JP2005056963A - 電子衝撃加熱装置 - Google Patents
電子衝撃加熱装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005056963A JP2005056963A JP2003284625A JP2003284625A JP2005056963A JP 2005056963 A JP2005056963 A JP 2005056963A JP 2003284625 A JP2003284625 A JP 2003284625A JP 2003284625 A JP2003284625 A JP 2003284625A JP 2005056963 A JP2005056963 A JP 2005056963A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filament
- reflector
- heating plate
- heating
- electron
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Discharge Heating (AREA)
- Control Of Resistance Heating (AREA)
Abstract
【解決手段】 電子衝撃加熱装置は、熱電子を発生するフィラメント9と、このフィラメント9で発生した熱電子を加速して加熱プレート2に衝突させる加速電源19と、加熱プレート2に対してフィラメント9の背後側に設けられ、加熱プレート2の電子衝撃で発生する熱を反射するリフレクタ3とを有する。そして、フィラメント9とリフレクタ3とを同電位にするため、リフレクタ3がフィラメント9と接続した電極15と接続部材18を介してその長手方向にスライド自在に接続されている。
【選択図】 図1
Description
ステージ部6の壁には、冷却液通路7が形成され、この冷却液通路7に水等の冷却液を通すことにより、ステージ部6が冷却される。
ステージ部6には、排気通路4が形成され、この排気通路4に接続された真空ポンプ5により、加熱物支持部材1の内部の空間が排気され、真空にされる。
リフレクタ3の少なくともフィラメント9と対向した最も上のものは、フィラメント9と同電位にされているため、電子は飛来せず、従って電子衝撃を受けない。
以下、このような本発明の実施例について、図面を参照しながら具体例を挙げて詳細に説明する。
ステージ部6の上の部分は真空容器の中にあり、加熱プレート2の部分は真空雰囲気におかれることは、図5により説明した従来例と同様である。
このステージ部6の上には、シリコンウエハ等の薄形板状の加熱物を載せる平坦な加熱プレート2を有する耐熱性の加熱物支持部材1が設置され、その内部は同加熱物支持部材1により、その外側の空間と気密に仕切られる空間を有する。より具体的には、加熱物支持部材1は、上面側が加熱プレート2により閉じられ、下面側が開口した円筒形状を有しており、加熱プレート2の平坦な上面は、シリコンウエハ等の薄形板状の加熱物より広くなっている。加熱物支持部材1の下端部にはフランジが設けられ、このフランジ部分がステージ部6の上面に当てられて固定されると共に、真空シール材8により気密にシールされている。
さらに、この加熱物支持部材1の内部には、フィラメント9とリフレクタ3が設置されている。
図3と図4に示した実施例が前記の実施例と相違しているのは、接続部材18が電極15にではなく、フィラメント9を保持するサポート部材13に取り付けられ、リフレクタ3が接続部材18とサポート部材13とを介してフィラメント9に接続されている点である。それ以外は、図1に示した電子衝撃加熱装置の実施例と全ての部分が共通している。
3 リフレクタ
9 フィラメント
13 サポート部材
14 温度測定器
15 電極
18 接続部材
19 加速電源
21 ナット
Claims (3)
- 熱電子を発生するフィラメント(9)と、このフィラメント(9)で発生した熱電子を加速して加熱プレート(2)に衝突させる加速電源(19)と、加熱プレート(2)に対してフィラメント(9)の背後側に設けられ、加熱プレート(2)の電子衝撃で発生する熱を反射するリフレクタ(3)とを有する電子衝撃加熱装置であって、フィラメント(9)とリフレクタ(3)とを同電位にするため、リフレクタ(3)をフィラメント(9)に接続する接続部材(18)がリフレクタ(3)に固定されていることを特徴とする電子衝撃加熱装置。
- リフレクタ(3)がフィラメント(9)に電源を接続する電極(15)とその長手方向にスライド自在な接続部材(18)を介してフィラメント(9)に接続されていることを特徴とする請求項1に記載の電子衝撃加熱装置。
- リフレクタ(3)がフィラメント(9)を保持するサポート部材(13)とその長手方向にスライド自在な接続部材(18)とを介してフィラメント(9)に接続されていることを特徴とする請求項1に記載の電子衝撃加熱装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003284625A JP3950089B2 (ja) | 2003-08-01 | 2003-08-01 | 電子衝撃加熱装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003284625A JP3950089B2 (ja) | 2003-08-01 | 2003-08-01 | 電子衝撃加熱装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005056963A true JP2005056963A (ja) | 2005-03-03 |
JP3950089B2 JP3950089B2 (ja) | 2007-07-25 |
Family
ID=34364491
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003284625A Expired - Lifetime JP3950089B2 (ja) | 2003-08-01 | 2003-08-01 | 電子衝撃加熱装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3950089B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009076689A (ja) * | 2007-09-20 | 2009-04-09 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置及びそれに用いる基板載置台 |
-
2003
- 2003-08-01 JP JP2003284625A patent/JP3950089B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009076689A (ja) * | 2007-09-20 | 2009-04-09 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置及びそれに用いる基板載置台 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3950089B2 (ja) | 2007-07-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5977986B2 (ja) | 熱処理装置 | |
KR101032663B1 (ko) | 정전 척 | |
US20140008352A1 (en) | Heat treatment apparatus | |
US20100307686A1 (en) | Substrate processing apparatus | |
JP2010192454A (ja) | 間接的に加熱されるカソードイオン源に使用されるカソード組立体 | |
JP2003309168A (ja) | 静電吸着ホルダー及び基板処理装置 | |
US7968828B2 (en) | Temperature controlling method of electron bombardment heating apparatus | |
JP4839123B2 (ja) | 背面電子衝撃加熱装置 | |
JPH06244143A (ja) | 処理装置 | |
JP3950089B2 (ja) | 電子衝撃加熱装置 | |
JP3825760B2 (ja) | 電子衝撃加熱装置 | |
JP2912616B1 (ja) | 板体加熱装置 | |
JP3828527B2 (ja) | 電子衝撃加熱装置 | |
JP3929947B2 (ja) | 電子衝撃加熱装置 | |
JP2912913B1 (ja) | 板体加熱装置 | |
JP4955357B2 (ja) | 背面電子衝撃加熱装置 | |
JP3866685B2 (ja) | 電子衝撃加熱器の温度制御装置と温度制御方法 | |
JP5272485B2 (ja) | 基板支持部材 | |
JP2975927B1 (ja) | 板体加熱装置 | |
US7471035B2 (en) | Internal conductively-heated cathode | |
JP2007220458A (ja) | 電子衝撃加熱装置 | |
JP4919709B2 (ja) | 背面電子衝撃加熱装置 | |
JP2014204107A (ja) | 熱処理装置 | |
JP2000353492A (ja) | 電界放出冷陰極の高圧動作 | |
JP2015106595A (ja) | 熱処理装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070202 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070315 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070410 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070419 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 3950089 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100427 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130427 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140427 Year of fee payment: 7 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |