JP2005083250A - ベローズポンプ、およびそれを用いた塗布装置ならびにレジスト塗布装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 流体により加圧された際における蛇腹部の変形を十分に防止可能な、高耐圧のベローズポンプ、およびそれを用いた塗布装置ならびにレジスト塗布装置を提供する。
【解決手段】 ベローズ１４の内部にポンプ室１７を設けるとともに、ベローズ１４の外部にベローズ保護部材３０を設けて、これによって流体吐出時におけるベローズ１４の内部からの加圧で蛇腹部が変形しないように保護するようにした。また、ベローズ保護部材３０をフランジ形状とし、フランジ形状の内周に沿った端部の断面輪郭を、ベローズ１４の収縮時における凹部１４ａの断面輪郭と略同一の形状である膨出状に形成した。
【選択図】 図１

Description

本発明は、ノズルから塗布液を吐出して被処理物へ塗布を行う際に、塗布液貯槽部から塗布液を吸入して所定量の塗布液をノズルへ供給するベローズポンプ、およびそれを用いた塗布装置ならびにレジスト塗布装置に関する。

液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）の製造におけるリソグラフィ工程では、基板面へレジスト液を塗布する際に、基板を高速回転させ、ノズルから基板の中心にレジスト液を滴下して基板面に一様に塗布する方法が採用されている。

ノズルからレジスト液を吐出するためのポンプには、いわゆるベローズポンプが使用されている（例えば特許文献１を参照）。このようなベローズポンプを用いたレジスト塗布装置の一例を図８に示す。このレジスト塗布装置のベローズポンプ１１０には、内部にポンプ室１１７が形成されたハウジング１２６に、吸入ポート１１１と吐出ポート１１２が開設されている。吸入ポート１１１は吸入管１５０を介してレジスト液貯槽部１４７と連通され、吐出ポート１１２は供給管１５１を介してレジスト液吐出ノズル１４８と連通されている。また、吸入ポート１１１にはレジスト液のポンプ室１１７への流入のみを許容する吸入側逆止弁１１９が設けられ、吐出ポート１１２にはレジスト液のポンプ室１１７からの流出のみを許容する吐出側逆止弁１２０が設けられている。

ハウジング１２６内にはベローズ１１４が設けられ、駆動部材１５２を軸方向に移動させることによって伸縮するように構成されている。このベローズ１１４を軸方向に収縮させることにより、レジスト液貯槽部１４７からのレジスト液がポンプ室１１７へ吸入される。一方、ベローズ１１４を軸方向に伸張させることにより、ポンプ室１１７が加圧されてレジスト液吐出ノズル１４８からレジスト液が吐出され、基板１４９へ供給される。

従来では、このようなベローズポンプを備えたレジスト塗布装置を使用して、上述したように、ノズルから基板へレジスト液を滴下し、基板を高速回転させることにより基板面全体にレジスト液を展開して塗布を行っていたが、近年では大型のＬＣＤ基板が用いられるようになり、レジスト塗布時にこのような大型のＬＣＤ基板を高速回転させることが困難になっていた。

そこで、最近では新しいレジスト塗布方法として、基板の上方でレジスト液吐出ノズルを相対移動または走査させながら、このノズルから細線状のレジスト液を連続的に吐出させることにより、高速回転を要することなく基板面に所望の膜厚でレジスト液を塗布するようにした、いわゆるスピンレス法が提案されている（例えば特許文献２を参照）。

このスピンレス法では、孔径の非常に小さい（例えば１００μｍ程度）吐出孔を多数有するレジスト液吐出ノズルを使用するため、高い吐出圧を要する。さらに、吐出前にレジスト液の気泡を除去するためにフィルタを通過させる場合には、このフィルタによる抵抗圧が発生する。

このようなスピンレス法によるレジスト塗布に、例えば図８のベローズポンプ１１０のような従来のベローズポンプを使用した場合、ベローズ１１４の材質には薬液に侵されないフッ素樹脂が使用されており、レジスト液を吐出する際に、ベローズ１１４はポンプ室１１７内の高圧のレジスト液により蛇腹部の外側部に形成された凸部１５３を内側に押し潰すように外側から加圧されるため、ベローズ１１４は変形してしまい、ポンプとしての
機能を果たせなくなる。

このような流体圧によるベローズの蛇腹部の変形を防止する技術として、特許文献３には、ベローズ内部に、蛇腹部の内側凹部へリング状の芯部材を嵌装する方法が記載されている。すなわち、図９に示したように、ベローズ１１４の蛇腹部の内側部に形成された凹部１５４に、切断箇所を有するリング状の芯部材１５５を挿入して、ベローズ１１４の外部からの流体圧によって変形しないように蛇腹部を保護している。
特開平７−１３０６２７号公報 特開２００２−１４３７５２号公報 特開昭６２−２３３４８９号公報

しかしながら、この芯部材１５５はベローズ１１４の内部に挿入するため可撓性であることが要求され、このため耐圧作用には限界があり、挿入作業も簡便ではない。さらに、芯部材１５５がベローズ１１４の収縮時における内側凹部１５４の輪郭に沿って隙間なく接する形状でない場合、流体により外部から加圧された際に、蛇腹部は芯部材１５５の輪郭に沿って変形して接するようになるため、ベローズ１１４を伸縮駆動する駆動部材１５２の移動量で規定される吐出量の直線性が損なわれるという問題があった。

上述した問題点に対処するために、小容量のベローズポンプを使用することも考えられる。しかし、基板１枚分のレジスト液を収容できない小容量のベローズポンプであると、基板全体を塗布処理するために吸入操作と吐出操作を繰り返すことになり、処理時間が長くなってしまう。

本発明は上述したような従来技術の問題点を解決するために為されたものであり、その目的は、流体により加圧された際における蛇腹部の変形を十分に防止可能な、高耐圧のベローズポンプ、およびそれを用いた塗布装置ならびにレジスト塗布装置を提供することにある。

上記の目的を達成するために、本発明のベローズポンプは、流体を吸入する吸入ポートと、
前記流体を吐出する吐出ポートと、
伸縮可能な蛇腹部を有する樹脂製ベローズの内部で構成され、前記吸入ポートおよび吐出ポートと連通するポンプ室と、
前記ベローズを伸張させて前記吸入ポートを介して前記流体を前記ポンプ室へ吸入し、前記ベローズを収縮させて前記ポンプ室から前記吐出ポートを介して前記流体を吐出する伸縮駆動部とを備えるベローズポンプであって、
前記ベローズの蛇腹部の外側部に形成された凹部に嵌合したベローズ保護部材を備えることを特徴とする。

本発明のベローズポンプは、前記ベローズ保護部材がフランジ形状を有するとともに、前記フランジ形状の内周に沿った端部の断面輪郭が、前記ベローズの収縮時における前記凹部の断面輪郭と略同一の形状である膨出状に形成されていることを特徴とする。

本発明のベローズポンプは、前記ベローズ保護部材が、前記フランジ形状を２分割したフランジ形成部材と、
前記各フランジ形成部材で前記ベローズの凹部を挟持した状態でこれらのフランジ形成部材同士を固定して前記フランジ形状を形成する固定部材とからなることを特徴とする。

本発明のベローズポンプは、前記フランジ形成部材が、平板状の基板部材と、
前記基板部材における前記ベローズの凹部に嵌合する側の端部に沿って設けられ、その断面輪郭が前記膨出状に形成された樹脂部材とからなることを特徴とする。

また、本発明のベローズポンプは、前記固定部材が、一方の前記フランジ形成部材に設けられた鍵凹部と、他方の前記フランジ形成部材に設けられ、前記鍵凹部に嵌合して各フランジ形成部材同士を固定する鍵凸部とからなることを特徴とする。

本発明の塗布装置は、上記のベローズポンプを備えることを特徴とする。

本発明のレジスト塗布装置は、上記のベローズポンプを備えることを特徴とする。

本発明のベローズポンプ、塗布装置およびレジスト塗布装置によれば、ベローズ内部にポンプ室を設けるとともに、ベローズ外部にベローズ保護部材を設けて、これによって流体吐出時におけるベローズ内部からの加圧で蛇腹部が変形しないように保護している。このように、ベローズ保護部材を、吸入および吐出する流体と接触しないベローズ外部に設けているので、その形状と材質を、流体の種類や圧力を考慮することなく比較的自由に選択することができるとともに、ベローズの内部に嵌装する必要がなく取り付けが容易である。

また、ベローズの蛇腹部の外側凹部と嵌合するベローズ保護部材の端部の断面輪郭を、ベローズの収縮時（無加圧下）における該凹部の断面輪郭と略同一の形状である膨出状に形成している。したがって、流体吐出時における蛇腹部の変形を十分に防止可能である。

また、ベローズ保護部材を、各フランジ形成部材同士をベローズの凹部を挟持した状態で固定部材により固定して形成するようにしている。したがって、ベローズ保護部材を蛇腹部の外側凹部へ容易に取り付け可能である。

以下、図面を参照しながら本発明を詳細に説明する。図１および図２は、本発明の一実施形態によるベローズポンプの概略断面図であり、図１はベローズ収縮時の状態を、図２はベローズ伸張時の状態を示したものである。

以下、レジスト塗布装置に本実施形態のベローズポンプを使用した場合を例として説明する。同図に示したように、このベローズポンプ１０では、ケーシング４０内のポンプヘッド１３に、伸縮可能な蛇腹部を有する樹脂製（例えばフッ素樹脂）のベローズ１４が取り付けられている。１６は、ベローズ後端部１５ｂを押さえるベローズ押さえ板であり、２１はＯリング、４２はベローズ固定用の螺子である。また４１はポンプヘッド１３を支持する柱状の支持部材である。

ベローズ１４の内部空間によってポンプ室１７が構成され、このポンプ室１７は、ポンプヘッド１３に形成された流路から吸入ポート１１および吐出ポート１２へ連通している。レジスト液貯槽部４７からのレジスト液は、吸入管５０から吸入ポート１１を介してポンプ室１７へ吸入される。ポンプ室１７へ吸入されたレジスト液は、吐出ポート１２を介して供給管５１の端部側に接続されたレジスト液吐出ノズル４８から、塗布処理を行う基板４９上へ塗布される。４３、４５は、吸入ポート１１へ吸入管５０を接続する吸入側継手およびナットであり、４４、４６は、吐出ポート１２へ供給管５１を接続する吐出側継手およびナットである。

また、吸入ポート１１にはレジスト液のポンプ室１７への流入のみを許容する吸入側逆止弁１９が設けられ、吐出ポート１２にはレジスト液のポンプ室１７からの流出のみを許容する吐出側逆止弁２０が設けられている。

ベローズ１４は、ベローズ先端部１５ａに取り付けられた駆動部材１８を図示しない伸縮駆動機構によって軸方向へ正逆方向に駆動することで伸縮され、図１に示した状態からベローズ１４を軸方向に伸張させ、図２に示した状態とすることにより、ポンプ室の容積が拡大され、レジスト液貯槽部４７からのレジスト液がポンプ室１７へ吸入される。一方、再び図１に示した状態となるまでベローズ１４を軸方向に収縮させることにより、ポンプ室１７が加圧された状態でレジスト液吐出ノズル４８からレジスト液が吐出され、基板４９へ供給される。

ベローズ１４を伸縮させる伸縮駆動部は、駆動部材１８と、これを軸方向へ往復移動させる駆動機構とから構成され、このような構成としては特に限定されないが、例えばボールネジ機構を挙げることができる。すなわち、駆動部材１８にボールナットを固定して、ボールネジ軸とボールナットとを螺合させ、パルスモータ、ステップモータなどのモータの回転力をプーリ、タイミングベルトなどを介してボールネジ軸へ伝達し、ボールネジ軸を回転させることによってボールナットに固定された駆動部材１８を軸方向に往復移動させることができる。

例えば、前述したようなスピンレス法では、レジスト液吐出時の液圧が相当に高くなる（最大で１ＭＰａ程度）。このため、ポンプ室１７内の高圧のレジスト液が、ベローズ１４の蛇腹部の外側部に形成された凹部１４ａを押し潰すように変形させ、これに起因して繰り返し疲労による残留変形、または破損を生じることがある。そこで、本実施形態では、蛇腹部の外側部に形成されたそれぞれの凹部１４ａに、フランジ形状（中空の略円盤形状）のベローズ保護部材３０を嵌合して、凹部１４ａが変形しないように保護している。

このように、ベローズ保護部材３０はベローズ１４の外周で取り付けられている。このため、ベローズ保護部材３０を製造するに際して、レジスト液のような流体の種類およびその圧力を考慮する必要がなく、その形状および材質を比較的自由に選択することができる。また、後述するようにその取り付け作業も容易である。

図３（ａ）は、図１、２のベローズポンプのベローズ保護部材３０を示したものであり、図３（ｂ）は、そのＡ−Ａ線による拡大断面図である。図３（ｂ）に示したように、ベローズ保護部材３０は、フランジ形状の内周に沿った端部３１の断面輪郭が、ベローズ１４の収縮時における凹部１４ａの断面輪郭と略同一の形状である膨出状に形成されている。

すなわち、端部３１の断面輪郭を、ポンプ室１７の容積が最小となるまでベローズ１４を収縮した際における無加圧の状態での凹部１４ａの断面輪郭に沿った形状としているため、ベローズ１４は、レジスト液吐出時の加圧下においても、ベローズ１４内部からの加圧力が凹部１４ａの無加圧下での形状に沿った端部３１で受け止められるため、その加圧力による変形を受けない。したがって、凹部１４ａは、特に加圧時の変形に起因する吸入と吐出の繰り返し疲労による残留変形や破損を生じることがない。

さらに、駆動部材１８の移動距離と、吐出ポート１２からのレジスト液吐出量との関係も、吐出時の加圧に対して蛇腹部の外側部に形成された凸部１４ｂの形状変化が少ないために直線性が良好であり、ノズル４８からレジスト液を均一な塗布量で塗布することができる。

これに対して、例えば図６（ａ）に示したベローズ保護部材８０のように、ベローズ１４の外側凹部１４ａに接する端部の断面輪郭が凹部１４ａの断面輪郭に沿わないものを使用すると、レジスト液などの流体によってベローズ１４が内部から加圧された際に、図６（ｂ）に示したように無理な変形を生じ、繰り返し疲労に起因する残留変形や破損を生じたり、あるいは駆動部材１８の移動距離とレジスト液吐出量との間の直線性が低下する要因となる。

本実施形態では、ベローズ保護部材３０は、図３（ｃ）に示したようにフランジ形状を２分割した金属製のフランジ形成部材３２ａ、３２ｂと、これらを固定してフランジ形状を形成する固定部材（固定金具３３、螺子３８）とから構成されている。

これらの部材からフランジ保護部材３０を形成し、ベローズ１４の凹部１４ａへ組み付ける際には、先ず２枚のフランジ形成部材３２ａ、３２ｂで凹部１４ａを挟持し、この状態で、フランジ形成部材３２ａ、３２ｂに形成された貫通孔３９と、固定金具３３に形成された螺子孔３４が一致するように重ねて、螺子３８を紙面裏側の方向から貫通孔３９を通して螺子孔３４と螺合して固定させる。

このように２枚のフランジ形成部材を固定部材で固定する構成としたので、フランジ保護部材３０の凹部１４ａへの取り付け作業を容易に行うことができる。

図４（ａ）は、フランジ保護部材の他の例を示した上面図、図４（ｂ）はそのＡ−Ａ線による断面図である。この例におけるフランジ保護部材３０では、図３の場合と同様に２枚のフランジ形成部材３２ａ、３２ｂを固定金具３３で固定するように構成されるとともに、フランジ形成部材３２ａ、３２ｂが、金属製である平板状の基板部材３５と、この基板部材３５の内周側端部、すなわち、ベローズ１４の凹部１４ａに嵌合する側の端部３１に沿って設けられた樹脂部材３６とからなる。そして、この樹脂部材３６の断面輪郭が前述したように凹部１４ａの断面輪郭に沿った膨出状に形成されている。

このように、比較的製作が容易な、内外とも厚さが同じである金属製の基板部材３５を使用するとともに、膨出形状の部分には、フッ素樹脂またはゴムなどの樹脂によって成型加工したものを別途使用することとしたので、フランジ形成部材を容易に製造することができる。

図５（ａ）は、フランジ保護部材の他の例について、フランジ形成部材同士を組み付けてフランジ形状を形成する様子を示した上面図、図５（ｂ）は、形成されたフランジ保護部材の上面図である。図５（ｂ）に示したように、この例におけるフランジ保護部材３０では、固定部材として一対の鍵凹部３７ａと鍵凸部３７ｂが設けられ、これらを嵌め合わせることによってフランジ形成部材３２ａと３２ｂとを固定している。鍵凸部３７ｂは固定のために適切な所定の形状でフランジ形成部材３２ａ、３２ｂの端部から突出形成されるとともに、鍵凹部３７ａはこの突出形状と略同一の輪郭を有する空間として他方の端部に形成される。すなわち、フランジ形成部材３２ａの一端部には鍵凹部３７ａが、他端部には鍵凸部３７ｂが設けられるとともに、もう一方のフランジ形成部材３２ｂの一端部には鍵凸部３７ｂが、他端部には鍵凹部３７ａが設けられ、各端部において、鍵凸部３７ｂが鍵凹部３７ａに嵌合され、図５（ｂ）のようにフランジ保護部材３０が形成される。

このように、ベローズ１４の凹部１４ａを挟持するように２枚のフランジ形成部材を対向させ、フランジ形成部材の各端部において鍵凸部を鍵凹部に嵌め合わせればよく、フランジ保護部材３０を凹部１４ａへ容易に取り付け可能である。

以上説明したベローズポンプは、塗布装置、特にレジスト塗布装置に使用することができる。本発明のベローズポンプを用いた塗布装置は、被処理物へ塗布する液体を収容する塗布液貯槽部と、被処理物へ向けて液体を吐出する塗布液吐出ノズルとを備えている。この塗布液貯槽部は、ベローズポンプの吸入ポートへ吸入管を介して接続され、塗布液吐出ノズルは、ベローズポンプの吐出ポートへ供給管を介して接続される。

また、レジスト塗布装置の構成としては、従来知られているものを採用することができ、例えば、スピンレス法によるレジスト塗布装置における公知の装置構成が利用可能である。図７は、図１、２の実施形態によるベローズポンプを使用したレジスト塗布装置の構成の一例を説明する図である。同図のレジスト塗布装置６０は、スピンレス法により基板４９へレジスト塗布を行うものであり、レジスト液貯槽部４７と、レジスト液吐出ノズル４８と、レジスト液貯槽部４７からレジスト液を吸入して、レジスト液吐出ノズル４８に向けて押し出すベローズポンプ１０とを備えている。レジスト液貯槽部４７とベローズポンプ１０とは吸入管５０で連通され、ベローズポンプ１０とレジスト液吐出ノズル４８とは供給管５１で連通されている。ベローズポンプ１０では、ポンプ室１７に吸入側逆止弁１９を介して連通する吸入ポート１１が、吸入管５０の終端に接続されるとともに、ポンプ室１７に吐出側逆止弁２０を介して連通する吐出ポート１２が、供給管５１の始端に接続される。供給管５１の途中には、気泡などを除去するフィルタ６３と開閉弁６７が設けられている。

ベローズポンプ１０は、そのベローズ１４を伸縮させる伸縮駆動部に、ボールネジ機構を介してベローズ１４を軸方向に伸縮させる電動モータ６１を有している。電動モータ６１は、例えばパルスモータからなり、制御部６４によって電動モータ６１の回転（回転方向、回転量および回転速度など）が制御され、これによりベローズポンプ１０の吸入・吐出動作が制御される。６２は、制御部６４が電動モータ６１の回転動作を確認するためのロータリエンコーダである。

レジスト液吐出ノズル４８は、ノズル走査機構６６により基板の上方をＸＹ方向に走査されながら基板上へレジスト液を吐出する。また、レジスト液吐出ノズル４８には、レジスト液の吐出圧力を検出するための圧力センサ６５が取り付けられ、測定された圧力に基づいて所定の制御が行われるようになっている。これらのノズル走査機構６６および圧力センサ６５と開閉弁６７は、それぞれマイクロコンピュータからなる制御部６４に接続され、この制御部６４によってノズル走査などの所定の制御が行われる。

図１は、本発明の一実施形態によるベローズポンプの概略断面図である。 図２は、図１のベローズポンプのベローズ伸張時における状態を示す概略断面図である。 図３（ａ）は、図１、２のベローズポンプのベローズ保護部材の上面図、図３（ｂ）は、そのＡ−Ａ線による拡大断面図である。図３（ｃ）は、ベローズ保護部材の構成を示す図である。 図４（ａ）は、フランジ保護部材の他の例を示した上面図、図４（ｂ）は、そのＡ−Ａ線による拡大断面図である。 図５（ａ）は、フランジ保護部材の他の例について、フランジ形成部材同士を組み付けてフランジ形状を形成する様子を示した上面図、図５（ｂ）は、形成されたフランジ保護部材の上面図である。 図６（ａ）は、ベローズの外側凹部に接する端部の断面輪郭が該凹部の断面輪郭に沿わないベローズ保護部材を使用した例を説明する図、図６（ｂ）は、ベローズが内部から加圧された際に蛇腹部が無理な変形を生じる様子を示した図である。 図７は、図１、２の実施形態によるベローズポンプを使用したレジスト塗布装置の構成の一例を説明する図である。 図８は、従来のベローズポンプを用いたレジスト塗布装置を説明する図である。 図９は、蛇腹部の内側凹部にリング状の芯部材を挿入した従来のベローズポンプの要部を説明する図である。

符号の説明

１０…ベローズポンプ
１１…吸入ポート
１２…吐出ポート
１３…ポンプヘッド
１４…ベローズ
１４ａ…凹部
１４ｂ…凸部
１５ａ…ベローズ先端部
１５ｂ…ベローズ後端部
１６…ベローズ押さえ板
１７…ポンプ室
１８…駆動部材
１９…吸入側逆止弁
２０…吐出側逆止弁
２１…Ｏリング
３０…ベローズ保護部材
３１…端部
３２ａ…フランジ形成部材
３２ｂ…フランジ形成部材
３３…固定金具
３４…螺子孔
３５…基板部材
３６…樹脂部材
３７ａ…鍵凹部
３７ｂ…鍵凸部
３８…螺子
３９…貫通孔
４０…ケーシング
４１…支持部材
４２…ベローズ固定用螺子
４３…吸入側継手
４４…吐出側継手
４５…ナット
４６…ナット
４７…レジスト液貯槽部
４８…レジスト液吐出ノズル
４９…基板
５０…吸入管
５１…供給管
６０…レジスト塗布装置
６１…電動モータ
６２…ロータリエンコーダ
６３…フィルタ
６４…制御部
６５…圧力センサ
６６…ノズル走査機構
６７…開閉弁
８０…ベローズ保護部材

Claims (7)

1. 流体を吸入する吸入ポートと、
   前記流体を吐出する吐出ポートと、
   伸縮可能な蛇腹部を有する樹脂製ベローズの内部で構成され、前記吸入ポートおよび吐出ポートと連通するポンプ室と、
   前記ベローズを伸張させて前記吸入ポートを介して前記流体を前記ポンプ室へ吸入し、前記ベローズを収縮させて前記ポンプ室から前記吐出ポートを介して前記流体を吐出する伸縮駆動部とを備えるベローズポンプであって、
   前記ベローズの蛇腹部の外側部に形成された凹部に嵌合したベローズ保護部材を備えることを特徴とするベローズポンプ。
2. 前記ベローズ保護部材がフランジ形状を有するとともに、前記フランジ形状の内周に沿った端部の断面輪郭が、前記ベローズの収縮時における前記凹部の断面輪郭と略同一の形状である膨出状に形成されていることを特徴とする請求項１に記載のベローズポンプ。
3. 前記ベローズ保護部材が、前記フランジ形状を２分割したフランジ形成部材と、
   前記各フランジ形成部材で前記ベローズの凹部を挟持した状態でこれらのフランジ形成部材同士を固定して前記フランジ形状を形成する固定部材とからなることを特徴とする請求項２に記載のベローズポンプ。
4. 前記フランジ形成部材が、平板状の基板部材と、
   前記基板部材における前記ベローズの凹部に嵌合する側の端部に沿って設けられ、その断面輪郭が前記膨出状に形成された樹脂部材とからなることを特徴とする請求項３に記載のベローズポンプ。
5. 前記固定部材が、一方の前記フランジ形成部材に設けられた鍵凹部と、他方の前記フランジ形成部材に設けられ、前記鍵凹部に嵌合して各フランジ形成部材同士を固定する鍵凸部とからなることを特徴とする請求項３に記載のベローズポンプ。
6. 請求項１〜５のいずれかに記載のベローズポンプを備えることを特徴とする塗布装置。
7. 請求項１〜５のいずれかに記載のベローズポンプを備えることを特徴とするレジスト塗布装置。

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