JP2005107512A - 光偏向器、光偏向器の製造方法、光走査装置及び画像形成装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 高精度な反射面を維持し、反射面の角度バラツキ（面倒れ）が小さく、良好な画像出力を得ることができ、かつ、回転体の重心を動圧軸受の中間近傍に配置できる構成とすることで、高精度な回転体のバランス修正を可能とし、振動が小さく低騒音な光偏向器を提供することにある。また、本発明の光偏向器を用いて高精度で低振動・低騒音な光走査装置を提供し、高画質、低騒音な画像形成装置を提供する。
【解決手段】 回転体３が動圧軸受２により支持され、モータにより回転駆動される光偏向器において、前記回転体３が、動圧軸受面が形成されたスリーブ１６と、このスリーブ１６に固定されたフランジ１７と、このフランジ１７に圧入固定されたミラー１８と、駆動用永久磁石８とから構成され、前記ミラー１８の内部が略カップ状にくり抜かれるとともに、前記スリーブ１６に形成された前記動圧軸受面１６ａと、前記ミラー１８に形成された反射面１８ｃ、１８ｄの一部または全部が回転軸方向の位置で重なり固定される光偏向器。
【選択図】 図１

Description

本発明は、電子写真方式の複写機、プリンタ、ファクシミリ装置またはこれらの複合機の光書き込み装置に用いられる光偏向器、光走査装置及び画像形成装置に関するものである。

デジタル複写機またはレーザプリンタ等のレーザ書き込み装置を用いた電子写真方式の記録装置において、動圧軸受を用いた光偏向器が実用化されている（例えば、特許文献１及び２参照）。
デジタル複写機またはレーザプリンタ等のレーザ書き込み装置を用いた電子写真方式の記録装置は、近年、プリント速度の高速化及び画素密度の高密度化にともない、光偏向器には２００００回転／分以上の高速回転が要求され、長寿命、高耐久及び低騒音という要求品質を満足するため、動圧軸受を用いた光偏向器が実用化されている。
このような光偏向器として、特許文献１に記載されたものが知られている。この光偏向器は、セラミック製の固定軸の外側にあって前記固定軸とともに気体動圧軸受を構成する高速回転体である。
高速回転体は、ラジアル方向に一定の厚さを有するセラミックスリーブ及びその外周に焼き嵌め固着した前記セラミックスリーブよりも熱膨張係数の大きい金属製の外周筒部材により構成される。
前記セラミックスリーブは、前記外周筒部材を焼き嵌め固着した後にその内径を所定のつづみ形状に加工し、及び、高速回転体の使用回転数により作用するラジアル方向の遠心応力及び摩擦による熱膨張により緩和する焼き嵌め圧縮応力に応じて、セラミック製固定軸とセラミックスリーブとの隙間が一様になるように前記セラミックスリーブ内径の所定のつづみ形状を決めてなるものである。
しかしながら、この従来例においては、鏡面加工した回転多面鏡を焼き嵌めすると、焼き嵌め時の圧縮応力により反射面が歪んで平面度が悪化し、高精度な反射面を維持できず、その結果、良好な画像出力が得られないという問題がある。
また、焼き嵌め後に回転多面鏡の反射面を加工した場合でも、高速回転により回転体の温度が上昇すると、セラミックスリーブの線膨張係数が金属製外周筒部材の線膨張係数より小さいため、焼き嵌めによる圧縮応力が取り除かれ、反射面が歪んで平面度が悪化し、高精度な反射面を維持できない。その結果、良好な画像出力が得られないという問題がある。

上記従来例の他、回転多面鏡の固定方法はネジで固定する方法、板ばねを介して固定する方法、圧入、接着等の方法があるが、いずれの固定方法においても取り付けによる応力が発生し、反射面へ悪影響を与える。また、２部品の重ね合わせにより構成されるため、多面鏡の反射面の角度バラツキ（面倒れ）が大きくなる。
さらに、釣り合い状態が変化して回転体のバランスが崩れ、振動が大きくなりやすい。光偏向器が発生する振動は、光偏向器の周辺を振動させ、騒音や画像劣化の原因となる。２００００回転／分以上の高速回転ではとくに騒音レベルが高くなりやすい。
特許文献２は上記問題に対して以下の光偏向器を開示している。この光偏向器は、動圧軸受により支持されるセラミック製のスリーブに焼き嵌めまたは圧入される金属製外周部材に軸方向に突出する筒状突部を形成し、金属製外周部材と熱膨張率が略一致するポリゴンミラーに、その反射面よりも半径方向内側において軸方向に突出するボス状突部を形成するように構成されている。
このボス状突部の外周面を筒状突部の内周面に固定的に嵌合することにより、温度上昇時に、熱膨張率が異なるスリーブと金属製外周部材との嵌合部に歪みが発生しても、ポリゴンミラーの反射面に作用する歪みの影響を無視できる程度に小さくし、ビームの偏向機能を高精度に維持することが可能である。
特開平７−１９００４７号公報 特開２０００−２０６４３９公報

しかしながら、上記従来例においては、ポリゴンミラーに軸方向に突出するボス状突部を設け、金属製外周部材の軸方向に突出する筒状突部に固定していたため、回転体の重心がミラー側に偏り、回転体のバランス修正によって、回転体の不釣り合いを充分に小さくすることができず、不釣り合い振動が大きかった。
また、ミラーに設けた鏡面加工用基準面で固定し、反射面の鏡面加工をしていたため、動圧軸受の回転中心軸に対する反射面の角度バラツキが大きかった。
そこで本発明の目的は、上記の問題点を解決するために、高精度な反射面を維持し、反射面の角度バラツキ（面倒れ）が小さく、良好な画像出力を得ることができ、かつ、回転体の重心を動圧軸受の中間近傍に配置できる構成とすることで、高精度な回転体のバランス修正を可能とし、振動が小さく低騒音な光偏向器を提供することにある。
また、本発明の他の目的は、本発明による光偏向器を用いて高精度で低振動かつ低騒音の光走査装置を提供し、高画質、低騒音の光走査装置を備えた画像形成装置を提供することにある。

上記の課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、動圧軸受により支持された回転体がモータにより回転駆動される光偏向器において、前記回転体が、該動厚軸受を支持する動圧軸受面が内周面に形成されたスリーブと、前記スリーブの外周に固定されたフランジと、前記フランジに圧入固定されたミラーと、駆動用永久磁石と、から構成され、前記ミラーの内部が略カップ状にくり抜かれるとともに、前記スリーブに形成された動圧軸受面と、前記ミラーに形成された反射面の一部または全部が回転軸方向の位置で重なり固定されることを特徴とする。
また、請求項２に記載の発明は、前記フランジに前記スリーブの動圧軸受面と直交する鏡面加工用基準面が形成される請求項１記載の光偏向器を特徴とする。
また、請求項３に記載の発明は、前記鏡面加工用基準面がミラー当接面を境界として、前記ミラーの反対側に形成される請求項２記載の光偏向器を特徴とする。
また、請求項４に記載の発明は、前記フランジと前記ミラーの圧入固定部が、前記フランジに形成された圧入内径部と前記ミラーに形成された圧入外径部とが圧入固定された、圧入嵌合部である請求項１記載の光偏向器を特徴とする。
また、請求項５に記載の発明は、前記圧入嵌合部が動圧軸受の直径よりも大きな直径を有する請求項４記載の光偏向器を特徴とする。
また、請求項６に記載の発明は、前記駆動用永久磁石がフランジに固定される請求項１記載の光偏向器を特徴とする。
また、請求項７に記載の発明は、前記スリーブがセラミック製のスリーブである請求項１記載の光偏向器を特徴とする。
また、請求項８に記載の発明は、前記スリーブと前記フランジが焼き嵌めにより固定される請求項１記載の光偏向器を特徴とする。
また、請求項９に記載の発明は、前記ミラーに磁気軸受の回転部が固定される請求項１記載の光偏向器を特徴とする。

また、請求項１０に記載の発明は、前記ミラーに形成された反射面が軸方向に複数段形成されている請求項１記載の光偏向器を特徴とする。
また、請求項１１に記載の発明は、請求項１〜１０のいずれか一項記載の光偏向器を製造する光偏向器の製造方法において、前記ミラーに形成された反射面は、前記スリーブ及び前記フランジと前記ミラーを一体化後、鏡面加工により形成される光偏向器の製造方法を特徴とする。
また、請求項１２に記載の発明は、半導体レーザからのビームを、光偏向器を含む光学系を介して被走査面へ導いて、光スポットを形成し、前記光偏向器により偏向させることにより、前記被走査面に走査線を走査する光走査装置において、前記光偏向器が請求項１〜１０の光偏向器である光走査装置を特徴とする。
また、請求項１３に記載の発明は、前記半導体レーザからのビームが複数であり、前記光偏向器を含む光学系を介して被走査面へ導いて、複数の光スポットを形成し、前記光偏向器により偏向させることにより、上記被走査面の複数走査線を隣接走査する光走査装置において、前記光偏向器が請求項１〜１０のいずれか一項記載の光偏向器である光走査装置を特徴とする。
また、請求項１４に記載の発明は、感光体の感光面に光走査装置による光走査を行って潜像を形成し、前記潜像を可視化して画像を得る画像形成装置において、前記感光体の感光面の光走査を行う光走査装置として、請求項１２又は１３の光走査装置を用いる画像形成装置を特徴とする。
また、請求項１５に記載の発明は、さらに、前記フランジ及び前記ミラーに圧入用案内部が形成されている請求項１記載の光偏向器を特徴とする。
また、請求項１６に記載の発明は、前記圧入用案内部が、前記フランジに形成された案内用外径部と前記ミラーに形成された案内用内径部が微少隙間で嵌合される構成である請求項１５記載の光偏向器を特徴とする。
また、請求項１７に記載の発明は、前記フランジに前記ミラーが圧入固定されたときに前記フランジの案内用外径部が、前記ミラーの案内用内径部よりも圧入開始側に配置される請求項１６記載の光偏向器を特徴とする。

また、請求項１８に記載の発明は、前記ミラーに軸方向の弾性変形が容易な弾性変形部を設けた請求項１５記載の光偏向器を特徴とする。
また、請求項１９に記載の発明は、前記弾性変形部が圧入部とミラー部を繋ぐ薄肉の連結部である請求項１８記載の光偏向器を特徴とする。
また、請求項２０に記載の発明は、前記フランジと前記ミラーの圧入部に抜け防止部を設けた請求項１５記載の光偏向器を特徴とする。
また、請求項２１に記載の発明は、前記抜け防止部が、前記フランジ圧入部及び前記ミラーの圧入部にそれぞれ設けた微少な段差である請求項２０記載の光偏向器を特徴とする。
また、請求項２２に記載の発明は、前記フランジと前記ミラーの間に、少なくとも前記ミラーの反射面と回転軸方向の位置で重なる空隙部を設けた請求項１５記載の光偏向器を特徴とする。
また、請求項２３に記載の発明は、半導体レーザからのビームを、光偏向器を含む光学系を介して被走査面へ導いて、光スポットを形成し、前記光偏向器により偏向させることにより、前記被走査面に走査線を走査する光走査装置において、前記光偏向器が請求項１５〜２２のいずれか一項記載の光偏向器である光走査装置を特徴とする。
また、請求項２４に記載の発明は、半導体レーザからのビームが複数であり、光偏向器を含む光学系を介して被走査面へ導いて、複数の光スポットを形成し、前記光偏向器により偏向させることにより、前記被走査面の複数走査線を隣接走査する光走査装置において、前記光偏向器が請求項１５〜２２のいずれか一項記載の光偏向器である光走査装置を特徴とする。
また、請求項２５に記載の発明は、感光媒体の感光面に光走査装置による光走査を行って潜像を形成し、前記潜像を可視化して画像を得る画像形成装置において、前記光走査装置が請求項２３又は２４記載の光走査装置であることを特徴とする画像形成装置を特徴とする。

本発明によれば、ミラー反射面の温度変化による変形が小さく抑えられ、回転体の重心を動圧軸受の略中央に配置することで、高精度な回転体のバランス修正を可能とし、温度による回転体の不釣り合い変化も抑え、振動が小さい高速回転用の光偏向器を提供することができる。
また、本発明によれば、フランジ及びミラーに圧入用案内部が形成されているので、フランジにミラーを圧入するときに中心軸がずれて、初期不釣り合いが大きくなることがない。

以下、図面により本発明の実施の形態を詳細に説明する。図１は動圧空気軸受を用いた本発明による光偏向器の第１の実施の形態を示す断面図である。図２は図１の回転体を示す断面図である。図３はミラー圧入部を示す拡大図である。図４は図１の光偏向器の分解斜視図である。図４は鏡面加工用基準面の加工手順を説明する概略断面図である。
図１ないし図５を参照して本発明による動圧空気軸受を用いた光偏向器の第１の実施の形態の構成及び動作を説明する。動圧軸受は潤滑流体として、空気以外の気体を用いることもできる。
カバーケース２１の下面には、光学ハウジングへの取り付け基準面２１ａが形成されている。カバーケース２１の下面の基準面２１ａにはハウジング１が固定されている。ハウジング１の上面中央には貫通穴状の軸受取り付け部１ｂが形成され、取り付け部１ｂ内には動圧軸受を構成する固定軸２が嵌合して固定されている。
円筒状の固定軸２の表面には動圧軸受を構成するための複数の溝２ａが形成されている。回転体３が回転を開始すると、固定軸２の上部外周に配置されたスリーブ１６と固定軸２との間に形成された軸受隙間の空気圧力が高まり非接触でラジアル方向（半径方向）に回転体３を支持する。
また、固定軸２の内側中空部内には、吸引型磁気軸受の固定部５が固定されている。吸引型磁気軸受の固定部５は、キャップ６とストッパ７が固定軸２の内筒部（中空部）内に圧入固定されることで両者６、７により軸方向に挟まれて固定されている。
キャップ６の中央部には空気が通過するときの粘性抵抗を利用して上下振動を減衰させるφ０．２〜φ０．５ｍｍ程度の微細穴が形成されている。キャップ６とストッパ７はともに非磁性材料のステンレス鋼板などが用いられる。
吸引型磁気軸受の固定部５は、回転軸方向に２極に着磁されたリング状永久磁石８と、リング状永久磁石８の内径よりも小さい中心円が形成された強磁性材料からなる第１の固定ヨーク板９と、同様に、リング状永久磁石８の内径よりも小さい中心円が形成された強磁性材料からなる第２の固定ヨーク板１０とからなる。
第１の固定ヨーク板９と第２の固定ヨーク板１０はリング状永久磁石８を軸方向に挟み、第１の固定ヨーク板９の中心円及び、第２の固定ヨーク板１０の中心円が回転中心軸に対して同軸になるように配置かつ固定されている。
リング状永久磁石８の材質としては主に希土類系の永久磁石が用いられる。固定ヨーク板９、１０には鉄鋼系の板材が用いられる。ハウジング１の上面には中央部に穴が形成されたプリント基板１１が配置されている。ハウジング１の軸受取り付け部１ｂの外径には、ステータ１２が嵌合され、固定されている。

ハウジング１はアルミ合金のような導電材料が用いられるため、ロータマグネット１４の回転による交番磁界の影響でハウジング１に渦電流が流れ、モータの損失が大きくなることがないようにプリント基板１１は鉄基板で構成すると良い。
プリント基板１１には巻線コイルへの通電切り換えを行うための位置検出素子であるホール素子１３が実装されている。
モータ部は回転体３に取り付けられたロータマグネット１４と巻線コイル１２ａが巻かれたステータ１２、巻線コイル１２ａが接続されるプリント基板１１、このプリント基板１１に実装されたホール素子１３等で構成される。ステータ１２は、渦電流が流れて鉄損が大きくならないように、ケイ素鋼板を積層したものが用いられる。
回転体３は、図２の縦断面図に示すように、スリーブ１６と、このスリーブ１６の外側に固定されたフランジ１７、このフランジ１７の上部筒状部の上端から外周にかけて覆うように固定されたミラー１８、このミラー１８の中心部に固定されて下方へ突出する磁気軸受の回転部１９、フランジ１７の下部に連設された大径の下部円筒部の内周に固定されたロータマグネット１４で構成されている。
スリーブ１６はセラミックス、フランジ１７はアルミニウム合金で構成され、スリーブ１６とフランジ１７は焼き嵌めにより固定されている。フランジ１７の下側に固定されたモータ用のロータマグネット１４は接着または圧入により固定されている。
ロータマグネット１４は周方向に分割した永久磁石を用いることもできるが、接着または圧入が容易にできるようにリング状に形成されている。ロータマグネット１４に線膨張係数がフランジ１７と略同一のプラスチックマグネットを用いて圧入により固定すれば、温度変化による回転体３の不釣り合い振動の変化を小さくすることができるのでより高速回転用モータとして好適である。
フランジ１７の上端には段差を設けた圧入内径部１７ａが形成されている。ミラー１８にも段差を設けた圧入外径部１８ａが形成され、フランジ１７の圧入内径部１７ａに圧入固定されている。

ミラー１８の圧入外径部１８ａの直径は、フランジ１７の圧入内径部１７ａの直径より僅かに大きな直径に形成されている。フランジ１７とミラー１８はともにアルミニウム合金で構成されるが、合金の種類が異なり、数％以下の差であるが、線膨張係数が異なる材質となっている。
ミラー１８は、高い反射率のミラー面を形成するために、アルミニウムの含有率が高い純アルミ系の合金が用いられ、その材質の線膨張係数は約２４．６×１０^-6／℃である。一方、フランジ１７は構造材のアルミニウム合金が用いられ、その材質の線膨張係数は約２３．８×１０^-6／℃で、ミラー１８よりも約３％線膨張係数が小さい。
圧入径１７ａ、１８ａは動圧軸受の直径φＤ１より大きな直径φＤ２の貫通穴になっている。フランジ１７にはスリーブ１６の動圧軸受面１６ａと直交する鏡面加工用基準面１７ｂが形成されている。即ち、鏡面加工用基準面１７ｂは、フランジ１７下部に位置する大径下部円筒部の張出し部１７Ａの下面を構成している。また、張出し部１７Ａの上面にはミラー当接面１７ｃが位置している。即ち、鏡面加工用基準面１７ａはミラー当接面１７ｃを境界として、ミラー１８の反対側に形成されている。
フランジ１７には、ミラー当接面１７ｃより少し上側に、外径側へ突出した圧入用案内部１７ｄ（図２、図４参照）が形成されている。ミラー当接面１７ｃの上方には、ミラー１８の内径と接触しないように空隙部１７ｅ（図２参照）が形成されている。
ミラー１８は軸方向に２段の反射面が一体で形成されている。ミラー１８は、内部が略カップ状にくり抜かれるとともに、スリーブ１６に形成された動圧軸受面１６ａと、ミラー１８に形成された反射面１８ｃ、１８ｄの一部が、回転軸方向の位置で重なり、固定されている。ミラー１８の上面中央部の穴には吸引型磁気軸受の回転部１９が圧入により固定されている。

吸引型磁気軸受の回転部１９には第１の固定ヨーク板９の中心円、及び、第２の固定ヨーク板１０の中心円との間に磁気ギャップを構成する外筒面が形成され、その外筒面が回転中心軸と同軸になるように配置されている。吸引型磁気軸受の回転部１９には永久磁石または鉄鋼系の強磁性材料が用いられる。
略カップ状にくり抜かれたミラー１８がフランジ１７と当接する開放端側には、圧入用案内部１８ｅ（図２参照）が形成されている。圧入時に、フランジ１７とミラー１８の圧入用案内部１８ｅが微少隙間で嵌合される構成となっている。
ミラー１８の上端側には、圧入外径部１８ａから繋がり、軸方向の変形が容易な薄肉の弾性変形部１８ｆ（図３参照）が形成されている。
回転体３は、高速で回転させるために、回転体３の上下２ヶ所の修正面１８ａ、１４ａでバランス修正が行われている。回転体の重心３ａが動圧軸受の中間近傍に配置されているため、高精度な回転体３のバランス修正が可能で、不釣り合い振動を非常に小さいレベルにすることができる。
プリント基板１１は、絶縁基板上にモータ巻線１２ａやホール素子１３と接続されるパターンが配線されており、駆動回路２０により、ホール素子１３の位置検出信号にしたがって、順次モータ巻線１２ａへの通電を切り換えて回転体３を回転させて定速制御する。
ミラー１８の反射面１８ｃ、１８ｄは以下の方法で、超精密切削加工により一体で形成される。第１の工程では、スリーブ１６とフランジ１７が焼き嵌め固定される。第２の工程では、動圧軸受面１６ａとなるスリーブ１６の内径が高精度に仕上げられる。

第３の工程では、フランジ１７上に、ミラー１８の反射面１８ｃ、１８ｄを形成するさいに用いる鏡面加工用基準面１７ｂが形成される。図５に示すように、スリーブ１６の内径に加工用治具（テーパ棒）２２が貫通されてスリーブ１６が固定される。
加工用刃物２３で切削されて、スリーブ１６の内径中心軸（動圧軸受の中心軸）と高精度に直交する鏡面加工用基準面１７ｂがフランジ１７に形成される。第４の工程では、フランジ１７にミラー１８が圧入される。
このとき、微少隙間で嵌合される圧入用案内部１７ｄ、１８ｅをガイドにして圧入することで、フランジ１７とミラー１８の軸心がずれないようにしている。フランジ１７とミラー１８の圧入部１７ａ、１８ａは、微少な段差を乗り越えて圧入され、圧入が完了した状態では、図２に示すように、フランジ１７とミラー１８の圧入部１７ａ、１８ａに形成された段差が噛み合う状態となっている。
また、圧入が完了した状態では、薄肉に形成されたミラー１８の弾性変形部１８ｆが僅かに軸方向に弾性変形し、フランジ１７とミラー１８が当接する面が密着した状態で固定（弾性的に圧着）される。
第５の工程では、フランジ１７を鏡面加工用基準面１７ｂにて固定した状態で、超精密切削加工により、スリーブ１６の内径中心軸に対して一定の角度で高精度な反射面１８ｃ、１８ｄが形成される。
上記第１の実施の形態においては、回転体３は、動圧軸受面１６ａが形成されたスリーブ１６と、スリーブ１６に固定されたフランジ１７と、フランジ１７に圧入固定されたミラー１８と、駆動用永久磁石であるロータマグネット１４とから構成される。
ミラー１８は、内部が略カップ状にくり抜かれるとともに、前記スリーブ１６に形成された動圧軸受面１６ａと、ミラー１８に形成された反射面１８ｃ、１８ｄの一部または全部が、回転軸方向の位置で重なり、固定されている。
それゆえ、ミラー反射面１８ｃ、１８ｄの温度変化による変形が小さく抑えられ、回転体の重心３ａを動圧軸受の略中央に配置し、回転体の高精度なバランス修正を可能として、温度による回転体３の不釣り合い変化も抑え、振動が小さい。
フランジ１７にスリーブ１６の動圧軸受面１６ａと直交する鏡面加工用基準面１７ｂが形成されているので、反射面の角度バラツキが小さく、光走査の走査位置精度が高い。反射面の角度バラツキが小さく、光走査の走査位置精度が高く光学特性に優れている。
動圧軸受の回転中心軸に対する直角度精度が高いミラー反射面の鏡面加工用基準面１７ｂを、スリーブとフランジとミラーを一体化した状態で、回転体の外側に表出させ、ミラー反射面の鏡面加工時に使用可能とする。

鏡面加工用基準面１７ｂはミラー当接面１７ｃを境界として、ミラー１８の反対側に形成されているので、動圧軸受の回転中心軸に対する直角度精度が高いミラー反射面の鏡面加工用基準面１７ｂを、スリーブ１６とフランジ１７とミラー１８を一体化した状態で、回転体３の外側に表出され、ミラー反射面の鏡面加工時に使用することができる。
フランジ１７とミラー１８の圧入固定部は、フランジ１７に形成された圧入内径部１７ａとミラー１８に形成された圧入外径部１８ａが圧入固定されているので、フランジ１７とミラー１８の圧入固定による応力がミラー反射面１８ｃ、１８ｄに伝達され難く、反射面の変形が小さく抑えられている。
圧入嵌合部の直径Ｄ２は動圧軸受の直径Ｄ１より大きな直径としているので、動圧軸受の回転中心軸に対する直角度精度が高い鏡面加工用基準面を形成できる。駆動用永久磁石であるロータマグネット１４がフランジ１７下部の大径開口内壁に固定されているので、ロータマグネット１４の固定によるミラー反射面１８ｃ、１８ｄの変形が小さく抑えられている。
フランジとミラーの圧入固定による応力がミラー反射面に伝達され難く、反射面の変形が小さく抑えられ、動圧軸受の回転中心軸に対する直角度精度が高い鏡面加工用基準面を形成できる光偏向器を提供することができる。
スリーブ１６をセラミックス製としているので、動圧軸受面の耐摩耗性が高く、長寿命とすることができる。スリーブ１６とフランジ１７は焼き嵌めにより固定されているので、線膨張係数が異なるスリーブ１６とフランジ１７の締結が温度変化で緩むことなく強固に固定され、振動変化が小さく抑えられている。

ミラー１８の中心部に磁気軸受の回転部１９が同軸状に固定されているので、反射面の高さ位置のばらつきが小さく、反射面の位置精度が高い。ミラー１８に形成された反射面１８ｃ、１８ｄは軸方向に複数段形成されているので、軸方向に複数段の反射面が形成され、複数の光源からの光走査を可能としている。
駆動用永久磁石の固定によるミラー反射面の変形が小さく抑えられ、動圧軸受面の耐摩耗性が高く、長寿命で、そして線膨張係数が異なるスリーブとフランジの締結が温度変化で緩むことなく強固に固定され、振動変化が小さく抑えられた光偏向器を提供することができる。
ミラー１８に形成された反射面１８ｃ、１８ｄは、スリーブ１６及びフランジ１７とミラー１８を一体化後、鏡面加工により形成されるので、スリーブ１６の動圧軸受面１６ａの中心軸（回転中心軸）対する角度が一定で、高精度な反射面を形成することができる。
上述した構成によれば、フランジ１７及びミラー１８に圧入用案内部１７ｄ、１８ｅが形成されているので、フランジ１７にミラー１８を圧入するときに中心軸がずれて、初期不釣り合いが大きくなることがない。
圧入用案内部１７ｄ、１８ｅはフランジ１７に形成された案内用外径部１７ｄと、ミラーに形成された案内用内径部１８ｅが微少すきまで嵌合される構成なので、フランジ及びミラーの圧入用案内部１７ｄ、１８ｅを容易に形成することができる。
フランジ１７にミラー１８が圧入固定されたときにフランジ１７の案内用外径部１７ｄは、ミラーの案内用内径部１８ｅよりも圧入開始側に配置されているので、圧入後、フランジ及びミラーの圧入用案内部１７ｄ、１８ｅが接触する部分を小さくして、ミラー反射面１８ｃ、１８ｄの変形を小さく抑えることができる。
ミラー１８に軸方向の弾性変形が容易な弾性変形部１８ｆを設けているので、圧入時にミラー１８が弾性的に固定され、温度変化によるミラー１８のずれがない。
ミラー１８の弾性変形部１８ｆは圧入外径部１８ａと反射面１８ｃ、１８ｄをつなぐ薄肉の連結部で構成されるので、弾性変形部１８ｆを容易に形成することができる。
フランジ１７とミラー１８の圧入部１７ａ、１８ａに抜け防止部を設けているので、フランジ１７とミラー１８に軸方向の弾性力が働いて密着した状態を保ちつつ、フランジ１７とミラー１８の圧入部が抜けることがない。
抜け防止部は、フランジの圧入内径部１７ａ及びミラーの圧入外径部１８ａにそれぞれ設けた微少な段差で構成されるので、抜け防止部を容易に形成できる。
フランジ１７とミラー１８の間に、少なくともミラーの反射面１８ｃ、１８ｄと回転軸方向の位置で重なる空隙部１７ｅを設けているので、フランジ外径とミラー内径の接触の影響により、温度変化によりミラーの反射面１８ｃ、１８ｄが変形することがない。

図６は本発明による光偏向器の第２の実施の形態を示す断面図である（図１乃至図４と同一部分には同一符号を付して説明）。第１の実施の形態の光偏向器とは主として回転体の構成が異なる。フランジ２７上端には圧入内径部２７ａが形成され、ミラー２８の圧入外径部２８ａが圧入固定されている。
フランジ２７とミラー２８の線膨張係数は略等しい。圧入径２７ａ、２８ａは動圧軸受の直径（φＤ１）より大きな直径（φＤ２）の貫通穴になっている。フランジ２７にはスリーブ１６の動圧軸受面１６ａと直交する鏡面加工用基準面２７ｂが形成されている。鏡面加工用基準面はミラー当接面２７ｃを境界として、ミラー２８の反対側に形成されている。
ミラー２８の外周には軸方向に厚い反射面２８ｃが形成されている。また、ミラー２８は、内部が略カップ状にくり抜かれるとともに、スリーブ１６に形成された動圧軸受面１６ａと、ミラー２８に形成された反射面２８ｃの一部が、回転軸方向の位置で重なり、固定されている。ミラー２８の上部中心部には吸引型磁気軸受の回転部１９が圧入により固定されている。
吸引型磁気軸受の回転部１９には、第１の固定ヨーク板９の中心円及び、第２の固定ヨーク板１０の中心円との間に磁気ギャップを構成する外筒面が形成され、その外筒面が回転中心軸と同軸になるように配置されている（図１及び図３参照）。吸引型磁気軸受の回転部１９には永久磁石または鉄鋼系の強磁性材料が用いられる。
回転体３は、高速で回転させるために、回転体３の上下２ヶ所の修正面２８ｂ、１４ａでバランス修正が行われている。回転体の重心３ａが動圧軸受の中間近傍に配置されているため、高精度な回転体のバランス修正が可能で、不釣り合い振動を非常に小さいレベルにすることができる。
反射面の高さ位置のバラツキが小さく精度が高く、軸方向に複数段の反射面が形成され、複数の光源からの光走査を可能とした、そしてスリーブの動圧軸受面の中心軸（回転中心軸）に対する角度が一定で、高精度な反射面を形成する方法を提供することができる。

図７は本発明による光偏向器の第３の実施の形態を示す断面図である。第１の実施の形態の光偏向器とは主として回転体の構成が異なる。フランジ３７上端には圧入内径部３７ａが形成され、その内周にはミラー３８の圧入外径部３８ａが圧入固定されている。
フランジ３７とミラー３８の線膨張係数は略等しい材質で構成されている。圧入径３７ａ、３８ａは動圧軸受の直径（φＤ１）より大きな直径（φＤ２）の貫通穴になっている。
フランジ３７にはスリーブ１６の動圧軸受面１６ａと直交する鏡面加工用基準面３７ｂが形成されている。鏡面加工用基準面はミラー当接面３７ｃを境界として、ミラー１８の反対側に形成されている。
ミラー３８には軸方向に４段の反射面３８ｃ、３８ｄ、３８ｅ、３８ｆが一体で形成されている。ミラー３８は、内部が略カップ状にくり抜かれるとともに、スリーブ１６に形成された動圧軸受面１６ａと、ミラー３８に形成された反射面３８ｃ、３８ｄ、３８ｅ、３８ｆの一部３８ｄ、３８ｅ、３８ｆが、回転軸方向の位置で重なり、固定されている。
ミラー３８の上面中心部には吸引型磁気軸受の回転部１９が圧入により固定されている。吸引型磁気軸受の回転部１９には第１の固定ヨーク板９の中心円及び、第２の固定ヨーク板１０の中心円との間に磁気ギャップを構成する外筒面が形成され、その外筒面が回転中心軸と同軸になるように配置されている。吸引型磁気軸受の回転部１９には永久磁石または鉄鋼系の強磁性材料が用いられる。
回転体３は、高速で回転させるために、回転体３の上下２ヶ所の修正面３８ｂ、１４ａでバランス修正が行われている。回転体の重心３ａが動圧軸受の中間近傍に配置されているため、高精度な回転体のバランス修正が可能で、不釣り合い振動を非常に小さいレベルにすることができる。

図８は本発明による光走査装置を示す斜視図である。図８は本発明による光偏向器を備えた光走査装置Ａの要部の構成を示している。この光走査装置Ａは、シングルビーム方式の装置である。
本実施の形態による光走査装置は、光源４１、カップリングレンズ４２、アパーチャ４３、シリンドリカルレンズ４４、ポリゴンミラー４５、レンズ４６、４７、ミラー４８、感光体４９、ミラー５０、レンズ５１及び受光素子５２を有する。
光源４１は、光走査のための光を発する半導体レーザ素子である。カップリングレンズ４２は、光源４１が発した光を光学系に適応させるためのレンズである。アパーチャ４３は、光走査のためのビーム光を所定の形状にする。シリンドリカルレンズ４４は、入射されたビーム光を副走査方向に集光する。
ポリゴンミラー４５は光偏向器であり、入射した光を偏向反射面において反射する。レンズ４６、４７は、ビーム光をベルト状感光体４９上に結像させるためのレンズである。ミラー４８は、ビーム光の光路を折り曲げ、感光体４９に導く。
感光体４９は照射されたビーム光に応じて静電潜像を形成する。ミラー５０及びレンズ５１はビーム光を受光素子５２に集光する。受光素子５２は、フォトダイオードなどの光検出素子である。
半導体レーザ素子である光源４１が放射するビームは発散性の光束であり、カップリングレンズ４２によって以後の光学系にカップリングされる。カップリングされたビームの形態は、以後の光学系の光学特性に応じたものであり、弱い発散性の光束や弱い集束性の光束であっても良いし、平行光束でも良い。

カップリングレンズ４２を通過したビームは、アパーチャ４３の開口部４３ａを通過するさい、光束周辺部の光強度の小さい部分が遮断されて「ビーム整形」され、「線形結像光学系」であるシリンドリカルレンズ４４に入射する。
シリンドリカルレンズ４４は、略かまぼこ型を呈しており、パワーのない方向（光を屈折させない方向）を主走査方向に向け、副走査方向には正のパワー（光を集束させるパワー）を有し、入射して来るビームを副走査方向に集束させ、「光偏向器」であるポリゴンミラー４５の偏向反射面近傍に集光する。
ポリゴンミラー４５の偏向反射面によって反射されたビームは、ポリゴンミラー４５の等速回転に伴い、等角速度的に偏向しつつ、「走査光学系」をなす２枚のレンズ４６、４７を透過し、折り曲げミラー４８によって光路を折り曲げられ、「被走査面」の実体をなす光導電性の感光体４９上に光スポットとして集光し、被走査面を走査する。
なお、ビームは走査に先立ってミラー５０に入射し、レンズ５１によって受光素子５２に集光される。感光体４９に対する書き込みのタイミングは、受光素子５２の出力に基づいて、図示してない制御手段が決定する。
このように、本発明による光偏向器は、シングルビーム方式の光走査装置に適用可能である。本発明による光偏向器を適用したシングルビーム方式の光走査装置は、光偏向器であるポリゴンミラー４５の反射面が高精度に維持されるため、走査ビーム形状が一定となり、安定した光走査を行うことができる。

図９は本発明による光走査装置の他の実施の形態を示す斜視図である。図９は本発明による光偏向器を備えたマルチビーム方式の光走査装置Ｂの要部の構成を示している。なお、図９において、図８と同じ部材については、同一の符号を付して示す。
光源４１Ａは、半導体レーザアレイであって、４つの発光源ｃｈ１〜ｃｈ４を等間隔で一列に配置したものである。本実施の形態では、発光源ｃｈ１〜ｃｈ４を副走査方向に配置しているが、半導体レーザアレイ４１Ａを傾け、発光源の配列方向が主走査方向に対して傾くようにしても良い。
４つの発光源ｃｈ１〜ｃｈ４から発せられた４本のビームは、図に示すように「楕円形のファーフィールドパターン」の長軸方向が主走査方向に向いた発散性の光束であるが、４本のビーム共通のカップリングレンズ４２によって、以後の光学系にカップリングされる。
カップリングされた各ビームの形態は、以後の光学系の光学特性に応じたものであり、弱い発散性の光束や弱い収束性の光束であっても良いし、平行光束でも良い。
カップリングレンズを透過した４本のビームは、アパーチャ４３によって「ビーム整形」され、「共通の線結像光学系」であるシリンドリカルレンズ４４の作用によって、それぞれ副走査方向に収束される。副走査方向に収束した４本のビームは、「光偏向器」であるポリゴンミラー４５の偏向反射面近傍に、それぞれが主走査方向に長い線像として、互いに副走査方向に分離して結像する。
ポリゴンミラー４５の偏向反射面によって等角速度的偏向された４本のビームは、「走査光学系」をなす２枚のレンズ４６、４７を透過し、折り曲げミラー４８によって光路を折り曲げられる。
光路を折り曲げられた４本のビームは、「被走査面」の実体をなす感光体４９上に、副走査方向に分離した４つの光スポットとして集光し、被走査面の４本の走査線を同時に走査する。
ビームの１つは、光走査に先立って、ミラー５０に入射し、レンズ５１によって受光素子５２に集光される。４本のビームによる感光体４９に対する書き込みのタイミングは、受光素子５２の出力に基づいて図示してない制御手段が決定する。
なお、本実施の形態における「走査光学系」は、光偏向器（ポリゴンミラー４５）によって同時に偏向される４本のビームを、感光体４９の被走査面上に４つの光スポットとして集光させる光学系であって、２枚のレンズ４６、４７により構成される。
このように、本発明による光偏向装置は、マルチビーム方式の光走査装置に適用可能である。本発明による光偏向器を適用したマルチビーム方式の光走査装置は、光偏向器であるポリゴンミラー４５の反射面が高精度に維持されるため、走査ビーム形状が一定となり、安定した光走査を行うことができる。

図１０は本発明による光偏向装置を備えた装置としてのタンデム型フルカラーレーザプリンタの構成を示す概略図である。画像形成装置Ｃ内の下部側には水平方向に配設されて給紙カセット６１から給紙される転写紙（図示せず）を搬送する搬送ベルト６２が設けられている。
搬送ベルト６２上には、イエロー（Ｙ）用の感光体６３Ｙ、マゼンタ（Ｍ）用の感光体６３Ｍ、シアン（Ｃ）用の感光体６３Ｃ及びブラック（Ｋ）用の感光体６３Ｋが上流側から順に等間隔で配設されている。なお、以下、符号に添え字Ｙ、Ｍ、Ｃ、Ｋを適宜付して各色を区別するものとする。
これらの感光体６３Ｙ、６３Ｍ、６３Ｃ及び６３Ｋは、全て同一径に形成されたもので、その周囲には、電子写真プロセスにしたがいプロセス部材が順に配設されている。
感光体６３Ｙを例に採れば、帯電チャージャ６４Ｙ、光走査装置６５Ｙ、現像装置６６Ｙ、転写チャージャ６７Ｙ、クリーニング装置６８Ｙ等が順に配設されている。これは、他の感光体６３Ｍ、６３Ｃ及び６３Ｋに関しても同様である。
すなわち、本実施の形態においては、感光体６３Ｙ、６３Ｍ、６３Ｃ及び６３Ｋを各色に設定された被照射面とするものであり、各々に対して光走査装置６５Ｙ、６５Ｍ、６５Ｃ、６５Ｋが１対１の対応関係で設けられている。
また、搬送ベルト６２の周囲には、感光体６５Ｙよりも上流側に位置させてレジストローラ６９とベルト帯電チャージャ７０とが設けられ、感光体６５Ｋよりも下流側に位置させてベルト分離チャージャ７１、除電チャージャ７２、クリーニング装置７３等が順に設けられている。
また、ベルト分離チャージャ７１よりも搬送方向下流側には定着装置７４が設けられ、排紙ローラ７６を介して排紙トレイ７５と結ばれている。

上記構成において、例えば、フルカラーモード（複数色モード）時であれば、各感光体６３Ｙ、６３Ｍ、６３Ｃ及び６３Ｋに対して、Ｙ、Ｍ、Ｃ、Ｋ用の各色の画像信号に基づき、各々の光走査装置６５Ｙ、６５Ｍ、６５Ｃ及び６５Ｋによる光ビームの光走査によって静電潜像を形成する。
これらの静電潜像は、各々の対応する色トナーで現像されてトナー像となり、搬送ベルト６２上に静電的に吸着されて搬送される転写紙上に順次転写されることで重ね合わされる。
各色のトナー像が重ね合わされた転写紙は、定着装置７４によってフルカラー画像として転写紙に定着され、画像が定着した転写紙は排紙ローラ７６によって排紙トレイ７５に排出される。
また、黒色モード（単色モード）時であれば、感光体６３Ｙ、６３Ｍ、６３Ｃ及びこれらのプロセス部材は、非作動状態とされ、感光体６３Ｋに対してのみ、黒色用の画像信号に基づいて光走査装置６５Ｋによる光ビームの光走査によって静電潜像を形成する。
この静電潜像は、黒色トナーで現像されてトナー像となり、搬送ベルト６２上に静電的に吸着されて搬送される転写紙上に転写される。転写紙上に転写されたトナー像は、定着装置７４によってモノクロ画像として転写紙に定着され、画像が定着した転写紙は、排紙ローラ７６によって排紙トレイ７５に排出される。
このように、本発明による光偏向装置は、タンデム型フルカラーレーザプリンタに適用可能である。本発明による光偏向器を適用したタンデム型フルカラーレーザプリンタは、光走査装置６５Ｙ、６５Ｍ、６５Ｃ及び６５Ｋにおいて共用され、軸方向に２段のミラーが形成された１つの光偏向器７８の反射面が高精度に維持されるため、走査ビーム形状が一定となり、安定した光走査を行うことができる。
なお、上記各実施の形態は本発明の好適な実施の一例であり、本発明はこれに限定されるものではなく、様々な変形が可能である。

本発明によれば、ミラー反射面の温度変化による変形が小さく抑えられ、回転体の重心を動圧軸受の略中央に配置することで、高精度な回転体のバランス修正を可能とし、温度による回転体の不釣り合い変化も抑え、振動が小さく、圧入時に、ポリゴンミラーが弾性的に固定されて、温度変化によるミラーのずれがない、高速回転用の光偏向器を提供することができる。
また、本発明によれば、ミラー反射面の温度変化による変形が小さく抑えられ、回転体の重心を動圧軸受の略中央に配置することで、高精度な回転体のバランス修正を可能とし、温度による回転体の不釣り合い変化も抑え、振動が小さく、フランジとミラーに軸方向の弾性力が働いた状態で固定されていてもミラーとフランジの圧入部が抜けることがない高速回転用の光偏向器を提供することができる。
さらに、本発明によれば、ミラー反射面の温度変化による変形が小さく抑えられ、回転体の重心を動圧軸受の略中央に配置することで、高精度な回転体のバランス修正を可能とし、温度による回転体の不釣り合い変化も抑え、振動が小さく、フランジ外径部とミラー内径部の接触の影響で、温度変化によりミラーの反射面が変形することがない高速回転用の光偏向器を提供することができる。
本発明によれば、光偏向器の反射面が高精度に維持され、走査ビーム形状が一定で安定した光走査装置、及びこれを備えた高画質の画像形成装置を提供することができる。

動圧空気軸受を用いた本発明による光偏向器の第１の実施の形態を示す断面図である。 図１の回転体を示す断面図である。 ミラー圧入部を示す拡大図である。 図１の光偏向器の分解斜視図である。 鏡面加工用基準面の加工を説明する概略断面図である。 本発明による光偏向器の第２の実施の形態を示す断面図である。 本発明による光偏向器の第３の実施の形態を示す断面図である。 本発明による光走査装置を示す斜視図である。 本発明による光走査装置の他の実施の形態を示す斜視図である。 本発明による光偏向装置を備えた画像形成装置としてのタンデム型フルカラーレーザプリンタの構成を示す概略図である。

符号の説明

Ａ 光走査装置
Ｂ 光走査装置
Ｃ 画像形成装置
２ 固定軸（動圧軸受）
３ 回転体
８ 永久磁石
１６ スリーブ
１６ａ 動圧軸受面
１７ フランジ
１７ａ 圧入内径部（圧入部）
１７ｂ 鏡面加工用基準面
１７ｄ 圧入用案内部（抜け防止部）
１７ｅ 空隙部
１８ ミラー
１８ａ 圧入外径部
１８ｃ ミラーの反射面
１８ｄ ミラーの反射面
１９ 回転部
４１ 半導体レーザ（光源）
４５ 光偏向器
４９ 感光体

Claims (25)

1. 動圧軸受により支持された回転体がモータにより回転駆動される光偏向器において、前記回転体が、該動厚軸受を支持する動圧軸受面が内周面に形成されたスリーブと、前記スリーブの外周に固定されたフランジと、前記フランジに圧入固定されたミラーと、駆動用永久磁石と、から構成され、前記ミラーの内部が略カップ状にくり抜かれるとともに、前記スリーブに形成された動圧軸受面と、前記ミラーに形成された反射面の一部または全部が回転軸方向の位置で重なり固定されることを特徴とする光偏向器。
2. 前記フランジに前記スリーブの動圧軸受面と直交する鏡面加工用基準面が形成されることを特徴とする請求項１記載の光偏向器。
3. 前記鏡面加工用基準面が、前記フランジに設けたミラー当接面を境界として、前記ミラーの反対側に形成されることを特徴とする請求項２記載の光偏向器。
4. 前記フランジと前記ミラーの圧入固定部が、前記フランジに形成された圧入内径部と前記ミラーに形成された圧入外径部とが圧入固定された、圧入嵌合部であることを特徴とする請求項１記載の光偏向器。
5. 前記圧入嵌合部が動圧軸受の直径よりも大きな直径を有することを特徴とする請求項４記載の光偏向器。
6. 前記駆動用永久磁石がフランジに固定されることを特徴とする請求項１記載の光偏向器。
7. 前記スリーブがセラミック製であることを特徴とする請求項１記載の光偏向器。
8. 前記スリーブと前記フランジが焼き嵌めにより固定されることを特徴とする請求項１記載の光偏向器。
9. 前記ミラーに磁気軸受の回転部が固定されることを特徴とする請求項１記載の光偏向器。
10. 前記ミラーに形成された反射面が軸方向に複数段形成されていることを特徴とする請求項１記載の光偏向器。
11. 請求項１〜１０の何れか一項に記載の光偏向器を製造する光偏向器の製造方法において、前記ミラーに形成された反射面は、前記スリーブ及び前記フランジと前記ミラーを一体化後、鏡面加工により形成されることを特徴とする光偏向器の製造方法。
12. 半導体レーザからのビームを、光偏向器を含む光学系を介して被走査面へ導いて、光スポットを形成し、前記光偏向器により偏向させることにより、前記被走査面に走査線を走査する光走査装置において、前記光偏向器が請求項１〜１０の何れか一項に記載の光偏向器であることを特徴とする光走査装置。
13. 前記半導体レーザから複数のビームを、前記光偏向器を含む光学系を介して被走査面へ導いて複数の光スポットを形成し、前記光偏向器により偏向させることにより、上記被走査面の複数走査線を隣接走査する光走査装置において、前記光偏向器が請求項１〜１０の何れか一項に記載の光偏向器であることを特徴とする光走査装置。
14. 感光体の感光面に光走査装置による光走査を行って潜像を形成し、前記潜像を可視化して画像を得る画像形成装置において、前記感光体の感光面の光走査を行う光走査装置として、請求項１２又は１３に記載の光走査装置を用いることを特徴とする画像形成装置。
15. 前記フランジ及び前記ミラーに圧入用案内部が形成されていることを特徴とする請求項１記載の光偏向器。
16. 前記圧入用案内部が、前記フランジに形成された案内用外径部と前記ミラーに形成された案内用内径部が微少隙間で嵌合される構成であることを特徴とする請求項１５記載の光偏向器。
17. 前記フランジに前記ミラーが圧入固定されたときに前記フランジの案内用外径部が、前記ミラーの案内用内径部よりも圧入開始側に配置されることを特徴とする請求項１６記載の光偏向器。
18. 前記ミラーに軸方向の弾性変形が容易な弾性変形部を設けたことを特徴とする請求項１５記載の光偏向器。
19. 前記弾性変形部が圧入部とミラー部を繋ぐ薄肉の連結部であることを特徴とする請求項１８記載の光偏向器。
20. 前記フランジと前記ミラーの圧入部に抜け防止部を設けたことを特徴とする請求項１５記載の光偏向器。
21. 前記抜け防止部が、前記フランジ圧入部及び前記ミラーの圧入部にそれぞれ設けた微少な段差であることを特徴とする請求項２０記載の光偏向器。
22. 前記フランジと前記ミラーとの間に、少なくとも前記ミラーの反射面と回転軸方向の位置で重なる空隙部を設けたことを特徴とする請求項１５記載の光偏向器。
23. 半導体レーザからのビームを、光偏向器を含む光学系を介して被走査面へ導いて光スポットを形成し、前記光偏向器により偏向させることにより前記被走査面に走査線を走査する光走査装置において、前記光偏向器が請求項１５〜２２のいずれか一項記載の光偏向器であることを特徴とする光走査装置。
24. 半導体レーザからの複数のビームを、光偏向器を含む光学系を介して被走査面へ導いて複数の光スポットを形成し、前記光偏向器により偏向させることにより、前記被走査面の複数走査線を隣接走査する光走査装置において、前記光偏向器が請求項１５〜２２のいずれか一項記載の光偏向器であることを特徴とする光走査装置。
25. 感光媒体の感光面に光走査装置による光走査を行って潜像を形成し、前記潜像を可視化して画像を得る画像形成装置において、前記光走査装置が請求項２３又は２４記載の光走査装置であることを特徴とする画像形成装置。

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