JP2005064025A - 光学材料、光増幅器及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、光増幅器のコア層の材料として好適な光学材料、該光学材料を使用した光増幅器及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、高速且つ大容量の信号伝送に石英系の光ファイバが使用されている。光ファイバは信号を伝送する際の損失が少ないものの、長距離の伝送では伝播損及び接続損等が原因で光信号が減衰する。そこで、光信号の減衰を補うために、光増幅器が必要となる。
【0003】
従来、1.55μmの波長帯の光信号の増幅には、エルビウム(Er)を石英ファイバにドープしたErドープファイバ増幅器が用いられている。しかし、石英中にErを高濃度にドープすることができないため、十分な利得を確保するためには数m〜数10mのファイバ長が必要となり、光増幅器が大きくなるという欠点がある。
【0004】
Erを高濃度にドープできるガラスとして、ビスマス系ガラスが知られている。しかし、ビスマス系ガラスにErをドープして光増幅器を作製しても、母材となるビスマス系ガラスの光学損失が大きいため、光増幅器として要求される仕様を満足することができない。
【0005】
特開2000−208851号公報(特許文献1)には、ポリマ中にユウロビウム(Eu)を導入した光学材料を用いた光増幅器が提案されている。しかし、この光増幅器は500nm〜900nmの波長帯の光信号の増幅に用いられるものであり、1.55μmの波長帯の光信号の増幅に用いることはできない。
【0006】
ポリマ中にErを導入することも考えられるが、一般的にポリマ中に希土類元素を高濃度に混合すると凝集してしまうという問題が発生し、光損失も大きくなる。また、Erは3価のイオン状態でのみ1.55μmの波長帯で発光し増幅性能を示すが、ポリマ中でイオン状態を保つことが困難であるという問題もある。
【0007】
Teem Photonics社のTechnical article (非特許文献1)には、Erを拡散させたガラスを用いた導波路型光増幅器が記載されている。しかし、この導波路型光増幅器は、材料がガラスに限定されることから、一般的に用いることが難しい。
【0008】
【特許文献1】
特開2000−208851号公報
【非特許文献1】
Teem Photonics社(USA) のTechnical article (Andrew Benn 2002/3)
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように、Erをドープした石英ファイバにより構成されるファイバ増幅器では、ファイバ中にErを高濃度にドープすることができないためにファイバ長が数m〜数10mになり、小型化できない。また、ポリマ中にErを高濃度に導入して光増幅器を作製しようとしても、Erの凝集を回避することが難しく、且つポリマ中で3価のイオン状態を保つことが困難である。
【0010】
更に、Erを拡散させたガラスを用いた導波路型光増幅器は、材料がガラスに限定されることから、一般的に用いることが難しいという問題点がある。
【0011】
以上から、本発明の目的は、Er等の希土類元素を高濃度に混合しても凝集が発生せず、1.55μmの波長帯の光信号を増幅する光増幅器のコア層の材料として好適な光学材料を提供することである。
【0012】
また、本発明の他の目的は、比較的簡単な工程で製造することができ、小型で大きな増幅効果が得られる光増幅器及びその製造方法を提供することである。
【0013】
【課題を解決するための手段】
本願発明者等は、Er等の希土類元素を高濃度に混合することができて、光学損失が小さく、1.55μmの波長帯の光信号に対し増幅性能を示す光学材料を提供すべく、種々実験検討を行った。その結果、希土類元素Mのアルコキシド(但し、Mは、Er(エルビウム)、Eu(ユウロビウム)、Pr(プラセオジム)及びY(イットリウム)のうちのいずれか1種の元素)を、下記(3)式に示すポリシランに混合して作製される光学材料が、光増幅器のコア層の材料として良好な性能を示すとの知見を得た。
【0014】
【化2】
【0015】
但し、R1 〜R4 は、Ph(フェニル基),Me(メチル基),Et(エチル基),OMe(O−メチル基),OEt(O−エチル基)又はO−Si−O(クロスリンク)である。また、R1 〜R4 は相互に異なるものでもよいし、同じでもよい。R1 〜R4 がO−Si−Oの結合を持ち、上記のポリシラン基本構造がクロスリンクしていてもよい。
【0016】
また、希土類元素Mのアルコキシド(但し、Mは、Er、Eu、Pr及びYのうちのいずれか1種の元素)を、下記(4)式に示すアルコキシドから生成される有機無機ハイブリッド材料と混合して作製される光学材料でも、同様の効果を得ることができることが判明した。本発明は、このような実験結果に基づいてなされたものである。
【0017】
R−Si(OR1 )3 …(4)
但し、Rは、(CX2 )n −CH=CHC(=O)OR2
nは、1〜3の整数
R1 は、CH3 、C2 H5 又はC3 H7
R2 は、H、CH3 、CF3 、C2 H5 又はC2 F5
Xは、H又はF。
【0018】
本発明においては、Er等の希土類元素の錯体と有機部分との間に水素結合などの結合が働くため、希土類元素をポリシラン又は有機無機ハイブリッド材料に高濃度に混合することが可能になり、希土類元素の凝集が回避される。これにより、小型で増幅効果が大きい光増幅器を製造することができる。
【0019】
【発明の実施の形態】
本発明の光学材料は、Er等の希土類元素のアルコキシドを所定のポリシラン又は有機無機ハイブリッド材料に混合して作製されている。また、本発明の光増幅器は、第1のクラッド層と、上述の光学材料を用いて形成されたコア層と、第2のクラッド層とが基板上にこの順に積層されて形成されてなる導波路を有している。この光増幅器では、基板上に第1及び第2のクラッド層、並びにコア層が形成されているので、基板の材質が限定されず、種々の基板を使用することができる。例えば、ガラス基板、プリント配線基板又はシリコン基板などを使用することができる。
【0020】
本発明の光増幅器は、後述の実施例1,2で示すように、予め調整した液を基板上に塗布して第1及び第2のクラッド層、並びにコア層を形成すればよいので、製造が簡単である。また、コア層に増幅作用を有する希土類元素を均一且つ高濃度に含有しているので、小型で増幅効果が大きい。
【0021】
以下、本発明に係る光学材料を用いて実際に光増幅器を製造し、その増幅率を調べた結果について説明する。
【0022】
【実施例1】
まず、コア材料を用意した。すなわち、ジフェニルジクロロシラン及びテトラクロロシランをTHF(テトラヒドロフラン)中に混合した。そして、この混合液中に更にエルビウム−(2,4−ペンタジオネート)を混合した後、ナトリウム(Na)を用いてカップリングさせることによって、分子内にエルビウム(Er)を有するポリシランを合成した。また、クラッド材料として、屈折率が1.51のエポキシ樹脂を用意した。
【0023】
次に、図1(a)に示すように、シリコン基板10の上に、クラッド材料であるエポキシ樹脂をスピンコートして、屈折率が1.51、厚さが約8μmの下部クラッド層11を形成した。
【0024】
次に、上述したコア材料を下部クラッド層11上にスピンコートした後、200℃の温度で1時間加熱することにより、屈折率が1.53、厚さが約8μmのEr混合ポリシランからなるコア層12を形成した。
【0025】
更に、コア層12上にエポキシ樹脂をスピンコートして、屈折率が1.51、厚さが約7.5〜8μmの上部クラッド層13を形成した。
【0026】
次に、上部クラッド層13の上にアルミニウム膜をスパッタ法により形成した後、フォトリソグラフィ法によりアルミニウム膜をパターニングして、図1(b)に示すように、メタルマスク14を形成した。
【0027】
次に、メタルマスク14を保護層として上部クラッド層13及びコア層12をエッチングし、更に下部クラッド層11を若干エッチングして、図1(c)に示すように、幅が約8μm、長さが約10cmの導波路18を形成した。その後、酢酸−硝酸−燐酸−水の混合液でメタルマスク14をエッチング除去した。
【0028】
次いで、図2(a)に上面図、図2(b)に側面図を示すように,導波路18の両端に光ファイバー19を光結合し、ケース30内に封入した。
【0029】
このようにして製造した光増幅器に対し、光カプラを用いて波長が980nmの励起光と波長が1.55μmの信号光とを混合し、光増幅器の導波路18に導入した。その結果、入射光のパワーが1mWであるのに対し、パワーが1.5mWの出射光が観測された。すなわち、10cmの導波路で約1.7dBの増幅効果が得られた。
【0030】
【実施例2】
まず、コア材料を用意した。すなわち、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、エルビウム−(2, 4−ペンタジオネート)及びポリ(シクロヘキシル)シランを酢酸エチルに溶解した後、水を加えて加水分解を行い、ゾルゲル液を作成した。また、クラッド材料として、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシランを加水分解したゾルゲル液を用意した。
【0031】
次に、図3(a)に示すように、シリコン基板10上にクラッド材料であるゾルゲル液をスピンコートし、その後200℃の温度で1時間加熱することで、屈折率が1.49、厚さが約8μmの有機無機ハイブリッド材料からなる下部クラッド層21を形成した。
【0032】
次に、下部クラッド層21の上に、上述したコア材料のゾルゲル液をスピンコートし、その後200℃の温度で加熱することによって、屈折率が1.51、厚さが約8μmのコア層22を形成した。
【0033】
次に、コア層22の上に、クラッド材料であるゾルゲル液をスピンコートして、屈折率が1.49、厚さが約8μmの有機無機ハイブリッド材料からなる上部クラッド層23を作成した。
【0034】
次に、上部クラッド層23の上にアルミニウム膜をスパッタ法により形成した後、フォトリソグラフィ法によりアルミニウム膜をパターニングして、図3(b)に示すように、メタルマスク24を形成した。
【0035】
次に、メタルマスク24を保護層として上部クラッド層23、コア層22をエッチングし、更に下部クラッド層21を若干エッチングして、図3(c)に示すように、幅が約8μm、長さが約10cmの導波路28を形成した。その後、酢酸−硝酸−燐酸−水の混合液でメタルマスク24をエッチング除去した。
【0036】
次に、導波路28に、波長が254nmのUV光を照射した後、200℃の温度でベーキング処理を施した。このUV照射及びベーキング処理により上部クラッド層23、コア層22及び下部クラッド層21の膜質が安定する。この工程は必須ではないが、光増幅効果をより確実に得るために、実施することが好ましい。
【0037】
次いで、実施例1と同様に、導波路28の両端に光ファイバーを光結合して、ケース内に封入した。
【0038】
このようにして製造した光増幅器に対し、光カプラを用いて波長が980nmの励起光と波長が1.55μmの信号光を混合し、光増幅器の導波路28に導入した。その結果、入射光のパワーが1mWであるのに対し、パワーが2.5mWの出射光が観測された。すなわち、10cmの導波路で約4dBの増幅効果が得られた。
【0039】
なお、本発明は上述した実施例1,2に限定されるものではなく、上記以外の薬品を用いて実施することも可能である。
【0040】
(付記1)希土類元素Mのアルコキシド(但し、Mは、Er、Eu、Pr及びYのうちのいずれか1種の元素)を、下記(5)式に示すポリシランに混合して作製されたことを特徴とする光学材料。
【0041】
【化3】
【0042】
但し、R1 〜R4 は、Ph(フェニル基),Me(メチル基),Et(エチル基),OMe(O−メチル基),OEt(O−エチル基)又はO−Si−O(クロスリンク)
(付記2) 希土類元素Mのアルコキシド(但し、Mは、Er、Eu、Pr及びYのうちのいずれか1種の元素)を、下記(6)式に示すアルコキシドから生成された有機無機ハイブリッド材料に混合して作製されたことを特徴とする光学材料。
R−Si(OR1 )3 …(6)
但し、Rは、(CX2 )n −CH=CHC(=O)OR2
nは、1〜3の整数
R1 は、CH3 、C2 H5 又はC3 H7
R2 は、H、CH3 、CF3 、C2 H5 又はC2 F5
Xは、H又はF。
【0043】
(付記3)コア層と、該コア層の周囲を覆うクラッド層とにより構成される光導波路を有する光増幅器において、前記コア層が付記1又は2に記載の光学材料により形成されていることを特徴とする光増幅器。
【0044】
(付記4)基板上に第1のクラッド層を形成する工程と、前記第1のクラッド層上に、付記1又は2に記載の光学材料を塗布してコア層を形成する工程と、前記コア層の上に第2のクラッド層を形成する工程と、前記第2のクラッド層及び前記コア層をパターニングして導波路を形成する工程とを有することを特徴とする光増幅器の製造方法。
【0045】
(付記5)前記第1及び第2のクラッド層、並びに前記コア層に対し、UV照射を行う工程を有することを特徴とする付記4に記載の光増幅器の製造方法。
【0046】
(付記6)前記第1及び第2のクラッド層、並びに前記コア層に対しベーキング処理を施す工程を有することを特徴とする付記5に記載の光増幅器の製造方法。
【0047】
(付記7)前記第1及び第2のクラッド層をエポキシ樹脂により形成することを特徴とする付記4に光増幅器の製造方法。
【0048】
(付記8)前記第1及び第2のクラッド層を有機無機ハイブリッド材料により形成することを特徴とする付記4に記載の光増幅器の製造方法
【0049】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の光学材料は、Er等の希土類元素のアルコキシドを所定のポリシラン又は有機無機ハイブリッド材料に混合して作製されているので、希土類元素をポリシラン又は有機無機ハイブリッド材料に高濃度に混合することが可能である。これにより、小型であり、且つ1.55μmの波長帯の光信号に対する増幅効果が大きい光増幅器を容易に製造することができて、製造コストを低減できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1(a)〜(c)は実施例1に係る光増幅器の製造方法を工程順に示す断面図である。
【図2】図2(a)はケース内に封入した実施例1に係る光増幅器を示す上面図、図2(b)は同じくその側面図である。
【図3】図3(a)〜(c)は実施例2に係る光増幅器の製造方法を工程順に示す断面図である。
【符号の説明】
10…シリコン基板、
11,21…下部クラッド層、
12,22…コア層、
13,23…上部クラッド層、
14,24…メタルマスク、
18,28…導波路、
19…光ファイバー、
30…ケース。
Claims (4)
- 希土類元素Mのアルコキシド(但し、Mは、Er、Eu、Pr及びYのうちのいずれか1種の元素)を、下記(2)式に示すアルコキシドから生成された有機無機ハイブリッド材料に混合して作製されたことを特徴とする光学材料。
R−Si(OR1 )3 …(2)
但し、Rは、(CX2 )n −CH=CHC(=O)OR2
nは、1〜3の整数
R1 は、CH3 、C2 H5 又はC3 H7
R2 は、H、CH3 、CF3 、C2 H5 又はC2 F5
Xは、H又はF - コア層と、該コア層の周囲を覆うクラッド層とにより構成される光導波路を有する光増幅器において、前記コア層が請求項1又は2に記載の光学材料により形成されていることを特徴とする光増幅器。
- 基板上に第1のクラッド層を形成する工程と、
前記第1のクラッド層上に、請求項1又は2に記載の光学材料を塗布してコア層を形成する工程と、
前記コア層の上に第2のクラッド層を形成する工程と、
前記第2のクラッド層及び前記コア層をパターニングして導波路を形成する工程とを有することを特徴とする光増幅器の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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---|---|---|---|
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JP2007103641A (ja) * | 2005-10-04 | 2007-04-19 | Asahi Glass Co Ltd | 増幅用光ファイバ |
JP2008523230A (ja) * | 2004-12-14 | 2008-07-03 | ヒェメタル ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 無水の金属酸化物コロイドおよび金属酸化物ポリマー、それらの製造法および使用 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130220 Year of fee payment: 4 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140220 Year of fee payment: 5 |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |