JP2005115087A - フラットパネルディスプレイ及びその製造方法 - Google Patents

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Ryoji Hori
良治 堀
Masahiro Miura
雅博 三浦
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Abstract

【課題】 耐候性及び耐熱性に優れ、高精細な表示を実現することができると共に曲面に適用することができるフラットパネルディスプレイを提供する。
【解決手段】 液晶表示素子1は、一対のガラス基板11,12と、複数の透明電極13,16と、配向膜14,17と、ガラス基板11とガラス基板12を所定の間隔に保持するスペーサ18と、ガラス基板11,12の周縁部において、ガラス基板11,12を気密に接合して、その内部に液晶21を封入するシール層20とを備える。ガラス基板11,12は、ソーダライムガラス製で、外形寸法が、例えば35mm×45mmで、厚さt(mm)が0.2mmであり、曲率半径R(mm)がR≧1000t+80(0.05≦t≦0.2)の関係式を満たす280mmである曲面に屈曲される。
【選択図】 図1

Description

本発明は、フラットパネルディスプレイ及びその製造方法、特に、液晶表示素子及びその製造方法に関する。
フラットパネルディスプレイとしての液晶表示素子は、携帯電話、携帯情報端末、テレビ、パーソナルコンピュータ等のモニタ等の表示装置として用いられている。
この液晶表示素子は、所定の間隔保持のために配置されたスペーサを介して互いに対向していると共に、内側表面に透明電極や配向膜等が形成され、且つ外側表面に偏光フィルターが形成された一対の矩形のガラス基板と、一対のガラス基板の外周縁部において一対のガラス基板を気密に接合して液晶封入のための液晶封入領域を画成するシール層と、液晶封入領域に封入された液晶とから成る。
従来、液晶表示素子は平面上に設置されることが通常であったが、基板に樹脂(プラスティック)を使用することにより可撓性を具備するに至り、曲面上への適用も可能となった(例えば、特許文献1参照)。
特開平6−347772号公報
しかしながら、曲面への適用を図るために基板として使用されている樹脂は、一般的に、例えば、耐吸湿性、耐紫外線性等の耐候性及び耐熱性が低い。
よって、樹脂の吸湿性に起因して、基板が環境中の水分を吸湿して大きさが変化し、液晶表示素子に歪みが生じることによって発生する液晶表示ムラや、樹脂の紫外線劣化に起因する透過率の低下によって発生する液晶表示のコントラストの低下や、樹脂の熱膨張に起因し、特に表側の樹脂基板よりもバックライト側の樹脂基板が熱膨張する透過型液晶表示素子において顕著に見られる液晶表示ムラや、樹脂の耐熱性が低いことに起因して、一般的に製膜温度が高い低抵抗の透明電極(ITO膜)を基板表面に形成することが困難であるため、高精細パネルの実現することができないことや、樹脂と反射防止(AR)機能を有する薄膜との密着性が悪いことに起因して、反射防止機能を持たせようとすると、反射防止機能を有するシートを貼り付ける必要があり、反射防止機能の付加が困難であること等の問題点があった。
本発明の目的は、耐候性及び耐熱性に優れ、高精細な表示を実現することができると共に曲面に適用することができるフラットパネルディスプレイを提供するものである。
上記目的を達成するために、請求項1記載のフラットパネルディスプレイは、所定の間隔で互いに対向する一対の基板と、該一対の基板の間に形成された表示部とを備えたフラットパネルディスプレイにおいて、前記一対の基板は、少なくとも一方が厚さ0.2mm以下のガラス基板であることを特徴とする。
請求項2記載のフラットパネルディスプレイは、請求項1記載のフラットパネルディスプレイにおいて、前記ガラス基板は、曲率半径R(mm)が、前記ガラス基板の厚さt(mm)に関して、R≧1000t+80(0.05≦t≦0.2)で表わされる曲面に屈曲されることを特徴とする。
請求項3記載のフラットパネルディスプレイは、請求項1又は2記載のフラットパネルディスプレイにおいて、前記ガラス基板は、厚さが0.3〜1.1mmのガラス板を厚さが0.2mm以下となるまでエッチングすることにより形成されることを特徴とする。
請求項4記載のフラットパネルディスプレイは、請求項3記載のフラットパネルディスプレイにおいて、前記ガラス基板は、厚さが0.3〜0.5mmのガラス板を厚さが0.2mm以下となるまでエッチングすることにより形成されることを特徴とする。
請求項5記載のフラットパネルディスプレイは、請求項1乃至4のいずれか1項に記載のフラットパネルディスプレイにおいて、液晶表示素子であることを特徴とする。
請求項6記載のフラットパネルディスプレイの製造方法は、所定の間隔で互いに対向し、少なくとも一方がガラス基板である一対の基板と、該一対の基板の間に形成された表示部とを備えたフラットパネルディスプレイの製造方法において、前記ガラス基板を形成すべく、厚さが0.3〜1.1mmのガラス板を厚さが0.2mm以下となるまでエッチングするエッチングステップを備えることを特徴とする。
請求項7記載のフラットパネルディスプレイの製造方法は、請求項6記載のフラットパネルディスプレイの製造方法において、所定の間隔で互いに対向し、少なくとも一方がガラス基板である一対の基板と、該一対の基板の間に形成された表示部とを備えたフラットパネルディスプレイの製造方法において、前記ガラス基板を形成すべく、厚さが0.3〜0.5mmのガラス板を厚さが0.2mm以下となるまでエッチングするエッチングステップを備えることを特徴とする。
請求項8記載のフラットパネルディスプレイの製造方法は、請求項6又は7記載のフラットパネルディスプレイの製造方法において、前記ガラス基板を、曲率半径R(mm)が、前記ガラス基板の厚さt(mm)に関して、R≧1000t+80(0.05≦t≦0.2)で表わされる曲面に屈曲する屈曲ステップをさらに備えることを特徴とする。
請求項9記載のフラットパネルディスプレイの製造方法は、請求項6乃至8のいずれか1項に記載のフラットパネルディスプレイの製造方法において、前記フラットパネルディスプレイは液晶表示素子であることを特徴とする。
請求項1記載のフラットパネルディスプレイによれば、一対の基板は少なくとも一方が厚さ0.2mm以下のガラス基板であるので、耐候性及び耐熱性に優れ、高精細な表示を実現することができると共に曲面に適用することができる。
請求項2記載のフラットパネルディスプレイによれば、ガラス基板は、曲率半径R(mm)が、前記ガラス基板の厚さt(mm)に関して、R≧1000t+80(0.05≦t≦0.2)で表わされる曲面に屈曲されるので、ガラス基板は破損することなく曲面状態を維持することができる。
請求項3記載のフラットパネルディスプレイによれば、ガラス基板は厚さが0.3〜1.1mmのガラス板をエッチングすることにより形成されるので、エッチング量を減少することができ、もってエッチングによるガラス表面の荒れを防止することができると共にコストを削減することができる。
請求項4記載のフラットパネルディスプレイによれば、ガラス基板は厚さが0.3〜0.5mmのガラス板をエッチングすることにより形成されるので、エッチング量を減少することができ、もってエッチングによるガラス表面の荒れを確実に防止することができると共にコストを確実に削減することができる。
請求項6記載のフラットパネルディスプレイの製造方法によれば、厚さが0.3〜1.1mmであるガラス板を厚さが0.2mm以下となるまでエッチングするので、エッチング量を減少することができ、もってエッチングによるガラス表面の荒れを防止することができると共にコストを削減することができる。
請求項7記載のフラットパネルディスプレイの製造方法によれば、厚さが0.3〜0.5mmであるガラス板を厚さが0.2mm以下となるまでエッチングするので、エッチング量を確実に減少することができ、もってエッチングによるガラス表面の荒れを確実に防止することができると共にコストを確実に削減することができる。
請求項8記載のフラットパネルディスプレイの製造方法によれば、ガラス基板を曲率半径R(mm)が、前記ガラス基板の厚さt(mm)に関して、R≧1000t+80(0.05≦t≦0.2)で表わされる曲面に屈曲するので、ガラス基板を破損することなく曲面状態を維持して筐体に組み込むことができる。
本発明者は、上記目的を達成すべく鋭意研究を行った結果、所定の間隔で互いに対向する一対の基板と、一対の基板の間に形成された表示部とを備えたフラットパネルディスプレイにおいて、一対の基板は、少なくとも一方が厚さ0.2mm以下のガラス基板であると、耐候性及び耐熱性に優れ、高精細な表示を実現することができると共に曲面に適用することができることを見出した。
また、本発明者は、ガラス基板は、曲率半径R(mm)が、ガラス基板の厚さt(mm)に関して、R≧1000t+80(0.05≦t≦0.2)で表わされる曲面に屈曲されると、ガラス基板は破損することなく曲面状態を維持することができることを見出した。
また、本発明者は、所定の間隔で互いに対向し、少なくとも一方がガラス基板である一対の基板と、一対の基板の間に形成された表示部とを備えたフラットパネルディスプレイの製造方法において、ガラス基板を形成すべく、厚さが0.3〜1.1mm、好ましくは0.3〜0.5mmのガラス板を厚さが0.2mm以下となるまでエッチングするエッチングステップを備えると、エッチング量を減少することができ、もってエッチングによるガラス表面の荒れを防止することができると共にコストを削減することができることを見出した。
本発明は、上記研究の結果に基づいてなされたものである。
以下、本発明の実施の形態に係るフラットパネルディスプレイを図面を参照しながら説明する。
図1は、本発明の実施の形態に係るフラットパネルディスプレイの断面図である。
図1において、本発明の実施の形態に係るフラットパネルディスプレイとしての液晶表示素子1は、パッシブ駆動のTN・STNモードの表示モードに適用されるものであり、この液晶表示素子1は、一対のガラス基板11,12と、ガラス基板11の内側表面に配列されると共にITO膜から成るストリップ状の複数の透明電極13と、透明電極13の上に形成された配向膜14と、ガラス基板12の内側表面に配列されると共にITO膜から成るストリップ状の複数の透明電極16と、透明電極16の上に形成された配向膜17と、配向膜14及び配向膜17の間に互いに等間隔に配設され、ガラス基板11とガラス基板12を所定の間隔に保持する球状のスペーサ18と、ガラス基板11,12の周縁部においてスペーサ18の外側に形成され、ガラス基板11,12を気密に接合して、その内部に液晶封入領域19を画成するシール層20とを備える。液晶封入領域19には、液晶21が封入されている。
透明電極13と透明電極16は互いに直交して配列されて、画像を表示するマトリックス状の画素電極を構成し、配向膜14と配向膜17は、液晶分子が90°〜270°ツイストするようなラビング処理が施されている。また、シール層20のシール材としては、例えばガラス基板11,12のエッチング選択比が高いエポキシ樹脂系接着剤等を用いる。
液晶表示素子1は、さらに、ガラス基板11の外側表面に貼着された偏光フィルター22と、ガラス基板12の外側表面に貼着された偏光フィルター23とを備える。
シール層20には、液晶封入領域19内に液晶21を封入するための図示しない開口部が形成されている。シール層20の開口部は、液晶封入領域19内に液晶21が封入された後に図示しない封止部材により封止されている。
ガラス基板11,12は、ソーダライムガラス製で、外形寸法が、例えば35mm×45mmで、厚さが0.2mmであり、図2に示すように後述する曲率半径R(mm)を有する曲面に屈曲される。
図3は、図2の液晶表示素子1におけるガラス基板11,12の厚さt(mm)と曲率半径R(mm)との関係を示すグラフである。
図3において、縦軸がガラス基板11,12の曲率半径R(mm)を、横軸がガラス基板11,12の厚さt(mm)を夫々示す。
また、斜線が施された範囲は、R≧1000t+80(0.05≦t≦0.2)の範囲であり、ガラス基板11,12の厚さt(mm)と曲率半径R(mm)とがこの範囲内であれば、ガラス基板11,12は破損することなく、曲面状態を維持することができる。
また、上記斜線が施された範囲を区画するR=1000t+80の関係式は、図3において黒丸で示された合計16条件でガラス基板11,12の屈曲実験を行うことにより得られた。この屈曲実験の結果を以下の表1に示す。
Figure 2005115087
表1において、○は屈曲状態でクラック等の破損がないことを示し、×は屈曲時にクラック等の破損が発生したことを示す。
表1に示された屈曲実験の結果により、ガラス基板11,12の厚さt(mm)と曲率半径R(mm)とが図3における斜線が施された範囲内、即ち、R≧1000t+80(0.05≦t≦0.2)の関係式を満たす範囲内であれば、ガラス基板11,12は破損することなく、曲面状態を維持することができることが確かめられた。
図1の液晶表示素子1の製造方法を図面を参照しながら説明する。
まず、図5及び図6に示すように、外形寸法が、例えば200mm×160mmで、厚さが、例えば0.3mmであり、液晶表示素子1のほぼ12個分の面積を有するソーダライムガラス製の一対のガラス板31,32を作製する。
ガラス板31に液晶表示素子1のガラス基板11の1つに対応する素子区画33を3行×4列のマトリックス状に規定する。また、ガラス板32に液晶表示素子1のガラス基板12に対応する素子区画34をガラス板31の素子区画33に対応するように夫々規定する。
ガラス板31の一方の面、本実施の形態においては内側表面上に、各素子区画33において、透明電極13及び配向膜14を夫々形成する。透明電極13は、スパッタ法により形成されたITO膜をフォトエッチングによりパターニングして形成され、配向膜14は、透明電極13上にポリイミド薄膜を積層し、このポリイミド薄膜にラビング処理を施して形成される。
ガラス板32の一方の面、本実施の形態においては内側表面上の各素子区画34においても、上述したように、透明電極16、及び配向膜17を夫々形成する。
ガラス板31,32のいずれか一方、本実施の形態においてはガラス板32の内側表面上において、各素子区画34内の液晶表示素子1のシール層20に対応する位置にシール材をスクリーン印刷法等の方法で印刷することによりシール層20を形成する(図6)。シール層20を形成するときには、後述する図4の液晶表示素子多面取り用ガラス板体30において開口部2を形成するようにその一部にシール材が印刷されていない開口部43を形成する。
ガラス板32の内側表面に、開口部2を形成するように開口部43の両端から列方向にシール層44を形成する。シール層44は、シール層20と同じシール材から成り、シール層20と同様にスクリーン印刷法等により形成される。
ガラス板32の内側表面周縁部に、全ての素子区画34をその内側に囲い、シール層20,44に対して所定の間隔をあけて外周シール層35を形成する。外周シール層35は、ガラス板31,32のエッチング選択比が高いエポキシ樹脂系接着剤等から成り、スクリーン印刷法等により形成される。外周シール層35を形成するときには、ガラス板32の上端側の一部においてシール材が印刷されていない開口部45を形成する。開口部45は、後述するように、ガラス板31とガラス板32が接合されたときにガラス板31,32の内部と外部とを連通する。
ガラス板31,32を所定の間隔に保持するために、ガラス板31に直径5〜9μmの球状のスペーサ18を10〜200個/mmの密度で配設する。
ガラス板31とガラス板32を、素子区画33とこれに対応する素子区画34とが互いに対向するように重ね合わせ、シール層20,44及び外周シール層35を熱硬化又はUV硬化することにより接合して図1の液晶表示素子1に対応する液晶表示素子部1’(表示素子部)を12個作製し(図4)、次いで、開口部45を、ガラス板31,32とのエッチング選択比が高いエポキシ樹脂系やアリル樹脂系の接着剤等の封止部材46により封止する。
各液晶表示素子部1’には、ガラス板31,32の各内側表面と各シール層20により、液晶表示素子1の液晶封入領域19が画成されると共に、ガラス板31,32の各内側表面とシール層44により、開口部2が形成され、液晶表示素子部1’の各液晶封入領域19は、外部と夫々連通される。
上述のように、ガラス板31,32を接合するときに、ガラス板31,32の内部は、開口部2及び開口部45を介して外部に連通しているので、ガラス板31,32間の圧力が高くなることはなく、ガラス板31,32をその全域にわたって均一な間隔で接合することができる。
次いで、接合された一対のガラス板31,32を弗酸が主成分のエッチング液内に所定時間浸漬させ、ガラス板31,32の各外側表面にエッチング処理を施した後に、接合された一対のガラス板31,32をエッチング液内から取り出し、速やかに洗浄して、ガラス板31,32に付着したエッチング液を完全に除去し、液晶表示素子多面取り用ガラス板体30を作製する(図4)。ガラス板31,32は、各外側表面がエッチングされることにより、それらの厚さが0.3mmから0.2mmになっている。接合された一対のガラス板31,32をエッチング液内に浸漬させる時間は、エッチングにより除去したいガラス板31,32の厚さにより決定され、この浸漬時間を制御することによりガラス板31,32の厚さを任意に調整することができる。接合された一対のガラス板31,32にエッチング処理を行うときは、エッチング液に対してバブリングを行ったり、基板を所定の振動数で揺動させたりすることによって、基板表面に液流を発生させる。これにより、エッチングの際に析出する弗化物や、エッチングによりガラス板31,32から溶け出したシリカが、ガラス板31,32の各外側表面に再付着することを効果的に防止することができると共に、ガラス板31,32の各外側表面を平坦且つ滑らかにすることができる。
次いで、液晶表示素子部1’の開口部2側の端辺に沿った行方向切断線47(図4)に沿って液晶表示素子多面取り用ガラス板体30を切断し、行方向に液晶表示素子部1’が並んだ行方向素子集合体に分割する。これにより、液晶表示素子部1’の各開口部2が表出する。各行方向素子集合体を液晶表示素子部1’毎に切断し、各液晶封入領域19内を減圧し、開口部2を介して各液晶封入領域19内に液晶21を注入し、各開口部2を図1の液晶表示素子1の図示しない封止部材により封止し、切断されたガラス板31の外側表面に偏光フィルター22を、切断されたガラス板32の外側表面に偏光フィルター23を夫々貼着して、液晶表示素子1を作製する。さらに、作製された液晶表示素子1を曲率半径Rが280mmである曲面に屈曲して、モニター等の筐体に組み込む。
上記接合された一対のガラス板31,32をエッチングするときに用いるエッチング液は、弗酸を主成分とし、硫酸、酢酸、及びドデシルベンゼンスルフォン酸ナトリウムを含むエッチング液であり、その組成は、弗酸が、例えば10質量%、硫酸が、例えば3質量%、酢酸が、例えば0.5質量%、ドデシルベンゼンスルフォン酸ナトリウムが、例えば0.2質量%である。
本発明の実施の形態によれば、基板として厚さ0.2mmのガラス基板11,12を使用しているので、耐候性及び耐熱性に優れ、高精細な表示を実現することができると共に曲面に適用することができる。即ち、吸湿性が低いというガラスの特質から、基板の大きさの変化に起因する液晶表示ムラを防止することができ、紫外線劣化が少ないというガラスの特質から、透過率の低下に起因する低液晶表示のコントラストの低下を防止することができ、熱膨張率が低いというガラスの特質から、液晶表示素子の歪みに起因する液晶表示ムラを防止することができ、300℃以上の熱に対しても熱変形しにくいというガラスの特質から、製膜温度が300℃以上である低抵抗値の透明電極(ITO膜)をガラス表面に形成して高精細パネルを実現することができ、反射防止(AR)機能を有する薄膜との密着性が高いというガラスの特質から、反射防止(AR)機能を有する薄膜をディッピング等により容易に付着させることができる。
本発明の実施の形態によれば、ガラス基板11,12は、曲率半径R(mm)がR≧1000t+80(0.05≦t≦0.2)の関係式を満たす280mmである曲面に屈曲されるので、ガラス基板11,12は破損することなく、曲面状態を維持することができる。
本発明の実施の形態によれば、厚さが0.3mmであるガラス板31,32を厚さが0.2mmとなるまでエッチングしてガラス基板11,12を形成するので、エッチング量を減少することができ、もってエッチングによるガラス表面の荒れを防止することができると共にコストを削減することができる。
本発明の実施の形態では、液晶表示素子1は、パッシブ駆動のTN・STNモードの表示モードに適用するものとしたが、用途がこれに限定されるものではなく、他の表示モードにも適用可能であり、また、ガラス基板を2枚貼り合わせる構造の液晶表示素子、例えば、高分子分散型の液晶表示素子やアクティブ素子(TFT、TFD等)を有する液晶表示素子等としても適用可能である。
本発明の実施の形態では、基板としてガラス基板11,12を使用しているが、これに限定されるものではなく、いずれか一方がガラス基板であれば、他方がプラスティック等の樹脂であってもよい。
本発明の実施の形態では、ガラス基板11,12は、厚さが0.2mmであるとしたが、ガラス基板11,12はこれに限るものではなく、ガラス基板11,12は、厚さが0.2mm以下であればよい。
本発明の実施の形態では、ガラス板31,32は厚さが0.3mmであるとしたが、ガラス板31,32はこれに限定されるものではなく、厚さが0.3〜1.1mmのものであってもよいが、エッチング量を少なくするためには0.3〜0.5mmのものが好ましい。
本発明の実施の形態では、ガラス基板11,12は、シール層20,44及び外部シール層35により接合された一対のガラス板31,32をエッチングすることによって形成されたものであるが、これに限定されるものではなく、機械的な研磨等によって形成されたものであってよい。
本発明の実施の形態では、弗酸を主成分とし、硫酸、酢酸、及びドデシルベンゼンスルフォン酸ナトリウムを含み、弗酸が10質量%、硫酸が3質量%、酢酸が0.5質量%、ドデシルベンゼンスルフォン酸ナトリウムが0.2質量%の組成のエッチング液を用いているが、これに限るものではなく、他の組成であってもよい。但し、弗酸が25wt%以下であることが望ましい。また、エッチング処理の工程は上記工程に限るものではない。
本発明の実施の形態では、シール層20等が形成されていないガラス板31にスペーサ18を配設したが、これに限定されるものではなく、シール層20等が形成されたガラス板32にスペーサ18を配設してもよい。
本発明の実施の形態では、ガラス基板11,12はソーダライムガラス製としたが、ガラス基板11,12はこれに限るものではない。
本発明の実施の形態では、液晶表示素子1は、液晶表示素子多面取り用ガラス板体30を分割することにより、複数作製するものとしたが、液晶表示素子1の製造方法はこれに限るものではなく、液晶表示素子1の単体を製造するものであってもよい。
本発明の実施の形態では、液晶表示素子1の形状及び構成は、上記に限るものではなく、また、液晶表示素子多面取り用ガラス板体30の形状及び構成は、上記に限るものではない。
本発明の実施の形態に係るフラットパネルディスプレイの断面図である。 図1の液晶表示素子1が屈曲している状態を示す状態図である。 図2の液晶表示素子1におけるガラス基板11,12の厚さt(mm)と曲率半径R(mm)との関係を示すグラフである。 図1の液晶表示素子1の多面取り用ガラス板体の平面図である。 図4におけるガラス板31の内側表面の断面図である。 図4におけるガラス板32の内側表面の断面図である。
符号の説明
1 液晶表示素子
2 開口部
11,12 ガラス基板
13,16 透明電極
14,17 配向膜
18 スペーサ
19 液晶封入領域
20 シール層
21 液晶
31,32 ガラス板

Claims (9)

  1. 所定の間隔で互いに対向する一対の基板と、該一対の基板の間に形成された表示部とを備えたフラットパネルディスプレイにおいて、前記一対の基板は、少なくとも一方が厚さ0.2mm以下のガラス基板であることを特徴とするフラットパネルディスプレイ。
  2. 前記ガラス基板は、曲率半径R(mm)が、前記ガラス基板の厚さt(mm)に関して、
    R≧1000t+80(0.05≦t≦0.2)
    で表わされる曲面に屈曲されることを特徴とする請求項1記載のフラットパネルディスプレイ。
  3. 前記ガラス基板は、厚さが0.3〜1.1mmのガラス板を厚さが0.2mm以下となるまでエッチングすることにより形成されることを特徴とする請求項1又は2記載のフラットパネルディスプレイ。
  4. 前記ガラス基板は、厚さが0.3〜0.5mmのガラス板を厚さが0.2mm以下となるまでエッチングすることにより形成されることを特徴とする請求項3記載のフラットパネルディスプレイ。
  5. 液晶表示素子であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のフラットパネルディスプレイ。
  6. 所定の間隔で互いに対向し、少なくとも一方がガラス基板である一対の基板と、該一対の基板の間に形成された表示部とを備えたフラットパネルディスプレイの製造方法において、前記ガラス基板を形成すべく、厚さが0.3〜1.1mmのガラス板を厚さが0.2mm以下となるまでエッチングするエッチングステップを備えることを特徴とするフラットパネルディスプレイの製造方法。
  7. 所定の間隔で互いに対向し、少なくとも一方がガラス基板である一対の基板と、該一対の基板の間に形成された表示部とを備えたフラットパネルディスプレイの製造方法において、前記ガラス基板を形成すべく、厚さが0.3〜0.5mmのガラス板を厚さが0.2mm以下となるまでエッチングするエッチングステップを備えることを特徴とする請求項6記載のフラットパネルディスプレイの製造方法。
  8. 前記ガラス基板を、曲率半径R(mm)が、前記ガラス基板の厚さt(mm)に関して、
    R≧1000t+80(0.05≦t≦0.2)
    で表わされる曲面に屈曲する屈曲ステップをさらに備えることを特徴とする請求項6又は7記載のフラットパネルディスプレイの製造方法。
  9. 前記フラットパネルディスプレイは液晶表示素子であることを特徴とする請求項6乃至8のいずれか1項に記載のフラットパネルディスプレイの製造方法。
JP2003349928A 2003-10-08 2003-10-08 フラットパネルディスプレイ及びその製造方法 Pending JP2005115087A (ja)

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