JP2005104407A - 無人搬送車およびこれの走行制御方法並びに無人搬送車を用いた自動搬送システム - Google Patents

Abstract

【課題】ターンテーブルを用いることなく２つの走行路間での移動を容易に行える構造を備えた無人搬送車およびこれの走行制御方法並びに無人搬送車を用いた自動搬送システムを提供する。
【解決手段】無人搬送車１は、走行レール１１上を走行する複数のレール走行用車輪３，４，７，８と、走行レール１１に対し略直交するスライド移動方向にスライド走行可能な複数のスライド走行用車輪１６，１７と、このスライド走行用車輪１６，１７を上下動させて、上動時にレール走行用車輪３，４，７，８を床面上に離間させ、下動時にスライド走行用車輪１６，１７を床面上に着地させる昇降機構ユニット２４とを備える。自動搬送システムは、２つの走行路４１Ａ，４１Ｂ間に、板状のスライド移動用床面部４３を架け渡す配置で設置し、無人搬送車１をスライド移動用床面部４３上でスライド移動させる。
【選択図】 図９

Description

本発明は、少なくとも１本の走行レールによって設定された走行路に沿って走行するようになった無人搬送車およびこの無人搬送車の走行を制御する方法並びに同一の前記走行路を共用して複数台の上記無人搬送車を自動走行させるように制御する無人搬送車を用いた自動搬送システムに関するものである。

２４時間稼働の生産工場では、生産に携わる作業者の負担を軽減するための自動化および省力化を目的として、生産ラインの各生産設備に生産素材や半製品を無人搬送車で順次搬送する自動搬送システムが多用されている。この無人搬送車の従来の一般的な走行制御には、コスト的および技術的に有利な固定搬送路による誘導方式が一般的に採用されていた。すなわち、無人搬送車は、光学的または電磁気的な方式により工場などの床面に敷設された誘導ラインを誘導センサで検出しながら誘導ラインに沿って自動走行するよう制御される。

ところが、上述の光学的または電磁気的な方式の誘導ラインで設定された走行路に沿って無人搬送車を自動走行させる走行制御方式では、誘導ラインを誘導センサで検出しながら無人搬送車の走行方向のずれを常に補正しながら走行制御する必要があるので、走行速度を上げるに従い無人搬送車を誘導ラインに沿った走行路上に正確に走行させるのが困難となる。

一方、図１９に示すように、床面の設置溝６１内に埋設した２本の走行レール６２上に沿って無人搬送車６０を走行させるとともに、図２０に示すように、それぞれ２本の走行レール６２からなる２つの走行路間での無人搬送車６０の乗り移りを行う際に、無人搬送車６０が乗った状態でターンテーブル６３を１８０°回転させることにより、無人搬送車６０を、その向きを前後反転させた状態で一方の走行路から他方の走行路に乗り移りさせるようにした自動搬送装置も提案されている（例えば、特許文献１参照）。この自動搬送装置では、無人搬送車６０が走行レール６２に沿った走行路上を正確に走行するよう機械的に規制されているから、無人搬送車６０の走行方向に対する振れの補正を一切行う必要がないので、走行速度を高めることができる。
特開平４−５８３０６号公報

例えば、半導体ウェハの製造工場では、図２１に示すように、フォトレジスト塗布工程、パターン露光工程、エッチング工程およびレジスト剥離工程などを実施するための各装置群６４，６５，６６，６７，６８が工程順に一列配置に設置され、これら各装置群６４〜６８の配列方向に沿って前述の走行レール６２が敷設されている。そして、半導体装置の製造に際しては、同図に実線で示す搬送パターンのように、ウエハが上記各装置群６４〜６８に順に繰り返し搬送されて上述の各工程が何度も繰り返される。

また、半導体ウェハに形成すべき回路構成が変わったような場合には、同図に破線で示す搬送パターンのように、ウエハが異なる装置群６４〜６８に搬送される。また、上述の半導体ウェハの製造工程では、コストが高くつくクリーンルームの面積を可及的に小さくする目的から、図２０に示すような各装置群６４〜６８が通路の両側に沿ってそれぞれ設置されるのが一般的であり、この両側に設けられた２つの走行路間での無人搬送車６０の乗り移りを頻繁に行う必要も生じている。このように、近年の無人搬送車６０を用いた自動搬送装置では、その搬送パターンが多様化および複雑化する傾向にある。

そのため、近年の自動搬送装置には、同一走行路上での走行可能な無人搬送車６０の台数の増設や走行路間での乗り移り場所の増設を行う要求が増しているが、ターンテーブル６３を用いて無人搬送車６０を走行路間に乗り移りさせる構成では、工程の変更に伴う搬送レイアウトの変更に対し柔軟に対応できない。すなわち、ターンテーブル６３は、回転動力源を備えた大掛かりなものであるから、設置場所を変えたり、増設したりしようとすれば、設置費用が高くなるだけでなく、設置工事に時間がかかって稼働停止期間が長くなり、変更や増設が実際上極めて困難である。また、ターンテーブル６３は、無人搬送車６０を走行路間で移動させ終わるまでに比較的時間がかかり、その移動が終わるまで近傍に位置する他の無人搬送車を待機させなければならないから、これが無人搬送車６０の増設を妨げる要因になっている。しかも、ターンテーブル６３が故障した場合には、自動搬送装置自体の稼働つまり生産工程自体の稼働を停止しなければならないという重大な問題が発生する。

そこで、本発明は、上記従来の課題に鑑みてなされたもので、上述したレール走行タイプの無人搬送車において、ターンテーブルを用いることなく二つの走行路間での移動を容易に行える構造を備えた無人搬送車およびこの無人搬送車を二つの走行路間において容易、且つ円滑に移動させることのできる走行制御方法並びに被搬送物を種々の搬送パターンに容易に対応して能率的に搬送することのできる自動搬送システムを提供することを目的とするものである。

上記目的を達成するために、請求項１に係る発明の無人搬送車は、車体の底面に設けられて、少なくとも１本の走行レールからなる走行路上を転動しながら走行する複数のレール走行用車輪と、前記走行レールに対し略直交方向に向けたスライド移動方向にスライド走行可能な配置で設けられた複数のスライド走行用車輪と、前記スライド走行用車輪を前記車体に対し相対的に上下動させて、下動時に床面に着地した前記スライド走行用車輪をさらに下動させて前記レール走行用車輪を前記走行レールの上方に離間させ、且つ上動時に前記スライド走行用車輪を床面の上方に離間させる昇降機構ユニットと、前記レール走行用車輪およびスライド走行用車輪をそれぞれ回転制御し、且つ前記昇降機構ユニットを作動制御する制御装置とを備えていることを特徴としている。

請求項２に係る発明は、走行レール上の車体の走行位置を検出するレール走行用センサと、スライド走行用車輪によるスライド移動時の前記車体の位置を検出するスライド走行用センサとを備え、制御装置が、前記レール走行用センサの検出信号に基づきレール走行用車輪を回転制御するとともに、前記スライド走行用センサの検出信号に基づきスライド走行用車輪を回転制御するように構成されている。

請求項３に係る発明は、昇降機構ユニットの作動に伴うスライド走行用車輪の車体に対する相対位置を検出する計測手段を備え、制御装置は、前記計測手段の検出位置信号に基づき昇降機構ユニットを作動制御するように構成されている。

請求項４に係る発明は、制御装置が、昇降機構ユニットを作動制御することにより、スライド走行用車輪を車体に対し相対的に下動させてレール走行用車輪を走行レールの上方に離間させたのち、床面に着地した前記スライド走行用車輪のうちの走行方向に沿った一方側を固定し、且つ他方側を回転駆動させて前記車体を旋回させるとともに、この旋回動作を、前記車体の向きが走行方向に対し前後反転する配置となるまで継続させる制御を行うように構成されている。

請求項５に係る発明は、制御装置が、昇降機構ユニットを作動制御することにより、スライド走行用車輪を車体に対し相対的に下動させてレール走行用車輪を走行レールの上方に離間させたのち、前記スライド走行用車輪を回転制御させて前記車体を他の走行路に向けて移動させる制御を行うようになっている。

請求項６に係る発明は、走行路を構成する互いに平行な２条の走行レール上をそれぞれ走行する一対のレール走行用車輪を備え、一対のレール走行用車輪のうちの一方のみ、もしくは、２条の走行レールのうちの一方のみに、レール走行用車輪が走行レールから脱輪しないための規正部を設けられている。

また、請求項７に係る発明の無人搬送車を用いた自動搬送システムは、上記何れかの発明の無人搬送車が走行する少なくとも１本の走行レールからなり、互いに平行に設置された少なくとも２つの走行路を備え、昇降機構ユニットを作動させてスライド走行用車輪を床面上に着地させ、且つレール走行用車輪を床面上に離間させ、続いて、前記スライド走行用車輪を回転駆動させて前記無人搬送車を他方の前記走行路に向けてスライド走行させる制御を行うように構成されていることを特徴としている。

請求項８に係る発明は、板状の上面における複数の所定位置に停止位置設定部材が設けられて、２つの走行路間に架け渡し、且つ上面が床面と略面一となる配置で敷設された板状のスライド移動用床面部を備え、前記無人搬送車の制御装置が、一方の走行路上を直進走行して前記スライド移動用床面部上に進入した前記無人搬送車を、前記停止位置設定部材を検出した時点で位置決め停止させたのち、昇降機構ユニットを作動させてスライド走行用車輪を前記スライド移動用床面部上に着地させ、且つレール走行用車輪を床面上に離間させ、この状態で前記スライド走行用車輪を回転駆動させて前記無人搬送車を他方の前記走行路に向け前記スライド移動用床面部上でスライド走行させ、このスライド走行中の前記無人搬送車を前記停止位置設定部材を検出した時点で位置決め停止させ、続いて、前記昇降機構ユニットを作動させて前記スライド走行用車輪を前記スライド移動用床面部の上方に離間させ、且つ前記レール走行用車輪を他方の前記走行路の走行レール上に着地させる制御を行うように構成されている。

請求項９に係る発明は、無人搬送車の制御装置が、昇降機構ユニットの作動によりレール走行用車輪が床面上に離間する状態とされた前記無人搬送車を、これの走行レールに沿った両側に位置する少なくとも２つのスライド走行用車輪のうちの一方側を固定し、且つ他方側を回転制御することにより、車体の走行方向に沿った前後方向が反転するまでスライド移動用床面部上で旋回させる制御を行うようになっている。

請求項１０に係る発明は、スライド移動用床面部に、走行路を直進走行してきた無人搬送車を位置決め停止するための第１の停止位置設定部材が設けられ、無人搬送車の制御装置はレール走行用センサが前記第１の停止位置設定部材を検出した時点で走行中の無人搬送車を停止させる制御を行うようになっている。

請求項１１に係る発明は、スライド移動用床面部に設けられた第１の停止位置設定部材には、無人搬送車の走行方向に深さの小さい小凹部と、深さの大きい大凹部と、前記大凹部より上方に上面を有する凸部とが連続して順に形成され、無人搬送車の制御装置は、レール走行用センサが前記小凹部および前記大凹部の順に検出したのちに前記凸部を検出した時点でのみ走行中の無人搬送車を停止させる制御を行うようになっている。

請求項１２に係る発明は、第１の停止位置設定部材に、無人搬送車の走行方向について、凸部の両側に長さの異なる大凹部、小凹部を配し、無人搬送車が走行する際に検出する小凹部、大凹部の長さにより無人搬送車の走行方向を判別するように構成されている。

請求項１３に係る発明は、無人搬送車の制御装置は、無人搬送車を直進走行後にスライド移動用床面部上で位置決め停止させた状態で、前記無人搬送車の車体に対し相対的に下降するスライド走行用車輪が前記スライド移動用床面部に着地する寸前で下降動作を一時停止させたのち、スライド走行用車輪を下限位置まで下降させる２段階動作で昇降機構ユニットの作動制御を行うようになっている。

請求項１４に係る発明は、スライド移動用床面部に、一方の走行路から他方の走行路に向けスライド走行中の無人搬送車を位置決め停止させるための第２の停止位置設定部材と、無人搬送車を所定のスライド移動方向に導くための帯状の誘導ラインとが設けられているとともに、無人搬送車に、前記誘導ラインを非接触で検出するラインセンサが、スライド移動方向の前後方向の少なくとも２箇所に設けられ、前記無人搬送車の制御装置は、前記一対のラインセンサによる前記誘導ラインの検出結果に基づいて、スライド走行中の前記無人搬送車のスライド移動方向のずれを検知しながら、そのずれを修正するようにスライド走行用車輪を回転制御し、前記第２の停止位置設定部材を検出した時点で位置決め停止させるようになっている。

請求項１５に係る発明は、スライド移動用床面部に設けられた第２の停止位置設定部材に、深さの小さい小凹部と、深さの大きい大凹部と、前記大凹部の上方に上面を有する凸部とが連続して順に形成され、無人搬送車の制御装置は、スライド走行用センサが前記小凹部および前記大凹部の順で検出したのちに前記凸部を検出した時点でのみスライド移動中の無人搬送車を位置決め停止させる制御を行うようになっている。

請求項１６に係る発明は、スライド移動用床面部に、走行レールに沿った２箇所の対向箇所にそれぞれ第２の停止位置設定部材が設けられているとともに、無人搬送車に、前記一対の第２の停止位置設定部材を個々に検出する一対のスライド走行用センサが設けられ、前記無人搬送車の制御装置は、前記各スライド走行用センサによる前記第２の停止位置設定部材の各々の検出結果に対応して、一対のスライド走行用車輪を個々に独立して回転制御しながら無人搬送車を位置決め停止させる制御を行うようになっている。

請求項１７に係る発明は、無人搬送車の制御装置が、一方の走行路からスライド移動用床面部上をスライド走行して他方の走行路に位置決め停止された無人搬送車に対し、一対のスライド走行用センサが共に第２の停止位置設定部材を検出している状態あるいは検出済みである状態である場合にのみ昇降機構ユニットを作動させてスライド走行用車輪を上昇させる制御を行うようになっている。

請求項１８に係る発明は、無人搬送車の制御装置が、一方の走行路からスライド移動用床面部上をスライド走行して他方の走行路上に位置決め停止された無人搬送車の車体に対しスライド走行用車輪が相対的に上昇するのに伴いレール走行用車輪が走行レール上に着地する寸前で上昇動作を一時停止させたのち、スライド走行用車輪を上限位置まで上昇させる２段階動作で昇降機構ユニットの作動制御を行うようになっている。

請求項１９に係る発明は、スライド走行して位置決め停止された無人搬送車のレール走行用車輪が下降して着地する走行レールの特定箇所が、正規の幅より狭くした幅狭部に形成されている。

請求項２０に係る発明は、少なくとも２つの走行路は、それぞれ２条の走行レールからなり、無人搬送車における２条の前記走行レール上をそれぞれ走行する一対のレール走行用車輪のうちの一方のみに、レール走行用車輪から脱輪しないための規制部を設け、もしくは、２条の走行レールのうちの一方のみに前記規正部を設け、スライド移動用床面部は、隣接する走行路の各々の外側の走行レールの間に架け渡す配置で、且つ自体の上面が前記走行レールの上面と面一となる高さで設けられ、前記両走行路の相対向する内側の走行レールは、前記スライド移動用床面部の設置箇所において除外されている。

また、請求項２１に係る発明の無人搬送車の走行制御方法は、車体の底面に設けられて、少なくとも１本の走行レールからなる走行路上を転動しながら走行する複数のレール走行用車輪と、前記走行レールに対し略直交方向に向けたスライド移動方向にスライド走行可能な配置で設けられた複数のスライド走行用車輪と、前記スライド走行用車輪を前記車体に対し相対的に上下動させる昇降機構ユニットと、前記レール走行用車輪およびスライド走行用車輪をそれぞれ回転制御し、且つ昇降機構ユニットを作動制御する制御装置とを備えた無人搬送車の走行制御方法であって、前記制御装置による前記昇降機構ユニットの作動制御により、前記スライド走行用車輪を前記車体に対し相対的に下動させて、床面に着地した前記スライド走行用車輪をさらに下動させて前記レール走行用車輪を前記走行レールの上方に離間させ、床面上に着地した前記スライド走行用車輪を回転制御して前記無人搬送車を他方の走行路に向けスライド走行させ、スライド走行する前記無人搬送車を前記他方の走行路上で停止させ、前記制御装置による前記昇降機構ユニットの作動制御により、前記スライド走行用車輪を前記車体に対し相対的に上動させて床面上に離間させ、且つ前記レール走行用車輪を前記他方の走行路の走行レール上に着地させることを特徴としている。

請求項２２に係る発明は、板状の上面における複数の所定位置に第１および第２の停止位置設定部材が設けられたスライド移動用床面部が、２つの走行路間に架け渡し、且つ上面が床面に略面一となる配置で敷設され、一方の前記走行路上を直進走行して前記スライド移動用床面部上に進入した前記無人搬送車を、前記第１の停止位置設定部材を検出した時点で位置決め停止させたのち、昇降機構ユニットを作動させてスライド走行用車輪を前記スライド移動用床面部上に着地させ、且つレール走行用車輪を床面上に離間させ、続いて、前記スライド走行用車輪を回転駆動させて前記無人搬送車を他方の前記走行路に向け前記スライド移動用床面部上でスライド走行させ、このスライド走行中の前記無人搬送車を前記第２の停止位置設定部材を検出した時点で位置決め停止させ、その停止状態において、前記昇降機構ユニットを作動させて前記スライド走行用車輪を床面上に離間させ、且つ前記レール走行用車輪を他方の前記走行路の走行レール上に着地させる制御を行うようになっている。

請求項１の発明では、一方の走行路から他方の走行路に乗り移りさせる場合に、制御装置が、スライド走行用車輪を下降させるように昇降機構ユニットを作動制御すると、スライド走行用車輪が床面上に着地し、且つレール走行用車輪が走行レールの上方に離間した状態となるから、つぎに、スライド走行用車輪を回転駆動することにより、無人搬送車自体が一方の走行路から他方の走行路へ向けてスライド移動する。このスライド移動後に、制御装置が、スライド走行用車輪を上昇させるように昇降機構ユニットを作動制御すると、スライド走行用車輪が床面上から離間し、且つレール走行用車輪が他方の走行路の走行レール上に着地する。したがって、この無人搬送車は、自体がスライド移動して一方の走行路から他方の走行路に乗り移ることができるので、従来のターンテーブルを用いない自動搬送システムを構築することができる。

請求項２の発明では、無人搬送車を二つの走行路間で相互に乗り移りさせるに際して、レール走行用センサで停止位置を検出することにより、直進走行する車体を乗り移り箇所に正確に位置決め停止させることができるとともに、スライド移動中にスライド走行用センサで停止位置を検出することにより、車体を他方の走行路の真上に正確に位置決め停止させることができる。

請求項３の発明では、無人搬送車を二つの走行路間で相互に乗り移りさせるのに先立って、スライド走行用車輪を車体に対し相対的に下降させてレール走行用車輪を床面上に離間させるときに、計測手段の計測結果に基づいてスライド走行用車輪の下動した位置を正確に制御して、レール走行用車輪を床面から確実に離間させることができるとともに、上記乗り移り終了後に、計測手段の計測結果に基づいてスライド走行用車輪の上動した位置を正確に制御して、レール走行用車輪を走行用レール上に確実に着地させることができる。

請求項４の発明では、無人搬送車を一方の走行路から他方の走行路に乗り移りさせるのに先立って、レール走行用車輪を走行レールの上方に離間させて、床面に着地させた少なくとも２つのスライド走行用車輪のうちの一方を固定し、且つ他方を回転制御することにより、無人搬送車を旋回させて車体の向きが走行方向に対し前後反転する配置とできるから、方向性を有する被搬送物を積載している場合に、無人搬送車を一方の走行路から他方の走行路に乗り移しさせたのちに、被搬送物を物品移載所に対し支障無く受け渡しできるように搬送することができる。

請求項５の発明では、走行レール上を走行するレール走行用車輪とは別に設けたスライド走行用車輪がレール走行用車輪に代わって車体を支持する状態に切り換えて、このスライド走行用車輪によって車体を一方の走行路から他方の走行路に向けて円滑に移動させて乗り移しさせることができる。

請求項６の発明では、一対のうちの一方のレール走行用車輪または２条のうちの一方の走行レールに設けた規正部によって一対のレール走行用車輪を２条の走行レール上を脱輪することなく走行させることができるので、例えば、規正部を有しない走行レールまたは規正部を有しないレール走行用車輪が走行する走行レールをスライド移動用床面部の上面と面一に設置することができるので、その走行レール上を走行するレール走行用車輪をスライド移動用床面部の上面に円滑に進入させて支障無く乗り上げさせることができるので、一方の走行路から他方の走行路への乗り移りを、上述のスライド移動用床面部上でのスライド走行用車輪の転動によるスライド走行によって容易、且つ円滑に行うことができる。

請求項７の発明では、無人搬送車に備えたスライド走行用車輪の回転駆動によりスライド走行させて二つの走行路間で乗り移りさせるので、無人搬送車の二つの走行路間での乗り移りに要する時間がターンテーブルを用いる場合に比較して短縮されるのに加えて、無人搬送車が一方の走行路から他方の走行路へ向けスライド移動中においても両方の走行路上を無人搬送車が直進走行できるから、無人搬送車の設置台数を容易に増やせることができる。これにより、この自動搬送システムは、搬送パターンや搬送レイアウトの変更に対して柔軟に対応することができ、しかも、無人搬送車が故障した場合には、その搬送車を走行路から除外すればよいので、故障発生時やメンテナンス時での稼働率低下への影響が大幅に低減する。

請求項８の発明では、無人搬送車の二つの走行路間での乗り移りに要する時間をターンテーブルに比較して短縮でき、無人搬送車の設置台数を容易に増やせることができ、搬送パターンや搬送レイアウトの変更に対して柔軟に対応することができ、故障発生時やメンテナンス時での稼働率低下への影響が大幅に低減できる効果を得られるのに加えて、無人搬送車を板状のスライド移動用床面部上でスライド走行させて二つの走行路間で乗り移りさせるので、動力源を備えていない単なる板状のスライド移動用床面部を床面に埋設するだけで乗り移り場所を設置することができるから、従来のターンテーブルに比較して、格段に安価に、且つ短時間の工事で乗り移り場所を増設することができる。また、一方の走行路上を直進走行中の無人搬送車の位置決め停止およびスライド走行中の無人搬送車の位置決め停止を、板状のスライド移動用床面部に設けた停止位置設定部材を検出した時点で行うので、車体を所定位置に正確に停止させることができる。

請求項９の発明では、直進走行中の無人搬送車を位置決め停止させたのちに、他方の走行路に向けスライド走行させるのに先立って、スライド移動用床面上で旋回させて前後方向を反転することができるから、直進走行方向に対し方向性を有する被搬送物を積載している場合に、無人搬送車を二つの走行路間で乗り移りさせたのちに、被搬送物を物品移載所に対し支障無く受け渡しすることができる。

請求項１０の発明では、直進走行中の無人搬送車を、スライド移動用床面部における所定位置に確実に位置決め停止させることができるとともに、センサの誤検出によって停止位置がずれるといった不具合の発生を確実に防止することができる。

請求項１１の発明では、直進走行中の無人搬送車を、スライド移動用床面部における所定位置に極めて高精度に位置決め停止させることができるとともに、センサの誤検出によって停止位置がずれるといった不具合の発生を一層確実に防止することができる。

請求項１２の発明では、小凹部、大凹部および凸部の配列順序の相違に基づいて無人搬送車の走行方向をも判別でき、無人搬送車の多様な搬送レイアウトに対応できる。

請求項１３の発明では、スライド走行用車輪がスライド移動用床面部に着地するときの衝撃を低減して無人搬送車およびこれに積載中の被搬送物が損傷されるのを防止しながらも、スライド走行用車輪の下降動作を可及的に短時間で行うことができる。

請求項１４の発明では、スライド移動用床面部上をスライド走行する無人搬送車を所定のスライド移動方向に沿って正確にスライド走行させたのち、所定位置に正確に停止させるように制御することができる。

請求項１５の発明では、スライド移動用床面上をスライド走行中の無人搬送車を、スライド移動用床面部における所定位置に極めて高精度に位置決め停止させることができるとともに、センサの誤検出によって停止位置がずれるといった不具合の発生を確実に防止することができる。

請求項１６の発明では、スライド移動用床面部上をスライド走行中の無人搬送車を、これの一対のスライド走行用車輪がそれぞれ所定位置に停止するよう個々に独立して位置決め停止させるので、無人搬送車は、前後方向の向きを正確に制御されて、複数のレール走行用車輪がそれぞれ乗り移るべき走行レールの真上に正確に位置するよう極めて高精度に位置決め停止されることになる。

請求項１７の発明では、スライド走行用車輪を上昇させてレール走行用車輪を走行レール上に着地させるときに、一対のレール走行用車輪が共に走行用レールの真上に位置していな場合にはスライド走行用車輪の上昇によるレール走行用車輪の走行レール上への着地を行わないので、レール走行用車輪が走行レールから脱線する不具合の発生を未然に、且つ確実に防止することができる。

請求項１８の発明では、レール走行用車輪が走行レール上に着地するときの衝撃を低減して無人搬送車およびこれに積載中の被搬送物が損傷されるのを防止しながらも、スライド走行用車輪の上昇動作を可及的に短時間で行うことができる。

請求項１９の発明では、他方の走行路に向けスライド移動後に位置決め停止された無人搬送車のレール走行用車輪と走行レールとの相対位置に僅かなずれがあっても、このずれが幅狭部で吸収されて、レール走行用車輪を走行レールに対し脱線することなく確実に着地させることができる。

請求項２０の発明では、走行レール上を直進走行してきた無人搬送車を、駆動車輪が走行レール上を転動し、且つ従動車輪がスライド移動用床面部上に進入して転動することにより、車体を板状のスライド移動用床面部上に円滑に進入させることができるとともに、スライド移動用床面部上に走行レールが一切存在しないので、スライド走行用車輪をスライド移動用床面部上で円滑に転動させて他方の走行路へのスライド走行を支障無く行わせることができる。

請求項２１の発明では、一方の走行路から他方の走行路に乗り移りさせる場合に、制御装置が、スライド走行用車輪を下降させるように昇降機構ユニットを作動制御すると、スライド用走行用車輪が床面上に着地し、且つレール走行用車輪が走行レールの上方に離間した状態となるから、つぎに、スライド走行用車輪を回転駆動することにより、無人搬送車自体が一方の走行路から他方の走行路へ向けてスライド走行する。このスライド走行後に、制御装置が、スライド走行用車輪を上昇させるように昇降機構ユニットを作動制御すると、スライド走行用車輪が床面上から離間し、且つレール走行用車輪が他方の走行路の走行レール上に着地する。したがって、この無人搬送車は、自体がスライド走行して一方の走行路から他方の走行路に乗り移ることができるので、従来のターンテーブルを用いて走行路間で乗り移りさせる場合に比べて、短時間で乗り移りさせることができるとともに、その乗り移り時に双方の走行路上を他の無人搬送車を直進走行させることができる。

請求項２２の発明では、無人搬送車を板状のスライド移動用床面部上でスライド走行させて二つの走行路間で乗り移りさせるので、動力源を備えていない単なる板状のスライド移動用床面部を床面に敷設するだけで乗り移り場所を設置することができるから、従来のターンテーブルを用いて乗り移りさせる場合に比較して、格段に安価に、且つ短時間の工事で乗り移り場所を増設することができる。また、無人搬送車の二つの走行路間での乗り移りに要する時間がターンテーブルを用いる場合に比較して短縮されるのに加えて、無人搬送車が一方の走行路から他方の走行路へ向けスライド移動中においても両方の走行路上を無人搬送車が直進走行できるから、無人搬送車の設置台数を容易に増やせることができる。これにより、この無人搬送車の走行制御方法では、搬送パターンや搬送レイアウトの変更に対して、安価な費用と短時間の工事とで柔軟に対応することができる。しかも、無人搬送車が故障した場合には、その搬送車を走行路から除外すればよいので、故障発生時やメンテナンス時での稼働率低下への影響が大幅に低減する。

以下、本発明の好ましい実施の形態について図面を参照しながら説明する。図１は本発明の一実施の形態に係る無人搬送車１の要部構成の配置を模式的に示した概略平面図、図２は同無人搬送車１の正面図を示し、図２（ａ）は直進走行状態時、同図（ｂ）は走行路間のスライド移動状態時を示したものである。この無人搬送車１は、車体２の下面に、レール走行用前側駆動車輪３とレール走行用後側駆動車輪４およびレール走行用前側従動車輪７とレール走行用後側従動車輪８がそれぞれ取り付けられ、前，後側駆動車輪３，４は、レール走行用前輪駆動モータ９およびレール走行用後輪駆動モータ１０の回転力の伝達を受けて走行レール１１上で転動することにより、平行な一対の走行レール１１上に沿って図１の矢印で示す走行方向に直進走行する。

図２に示すように、前，後側駆動車輪３，４は、両側に備えた規正部としてのガイドフランジによって走行レール１１の上面部を挟む状態で走行レール１１に正確に沿って走行する。一方、前，後側従動車輪７，８は、ガイドフランジを備えていないが、前，後側駆動車輪３，４によって車体２が走行レール１１に正確に沿った方向に移動されるのに伴って走行レール１１上から脱輪することなく走行する。

なお、規正部としてのガイドフランジは従動車輪に設けられても構わないし、一対の走行レールの一方のみに規正部（凹形状のレール）を設けて、この規正部を有する走行レール上をフランジ無しの車輪を走行するように設けても構わない。何れにしても、走行する方向に向いて左右方向をガイドできるものであれば、どのようなものでも構わない。

車体２の中央部右側には、図２（ｂ）に示すように、レール設置溝１４の予め設定された所定箇所の外側面にそれぞれ貼着された第１の停止位置設定部材４７またはマーカ部材（図示せず）を検出するレール走行用センサ１３が取り付けられている。この第１の停止位置設定部材４７およびマーカ部材は、レール設置溝１４の図２（ｂ）に示す断面における同一箇所にそれぞれ配置して取り付けられている。

前記レール走行用センサ１３は、ＬＥＤのスポット光を下方に向け投射して、その反射光の入射位置に基づき反射点までの距離を検出する測距センサである。レール走行用前，後側駆動車輪３，４は、制御装置２８がレール走行用センサ１３の検出信号に基づきレール走行用前輪駆動モータ９およびレール走行用後輪駆動モータ１０をそれぞれ回転制御することにより、走行を制御される。これについての詳細は後述する。

図１に示すように、車体２の走行方向に沿った中央部には、上記走行方向に延びる形状を有した取付基台としての機構ベース部１５が上下動自在に取り付けられており、上記機構ベース部１５は、図１の上下作動軸２９の正，逆方向の回転駆動により上下動される。この機構ベース部１５には、その下側に旋回用兼スライド走行用ユニット１２が備わっている。その旋回用兼スライド走行用ユニット１２には、後述の図３に示す旋回用兼スライド走行用駆動ユニット１２の各構成要素が図１に示す配置でそれぞれ取り付けられている。

すなわち、機構ベース部１５における車体２の走行方向の前後箇所には、共に一対の車輪からなるスライド走行用前側車輪１６およびスライド走行用後側車輪１７がレール走行方向に対し略直交方向に向けてスライド走行できる配置で取り付けられている。このスライド走行用前側車輪１６およびスライド走行用後側車輪１７は、個々のスライド走行用前輪駆動モータ１８およびスライド走行用後輪駆動モータ１９の回転力を受けて、後述するスライド移動用床面部上を転動しながらスライド走行する。このスライド走行についての詳細は後述する。

上記機構ベース部１５におけるスライド走行用前側車輪１６とスライド走行用後側車輪１７の各々の中央部（１対の車輪にはさまれた部分）には、スライド走行用前側センサ２０およびスライド走行用後側センサ２１が取り付けられている。この両センサ２０，２１は、レール走行用センサ１３と同様のものであって、共にＬＥＤのスポット光を下方に向け投射して、その反射光の入射位置に基づき反射点までの距離を検出する測距センサである。

さらに、上記機構ベース部１５の走行方向に対し中央部左右箇所には、旋回用兼スライド走行用駆動ユニット１２における左，右側ラインセンサ２２，２３が配設されている。この両ラインセンサ２２，２３は、それぞれ９個の磁気センサ素子２２ａ，２３ａが一列配置に設けられて、後述する磁気誘導テープを検出するものである。スライド走行用前側車輪１６およびスライド走行用後側車輪１７は、上記両ラインセンサ２２，２３による磁気誘導テープの検出信号に基づき制御装置２８がスライド走行用前輪駆動モータ１８およびスライド走行用後輪駆動モータ１９を回転制御することにより、これら駆動モータ１８，１９の回転がそれぞれ伝達されて、レール走行方向と略直交するスライド移動方向に向けて車体２をスライド移動させる。

また、車体２の中央部には、上述の旋回用兼スライド走行用駆動ユニット１２が取り付けられた機構ベース部１５を上下動させる昇降機構ユニット２４が設けられている。この昇降機構ユニット２４は、昇降用駆動モータ２７（図３のブロック図参照）と、このモータ２７の正，逆方向の回転が伝達される上下作動軸２９とを備えて構成されており、上下作動軸２９が正，逆方向に回転することによって機構ベース部１５を介して旋回用兼スライド走行用駆動ユニット１２を上下動させるもので、例えば、上下作動軸２９としてボールねじを用いた周知の昇降機構に構成されている。

図３は、上記無人搬送車１の電気系構成を示す機能ブロック図であり、同図において、図１および図２と同一若しくは相当するものに同一の符号を付して、重複する説明を省略する。制御装置２８におけるＣＰＵからなる制御部３０は、ＲＡＭ３１に記憶のデータおよび上記各センサ１３，２０〜２３からの検出信号に基づき各種の演算を行い、その演算結果をＲＡＭ３１に一時記憶するとともに、ＲＯＭ３２に設定記憶されたプログラムを実行することにより、無人搬送車１全体を制御する。

レール走行用駆動ユニット６は、無人搬送車１の走行レール１１に沿った直進走行を行うためのもので、これのレール走行用前輪駆動モータ９およびレール走行用後輪駆動モータ１０は、制御部３０からの速度指令信号を受けたモータドライバ部３４により制御されて、互いに同期回転される。厳密には制御部３０のＣＰＵが同期するように指示を出し、ドライバ部３４はモータ９，１０各々に１つずつ存在する。このレール走行用前輪駆動モータ９およびレール走行用後輪駆動モータ１０が回転駆動されたときには、各々に備えられたエンコーダ９ａ，１０ａから出力するエンコーダパルスがモータドライバ部３４に入力され、モータドライバ部３４は、入力したエンコーダパルスを自体に内蔵のカウンタで計数して演算することにより、無人搬送車１の走行レール１１上での位置情報を制御部３０に対し出力する。制御部３０は、入力した位置情報をＲＡＭ３１に一時記憶させるとともに、この位置情報とレール走行用センサ１３からの検出信号とを比較対照して、無人搬送車１が所定位置まで走行したと判別したときに、モータドライバ部３４に対し無人搬送車１の停止を指令する。

旋回用兼スライド走行用駆動ユニット１２では、スライド走行用前輪駆動モータ１８およびスライド走行用後輪駆動モータ１９が、制御部３０からの速度指令信号を受けたモータドライバ部３７により回転制御される。厳密には制御部３０のＣＰＵが同期するように指示を出し、ドライバ部３７はモータ１８，１９各々に１つずつ存在する。車体２の旋回動作を行う場合には、スライド走行用前輪駆動モータ１８およびスライド走行用後輪駆動モータ１９のうちの何れか一方が回転停止状態に保持され、且つ他方が指定速度で回転制御される。一方、二つの走行路間での無人搬送車１の乗り移り移動を行う場合には、スライド走行用前輪駆動モータ１８およびスライド走行用後輪駆動モータ１９が個々に独立して回転制御される。

上記両モータ１８，１９が回転駆動されたときには、各々に備えられたエンコーダ１８ａ，１９ａから出力するエンコーダパルスがモータドライバ部３７に入力され、モータドライバ部３７は、入力したエンコーダパルスを自体に内蔵のカウンタで計数して演算することにより、無人搬送車１のスライド移動中における位置情報として制御部３０に対し出力する。制御部３０は、入力した位置情報をＲＡＭ３１に一時記憶させるとともに、この位置情報と上記各センサ２０〜２３からの検出信号とを比較対照して、無人搬送車１が所定位置までスライド走行したと判別したときに、モータドライバ部３７に対し無人搬送車１の停止を指令する。これの詳細については後述する。

昇降機構ユニット２４では、昇降用駆動モータ２７が、制御部３０からの速度指令信号を受けたモータドライバ部３８により回転制御される。つまり、旋回用兼スライド走行用駆動ユニット１２の昇降動作を行う場合には、昇降用駆動モータ２７が正方向または逆方向の何れかに回転制御され、この昇降用駆動モータ２７が回転駆動されたときには、これに備えられたエンコーダ２７ａから出力するエンコーダパルスがモータドライバ部３８に入力され、モータドライバ部３８は、入力したエンコーダパルスを自体に内蔵のカウンタで計数して演算することにより、その演算結果を図１の上下作動軸２９の高さ位置情報として制御部３０に対し出力する。

制御部３０は、入力した高さ位置情報をＲＡＭ３１に一時記憶させるとともに、その高さ位置情報と上記ＲＡＭ３１に記憶のデータとを比較対照して、上下作動軸２９つまり旋回用兼スライド走行用駆動ユニット１２の機構ベース部１５が所要の高さ位置に達したと判別したときに、モータドライバ部３８に対し旋回用兼スライド走行用駆動ユニット１２の昇降動作の停止を指令する。また、制御部３０は、旋回用兼スライド走行用駆動ユニット１２が上限位置まで上昇されたと判別したときに、旋回用兼スライド走行用駆動ユニット１２の上昇を停止させる。

つぎに、上記構成とした無人搬送車１を用いて構成した本発明の一実施の形態に係る自動搬送システムについて説明する。図４は上記自動搬送システムの要部構成の概略配置図を示したもので、直線状の通路を間にはさんでその両側には、例えば半導体装置などの製品を製造するための各生産設備４０Ａ〜４０Ｆが所定の２列配置に設置されて、製造工程が構築されている。上記各生産設備４０Ａ〜４０Ｈによる２列配置の製造工程の間には、図１および図２に示した互いに平行に配列された２条の走行レール１１からなる二つの走行路４１Ａ，４１Ｂが２列配置に敷設されている。上記各走行路走行路４１Ａ，４１Ｂ上には、図１および図２に示した無人搬送車１が複数台（この実施の形態では７台の場合を例示）同時に走行できるよう設けられている。各無人搬送車１は、被搬送物を積載して走行路４１Ａ，４１Ｂ上を走行し、各生産設備４０Ａ〜４０Ｆの物品移載所４２Ａ〜４２Ｍで位置決め停止したのち、被搬送物の受け渡しを行う。

走行路４１Ａ，４１Ｂにおける所定の複数箇所（この実施の形態では６箇所の場合を例示）には、スライド移動用床面部４３が両走行路４１Ａ，４１Ｂに跨がった配置で設けられている。このスライド移動用床面部４３の詳細については後述する。なお、走行路４１Ａ，４１Ｂにおける複数の適所には、無人搬送車１に搭載した駆動源の鉛蓄電池を充電するための充電器４４が設置されている。

図５は、無人搬送車１の直進走行時の走行位置の確認および停止位置の検出を行うための構成を示す概略平面図である。図４の走行路４１Ａ，４１Ｂをそれぞれ構成する一対の走行レール１１のうちの一方の近傍箇所には、第１の停止位置設定部材４７Ａ〜４７Ｅ（この符号は後述の図６を説明するための便宜上付したもので、以後の説明では、第１の停止位置設定部材に４７のみの符号を付すものとする）およびマーカ部材４８が配設されている。具体的には、図２（ａ），（ｂ）に示すように、レール設置溝１４内の側面に第１の停止位置設定部材４７およびマーカ部材４８が固着されている。これら第１の停止位置設定部材４７およびマーカ部材４８は、共に反射板からなり、走行中の無人搬送車１のレール走行用センサ１３によって非接触で光学的に検出される。

第１の停止位置設定部材４７は無人搬送車１の物品移載所４２に対する所定の停止位置を設定するものであり、マーカ部材４８は物品移載所４２に到達するまでの位置を確認するとともに停止用の減速開始位置を示すものである。図５は、一つの物品移載所４２に３つの物品移載個所４２Ａ〜４２Ｃが設けられ、また、図６に示すように、無人搬送車１に３台の物品移載機１Ａ〜１Ｅが搭載されている場合の第１の停止位置設定部材４７およびマーカ部材４８の配置を示したものである。すなわち、無人搬送車１の３台の物品移載機１Ａ〜１Ｃの何れからでも物品移載所４２における全ての物品移載個所４２Ａ〜４２Ｃに物品の受け渡しを行えるようにするためには、無人搬送車１を一つの物品移載所４２に対して所定の５つの位置に位置決め停止させる必要があるので、この５つの停止位置を設定するための５つの第１の停止位置設定部材４７Ａ〜４７Ｅを一つの物品移載所４２に対応して設けてある。これの詳細は図６で後述する。また、一つの物品移載所４２に対応して３つのマーカ部材４８が物品移載所４２に対し無人搬送車１の進行方向手前側に設けられている。

図６（ａ）は、レール走行用センサ１３が第１の停止位置設定部材４７Ｅを検出した時点で無人搬送車１を停止させて、無人搬送車１の物品移載機１Ａを物品移載箇所４２Ｃに対し物品の受け渡しを行えるように位置決めしている。（ｂ）は、レール走行用センサ１３が第１の停止位置設定部材４７Ｄを検出した時点で無人搬送車１を停止させて、物品移載機１Ａ，１Ｂを物品移載箇所４２Ｂ，４２Ｃに対しそれぞれ物品の受け渡しを行えるように位置決めしている。（ｃ）は、レール走行用センサ１３が第１の停止位置設定部材４７Ｃを検出した時点で無人搬送車１を停止させて、物品移載機１Ａ〜１Ｃを物品移載箇所４２Ａ〜４２Ｃに対しそれぞれ物品の受け渡しを行えるように位置決めしている。（ｄ）は、レール走行用センサ１３が第１の停止位置設定部材４７Ｂを検出した時点で無人搬送車１を停止させて、物品移載機１Ｂ，１Ｃを物品移載箇所４２Ａ，４２Ｂに対しそれぞれ物品の受け渡しを行えるように位置決めしている。（ｅ）は、レール走行用センサ１３が第１の停止位置設定部材４７Ａを検出した時点で無人搬送車１を停止させて、物品移載機１Ｃを物品移載箇所４２Ａに対し物品の受け渡しを行えるように位置決めしている。

図７は、上記第１の停止位置設定部材４７およびマーカ部材４８をそれぞれ示す走行レール１１に沿った方向の断面図であり、これら第１の停止位置設定部材４７およびマーカ部材４８としては、上述のように反射板が用いられる。第１の停止位置設定部材４７は、上面が所要の凹凸形状になっており、所定長さａを有する小凹部４７ａ、小凹部４７ａよりも大きな深さと所定長さｂを有する大凹部４７ｂおよび所定長さ（２×ｃ）を有する凸部４７ｃが、Ｐ矢印で示す無人搬送車１の走行方向に沿って上記の順に配設されている。上記制御装置２８の制御部３０は、レール走行用センサ１３が小凹部４７ａ、大凹部４７ｂおよび凸部４７ｃの順に検出したときに、第１の停止位置設定部材４７を検出したと判別して、凸部４７ｃの検出時点からこれの長さ（２×ｃ）の半分の距離ｃだけ走行した時点で無人搬送車１を停止させるように走行制御するのであるが、これの詳細については後述する。

レール走行用センサ１３は、上述したように、ＬＥＤのスポット光を投射して、その反射光の入射位置の相違に基づき三角測量法で反射位置までの距離を計測する測距センサであり、計測距離信号に加えて２値の検出信号を出力する。すなわち、レール走行用センサ１３は、同図に２本の１点鎖線で示す２種の計測基準高さｈ１，ｈ２を設定して、計測距離が上部計測基準高さｈ１よりも長いときに第１の検出信号がオンとなり、計測距離が下部基準高さｈ２より短いときに第２の検出信号がオンとなる。なお、マーカ部材４８は、上部計測基準高さｈ１より低く、且つ下部基準高さｈ２より高い所定高さを一様に有する平板状になっている。

したがって、制御部３０は、上記２種の検出信号が共にオンとなる上記２種の計測基準高さｈ１，ｈ２の範囲内に上面が存在する物体のみを検出対象としている。具体的に説明すると、無人搬送車１が走行方向Ｐに沿って直進走行して、レール走行用センサ１３が第１の停止位置設定部材４７の小凹部４７ａの開始点Ａに対向したときに、レール走行用センサ１３の第１および第２の検出信号が共にオンとなることにより、小凹部４７ａの検出であると判別し、小凹部４７ａの開始点Ａの位置情報を記憶する。上記小凹部４７ａの検出は、厳密にはレール走行用センサ１３の計測距離信号に基づき判別される。これは、小凹部４７ｓに対し僅かに高さの異なるもの、例えば大凹部４７ｂよりも僅かに小さい高さのものまで小凹部４７ａであると誤検出するのを防止するためである。

無人搬送車１が走行方向Ｐに向け走行を継続してレール走行用センサ１３が大凹部４７ｂの開始点Ｂに対向したときに、レール走行用センサ１３が大凹部４７ｂを検出して、その大凹部４７ｂの計測距離信号を出力する。この大凹部４７ｂの開始点Ｂの位置情報から小凹部４７ａの開始点Ａの位置情報を減算して得られる距離ａが規定範囲内であれば、大凹部４７ｂの開始点Ｂの検出であると判別する。これにより、床面の凹凸などを小凹部４７ａまたは大凹部４７ｂと誤検出するのを防止できる。

無人搬送車１がさらに走行方向Ｐに向け走行を継続してレール走行用センサ１３が凸部４７ｃの開始点Ｃに対向したときに、レール走行用センサ１３が凸部４７ｃを検出して、その凸部４７ｃの計測距離信号を出力する。この凸部４７ｃの開始点Ｃの位置情報から大凹部４７ｂの開始点Ｂの位置情報を減算して得られる距離ｂが規定範囲内であれば、凸部４７ｃの開始点Ｃの検出であると判別する。これにより、床面の凹凸などを大凹部４７ｂまたは凸部４７ｃと誤検出するのを防止できる。

そして、凸部４７ｃの開始点Ｃを検出したのち、この凸部４７ｃの幅２ｃの判別の距離ｃだけ無人搬送車１が走行した時点で、無人搬送車１を位置決め停止する。大凹部４７ｂと凸部４７ｃとの判別は、上記２種の計測基準高さｈ１，ｈ２のほぼ中間の高さの判別用高さを別途設定して、レール走行用センサ１３の計測距離信号が判別用高さに対し上下どちらであるかに基づいて行う。例えば、凸部４７ｃの高さが小凹部４７ａと同じであり、小凹部４７ａの基準高±１ｍｍの範囲内に入っているか否かを判別している。

なお、第１の停止位置設定部材４７には、凸部４７ｃの反対側に、大凹部４７ｂおよび小凹部４７ａとは長さの異なる大凹部４７ｄおよび小凹部４７ｅが設けられており、制御部３０は、小凹部４７ａ，４７ｅ、大凹部４７ｂ，４７ｄおよび凸部４７ｃの配列順序の相違に基づいて無人搬送車１の走行方向をも判別できるようになっている。

図８（ａ）はスライド移動用床面部４３と走行レール１１との相対配置を説明するための概略平面図、（ｂ）は（ａ）のＤ−Ｄ線で切断した拡大断面図、（ｃ）は（ａ）のｅ部を詳細に示した拡大平面図、（ｄ）は（ｃ）のＥ−Ｅ線断面図である。上記スライド移動用床面部４３としては、この実施の形態において、アルミニウムの鋳物で形成された矩形状の平板が用いられている。このスライド移動用床面部４３は、（ａ）に示すように、２つの走行路４１Ａ，４１Ｂの各々の相対向する内側の走行レール１１を跨ぐ配置で、且つ上面が走行レール１１の走行上面と同一となる高さに設定して床面に埋め込み状態に設けられている。

したがって、ガイドフランジの無いレール走行用前，後側従動車輪７，８は、走行レール１１からスライド移動用床面部４３上に円滑に前進して支障無く進入できるとともに、レール走行用前，後側駆動車輪３，４は、これのガイドフランジによって走行レール１１に沿った方向に車体２を正確に導くので、無人搬送車１は支障なくスライド移動用床面部４３上を走行することができる。

上記スライド移動用床面部４３における各一対の走行レール１１間にそれぞれ対向する所定の４箇所には、何れも反射板からなる第２の停止位置設定部材４９が埋設されている。この第２の停止位置設定部材４９は、図８（ｂ）に示すように、上面が所定の凹凸形状になっており、所定長さｆを有する小凹部４９ａ、所定長さｇを有する大凹部４９ｂおよび凸部４９ｃが、Ｑ矢印で示す無人搬送車１のスライド走行方向に沿って上記の順に配設されている。図２の制御装置２８における図３の制御部３０は、スライド走行用前側センサ２０およびスライド走行用後側センサ２１が個別の第２の停止位置設定部材４９における小凹部４９ａ、大凹部４９ｂおよび凸部４９ｃの順に検出したときに、第２の停止位置設定部材４９を検出したと判別して、凸部４９ｃを検出した時点で無人搬送車１を停止させるようにスライド走行を制御する。

上記スライド走行用前側センサ２０およびスライド走行用後側センサ２１は、レール走行用センサ１３とほぼ同一のものであって、ＬＥＤのスポット光を投射し、その反射光の入射位置の相違に基づき三角測量法で反射位置までの距離を計測する測距センサである。すなわち、スライド走行用前側センサ２０およびスライド走行用後側センサ２１は、小凹部４９ａ、大凹部４９ｂおよび凸部４９ｃのそれぞれの検出信号を２値信号として出力できるように、図８（ｂ）に２本の１点鎖線で示す２種の計測基準高さｈ３，ｈ４を設けて、自体の計測距離が上部計測基準高さｈ３よりも長く、且つ下部計測基準高さｈ４よりも短いときに第１の検出信号がオンで、且つ第２の検出信号がオフとなり、自体の計測距離が下部基準高さｈ４よりも長いときに、第１および第２の検出信号が共にオンとなる。

具体的に説明すると、図３の制御部３０は、無人搬送車１が図８（ｂ）のスライド走行方向Ｑに向けスライド走行して、スライド走行用前側センサ２０およびスライド走行用後側センサ２１の第１の検出信号のみがオフからオンになった検出状態を保持しながら所定距離（例えば１０ｍｍ以上）だけスライド走行した場合に、その第１の検出信号のみがオフからオンに切り替わった時点で停止位置設定部材４９の小凹部４９ａを検出したと判別し、小凹部４９ａの開始点Ｆの位置情報を記憶する。つぎに、制御部３０は、両検出信号が共にオンとなった時点で大凹部４９ｂの開始点Ｇを検出したと判別し、大凹部４９ｂの開始点Ｇの位置情報から小凹部４９ａの開始点Ｆの位置情報を減算して得られる距離ｆが規定範囲内であれば、大凹部４９ｂの開始点Ｇの検出であると判別する。これにより、床面の凹凸などを小凹部４９ａまたは大凹部４９ｂと誤検出するのを防止することができる。

無人搬送車１がさらにスライド走行方向Ｑに向け走行を継続してスライド走行用前側センサ２０およびスライド走行用後側センサ２１が凸部４９ｃの開始点Ｈに対向したときに、スライド走行用前側センサ２０およびスライド走行用後側センサ２１が凸部４９ｃを検出して、第１の検出信号がオンを保持し、且つ第２の検出信号のみがオフとなる。これにより、制御部３０は、凸部４９ｃを検出したと判別して、この凸部４９ｃの開始点Ｈの位置情報から大凹部４９ｂの開始点Ｇの位置情報を減算して得られる距離ｇが規定範囲内であれば、凸部４９ｃの開始点Ｈの検出であると判別して、無人搬送車１を凸部４９ｃの開始点Ｈの検出時点で、図３のモータドライバ部３７に対しスライド走行用前輪駆動モータ１８およびスライド走行用後輪駆動モータ１９を回転停止させるよう指令して、無人搬送車１を位置決め停止する。これにより、床面の凹凸などを大凹部４９ｂまたは凸部４９ｃと誤検出するのを防止できる。このスライド走行用前輪駆動モータ１８およびスライド走行用後輪駆動モータ１９の回転制御は、対応するスライド走行用前側センサ２０およびスライド走行用後側センサ２１の各々の検出信号に基づいて個々に独立して行われる。

また、スライド移動用床面部４３には、図８（ａ）に示すように、所定の幅を有する帯状の誘導磁気テープ（誘導ライン）５０が、前後一対の停止位置設定部材４９の間の中間位置を結ぶ方向に配して貼着されている。この誘導磁気テープ５０は、図１の左側および右側のラインセンサ２２，２３によって検出される。制御部３０は、両ラインセンサ２２，２３の検出信号に基づきスライド走行中の無人搬送車１の走行方向のずれを判別して、スライド走行用前輪駆動モータ１８およびスライド走行用後輪駆動モータ１９の回転を差動制御することにより、無人搬送車１のスライド走行方向のずれを修正するよう制御する。

さらに、スライド移動用床面部４３上には、直進走行中の無人搬送車１を位置決め停止するための２つの第１の停止位置設定部材４７および二つのマーカ部材４８が所定の位置に埋設されている。また、図８（ａ）に示すように、走行路４１Ａ，４１Ｂに各々の外側の走行レール１１の各ｅ部は、（ｃ），（ｄ）で示すように、側面上部の両側を除外し正規のレール幅より狭くした幅狭部１１ａになっている。この幅狭部は、レール走行用前側駆動車輪３およびレール走行用後側駆動車輪４の走行レール１１に対する僅かな位置ずれを吸収して、レール走行用前側駆動車輪３およびレール走行用後側駆動車輪４を走行レール１１に対し脱輪することなく円滑に着地させるよう機能する。

つぎに、上記無人搬送車１を用いた自動搬送システムにおける無人搬送車１の走行制御について説明する。この自動搬送システムでは、例えば、無人搬送車１の一方の走行路４１Ａから他方の走行路４１Ｂへの乗り移り移動を、従来装置のターンテーブルに代えて、スライド移動用床面部４３上において、走行路４１Ａ，４１Ｂに対する直交方向に向けてスライド走行させながら行うことを特長としている。

すなわち、図９（ａ）に示すように、一方の走行路４１Ａ上を矢印で示す左方向に向け直進走行してきた無人搬送車１は、スライド移動用床面部４３上に進入したのち、レール走行用センサ１３がスライド移動用床面部４３上の第１の停止位置設定部材４７を検出した時点で位置決め停止される。つぎに、無人搬送車１は、昇降機構ユニット２４の作動によって旋回用兼スライド走行用駆動ユニットが車体２に対し相対的に下降されることにより、図２（ｂ）に示したように、スライド走行用前側および後側車輪１６，１７がスライド移動用床面部４３上に着地した時点から車体２が床面に対し相対的に上昇されて、各車輪３，４、７，８が走行レール１１上から離間して床面上に浮き上がる位置まで持ち上げられる。このとき、車体２は、共に２輪を有するスライド走行用前側および後側車輪１６，１７によってスライド移動用床面部４３上で支持されることになる。なお、図示を省略しているが、実用化に際しては、必要に応じて補助キャスタなどを適宜位置に設けることにより、車体２をスライド移動用床面部４３上において安定状態に支持するように図られる。

つぎに、同図（ｂ）に示すように、無人搬送車１は、スライド走行用前側車輪１６を回転不能状態にロックした状態でスライド走行用後側車輪１７のみが回転されることにより、スライド走行用前側車輪１６を恰も回動中心として旋回される。この旋回される無人搬送車１は、同図（ｃ）に示すように、ほぼ１８０度の角度だけ旋回して前後方向の向きが反転されたときに、スライド走行用後側センサ２１がスライド移動用床面部４３上の第２の停止位置設定部材４９を検出し、この検出時点で位置決め停止される。続いて、無人搬送車１は、スライド走行用前側車輪１６およびスライド走行用後側車輪１７が同一速度で同期回転されることにより、（ｃ）に矢印で示すように、スライド移動用床面部４３上を他方の走行路４１Ｂに向けてスライド走行されていく。

つぎに、同図（ｄ）に示すように、スライド走行中の無人搬送車１は、スライド走行用前側センサ２０およびスライド走行用後側センサ２１がスライド移動用床面部４３上の対応する第２の停止位置設定部材４９をそれぞれ検出した時点でスライド走行が停止される。これにより、無人搬送車１は、レール走行用の各車輪３，４，７，８が走行レール１１の真上にそれぞれ位置する正規の配置に位置決め停止されたことになる。

続いて、無人搬送車１は、昇降機構ユニット２４の作動によって旋回用兼スライド走行用駆動ユニット１２が上昇されることにより、図２（ａ）に示すように、車体２が旋回用兼スライド走行用駆動ユニット１２に対し相対的に下降されて、レール走行用の各車輪３，４，７，８が対応する走行レール１１上に乗せられる。その後は、各車輪３，４，７，８の転動によって無人搬送車１が走行レール１１上を矢印で示す方向に直進走行されていく。なお、図９は模式的に図示したものであって、例えば、スライド走行用前側センサ２０およびスライド走行用後側センサ２１のスライド走行用前側車輪１６およびスライド走行用後側車輪１７との相対位置は、内容の理解を容易にするために、実際の配置に対しずらした配置で図示してある。

ところで、上述の無人搬送車１を旋回させて前後方向の位置を反転させたのちにスライド走行させているのは、被搬送物が無人搬送車１の走行方向に対し所定の配置とすべき方向性を有しているためであり、方向性の無い被搬送物を搬送する場合には、スライド移動用床面部４３上に位置決め停止させた無人搬送車１を、旋回させることなく、そのままスライド走行させればよい。

さらに、この実施の形態では、スライド走行用前側車輪１６を回転不能にロックさせて、スライド走行用後側車輪１７を回転駆動して旋回走行させる場合を例示して説明したが、これの逆に、スライド走行用後側車輪１７を回転不能にロックさせて、スライド走行用前側車輪１６を回転駆動することにより、実施の形態とは逆方向に旋回走行させて、無人搬送車１の走行方向の向きを前後反転させるようにしてもよい。

図１０は、上述した図９の作動を制御装置２８で制御処理するときの概略フローチャートである。制御部３０は、無人搬送車１が走行路４１Ａの走行レール１１上を直進走行しているとき（ステップＳ１）に、搬送プログラムに予め設定されたスライド移動させるためのスライド移動用床面部４３上の停止位置に無人搬送車１が到達したか否かを常時監視し（ステップＳ２）て、その停止位置に到達したと判別したときに、図９（ａ）に示したように無人搬送車１をスライド移動用床面部４３上の停止位置に停止させる（ステップＳ３）。続いて、制御部３０は、昇降機構ユニット２４を作動させて、車体２を床面に対し相対的に上昇させて、レール走行用の各車輪３，４，７，８を走行レール１１上に離間させる（ステップＳ４）。

本発明の一実施の形態に係る無人搬送車の要部構成の配置を模式的に示した概略平面図。 （ａ），（ｂ）はそれぞれ同上の無人搬送車の直進走行状態時および走行路間の移動状態時の正面図。 同上の無人搬送車の電気系構成を示す機能ブロック図。 同上の無人搬送車を用いて構成した本発明の一実施の形態に係る自動搬送システムの要部構成を示す概略配置図。 同上の無人搬送車の直進走行時の走行位置の確認および停止位置の検出を行うための構成を示す概略平面図。 （ａ）〜（ｅ）は同上の無人搬送車の各物品移載機が物品移載所の各物品移載箇所に対し物品の受渡し可能に対向するように無人搬送車を位置決め停止させる状態を順に示した説明図。 図５の停止位置設定部材およびマーカ部材を示す側面図。 （ａ）は図５のスライド移動用床面部と走行レールとの配置を示す概略平面図、（ｂ）は（ａ）のＤ−Ｄ線で切断した拡大断面図、（ｃ）は（ａ）のｅ部を詳細に示した拡大平面図、（ｄ）は（ｃ）のＥ−Ｅ線断面図。 （ａ）〜（ｄ）は同上の自動搬送システムにおける無人搬送車の一方の走行路から他方の走行路への乗り移り移動を動作順に示した概略平面図。 図９の制御処理を示すフローチャート。 図１０のステップＳ１〜ステップＳ３の制御処理の詳細を示したフローチャート。 図１０のステップＳ４の制御処理を詳細に示したフローチャート。 図１２の制御処理時の旋回用兼スライド走行用駆動ユニットの下降速度の推移を示した特性図。 図１０のステップＳ５〜ステップＳ７の制御処理の詳細を示したフローチャート。 図１０のステップＳ８〜ステップＳ１０の制御処理の詳細を示したフローチャート。 無人搬送車の走行方向のずれの補正を行うためのラインセンサと誘導磁気テープとの相対関係を示す説明図。 図１０のステップＳ１２の制御処理の詳細を示したフローチャート。 本発明の他の実施の形態に係る無人搬送車の要部構成の配置を模式的に示した概略平面図。 従来の走行レールにより走行路を設定した自動搬送装置示す概略斜視図。 同上の自動搬送装置における走行路変更場所を示す概略斜視図。 無人搬送車を用いた自動搬送システムを適用できる搬送パターンの一般例を示す説明図。

符号の説明

１，５ 無人搬送車
２ 車体
３ レール走行用前側駆動車輪（レール走行用車輪）
４ レール走行用後側駆動車輪（レール走行用車輪）
７ レール走行用前側従動車輪（レール走行用車輪）
８ レール走行用後側従動車輪（レール走行用車輪）
１１ 走行レール
１２ 旋回用兼スライド走行用駆動ユニット
１３ レール走行用センサ
１６ スライド走行用前側車輪（スライド走行用車輪）
１７ スライド走行用後側車輪（スライド走行用車輪）
２０ スライド走行用前側センサ（スライド走行用センサ）
２１ スライド走行用後側センサ（スライド走行用センサ）
２２ 左側ラインセンサ
２３ 右側ラインセンサ
２４ 昇降機構ユニット
２８ 制御装置
４１Ａ 一方の走行路
４１Ｂ 他方の走行路
４３ スライド移動用床面部
４７ 第１の停止位置設定部材
４７ａ 小凹部
４７ｂ 大凹部
４７ｃ 凸部
４９ 第２の停止位置設定部材
４９ａ 小凹部
４９ｂ 大凹部
４９ｃ 凸部
５０ 誘導磁気テープ（誘導ライン）

Claims (22)

1. 車体の底面に設けられて、少なくとも１本の走行レールからなる走行路上を転 動しながら走行する複数のレール走行用車輪と、
   前記走行レールに対し略直交方向に向けたスライド移動方向にスライド走行可能な配置で設けられた複数のスライド走行用車輪と、
   前記スライド走行用車輪を前記車体に対し相対的に上下動させて、下動時に床面に着地した前記スライド走行用車輪をさらに下動させて前記レール走行用車輪を前記走行レールの上方に離間させ、且つ上動時に前記スライド走行用車輪を床面の上方に離間させる昇降機構ユニットと、
   前記レール走行用車輪およびスライド走行用車輪をそれぞれ回転制御し、且つ前記昇降機構ユニットを作動制御する制御装置とを備えていることを特徴とする無人搬送車。
2. 走行レール上の車体の走行位置を検出するレール走行用センサと、スライド走行用車輪によるスライド移動時の前記車体の位置を検出するスライド走行用センサとを備え、制御装置は、前記レール走行用センサの検出信号に基づきレール走行用車輪を回転制御するとともに、前記スライド走行用センサの検出信号に基づきスライド走行用車輪を回転制御するように構成されている請求項１に記載の無人搬送車。
3. 昇降機構ユニットの作動に伴うスライド走行用車輪の車体に対する相対位置を検出する計測手段を備え、制御装置は、前記計測手段の検出位置信号に基づき昇降機構ユニットを作動制御するように構成されている請求項１または２に記載の無人搬送車。
4. 制御装置は、昇降機構ユニットを作動制御することにより、スライド走行用車輪を車体に対し相対的に下動させてレール走行用車輪を走行レールの上方に離間させたのち、床面に着地した前記スライド走行用車輪のうちの走行方向に沿った一方側を固定し、且つ他方側を回転駆動させて前記車体を旋回させるとともに、この旋回動作を、前記車体の向きが走行方向に対し前後反転する配置となるまで継続させる制御を行うように構成されている請求項１ないし３の何れかに記載の無人搬送車。
5. 制御装置は、昇降機構ユニットを作動制御することにより、スライド走行用車輪を車体に対し相対的に下動させてレール走行用車輪を走行レールの上方に離間させたのち、前記スライド走行用車輪を回転制御させて前記車体を他の走行路に向けて移動させる請求項１ないし４の何れかに記載の無人搬送車。
6. 走行路を構成する互いに平行な２条の走行レール上をそれぞれ走行する一対のレール走行用車輪を備え、
   一対のレール走行用車輪のうちの一方のみ、もしくは、２条の走行レールのうちの一方のみに、レール走行用車輪が走行レールから脱輪しないための規正部を設けた請求項１ないし５の何れかに記載の無人搬送車。
7. 請求項１ないし６の何れかに記載の無人搬送車が走行する少なくとも１本の走行レールからなり、互いに平行に設置された少なくとも２つの走行路を備え、
   昇降機構ユニットを作動させてスライド走行用車輪を床面上に着地させ、且つレール走行用車輪を床面上に離間させ、続いて、前記スライド走行用車輪を回転駆動させて前記無人搬送車を他方の前記走行路に向けてスライド走行させる制御を行うように構成されていることを特徴とする無人搬送車を用いた自動搬送システム。
8. 板状の上面における複数の所定位置に停止位置設定部材が設けられて、２つの走行路間に架け渡し、且つ上面が床面と略面一となる配置で敷設された板状のスライド移動用床面部を備え、
   前記無人搬送車の制御装置が、一方の走行路上を直進走行して前記スライド移動用床面部上に進入した前記無人搬送車を、前記停止位置設定部材を検出した時点で位置決め停止させたのち、昇降機構ユニットを作動させてスライド走行用車輪を前記スライド移動用床面部上に着地させ、且つレール走行用車輪を床面上に離間させ、この状態で前記スライド走行用車輪を回転駆動させて前記無人搬送車を他方の前記走行路に向け前記スライド移動用床面部上でスライド走行させ、このスライド走行中の前記無人搬送車を前記停止位置設定部材を検出した時点で位置決め停止させ、続いて、前記昇降機構ユニットを作動させて前記スライド走行用車輪を前記スライド移動用床面部の上方に離間させ、且つ前記レール走行用車輪を他方の前記走行路の走行レール上に着地させる制御を行うように構成されている請求項７に記載の無人搬送車を用いた自動搬送システム。
9. 無人搬送車の制御装置が、昇降機構ユニットの作動によりレール走行用車輪が床面上に離間する状態とされた前記無人搬送車を、これの走行レールに沿った両側に位置する少なくとも２つのスライド走行用車輪のうちの一方側を固定し、且つ他方側を回転制御することにより、車体の前後方向が反転するまでスライド移動用床面部上で旋回させる制御を行うようになった請求項７または８に記載の無人搬送車を用いた自動搬送システム。
10. スライド移動用床面部に、走行路を直進走行してきた無人搬送車を位置決め停止するための第１の停止位置設定部材が設けられ、
    無人搬送車の制御装置はレール走行用センサが前記第１の停止位置設定部材を検出した時点で走行中の無人搬送車を停止させる制御を行うようになった請求項８または９に記載の無人搬送車を用いた自動搬送システム。
11. スライド移動用床面部に設けられた第１の停止位置設定部材には、無人搬送車の走行方向に深さの小さい小凹部と、深さの大きい大凹部と、前記大凹部より上方に上面を有する凸部とが連続して順に形成され、
    無人搬送車の制御装置は、レール走行用センサが前記小凹部および前記大凹部の順に検出したのちに前記凸部を検出した時点でのみ走行中の無人搬送車を停止させる制御を行うようになった請求項１０に記載の無人搬送車を用いた自動搬送システム。
12. 第１の停止位置設定部材には、無人搬送車の走行方向について、凸部の両側に長さの異なる大凹部、小凹部を配し、無人搬送車が走行する際に検出する小凹部、大凹部の長さにより無人搬送車の走行方向を判別するように構成した請求項１０に記載の無人搬送車を用いた自動搬送システム。
13. 無人搬送車の制御装置は、無人搬送車を直進走行後にスライド移動用床面部上で位置決め停止させた状態で、前記無人搬送車の車体に対し相対的に下降するスライド走行用車輪が前記スライド移動用床面部に着地する寸前で下降動作を一時停止させたのち、スライド走行用車輪を下限位置まで下降させる２段階動作で昇降機構ユニットの作動制御を行うようになっている請求項８ないし１２の何れかに記載の無人搬送車を用いた自動搬送システム。
14. スライド移動用床面部に、一方の走行路から他方の走行路に向けスライド走行中の無人搬送車を位置決め停止させるための第２の停止位置設定部材と、無人搬送車を所定のスライド移動方向に導くための帯状の誘導ラインとが設けられているとともに、無人搬送車に、前記誘導ラインを非接触で検出するラインセンサが、スライド移動方向の前後方向の少なくとも２箇所に設けられ、
    前記無人搬送車の制御装置は、前記一対のラインセンサによる前記誘導ラインの検出結果に基づいて、スライド走行中の前記無人搬送車のスライド移動方向のずれを検知しながら、そのずれを修正するようにスライド走行用車輪を回転制御し、前記第２の停止位置設定部材を検出した時点で位置決め停止させるようになっている請求項８ないし１２の何れかに記載の無人搬送車を用いた自動搬送システム。
15. スライド移動用床面部に設けられた第２の停止位置設定部材に、深さの小さい小凹部と、深さの大きい大凹部と、前記大凹部の上方に上面を有する凸部とが連続して順に形成され、
    無人搬送車の制御装置は、スライド走行用センサが前記小凹部および前記大凹部の順で検出したのちに前記凸部を検出した時点でのみスライド移動中の無人搬送車を位置決め停止させる制御を行うようになった請求項８ないし１４の何れかに記載の無人搬送車を用いた自動搬送システム。
16. スライド移動用床面部に、走行レールに沿った２箇所の対向箇所にそれぞれ第２の停止位置設定部材が設けられているとともに、無人搬送車に、前記一対の第２の停止位置設定部材を個々に検出する一対のスライド走行用センサが設けられ、
    前記無人搬送車の制御装置は、前記各スライド走行用センサによる前記第２の停止位置設定部材の各々の検出結果に対応して、一対のスライド走行用車輪を個々に独立して回転制御しながら無人搬送車を位置決め停止させる制御を行うようになった請求項１５に記載の無人搬送車を用いた自動搬送システム。
17. 無人搬送車の制御装置は、一方の走行路からスライド移動用床面部上をスライド走行して他方の走行路に位置決め停止された無人搬送車に対し、一対のスライド走行用センサが共に第２の停止位置設定部材を検出している状態あるいは検出済みである状態である場合にのみ昇降機構ユニットを作動させてスライド走行用車輪を上昇させる制御を行うようになった請求項１６に記載の無人搬送車を用いた自動搬送システム。
18. 無人搬送車の制御装置は、一方の走行路からスライド移動用床面部上をスライド走行して他方の走行路上に位置決め停止された無人搬送車の車体に対しスライド走行用車輪が相対的に上昇するのに伴いレール走行用車輪が走行レール上に着地する寸前で上昇動作を一時停止させたのち、スライド走行用車輪を上限位置まで上昇させる２段階動作で昇降機構ユニットの作動制御を行うようになった請求項８ないし１７の何れかに記載の無人搬送車を用いた自動搬送システム。
19. スライド走行して位置決め停止された無人搬送車のレール走行用車輪が下降して着地する走行レールの特定箇所が、正規の幅より狭くした幅狭部に形成されている請求項８ないし１８の何れかに記載の無人搬送車を用いた自動搬送システム。
20. 少なくとも２つの走行路は、それぞれ２条の走行レールからなり、無人搬送車における２条の前記走行レール上をそれぞれ走行する一対のレール走行用車輪のうちの一方のみに、レール走行用車輪が走行レールから脱輪しないための規制部を設け、もしくは、２条の走行レールのうちの一方のみに前記規正部を設け、
    スライド移動用床面部は、隣接する走行路の各々の外側の走行レールの間に架け渡す配置で、且つ自体の上面が前記走行レールの上面と面一となる高さで設けられ、
    前記両走行路の相対向する内側の走行レールは、前記スライド移動用床面部の設置箇所において除外されている請求項８ないし１９の何れかに記載の無人搬送車を用いた自動搬送システム。
21. 車体の底面に設けられて、少なくとも１本の走行レールからなる走行路上を転動しながら走行する複数のレール走行用車輪と、前記走行レールに対し略直交方向に向けたスライド移動方向にスライド走行可能な配置で設けられた複数のスライド走行用車輪と、前記スライド走行用車輪を前記車体に対し相対的に上下動させる昇降機構ユニットと、前記レール走行用車輪およびスライド走行用車輪をそれぞれ回転制御し、且つ昇降機構ユニットを作動制御する制御装置とを備えた無人搬送車の走行制御方法であって、
    前記制御装置による前記昇降機構ユニットの作動制御により、前記スライド走行用車輪を前記車体に対し相対的に下動させて、床面に着地した前記スライド走行用車輪をさらに下動させて前記レール走行用車輪を前記走行レールの上方に離間させ、
    床面上に着地した前記スライド走行用車輪を回転制御して前記無人搬送車を他方の走行路に向けスライド走行させ、
    スライド走行する前記無人搬送車を前記他方の走行路上で停止させ、
    前記制御装置による前記昇降機構ユニットの作動制御により、前記スライド走行用車輪を前記車体に対し相対的に上動させて床面上に離間させ、且つ前記レール走行用車輪を前記他方の走行路の走行レール上に着地させることを特徴とする無人搬送車の走行制御方法。
22. 板状の上面における複数の所定位置に第１および第２の停止位置設定部材が設けられたスライド移動用床面部が、２つの走行路間に架け渡し、且つ上面が床面に略面一となる配置で敷設され、
    一方の前記走行路上を直進走行して前記スライド移動用床面部上に進入した前記無人搬送車を、前記第１の停止位置設定部材を検出した時点で位置決め停止させたのち、昇降機構ユニットを作動させてスライド走行用車輪を前記スライド移動用床面部上に着地させ、且つレール走行用車輪を床面上に離間させ、続いて、前記スライド走行用車輪を回転駆動させて前記無人搬送車を他方の前記走行路に向け前記スライド移動用床面部上でスライド走行させ、このスライド走行中の前記無人搬送車を前記第２の停止位置設定部材を検出した時点で位置決め停止させ、その停止状態において、前記昇降機構ユニットを作動させて前記スライド走行用車輪を床面上に離間させ、且つ前記レール走行用車輪を他方の前記走行路の走行レール上に着地させる制御を行う請求項２１に記載の無人搬送車の走行制御方法。
    

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