段を構成する非ズーミングカタディオプトリック対物レンズ部とを含む、光学システム。 - 上記カタディオプトリック対物レンズ部は、視野レンズを色消し処理し、残りの色収差を実質的に除去し、これにより、チューブレンズ部を高次色収差に関して実質的に補償する補償手段を備え、
上記レンズ部の組み合わせは、上記波長帯域に亘る球面収差、コマ収差及び非点収差の色変動を実質的に補正する、請求項25記載の光学システム。 - 上記視野レンズ群の中の少なくとも1枚のレンズは石英ガラスから製作されたレンズである請求項25記載の光学システム。
- 上記視野レンズ群の中の少なくとも1枚のレンズはフッ化カルシウムから製作されたレンズである請求項25記載の光学システム。
- 高次色収差を変えることなくズーム若しくは倍率の変更を行うことができる全屈折ズーミングチューブレンズ群を更に有する請求項25記載の光学システム。
- 少なくとも1枚の屈折レンズを備えたズーミングチューブレンズ群を更に有する請求項25記載の光学システム。
- 屈折面が光学システムの光路に沿って第1の所定位置に配置され、光学システム内で紫外線を中間像に集光させ、同時に、光学システムの残りの部分と組み合わされて、紫外線域の少なくとも一つの波長を含む波長帯域に亘り像収差及び収差の色変動の両方を高いレベルで補正するよう曲率及び上記位置が選択された複数のレンズ部品を有する焦点レンズ群を設ける段階と、
上記中間像の付近で上記光路に沿って並べられ正味の正の度数を備え、屈折面が第2の所定位置に配置され、上記波長帯域に亘って上記光学システムの少なくとも2次縦方向色と1次及び2次横方向色を含む色収差を実質的に補正するように曲率が選択された、異なる分散を備えた少なくとも二つの異なる遠紫外に透明な屈折材料から形成された複数のレンズ部品を有する視野レンズ群を設ける段階と、
第3の所定位置に配置され上記中間像の実像を形成するよう選択された曲率を有する少なくとも2枚の反射面及び少なくとも1枚の屈折面の組み合わせを備え、上記焦点レンズ群と組み合わされて、上記波長帯域に亘り光学システムの1次縦方向色を実質的に補正するカタディオプトリックリレーレンズ群を用いて実像を形成する段階と、
光学システムの光路に沿って第4の所定位置に配置されたレンズ表面を備え、高次色収差を変えることなくズーム若しくは倍率変更を行うことができるズーミングチューブレンズ群を用いてズーミングする段階とを含み、
少なくとも一つのズーミングしないレンズ群は、上記波長帯域に亘って、上記ズーミングチューブレンズ群の補正されていない安定した高次色収差の残りの部分を実質的に補償する、高開口数の広スペクトル域カタディオプトリック光学システムを製作する方法。 - 視野レンズを色消し処理し、残りの色収差を実質的に除去し、これにより、チューブレンズ部を高次色収差に関して実質的に補償する補償手段を備えたカタディオプトリック対物レンズ部を作成する段階を更に有し、
上記対物レンズ部と上記チューブレンズ部の組み合わせは、上記波長帯域に亘って、球面収差、コマ収差及び非点収差の色変動を実質的に補正する、請求項31記載の方法。 - 高開口数の広スペクトル域カタディオプトリック光学システムを用いて対象を映像化する方法であって、
少なくとも一つの紫外波長を含む複数の波長に亘って少なくとも色収差の一部分を変えることなく、ズーム若しくは倍率変更を行い得るズーミングチューブレンズ群を用いてズーミングする段階と、
上記ズーミングチューブレンズ群の補正されていない安定した高次色収差の残りの部分を実質的に補償する、遠紫外に透明な屈折材料で作られたレンズ群を含む非ズーミング高開口数のカタディオプトリック対物レンズ部を用いて上記対象を映像化する段階とを含む方法。 - 少なくとも一つの紫外波長を含む複数の波長に亘って少なくとも色収差の一部分を変えることなく、ズーム若しくは倍率変更を行い得る、遠紫外に透明な屈折材料で作られたズーミングチューブレンズ群と、
上記ズーミングチューブレンズ群の補正されていない安定した高次色収差の残りの部分を実質的に補償する非ズーミング高開口数のカタディオプトリック対物レンズ部とを含む、高開口数の広スペクトル域カタディオプトリック光学システム。
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