JP2005103347A - クリーニングシートおよび基板処理装置のクリーニング方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 真空系の基板処理装置内に搬送したときの真空度の低下を抑え、装置の使用に支障をきたさず、また規定真空度への到達時間を短縮できる実用性の高いクリーニング部材を提供することを目的とする。

【解決手段】 （１）クリーニング層／支持体／粘着剤層の三層構造であって、温度２３℃、相対湿度５０％での常態吸湿率が０．７％以下、常態吸湿量が１００μｇ／cm² 以下であるクリーニングシート、（２）クリーニング層／粘着剤層の二層構造であって、上記同様の常態吸湿率が０．８％以下、常態吸湿量が５０μｇ／cm² 以下であるクリーニングシート、（３）クリーニング層単独の単層構造であって、上記同様の常態吸湿率が１．０％以下、常態吸湿量が４０μｇ／cm² 以下であるクリーニングシート。

【選択図】 なし

Description

本発明は、たとえば、半導体の製造装置や検査装置など、金属不純物などの異物を嫌う各種の基板処理装置の搬送系をクリーニングするためのクリーニングシートおよびこれを用いた上記基板処理装置のクリーニング方法に関する。

各種の基板処理装置では、各搬送系と基板とを物理的に接触させながら搬送する。その際、基板や搬送系に異物が付着していると、後続の基板をつぎつぎに汚染することになるため、定期的に装置を停止して、洗浄処理する必要があった。その結果、稼働率の低下や多大な労力が必要になるという問題があった。

これらの問題を解決するため、粘着性の物質を固着した基板を搬送して基板処理装置内に付着した異物をクリーニング除去する方法（特許文献１参照）や、板状部材を搬送して基板裏面に付着する異物を除去する方法（特許文献２参照）が提案されている。

特開平１０−１５４６８６号公報（第２〜４頁） 特開平１１−８７４５８号公報（第２〜３頁）

上記の提案方法によると、装置を停止して洗浄処理する必要がないため、稼動率の低下や多大な労力を要するといった問題がなく、とくに前者の方法は、異物の除去性にすぐれている。しかしながら、粘着性の物質を固着した基板などを真空系の基板処理装置内に搬送したときに真空度が低下し、装置の使用が不能となったり、規定真空度に戻るのに時間がかかりすぎるという問題を生じることがあった。

本発明は、このような事情に照らし、真空系の基板処理装置内に搬送したときの真空度の低下を抑え、装置の使用に支障をきたさず、また規定真空度への到達時間を短縮できる実用性の高いクリーニング部材を提供することを目的としている。

本発明者らは、上記目的を達成するため、真空系の基板処理装置内にクリーニング部材を搬送したときの真空度の低下原因につき、鋭意検討した結果、真空度の低下がクリーニング部材中の水分に起因するものであることを知り、この水分量と真空度の低下との関係について詳細に調べたところ、各種形態のクリーニング部材において、温度２３℃、相対湿度５０％での常態吸湿率および常態吸湿量がそれぞれ特定値以下となるものを使用することにより、またクリーニング部材の各種形態に応じて上記常態吸湿率および常態吸湿量を最適値に設定することにより、真空系の基板処理装置内に搬送したときの真空度の低下が確実に抑えられ、装置の使用に支障をきたさず、また規定真空度への到達時間を短縮できる、実用性の高いクリーニング部材が得られることを知った。

本発明は、このような知見に基づいて、完成されたものてある。

本発明は、（１）支持体の片面にクリーニング層を有し、反対面に粘着剤層を有する三層構造か、（２）クリーニング層の片面に粘着剤層を有する二層構造か、（３）クリーニング層単独からなる単層構造かのいずれかの形態のクリーニングシートであって、温度２３℃、相対湿度５０％での常態吸湿率が１．０％以下で、常態吸湿量が１００μｇ／cm² 以下であることを特徴とするクリーニングシートに係るものである。

とくに、本発明は、（１）の形態のクリーニングシートであって、常態吸湿率が０．７％以下で、常態吸湿量が１００μｇ／cm² 以下である上記クリーニングシート、中でも、クリーニング層の常態吸湿率が０．９％以下、粘着剤層の常態吸湿率が０．８％以下、支持体の常態吸湿率が０．４％以下である上記クリーニングシートと、（２）の形態のクリーニングシートであって、常態吸湿率が０．８％以下で、常態吸湿量が５０μｇ／cm² 以下である上記クリーニングシート、中でも、クリーニング層の常態吸湿率が０．９％以下、粘着剤層の常態吸湿率が０．７％以下である上記クリーニングシートと、（３）の形態のクリーニングシートであって、常態吸湿率が１．０％以下で、常態吸湿量が４０μｇ／cm² 以下である上記クリーニングシートとを、提供できるものである。

また、本発明は、上記各構成のクリーニングシートを搬送部材上に設けたことを特徴とするクリーニング機能付き搬送部材と、この搬送部材を基板処理装置内に搬送することを特徴とする基板処理装置のクリーニング方法と、このクリーニング方法によりクリーニングされたことを特徴とする基板処理装置とを、提供できるものである。

本発明は、クリーニング部材として上記（１）〜（３）のいずれかの形態のクリーニングシートを使用するにあたり、温度２３℃、相対湿度５０％での常態吸湿率が１．０％以下で、常態吸湿量が１００μｇ／cm² 以下となるように設定したことにより、とくに上記（１）の形態のクリーニングシートでは上記常態吸湿率が０．７％以下で、常態吸湿量が１００μｇ／cm² 以下となるように、上記（２）の形態のクリーニングシートでは上記常態吸湿率が０．８％以下で、常態吸湿量が５０μｇ／cm² 以下となるように、上記（３）の形態のクリーニングシートでは上記常態吸湿率が１．０％以下で、常態吸湿量が４０μｇ／cm² 以下となるように、設定したことにより、これらクリーニング部材を真空系の基板処理装置内に搬送したときの真空度の低下が抑えられ、装置の使用に支障をきたさず、また規定真空度への到達時間を短縮でき、基板処理装置内に付着した異物を簡単かつ確実にクリーニング除去できるという効果が奏される。

本発明においてクリーニング部材として使用するクリーニングシートは、（１）支持体の片面にクリーニング層を有し、反対面に粘着剤層を有する三層構造か、（２）クリーニング層の片面に粘着剤層を有する二層構造か、（３）クリーニング層単独からなる単層構造かのいずれかの形態を有するものであり、これらのどの形態であっても、温度２３℃、相対湿度５０％での常態吸湿率が１．０％以下で、常態吸湿量が１００μｇ／cm² 以下となるように設定する必要があり、このように設定したときにのみ前記の効果が奏される。すなわち、上記常態吸湿率が１．０％を超えたり、常態吸湿量が１００μｇ／cm² を超えるクリーニングシートでは、これを真空系の基板処理装置内に搬送したときにクリーニングシート由来の脱ガスにより装置の真空度が規定値まで戻るのに時間がかかりすぎたり、真空度の回復ができないという重大な問題が起こりやすい。

なお、本明細書において、「常態吸湿率」および「常態吸湿量」は、試料を３cm² （１cm×３cm）の大きさに切り取り、これを温度２３℃、相対湿度５０％での常態下に１０日間放置して吸湿量を飽和状態としたときの値であり、たとえば、この飽和状態とした試料を加熱気化装置（電量滴定式水分測定装置ＣＡ−０６型＋加熱気化装置ＶＡ−０６型）に投入し、１５０℃で加熱したガスを滴定セル内に導入して水分量を測定することにより、求められる。具体的には、上記飽和状態とした試料の全重量をＷ１、上記方法で測定した水分量をＷ０とすると、「常態吸湿率」＝（Ｗ０／Ｗ１）×１００として、求められる。また、「常態吸湿量」は、上記方法で測定した水分量を試料の単位面積（１cm² ）あたりの値に換算して、求められる。したがって、「常態吸湿率」は試料固有の値であり、一方「常態吸湿量」は試料の厚さにより左右される値である。

本発明において、（１）の形態のクリーニングシートは、クリーニング層／支持体／粘着剤層の三層構造のため、常態吸湿率は上記三層の平均の値であり、常態吸湿量は単位面積あたりの上記三層の合計の値である。同様に、（２）の形態のクリーニングシートは、クリーニング層／粘着剤層の二層構造のため、常態吸湿率は上記二層の平均の値であり、常態吸湿量は単位面積あたりの上記二層の合計の値である。一方、（３）の形態のクリーニングシートは、クリーニング層単独の単層構造のため、常態吸湿率および常態吸湿量はともにクリーニング層単独の値である。

ここで、（１）〜（３）の各形態により、各層の厚さまたは全体の厚さが異なってくるため、当然のことながら、各形態により最適の常態吸湿率および常態吸湿量が存在する。本発明者らは、各形態の厚さなどを考慮し、この点について詳細に検討した結果、各形態ごとに以下のように設定するのが最適であることを見い出した。

すなわち、（１）の形態のクリーニングシートでは、常態吸湿率が０．７％以下、とくに０．５％以下で、常態吸湿量が１００μｇ／cm² 以下、とくに６０μｇ／cm² 以下であるのがよい。この場合、各層の常態吸湿率は、クリーニング層の常態吸湿率が０．９％以下、粘着剤層の常態吸湿率が０．８％以下、支持体の常態吸湿率が０．４％以下であるのがよい。また、（２）の形態のクリーニングシートでは、常態吸湿率が０．８％以下、とくに０．７％以下で、常態吸湿量が５０μｇ／cm² 以下、とくに４０μｇ／cm² であるのがよい。この場合、各層の常態吸湿率は、クリーニング層の常態吸湿率が０．９％以下、粘着剤層の常態吸湿率が０．７％以下であるのがよい。さらに、（３）の形態のクリーニングシートでは、常態吸湿率が１．０％以下、とくに０．９％以下で、常態吸湿量が４０μｇ／cm² 以下、とくに３０μｇ／cm² 以下であるのがよい。

本発明において、クリーニング層、粘着剤層および支持体は、（１）〜（３）の各形態に応じて、各形態での全体の常態吸湿率および常態吸湿量が前記の最適値となるように、その材料および厚さが設定されるものであり、このように設定される限り、各層の材質や厚さなどはとくに限定はない。以下に、各層の構成について説明する。

まず、クリーニング層は、引っ張り弾性率（試験法ＪＩＳ Ｋ７１２７）が１０ＭＰａ以上、好ましくは１０〜２，０００ＭＰａであるのがよい。１０ＭＰａ以上であると、ラベル切断時のクリーニング層のはみ出しや切断不良が抑えられ、プリカット方式で汚染のないクリーニング機能付きラベルシートを製造でき、また搬送時に装置内の接触部位に接着して搬送トラブルを引き起こすおそれがない。また、２，０００ＭＰａ以下であると、搬送系の付着異物の除去性に好結果が得られる。

このようなクリーニング層は、材質などにとくに限定はないが、紫外線や熱などの活性エネルギー源により重合硬化した樹脂層から構成されているのが望ましい。これは、上記の重合硬化により分子構造が三次元網状化して実質的に粘着性がなくなり、搬送時に装置接触部と強く接着せず、基板処理装置内を確実に搬送できるクリーニング部材が得られるからである。上記重合硬化した樹脂層としては、たとえば、感圧接着性ポリマーに分子内に不飽和二重結合を１個以上有する化合物（以下、重合性不飽和化合物という）および重合開始剤と、必要により架橋剤などを含ませた硬化型の樹脂組成物を、活性エネルギー源とくに紫外線により硬化したものが挙げられる。

感圧接着性ポリマーとしては、たとえば、（メタ）アクリル酸および／または（メタ）アクリル酸エステルを主モノマーとしたアクリル系ポリマーが挙げられる。このアクリル系ポリマーの合成にあたり、共重合モノマーとして分子内に不飽和二重結合を２個以上有する化合物を用いたり、合成後のアクリル系ポリマーに分子内に不飽和二重結合を有する化合物を官能基間の反応で化合結合させるなどして、アクリル系ポリマーの分子内に不飽和二重結合を導入してもよい。これによりアクリル系ポリマー自体も活性エネルギー源による重合硬化反応に関与させることができる。

重合性不飽和化合物としては、不揮発性でかつ重量平均分子量が１０，０００以下の低分子量体であるのがよく、とくに硬化時の三次元網状化が効率良くなされるように、５，０００以下の分子量を有しているのが好ましい。

このような重合性不飽和化合物としては、たとえば、フェノキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレート、ε−カプロラクトン（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ウレタン（メタ）アクリレート、エポキシ（メタ）アクリレート、オリゴエステル（メタ）アクリレートなどが挙げられ、これらの中から、１種または２種以上が用いられる。

重合開始剤としては、とくに限定されず、公知のものを使用できる。

たとえば、活性エネルギー源に熱を用いる場合は、ベンゾイルパーオキサイド、アゾビスイソブチロニトリルなどの熱重合開始剤、また光を用いる場合は、ベンゾイル、ベンゾインエチルエーテル、シベンジル、イソプロピルベンゾインエーテル、ベンゾフェノン、ミヒラーズケトンクロロチオキサントン、ドデシルチオキサントン、ジメチルチオキサントン、アセトフェノンジエチルケタール、ベンジルジメチルケタール、α−ヒドロキシシクロヒキシルフェニルケトン、２−ヒドロキシメチルフェニルプロパン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノンなどの光重合開始剤が挙げられる。

上記のクリーニング層は、シリコンウエハ（ミラー面）に対する１８０度引き剥がし粘着力（ＪＩＳ Ｚ０２３７に準じて測定）が０．２Ｎ／１０mm幅以下、好ましくは０．０１〜０．１Ｎ／１０mm幅程度であるのがよい。クリーニング層をこのような低粘着ないし非粘着とすることにより、搬送時に装置内の被接触部と接着することがなく、搬送トラブルを引き起こすおそれがない。また、このようなクリーニング層の厚さについては、とくに限定されないが、通常、５〜３０μｍ程度であるのがよい。

つぎに、粘着剤層は、シリコンウエハ（ミラー面）に対する１８０度引き剥がし粘着力が０．０１〜１０Ｎ／１０mm幅、好ましくは０．０５〜５Ｎ／１０mm幅であるのがよい。粘着力が高すぎると、クリーニングシートを基板などから剥離除去する際に、支持体フィルムなどが裂けるおそれがある。粘着剤層の厚さは、とくに限定されないが、通常、５〜１００μｍ、好ましくは５〜３０μｍ程度であるのがよい。

このような粘着剤層は、その材料構成についてとくに限定されず、アクリル系やゴム系など通常の粘着剤がいずれも使用できる。これらの中でも、アクリル系の粘着剤として、重量平均分子量が１０万以下の成分が１０重量％以下であるアクリル系ポリマーを主剤としたものが、とくに好ましい。上記のアクリル系ポリマーは、（メタ）アクリル酸アルキルエステルを主モノマーとし、これに必要により共重合可能な他のモノマーを加えたモノマー混合物を重合反応させることにより、合成できるものである。

また、支持体は、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリブテン、ポリブタジエン、ポリメチルペンテンなどのポリオレフィンや、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル共重合体、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリウレタン、エチレン・酢酸ビニル共重合体、アイオノマー樹脂、エチレン・（メタ）アクリル酸共重合体、エチレン・（メタ）アクリル酸エステル共重合体、ポリスチレン、ポリカーボネートなどからなるフィルムが挙げられる。上記の各樹脂の単層フィルムであってもよいし、積層フィルムであってもよい。また、片面または両面にコロナ処理などの表面処理を施したものであってもよい。とくに好ましいものは、エチレン・酢酸ビニル共重合体やポリオレフィンなどからなる低吸湿性フィルムであり、これらにより低吸湿なクリーニングシートを作製できる。支持体の厚さとしては、通常、１０〜２００μｍ程度であるのがよい。

本発明において、（３）の形態のクリーニングシートでは、上記のクリーニング層を、これ単独でシート状やテープ状などに成形することにより、また、（２）の形態のクリーニングシートでは、上記成形したクリーニング層の片面に粘着剤層を設けることにより、さらに、（１）の形態のクリーニングシートでは、支持体の片面に上記のクリーニング層を設け、反対面に粘着剤層を設けることにより、それぞれ、作製することができる。これらの作製方法には、とくに限定はなく、公知の方法を採用できる。

これらのクリーニングシートにおいて、クリーニング層や粘着剤層の表面には、クリーニングシートを使用するまでの間、保護フィルムを貼り合わせてもよい。

保護フィルムには、たとえば、シリコーン系、長鎖アルキル系、フツ素系、脂肪酸アミド系、シリカ系の剥離剤などで剥離処理した、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリブテン、ポリブタジエン、ポリメチルペンテンなどのポリオレフィン、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル共重合体、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリウレタン、エチレン・酢酸ビニル共重合体、アイオノマー樹脂、エチレン・（メタ）アクリル酸共重合体、エチレン・（メタ）アクリル酸エステル共重合体、ポリスチレン、ポリカーボネートなどからなるプラスチックフィルムが挙げられる。また、ポリエチレン、ポリプロピレンなどのポリオレフィンからなるフィルムでは、剥離剤で剥離処理しなくても離型性を有するため、それ単体を保護フィルムとして使用できる。このような保護フィルムの厚さとしては、通常、１０〜１００μｍであるのがよい。

本発明において、これらのクリーニングシートをクリーニング部材として基板処理装置内に搬送するにあたっては、各クリーニングシートを搬送部材上に設けることにより、クリーニング機能付き搬送部材とする。その際、（１），（２）の形態のクリーニングシートでは、その粘着剤層を利用して、搬送部材上に接着させればよい。また、（３）の形態のクリーニングシートでは、このシート単独を搬送部材上に圧着して積層してもよいし、必要により適宜の接着剤（粘着剤）を使用して接着積層してもよい。上記後者の接着積層の場合は、使用する接着剤（粘着剤）を含めた全体の常態吸湿率および常態吸湿量が前記設定値となるようにするのが望ましい。

クリーニングシートを設ける搬送部材には、とくに限定はなく、異物除去の対象となる基板処理装置の種類に応じて、各種の基板が用いられる。具体的には、半導体ウエハ、ＬＣＤ、ＰＤＰなどのフラットパネルデイスプレイ用基板、その他コンパクトディスク、ＭＲヘッドなどの基板などが挙げられる。

本発明においては、このようなクリーニング機能付き搬送部材を基板処理装置内に搬送することにより、基板処理装置内の搬送系に付着している異物をクリーニング除去する。ここで、使用するクリーニング機能付き搬送部材が真空度の低下を抑えた構成とされているため、基板処理装置としては、高真空系のものが望ましい。しかし、これ以外の基板処理装置に適用してもなんら差し支えない。具体的には、露光装置、レジスト塗布装置、現像装置、アッシング装置、ドライエッチング装置、イオン注入装置、ＰＶＤ装置、ＣＶＤ装置、外観検査装置、ウエハブローバなどが挙げられる。

本発明では、上記のクリーニング機能付き搬送部材を搬送して装置内の異物をクリーニング除去した上記各基板処理装置を提供できるものである。

つぎに、本発明の実施例を記載して、より具体的に説明する。

ただし、本発明は以下の実施例にのみ限定されるものではない。なお、以下において、部とあるのは重量部を意味するものとする。

（１）の形態のクリーニングシートの例を、比較例１と対比して、説明する。

実施例１
アクリル酸２−エチルヘキシル７５部、アクリル酸メチル２０部およびアクリル酸５部からなるモノマー混合物から得たアクリル系ポリマー（重量平均分子量７０万）１００部に、ポリエチレングリコール２００ジメタクリレート（新中村化学社製の商品名「ＮＫエステル４Ｇ」）２００部、ポリイソシアネート化合物（日本ポリウレタン工業社製の商品名「コロネートＬ」）３部、エポキシ系化合物（三菱瓦斯化学社製の商品名「テトラッドＣ」）２部および光重合開始剤としてベンジルジメチルケタール（チバ・スペシャリティケミカルズ社製の商品名「イルガキュアー６５１」）３部を、均一に混合して、紫外線硬化型の樹脂組成物Ａを調製した。

これとは別に、温度計、攪拌機、窒素導入管および還流冷却管を備えた内容量が５００ｍｌの３つ口フラスコ型反応器内に、アクリル酸２−エチルヘキシル７３部、アクリル酸ｎ−ブチル１０部、Ｎ，Ｎ−ジメチルアクリルアミド１５部およびアクリル酸５部からなるモノマー混合物、重合開始剤として２，２′−アゾビスイソブチロニトリル０．１５部、酢酸エチル１００部を、全体が２００ｇになるように配合して投入し、窒素ガスを約１時間導入しながら攪拌し、内部の空気を窒素で置換した。その後、内部の温度を５８℃にし、この状態で約４時間保持して重合を行い、粘着剤ポリマー溶液を得た。この粘着剤ポリマー溶液１００部に、ポリイソシアネート化合物（日本ポリウレタン工業社製の商品名「コロネートＬ」）３部を、均一に混合し、粘着剤溶液Ａを調製した。

片面がシリコーン系離型剤にて処理された長尺ポリエステルフィルム（三菱化学ポリエステルフィルム社製の商品名「ＭＲＦ５０Ｎ１００」、厚さが５０μｍ、幅が２５０mm）からなる保護フィルムのシリコーン離型処理面に、上記の粘着剤溶液Ａを、乾燥後の厚さが１５μｍとなるように塗布し、乾燥した。その粘着剤層上に、支持体として長尺ポリエステルフィルム（厚さが２５μｍ、幅が２５０mm）を積層した。さらに、そのフィルム上に、紫外線硬化型の樹脂組成物Ａを、乾燥後の厚さが３０μｍとなるように塗布し、乾燥して、樹脂層を設けるとともに、その表面に、長尺二軸延伸ポリプロピレンフィルム（東レ社製の商品名「トレファンＢＯ２５００」、厚さが３０μｍ、幅が２５０mm）からなる保護フィルムを貼り合わせて、積層シートＡ１とした。

この積層シートＡ１に、中心波長３６５ｎｍの紫外線を積算光量１，０００ｍＪ／cm² 照射して、重合硬化した樹脂層からなるクリーニング層を有するクリーニングシートＡ１とした。このクリーニングシートＡ１のクリーニング層側の保護フィルムを剥がして、シリコンウエハ（ミラー面）に対する１８０°引き剥がし粘着力（試験法ＪＩＳ Ｚ０２３７に準じて測定）を測定したところ、０．０６Ｎ／１０mm幅であった。また、このクリーニング層の引張り強さ（試験法ＪＩＳ Ｋ７１２７に準じて測定）を測定した結果、４４０ＭＰａであった。さらに、このクリーニングシートＡ１のクリーニング層側と粘着剤層側の保護フィルムを剥離して、下記の方法により、常態吸湿率および常態吸湿量を求めたところ、常態吸湿率は０．７％で、常態吸湿量は７０μｇ／cm² であった。

＜常態吸湿率および常態吸湿量の測定＞
クリーニングシートＡ１からなる試料を３cm² （１cm×３cm）の大きさに切り取り、両面の保護フィルムを剥離し、常態（温度２３℃、相対湿度５０％）下に１０日間放置して、試料（シート）全体の吸湿量を飽和状態とした。つぎに、これをアルミ箔に入れて、加熱気化装置（電量滴定式水分測定装置ＣＡ−０６型＋加熱気化装置ＶＡ−０６型）に投入し１５０℃で加熱して、放出されたガスを滴定セル内に導入して水分量を測定することにより、常態吸湿率および常態吸湿量を求めた。

つぎに、このクリーニングシートＡ１の粘着剤層側の保護フィルムを剥がして、８インチシリコンウエハのミラー面にハンドローラで貼り付け、クリーニング機能付き搬送部材Ａ１を作製した。なお、粘着剤層のシリコンウエハ（ミラー面）に対する１８０°引き剥がし粘着力は１．５Ｎ／１０mm幅であった。このクリーニング機能付き搬送部材Ａ１を使用して、以下の方法により、基板処理装置のクリーニングを行った。

まず、レーザー表面検査装置にて、新品の８インチシリコンウエハ１２枚のミラー面の０．２μｍ以上の異物を測定したところ、すべて１０個以下であった。

ついで、これら８インチシリコンウエハのうちの６枚を、それぞれ、別々の真空スパッタリング装置にミラー面を下側に向けて搬送したのち、レーザー表面検査装置でミラー面を測定した結果、８インチウエハサイズのエリア内で、０．２μｍ以上の異物は、それぞれ、１５，５５３個、１５，５６１個、１５，２１２個、１７，０５０個、１６，５００個、１５，２０１個であった。

つぎに、上記の１５，５５３個の異物が付着していたウエハステージを持つ真空スパッタリング装置に、上記のクリーニング機能付き搬送部材Ａ１を、クリーニング層側の保護フィルムを剥がして搬送し、装置内の異物をクリーニング除去した。その際、真空度が安定しており、支障なく搬送できた。この搬送操作を５回繰り返したのち、新品の８インチシリコンウエハをミラー面を下側に向けて搬送し、レーザー異物検査装置で０．２μｍ以上の異物を測定したところ、初期に対して９０％の異物を除去できていた。また、クリーニング機能付き搬送部材Ａ１の５回の繰り返し搬送時に、装置内の真空度の低下はみられず、安定した真空度を示し、装置の使用上なんの問題も生じなかった。

比較例１
１リットルの攪拌機付きフラスコに、２−エチルヘキシルアクリレート７５部、メチルアクリレート４５部およびアクリル酸１８０部からなるモノマー混合物、メタノール４５０部を仕込み、窒素ガス雰囲気下６０℃に昇温し、重合開始剤としてアゾイソブチロニトリル０．６部を入れ、８時間重合した。重合率はほぼ１００％で、得られたアクリル系ポリマーは重量平均分子量が２０万であった。このアクリル系ポリマーを使用した以外は、実施例１と同様にして、紫外線硬化型の樹脂組成物Ｂを調製した。

これとは別に、温度計、攪拌機、窒素導入管および還流冷却管を備えた内容量が５００ｍｌの３つ口フラスコ型反応器内に、アクリル酸１０部、２−エチルヘキシルアクリレート４５部およびブチルアクリレート４５部からなるモノマー混合物、重合開始剤として２，２′−アゾビスイソブチロニトリル０．１５部、溶剤としてトルエン４５部を、全体が２００ｇになるように配合して投入し、窒素ガスを約１時間導入しながら攪拌し、内部の空気を窒素で置換した。その後、内部の温度を５８℃にし、この状態で約４時間保持して重合を行い、粘着剤ポリマー溶液を得た。この粘着剤ポリマー溶液１００部に、ポリイソシアネート化合物（日本ポリウレタン工業社製の商品名「コロネートＬ」）３部、エポキシ系化合物（三菱瓦斯化学社製の商品名「テトラッドＣ」）２部を、均一に混合し、粘着剤溶液Ｂを調製した。

片面がシリコーン系離型剤にて処理された長尺ポリエステルフィルム（三菱化学ポリエステルフィルム社製の商品名「ＭＲＦ５０Ｎ１００」、厚さが５０μｍ、幅が２５０mm）からなる保護フィルムのシリコーン離型処理面に、上記の粘着剤溶液Ｂを、乾燥後の厚さが１５μｍとなるように塗布し、乾燥した。その粘着剤層上に、支持体としてポリイミドフィルム（東レ・デュポン社製の商品名「カプトンフィルム」、厚さが２５μｍ、幅が２５０mm）を積層した。さらに、そのフィルム上に、紫外線硬化型の樹脂組成物Ｂを、乾燥後の厚さが３０μｍとなるように塗布し、乾燥して、樹脂層を設けるとともに、その表面に、長尺二軸延伸ポリプロピレンフィルム（東レ社製の商品名「トレファンＢＯ２５００」、厚さが３０μｍ、幅が２５０mm）からなる保護フィルムを貼り合わせて、積層シートＢ１とした。

この積層シートＢ１に、中心波長３６５ｎｍの紫外線を積算光量１，０００ｍＪ／cm² 照射して、重合硬化した樹脂層からなるクリーニング層を有するクリーニングシートＢ１とした。このクリーニングシートＢ１のクリーニング層側の保護フィルムを剥がして、シリコンウエハ（ミラー面）に対する１８０°引き剥がし粘着力（試験法ＪＩＳ Ｚ０２３７に準じて測定）を測定したところ、０．０５Ｎ／１０mm幅であった。また、このクリーニング層の引張り強さ（試験法ＪＩＳ Ｋ７１２７に準じて測定）を測定した結果、５００ＭＰａであった。さらに、このクリーニングシートＢ１のクリーニング層側と粘着剤層側の保護フィルムを剥離して、実施例１と同様に、常態吸湿率および常態吸湿量を求めたところ、常態吸湿率は３．０％で、常態吸湿量は２１０μｇ／cm² であった。

つぎに、このクリーニングシートＢ１の粘着剤層側の保護フィルムを剥がし、８インチシリコンウエハのミラー面にハンドローラで貼り付けて、クリーニング機能付き搬送部材Ｂ１を作製した。なお、粘着剤層のシリコンウエハ（ミラー面）に対する１８０°引き剥がし粘着力は１．２Ｎ／１０mm幅であった。

このクリーニング機能付き搬送部材Ｂ１を、１５，５６１個の異物が付着していたウエハステージを持つ真空スパッタリング装置に搬送して、実施例１と同様に、基板処理装置のクリーニングを行った。しかしながら、１回目の搬送時において、装置内の真空度が規定値から回復せず、以後の搬送を停止せざるを得なかった。

（２）の形態のクリーニングシートに関し、比較例２と対比して、説明する。

実施例２
片面がシリコーン系離型剤にて処理された長尺ポリエステルフィルム（三菱化学ポリエステルフィルム社製の商品名「ＭＲＦ５０Ｎ１００」、厚さが５０μｍ、幅が２５０mm）からなる保護フィルムのシリコーン離型処理面に、実施例１で調製した粘着剤溶液Ａを、乾燥後の厚さが１５μｍとなるように塗布し、乾燥した。その粘着剤層上に、実施例１で調製した紫外線硬化型の樹脂組成物Ａを、乾燥後の厚さが３０μｍとなるように塗布し、乾燥して、樹脂層を設けるとともに、その表面に、長尺二軸延伸ポリプロピレンフィルム（東レ社製の商品名「トレファンＢＯ２５００」、厚さが３０μｍ、幅が２５０mm）からなる保護フィルムを貼り合わせて、積層シートＡ２とした。

この積層シートＡ２に、中心波長３６５ｎｍの紫外線を積算光量１，０００ｍＪ／cm² 照射して、重合硬化した樹脂層からなるクリーニング層を有するクリーニングシートＡ２とした。このクリーニングシートＡ２のクリーニング層側と粘着剤層側の保護フィルムを剥離して、実施例１と同様に、常態吸湿率および常態吸湿量を求めたところ、常態吸湿率は０．８％で、常態吸湿量は５０μｇ／cm² であった。

つぎに、このクリーニングシートＡ２の粘着剤層側の保護フィルムを剥がし、８インチシリコンウエハのミラー面にハンドローラで貼り付けて、クリーニング機能付き搬送部材Ａ２を作製した。

このクリーニング機能付き搬送部材Ａ２を、１５，２１２個の異物が付着していたウエハステージを持つ真空スパッタリング装置に搬送して、実施例１と同様に、基板処理装置のクリーニングを行った。その際、真空度が安定しており、支障なく搬送できた。この搬送操作を５回繰り返したのち、新品の８インチシリコンウエハをミラー面を下側に向けて搬送し、レーザー異物検査装置で０．２μｍ以上の異物を測定したところ、初期に対して９３％の異物を除去できていた。また、クリーニング機能付き搬送部材Ａ２の５回の繰り返し搬送時に、装置内の真空度の低下はみられず、安定した真空度を示し、装置の使用上なんの問題も生じなかった。

比較例２
片面がシリコーン系離型剤にて処理された長尺ポリエステルフィルム（三菱化学ポリエステルフィルム社製の商品名「ＭＲＦ５０Ｎ１００」、厚さが５０μｍ、幅が２５０mm）からなる保護フィルムのシリコーン離型処理面に、比較例１で調製した粘着剤溶液Ｂを、乾燥後の厚さが１５μｍとなるように塗布し、乾燥した。その粘着剤層上に、比較例１で調製した紫外線硬化型の樹脂組成物Ｂを、乾燥後の厚さが３０μｍとなるように塗布し、乾燥して、樹脂層を設けるとともに、その表面に、長尺二軸延伸ポリプロピレンフィルム（東レ社製の商品名「トレファンＢＯ２５００」、厚さが３０μｍ、幅が２５０mm）からなる保護フィルムを貼り合わせて、積層シートＢ２とした。

この積層シートＢ２に、中心波長３６５ｎｍの紫外線を積算光量１，０００ｍＪ／cm² 照射して、重合硬化した樹脂層からなるクリーニング層を有するクリーニングシートＢ２とした。このクリーニングシートＢ２のクリーニング層側と粘着剤層側の保護フィルムを剥離して、実施例１と同様に、常態吸湿率および常態吸湿量を求めたところ、常態吸湿率は４．０％で、常態吸湿量は１５０μｇ／cm² であった。

つぎに、このクリーニングシートＢ２の粘着剤層側の保護フィルムを剥がし、８インチシリコンウエハのミラー面にハンドローラで貼り付けて、クリーニング機能付き搬送部材Ｂ２を作製した。

このクリーニング機能付き搬送部材Ｂ２を、１７，０５０個の異物が付着していたウエハステージを持つ真空スパッタリング装置に搬送して、実施例１と同様に、基板処理装置のクリーニングを行った。しかしながら、１回目の搬送時において、装置内の真空度が規定値から回復せず、以後の搬送を停止せざるを得なかった。

（３）の形態のクリーニングシートに関し、比較例３と対比して、説明する。

実施例３
長尺二軸延伸ポリプロピレンフィルム（東レ社製の商品名「トレファンＢＯ２５００」、厚さが３０μｍ、幅が２５０mm）からなる保護フィルムに、実施例１で調製した紫外線硬化型の樹脂組成物Ａを、乾燥後の厚さが３０μｍとなるように塗布し、乾燥して、樹脂層を設けるとともに、その表面に、長尺二軸延伸ポリプロピレンフィルム（東レ社製の商品名「トレファンＢＯ２５００」、厚さが６０μｍ、幅が２５０mm）からなる保護フィルムを貼り合わせて、積層シートＡ３とした。

この積層シートＡ３に、中心波長３６５ｎｍの紫外線を積算光量１，０００ｍＪ／cm² 照射して、重合硬化した樹脂層からなるクリーニング層単独からなるクリーニングシートＡ３とした。このクリーニングシートＡ３の両面側の保護フィルムを剥離して、実施例１と同様に、常態吸湿率および常態吸湿量を求めたところ、常態吸湿率は１．０％で、常態吸湿量は４０μｇ／cm² であった。

つぎに、このクリーニングシートＡ３の一面側の保護フィルムを剥がし、８インチシリコンウエハのミラー面にハンドローラで圧着して貼り付けることにより、クリーニング機能付き搬送部材Ａ３を作製した。

このクリーニング機能付き搬送部材Ａ３を、１６，５００個の異物が付着していたウエハステージを持つ真空スパッタリング装置に搬送して、実施例１と同様に、基板処理装置のクリーニングを行った。その際、真空度が安定しており、支障なく搬送できた。この搬送操作を５回繰り返したのち、新品の８インチシリコンウエハをミラー面を下側に向けて搬送し、レーザー異物検査装置で０．２μｍ以上の異物を測定したところ、初期に対して９５％の異物を除去できていた。また、クリーニング機能付き搬送部材Ａ３の５回の繰り返し搬送時に、装置内の真空度の低下はみられず、安定した真空度を示し、装置の使用上なんの問題も生じなかった。

比較例３
長尺二軸延伸ポリプロピレンフィルム（東レ社製の商品名「トレファンＢＯ２５００」、厚さが３０μｍ、幅が２５０mm）からなる保護フィルムに、比較例１で調製した紫外線硬化型の樹脂組成物Ｂを、乾燥後の厚さが３０μｍとなるように塗布し、乾燥して、樹脂層を設けるとともに、その表面に、長尺二軸延伸ポリプロピレンフィルム（東レ社製の商品名「トレファンＢＯ２５００」、厚さが６０μｍ、幅が２５０mm）からなる保護フィルムを貼り合わせて、積層シートＢ３とした。

この積層シートＢ３に、中心波長３６５ｎｍの紫外線を積算光量１，０００ｍＪ／cm² 照射して、重合硬化した樹脂層からなるクリーニング層単独からなるクリーニングシートＢ３とした。このクリーニングシートＢ３の両面側の保護フィルムを剥離して、実施例１と同様に、常態吸湿率および常態吸湿量を求めたところ、常態吸湿率は４．５％で、常態吸湿量は１３０μｇ／cm² であった。

つぎに、このクリーニングシートＢ３の一面側の保護フィルムを剥がし、８インチシリコンウエハのミラー面にハンドローラで圧着して貼り付けることにより、クリーニング機能付き搬送部材Ｂ３を作製した。

このクリーニング機能付き搬送部材Ｂ３を、１５，２０１個の異物が付着していたウエハステージを持つ真空スパッタリング装置に搬送して、実施例１と同様に、基板処理装置のクリーニングを行った。しかしながら、１回目の搬送時において、装置内の真空度が規定値に回復するのに、実施例３のクリーニング機能付き搬送部材Ａ３に比べて、２倍以上の時間がかかった。また、２回目以降の搬送時には、装置の真空度が規定値に回復せず、それ以後の搬送を停止せざるを得なかった。

Claims (9)

1. （１）支持体の片面にクリーニング層を有し、反対面に粘着剤層を有する三層構造か、（２）クリーニング層の片面に粘着剤層を有する二層構造か、（３）クリーニング層単独からなる単層構造かのいずれかの形態のクリーニングシートであって、温度２３℃、相対湿度５０％での常態吸湿率が１．０％以下で、常態吸湿量が１００μｇ／cm² 以下であることを特徴とするクリーニングシート。
   
2. （１）の形態のクリーニングシートであって、常態吸湿率が０．７％以下で、常態吸湿量が１００μｇ／cm² 以下である請求項１に記載のクリーニングシート。
   
3. クリーニング層の常態吸湿率が０．９％以下、粘着剤層の常態吸湿率が０．８％以下、支持体の常態吸湿率が０．４％以下である請求項２に記載のクリーニングシート。
   
4. （２）の形態のクリーニングシートであって、常態吸湿率が０．８％以下で、常態吸湿量が５０μｇ／cm² 以下である請求項１に記載のクリーニングシート。
   
5. クリーニング層の常態吸湿率が０．９％以下、粘着剤層の常態吸湿率が０．７％以下である請求項４に記載のクリーニングシート。
   
6. （３）の形態のクリーニングシートであって、常態吸湿率が１．０％以下で、常態吸湿量が４０μｇ／cm² 以下である請求項１に記載のクリーニングシート。
   
7. 請求項１〜６に記載のクリーニングシートを搬送部材上に設けたことを特徴とするクリーニング機能付き搬送部材。
   
8. 請求項７に記載のクリーニング機能付き搬送部材を、基板処理装置内に搬送することを特徴とする基板処理装置のクリーニング方法。
   
9. 請求項８に記載のクリーニング方法によりクリーニングされたことを特徴とする基板処理装置。