JP2005079107A - 配線基板の製造方法、及び配線基板 - Google Patents

Abstract

【課題】コア基板を有さず、高分子材料からなる誘電体層と導体層とが交互に積層された配線基板を容易に得ることが可能な製造方法と、それにより得られる配線基板を提供する。
【解決手段】製造時における補強のための支持基板２０上に形成された下地誘電体シート２１の主表面上に、該主表面に包含されるよう配された、分離可能な２つの金属箔５ａ、５ｂが密着してなる金属箔密着体５と、該金属箔密着体５を包むよう形成され、かつ該金属箔密着体５の周囲領域２１ｃにて下地誘電体シート２１と密着して該金属箔密着体５を封止する第一誘電体シート１１と、を有する積層シート体１０を形成し、かつ第一誘電体シート１１は、積層シート体１０を構成する他の誘電体シートよりも破断強度が高い層を含む。
【選択図】 図１

Description

【０００１】
【発明が属する技術分野】
本発明は、コア基板を有さない配線基板、及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、電子機器における高機能化並びに軽薄短小化の要求により、ＩＣチップやＬＳＩ等の電子部品では高密度集積化が急速に進んでおり、これに伴い、電子部品を搭載するパッケージ基板には、従来にも増して高密度配線化及び多端子化が求められている。
【０００３】
このようなパッケージ基板としては、現状において、ビルドアップ多層配線基板が採用されている。ビルドアップ多層配線基板とは、補強繊維に樹脂を含浸させた絶縁性のコア基板（ＦＲ−４等のガラスエポキシ基板）のリジッド性を利用し、その両主表面上に、高分子材料からなる誘電体層と導体層とが交互に配されたビルドアップ層を形成したものである。このようなビルドアップ多層配線基板では、ビルドアップ層において高密度配線化が実現されており、一方、コア基板は補強の役割を果たす。そのため、コア基板は、ビルドアップ層と比べて非常に厚く構成され、またその内部にはそれぞれの主表面に配されたビルドアップ層間の導通を図るための配線（例えば、スルーホール導体と呼ばれる）が厚さ方向に貫通形成されている。ところが、使用する信号周波数が１ＧＨｚを超える高周波帯域となってきた現在では、そのような厚いコア基板を貫通する配線は、大きなインダクタンスとして寄与してしまうという問題があった。
【０００４】
そこで、そのような問題を解決するため、特許文献１に示されるような、コア基板を有さず、高密度配線化が可能なビルドアップ層を主体とした配線基板が提案されている。このような配線基板では、コア基板が省略されているため、全体の配線長が短く構成され、高周波用途に供するのに好適である。このような配線基板を製造するためには、段落００１２〜００２９及び図１〜４に記載されているように、金属板上にビルドアップ層を形成した後、該金属板をエッチングすることにより薄膜のビルドアップ層のみを得る。そして、このビルドアップ層が配線基板とされる。
【０００５】
【特許文献１】
特開２００２−２６１７１号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、特許文献１に記載された製造方法の場合、ビルドアップ層が形成される金属板は、製造時における補強の役割を担うことが可能な程度の厚さ（例えば、銅板にして０．８ｍｍ程度）に設定されるが、ビルドアップ層を形成後にそれを全てエッチングすることは、時間が掛かり過ぎる（例えば、銅板０．８ｍｍに対して３０分程度）など工程上の無駄が多いという問題があった。
【０００７】
そこで、本発明では、コア基板を有さず、高分子材料からなる誘電体層と導体層とが交互に積層された配線基板を容易に得ることが可能な製造方法と、それにより得られる信頼性の高い配線基板を提供することを課題とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段及び作用・発明の効果】
上記課題を解決するため、本発明の配線基板の製造方法では、
コア基板を有さず、かつ両主表面が誘電体層にて構成されるよう、高分子材料からなる誘電体層と導体層とが交互に積層された配線基板を製造するために、
製造時における補強のための支持基板上に形成された下地誘電体シートの主表面上に、該主表面に包含されるよう配された、分離可能な２つの金属箔が密着してなる金属箔密着体と、該金属箔密着体を包むよう形成され、かつ該金属箔密着体の周囲領域にて下地誘電体シートと密着して該金属箔密着体を封止する第一誘電体シートと、を有する積層シート体を形成し、かつ第一誘電体シートは、積層シート体を構成する他の誘電体シートよりも破断強度が高い層を含むとともに、
積層シート体のうち、金属箔密着体上の領域を配線基板となるべき配線積層部として、その周囲部を除去し、該配線積層部の端面を露出させた後、配線積層部を支持基板から、片方の金属箔が付着した状態で、金属箔密着体における２つの金属箔の界面にて剥離することを特徴とする。
【０００９】
上記本発明によると、本発明の配線基板の製造方法は、図１を参照して簡略に説明すると、（ａ）支持基板２０（特許文献１における金属板に該当する）上に形成された下地誘電体シート２１上に、配線基板となるべき配線積層部１００（図２参照）を含有する積層シート体１０を形成し、（ｂ）積層シート体１０のうち配線積層部１００の周囲部（図中の破線部）を除去することにより、配線積層部１００の端面１０３を露出させて、（ｃ）配線積層部１００を支持基板２０（及び下地誘電体シート２１）から剥離する。このように、配線積層部と支持基板との分離を剥離により行うことで、容易に配線基板を得ることが可能となっている。また、配線積層部と支持基板との分離をエッチングにより行わないため、支持基板の両主表面に積層シート体を形成することもでき、ひいては配線基板の量産が可能となる。
【００１０】
以下、図１のそれぞれの工程に関して詳細な説明を行う。図１（ａ）では、支持基板２０上に形成された下地誘電体シート２１上に、配線基板となるべき配線積層部１００（図２参照：詳細は後述）を含有する積層シート体１０が形成されている。積層シート体１０では、下地誘電体シート２１の主表面に包含されるように、分離可能な２つの金属箔５ａ、５ｂが密着してなる金属箔密着体５が配され、該金属箔密着体５を包むように第一誘電体シート１１が配されている。なお、積層シート体１０は、この他に、第一誘電体シート１１上に形成された第一導体層３１と、該第一導体層３１と金属箔密着体５とを接続する第一誘電体シート１１に貫通形成された第一ビア導体４１と、も有するが、これらに関しては後述する。そして、該金属箔密着体５を包むよう形成された第一誘電体シート１１は、金属箔密着体５（上側金属箔５ｂ）に密着するとともに、金属箔密着体５の周囲領域２１ｃにて下地誘電体シート２１と密着しており、これによって、金属箔密着体５は第一誘電体シート１１に封止された状態とされている。
【００１１】
このように金属箔密着体５が第一誘電体シート１１に封止されていることにより、金属箔密着体５（下側金属箔５ａ）と下地誘電体シート２１との界面に膨れや剥れが生じることなく、積層シート体１０を形成することができる。そしてその後、図１（ｂ）において、第一誘電体シート１１と下地誘電体シート２１とが密着している周囲領域２１ｃが除去されるので、図１（ｃ）において、金属箔密着体５の界面で配線積層部１００の剥離を容易に行うことが可能となる。つまり、このように構成することにより、密着性が要求される積層シート体の形成（図１（ａ））と、剥離容易性が要求される配線積層部の剥離（図１（ｃ））とを、どちらも良好に行うことが可能となる。
【００１２】
なお、図２に示すように、積層シート体１０のうち、金属箔密着体５上の領域は、配線積層部１００とされている。配線積層部１００は、図１（ｃ）の剥離により上側金属箔５ｂが付着した状態で得られ、その後配線基板となるべきものである。すなわち、コア基板を有さず、かつ両主表面が誘電体層にて構成されるよう、高分子材料からなる誘電体層と導体層とが交互に積層された構造を有する（詳細な構造については後述する）。
【００１３】
また、積層シート体１０の形態は、配線積層部１００（金属箔密着体５上の領域）を有していればよく、図１（ａ）の形態に限定されない。例えば、図３（ａ）のように、第一誘電体シート１１上に形成される他の誘電体シートが、配線積層部１００となる部分のみにより構成されていてもよい。
【００１４】
次に、図１（ｂ）では、積層シート体１０のうち、配線積層部１００の周囲部（図中の破線部）を除去し、該配線積層部１００の端面１０３を露出させる。つまり、第一誘電体シート１１と下地誘電体シート２１とが密着している周囲領域２１ｃが取り除かれ、金属箔密着体５の端面が露出することになる。これにより、図１（ｃ）のように、配線積層部１００を支持基板２０から、金属箔密着体５の界面（すなわち、下側金属箔５ａと上側金属箔５ｂとの界面）にて容易に剥離することができる。なお、積層シート体１０において配線積層部１００の周囲部（図中の破線部）を除去する際、該周囲部とともに、支持基板２０及び下地誘電体シート２１の該周囲部下にあたる領域も除去するようにすれば、配線積層部１００の端面１０３の露出が容易に行うことができる。
【００１５】
また、図１（ｂ）では配線積層部１００の周囲部を除去する際に、第一誘電体シート１１と下地誘電体シート２１とが密着している周囲領域２１ｃを取り除き、金属箔密着体５の端部を露出させることで配線積層部１００の剥離が可能となるが、金属箔密着体５の端部をより確実に露出させるため、図４（ａ）及び（ｂ）に示すように、配線積層部１００を、金属箔密着体５のうち外縁端付近を除いた部分及び該部分上の領域によって構成し、その周囲領域を除去、すなわち金属箔密着体５の外縁端付近も除去するようにすることができる。
【００１６】
次に、積層シート体１０は、その他、第一誘電体シート１１上に形成された第一導体層３１と、該第一導体層３１と金属箔密着体５とを接続する第一誘電体シート１１に貫通形成された第一ビア導体４１と、を有する。そのため、図１（ｃ）に示す金属箔５ｂが付着した配線積層体１００は、例えば図１０に示すように、金属端子８を形成するために金属箔５ｂを除去すると、その面に第一導体層３１と接続された第一ビア導体４１を有する開口１１ａが現れ、そこに金属端子８を直接形成することができる。これにより、剥離後の薄く軟らかい配線積層部１００に対して、第一誘電体シート１１´の穿孔したり、その孔を導体（例えば、予備ハンダ）で充填する等の作業を行うことなく金属端子８を形成することが可能となる。
【００１７】
また、図１（ｃ）に示す金属箔５ｂが付着した配線積層体１００は、該金属箔５ｂが第一ビア導体４１を介して第一導体層３１と接続されているので、例えば該金属箔５ｂを一部とした金属端子８を形成することもできる。
【００１８】
次に、第一誘電体シート１１は、積層シート体１０を構成する他の誘電体シートよりも破断強度が高い層を含む。図１２（ａ）に示すように、第一誘電体シート１１は、実際には下地誘電体層２１及び金属箔密着体５が形成する段構造に倣った形状となっている。このため、第一誘電体シート１１は、金属箔密着体５の端部周辺で薄くなり、図１２（ｂ）に示すように、金属箔密着体５の端部周辺で破損してしまうことがある。この場合、金属箔密着体５の界面（金属箔５ａ、５ｂの間）や、第一誘電体シート１１もしくは下地誘電体シート２１と金属箔密着体５との間が剥離してしまい、その後の薬液を用いる処理（例えば、粗化処理やメッキ処理）において薬液が剥離界面に染み込む等、積層シート体１０の形成に重大な支障を及ぼす惧れがある。そのため本発明では、第一誘電体シート１１として、積層シート体１０を構成する他の誘電体シートよりも破断強度が高い層を含むシートを用いることで、そのようなシートの破損を防いでいる。
【００１９】
また、積層シート体１０の形成に際して、硬化状態の第一誘電体シート１１を下地誘電体層２１及び金属箔密着体５上に配すようにすることができる。例えば、半硬化状態の第一誘電体シート１１を配した場合、金属箔密着体５の周囲へシートが垂れやすいので、より金属箔密着体５の端部周辺で薄くなり、破損しやすくなるが（図１２参照）、変形の少ない硬化状態の第一誘電体シート１１を用いることで、このような問題の発生をさらに低減することができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。
図５は、本発明の配線基板の製造方法により得られる配線基板１の断面構造の概略を表す図である。配線基板１は、高分子材料からなる誘電体層（Ｂ１〜Ｂ３、ＳＲ）と導体層（Ｍ１、Ｍ２、ＰＤ）とが交互に積層された構造を有する。その第一主表面ＭＰ１は電子部品を搭載するための搭載面とされ、主表面をなす第一誘電体層Ｂ１には、電子部品と接続するための、周知のハンダで構成された突起状の金属端子（ハンダバンプ）ＦＢが形成されている。また、第二主表面ＭＰ２は、外部基板へ接続するための接続面とされ、主表面をなす誘電体層（ソルダーレジスト層）ＳＲには開口が形成されており、該開口内には外部基板への接続を担うハンダボール（後述）を設置するための金属端子（金属パッド）ＰＤが露出している。
【００２１】
また、金属層Ｍ１、Ｍ２において配線ＣＬが形成されており、誘電体層Ｂ１〜Ｂ３内には該配線ＣＬに接続されるビア導体ＶＡが埋設形成されている。そして、配線ＣＬ及びビア導体ＶＡにより、電気導通路（例えばハンダバンプＦＢから金属パッドＰＤへの）が形成される。なお、誘電体層Ｂ２、Ｂ３、ＳＲは、例えばエポキシ樹脂を主成分とする材料にて構成することができ、また配線ＣＬ、ビア導体ＶＡ及び金属パッドＰＤは、例えば銅を主成分とする材料にて構成することができる。また、金属パッドＰＤは、その表面に例えばＮｉ−Ａｕメッキによる表面メッキを施すことができる。
【００２２】
なお、配線基板１では、電子部品ＩＣとハンダバンプＦＢとの接続信頼性を上げるため、第一主表面ＭＰ１をなす第一誘電体層Ｂ１を、他の誘電体層Ｂ２、Ｂ３、ＳＲよりも破断強度の高い材料にて構成することができる。すなわち、配線基板１では、コア基板を有さず、かつ両主表面が誘電体層にて構成されるよう、高分子材料からなる誘電体層と導体層とが交互に積層され、かつ第一主表面ＭＰ１が電子部品を搭載するための搭載面とされるとともに、誘電体層Ｂ１〜Ｂ３、ＳＲのうち、該第一主表面ＭＰ１を構成する誘電体層Ｂ１は、他の誘電体層Ｂ２、Ｂ３、ＳＲよりも破断強度が高い材料にて構成することができる。なお、誘電体層Ｂ２、Ｂ３、ＳＲがエポキシ樹脂にて構成されている場合、誘電体層Ｂ１は、例えば、ポリイミド、アラミド、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリテトラフルオロエチレン等にて構成されるフィルムを用いることができる。このようなフィルムを用いることで、熱サイクルを加えた際のクラックの発生を抑制することが可能となる。
【００２３】
以上のような配線基板１は、図６に示すように、第二主表面ＭＰ２の金属パッドＰＤに外部基板への接続を担うハンダボールＳＢが設置され、一方、第一主表面ＭＰ１には、補強枠（スティフナー）ＳＴが設置されるとともに、電子部品ＩＣがハンダバンプＦＢにフリップチップ接続され、また電子部品ＩＣ下の隙間がアンダーフィル材ＵＦにて充填されることで、半導体装置３００となる。
【００２４】
また、配線基板１では、変形例として、第一主表面ＭＰ１を構成する誘電体層Ｂ１を、他の誘電体層Ｂ２、Ｂ３、ＳＲよりも破断強度の高い材料の層を含む複層構造とすることができる。例えば第一実施形態の配線基板１で説明すると、図１５に示すように、第一主表面ＭＰ１を構成する誘電体層Ｂ１を、他の誘電体層Ｂ２、Ｂ３、ＳＲよりも破断強度の高い材料の層Ｂ１ｂと、その両側に形成された、他の誘電体層Ｂ２、Ｂ３、ＳＲと同じ材料の層Ｂ１ａ、Ｂ１ｃとを有する３層構造のシートとすることができる。すなわち、配線基板１では、コア基板を有さず、かつ両主表面が誘電体層にて構成されるよう、高分子材料からなる誘電体層と導体層とが交互に積層され、かつ第一主表面ＭＰ１が電子部品を搭載するための搭載面とされるとともに、誘電体層Ｂ１〜Ｂ３、ＳＲのうち、該第一主表面ＭＰ１を構成する誘電体層Ｂ１は、他の誘電体層Ｂ２、Ｂ３、ＳＲよりも破断強度が高い層Ｂ１ｂを含み、かつ両主表面が他の誘電体層Ｂ２、Ｂ３、ＳＲと同じ材料の層Ｂ１ａ、Ｂ１ｃにて構成される複層構造をなすよう構成することができる。なお、誘電体層Ｂ２、Ｂ３、ＳＲがエポキシ樹脂にて構成されている場合、誘電体層Ｂ２、Ｂ３、ＳＲよりも破断強度の高い材料の層Ｂ１ｂは、上記の第一実施形態において例示したものと同様のものを用いることが可能である。これによっても、上述したのと同様の効果を得ることができる。
【００２５】
以下、本発明の実施形態である配線基板の製造方法の一例を説明する。図７〜図１０は製造工程を表す図である。工程１〜５に示す支持基板２０上に積層シート体１０を形成していく工程は、周知のビルドアップ法等により行うことができる。まず、図７の工程１に示すように、製造時における補強のための支持基板２０上に下地誘電体シート２１を形成する。支持基板２０は、下地誘電体シート２１が密着するものであれば特には限定されないが、例えばＦＲ−４等のガラスエポキシ基板（上述のようにコア基板に用いられる材料である）にて構成することができる。また、下地誘電体シート２１も、特には限定されないが、例えば後述する第一誘電体シート１１と同材料、すなわちエポキシを主成分とする材料にて構成することができる。
【００２６】
次に、工程２に示すように、下地誘電体シート２１の主表面上に、該主表面に包含されるよう配され、分離可能な２つの金属箔５ａ、５ｂが密着してなる金属箔密着体５を配す。なお、金属箔密着体５は、半硬化状態の下地誘電体シート２１上に配すようにすることができる。これにより、以降の工程で金属箔密着体５（下側金属箔５ａ）が下地誘電体シート２１から剥れない程度の密着性が得られやすくなる。また、金属箔密着体５は、例えば２つの銅箔を金属メッキ（例えばＣｒ）を介して密着させたものを用いることができる。
【００２７】
次に、工程３に示すように、金属箔密着体５を包むように第一誘電体シート１１を形成する。そして、第一誘電体シート１１は、金属箔密着体５（上側金属箔５ｂ）とともに、金属箔密着体５の周囲領域にて下地誘電体シート２１と密着して、金属箔密着体５を封止する。なお、誘電体シートの形成は、例えば周知の真空ラミネーション法を用いることができる。また、第一誘電体シート１１には、積層シート体１０を構成する他の誘電体シート（後述）よりも破断強度が高い層を含む第一誘電体シート１１を用いている。具体的には、積層シート体１０を構成する他の誘電体シート（後述）がエポキシ樹脂にて構成されるため、第一誘電体シート１１は、ポリイミド、アラミド、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリテトラフルオロエチレン等にて構成されたフィルムを用いることができる。また、フィルムは硬化状態であるため、半硬化状態のシートよりも変形し難い。このような第一誘電体シート１１を形成するには、上記のフィルムをラミネートする他、例えば図１３に示すように、第一誘電体シート１１となるべきフィルム１１Ｒの片面に金属箔１１Ｍが形成された金属箔付フィルムをラミネートした後、金属箔１１Ｍを除去することによっても得ることができる。また、後述する工程４で第一ビア導体４１を形成しない場合は、金属箔１１Ｍを選択的に除去することで、残余の部分を第一導体層３１とすることも可能である。
【００２８】
なお、上記のような金属箔フィルムには、片面銅箔付きのポリイミドを使用することができる。この場合、サブトラクティブ法にて直接配線パターンを形成することが可能となる。また、露出したポリイミド表面と他の誘電体層との密着を考慮した場合、キャスト法により形成された片面銅箔付きのポリイミドを使うことが好ましい。一方、銅箔を全面エッチングした後、セミアディティブ法により無電解銅メッキを施す場合でも、キャスト法により形成された片面銅箔付きのポリイミドを使うことが好ましい。銅箔のアンカー跡による大きな表面粗度を有しているため、無電解銅メッキとの密着性が高くなるからである。
【００２９】
また、第一誘電体シート１１は、破断強度が高い層を含んでいればよく、両主表面が積層シート体１０を構成する他の誘電体シート（後述）と同じ材料の層にて構成された複層構造であってもよい。例えば、図１４に示すように、上側主表面をなす上側層１１ｃと下側主表面をなす下側層１１ａをエポキシ樹脂にて構成しておき、中間層１１ｂをこれらよりも破断強度の高い層、すなわち上記したフィルムと同じ材料にて構成される層とした３層構造とすることができる。このように、第一誘電体シート１１の両主面を積層シート体１０を構成する他の誘電体シート（後述）と同じ材料の層にて構成することで、この後のビア導体、導体層の形成や、その上の誘電体シートの積層など（詳細は後述）が、他の誘電体シート１２〜１４の場合と同じ条件でできるようになるため、製造が簡便となる。
【００３０】
次に、図８の工程４に示すように、第一誘電体シート１１上に第一導体層３１をパターン形成し、また第一誘電体シート１１には該第一導体層３１と金属箔密着体５とを接続する第一ビア導体４１を形成する。なお、導体層の形成は、例えば周知のセミアディティブ法により形成することができる。また、ビア導体は、例えば周知のフォトビアプロセスによりビア孔を形成し、該ビア孔を、上記セミアディティブ法における無電解メッキによって充填することにより得ることができる。
【００３１】
次に、第一誘電体シート１１（及び第一導体層３１）上に第二誘電体シート１２を形成し、該第二誘電体シート１２内にビア導体４２を形成するとともに、該第二誘電体シート１２上に第二導体層３２を形成する。そして、同様の工程を繰り返して、誘電体シート１３、１４、ビア導体４３、導体層３３を形成していき、工程５に示すような積層シート体１０を形成する。なお、本実施形態では、積層シート体１０は、金属箔密着体５及び４層の誘電体シート１１〜１４にて構成されているが、誘電体シートの層数はこれに限られることはない。以上により、下地誘電体シート２１の主表面上に、該主表面に包含されるよう配された金属箔密着体５と、該金属箔密着体５を包むよう形成され、かつ該金属箔密着体５の周囲領域にて下地誘電体シート２１と密着して該金属箔密着体５を封止する第一誘電体シート１１と、を有する積層シート体１０が形成される。
【００３２】
なお、誘電体シート１２〜１４は、エポキシを主成分とする材料にて構成することができる。また、導体層３１〜３３とビア導体４１〜４３は銅を主成分として構成することができる。
【００３３】
本実施形態では、積層シート体１０の上側の露出した主表面が、図５に示す配線基板１の第二主表面ＭＰ２となるように形成されている。したがって、積層シート体１０の上側主表面をなす誘電体シート１４は、図５の配線基板１のソルダーレジスト層ＳＲに該当し、またその開口１４ａ内に露出する導体層３３は、図５の配線基板１の金属パッドＰＤに該当する。なお、これとは反対に上側主表面を、図５に示す配線基板１の第一主表面ＭＰ１とすることもできる。その場合は、上側主表面をなす誘電体シート１４に、図５に示すハンダバンプＦＢを形成する。
【００３４】
次に、積層シート体１０は、金属箔密着体５上の領域が、配線基板１（図５参照）となるべき配線積層部１００となるよう形成されている。そこで、工程６に示すように、配線積層部１００の周囲領域を除去し、端面１０３を露出させる（図９の工程７）。その際、配線積層部１００と周囲部との境界において、その下の下地誘電体シート２１及び支持基板２０ごと、例えばブレード刃等により切断する。このようにして、配線積層部１００の周囲領域とともに、支持基板２０及び下地誘電体シート２１のうちの該周囲部下にあたる領域も除去するようにすると、端面１０３の露出が容易である。
【００３５】
次に、工程８に示すように、配線積層部１００を支持基板２０から、片方の金属箔（上側金属箔５ｂ）が付着した状態で、金属箔密着体５における２つの金属箔５ａ、５ｂの界面にて剥離する。
【００３６】
そして、配線積層部１００を支持基板２０から剥離した後に、図１０に示すように、該配線積層部１００の第一誘電体シート１１が構成する主表面に付着した金属箔５ｂを除去し（工程９）、第一ビア導体４と接続された金属端子５（図５の配線基板１ではハンダバンプＦＢ）を形成する（工程１０）。これにより、図５に示す配線基板１が得られる。
【００３７】
工程９において、金属箔５ｂの除去は、例えばエッチングにより行うことができる。金属箔５ｂが除去された第一誘電体シート１´の主表面には、内部に第一ビア導体４１が露出したビア孔１１ａが現れる。第一ビア導体４１は、金属箔５ｂのエッチングにより多少エッチングされるので、その端面がビア孔内（例えば、開口１１ａの近傍）に位置することになる。つまり、完成した配線基板は、コア基板を有さず、かつ両主表面が誘電体層にて構成されるよう、高分子材料からなる誘電体層１１´〜１４´と導体層３１〜３３とが交互に積層され、第一主表面をなす第一誘電体層１１´に貫通形成されたビア孔１１ａ内に、該第一誘電体層１１´直下の第一導体層３１´と接続されたビア導体４１が形成されてなるとともに、該ビア導体４１は、第一主表面側の端面がビア孔１１ａ内に位置してなり、当該端面には、金属端子８が接続された構成となる。このように、ビア導体４１の端面がビア孔１１ａ内に位置すれば、例えばハンダからなる金属端子（ハンダバンプ）８の形成が容易となるうえ、接続信頼性も確保できる。
【００３８】
なお、以上の製造工程では、図１１に示すように、積層シート体１０に含まれる配線積層部１００は、一つの配線基板に対応する個体１００´が複数連結されたもの、つまり、配線基板１の多数個取りワーク基板として構成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の配線基板の製造方法の工程を簡略的に示す図
【図２】積層シート体１０に含まれる配線積層シート体１００を示す図
【図３】積層シート体１０の変形例を表す図
【図４】積層シート体１０における配線積層部１００とする領域の変形例
【図５】本発明の一実施形態である配線基板の断面構造の概略を表す図
【図６】図５の配線基板１を用いた半導体装置
【図７】本発明の一実施形態である配線基板の製造方法の工程を表す図
【図８】図７に続く図
【図９】図８に続く図
【図１０】図９に続く図
【図１１】多数個取りワーク基板とされた配線積層部１００を上部より見た図
【図１２】第一誘電体シートの形状の詳細を表す図
【図１３】第一誘電体シートを形成する際の例を表す図
【図１４】複層構造の第一誘電体シートを表す図
【図１５】複層構造の第一誘電体層を有する配線基板の断面構造の概略を表す図
【符号の説明】
１ 配線基板
５ 金属箔密着体
１０ 積層シート体
１１ 第一誘電体シート
２０ 支持基板
２１ 下地誘電体シート
１００ 配線積層シート体

Claims (6)

1. コア基板を有さず、かつ両主表面が誘電体層にて構成されるよう、高分子材料からなる誘電体層と導体層とが交互に積層された配線基板を製造するために、
   製造時における補強のための支持基板上に形成された下地誘電体シートの主表面上に、該主表面に包含されるよう配された、分離可能な２つの金属箔が密着してなる金属箔密着体と、該金属箔密着体を包むよう形成され、かつ該金属箔密着体の周囲領域にて前記下地誘電体シートと密着して該金属箔密着体を封止する第一誘電体シートと、を有する積層シート体を形成し、かつ前記第一誘電体シートは、前記積層シート体を構成する他の誘電体シートよりも破断強度が高い層を含むとともに、
   前記積層シート体のうち、前記金属箔密着体上の領域を前記配線基板となるべき配線積層部として、その周囲部を除去し、該配線積層部の端面を露出させた後、前記配線積層部を前記支持基板から、片方の金属箔が付着した状態で、前記金属箔密着体における２つの金属箔の界面にて剥離することを特徴とする配線基板の製造方法。
2. 前記積層シート体の形成に際して、硬化状態の前記第一誘電体シートを、前記下地誘電体層及び前記金属箔密着体上に配すことを特徴とする請求項１に記載の配線基板の製造方法。
3. 前記第一誘電体シートは、両主表面が前記積層シート体を構成する他の誘電体シートと同じ材料の層にて構成される複層構造をなすことを特徴とする請求項１または２に記載の配線基板の製造方法。
4. 前記積層シート体において前記配線積層部の周囲部を除去する際、該周囲部とともに、前記支持基板及び前記下地誘電体シートの該周囲部下にあたる領域も除去することを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の配線基板の製造方法。
5. コア基板を有さず、かつ両主表面が誘電体層にて構成されるよう、高分子材料からなる誘電体層と導体層とが交互に積層され、かつ第一主表面が電子部品を搭載するための搭載面とされるとともに、
   前記誘電体層のうち、該第一主表面を構成する誘電体層は、他の誘電体層よりも破断強度が高い材料にて構成されてなることを特徴とする配線基板。
6. コア基板を有さず、かつ両主表面が誘電体層にて構成されるよう、高分子材料からなる誘電体層と導体層とが交互に積層され、かつ第一主表面が電子部品を搭載するための搭載面とされるとともに、
   前記誘電体層のうち、該第一主表面を構成する誘電体層は、他の誘電体層よりも破断強度が高い層を含み、かつ両主表面が他の誘電体層と同じ材料の層にて構成される複層構造をなすことを特徴とする配線基板。

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