JP2005114475A - 膜構造解析方法およびその装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 X線反射率測定で得られた測定データに対してシミュレーション演算データをフィッティングすることにより膜構造を解析する膜構造解析においてフィッティングによる解析結果が局所解に陥ることを防止し、高い精度での膜構造解析結果を得ることを可能とする膜構造解析方法とその装置。
【選択図】 図1
Description
そして、この出願の発明は、第3に、単層膜または多層膜からなる膜試料の構造をX線反射率測定法により解析する膜構造解析装置において、同一の膜試料を分解能およびダイナミックレンジのうちの少なくともいずれかの条件が異なる測定条件により測定した複数の測定データを同時に解析することにより膜構造を決定することを特徴とする膜構造解析装置を提供する。
1. 基板を含む薄膜の層構造のモデルを作成する。
2. 測定データとシミュレーション演算データに対して、臨界角より低角度での最大強度を一致させる。
3. 測定データの強度とモデルのバックグランドの強度を一致させる。
4. モデルのパラメータの中で固定するものを決定する。多くの場合は、基板は既知であるので、その密度を固定する。また、膜厚と密度などのその他のパラメータで既知のものがあれば定数化しておく。
5. 目視のレベルで測定データとシミュレーション演算データが一致するように、パラメータを手動で決定する。
6. 自動のフィッティングを実行する。
7. 測定データとシミュレーション演算データとの差異が最小となったときのパラメータの値を最適値として求められる。このとき、最小二乗和の残差が少数2桁以下(10−2のオーダ)になれば、かなりの精度でフィッティングできていると判断される。
Claims (4)
- 単層膜または多層膜からなる膜試料の構造をX線反射率測定法により解析する膜構造解析方法において、同一の膜試料を分解能およびダイナミックレンジのうちの少なくともいずれかの条件が異なる測定条件により測定した複数の測定データを同時に解析することにより膜構造を決定することを特徴とする膜構造解析方法。
- 単層膜または多層膜からなる膜試料の表面に対する臨界角近傍の角度からのX線入射により得られる測定データに対し、少なくとも1個以上の試料の物性を示すパラメータを変化させて行うシミュレーション演算により得られるシミュレーション演算データをフィッティングして測定データとシミュレーション演算データとの差異が最小となったときのパラメータの値を最適値として求め、膜試料の構造を決定する膜構造解析方法において、高分解能のX線を膜試料に照射することにより得られる第1の測定データと、低分解能のX線を膜試料に照射することにより得られる第2の測定データとに対して、それぞれシミュレーション演算データを同時にフィッティングすることを特徴とする膜構造解析方法。
- 単層膜または多層膜からなる膜試料の構造をX線反射率測定法により解析する膜構造解析装置において、同一の膜試料を分解能およびダイナミックレンジのうちの少なくともいずれかの条件が異なる測定条件により測定した複数の測定データを同時に解析することにより膜構造を決定することを特徴とする膜構造解析装置。
- 単層膜または多層膜からなる膜試料の表面に対する臨界角近傍の角度からのX線入射により得られる測定データに対し、少なくとも1個以上の試料の物性を示すパラメータを変化させて行うシミュレーション演算により得られるシミュレーション演算データをフィッティングして測定データとシミュレーション演算データとの差異が最小となったときのパラメータの値を最適値として求め、膜試料の構造を決定する膜構造解析装置において、高分解能のX線を膜試料に照射することにより得られる第1の測定データと、低分解能のX線を膜試料に照射することにより得られる第2の測定データとに対して、それぞれシミュレーション演算データを同時にフィッティングすることを特徴とする膜構造解析装置。
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