JP2005108375A - ディスク状記録媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】２層以上の情報層を有するディスク状記録媒体を製造する際に、記録面に挟まれるスぺーサ層の膜厚むらの発生を抑え、膜厚の均一性のよいスぺーサ層を形成できる製造方法を提供する。
【解決手段】ディスク状基体上に形成された第１情報層の内周部にエネルギ線硬化性樹脂１３を塗布してから、ディスク状基体１１に対し転写面１５を有するスタンパ部材１４を対向させるようにして配置し、ディスク状基体とスタンパ部材との間でエネルギ線硬化性樹脂をスピンコートするためディスク状基体を回転させ、ディスク状基体を回転しながら内周側から外周側に向けて照射範囲が拡がるようにエネルギ線硬化性樹脂にエネルギ線を照射する。エネルギ線を照射する工程において、ディスク状基体上の内周側でエネルギ線硬化性樹脂が所定の膜厚になる回転数を保持してからエネルギ線の照射を開始し、その後段階的に回転数及び照射範囲を変化させる。
【選択図】図１

Description

本発明は、片面２層以上の情報層を有するディスク状記録媒体の製造方法に関するものである。

従来の片面２層光ディスクとしてＤＶＤ−９が存在し、例えば下記特許文献１に記載のようにスペーサ層の両側に情報層を形成したものが知られている。ＤＶＤの記録再生系は、ＮＡ＝０．６であることから、片面２層光ディスクのスぺーサ層の膜厚分布は５５±１５μｍと膜厚分布に関しては非常にマージンが大きい。このため、下記特許文献２に記載のように、光学記録媒体を構成する基板と情報面を形成するスタンパとを紫外線硬化性の液体接着剤を挟んで重ね合わせスピンコートによって振り切り後、紫外線照射によって接着剤を硬化させるだけでよかった。この従来の方法により、例えば２５μｍ厚のスぺーサ層を形成すると、内周部平均は２２μｍであり、外周平均で２９μｍであり、膜厚の分布が７μｍになってしまう。

しかし、最近、実用化されたブルーレイ(Blu-ray)ディスクでは、記録再生系がＮＡ＝０．８５と大きいことから、ＤＶＤと同等の機械特性を得るためには基板の厚さで１００±２μｍとすることが必要である。また、ブルーレイ(Blu-ray)ディスクの２層タイプの場合も、光入射面から手前の情報層までの光透過層の膜厚分布が±２μｍ以内にすることが必要であり、かつ、奥の情報層までの光透過層にスぺーサ層を加えた膜厚分布も±２μｍ以内にする必要がある。よって、光透過層及びスペーサ層のそれぞれに優れた均一性が求められている。

また、ブルーレイ(Blu-ray)ディスクの製造には、従来のＤＶＤ−９に比べ格段に精度の高い膜厚分布のコントロールが必要とされている。片面２層以上の情報層を有するブルーレイディスクでは、２つの情報層に挟まれるスぺーサ層に膜厚むらが存在すると、記録再生または再生に影響を与えてしまうので、片面２層以上の情報層を有するブルーレイディスクのスぺーサ層の膜厚には優れた均一性が求められている。

一方、下記特許文献３は、光ディスクの光透過層を精度良く短時間に形成するために、ディスク状基板を中心付近に液状の紫外線硬化樹脂を滴下し回転させ、その遠心力で紫外線硬化樹脂を中心側から外周側まで全体に拡散させ、中心側から外周側まで全体に拡散された紫外線硬化樹脂に紫外線スポット光を回転している基板の中心側から外周側へ照射して紫外線硬化樹脂を中心側から外周側へ所定の厚さに順次硬化させることを開示するが、具体的に、どのようにして所定の厚さに硬化させるかは開示しない。

また、下記特許文献４は、光ディスクの光透過層の厚さを基板全面にわたって均一にするために、光硬化樹脂をスピン塗布した後に、ディスク状基板の最外周部に発生する光硬化樹脂の盛り上がり部分光が照射されないように樹脂盛り上がり部分をマスクにより覆い、光硬化樹脂に光を照射し樹脂盛り上がり部分以外の部分の光硬化樹脂を硬化させ、基板を再び回転させて樹脂盛り上がり部分の光硬化樹脂を除去し、除去した後に残った光硬化樹脂に光を照射し、この光硬化樹脂を硬化させることを開示するが、最外周部での光硬化樹脂の盛り上がりに対する対策であり、内周から外周まで厚さの均一性を確保するものではない。
特公平８−２３９４１号公報 特開平９−１６１３２９号公報 特開平９−１６１３３３号公報 特開平１１−７３６９１号公報

本発明は、上述のような従来技術の問題に鑑み、２層以上の情報層を有するディスク状記録媒体を製造する際に、それらの情報層に挟まれるスぺーサ層の膜厚むらの発生を抑え、膜厚の均一性のよいスぺーサ層を形成できるディスク状記録媒体の製造方法を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明者等による鋭意研究の結果、次のような知見を得た。即ち、スピンコートにより形成される紫外線硬化性樹脂の膜厚は、基本的に内周が薄く外周で厚くなる傾向があるが、振り切り時間を長くすると、内周から外周に向けて勾配をもったまま徐々に薄くなっていく。このため、内周から外周へと部分的に見ていくと、内周２５μｍ、中周２５μｍ、外周２５μｍとなる時間が存在する。よって、紫外線硬化性樹脂の膜厚が内周で２５μｍになったときに内周のみ紫外線を照射して硬化し、次に中周で２５μｍとなったときに紫外線を照射して硬化し、そして外周へと順に硬化させた結果を図５（ａ）、（ｂ）に示す。

即ち、図５（ｂ）のように、回転数を大きくし高速回転で紫外線光源の照射範囲を内周から外周へとを拡げながらタイミングをとって照射することで、図５（ａ）のようなスぺーサ層の膜厚分布を得ることができ、膜厚分布としては、±２μｍ程度に収まってきたが、もう一層積層して±２μｍに収めることは難しい。

そこで、次に、図５（ａ）の範囲ｄのように膜厚が厚くなって変化している部分は紫外線照射を遅くして膜厚を薄くし、同じく範囲ｂ、ｃのように比較的平らな部分は薄くならないようにすばやく硬化させ、同じく範囲ａのように薄くなってい部分もそれ以上薄くならないようにすばやく硬化させるように図６（ｂ）に示すパターンでスピンコートを行い紫外線硬化を行った。

その結果、図６（ａ）のような膜厚分布を得ることができ、内周２２ｍｍから半径４８ｍｍ位までは膜厚分布±１μｍという高精度な均一性が得られたが、外周で膜厚が薄くなってしまった。これは、樹脂が内周部から硬化しているため、流動性がなくなり、樹脂の供給が無くなったことから、外周は薄くなってしまうからと考えられる。このため、外周が薄くなるのを抑えるためには、樹脂振り切りのときの回転を低速にし、遠心力が働かないようにする必要がある。よって、膜厚が薄くなる部分では回転数を極端に落とすと同時に、すばやく硬化させる必要がある。

以上の考えに基づいて半径４０ｍｍ程度以上の外周では回転数をかなり小さくするような図７（ｂ）に示すパターンでスピンコートを行い紫外線硬化を行った。その結果、図７（ａ）のような膜厚分布を得ることができ、内周から外周まで２５±１μｍと膜厚分布が均一なスぺーサ層を形成できることが判明した。

本発明は、以上のような本発明者等が得た知見に基づいてなされたものである。即ち、本発明による第１のディスク状記録媒体の製造方法は、ディスク状基体上に形成された第１情報層の内周部にエネルギ線硬化性樹脂を塗布してから前記ディスク状基体に対し転写面を有するスタンパ部材を対向させるようにして配置する工程と、前記ディスク状基体と前記スタンパ部材との間で前記エネルギ線硬化性樹脂をスピンコートするため前記ディスク状基体を回転させる工程と、前記ディスク状基体を回転しながら前記ディスク状基体の内周側から外周側に向けて照射範囲が拡がるように前記エネルギ線硬化性樹脂にエネルギ線を照射する工程と、前記エネルギ線照射により前記エネルギ線硬化性樹脂から形成されたスペーサ層を前記ディスク状基体に残して前記スタンパ部材を剥離する工程と、前記スタンパ部材の転写面から転写された前記スペーサ層の表面に第２情報層を形成する工程と、前記スペーサ層の第２情報層上に光透過層を形成する工程と、を含み、前記エネルギ線照射工程において前記ディスク状基体上の内周側で前記エネルギ線硬化性樹脂が所定の膜厚になる回転数を保持してから前記エネルギ線の照射を開始し、その後段階的に前記回転数及び前記照射範囲を変化させることを特徴とする。

上記第１のディスク状記録媒体の製造方法によれば、エネルギ線硬化性樹脂をスピンコートしエネルギ線を照射する際に、ディスク状基体上の内周側でエネルギ線硬化性樹脂が所定の膜厚になる回転数を保持することで、その所定の膜厚にしてから、エネルギ線の照射を開始し、その後段階的に回転数及び照射範囲を変化させることにより、エネルギ線硬化性樹脂が硬化して形成されるスぺーサ層の膜厚むらの発生を抑え、膜厚の均一性のよいスぺーサ層を形成できる。

本発明による第２のディスク状記録媒体の製造方法は、ディスク状基体上に形成された第１情報層の内周部にエネルギ線硬化性樹脂を塗布してから前記ディスク状基体に対し転写面を有するスタンパ部材を対向させるようにして配置する第１工程と、前記ディスク状基体と前記スタンパ部材との間で前記エネルギ線硬化性樹脂をスピンコートするため前記ディスク状基体を回転させる第２工程と、前記ディスク状基体を回転しながら前記ディスク状基体の内周側から外周側に向けて照射範囲が拡がるように前記エネルギ線硬化性樹脂にエネルギ線を照射する第３工程と、前記エネルギ線照射により前記エネルギ線硬化性樹脂から形成されたスペーサ層を前記ディスク状基体に残して前記スタンパ部材を剥離する第４工程と、前記スタンパ部材の転写面から転写された前記スペーサ層の表面に第２情報層を形成する第５工程と、を含み、前記第１スタンパ部材の転写面から転写された前記第１スペーサ層の第２情報層と第２スタンパ部材との間にエネルギ線硬化性樹脂で第２スペーサ層を形成するように前記第１工程乃至第５工程を繰り返し実行することで３層以上の情報層を形成し、前記各エネルギ線照射工程において前記ディスク状基体上の内周側で前記エネルギ線硬化性樹脂が所定の膜厚になる回転数を保持してから前記エネルギ線の照射を開始し、その後段階的に前記回転数及び前記照射範囲を変化させることを特徴とする。

上記第２のディスク状記録媒体の製造方法によれば、エネルギ線硬化性樹脂をスピンコートしエネルギ線を照射する際に、ディスク状基体上の内周側でエネルギ線硬化性樹脂が所定の膜厚になる回転数を保持することで、その所定の膜厚にしてから、エネルギ線の照射を開始し、その後段階的に回転数及び照射範囲を変化させることにより、エネルギ線硬化性樹脂が硬化して形成される各スぺーサ層の膜厚むらの発生を抑え、膜厚の均一性のよい各スぺーサ層を形成できる。

上記第２のディスク状記録媒体の製造方法において、最も外側に形成された前記スペーサ層の表面上に情報層を形成してから、その情報層上に光透過層を形成するようにできる。

上記第１及び第２のディスク状記録媒体の製造方法において、前記エネルギ線照射工程において前記ディスク状基体上の内周側で前記エネルギ線硬化性樹脂が所定の膜厚になる回転数を保持してから前記エネルギ線の照射を開始し、前記エネルギ線の照射範囲を変化させながら、前記保持した回転数をいったん低速にしてから高速にすることが好ましい。

また、前記回転数と前記エネルギ線が照射される半径方向における前記エネルギ線硬化性樹脂の膜厚との関係を予め取得し、この関係に基づいて前記半径方向の照射範囲における前記回転数を変化させることが好ましい。

また、前記半径方向の照射範囲が外周側のときに前記回転数を少なくすることが好ましい。また、前記半径方向の照射範囲が外周側のときに前記回転数を少なくした後、再び前記回転数を多くすることが好ましい。

本発明のディスク状記録媒体の製造方法によれば、２層または３層以上の情報層を有するディスク状記録媒体を製造する際に、それらの情報層に挟まれるスぺーサ層の膜厚むらの発生を抑え、膜厚の均一性のよいスぺーサ層を形成できる。

以下、本発明を実施するための最良の形態について図面を用いて説明する。

図１は本実施の形態における２層光ディスクの製造工程（ａ）乃至（ｃ）を示す側断面図である。図２は図１の工程（ｃ）の次に行われる２層光ディスクの製造工程（ａ）乃至（ｄ）を示す側断面図である。図３は図２の工程（ｄ）の次に行われる２層光ディスクの製造工程（ａ）乃至（ｆ）を示す側断面図である。図４は図２（ｂ）の紫外線光源に備えられた絞り機構の絞り口径の変動を示す平面図（ａ）及び絞り機構の各絞り口径を通して照射される紫外線の照射範囲を示す平面図（ｂ）である。

本実施の形態は片面２層タイプの光ディスクを製造する方法である。即ち、図１（ａ）に示すように、スピンコートのための回転ステージ２は回転軸１を介してモータ（図示省略）により回転されるように構成され、回転ステージ２の上面の中心にはディスク状基体１１を保持するために弾性変形可能な材料からなる弾性変形保持部材３が固定されている。また、ディスク状基体１１は記録・再生のための凹凸１１ａの形成された記録面１２上に情報層が形成されており、また、中心孔１１ｂを有する。

図１（ａ）のように、ディスク状基体１１を中心孔１１ｂから弾性変形させて細くなった弾性変形保持部材３に差し込んでから、弾性変形保持部材３を図の矢印方向に弾性復元させることでディスク状基体１１を中心孔１１ｂで弾性変形保持部材３により密着し保持することで回転ステージ２に固定する。

次に、図１（ｂ）のように、回転ステージ２を回転軸１を介してモータ（図示省略）で回転させながら、ディスク状基体１１の中心孔１１ｂと弾性変形保持部材３との境界近傍に紫外線硬化性樹脂をノズル４から吐出し、ディスク状基体１１の内周近傍に紫外線硬化性樹脂１３を塗布する。

次に、図１（ｃ）のように、記録・再生のための凹凸１４ａの形成された転写面１５を有する透光性のあるスタンパ部材１４をディスク状基体１１の中心孔１１ｂに合わせて弾性変形保持部材３に貫通させるようにしてディスク状基体１１と重ね合わせる。

スタンパ部材１４は、紫外線透過性がありかつ紫外線硬化性樹脂材料に対し剥離容易なオレフィン樹脂から形成され、その転写面１５がディスク状基体１１の記録面１２に対向するように配置される。なお、スタンパ部材１４は、ディスク状基体１１と同径でもよいが、剥離し易さを考慮すると、掴む部分を確保できるようにディスク状基体１１よりも大径の方が好ましい。

次に、回転軸１とともに回転ステージ２を回転させることで、図２（ａ）のように、ディスク状基体１１及びスタンパ部材１４を回転させ、記録面１２と転写面１５との間で紫外線硬化性樹脂１３を遠心力で内周から外周側に向けさせ外周端から振り切りスピンコートし、次に、図２（ｂ）のように、回転ステージ２でディスク状基体１１を回転させながら、スタンパ部材１４の上面１４ｂに向けて紫外線光源５から紫外線を照射する。

紫外線光源５は、図２（ｂ）の出射面５ａに図４（ａ）のような絞り機構１９を備える。絞り機構１９は複数枚の絞り羽根１９ａを駆動することで絞り口１９ｂの径を図４（ａ）の上から下のように小から大へと変えることができ、この絞り口１９ｂの口径の変化に伴い、ディスク状基体１１上における紫外線の照射範囲が図４（ｂ）の上から下へ内周側の小範囲２１、中周の中範囲２２，２３，外周の大範囲２４へと変わるようになっている。

図２（ｂ）における紫外線照射のとき、まず、スピンコートのために高速回転で紫外線硬化性樹脂を外周端から振り切り、図７（ｂ）に示すパターンで紫外線を照射する。即ち、高速回転のまま紫外線照射範囲を図４（ｂ）のような小範囲２１にし図７（ｂ）のように領域Ａでかなり短時間で紫外線を照射し、次に、図４（ｂ）のように回転数を少なくして中範囲２２，２３へと領域Ｂ、Ｃで比較的短時間で紫外線を照射し、次に、回転数をかなり少ない状態で中範囲２３から大範囲２４へと領域Ｄで時間をかけて紫外線を照射する。

上述のような紫外線照射により、ディスク状基体１１の記録面１２とスタンパ部材１４の転写面１５との間に介在する紫外線硬化性樹脂１３を硬化させることで膜厚２５μｍのスぺーサ層１３ａを形成するが、上述の図７（ｂ）に示すパターンでスピンコート及び紫外線硬化を行うことで、図７（ｂ）の各領域Ａ乃至Ｄに対応して図７（ａ）のような膜厚分布を得てスぺーサ層１３ａの膜厚分布が内周から外周まで２５±１μｍと膜厚むらを抑え均一になる。

具体的に説明すると、回転数４０００ｒｐｍで１１秒間スピンさせた後、シャッタは０．１秒で径６８ｍｍまで移動して紫外線照射を開始する。ついで、４０００ｒｐｍを０．３秒保持した後、０．３秒で回転数を３２００ｒｐｍまで低下させ、０．３秒保持する。その間、シャッタは０．５秒で径８４ｍｍまで移動し、０．１秒保持する。ついで、回転数を０．３秒で３２００ｒｐｍから１５０ｒｐｍに低下させ０．７秒保持する。その間、シャッタは０．１秒で径８６ｍｍから径９６ｍｍまで移動し０．５秒保持する。回転数を０．３秒で１５０ｒｐｍから４０００ｒｐｍまで上げ８．５秒保持する。このように回転数を急激に上げることによって、最外周部に発生する盛り上がりを防止することができる。その間、シャッタは８秒で径９６ｍｍから径１１６ｍｍまで移動し、１秒間紫外線を照射する。なお、紫外線は径６８ｍｍから照射を開始し、径１１６ｍｍまで連続照射している。

次に、図２（ｃ）のように、弾性変形保持部材３を矢印方向に弾性変形させ、ディスク状基体１１を中心孔１１ｂから取り去り、次に、図２（ｄ）のように、スタンパ部材１４をディスク状基体１１側にスペーサ層１３ａを残したままで剥離する。このスタンパ部材１４の剥離により、図２（ｄ）のように、スペーサ層１３ａの表面にスタンパ部材１４の転写面１５の凹凸１４ａが転写された記録面１３ｃが現れる。

次に、スぺーサ層１３ａの記録面１３ｃ上に２層目の情報層を形成した後、樹脂材料によりスピンコート法で光透過層１６をスぺーサ層１３ａ上に形成する。かかる光透過層１６のスピンコートによる形成について図３（ａ）乃至（ｆ）を参照して説明する。このスピンコートによる光透過層の形成には、本願の発明者の１人が先に特開２００１−３５１２７５公報で他の発明者とともに提案した方法を適用することが好ましい。

図３（ａ）に示すように、回転ステージ２上に、図２（ｄ）のスペーサ層１３ａの形成されたディスク状基体１１を載置する。ディスク状基体１１は中心孔１１ｂが回転ステージ２の環状の突起２１に填め込まれて固定される。次に、図３（ｂ）のように閉塞部３０により中心孔１１ｂを塞ぐ。図３（ａ）のように、閉塞部３０は、中心孔１１ｂを塞ぐための円板部３１と、その中央に一体化された支持軸３２と、中心孔１１ｂに対向する側において円板部３１に一体化された凸部３３とを有する。凸部３３を、突起２１の内周部に嵌合することにより、閉塞部３０は回転ステージ２に固定されるとともに、ディスク状基体１１と閉塞部３０との位置決めが行われる。

次に、図３（ｃ）に示すように、樹脂液７をノズル８から吐出し、支持軸３２の外周面に樹脂液７を供給する。このとき、回転ステージ２を比較的低速、好ましくは２０〜１００ｒｐｍで回転させ、円板部３１上に一様に樹脂液が行き渡るようにする。なお、かかる樹脂材料は特に限定されず、例えば、紫外線硬化性樹脂や熱硬化性樹脂を用いることができるが、前者の紫外線硬化性樹脂が好ましい。

次に、図３（ｄ）に示すように、回転ステージ２を比較的高速で回転させることにより樹脂液７を内周から外周側へスピンコートし、ディスク状基体１１のスペーサ１３ａ上に樹脂層５１が形成される。

この樹脂液のスピンコート時の回転数及び回転時間は、形成する樹脂層５１の厚さおよび樹脂液の粘度に応じて適宜決定できるが、厚さ３０〜３００μｍ程度の光透過層を形成する場合には、樹脂液の粘度は１００〜１００，０００cP、回転数は５００〜６，０００rpm、回転時間は２〜３０秒間の範囲からそれぞれ選択することが好ましい。

次に、図３（ｅ）に示すように、閉塞部３０をディスク状基体１１から離間する。そして、用いる樹脂液が紫外線硬化型樹脂を含有する場合、図３（ｆ）に示すように紫外線を照射して樹脂層５１を硬化することで、光透過層１６をスペーサ層１３ａ上に形成する。光透過層１６は、例えば、上述のスピンコートにおける回転数または回転時間を調整することで７５μｍの膜厚に容易に形成でき、膜厚分布が±１μｍの範囲内に収まる。

以上のように、ディスク状基体１１とスぺーサ層１３ａとの間に記録面１２が形成され、スぺーサ層１３ａと光透過層１６との間に別の記録面１３ｃが形成されることで、上片面２層タイプの光ディスクを製造することができる。かかる光ディスクにおいて、スぺーサ層１３ａは２５±１μｍの膜厚分布であり、光透過層１６は７５±１μｍの膜厚分布であり、スぺーサ層１３ａと光透過層１６との総計の膜厚も１００±２μｍの膜厚分布を達成できる。

従って、本実施の形態の製造方法を、例えば、片面２層以上の情報層を有するブルーレイ(Blu-ray)ディスクの製造に適用することで、スぺーサ層及び光透過層の膜厚分布を±２μｍ以内に収めることができるので、支障なく記録・再生を行うことができる。

また、図２（ｄ）のスペーサ層１３ａの上に更にスペーサ層を形成し、２つのスペーサ層を有する光ディスクを製造する場合には、図１（ａ）〜図２（ｄ）の各工程を繰り返して実行し、図８のようにスペーサ層１３ａの上に第２スペーサ層１３ｂを形成してから、図３と同様にして光透過層１６を形成することで、図８のように３つの記録面を有する光ディスクを同様に製造できる。図８の光ディスクによれば、スぺーサ層及び光透過層の膜厚分布を±２μｍ以内に収めることができるので、支障なく記録・再生を行うことができる。

なお、上述の図５〜図７のスペーサ層の形成に使用した紫外線硬化性樹脂の組成物は次のとおりである。
・カヤラッドR-167(日本化薬株式会社製)：６０質量部(ECH変性１、６−へキサンジオールジアクリレート)
・アロニックスM-309(東亜合成株式会社製)：３０質量部(トリメチロールプロパントリアクリレート)
・THF-A(共栄社油脂株式会社製)：１０質量部(テトラヒドロフルフリルアクリレート)
・Irugacure184(チバスぺシャルティケミカルズ株式会社製)：３質量部(１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン)
粘度：約７００ｍＰａ・ｓ

また、上記混合物において、使用できる材料は次のとおりである。

単官能：
アリル（メタ）アクリレート、べンジル（メタ）アクリレート、ブトキシ（メタ）アクリレート、ブタジオールモノ（メタ）アクリレート、ブトキシトリエチレングリコーツ（メタ）アクリレート、ＥＣＨ変性ブチル（メタ）アクリレート、ｔ−ブチルアミノエチル（メタ）アクリレート、カプロラクトン（メタ）アクリレート、２−シアノエチル（メタ）アクリレート、シクロへキシル（メタ）アクリレート、ジシクロぺンタニル（メタ）アクリレート、脂環式変性ネオぺンチルグリコール（メタ）アクリレート、２、３−ジブロモプロピル（メタ）アクリレート、ジシクロぺンテニル（メタ）アクリレート、ジシクロぺンテニロキシ（メタ）アクリレート、Ｎ、Ｎ−ジエチルアミノエチル（メタ）アクリレート、２−エトキシエチル（メタ）アクリレート、２−エチルへキシル（メタ）アクリレート、グリセロール（メタ）アクリレート、グリシジル（メタ）アクリレート、へプタデカフロロデシル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、イソデシル（メタ）アクリレート、イソオクチル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、メトキシジエチレンクリコール（メタ）アクリレート、メトキシジプロピレンウリコール（メタ）アクリレート、モルフォリン（メタ）アクリレート、フェノキシエチル（メタ）アクリレート、 フェノキシヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、ＥＯ変性フィノキシ化リン酸（メタ）アクリレート、フィニル（メタ）アクリレート、ＥＯ変性リン酸（メタ）アクリレート、ＥＯ変性フタル酸（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコール２００（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコール４００（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコール６００（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート、ＥＯ変性コハク酸（メタ）アクリレート、テトラフロロプロピル（メタ）アクリレート、テトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレート、ビニルアセテート、Ｎ−ビニルカプロラクタム、

多官能：
（メタ）アクリル化イソシアヌレート、ビス（アクリロキシネオぺンチルグリコール）アジぺート、ＥＯ変性ビスフェノールＡジ（メタ）アクリレート、ＥＯ変性ビスフェノールＳジ（メタ）アクリレート、ＥＯ変性ビスフェノールＦジ（メタ）アクリレート、１、４−ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、１、３−ブチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジシクロぺンタニルジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジぺンタエリスリトールへキサ（メタ）アクリレート、ジぺンタエリスリトールモノヒドロキシぺンタ（メタ）アクリレート、アルキル変性ジぺンタエリスリトールぺンタ（メタ）アクリレート、アルキル変性ジぺンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、アルキル変性ジぺンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性ジぺンタエリスリトールへキサ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ＥＣＨ変性グリセロールトリ（メタ）アクリレート、１、６−へキサンジオールジ（メタ）アクリレート、長鎖脂肪族ジ（メタ）アクリレート、メトキシ化シクロへキシルジ（メタ）アクリレート、ネオぺンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ヒドロキシピバリン酸ネオぺンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ぺンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ぺンタエリスルトールテトラ（メタ）アクリレート、ステアリン酸変性ぺンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、ＥＯ変性リン酸ジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロープロパントリ（メタ）アクリレート、ＥＯ変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ＰＯ変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、トリス（（メタ）アクロキシエチル）イソシアヌレート、カプロラクトン変性トリス（（メタ）アクロキシエチル）イッシアヌレート単官能、多官能モノマーを求める性能に合わせて適宜選択し配合することで作ることができる。

また、粘度調整や特性改善の面から、オリゴマーを添加しても良い。また、硬化性組成物には、その性能を損なわない範囲であれば、必要に応じて、例えば、熱可塑性高分子、スリップ剤、レべリング剤、酸化防止剤、光安定剤、紫外線吸収剤、重合禁止剤、シランカップリング剤、無機フィラー、有機フィラー、表面有機化処理した無機フィラー等の公知の添加剤等を適宜配合して用いてもよい。

反応開始材：
例えば、光ディスクの読み取りに用いるレーザ光の波長が３８０〜５００ｎｍの範囲である場合には、読み取りに必要なレーザ光が十分に光透過層を通過するように光重合開始剤の種類および使用量を適宜選択して用いることが好ましい。この場合、得られる光透過層が青紫色レーザ光を吸収しない、短波長感光型光重合開始剤を使用することが特に好ましい。

上記短波長感光型光重合開始剤の具体例としては、例えば、べンゾフェノン、２、４、６−トリメチルべンゾフェノン、メチルオルトべンゾイルべンゾエイト、４−フェニルべンゾフェノン、ジエトキシアセトフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパシ−１−オン、べンジルジメチルケタール、１−ヒドロキシシクロへキシル−フェニルケトン、べンゾインメチルエーテル、べンゾインエチルエーテル、べンゾインイソプロピルエーテル、べンゾインイソブチルエ−テル、メチルべンゾイルホルメード等が挙げられ、硬化物の難黄変性の観点から、べンゾフェノン、ジュトキシアセトフェノン、２ーヒドロキシ−２−メチル−ｌ．−フェニルプロパシ−１−オン、１−ヒドロキシシクロへキシル−フェニルケトン、メチルべンゾイルホルメードが好ましい。これらは、１種または２種以上を併用して用いることができる。

また、使用する紫外線硬化性樹脂の組成物において、光重合開始剤の使用量は特に限定されないが、樹脂成分の合計量１００質量部に対して、０．０００１〜５質量部の範囲で添加することが好ましく、使用量は硬化性の観点から０．００１質量部以上が好ましく、深部硬化性と難黄変性の観点から３質量部以下の範囲がさらに好ましい。

また、樹脂の膜厚の測定器としては、株式会社コアーズ製のCore9930aを用い、半径方向は２２〜５８ｍｍまで２ｍｍおき、周方向は６度おきに、１１４０ポイント膜厚を測定した。この測定器の測定原理は、表面反射と裏面反射のずれ量から膜厚を計算で求める方法である。

以上のように本発明を実施するための最良の形態について説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、本発明の技術的思想の範囲内で各種の変形が可能である。例えば、光ディスクは、３層以上のスペーサ層を備えるものであっても本発明の製造方法により同様にして製造できる。また、本発明におけるエネルギ線としては、上述の紫外線以外に電子線等であってもよい。

なお、本明細書において、「情報層」とは、記録層、及び必要に応じて形成する反射層や誘電体層等の他の層を含むものである。記録層は、書き換え可能な記録媒体(Re-writable)では相変化材料や光磁気材料等からなり、追記型の記録媒体(Recordable)では相変化材料や有機材料からなる。また、再生専用媒体(ROM)の場合は、基板上または樹脂上に形成した凹凸（ピット）の上に設けた反射層を情報層とする。

本実施の形態における２層光ディスクの製造工程（ａ）乃至（ｃ）を示す側断面図である。 図１の工程（ｃ）の次に行われる２層光ディスクの製造工程（ａ）乃至（ｄ）を示す側断面図である。 図２の工程（ｄ）の次に行われる２層光ディスクの製造工程（ａ）乃至（ｆ）を示す側断面図である。 図２（ｂ）の紫外線光源に備えられた絞り機構の絞り口径の変動を示す平面図（ａ）及び絞り機構の各絞り口径を通して照射される紫外線の照射範囲を示す平面図（ｂ）である。 本発明に至る過程の実験において得たスぺーサ層の膜厚分布を示す図（ａ）及び回転数と照射範囲のパターンを示す図（ｂ）である。 本発明に至る過程の別の実験において得たスぺーサ層の膜厚分布を示す図（ａ）及び回転数と照射範囲のパターンを示す図（ｂ）である。 本実施の形態におけるスぺーサ層の膜厚分布を示す図（ａ）及び回転数と照射範囲のパターンを示す図（ｂ）である。 本実施の形態において３つの記録面を有する光ディスクを示す側断面図である。

符号の説明

２ 回転ステージ
５ 紫外線光源
５ａ 出射面
１１ ディスク状基体
１１ａ 凹凸
１１ｂ 中心孔
１２ 記録面
１３ 紫外線硬化性樹脂
１３ａ スペーサ層
１３ｂ 第２スペーサ層
１４ スタンパ部材
１４ａ 凹凸
１５ 転写面
１６ 光透過層
１９ 絞り機構

Claims (7)

1. ディスク状基体上に形成された第１情報層の内周部にエネルギ線硬化性樹脂を塗布してから前記ディスク状基体に対し転写面を有するスタンパ部材を対向させるようにして配置する工程と、
   前記ディスク状基体と前記スタンパ部材との間で前記エネルギ線硬化性樹脂をスピンコートするため前記ディスク状基体を回転させる工程と、
   前記ディスク状基体を回転しながら前記ディスク状基体の内周側から外周側に向けて照射範囲が拡がるように前記エネルギ線硬化性樹脂にエネルギ線を照射する工程と、
   前記エネルギ線照射により前記エネルギ線硬化性樹脂から形成されたスペーサ層を前記ディスク状基体に残して前記スタンパ部材を剥離する工程と、
   前記スタンパ部材の転写面から転写された前記スペーサ層の表面に第２情報層を形成する工程と、
   前記スペーサ層の第２情報層上に光透過層を形成する工程と、を含み、
   前記エネルギ線照射工程において前記ディスク状基体上の内周側で前記エネルギ線硬化性樹脂が所定の膜厚になる回転数を保持してから前記エネルギ線の照射を開始し、その後段階的に前記回転数及び前記照射範囲を変化させることを特徴とするディスク状記録媒体の製造方法。
2. ディスク状基体上に形成された第１情報層の内周部にエネルギ線硬化性樹脂を塗布してから前記ディスク状基体に対し転写面を有するスタンパ部材を対向させるようにして配置する第１工程と、
   前記ディスク状基体と前記スタンパ部材との間で前記エネルギ線硬化性樹脂をスピンコートするため前記ディスク状基体を回転させる第２工程と、
   前記ディスク状基体を回転しながら前記ディスク状基体の内周側から外周側に向けて照射範囲が拡がるように前記エネルギ線硬化性樹脂にエネルギ線を照射する第３工程と、
   前記エネルギ線照射により前記エネルギ線硬化性樹脂から形成されたスペーサ層を前記ディスク状基体に残して前記スタンパ部材を剥離する第４工程と、
   前記スタンパ部材の転写面から転写された前記スペーサ層の表面に第２情報層を形成する第５工程と、を含み、
   前記第１スタンパ部材の転写面から転写された前記第１スペーサ層の第２情報層と第２スタンパ部材との間にエネルギ線硬化性樹脂で第２スペーサ層を形成するように前記第１工程乃至第５工程を繰り返し実行することで３層以上の情報層を形成し、
   前記各エネルギ線照射工程において前記ディスク状基体上の内周側で前記エネルギ線硬化性樹脂が所定の膜厚になる回転数を保持してから前記エネルギ線の照射を開始し、その後段階的に前記回転数及び前記照射範囲を変化させることを特徴とするディスク状記録媒体の製造方法。
3. 最も外側に形成された前記スペーサ層の表面上に情報層を形成してから、その情報層上に光透過層を形成することを特徴とする請求項２に記載のディスク状記録媒体の製造方法。
4. 前記エネルギ線照射工程において前記ディスク状基体上の内周側で前記エネルギ線硬化性樹脂が所定の膜厚になる回転数を保持してから前記エネルギ線の照射を開始し、前記エネルギ線の照射範囲を変化させながら、前記保持した回転数をいったん低速にしてから高速にすることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のディスク状記録媒体の製造方法。
5. 前記回転数と前記エネルギ線が照射される半径方向における前記エネルギ線硬化性樹脂の膜厚との関係を予め取得し、この関係に基づいて前記半径方向の照射範囲における前記回転数を変化させることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載のディスク状記録媒体の製造方法。
6. 前記半径方向の照射範囲が外周側のときに前記回転数を少なくすることを特徴とする請求項５に記載のディスク状記録媒体の製造方法。
7. 前記半径方向の照射範囲が外周側のときに前記回転数を少なくした後、再び前記回転数を多くすることを特徴とする請求項５または６に記載のディスク状記録媒体の製造方法。
   
   

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