JP2005077325A - 発光スペクトルの起因物質特定支援装置及び支援方法 - Google Patents
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Abstract
プラズマからの発光スペクトルをもとにその起因質を特定することのできる発光スペクトルの起因物質特定支援装置及び支援方法を提供する。
【解決手段】
処理チャンバ内に配置した試料にプラズマ処理を施す際に発生するプラズマの発光スペクトルをもとに前記処理チャンバ内に存在する物質を特定する発光スペクトルの起因物質特定支援装置であって、前記発光スペクトルの波長データ、処理チャンバ内に導入したガス材料名、前記試料の材料名及び処理チャンバを構成する材料名を入力する入力装置30と、発光スペクトルと該発光スペクトルの起因物質名を登録した原子・分子波長テーブルを格納した原子・分子特定データベース60と、入力したスペクトルの波長データ並びに処理チャンバ内に導入したガス材料名、前記試料の材料名及び処理チャンバを構成する材料名をもとに前記データベースを参照して発光スペクトルの起因物質の候補を特定し、特定した候補をその寄与率の順に表示する原子・分子特定部50を備えた。
【選択図】 図3
Description
発光スペクトルと該発光スペクトルの起因物質名を登録した原子・分子波長テーブルを格納した原子・分子特定データベースと、入力したスペクトルの波長データ並びに処理チャンバ内に導入したガス材料名、前記試料の材料名及び処理チャンバを構成する材料名をもとに前記データベースを参照して発光スペクトルの起因物質の候補を特定し、特定した候補をその寄与率の順に表示する原子・分子特定部を備えた。
2 処理チャンバ
3 プラズマ生成手段
4 プラズマ
5 試料台
6 試料
7 ガス供給手段
8 バルブ
9 ガス排気手段
10 プラズマ測定用窓
11 光ファイバ
12 分光器
13 データ転送手段
14 データ収集・解析手段
15 発光スペクトルデータ
16 表示手段
30 入力画面
40 出力画面
50 原子・分子特定部
60 原子・分子特定データベース
Claims (7)
- 処理チャンバ内に配置した試料にプラズマ処理を施す際に発生するプラズマの発光スペクトルをもとに前記処理チャンバ内に存在する物質を特定する発光スペクトルの起因物質特定支援装置であって、
前記発光スペクトルの波長データ、処理チャンバ内に導入したガス材料名、前記試料の材料名及び処理チャンバを構成する材料名を入力する入力装置と、
発光スペクトルと該発光スペクトルの起因物質名を登録した原子・分子波長テーブルを格納した原子・分子特定データベースと、
入力したスペクトルの波長データ並びに処理チャンバ内に導入したガス材料名、前記試料の材料名及び処理チャンバを構成する材料名をもとに前記データベースを参照して発光スペクトルの起因物質の候補を特定し、特定した候補をその寄与率の順に表示する原子・分子特定部を備えたことを特徴とする発光スペクトルの起因物質特定支援装置。 - 処理チャンバ内に配置した試料にプラズマ処理を施す際に発生するプラズマの発光スペクトルをもとに前記処理チャンバ内に存在する物質を特定する発光スペクトルの起因物質特定支援装置であって、
前記発光スペクトルの波長データ、処理チャンバ内に導入したガス材料名、前記試料の材料名及び処理チャンバを構成する材料名を入力する入力装置と、
発光スペクトルと該発光スペクトルの起因物質名を登録した原子・分子波長テーブル、及び前記起因物質とその結合エネルギを登録した結合エネルギテーブルを格納した原子・分子特定データベースと、
入力したスペクトルの波長データ並びに処理チャンバ内に導入したガス材料名、前記試料の材料名及び処理チャンバを構成する材料名をもとに前記データベースを参照して発光スペクトルの起因物質の候補を特定し、特定した候補をその寄与率の順に表示する原子・分子特定部を備えたことを特徴とする発光スペクトルの起因物質特定支援装置。 - 処理チャンバ内に配置した試料にプラズマ処理を施す際に発生するプラズマの発光スペクトルをもとに前記処理チャンバ内に存在する物質を特定する発光スペクトルの起因物質特定支援装置であって、
前記発光スペクトルの複数の波長データ、処理チャンバ内に導入したガス材料名、前記試料の材料名及び処理チャンバを構成する材料名を入力する入力装置と、
発光スペクトルと該発光スペクトルの起因物質名を登録した原子・分子波長テーブルを格納した原子・分子特定データベースと、
入力したスペクトルの複数の波長データ並びに処理チャンバ内に導入したガス材料名、前記試料の材料名及び処理チャンバを構成する材料名をもとに前記データベースを参照して発光スペクトルの起因物質の候補を特定し、特定した候補をその寄与率の順に表示する原子・分子特定部を備えたことを特徴とする発光スペクトルの起因物質特定支援装置。 - 処理チャンバ内に配置した試料にプラズマ処理を施す際に発生するプラズマの発光スペクトルをもとに前記処理チャンバ内に存在する物質を特定する発光スペクトルの起因物質特定支援装置であって、
前記発光スペクトルの複数の波長データ、処理チャンバ内に導入したガス材料名、前記試料の材料名及び処理チャンバを構成する材料名を入力する入力装置と、
発光スペクトルと該発光スペクトルの起因物質名を登録した原子・分子波長テーブル、及び前記起因物質とその結合エネルギを登録した結合エネルギテーブルを格納した原子・分子特定データベースと、
入力したスペクトルの複数の波長データ並びに処理チャンバ内に導入したガス材料名、前記試料の材料名及び処理チャンバを構成する材料名をもとに前記データベースを参照して発光スペクトルの起因物質の候補を特定し、特定した候補をその寄与率の順に表示する原子・分子特定部を備えたことを特徴とする発光スペクトルの起因物質特定支援装置。 - 請求項1記載の発光スペクトルの起因物質特定支援装置において、前記スペクトルの波長データはプラズマ発光を分光する分光器のスペクトルデータのピーク値をもとに入力することを特徴とする発光スペクトルの起因物質特定支援装置。
- 請求項1記載の発光スペクトルの起因物質特定支援装置において、入力した各材料名と原子・分子特定データベースに登録した起因物質名が一致するごとに前記寄与率を高く設定することを特徴とする発光スペクトルの起因物質特定支援装置。
- 処理チャンバ内に配置した試料にプラズマ処理を施す際に発生するプラズマの発光スペクトルをもとに前記処理チャンバ内に存在する物質を特定する発光スペクトルの起因物質特定方法であって、
前記発光スペクトルの波長データ、処理チャンバ内に導入したガス材料名、前記試料の材料名及び処理チャンバを構成する材料名を入力する入力装置と、
発光スペクトルと該発光スペクトルの起因物質名を登録した原子・分子波長テーブルを格納した原子・分子特定データベースとを備え、
入力したスペクトルの波長データをもとに前記データベースを参照して発光スペクトルの起因物質の候補を特定し、特定した候補を、入力したガス材料名及び試料の材料名と原子・分子特定データベースに登録した起因物質名が一致するごとに高く設定され、チャンバ構成材料と一致する毎に低く設定される寄与率の順に表示することを特徴とする発光スペクトルの起因物質特定方法。
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- 2003-09-02 JP JP2003310264A patent/JP4086190B2/ja not_active Expired - Lifetime
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