JP2005052820A - Coating tool and coating device - Google Patents

Coating tool and coating device Download PDF

Info

Publication number
JP2005052820A
JP2005052820A JP2004094556A JP2004094556A JP2005052820A JP 2005052820 A JP2005052820 A JP 2005052820A JP 2004094556 A JP2004094556 A JP 2004094556A JP 2004094556 A JP2004094556 A JP 2004094556A JP 2005052820 A JP2005052820 A JP 2005052820A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
coating
slot
head
tool
titanium alloy
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2004094556A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kisho Miwa
紀章 三輪
Noriyuki Kakehashi
典之 掛橋
Mutsumi Yasutake
睦実 安竹
Toshihiko Kanayama
利彦 金山
Tsutomu Fukuda
努 福田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Materials Corp
Original Assignee
Mitsubishi Materials Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Materials Corp filed Critical Mitsubishi Materials Corp
Priority to JP2004094556A priority Critical patent/JP2005052820A/en
Priority to PCT/JP2004/004671 priority patent/WO2005002740A1/en
Priority to KR1020057024676A priority patent/KR100762774B1/en
Priority to TW093109360A priority patent/TW200507949A/en
Publication of JP2005052820A publication Critical patent/JP2005052820A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
    • B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
    • B05C5/0254—Coating heads with slot-shaped outlet
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
    • B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a coating tool with an easy step replacing work and washing work, high workability and a long service life in which a coating liquid is discharged from the tip end of a coating head by circulating through a groove-shaped slot which is comprised of a plurality of head members. <P>SOLUTION: A coating tool is comprised of a coating head 10 which is constituted with a plurality of head members 16 and 18, a groove-shaped slot 14 which opens at the tip end of the coating head 10 between side faces opposed to each other in the plurality of the head members 16 and 18 is partitioned, a coating liquid circulates through the slot 14 and is discharged from the tip end of the coating head 10 and the material of the head members 16 and 18 is a titanium alloy. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

この発明は、シート状部材またはパネル状部材などの被塗布部材の表面に塗布液を塗布する塗布工具に関する。   The present invention relates to a coating tool for coating a coating liquid on the surface of a member to be coated such as a sheet-shaped member or a panel-shaped member.

従来、シート状部材の表面に塗布液を薄く均一に塗布して、塗膜層を形成するような塗布作業を行う塗布装置に装着される塗布工具として、塗布液を通過させるスロットを有する塗布工具が用いられている。このような塗布工具として、図６に示すような塗布ヘッド（工具本体）１を備えた塗布工具があり、塗布ヘッド１は、図中に矢線Ａで示す走行方向に走行するシート状部材Ｓに対して、このシート状部材Ｓの幅方向に延びる長尺に形成されており、その先端部を上向きにしてシート状部材Ｓに摺接可能に、このシート状部材Ｓの下に配置されている。（例えば、特許文献１参照。）
特開昭６２−２４１５７４号公報（第１図） 2. Description of the Related Art Conventionally, a coating tool having a slot through which a coating liquid is passed as a coating tool mounted on a coating apparatus that performs a coating operation to form a coating film layer by thinly and uniformly coating a coating liquid on the surface of a sheet-like member Is used. As such a coating tool, there is a coating tool provided with a coating head (tool body) 1 as shown in FIG. 6, and the coating head 1 is a sheet-like member S that travels in the traveling direction indicated by an arrow A in the drawing. On the other hand, the sheet-like member S is formed in a long shape extending in the width direction, and is disposed below the sheet-like member S so as to be slidable in contact with the sheet-like member S with its tip portion facing upward. Yes. (For example, refer to Patent Document 1.)
JP 62-241574 A (FIG. 1)

また、図７に示すように、塗布ヘッド１の先端部を下向きにし、パネル状部材Ｐの上方に位置させて塗布ヘッド１をパネル状部材Ｐに摺接させ、図中の矢線Ｂで示す方向に移動させるものも使用されている。
これら塗布ヘッド１は、一対のヘッド部材２，３の側面２ａ，３ａが一定の間隙を有して配設されることでスロット４を画成しており、側面２ａ，３ａの長手方向に向けて形成された凹溝５，６がポケット７を画成している。スロット４は、塗布ヘッド１の先端面に開口しており、塗布液を供給する供給口（図示せず）がポケット７の中央に連通して設けられている。そして、スロット４の間隔を高精度に形成するために、側面２ａ，３ａは研磨加工によって仕上げ加工が施されている。また、図においてはスロット４およびポケット７が塗布ヘッド１の側方に開口しているが、スロット４およびポケット７の端部は封止される構成となっている。塗布作業において供給口から供給された塗布液は、ポケット７に充満することで塗布ヘッド１の長手方向に広がり、スロット４を通過して塗布ヘッド１の先端から吐出される。吐出された塗布液は、塗布ヘッド１に対して相対的に移動するシート状部材Ｓの表面（下面）または、パネル状部材Ｐに塗布され、塗膜層が形成される。 Further, as shown in FIG. 7, the tip of the coating head 1 faces downward and is positioned above the panel-like member P so that the coating head 1 is slidably contacted with the panel-like member P, and is indicated by an arrow B in the figure. Those that move in the direction are also used.
These coating heads 1 define the slots 4 by arranging the side surfaces 2a, 3a of the pair of head members 2, 3 with a certain gap, and are directed in the longitudinal direction of the side surfaces 2a, 3a. The recessed grooves 5 and 6 formed in this way define the pocket 7. The slot 4 is opened at the front end surface of the coating head 1, and a supply port (not shown) for supplying a coating solution is provided in communication with the center of the pocket 7. And in order to form the space | interval of the slot 4 with high precision, the finishing process is given to the side surfaces 2a and 3a by the polishing process. In the figure, the slot 4 and the pocket 7 are open to the side of the coating head 1, but the ends of the slot 4 and the pocket 7 are sealed. The coating liquid supplied from the supply port in the coating operation spreads in the longitudinal direction of the coating head 1 by filling the pocket 7, passes through the slot 4, and is discharged from the tip of the coating head 1. The discharged coating liquid is applied to the surface (lower surface) of the sheet-like member S that moves relative to the coating head 1 or the panel-like member P to form a coating layer.

このような塗布ヘッド１を備えた塗布工具で使用される塗布液として、液晶ディスプレイ用のカラーペーストやカラーフィルタ用のレジスト剤などが使用されており、これらの塗布液にはカーボン繊維やガラス繊維などの硬質の含有物が含まれている。また、塗布液の目詰まりを防止するためや、種類の異なる塗布液を使用する際には、塗布工具を分解してスロット４やポケット７を洗浄する必要があった。この洗浄作業は、たとえばスロット４を画成している側面２ａ，３ａに付着している塗布液を、溶剤を含ませた布などでこすって行われている。また、このような塗布工具がディスプレイ基板にカラーフィルタ用レジスト剤を塗布する塗布作業に用いられる場合、塗布工具を上部、基板を下部に配置したうえで、塗布工具が基板に対して相対的に動き、ディスプレイの大型化に伴って塗布幅の広い塗布工具が求められている。   As a coating solution used in a coating tool equipped with such a coating head 1, a color paste for a liquid crystal display, a resist agent for a color filter, or the like is used, and carbon fiber or glass fiber is used for these coating solutions. Hard contents such as are included. Further, in order to prevent clogging of the coating liquid or when using different types of coating liquids, it is necessary to disassemble the coating tool and clean the slots 4 and pockets 7. This cleaning operation is performed, for example, by rubbing the coating liquid adhering to the side surfaces 2a and 3a defining the slot 4 with a cloth soaked with a solvent. In addition, when such a coating tool is used for a coating operation in which a color filter resist agent is coated on a display substrate, the coating tool is disposed on the upper side and the substrate is disposed on the lower side, and then the coating tool is relative to the substrate. With the movement and enlargement of the display, a coating tool having a wide coating width is required.

ところで、上記塗布工具において、塗布液の含有物がスロットを画成している側面よりも硬い場合には、含有物によって側面に筋状の傷が付いたり、含有物が側面に突き刺さったりしてしまうという問題があった。また、塗布工具の洗浄作業においても含有物によって側面を損傷させてしまうおそれがあり、このように損傷した箇所に塗布液が入り込んでしまうことによって洗浄作業が困難になり、さらに、側面の損傷によって、塗膜層の表面に微細な筋が形成されてしまうという問題があった。また、従来よりステンレス製のヘッド部材の先端部分に超硬合金製のエッジ部材を装着して、先端部分の耐摩耗性を向上させることが行われているが、この場合においてもエッジ部材とポケットとの間の部分が損傷し、洗浄作業や塗膜層の形成に悪影響を与えていた。また、塗布工具の塗布幅を広げるためには塗布工具を大型化しなければならず、大型化に伴う重量増加に対応するために、塗布装置を大型化しなければならないという問題があった。
また、塗布工具が移動して塗布する方式では、塗布工具の大型化は、重量増加による撓み等、塗布工具の動的、静的精度の低下に大きく影響し、作業性が悪化するため、最適な塗布を行うためにも、塗布工具の軽量化は不可欠である。 By the way, in the coating tool, when the content of the coating liquid is harder than the side surface defining the slot, the content may cause a streak on the side surface or the content may pierce the side surface. There was a problem that. In addition, there is a risk that the side surface may be damaged by the contents even in the cleaning operation of the coating tool, and the cleaning operation becomes difficult due to the coating liquid entering the damaged part in this way, and further, due to the damage of the side surface There was a problem that fine streaks would be formed on the surface of the coating layer. Conventionally, an edge member made of cemented carbide is attached to the tip of a stainless steel head member to improve the wear resistance of the tip, but in this case also, the edge member and the pocket are used. The part between the two was damaged, and the cleaning operation and the formation of the coating layer were adversely affected. Moreover, in order to widen the coating width of the coating tool, the coating tool has to be enlarged, and there has been a problem that the coating apparatus has to be enlarged in order to cope with the increase in weight accompanying the increase in size.
Also, in the method where the application tool is moved and applied, the increase in the size of the application tool greatly affects the decrease in dynamic and static accuracy of the application tool, such as bending due to weight increase. In order to perform proper coating, it is essential to reduce the weight of the coating tool.

本発明は、このような事情を考慮してなされたもので、複数のヘッド部材から構成された溝状のスロット内を塗布液が流通して塗布ヘッドの先端から吐出される塗布工具において、段取り替え作業、洗浄作業が容易でかつ生産性が高く、長寿命な塗布工具を提供することにある。   The present invention has been made in view of such circumstances, and in a coating tool in which a coating liquid flows through a groove-shaped slot composed of a plurality of head members and is discharged from the tip of a coating head. An object of the present invention is to provide a coating tool that can be easily replaced and cleaned, has high productivity, and has a long service life.

上記課題を解決するために、この発明は以下の手段を提案している。
請求項１記載の発明は、複数のヘッド部材から構成された塗布ヘッドを有し、前記複数のヘッド部材における互いに対向する側面同士の間に、前記塗布ヘッドの先端に開口する溝状のスロットが画成され、塗布液が前記スロット内を流通して前記塗布ヘッドの先端から吐出される塗布工具であって、前記ヘッド部材の材質が、チタン合金であることを特徴とする。 In order to solve the above problems, the present invention proposes the following means.
The invention according to claim 1 has a coating head composed of a plurality of head members, and a groove-like slot that opens at the tip of the coating head is provided between the mutually facing side surfaces of the plurality of head members. A coating tool that is defined and the coating liquid flows through the slot and is discharged from the tip of the coating head, wherein the material of the head member is a titanium alloy.

この発明に係る塗布工具は、ヘッド部材がチタン合金で形成されているので、軽量であり、段取り替え作業における塗布工具の取扱いが容易である。
また、スロット面を含め塗布ヘッド全体がチタン合金で形成され、耐摩耗性、耐蝕性に優れているため、塗布液に含まれている含有物によってスロット面に筋状の傷付きや、含有物がスロット面に突き刺さることが防止される。また、スロット面に傷付きが生じた場合であってもチタンが化学的に活性であるため、発生した傷部分に安定な酸化皮膜が形成されて腐食が進行し難くいため、スロット面の寿命延長が実現できる。 The coating tool according to the present invention is lightweight because the head member is formed of a titanium alloy, and the handling of the coating tool in the setup change operation is easy.
The entire coating head, including the slot surface, is made of a titanium alloy and has excellent wear resistance and corrosion resistance. Is prevented from sticking into the slot surface. In addition, even when the slot surface is scratched, titanium is chemically active, so a stable oxide film is formed on the scratched area and corrosion is unlikely to occur, extending the life of the slot surface. Can be realized.

このように、耐摩耗性等が向上することで、洗浄作業におけるスロット面の損傷が防止されるとともに損傷箇所への塗布液が入り込みも減少し、洗浄作業を容易に行うことができる。
また、ヘッド部材を一体的に形成することにより、スロット面を複数の部材で構成する場合のような部材間隙間がないため、塗布液の流動がスムースとなり隙間に塗布液が入り込むことがない。
以上のように、塗布工具の性能維持が容易で、段取り替え作業、洗浄作業等を容易に行い、時間短縮（分解、組立作業を含めて約１０％の低減）ことができる。 Thus, by improving the wear resistance and the like, the slot surface is prevented from being damaged during the cleaning operation, and the coating liquid is less likely to enter the damaged portion, so that the cleaning operation can be easily performed.
Further, by forming the head member integrally, there is no inter-member gap as in the case where the slot surface is composed of a plurality of members, so that the flow of the coating liquid is smooth and the coating liquid does not enter the gap.
As described above, the performance of the coating tool can be easily maintained, the setup change work, the cleaning work, etc. can be easily performed, and the time can be shortened (about 10% reduction including disassembly and assembly work).

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の塗布工具において、前記チタン合金は、
密度；４．３ｇ／ｃｍ３から４．７ｇ／ｃｍ３
線膨張係数；８．５から９．０μｍ／ｍ・Ｋ
全領域の硬度分布；ＨＲＣ３以下の特性を有し、
かつ、前記スロットの表面全領域において、長さ１００ｍｍの線分上を通過する深さ０．２μｍから１．０μｍの傷が５０本以下であることを特徴とする。 The invention according to claim 2 is the coating tool according to claim 1, wherein the titanium alloy is
Density: 4.3 g / cm 3 to 4.7 g / cm 3
Linear expansion coefficient: 8.5 to 9.0 μm / m · K
Hardness distribution in the whole region; having a characteristic of H R C3 or lower,
In addition, the entire surface area of the slot has 50 or less scratches having a depth of 0.2 μm to 1.0 μm passing through a line segment having a length of 100 mm.

チタン合金は、α相は最密六方格子であるためクリープ性等、機械的特性が良好であり、一方、β相は熱処理性等の加工性が良好である。そのため、この発明に係る塗布工具の材料としては、双方の特徴を併せ持つα＋β型チタン合金が好適であり、精度の高いヘッド部材を容易に製作することができる。
そして、ヘッド部材全体にわたり硬度分布をＨＲＣ３以下に抑えて、内部残留応力の偏りがほとんどない熱処理ムラの少ないものを使用しているため、液溜まりとなる凹溝の切削を安定して行うことができ、切削による内部応力の発生を抑制するとともに、研磨加工における応力解放を小さく抑えることができる。その結果、真直度５μｍ以下／ｍを達成することができ、さらに使用時の応力解放も小さいため、経年変化による精度劣化を防止することができる。
また、線膨張係数が、８．５から９．０μｍ／ｍ・Ｋと小さいので、加工時に発生する熱による寸法への影響も小さく、精度が高いヘッド部材を製作することができる。 The titanium alloy has good mechanical properties such as creep properties because the α phase is a close-packed hexagonal lattice, while the β phase has good workability such as heat treatment. Therefore, as a material of the coating tool according to the present invention, an α + β type titanium alloy having both characteristics is suitable, and a highly accurate head member can be easily manufactured.
Performing Then, the hardness distribution across the head member is suppressed to H R C3 or less, due to the use of those bias of the internal residual stress is less little heat treatment unevenness, the cutting of the groove which becomes liquid pool stable It is possible to suppress the generation of internal stress due to cutting, and to reduce the stress release in the polishing process. As a result, straightness of 5 μm or less / m can be achieved, and further, stress release during use is small, so that deterioration of accuracy due to secular change can be prevented.
Further, since the linear expansion coefficient is as small as 8.5 to 9.0 μm / m · K, it is possible to manufacture a head member with high accuracy with little influence on dimensions due to heat generated during processing.

また、線膨張係数が小さいため、塗布工具として使用する場合の温度変化の影響を受け難い。例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ４２０Ｊ２ 線膨張係数；１１．５μｍ／ｍ・Ｋ）と比較すると約２２％から２５％小さいため、塗布工具の精度を大幅に向上させることができる。
また、スロット面を最大高さＲＺ（ＪＩＳ Ｂ０６０１）０．２μｍ以下の面粗度の鏡面仕上げを施し、塗布液に対する適度な撥水性を備えさせることによって、塗布液の塗布に関して好適な塗布性能を得ることができる。
また、スロット面に傷が存在する場合、塗布に際して、塗布液に部分的な流速差や乱流が発生することにより、塗布膜に微小な凹凸が生じて品質が低下するが、深さ０．２μｍから１．０μｍの傷を、線分の長さ１００ｍｍあたり５０本以下とすることによって、凹凸の発生を大幅に削減することができる。また、塗布液の入り込みに大きく影響する深さ０．２μｍから１．０μｍの傷が、線分の長さ１００ｍｍあたり５０本以下と少ないため、洗浄作業を容易に行うことができる。 Moreover, since the linear expansion coefficient is small, it is difficult to be affected by temperature changes when used as a coating tool. For example, compared with stainless steel (SUS420J2 linear expansion coefficient; 11.5 μm / m · K), it is about 22% to 25% smaller, so that the accuracy of the coating tool can be greatly improved.
Also, the slot surface is mirror-finished with a surface roughness of a maximum height R Z (JIS B0601) of 0.2 μm or less, and has an appropriate water repellency with respect to the coating solution, thereby providing a suitable coating performance with respect to coating of the coating solution. Can be obtained.
In addition, when scratches are present on the slot surface, a partial flow velocity difference or turbulent flow is generated in the coating liquid during coating, resulting in minute irregularities in the coating film, resulting in a decrease in quality. By making 50 or less scratches of 2 to 1.0 μm per 100 mm in length of the line segment, the occurrence of irregularities can be greatly reduced. In addition, since the number of scratches having a depth of 0.2 μm to 1.0 μm that greatly affects the penetration of the coating liquid is as small as 50 or less per 100 mm of the length of the line segment, the cleaning operation can be easily performed.

請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の塗布工具において、前記スロットの表面全領域において、長さ１００ｍｍの線分上を通過する深さ０．２μｍから１．０μｍの傷が５０本以下であることを特徴とする。   According to a third aspect of the present invention, in the coating tool according to the second aspect, in the entire surface area of the slot, 50 scratches having a depth of 0.2 μm to 1.0 μm passing through a line segment having a length of 100 mm are provided. It is less than this.

この発明に係る塗布工具は、請求項２に係る発明の作用に加え、前記傷が線分の長さ１００ｍｍあたり１０本以下と少ないため、洗浄作業をより容易に行うことができるとともに、塗布液のロット替等における塗布液の傷への入り込みによる影響を、非常に小さくすることができる。特に、液晶ディスプレイ等におけるレジスト材等の塗布に関しては、塗布膜の凹凸が微小であっても、製品の輝度に大きなバラツキ等を生じるため、塗布工具の傷を少なくすることが重要であるが、線分の長さ１００ｍｍあたり１０本以下にすることにより、塗布膜の凹凸をほとんどなくすことができる。   In addition to the operation of the invention according to claim 2, the coating tool according to the present invention is capable of performing the cleaning operation more easily because the scratches are as few as 10 or less per 100 mm in length of the line segment, and the coating liquid The influence of the coating liquid entering the flaw when changing the lot can be made very small. In particular, regarding the application of resist materials and the like in liquid crystal displays and the like, even if the unevenness of the coating film is minute, it causes a great variation in the brightness of the product, so it is important to reduce the scratches on the coating tool, By setting it to 10 or less per 100 mm in length of the line segment, the unevenness of the coating film can be almost eliminated.

請求項４に記載の発明は、請求項１記載の塗布工具であって、
少なくとも、前記スロットを画成するスロット面が、チタン合金よりも硬質の材質で形成されていることを特徴とする。 Invention of Claim 4 is an application tool of Claim 1, Comprising:
At least a slot surface defining the slot is formed of a material harder than a titanium alloy.

この発明の塗布工具では、少なくともスロット面となる全面が、チタン合金よりも硬質な材質で形成されているので、塗布液に含まれている硬質の含有物によってスロット面に筋状の傷が付きや、含有物がスロット面に突き刺さることが抑制される。   In the coating tool of the present invention, since at least the entire surface serving as the slot surface is formed of a material harder than the titanium alloy, the slot surface has a streak-like scratch due to the hard inclusions contained in the coating liquid. In addition, the inclusions are prevented from piercing the slot surface.

請求項５に記載の発明は、請求項１から３のいずれかに記載の塗布工具であって、前記ヘッド部材の前記スロットを画成するスロット面および前記開口する側の端面に、耐摩耗性および／または耐蝕性を有する層を備えることを特徴とする。   A fifth aspect of the present invention is the coating tool according to any one of the first to third aspects, wherein the slot surface defining the slot and the end surface on the opening side of the head member have wear resistance. And / or a layer having corrosion resistance.

この発明に係る塗布工具は、スロット面およびスロット面が開口する側の端面に耐摩耗性および／または耐蝕性を有する層を有しているため、耐摩耗性および／または耐蝕性がさらに向上し、洗浄作業や塗布工具の性能維持が行い易いため生産性向上、工具寿命の延長を達成することができる。   Since the coating tool according to the present invention has a slot surface and a layer having wear resistance and / or corrosion resistance on the end surface on the side where the slot surface opens, the wear resistance and / or corrosion resistance is further improved. Since it is easy to perform cleaning operations and maintain the performance of the application tool, it is possible to improve productivity and extend the tool life.

請求項６に記載の発明は、請求項４記載の塗布工具であって、
前記スロット面を形成する前記材質が、超硬合金であることを特徴とする。 Invention of Claim 6 is an application tool of Claim 4, Comprising:
The material forming the slot surface is a cemented carbide.

この発明の塗布工具では、少なくともスロット面となる全面が、超硬合金で形成されているので、ＲＺ ０．２μｍ以下の面粗度の鏡面仕上げを容易に実現することができる。
また、硬さがＨＲＡ９１前後と、チタン合金や塗布液の含有物よりも硬いので、塗布液に含まれている硬質の含有物によるスロット面への筋状の傷が付きや、含有物のスロット面への突き刺さりが抑制される。その結果、損傷箇所に塗布液が入り込むこともなくなり、塗膜層の表面に微細な筋が形成されない。 In the coating tool of the present invention, since at least the entire surface serving as the slot surface is formed of cemented carbide, mirror finishing with a surface roughness of R Z 0.2 μm or less can be easily realized.
Further, the hardness is around H R A91 and is harder than the content of the titanium alloy or the coating solution, so that the hard surface contained in the coating solution may have a streak-like scratch on the slot surface. Is prevented from sticking into the slot surface. As a result, the coating liquid does not enter the damaged portion, and fine streaks are not formed on the surface of the coating layer.

この発明に係る塗布工具及び塗布装置によれば、段取り替え作業、洗浄作業を容易に行うことができるとともに、生産性を向上し、塗布工具の寿命を延長することができる。 According to the coating tool and the coating apparatus according to the present invention, the setup change work and the cleaning work can be easily performed, the productivity can be improved, and the life of the coating tool can be extended.

以下、図面を参照し、この発明の実施の形態について説明する。
図１は、塗布工具に使用される第１の実施形態の塗布ヘッド（工具本体）１０を長手方向から見た図で、図２は図１の右側面図、図３は図２のＢ−Ｂ断面図である。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
FIG. 1 is a view of a coating head (tool body) 10 of a first embodiment used for a coating tool as viewed from the longitudinal direction, FIG. 2 is a right side view of FIG. 1, and FIG. It is B sectional drawing.

この塗布ヘッド１０は、一対のヘッド部材１６，１８の対向する側面（以下、スロット面という）１７、１９が一定の間隙を有して配設されることでスロット１４を画成しており、スロット１４は、塗布ヘッド１０の先端で開口している。ヘッド部材１６、１８は、スロット１４が開口する部分で突出して、先端面１７ｅ、１９ｅが形成され、その先端面１７ｅ、１９ｅで塗布剤を塗布するようになっている。   The coating head 10 defines a slot 14 by arranging opposing side surfaces (hereinafter referred to as slot surfaces) 17 and 19 of a pair of head members 16 and 18 with a certain gap, The slot 14 is opened at the tip of the coating head 10. The head members 16 and 18 protrude at a portion where the slot 14 is opened to form front end surfaces 17e and 19e, and a coating agent is applied to the front end surfaces 17e and 19e.

塗布ヘッド１０を構成するヘッド部材１６は、スロット面１７に、長手方向に向けて半円形状に形成された凹溝１１が設けられ、凹溝を有さないヘッド部材１８とによってポケット１５が画成されている。
また、ポケット１５には、塗布液を供給する供給口（図示せず）が連通して設けられており、図１においてはスロット１４およびポケット１５が塗布ヘッド１０の側方に開口しているが、スロット１４およびポケット１５の端部は封止される構成となっている。
図３に示すように、ヘッド部材１６、１８は、凹溝１１より基端側に位置する内側面１６ｃ、１８ｃが互いに密着するように、結合ボルト２０によって結合されている。 The head member 16 constituting the coating head 10 is provided with a concave groove 11 formed in a semicircular shape in the longitudinal direction on the slot surface 17, and the pocket 15 is defined by the head member 18 having no concave groove. It is made.
The pocket 15 is provided with a supply port (not shown) for supplying a coating liquid, and the slot 14 and the pocket 15 are open to the side of the coating head 10 in FIG. The ends of the slot 14 and the pocket 15 are sealed.
As shown in FIG. 3, the head members 16, 18 are coupled by the coupling bolt 20 so that the inner side surfaces 16 c, 18 c positioned on the proximal end side from the concave groove 11 are in close contact with each other.

ヘッド部材１６，１８は、α＋β型チタン合金の一種であるＴｉ−６Ａｌ−４Ｖ（チタン合金）で、密度４．４３ｇ／ｃｍ３、線膨張係数８．６μｍ／ｍ・Ｋ、ヘッド部材の全領域の硬度分布がＨＲＣ３以下のもので製作されている。
そして、スロット面１７，１９および先端面１７ｅ、１９ｅは研磨加工によって鏡面（ＲＺ０．２μｍ以下）仕上げが施されている。また、スロット面１７、１９は、その表面全領域において、実体顕微鏡（６０倍）により、長さ１００ｍｍの線分上を通過する傷が１０本以下になるように鏡面仕上げされている。ここで、傷とは、面粗さ計（ＪＩＳ Ｂ０６０１）によって検出される深さ０．２μｍから１．０μｍの凹をいう。傷の深さを、０．２μｍから１．０μｍのものとしたのは、この範囲の傷への塗布液の入り込みが塗布性能または洗浄に大きく影響するからである。 The head members 16 and 18 are Ti-6Al-4V (titanium alloy) which is a kind of α + β type titanium alloy, the density is 4.43 g / cm 3 , the linear expansion coefficient is 8.6 μm / m · K, and the entire area of the head member. Is manufactured with a hardness distribution of H R C3 or less.
The slot surfaces 17 and 19 and the tip surfaces 17e and 19e are mirror-finished (R Z 0.2 μm or less) by polishing. In addition, the slot surfaces 17 and 19 are mirror-finished over the entire surface area by a stereomicroscope (60 times) so that the number of scratches passing on a line segment having a length of 100 mm is 10 or less. Here, the scratch means a recess having a depth of 0.2 μm to 1.0 μm detected by a surface roughness meter (JIS B0601). The reason why the depth of the scratch is 0.2 μm to 1.0 μm is that the penetration of the coating liquid into the scratch in this range greatly affects the coating performance or cleaning.

上述したように形成された塗布ヘッド１０を備えた塗布工具の使用方法について説明する。
塗布ヘッド１０を備えた塗布工具は、塗布装置に装着されて塗布作業に用いられる。塗布作業において、塗布装置から塗布液が供給され、塗布液はポケット１５に充満することで塗布ヘッド１０の長手方向に広がり、スロット１４を通過して塗布ヘッド１０の先端、つまりスロット１４の開口端から吐出され、この塗布ヘッド１０のスロット先端面１７ｅ、１９ｅに対して相対的に移動するシート状部材Ｓ（図５参照）または、パネル状部材Ｐ（図６参照）に塗布される。 A method of using the coating tool including the coating head 10 formed as described above will be described.
The coating tool provided with the coating head 10 is mounted on a coating apparatus and used for coating work. In the coating operation, the coating liquid is supplied from the coating device, and the coating liquid fills the pocket 15 and spreads in the longitudinal direction of the coating head 10, passes through the slot 14, and is the tip of the coating head 10, that is, the open end of the slot 14. Is applied to the sheet-like member S (see FIG. 5) or the panel-like member P (see FIG. 6) which moves relative to the slot front end surfaces 17e and 19e of the coating head 10.

このような塗布作業において、スロット面１７、１９は上述の特性を有したチタン合金で形成されているので、塗布液に硬い含有物が含まれていたとしても、スロット面１７、１９に損傷が生じることを抑制することができ、損傷が生じた場合であっても、チタンの化学的活性により、発生した傷部分に安定な酸化皮膜が形成されるため、腐食が進行し難く傷に対しての寿命延長が実現できる。
表１に示したのは、水酸化ナトリウムの５％水溶液に、常温（２０℃〜２５℃）にて、チタン合金（Ｔｉ６Ａｌ４Ｖ）、ステンレス（ＳＵＳ６３０）、ＷＣ−Ｃｏ−Ｃｒ系超硬合金を浸漬させて、腐食の程度を中央線平均粗さ（Ｒａ）を代用特性として比較したものである。この、比較実験によると、チタン合金、超硬合金はステンレスの約半分の腐食しか発生しないことがわかる。 In such a coating operation, since the slot surfaces 17 and 19 are formed of a titanium alloy having the above-described characteristics, the slot surfaces 17 and 19 are damaged even if the coating liquid contains a hard material. Even when damage occurs, a stable oxide film is formed on the generated scratched part due to the chemical activity of titanium, so that corrosion does not easily proceed and Can extend the service life.
Table 1 shows immersion of titanium alloy (Ti6Al4V), stainless steel (SUS630), and WC-Co-Cr cemented carbide in a 5% aqueous solution of sodium hydroxide at room temperature (20 ° C to 25 ° C). Thus, the degree of corrosion is compared using the center line average roughness (Ra) as a substitute characteristic. According to this comparative experiment, it can be seen that the titanium alloy and the cemented carbide only generate about half the corrosion of stainless steel.

Figure 2005052820
Figure 2005052820

損傷箇所に塗布液が入り込まないので洗浄作業を容易に行うことができる。
また、このように耐久性が向上して損傷が生じないので、塗布された塗布液によって形成される塗膜層の表面に微細な筋が形成されるのが防止される。
また、ヘッド部材１６、１８が一体的に形成されていて、部材間の隙間がないため塗布液の流動抵抗が少なく、塗布液の入り込みがないので、洗浄作業が容易になる。
また、スロット面１７、１９およびスロット先端面１７ｅ、１９ｅ等、塗布液の流通部が適度な撥水性を有しているため、塗布性能が好適となり塗布作業の生産性を向上することができる。 Since the coating liquid does not enter the damaged portion, the cleaning operation can be easily performed.
Further, since durability is improved and damage does not occur in this way, formation of fine streaks on the surface of the coating film layer formed by the applied coating solution is prevented.
Further, since the head members 16 and 18 are integrally formed and there is no gap between the members, the flow resistance of the coating liquid is small and the coating liquid does not enter, so that the cleaning operation is facilitated.
Further, since the coating liquid circulation portions such as the slot surfaces 17 and 19 and the slot front end surfaces 17e and 19e have an appropriate water repellency, the coating performance is favorable and the productivity of the coating operation can be improved.

以上説明したように、この実施の形態に係る塗布工具によれば、ヘッド部材１６、１８が、機械的性質が優れ密度が小さいチタン合金で一体的に形成されて、軽量であるので、段取り替え作業、洗浄作業にともなう作業を容易に行うことができる。
また、最密六方格子で機械的特性が良好なα相と、熱処理性等の加工性が良好なβ相との、双方の特徴を併せ持つα＋β型チタン合金を材料としているため、精度の高いヘッド部材を容易に製作することができる。
また、線膨張係数が小さいので、高精度な加工を容易に行い、使用時の温度による影響を受け難く塗布性能を向上することができる。さらに、ヘッド部材１６，１８が軽量なので、長手方向に長く形成されて塗布幅の広い場合、自重によるスロット１４の撓み変形が抑制され、塗布液を均一に塗布できる。 As described above, according to the coating tool according to this embodiment, the head members 16 and 18 are integrally formed of a titanium alloy having excellent mechanical properties and low density, and are lightweight. The work associated with the work and the cleaning work can be easily performed.
In addition, the head is highly accurate because it is made of an α + β-type titanium alloy that has both the characteristics of a close-packed hexagonal lattice and good mechanical properties, and a β-phase with good workability such as heat treatment. The member can be easily manufactured.
In addition, since the linear expansion coefficient is small, highly accurate processing can be easily performed, and the coating performance can be improved without being affected by the temperature during use. Further, since the head members 16 and 18 are lightweight, when the coating member is formed long in the longitudinal direction and has a wide coating width, the deformation deformation of the slot 14 due to its own weight is suppressed, and the coating liquid can be uniformly coated.

また、ヘッド部材１６、１８全体にわたり硬度分布をＨＲＣ３以下に抑えているため、切削による内部応力発生の抑制とともに、研磨加工における応力解放を抑制し、真直度５μｍ以下／ｍ、例えば真直度４μｍ／ｍを達成することができ、さらに使用する際の経年変化による精度劣化を防止することができる。
また、真直度５μｍ以下／ｍという高精度のヘッド部材を形成できるため、今後の塗布工具の大型化に際してヘッド部材１６、１８の長さが１メートル以上になった場合にも、精度の高いヘッド部材１６、１８を低コストにて製作することができる。
また、スロット面１７、１９が鏡面仕上げしたチタン合金で形成されているので、適度な撥水性を有し、洗浄作業の容易化に加えて、好適な塗布性能を有するので塗布作業の生産性を向上することができる。
また、ヘッド部材１６、１８の耐摩耗性および耐蝕性が高く、スロット面１７、１９が損傷され難いので保守作業、洗浄作業を容易に行うことができ、性能が維持し易いので工具寿命を延長することができる。 Further, since the hardness distribution is suppressed to H R C3 or less throughout the head members 16 and 18, generation of internal stress due to cutting is suppressed and stress release in polishing is suppressed, and straightness is 5 μm or less / m, for example, straightness 4 μm / m can be achieved, and accuracy deterioration due to secular change during use can be prevented.
In addition, since a highly accurate head member with a straightness of 5 μm or less / m can be formed, even when the length of the head members 16 and 18 becomes 1 meter or more when the coating tool is enlarged in the future, a highly accurate head The members 16 and 18 can be manufactured at low cost.
In addition, since the slot surfaces 17 and 19 are made of a mirror-finished titanium alloy, they have moderate water repellency and, in addition to facilitating the cleaning operation, have a suitable application performance, thereby improving the productivity of the application operation. Can be improved.
Further, the wear and corrosion resistance of the head members 16 and 18 are high, and the slot surfaces 17 and 19 are not easily damaged. Therefore, maintenance work and cleaning work can be easily performed, and the performance can be easily maintained, thereby extending the tool life. can do.

また、このような塗布ヘッド１０が装着される塗布装置の剛性を低く設計することができ、塗布ヘッド１０を駆動させるための駆動手段としても小型のモータを使用することができる。つまり、塗布ヘッド１０を大型化しても塗布装置の大型化を抑制することができ、コストダウンを図ることができる。また、塗布工具１０が軽量化されることによって、塗布工具を取り扱うハンドリング装置などが不要となり、洗浄作業に伴う分解作業や、洗浄作業を短時間に容易に行うことができる。   Further, the rigidity of the coating apparatus to which such a coating head 10 is mounted can be designed to be low, and a small motor can be used as a driving means for driving the coating head 10. That is, even if the coating head 10 is increased in size, the increase in the size of the coating apparatus can be suppressed, and the cost can be reduced. Further, since the weight of the application tool 10 is reduced, a handling device for handling the application tool is not necessary, and the disassembly operation and the cleaning operation associated with the cleaning operation can be easily performed in a short time.

図４は、本発明の第２の実施形態に係る塗布ヘッド１０の要部を示す図である。この第２の実施形態において、第１の実施形態と同様の部分については、同一の符合を用いてその説明を省略する。
第２の実施形態が、上述した第１の実施形態と異なるのは、スロット面１７、１９およびスロット先端面１７ｅ、１９ｅにＴｉＣ（チタンカーバイト）を表面処理により、耐摩耗性および耐蝕性を有する層（以下、表面処理層という）１７ｆ、１９ｆとして形成し、鏡面仕上げをしている点である。 FIG. 4 is a diagram showing a main part of the coating head 10 according to the second embodiment of the present invention. In the second embodiment, the same reference numerals are used for the same parts as in the first embodiment, and the description thereof is omitted.
The second embodiment is different from the first embodiment described above in that the surface of the slots 17 and 19 and the end surfaces 17e and 19e of the slots are made of TiC (titanium carbide) to provide wear resistance and corrosion resistance. It is the point which is formed as the layer (henceforth a surface treatment layer) 17f and 19f which have, and is mirror-finished.

この第２の実施形態においても、上述した第１の実施形態と同様の効果を得ることができ、さらに、スロット面１７、１９およびスロット先端面１７ｅ、１９ｅに、表面処理層１７ｆ、１９ｆを形成することにより、スロット面１７、１９およびスロット先端面１７ｅ、１９ｅの傷付きや摩耗が減少し、ヘッド部材の製作当初の性能を維持することが容易となり、塗布工具としての寿命延長や保守、分解整備に要する手間およびコストが削減できる。   In the second embodiment, the same effects as those of the first embodiment described above can be obtained, and surface treatment layers 17f and 19f are formed on the slot surfaces 17 and 19 and the slot front end surfaces 17e and 19e. By doing so, the scratches and wear of the slot surfaces 17 and 19 and the slot front end surfaces 17e and 19e are reduced, and it becomes easy to maintain the original performance of the head member. The labor and cost required for maintenance can be reduced.

なお、本実施の形態においては、塗布ヘッド１０のポケット１５が、半円形状の場合について説明したが、ポケット１５の形状については、円形状、水滴形状または、スロットに接しない角部分にＲ等の緩やかな形状を設けた矩形形状など、半円形状以外の形状を用いてもよい。
また、スロット面１７，１９に形成する表面処理層の材料として、ＴｉＣを使用した場合について説明したが、材料としてＴｉＮ（窒化チタン）を使用してもよいし、ヘッド部材を構成するチタン合金の表面を電解インプロセスドレッシング研削等によって、ヘッド部材１６、１８の表面に安定な酸化皮膜層を形成させることにより表面処理層を形成させてもよい。ここで、電解インプロセスドレッシング研削とは、鋳鉄、コバルトを主成分としたボンド材と砥粒を焼結したメタルボンド砥石を陽極とし、これに対向して設けた陰極との間に直流パルス電流を供給して、電解作用により砥石の金属ボンド部のみを選択的に除去し、目詰まり等による砥石の切れ味低下を抑制して、高効率な鏡面研削作業を行う研削をいい、その副次的作用として被研磨材表面に安定した酸化皮膜を得ることができる。
また、被塗布部材はシート状部材Ｓに限られずに、たとえば電子基板などのパネル状部材に塗布液を塗布する塗布工具に本発明を用いてもよい。 In the present embodiment, the case where the pocket 15 of the coating head 10 has a semicircular shape has been described. However, the pocket 15 may have a circular shape, a water droplet shape, or R or the like at a corner portion that does not contact the slot. A shape other than a semicircular shape such as a rectangular shape having a gentle shape may be used.
Moreover, although the case where TiC was used as the material of the surface treatment layer formed on the slot surfaces 17 and 19 was described, TiN (titanium nitride) may be used as the material, or the titanium alloy constituting the head member. The surface treatment layer may be formed by forming a stable oxide film layer on the surface of the head members 16, 18 by electrolytic in-process dressing grinding or the like. Here, electrolytic in-process dressing grinding is a direct current pulse current between a bond material mainly composed of cast iron and cobalt and a metal bond grindstone obtained by sintering abrasive grains, and a cathode provided opposite thereto. Grinding that performs high-efficiency mirror-grinding work by selectively removing only the metal bond part of the grindstone by electrolysis, suppressing the sharpness reduction of the grindstone due to clogging, etc. As a function, a stable oxide film can be obtained on the surface of the material to be polished.
Further, the member to be applied is not limited to the sheet-like member S, and the present invention may be used for an application tool for applying an application liquid to a panel-like member such as an electronic substrate.

図５は、本発明の第３の実施形態に係る塗布ヘッド１０の要部を示す図である。この第２の実施形態において、第１の実施形態と同様の部分については、同一の符合を用いてその説明を省略する。
スロット部材２１，２３は、超硬合金製の断面略長方形の板状部材で、スロット部材２３の基端側部分が凹溝１１に対向するように形成されており、スロット部材２３はスロット部材２１より基端方向に長く形成されている。また、スロット部材２１，２３は、互いに対向する側面がスロット１４を画成するスロット面１７，１９とされ、スロット面１７，１９は一定の間隔を有するように配設されている。
また、ポケット１５は対向する凹溝１１とスロット部材２３の基端側部分によって画成されている。 FIG. 5 is a diagram showing a main part of the coating head 10 according to the third embodiment of the present invention. In the second embodiment, the same reference numerals are used for the same parts as in the first embodiment, and the description thereof is omitted.
The slot members 21 and 23 are cemented carbide plate-like members having a substantially rectangular cross section, and are formed so that the base end side portion of the slot member 23 faces the concave groove 11. It is formed longer in the proximal direction. The slot members 21 and 23 have side surfaces facing each other as slot surfaces 17 and 19 that define the slot 14, and the slot surfaces 17 and 19 are arranged so as to have a constant interval.
The pocket 15 is defined by the concave groove 11 and the base end side portion of the slot member 23 facing each other.

この実施の形態の塗布工具によれば、スロット面１７，１９がチタン合金よりも硬質な材質で形成されているので、塗布液にカーボン繊維やガラス繊維などの硬質な含有物が含まれて、チタン合金の部位に損傷が生じるような事態が発生しても、超硬合金で形成されたスロット面に傷付き等が発生するのを抑制することができる。また、スロット面１７，１９の洗浄作業においても含有物による損傷を抑制することができ、損傷箇所に塗布液が入り込むことがないので容易に洗浄作業を行うことができる。   According to the coating tool of this embodiment, since the slot surfaces 17 and 19 are formed of a material harder than the titanium alloy, the coating liquid contains hard inclusions such as carbon fiber and glass fiber, Even if a situation occurs in which a portion of the titanium alloy is damaged, it is possible to prevent the slot surface formed of the cemented carbide from being damaged. In addition, damage due to inclusions can be suppressed in the cleaning operation of the slot surfaces 17 and 19, and since the coating liquid does not enter the damaged portion, the cleaning operation can be easily performed.

また、チタン合金製のヘッド部材１６，１８に超硬合金製のスロット部材２１，２３が装着されて構成されているので、上述したような効果を得られるとともに塗布ヘッド１０全体として軽量化を図ることができる。つまり、上述したような効果を得るためにヘッド部構成体１２，１３全体を超硬合金で形成した場合より、軽量な塗布ヘッド１０を構成することができる。   Further, since the cemented carbide alloy slot members 21 and 23 are mounted on the titanium alloy head members 16 and 18, the above-described effects can be obtained and the coating head 10 as a whole can be reduced in weight. be able to. In other words, in order to obtain the above-described effects, it is possible to configure the coating head 10 that is lighter than in the case where the entire head portion constituting bodies 12 and 13 are formed of cemented carbide.

また、３つ以上のヘッド部構成体を用いて２つ以上のスロットを有した塗布ヘッドを構成することにより、シート状部材Ｓの表面に複数の塗膜層を同時に形成可能とした塗布工具に本発明を用いてもよい。
また、被塗布部材はシート状部材Ｓに限られずに、たとえば電子基板などのパネル状部材に塗布液を塗布する塗布工具に本発明を用いてもよく、また、固定された状態のシート状部材やパネル状部材に対して塗布工具が移動する構成としてもよい。 In addition, a coating tool capable of simultaneously forming a plurality of coating layers on the surface of the sheet-like member S by configuring a coating head having two or more slots using three or more head unit structures. The present invention may be used.
Further, the member to be coated is not limited to the sheet-like member S, and the present invention may be used for a coating tool for applying a coating liquid to a panel-like member such as an electronic substrate, and the sheet-like member in a fixed state. Alternatively, the application tool may move with respect to the panel-like member.

本発明の第１の実施形態における塗布工具に使用される工具本体の側面図である。It is a side view of the tool main body used for the coating tool in the 1st Embodiment of this invention. 図１に示す工具本体の右側面図である。It is a right view of the tool main body shown in FIG. 図２のＢ−Ｂ断面図である。It is BB sectional drawing of FIG. 本発明の第２の実施形態における塗布工具に使用される工具本体側面の要部を示す図である。It is a figure which shows the principal part of the tool main body side surface used for the coating tool in the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第３の実施形態における塗布工具に使用される工具本体側面の要部を示す図である。It is a figure which shows the principal part of the tool main body side surface used for the coating tool in the 3rd Embodiment of this invention. 従来の工具本体を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the conventional tool main body. 従来の工具本体を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the conventional tool main body.

符号の説明Explanation of symbols

１０ 工具本体（塗布ヘッド）
１１ 凹溝
１４ スロット
１５ ポケット
１６、１８ ヘッド部材
１７、１９ スロット面
１７ｅ、１９ｅ スロット先端面（開口する側の端面）
１７ｆ、１９ｆ 表面処理層（耐摩耗性および／または耐蝕性を有する層）
２１、２３ スロット部材

10 Tool body (coating head)
11 Concave groove 14 Slot 15 Pocket 16, 18 Head member 17, 19 Slot surface 17e, 19e Slot front end surface (end surface on the opening side)
17f, 19f Surface treatment layer (layer having wear resistance and / or corrosion resistance)
21, 23 Slot member

Claims (6)

複数のヘッド部材から構成された塗布ヘッドを有し、前記複数のヘッド部材における互いに対向する側面同士の間に、前記塗布ヘッドの先端に開口する溝状のスロットが画成され、塗布液が前記スロット内を流通して前記塗布ヘッドの先端から吐出される塗布工具であって、
前記ヘッド部材の材質が、チタン合金であることを特徴とする塗布工具。 A plurality of head members each having a coating head, a groove-like slot opening at a tip of the coating head is defined between the mutually facing side surfaces of the plurality of head members; An application tool that circulates in the slot and is discharged from the tip of the application head,
A coating tool, wherein the material of the head member is a titanium alloy. 請求項１に記載の塗布工具であって、
前記チタン合金は、
密度；４．３ｇ／ｃｍ３から４．７ｇ／ｃｍ３
線膨張係数；８．５から９．０μｍ／ｍ・Ｋ
全領域の硬度分布；ＨＲＣ３以下の特性を有し、
かつ、前記スロットの表面全領域において、長さ１００ｍｍの線分上を通過する深さ０．２μｍから１．０μｍの傷が５０本以下であることを特徴とする塗布工具。 The application tool according to claim 1,
The titanium alloy is
Density: 4.3 g / cm 3 to 4.7 g / cm 3
Linear expansion coefficient: 8.5 to 9.0 μm / m · K
Hardness distribution in the whole region; having a characteristic of H R C3 or lower,
In addition, in the entire surface area of the slot, there are 50 or less scratches having a depth of 0.2 μm to 1.0 μm passing through a line segment having a length of 100 mm. 請求項２に記載の塗布工具であって、
前記スロットの表面全領域において、長さ１００ｍｍの線分上を通過する深さ０．２μｍから１．０μｍの傷が１０本以下であることを特徴とする塗布工具。 The application tool according to claim 2,
The coating tool according to claim 1, wherein there are not more than 10 scratches having a depth of 0.2 μm to 1.0 μm passing through a line segment having a length of 100 mm in the entire surface area of the slot. 請求項１記載の塗布工具であって、
少なくとも、前記スロットを画成するスロット面が、チタン合金よりも硬質の材質で形成されていることを特徴とする塗布工具。 The application tool according to claim 1,
At least a slot surface defining the slot is formed of a material harder than a titanium alloy. 請求項１から４のいずれかに記載の塗布工具であって、
前記ヘッド部材の前記スロットを画成するスロット面および前記開口する側の端面に、耐摩耗性および／または耐蝕性を有する層を備えることを特徴とする塗布工具。 The application tool according to any one of claims 1 to 4,
A coating tool comprising a layer having wear resistance and / or corrosion resistance on a slot surface defining the slot of the head member and an end surface on the opening side. 請求項４記載の塗布工具であって、
前記スロット面を形成する前記材質が、超硬合金であることを特徴とする塗布工具。 The application tool according to claim 4,
An application tool, wherein the material forming the slot surface is a cemented carbide.
JP2004094556A 2003-07-02 2004-03-29 Coating tool and coating device Pending JP2005052820A (en)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004094556A JP2005052820A (en) 2003-07-02 2004-03-29 Coating tool and coating device
PCT/JP2004/004671 WO2005002740A1 (en) 2003-07-02 2004-03-31 Coating tool
KR1020057024676A KR100762774B1 (en) 2003-07-02 2004-03-31 Coating tool
TW093109360A TW200507949A (en) 2003-07-02 2004-04-05 A coating tool

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003190610 2003-07-02
JP2003201086 2003-07-24
JP2004094556A JP2005052820A (en) 2003-07-02 2004-03-29 Coating tool and coating device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2005052820A true JP2005052820A (en) 2005-03-03

Family

ID=33568351

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004094556A Pending JP2005052820A (en) 2003-07-02 2004-03-29 Coating tool and coating device

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP2005052820A (en)
KR (1) KR100762774B1 (en)
TW (1) TW200507949A (en)
WO (1) WO2005002740A1 (en)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008238124A (en) * 2007-03-28 2008-10-09 Fujifilm Corp Coating head, its manufacturing method and coating device
WO2012050111A1 (en) * 2010-10-13 2012-04-19 東京応化工業株式会社 Coating device and coating method
JP2013071056A (en) * 2011-09-28 2013-04-22 Dainippon Screen Mfg Co Ltd Slit nozzle and substrate processing device
WO2017026153A1 (en) * 2015-08-11 2017-02-16 三菱マテリアル株式会社 Coating tool

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101201937B1 (en) * 2010-02-26 2012-11-16 고려대학교 산학협력단 Design method of Internal Die Structure and Slit Coating Die Apparatus for Uniform Coating of MEA in PEMFC
KR101488749B1 (en) * 2014-06-11 2015-02-09 주식회사 서머텍 코리아 Repair method of a slit nozzle for display panel coating and the slit nozzle for display panel coating
KR101860082B1 (en) * 2017-02-16 2018-05-21 주식회사 탑앤씨 Slot die device with reinforced part

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2817053B2 (en) * 1989-04-06 1998-10-27 富士写真フイルム株式会社 Coating device
JPH06121953A (en) * 1992-09-16 1994-05-06 Mitsubishi Kasei Corp Die for coating having ceramics coating layer
JPH08323266A (en) * 1995-06-01 1996-12-10 Konica Corp Coating method and coating apparatus
JP2000140739A (en) * 1998-11-10 2000-05-23 Canon Inc Sheet coating apparatus, coating by using the same and production of color filter
JP4862222B2 (en) * 2001-05-22 2012-01-25 大日本印刷株式会社 Coating nozzle and coating apparatus using the same
KR200317426Y1 (en) * 2003-03-11 2003-06-25 주식회사 영화의료기산업 Generation of heat cord for electric heat mat

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008238124A (en) * 2007-03-28 2008-10-09 Fujifilm Corp Coating head, its manufacturing method and coating device
WO2012050111A1 (en) * 2010-10-13 2012-04-19 東京応化工業株式会社 Coating device and coating method
JP2012081428A (en) * 2010-10-13 2012-04-26 Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd Coating apparatus and coating method
US9299874B2 (en) 2010-10-13 2016-03-29 Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. Coating apparatus and coating method
JP2013071056A (en) * 2011-09-28 2013-04-22 Dainippon Screen Mfg Co Ltd Slit nozzle and substrate processing device
WO2017026153A1 (en) * 2015-08-11 2017-02-16 三菱マテリアル株式会社 Coating tool
JP2017035664A (en) * 2015-08-11 2017-02-16 三菱マテリアル株式会社 Coating tool

Also Published As

Publication number Publication date
TWI313622B (en) 2009-08-21
KR100762774B1 (en) 2007-10-04
TW200507949A (en) 2005-03-01
KR20060028771A (en) 2006-04-03
WO2005002740A1 (en) 2005-01-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE60133231T2 (en) polishing process
JP2008200800A (en) Polishing method for disc-like substrate and grinding device
JP6773103B2 (en) Scribe method and scribe head unit for brittle material substrates
JP5305698B2 (en) Method for manufacturing glass substrate for magnetic disk, method for manufacturing magnetic disk, and glass substrate for magnetic disk
JP2000343025A (en) Scraping blade for printing and working method thereof
JP2005052820A (en) Coating tool and coating device
KR20140067886A (en) The polishing apparatus and the polishing methdo for polishing the peripheral edge of the work, etc by the polishing tape
JP2007021415A (en) Coating tool
JP2015104771A (en) Manufacturing method of glass substrate for magnetic disk and carrier for polishing treatment
JP6265127B2 (en) Method for producing cylindrical nanoimprint mold and method for producing regenerated mold for nanoimprint
US20060000809A1 (en) Glass substrate for information recording media and its fabricating method
JP2017196758A (en) Scribe head unit
JP4601918B2 (en) COATING DIE HEAD, COATING DEVICE, AND METHOD FOR PRODUCING COATING DIE HEAD
JP4794602B2 (en) Grinding wheel tip and grinding wheel using this grinding wheel tip
JP2007098484A (en) Glass substrate for magnetic disk and manufacturing method of magnetic disk
JP2010131695A (en) Disk material polishing method, disk material polishing device, disk material, substrate for magnetic disk, and magnetic disk
CN100473467C (en) Coating tool
JP2003211333A (en) Sliding guide structure for machine tool
JP2004261678A (en) Coating application tool and coating applicator
JP5838860B2 (en) Method for producing mirror-finished aluminum material and mirror-finished aluminum material obtained by this method
JP5121304B2 (en) Polishing method and polishing apparatus
JP2009078221A (en) Die head
JP2011218464A (en) Method of manufacturing doctor
JP2006218556A (en) Grinding method
JPS62246419A (en) Electrolytic grinding method for zirconium or zirconium alloy

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20060331

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090623

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20090818

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20100202