JP2005093986A - アモルファスシリコン及びポリシリコン等の薄膜の成膜方法及び成膜装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 主ガスとして、SiH4/H2系のガスを用いている。大気圧近傍での圧力で反応を起させるプラズマCVD装置を用い、N2雰囲気70kPaに調整し、成膜対象の基板の温度を150℃に保持し、Vpp=10kV、励起周波数30kHzの一般的な条件でプラズマCVD法によるa−Siの成膜を行う。a−Siの収率とSiH4/H2比との関係をみると、H2ガスの流量を1.6sccm/mm2から6.39sccm/mm2まで変化させた場合に、a−Siの収率は、H2=6.39sccm/mm2と水素流量が大きい場合を除いて概ね1%以上の良好な値を示す。収率の値は水素流量とSiH4/H2比とにより変化する。1.60〜6.39までのいずれのH2ガスの流量においても、SiH4/H2比が0.04程度までは、SiH4/H2比が大きくなるに従って収率が小さくなる。
【選択図】 図3
Description
2H4,GeH4,CH4等のガスが好ましい。また、3族原子含有ガスと4族原子含有ガス、2族原子含有ガスと6族原子含有ガスの中から選ばれる少なくとも1つを含む原料ガスを用いることができる。具体的には、Si,C,Ge等の原子や化合物を含むガスが好ましく、SiH4,Si2H6,GeH4,CH4等のガスを使用する。キャリアガスとして一般的な希ガスの代わりにH2ガスを用い、SiH4ガスとの合計としての分圧が80%以上となるようにすることにより、a−Si層の収率を高く維持したままSi−H比を上げることができ、良質な膜を効率良く成長することができる。
と第2の電極部とのギャップ寸法に対する電圧を5kV/mm以上として印加してプラズマ励起させることにより、簡単な装置構成で、しかも容易な操作でポリシリコン薄膜を形成できる。すなわち、例えばSiH4ガスとH2ガスのみを用いた常圧プラズマ装置で、250℃以下の低温状態でポリシリコン薄膜を成膜できる。
こでトレイ1の下にアース電極を設け、この電極の上にトレイを置いても良い。さらに、供給される反応ガスを排気することにより、常に新しい反応ガスを供給するための吸気系(排気系)機構17a・17bが設けられるとともに、トレイ1とともに基板3を移動させるための移動機構21を有している。
の流量との関係を示す図である。図4に示すように、H2ガスの流量が大きくなるに従ってa−Siの収率が小さくなる傾向になる。これは、H2ガスの流量が大きくなりすぎると、直接反応に寄与するSiH4ガスがプラズマにより励起されて反応しa−Siが基板に堆積するより前に基板から反応ガスが移動してしまうためと考えられる。
1)SiH4/H2比に関しては、収率とSi−H比と堆積速度とを加味することにより、0.01以上でありかつ0.04以下が好ましい。
2)H2流量に関しては、SiH4/H2比とSi−H結合比との関係より、H2流量が2.0sccm/mm2以上であり、6.0sccm/mm2以下であるのが好ましい。
3)基板温度はSi−H比と堆積速度とを加味して150℃近傍が好ましい。
4)主たるガスであるSiH4とH2との合計の割合は80%以上が好ましく、90%以上がさらに好ましい。
Hが1mm、電圧Vppを7kVに設定することで電界強度は7kV/mmとなり、電界強度は5kV/mm以上となっている。この条件により図示していない反応容器内を250℃に保つと、基板30上にポリシリコン薄膜を成膜できた。このようにして形成されたポリシリコン薄膜は、高速成膜が可能で、薄膜の均質性が良好であった。
比を変化させるとともに、反応容器40内に供給するプロセスガスとしてのH2ガスの流量を変化させることにより、基板30上にアモルファスシリコン薄膜またはポリシリコン薄膜を高速で形成する。本実施形態では、反応ガスとしてSiH4ガスをH2ガスで希釈して使用し、SiH4ガスを5ccm、H2ガスを95sccmで供給し、希釈によるガス比を0.05程度以下に設定している。
Claims (9)
- 第1の電極部を兼ねる基板設置部と、反応ガスを供給するガス供給部と、該ガス供給部により供給された反応ガスをプラズマ励起させる励起用の第2の電極部と、前記第1の電極部と前記第2の電極部との間に電圧を印加する電源部と、を有するプラズマ成膜装置を用いた成膜方法であって、
原料ガスとH2ガスとの合計の分圧が80%以上となる反応ガスを、該反応ガスをプラズマ励起させるプラズマ化空間に導入するステップと、
前記プラズマ化空間の圧力を略大気圧に保持しつつ前記反応ガスをプラズマ励起させて前記基板設置部に載せた基板上に薄膜を形成させるステップと
を含むことを特徴とする成膜方法。 - 原料ガス/H2ガス比が、0.002以上0.12以下であることを特徴とする請求項1に記載の成膜方法。
- 前記プラズマ化空間のH2ガスの流量が、0.01以上8.5以下(sccm/mm2)であることを特徴とする請求項1又は2に記載の成膜方法。
- 前記原料ガス及びH2ガス以外のガスとしては、ドーピング対象元素の水素化物により構成されるドーパントガスのみを含むことを特徴とする請求項1から3までのいずれか1項に記載の成膜方法。
- 反応容器と、
第1の電極部を兼ねる基板設置部と、
反応ガスを供給するガス供給部と、
該ガス供給部により供給された反応ガスをプラズマ励起させる励起用の第2の電極部と、
前記第1の電極部と前記第2の電極部との間に電圧を印加する電源部と、
前記ガス供給部から供給された反応ガスを原料ガスとH2ガスとの合計の分圧が80%以上になるように調整し、反応ガスをプラズマ励起させるプラズマ化空間に導入するガス導入部と、
前記反応ガスを排気し前記反応容器内の圧力を略大気圧に保持する排気機構と
を有することを特徴とする成膜装置。 - 第1の電極部を兼ねる基板設置部と、反応ガスを供給するガス供給部と、該ガス供給部により供給された反応ガスを前記基板設置部とともにプラズマ励起させる励起用の第2の電極部と、前記第1の電極部と前記第2の電極部との間に電圧を印加する電源部と、を有するプラズマ成膜装置を用いたポリシリコンの成膜方法であって、
シリコン含有原料ガスと希釈用のH2ガスとのガス比が0.002以上0.12以下である反応ガスを、前記第2の電極部の幅に対する前記反応ガスの供給量比(sccm/cm)が1/3以下となる条件でプラズマ励起させるプラズマ化空間に導入するステップと、
前記プラズマ化空間の圧力を略大気圧に保持しつつ前記反応ガスを、前記第1の電極部と第2の電極部とのギャップ寸法に対する印加電圧を5kV/mm以上に調整してプラズマ励起させ、前記基板設置部に載せた基板上にポリシリコン薄膜を形成させるステップとを含むことを特徴とするポリシリコンの成膜方法。 - 第1の電極部を兼ねる基板設置部と、反応ガスを供給するガス供給部と、該ガス供給部により供給された反応ガスを前記基板設置部とともにプラズマ励起させる励起用の第2の電極部と、前記第1の電極部と前記第2の電極部との間に電圧を印加する電源部と、を反
応容器内に設置したプラズマ成膜装置を用いてポリシリコン薄膜を成膜する方法であって、
シリコン含有原料ガスと希釈用のH2ガスとのガス比が0.002以上0.12以下である反応ガスを、該反応ガスをプラズマ励起させるプラズマ化空間に導入するステップと、
前記プラズマ化空間の圧力を略大気圧に保持しつつ前記反応容器に前記希釈用のH2ガスと別系統のH2ガスを所定の流量で供給し、前記反応ガスをプラズマ励起させて前記基板設置部に載せた基板上にポリシリコン薄膜を形成させるステップと
を含むことを特徴とするポリシリコンの成膜方法。 - 反応容器と、
第1の電極部を兼ねる基板設置部と、
シリコン含有原料ガスと希釈用のH2ガスとのガス比が0.002以上0.12以下になるように調整した反応ガスを供給するガス供給部と、
該ガス供給部により供給された反応ガスを前記基板設置部とともにプラズマ励起させる励起用の第2の電極部と、
前記第1の電極部と前記第2の電極部との間に、前記第1の電極部と第2の電極部とのギャップ寸法に対する印加電圧を5kV/mm以上に調整して印加する電源部と、
前記ガス供給部から、前記第2の電極部の幅に対する前記反応ガスの供給量比(sccm/cm)を1/3以下として該反応ガスを供給し、供給された反応ガスをプラズマ励起させるプラズマ化空間に導入するガス導入部と、
前記反応ガスを排気し前記反応容器内の圧力を略大気圧に保持する排気機構と
を有することを特徴とするポリシリコンの成膜装置。 - 反応容器と、
第1の電極部を兼ねる基板設置部と、
シリコン含有原料ガスと希釈用のH2ガスとのガス比が0.002以上0.12以下になるように調整した反応ガスを供給するガス供給部と、
該ガス供給部により供給された反応ガスを前記基板設置部とともにプラズマ励起させる励起用の第2の電極部と、
前記第1の電極部と前記第2の電極部との間に電圧を印加する電源部と、
前記ガス供給部から供給された反応ガスをプラズマ励起させるプラズマ化空間に導入するガス導入部と、
前記反応容器内に前記希釈用のH2ガスと別系統のH2ガスをプロセスガスとして所定の流量で供給するプロセスガス供給部と、
前記反応ガス及び前記プロセスガスを排気し前記反応容器内の圧力を略大気圧に保持する排気機構と
を有することを特徴とするポリシリコンの成膜装置。
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