JP2005088038A5 - - Google Patents

Claims (2)

1. レーザ光を発生させるレーザ光源と、
   被加工物を保持する保持部と、
   前記被加工物と前記保持部とを液中に浸漬させる容器と、
   レーザ光を前記レーザ光源から前記被加工物まで導くレーザ導波手段と、
   前記レーザ導波手段のレーザ光出射部と前記被加工物との間に配置された保護部材とを備え、
   前記保護部材はレーザ光を透過させる材料から構成されることを特徴とするレーザ加工装置。
2. 被加工物を保持部により保持して前記被加工物を液中に浸漬させ、
   レーザ導波手段のレーザ光出射部を前記被加工物に対向するように液中に配置し、
   レーザ光を透過させる材料から構成された保護部材を前記レーザ光出射部と前記被加工物との間に配置し、
   レーザ光源で発生させたレーザ光を前記レーザ導波手段を介して前記レーザ光出射部から液中の前記被加工物に照射することを特徴とするレーザ加工方法。