JP2005050767A - マイクロリレー - Google Patents
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Abstract
【解決手段】このマイクロリレーは、接点基板1とアーマチュアブロック2とコイル基板3とを備える。接点基板1は、ガラス基板からなり一面に固定接点14A,14Bが形成されている。アーマチュアブロック2は、シリコンからなり、アーマチュア基板20及びアーマチュア基板を揺動自在に支持するフレーム21を一体に備えている。コイル基板3は、ガラス基板からなり一面にコイル30A,30Bが形成されている。可動接点22は、アーマチュア基板20の一面に設けられる。磁性体23は、可動接点22の反対側となるアーマチュア基板20の一面に設けられてアーマチュア200を構成する。そして、上記コイルと磁性体とが対向するようにコイル基板3にフレーム21が接合され、上記可動接点と固定接点とが対向するようにフレーム21に接点基板1が接合される。
【選択図】図1
Description
各電気経路100A,100B,111A,111Bは、クロム、チタン、白金、コバルト、ニッケル、金、金とコバルトの合金、又はこれらの合金等からなり、めっき、蒸着、スパッタ等により形成されている。
2 アーマチュアブロック
3 コイル基板
4 ヨーク
5 永久磁石
10A,10B 接点用スルーホール
11A,11B パッド用スルーホール
12 ランド
13 バンプ
14A,14B 固定接点
15A,15B 電極パッド
16 金属バンプ
20 アーマチュア基板
21 フレーム
22 可動接点
23 磁性体
24 弾性片
30A,30B コイル
31A,31B 電極パッド
200 アーマチュア
Claims (5)
- シリコンとガラスの何れか一方からなり一面に固定接点が形成された接点基板と、
シリコンからなり、アーマチュア基板及びアーマチュア基板の全周を包囲してアーマチュア基板を揺動自在に支持するフレームを一体に備えたアーマチュアブロックと、
シリコンとガラスの何れか一方からなり一面にコイルが形成されたコイル基板と、
上記コイルの反対側となる上記コイル基板の一面に配設され、上記コイルに通電したときに生じる磁界の磁路を形成するヨークと、
上記アーマチュア基板の一面に設けられ上記固定接点と接離自在な可動接点と、
上記可動接点の反対側となる上記アーマチュア基板の一面に設けられてアーマチュアを構成する磁性体とを備え、
上記コイルと上記磁性体とが対向するように上記コイル基板に上記フレームが接合され、上記可動接点と上記固定接点とが対向するように上記フレームに上記接点基板が接合されてなることを特徴とするマイクロリレー。 - 請求項1に記載のマイクロリレーにおいて、
上記接点基板および上記コイル基板それぞれの対向する面に電極パッドを設け、何れか一方の電極パッドはさらに金属の突起部を有し、上記突起部は、その先端が上記アーマチュア基板と上記フレームとの間を通過して他方の電極パッドに接触していることを特徴とする。 - 請求項2に記載のマイクロリレーにおいて、さらに
上記接点基板の上下両面に貫通し、内面に、マイクロリレーを実装するプリント基板の電気回路と上記固定接点とを電気接続するための電気経路が形成された接点用スルーホールと、
上記接点基板の上下両面に貫通し、内面に、上記電気回路と上記接点基板に設けられた上記電極パッドとを電気接続するための電気経路が形成されたパッド用スルーホールとを備えると共に、上記コイル基板に設けられた上記電極パッドと上記コイルとを電気接続することを特徴とする。 - 請求項3に記載のマイクロリレーにおいて、
上記接点用スルーホール及び上記パッド用スルーホールの外面に面した開口にバンプを設けたことを特徴とする。 - 請求項1乃至4の何れかに記載のマイクロリレーにおいて、
上記アーマチュア基板に、上記磁性体との接触面積を減らす凹部を設けたことを特徴とする。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2003284186A JP4069827B2 (ja) | 2003-07-31 | 2003-07-31 | マイクロリレー |
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JP2005050767A true JP2005050767A (ja) | 2005-02-24 |
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WO2010074221A1 (ja) * | 2008-12-26 | 2010-07-01 | パナソニック電工株式会社 | マイクロリレー |
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JP4069827B2 (ja) | 2008-04-02 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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