JP2005057120A - 電子部品の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 電子部品を構成する基板の端面において、配線間の短絡を防止することが可能な電子部品の製造方法を提供する。
【解決手段】 この発明に従った電子部品の製造方法では、基板としての基材フレーム1の表面において、基材フレーム1を切削するための切削線3から離れた位置に配線としての内部パターン配線を形成する配線パターン形成工程を実施する。そして、内部パターン配線の一部と電気的に接続するように、導電性シールとしてのシール材5を基材フレーム1の表面に貼付するシール貼付工程を実施する。また、内部パターン配線に電荷を供給するための導電路としてシール材5を用いて、内部パターン配線の表面に電気めっき法によりめっき層を形成するめっき工程を実施する。そして、めっき工程の後、導電性のシール材5を除去するシール除去工程を実施する。また、基材フレーム1を、切削線3に沿って切断する切削工程を実施する。
【選択図】 図4
【解決手段】 この発明に従った電子部品の製造方法では、基板としての基材フレーム1の表面において、基材フレーム1を切削するための切削線3から離れた位置に配線としての内部パターン配線を形成する配線パターン形成工程を実施する。そして、内部パターン配線の一部と電気的に接続するように、導電性シールとしてのシール材5を基材フレーム1の表面に貼付するシール貼付工程を実施する。また、内部パターン配線に電荷を供給するための導電路としてシール材5を用いて、内部パターン配線の表面に電気めっき法によりめっき層を形成するめっき工程を実施する。そして、めっき工程の後、導電性のシール材5を除去するシール除去工程を実施する。また、基材フレーム1を、切削線3に沿って切断する切削工程を実施する。
【選択図】 図4
Description
この発明は、電子部品の製造方法に関し、より特定的には、基板上に配線を形成した後、当該基板を切断することによって得られる単位基板を用いる電子部品の製造方法に関する。
従来、半導体素子などを基板上に搭載した電子部品を構成する部材の一つとして、複数枚の単位基板を1枚の基板上に形成した後、当該基板を切断することによって得られた単位基板を得ることが知られている(たとえば、特許文献1参照)。
上記特許文献1では、電子部品の製造方法の一部である単位基板の製造方法として、基板の表面上において、電極端子を基板表面に設ける際、当該電極端子の外側の端部を基板の切断部より距離をおいた内側に配置することが開示されている。このようにする事で,上記特許文献1では、基板を切断する際、電極端子に切断部材の刃が触れることがないため、電極端子の形状が崩れることなく良好な状態を保持できるとしている。そして、電極端子の形状の崩れから、隣接する電極端子間の短絡による不具合の発生を防止できるとしている。
特開平4−43698号公報
しかし、上述した特許文献1に開示された電子部品の製造方法の一部としての単位基板の製造方法では、電極端子の表面にめっきを施すため、電極端子と電気的に接続された引出配線が基板の内部の層に設けられている。そして、当該引出配線は、基板の切断部を横切るように配置されている。切断部の外側に延在する引出配線は、電極端子から見て切断部より外側に位置する電気めっき用電極と電気的に接続されている。
そのため、基板を切断部材により切断した場合に、引出配線が切断部材の刃により切断される。このとき、引出配線の切断部が切断部材の刃と接触することによって塑性変形し、隣接する他の引出配線と接触する可能性がある。つまり、電極端子は切断部材と接触しないものの、引出配線については切断部材との接触により、隣接する引出配線同士が接触して短絡する可能性が有る。このような短絡が発生すると、当該単位基板を用いた電子部品(たとえば単位基板上に半導体素子を搭載した電子部品)が正常に動作しないといった不具合が発生する可能性が有る。
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の目的は、電子部品を構成する基板の端面において、配線間の短絡を防止することが可能な電子部品の製造方法を提供することである。
この発明に従った電子部品の製造方法では、基板の表面において、基板を切削するための切削線から離れた位置に配線を形成する工程を実施する。そして、配線の一部と電気的に接続するように、導電性シールを基板の表面に貼付するシール貼付工程を実施する。また、配線に電荷を供給するための導電路として導電性シールを用いて、配線の表面に電気めっき法によりめっき層を形成する工程を実施する。そして、めっき層を形成する工程の後、導電性シールを除去する工程を実施する。また、上記基板を切削線に沿って切断する工程を実施する。
この発明によれば、電子部品を構成する単位基板表面の配線にめっき層を形成するための引出導電路として、導電性のシール部材を利用するので、めっき工程後に基板を切断して単位基板とするときには、当該シール部材を除去することができる。このため、単位基板の端面(基板の切断部)に引出導電路を構成する配線などが位置することはないので、当該配線間の短絡といった問題の発生確率を低減できる。
図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。なお、以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照番号を付し、その説明は繰返さない。
図1は、本発明による電子部品としての半導体装置の製造方法を説明するためのフローチャートである。図2は、図1に示した配線パターン形成工程を説明するための模式図である。図3は、図2に示した基材フレームの一部分を示す拡大模式図である。図4および図5は、図1に示したシール貼付工程を説明するための模式図である。図6は、図4および図5に示したシール材の構造を説明するための断面模式図である。図7は、図1に示したシール貼付工程後の基材フレームの一部分を示す拡大模式図である。図8は、図7の線分VII−VIIにおける断面模式図である。図9は、図1に示しためっき工程を説明するための模式図である。図10は、図1に示したシール除去工程を実施した後の基材フレームの一部分を示す拡大模式図である。図11は、図10の領域XIを示す拡大模式図である。図12は、図1のチップ搭載工程を説明するための、基材フレームの一部を示す拡大模式図である。図13は、図1の樹脂封止工程を実施した後の基材フレームを示す模式図である。図14は、図1の切削工程を実施した後に得られる半導体パッケージを示す模式図である。図15は、図14に示した半導体パッケージの側面模式図である。図1〜図15を参照して、本発明による半導体装置の製造方法を説明する。
本発明による半導体装置としての半導体パッケージの製造方法では、図1に示すように、まず配線パターン形成工程(S10)を実施する。具体的には、図2および図3に示すように、基材フレーム1の表面において、マトリックス状に配置されたパッケージ領域2のそれぞれについて、内部パターン配線4(図3参照)を形成する。配線パターンとしての内部パターン配線4の形成方法は、従来の配線パターン形成方法として用いられるいかなる方法を用いてもよい。内部パターン配線4は、基材フレーム1の表面に形成された導電体膜からなる。内部パターン配線4を構成する材料は、導電体であればどのような材料を用いてもよい。また、基材フレーム1を構成する材料としては、絶縁性の樹脂など、絶縁体であればどのような材料を用いてもよい。
基材フレーム1の表面に、上述のようにマトリックス状に配置されたパッケージ領域2は、それぞれが独立した半導体パッケージの基板(単位基板)を構成するものである。後述するように、切削工程(S70)(図1参照)において、基材フレーム1は切削線3に沿ってダイシングソーなどを用いて切断される。つまり、切削線3はパッケージ領域2の外縁を規定するものである。この結果、パッケージ領域2は互いに分離されることにより、それぞれが半導体パッケージを構成する基板となる。
そして、図3に示すように、内部パターン配線4のパッケージ領域2における外周側に位置する端部と切削線3との間は、距離Lだけ離れた状態になっている。つまり、内部パターン配線4は切削線3から距離Lだけ離れた領域(内部パターン配線形成領域12)に形成されており、内部パターン配線4と切削線3とは交差しないように形成されている。
次に、図1に示したシール貼付工程(S20)を実施する。具体的には、図4に示すように、基材フレーム1において内部パターン配線4が形成された表面上に導電性のシール材5を配置する。そして、このシール材5を矢印7に示すように基材フレーム1の内部パターン配線4が形成された表面に貼付ける。シール材5には、内部パターン配線形成領域12(図3参照)に対応する位置に、内部パターン配線形成領域12の面積よりも小さな面積を有する開口部24が形成されている。
そして、図5に示すように、シール材5の上から貼付けローラ6を押圧することにより、シール材5を基材フレーム1の表面に密着させる。具体的には、貼付けローラ6をシール材5表面に押圧しながら矢印8に示すように回転させることにより、矢印9に示すように、貼付けローラ6を移動させる。このようにして、貼付けローラ6によりシール材5の表面全体を万遍なく押圧できる。
なお、シール材5の構造としては、たとえば図6に示すように、ベース部14の下部表面(基材フレーム1と接触する側の面)に接着剤層13が形成されているような構造としてもよい。このとき、接着剤層13は導電性を有する材料であればどのような材料を用いてもよい。また、ベース部14の材料としては、どのような材料を用いてもよい。たとえば、ベース部14を構成する材料として、導電性を有する金属膜のような材料や、導電性を有さない樹脂などの材料を用いてもよい。
このようにシール材5を貼付けた基材フレーム1においては、図7および図8に示すように、シール材の開口部側壁11が、内部パターン配線4の端部10上に位置している。すなわち、シール材5の端部31が、内部パターン配線4の端部10上に乗り上げて接続された状態になっている。このようにすれば、切削線3から離れた位置(図8における切削線の位置30から離れた位置)に形成された内部パターン配線4とシール材5とを、シール材5の端部31と内部パターン配線4の端部10との接続部を介して電気的に接続することができる。
次に、図1に示すように、めっき工程(S30)を実施する。具体的には、図9に示すように、めっき液16を保持するめっき浴槽15の内部に、シール材5が貼付された基材フレーム1を浸漬する。基材フレーム1の表面に形成された内部パターン配線4(図7参照)は、シール材5と、このシール材5に接続された導電線18を介して外部電極17と電気的に接続されている。そして、外部電極17から導電線18およびシール材5を介して内部パターン配線4に電流を流すことにより(つまり電気めっき法を用いて)、内部パターン配線4のめっき液16と接触する表面上(つまり、シール材5により覆われていない表面上)にめっき層を形成することができる。
次に、図1に示したシール除去工程(S40)を実施する。このシール除去工程(S40)では、シール材5を基材フレーム1から除去できればどのような方法を用いてもよいが、たとえば、シール材5を単純に基材フレーム1から引き剥がすといった方法を用いることができる。もちろん、シール材5を溶剤などを用いて溶解する方法、あるいは他の任意の方法を用いてもよい。この結果、図10および図11に示すように、内部パターン配線4の表面に、めっき層が形成されためっき部20と、シール材5がその表面に接着されていたためにめっき層が形成されていない非めっき部21とが形成されることになる。なお、このめっき部20と非めっき部21との境界線は、シール材の開口部側壁11(図7参照)が位置していた領域を示す線分19と重なるように位置することになる。
次に、図1に示すように、チップ搭載工程(S50)を実施する。具体的には、図12に示すように、基材フレーム1の内部パターン配線4が形成された表面上の所定の位置に半導体チップ22を搭載する。半導体チップ22において、基材フレーム1と対向する表面(裏面)上には、電極(図示せず)が形成されている。そして、この半導体チップ22の電極と、内部パターン配線4の端部に位置する端子部とは電気的に接続された状態で固定される。
次に、図1に示した樹脂封止工程(S60)を実施する。具体的には、図13に示すように、基材フレーム1において、内部パターン配線4が形成された面上に封止用の樹脂23を配置して硬化させる。図13からもわかるように、樹脂23は、基材フレーム1の表面におけるパッケージ領域2が形成された部分を覆うように、すなわちパッケージ領域2が形成された部分の大きさよりも大きな領域上に位置するように形成されている。
次に、図1に示した切削工程(S70)を実施する。具体的には、図13に示したように樹脂封止された基材フレーム1を、切削線3に沿ってダイシングソーなどを用いて樹脂23とともに切削する。この結果、図14および図15に示すように、半導体パッケージ25を得ることができる。
このとき、半導体パッケージ25の端面26から離れた位置に内部パターン配線4は形成されているため、半導体パッケージ25の端面26において内部パターン配線4が露出することはない。つまり、切削工程において、ダイシングソーなどの切削部材と内部パターン配線4とが接触することはないので、端面26において内部パターン配線4を構成する金属などの導電体が、ダイシングソーによる切削の際に塑性変形して、隣接する内部パターン配線4と接触する可能性をなくすことができる。このため、内部パターン配線4同士が短絡するといった不良の発生を防止できる。
なお、図15は、図14の矢印28に示す方向から見た半導体パッケージ25の側面を示している。そして、図15からもわかるように、半導体パッケージ25を構成する基材フレーム1の裏面側(半導体チップ22が搭載された面とは反対側の表面)には、半導体パッケージ25を他の基板などと電気的に接続するための接続用端子電極27が複数個配置されている。
上述した本発明に従った電子部品の一例としての半導体装置(半導体パッケージ)の製造方法の特長的な構成を要約すれば、この発明に従った電子部品の製造方法では、基板としての基材フレーム1(図2参照)の表面において、基材フレーム1を切削するための切削線3から離れた位置に配線としての内部パターン配線4を形成する工程(配線パターン形成工程(S10))を実施する。そして、内部パターン配線4の一部と電気的に接続するように、導電性シールとしてのシール材5を基材フレーム1の表面に貼付するシール貼付工程(S20)を実施する。また、内部パターン配線4に電荷を供給するための導電路としてシール材5を用いて、内部パターン配線4の表面に電気めっき法によりめっき層を形成する工程(めっき工程(S30))を実施する。そして、めっき層を形成する工程の後、導電性のシール材5を除去する工程(シール除去工程(S40))を実施する。また、基材フレーム1を、切削線3に沿って切断する工程(切削工程(S70))を実施する。なお、基材フレーム1の表面上に、内部パターン配線4と電気的に接続される電子素子としての半導体チップ22を搭載する工程(チップ搭載工程(S50))を実施してもよい。また、上記切断する工程(切削工程(S70))では、半導体チップ22を搭載した基材フレーム1を、切削線3に沿って切断してもよい。
このようにすれば、内部パターン配線4は切削線3から離れた位置に形成されるので、基材フレーム1を切断する際に内部パターン配線4がダイシングソーなどの切断部材により切断されることはない。したがって、切断部材と内部パターン配線4とが接触することにより、内部パターン配線4の切断端面が塑性変形する(たとえば、内部パターン配線4の切断端面が切断部材の移動方向に沿って局所的に延びるように変形する)ことはない。そのため、基材フレーム1の切断端面において内部パターン配線4が隣接する他の導電部(他の内部パターン配線4)と接触するといった問題の発生確率を低減できる。この結果、隣接する内部パターン配線4同士、あるいは内部パターン配線4と他の導電部との接触(短絡)に起因する電子部品(半導体パッケージ25)での動作不良の発生確率を低減できる。したがって、信頼性の高い半導体パッケージ25を得ることができる。
また、基材フレーム1の切断端面(図14における半導体パッケージ25の端面26)における、上述のような内部パターン配線4同士の短絡が起きる確率を低減できるので、隣接する内部パターン配線4の間の距離を十分小さくできる。つまり、上述のような短絡の可能性がある場合(切削線3と接触するように内部パターン配線4が形成されている場合)、基材フレーム1の切断端面において内部パターン配線4が塑性変形しても、隣接する他の内部パターン配線4との間で短絡しないように、隣接する内部パターン配線4の間の距離を十分大きくする必要が有る。一方、本発明のように、基材フレーム1の切断端面に内部パターン配線4が露出しないような構成であれば、基材フレーム1の切断に伴って内部パターン配線4が塑性変形する可能性はほとんど無い。そのため、上述のように隣接する内部パターン配線4の間の短絡を防止する観点から、隣接する内部パターン配線4の間の距離を大きくする必要は無い。その結果、隣接する内部パターン配線4の間の距離を小さくできるので、基材フレーム1における内部パターン配線4の集積度を向上させることができる。したがって、基材フレーム1において内部パターン配線4が形成されるパッケージ領域2(図2参照)の小型化を図ることができるので、結果的に電子部品(半導体パッケージ25)の小型化を図ることができる。
上記電子部品の製造方法において、シール貼付工程(S20)は、基材フレーム1の表面上に導電性シールとしてのシール材5を配置する工程(図4参照)と、押圧部材としての貼付けローラ6を用いてシール材5を基材フレーム1に押圧することにより、シール材5を基材フレーム1に密着させる工程(図5参照)とを含んでいてもよい。
この場合、基材フレーム1に導電性のシール材5を確実に密着させることができるので、めっき層を形成する工程(めっき工程(S30))において、内部パターン配線4へ電荷を供給するための導電路としてシール材5を確実に利用することができる。
上記電子部品の製造方法において、シール材5は、基材フレーム1と接触する面に配置された導電性の接着剤層13(図6参照)を含んでいてもよい。
この場合、シール材5の接着剤層13が内部パターン配線4の一部(図8の端部10)と接触するように、シール材5を基材フレーム1上に貼付することにより、容易にシール材5と内部パターン配線4とを電気的に接続することができる。
上記電子部品の製造方法において、シール材5には、基材フレーム1の表面にシール材5が貼付されたときに内部パターン配線4の一部(図7および図8においてシール材5により覆われずに露出した部分)を露出させる開口部24(図4参照)が形成されていることが好ましい。また、シール材5において開口部24に隣接する部分(図8の端部31)は、基材フレーム1の表面にシール材5が貼付された状態で内部パターン配線4の上記一部以外の部分(図8の端部10)と接触することが好ましい。
この場合、シール材5と内部パターン配線4の部分(端部10)との接触部を介して、シール材5と内部パターン配線4とを電気的に接続することができる。また、めっき層を形成する工程(めっき工程(S30)では、内部パターン配線4における上記一部(つまり、シール材5により覆われずに露出した部分)上にめっき層を形成できる。
上記電子部品の製造方法において、基材フレーム1の表面には、内部パターン配線4が形成された領域(パッケージ領域2)がマトリックス状に複数個配置されていてもよく、かつ、切削線3は複数個の領域(パッケージ領域2)の間を区切るように配置されていてもよい。シール材5には、開口部24が上記パッケージ領域2上に位置するようにマトリックス状に複数個形成されていてもよい。
この場合、内部パターン配線4が形成されたパッケージ領域2を基材フレーム1に複数個配置することができるので、1つの基材フレーム1から電子部品を構成する単位基板(つまり内部パターン配線4が形成されたパッケージ領域2からなる基板)を複数個得ることができる。
上記電子部品の製造方法において、シール除去工程(S40)は、基材フレーム1から導電性のシール材5を剥がす工程を含んでいてもよい。
この場合、溶剤などを用いてシール材5を基材フレーム1から除去する場合のように、溶剤により基材フレーム1の表面が損傷を受ける可能性を無くすことができる。したがって、基材フレーム1の表面が損傷を受けることに起因して、基材フレーム1から構成される単位基板を含む電子部品(半導体パッケージ25)に不良が発生する可能性を低減できる。
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した実施の形態ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
1 基材フレーム、2 パッケージ領域、3 切削線、4 内部パターン配線、5 シール材、6 貼付けローラ、7〜9,28 矢印、10,31 端部、11 開口部側壁、12 内部パターン配線形成領域、13 接着剤層、14 ベース部、15 めっき浴槽、16 めっき液、17 外部電極、18 導電線、19 線分、20 めっき部、21 非めっき部、22 半導体チップ、23 樹脂、24 開口部、25 半導体パッケージ、26 端面、27 接続用端子電極、30 切削線の位置。
Claims (5)
- 基板の表面において、前記基板を切削するための切削線から離れた位置に配線を形成する工程と、
前記配線の一部と電気的に接続するように、導電性シールを前記基板の表面に貼付するシール貼付工程と、
前記配線に電荷を供給するための導電路として前記導電性シールを用いて、前記配線の表面に電気めっき法によりめっき層を形成する工程と、
前記めっき層を形成する工程の後、前記導電性シールを除去する工程と、
前記基板を前記切削線に沿って切断する工程とを備える、電子部品の製造方法。 - 前記シール貼付工程は、
前記基板の表面上に前記導電性シールを配置する工程と、
押圧部材を用いて前記導電性シールを前記基板に押圧することにより、前記導電性シールを前記基板に密着させる工程とを含む、請求項1に記載の電子部品の製造方法。 - 前記導電性シールは、前記基板と接触する面に配置された導電性の接着剤層を含む、請求項1または2に記載の電子部品の製造方法。
- 前記導電性シールには、前記基板の表面に前記導電性シールが貼付された状態で前記配線の一部を露出させる開口部が形成され、
前記導電性シールにおいて前記開口部に隣接する部分は、前記基板の表面に前記導電性シールが貼付された状態で前記配線の一部以外の部分と接触する、請求項1〜3のいずれか1項に記載の電子部品の製造方法。 - 前記基板の表面では、前記配線が形成された領域がマトリックス状に複数個配置され、かつ、前記切削線が前記複数個の領域の間を区切るように配置され、
前記導電性シールには、前記開口部が前記領域上に位置するようにマトリックス状に複数個形成されている、請求項4に記載の電子部品の製造方法。
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