JP2005056987A - 研磨装置および研磨方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】研磨用定盤1の表面に研磨パッド3を張設し、研磨パッド3の研磨面に対して摺接可能に配置した被研磨物4の表面を化学機械研磨法により研磨する研磨装置において、研磨パッド3の研磨面の温度を検出する温度センサ9と、研磨パッド3の研磨面に対して表面側から温度調整可能な温度調整手段10と、温度センサ9の検出結果に基づいて、研磨パッド3の研磨面の温度を温度調整手段10による温度調整によって所定温度に制御する制御部11と、を備える。
【選択図】図1
Description
(1)上記実施の形態では、複数個の温度センサや複数個の温度調整手段を設けたものを示したが、単一の温度センサや単一の温度調整手段を設けるだけの構成のものも本願発明に含まれる。
3 研磨パッド
4 基板(被研磨物)
9 温度センサ(温度検出手段)
10 赤外線ランプ(温度調整手段)
11 制御装置(制御手段)
Claims (7)
- 研磨用定盤の表面に研磨パッドを張設し、研磨パッドの研磨面に対して摺接可能に配置した被研磨物の表面を化学機械研磨法により研磨する研磨装置において、
研磨パッドの研磨面の温度を検出するための温度検出手段と、
温度検出結果により研磨パッドの研磨面の温度をその表面側から調整するための温度調整手段と、
を備える、ことを特徴とする研磨装置。 - 温度検出手段は、研磨パッドにおける被研磨物の研磨直後の研磨面温度を検出する、請求項1に記載の研磨装置。
- 温度調整手段は、研磨パッドの研磨面に対する熱輻射により温度調節する請求項1または2に記載の研磨装置。
- 温度調整手段は、所望温度の気体をその研磨面に吹き付ける、請求項1または2に記載の研磨装置。
- 研磨用定盤はその中心軸周りで被研磨物と相対的に回転自在に構成されるとともに、温度検出手段および温度調整手段は対となる組に構成されて、その組となったものが複数個、中心軸から径方向に沿って並設されている、請求項1ないし4のいずれかに記載の研磨装置。
- 研磨用定盤の表面に研磨パッドを張設し、研磨パッドの研磨面に対して摺接可能に配置した被研磨物の表面を化学機械研磨法により研磨する研磨装置を用いる研磨方法において、
研磨パッドの研磨面の温度を温度検出手段で検出し、この検出結果に基づいて、研磨パッドの研磨面の温度を、その研磨面の表面側から温度調整手段によって所定温度に制御する、ことを特徴とする研磨方法。 - 研磨パッドの研磨面の温度をほぼ所定温度としたうえで、研磨を開始する、請求項6に記載の研磨方法。
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