JP2005049009A - 加熱装置 - Google Patents
加熱装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005049009A JP2005049009A JP2003281007A JP2003281007A JP2005049009A JP 2005049009 A JP2005049009 A JP 2005049009A JP 2003281007 A JP2003281007 A JP 2003281007A JP 2003281007 A JP2003281007 A JP 2003281007A JP 2005049009 A JP2005049009 A JP 2005049009A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heating
- heated
- microwave
- heating furnace
- temperature
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02B—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO BUILDINGS, e.g. HOUSING, HOUSE APPLIANCES OR RELATED END-USER APPLICATIONS
- Y02B40/00—Technologies aiming at improving the efficiency of home appliances, e.g. induction cooking or efficient technologies for refrigerators, freezers or dish washers
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P10/00—Technologies related to metal processing
- Y02P10/25—Process efficiency
Landscapes
- Control Of High-Frequency Heating Circuits (AREA)
- Constitution Of High-Frequency Heating (AREA)
- Tunnel Furnaces (AREA)
- Waste-Gas Treatment And Other Accessory Devices For Furnaces (AREA)
- Furnace Details (AREA)
Abstract
【解決手段】 被加熱物Wを所定の処理温度に昇温する働きを担う第1の加熱炉1と、被加熱物Wを所定の処理温度に保持する第2の加熱炉2を用い、短時間に効率よく多くの加熱処理を行うことができる。加熱装置は、加熱炉1,2内にシート状被加熱物Wを順次通過させる移送手段3を具備する。第1の加熱炉1はマイクロ波共振空胴4には、導波管6からマイクロ波が導入され、内部にz方向に一定の電界が生じる。共振空胴4内に導かれたマイクロ波を被加熱物Wに照射するために、入口7aと出口8aを通して被加熱物Wをx方向に移動させる。被加熱物Wは、加熱炉1内において短時間で急速に加熱され、均一に所定の処理温度に達するので、加熱処理量の増加が図れる。
【選択図】図1
Description
例えば、セラミックグリーンシートをマイクロ波加熱乾燥装置で乾燥させる技術が特許文献1に記載されている。これは、乾燥前のセラミックグリーンシートを、温風が流れる加熱乾燥装置内をベルトに乗せて移送する間に、マイクロ波を上方から照射して乾燥させるものである。しかしながら、この方式は、マイクロ波の波長に対応する多くの山と谷があるような高次のモードの波を照射しシートの移動に伴ってほぼ均一な加熱を得ることを意図するものであり、また、シート面上のマイクロ波電界強度自体が必ずしも大きくないので、均一で効率の良いマイクロ波加熱を得ることは出来ず、熱風との併用で乾燥の目的を果たしているにすぎない。このようなマイクロ波加熱を以下、従来のマイクロ波加熱と呼ぶことにする。一般に従来のマイクロ波加熱方式では、加熱物が薄いシート状の場合には、そのシートの厚さが薄いことから、シートに吸収されるマイクロ波電力が少なくなってくるので、効率よく加熱することは難しい。
特許文献2には、マイクロ波の強度をリング共振器を用いて増強する例が記載されている。マイクロ波はこのリング状の伝送回路に結合され何度も迂回して、リング迂回部で増強される。シートはこの迂回部分を通過する。しかしながら、この方式では、マイクロ波源が接続されている主回路から一部のマイクロ波のみがリング迂回部に結合され、また、リング迂回部に結合されたマイクロ波の一部がリング迂回部を一回りした後、元の主回路に戻されるので、かなりの部分のマイクロ波は主回路の終端に接続されたダミーで消費されてしまい、加熱に関与しない。したがって効率が良くない。このため、マイクロ波によるさらに高効率で均一な加熱を望む声は極めて強い。
2 第2の加熱炉
3 移送手段
4 マイクロ波共振空胴
5 側壁
6 導波管
7 側壁
7a 入口開口
8 側壁
8a 出口開口
9,10,11・・・n マイクロ波共振空胴
12 ケース
Claims (6)
- シート状被加熱物をマイクロ波によって所定の処理温度近傍まで昇温するための第1の加熱炉と、
この第1の加熱炉によって所定の処理温度近傍まで昇温した前記被加熱物を所定時間、予め設定された温度範囲に維持する第2の加熱炉と、
前記第1及び第2の加熱炉内に前記シート状被加熱物を順次通過させる移送手段とを具備し、
前記第1の加熱炉は、空胴内の一定方向に一定の電界を生じるように、空胴の一の側壁に結合された導波管からマイクロ波が空胴内へ導入されるマイクロ波共振空胴を備えると共に、この共振空胴内で生じたマイクロ波を前記被加熱物に一様に照射すべく前記被加熱物を前記共振空胴内で一定方向と直交方向に移動させるための入口と出口とを有することを特徴とする加熱装置。 - 前記第2の加熱炉が、マイクロ波加熱によって前記シート状被加熱物を前記処理温度に近い温度に維持する加熱炉であることを特徴とする請求項1に記載の加熱装置。
- 前記第2の加熱炉が、熱風等のマイクロ波加熱以外の加熱手段を用いた加熱炉であることを特徴とする請求項1に記載の加熱装置。
- 前記第2の加熱炉が、マイクロ波による加熱手段と、熱風等の他の加熱手段とを併用する加熱炉であることを特徴とする請求項1に記載の加熱装置。
- 前記シート状被加熱物に対し非接触で温度を計測する温度計測手段を具備し、この温度計測手段の出力を受けてマイクロ波発振器の出力を制御する制御装置をさらに具備することを特徴とする請求項1に記載の加熱装置。
- 前記第1及び第2の加熱炉が、加熱によって前記シート状被加熱物から発生する蒸発物を排気するための排気装置を具備することを特徴とする請求項1に記載の加熱装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003281007A JP2005049009A (ja) | 2003-07-28 | 2003-07-28 | 加熱装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003281007A JP2005049009A (ja) | 2003-07-28 | 2003-07-28 | 加熱装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005049009A true JP2005049009A (ja) | 2005-02-24 |
Family
ID=34266651
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003281007A Pending JP2005049009A (ja) | 2003-07-28 | 2003-07-28 | 加熱装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005049009A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006134621A (ja) * | 2004-11-04 | 2006-05-25 | Tokyo Denshi Kk | マイクロ波加熱装置 |
WO2014050828A1 (ja) * | 2012-09-25 | 2014-04-03 | 昭和電工株式会社 | マイクロ波加熱装置 |
WO2014132546A1 (ja) * | 2013-02-27 | 2014-09-04 | 東京エレクトロン株式会社 | 加熱処理装置及び加熱処理方法 |
JP2016112855A (ja) * | 2014-12-17 | 2016-06-23 | 株式会社リコー | 乾燥装置及びインクジェット画像形成装置 |
-
2003
- 2003-07-28 JP JP2003281007A patent/JP2005049009A/ja active Pending
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006134621A (ja) * | 2004-11-04 | 2006-05-25 | Tokyo Denshi Kk | マイクロ波加熱装置 |
WO2014050828A1 (ja) * | 2012-09-25 | 2014-04-03 | 昭和電工株式会社 | マイクロ波加熱装置 |
JPWO2014050828A1 (ja) * | 2012-09-25 | 2016-08-22 | 昭和電工株式会社 | マイクロ波加熱装置 |
US10375773B2 (en) | 2012-09-25 | 2019-08-06 | Showa Denko K.K. | Microwave heating apparatus |
WO2014132546A1 (ja) * | 2013-02-27 | 2014-09-04 | 東京エレクトロン株式会社 | 加熱処理装置及び加熱処理方法 |
JP2014165111A (ja) * | 2013-02-27 | 2014-09-08 | Tokyo Electron Ltd | 加熱処理装置及び加熱処理方法 |
CN105027670A (zh) * | 2013-02-27 | 2015-11-04 | 东京毅力科创株式会社 | 加热处理装置和加热处理方法 |
JP2016112855A (ja) * | 2014-12-17 | 2016-06-23 | 株式会社リコー | 乾燥装置及びインクジェット画像形成装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP2937653B1 (en) | Tray assemblies and methods for manufacturing ceramic articles | |
JP4018151B2 (ja) | 無線周波とマイクロ波とを利用した材料の処理 | |
AU6206798A (en) | Baking oven for the high-temperature treatment of materials with a low dielectric loss factor | |
US6706233B2 (en) | Method for processing ceramics using electromagnetic energy | |
JP4703371B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP2009181900A (ja) | マイクロ波加熱装置 | |
JP2008230962A (ja) | セラミック体をマイクロ波照射によって乾燥させる装置 | |
JP2008230962A6 (ja) | セラミック体をマイクロ波照射によって乾燥させる装置 | |
JP4451348B2 (ja) | 乾燥装置 | |
JP2005049009A (ja) | 加熱装置 | |
JP2009014227A (ja) | 熱処理炉 | |
JP2005075660A (ja) | セラミックス成形体の乾燥装置及び乾燥方法 | |
JP2005043022A (ja) | 加熱装置 | |
WO2013172620A1 (ko) | 차단 근접 조건에 기초하여 피가열물의 균일 가열을 위한 마이크로웨이브 가열 장치 | |
JP2002130955A (ja) | 連続焼成炉、焼成体の製造方法及び焼成体 | |
Marinel et al. | Tuning, impedance matching, and temperature regulation during high‐temperature microwave sintering of ceramics | |
JP4943087B2 (ja) | 連続焼成炉及び連続焼成方法 | |
JP6558675B2 (ja) | 乾燥焼成装置及び乾燥焼成方法 | |
JP6986264B2 (ja) | 薄膜パターンの焼成方法及びマイクロ波焼成装置 | |
JP3799454B2 (ja) | 焼成炉 | |
JP2008045789A (ja) | 連続焼成装置 | |
RU2792675C1 (ru) | СВЧ-конвективная хмелесушилка с полуцилиндрическими резонаторами и фторопластовыми гребенчатыми направляющими | |
JP2005050644A (ja) | マイクロ波加熱装置 | |
JPH0327277Y2 (ja) | ||
JP2005044729A (ja) | マイクロ波加熱装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060517 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20060517 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060621 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080416 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080423 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20080820 |