JP2005012963A - 可動磁石形リニアモータ - Google Patents
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Abstract
【課題】1つの固定子に複数の可動子を配置した場合に、固定子上で複数の可動子を同期運転させることができ、可動子側に動力線や信号線などの接続を必要としない可動磁石形リニアモータを提供する。
【解決手段】本リニアモータは3相のリニアモータであって、固定子を可動子101および102のスライド方向に電気的に3分割してあり(固定子2A、2Bおよび2C)、該分割された複数の固定子のうち、両端に位置する固定子2A、2Cには固定子に対する可動子のスライド方向の位置を検出するリニアエンコーダを具備したものであり、このリニアエンコーダは、可動子101、102に配設された光学式のリニアスケール6と該リニアスケール6に対向して固定子の両端に配設されて該リニアスケール6を検出するセンサヘッド7A、7Bとから構成される光学式リニアエンコーダとなっている。
【選択図】 図1
【解決手段】本リニアモータは3相のリニアモータであって、固定子を可動子101および102のスライド方向に電気的に3分割してあり(固定子2A、2Bおよび2C)、該分割された複数の固定子のうち、両端に位置する固定子2A、2Cには固定子に対する可動子のスライド方向の位置を検出するリニアエンコーダを具備したものであり、このリニアエンコーダは、可動子101、102に配設された光学式のリニアスケール6と該リニアスケール6に対向して固定子の両端に配設されて該リニアスケール6を検出するセンサヘッド7A、7Bとから構成される光学式リニアエンコーダとなっている。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、電気部品実装装置、半導体関連装置あるいは工作機械などの各種産業機械に使用されると共に、その直動機構の駆動用に好適なリニアモータに関し、特に永久磁石よりなる界磁を可動子とし、電機子巻線を有した電機子を固定子として、電機子巻線を励磁することにより、界磁と電機子とで作られる移動磁界により可動子を直線運動させる可動磁石形リニアモータに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、例えば、電気部品実装装置、半導体関連装置あるいは工作機械などのハンドリング、搬送、装着などを行うための各種産業機械に使用されると共に、その直動機構の駆動装置として好適なリニモータが実用化されている。その中で、界磁を備えた可動子を、電機子を備えた固定子と対向させ、摺動可能に支持することて直線運動を行うようにした、高性能な可動磁石形リニアモータが提案されている。(例えば、特許文献1を参照)。
【0003】
【特許文献1】
特開平8−140330号公報
【0004】
図4は従来の可動磁石形リニアモータであって、(a)はその側断面図、(b)はその駆動回路の結線図、(c)はその各相コイルへの通電シーケンスである。なお、図4(c)の横軸は時間の経過を示している。
図4(a)において、31は可動子、32は可動子ヨーク、33a〜33fは永久磁石、34は固定子、35a〜35dはコイル、36は固定子ヨークである。
リニアモータは、界磁を構成する複数の永久磁石33a〜33fを配置した可動子31を、コイル35を複数個配置した固定子34と対向させ、該コイル35を電気角360°±60°相当の略等間隔(磁石間隔の5/3倍)で固定子ヨーク36上に4個配置し、各コイルの一端を共通に、他端を相端子に夫々結線して構成してなる電機子を備えたものとなっている。なお、可動子を案内支持するスライダとガイドレールよりなるリニアガイド(直動軸受ユニット)は図示を省略する。
【0005】
次に動作を説明する。
今、例えば永久磁石33a〜33bの境界部がコイル35aの中心位置にあるときを想定すると、コイル35aとコイル35cに図示の方向の電流が流れ、可動子31と固定子34の夫々の磁極が吸引・反発を行い右行きの推力を発生する。左行きの場合は電流の流し方は逆方向にする。それらの電機子コイルを励磁する駆動回路の結線が図4(b)に示されており、直流電源の正・負端子からの直流電圧を、51、53、55、57の上段アームのトランジスタと52、54、56、58の下段アームのトランジスタを介して、4相のコイル通電を行う。それらの各相への通電のシーケンスの一例を図4(c)に表すと共に、横軸に時間経過を取り、通電のシーケンスが右行きの時は左から右に時間を取り、左行きの時はその逆となる。そして通電するアームのトランジスタをそれらの時点において、対応する上段アームと下段アームを同時にオンの状態にし、その他はオフの状態とするものであり、所謂インバータ制御手段を示している。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
従来の可動磁石形リニアモータでは、位置センサに例えば、リニアエンコーダを適用した場合、可動子(界磁側)にリニアスケールを装着し、それに対向して固定子(電機子)側にセンサヘッドを配設したものとなっている。ところが、位置センサの信号により可動子と電機子の相対位置を検出し、位置に応じて通電電流を制御する必要があるため、1つの固定子に1つの可動子しか配置することができない。従って、1つの固定子に対して複数の可動子を配置する用途の必要性が生じた場合に、複数の可動子を同時に駆動することができないという問題があった。
また、可動コイル形リニアモータでは同一の界磁固定子上で電機子を備えた複数の可動子を独立に駆動することは可能であるが、可動子側に動力線、センサの信号線を接続して、可動子の駆動時に動力線や信号線を引き回す必要があり、また、冷却条件により液冷が必要な場合は冷媒を供給する配管も可動子に接続することから、摩擦力が大きくなり、位置決め精度、パーティクルの発生などの問題があった。
【0007】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、1つの固定子に複数の可動子を配置した場合に、固定子上で複数の可動子を同期運転させることができる共に、可動子側に動力線や信号線などの接続を必要としない可動磁石形リニアモータを提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記問題を解決するため、請求項1の発明は、交互に極性が異なるように直線状に隣り合わせに並べて配置した複数の永久磁石よりなる界磁を可動子とし、界磁と磁気的空隙を介して対向配置される電機子巻線を有した電機子を固定子として構成する可動磁石形リニアモータにおいて、前記固定子を前記可動子のスライド方向に少なくとも3分割し、前記分割された複数の固定子のうち、両端に位置する固定子には該固定子に対する前記可動子のスライド方向の位置を検出するリニアエンコーダを具備しており、前記両端の固定子には単独で電流位相、電流周波数を制御可能な所定相数の駆動回路を接続すると共に、前記両端の固定子を除く他の固定子には一定の電流周波数、電流位相となる所定相数の電流を印加可能な駆動回路を少なくとも1つ接続したものである。
請求項2の発明は、請求項1に記載の可動磁石形リニアモータにおいて、前記リニアエンコーダを、前記可動子に配設された光学式のリニアスケールと前記リニアスケールに対向して前記固定子の両端に配設されて前記リニアスケールを検出するセンサヘッドとから構成される光学式リニアエンコーダとしたものである。
請求項3の発明は、請求項1に記載の可動磁石形リニアモータにおいて、前記両端の固定子に接続される駆動回路をサーボアンプで構成すると共に該固定子を上位のコントローラによって速度自在に制御できるようにしてあり、前記両端の固定子を除く他の固定子に接続される駆動回路をインバータで構成すると共に該固定子を所定の速度で移動磁界を発生するようにしたものである。
請求項4の発明は、請求項1に記載の可動磁石形リニアモータにおいて、前記両端の固定子の位置には夫々独立して走行制御するように前記可動子を一つ以下配置すると共に、前記両端の固定子を除く他の固定子には、前記可動子を少なくとも1つ設けてあり、前記両端の固定子の位置に配置される可動子が前記両端の固定子を除く他の位置に配置される固定子に移る際、または可動子が前記両端の固定子を除く他の位置に配置される固定子から前記両端位置に移る際、両端部の固定子の電流周波数、電流位相が前記両端の固定子を除く他の固定子の電流周波数および電流位相と同期するようにしたものである。
上記手段により、1つの固定子で複数の可動子を配置することで、可動子側に動力線や信号線などの接続を必要としないリニアモータを提供することができる。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例を図に基づいて具体的に説明する。
図1は本発明の実施例を示す可動磁石形リニアモータの構成図、図2はリニアモータ部の構造を詳細に示したものであって、(a)は図1のY−Y´線に沿う断面図、(b)は図2(a)のA−A´線に沿う断面図である。
図1および図2において、1、101および102は可動子、2A、2Bおよび2Cは固定子、3はテーブル、4はスライダ、5はガイドレール、6はリニアスケール、7A、7Cはセンサヘッド、8A、8Cはサーボアンプ、9はインバータ、10はコントローラ、11は永久磁石、12は可動子ヨーク、20は固定子ベース、21は電機子巻線(コイル)、22は固定子ヨークである。このうち、スライダ4とガイドレール5とでリニアガイドを構成し、リニアスケール6とセンサヘッド7とでリニアエンコーダを構成している。
【0010】
本発明の特徴は以下のとおりである。
すなわち、本リニアモータは3相のリニアモータであって、固定子を可動子101および102のスライド方向に電気的に3分割してあり(固定子2A、2Bおよび2C)、該分割された複数の固定子のうち、両端に位置する固定子2A、2Cには固定子に対する可動子のスライド方向の位置を検出するリニアエンコーダを具備した点である。このリニアエンコーダは、可動子101、102に配設された光学式のリニアスケール6と該リニアスケール6に対向して固定子の両端に配設されて該リニアスケール6を検出するセンサヘッド7A、7Bとから構成される光学式リニアエンコーダとしたものとなっている。また、走行精度の低下を防ぐため、2つの可動子101および102がリニアガイドを介して移動自在に取付けられている
また、両端の固定子2A、2Cには駆動回路(サーボアンプA、C)を接続してあり、一方のサーボアンプAは位置信号Aとコントローラ10の位置指令に基き、単独で固定子Aに所定の電流位相、電流周波数を持った3相電流を供給し、他方のサーボアンプCは位置信号Cとコントローラ10の位置指令に基き、単独で固定子Cに所定の電流位相、電流周波数を持った3相電流を供給するようになっている。また、両端の固定子を除く他の固定子2Bには、コントローラ10の周波数指令により、一定の電流周波数、電流位相となる所定相数の電流を印加可能な駆動回路(インバータ9)を1つ接続したものとなっている。
【0011】
次に、図2を用いてリニアモータ部の詳細を説明する。
可動子1はテーブル3、可動子ヨーク12、永久磁石11により構成される。軟磁性材料で構成された可動子ヨーク12上に、交互に極性が異なるように界磁を構成する複数の永久磁石11が直線状に隣り合わせに並べて配置され、接着により固定されている。
また、固定子は、固定子ベース20、電機子巻線21、固定子ヨーク22より構成される。電機子を構成する電機子巻線21は界磁と磁気的空隙を介して対向配置されると共に、該電機子巻線21は軟磁性材料からなる固定子ヨーク22上に絶縁材(不図示)を介して固着されると共に、所定の起磁力分布が得られるよう結線されている。また、固定子ヨーク22は、固定子ベース20に図示しないボルトにより固定してある。、なお、可動子ヨーク12はテーブル3に図示しないボルトにより固定される。テーブル3にはスライダ4が取付けられており、固定子ベース20に設置されたガイドレール5により、固定子2に対して可動自在に固定される。
【0012】
次に動作について説明する。
まず、図1において、可動子101を固定子Aから固定子Cに移動する場合、可動子101は固定子2A上に静止しており、固定子2Bにはインバータ9により規定速度Vの移動磁界が印加されている。インバータ9には電流位相信号を出力できるようにしておき、この電流位相信号をコントローラ10に入力する。
可動子101に取付けたリニアスケール6と固定子2Aに取付けたセンサヘッド7Aによる位置信号とコントローラ10から出された位置指令がサーボアンプ8Aに入力され、可動子1は移動を開始する。固定子2A上で可動子101を加速し、可動子101が固定子2Aから固定子2Bに移るタイミングで、図3に示すように固定子2Aの移動磁界の速度と電流位相が固定子2Bと一致するようサーボアンプ8Aを制御し、固定子2B上に可動子1が移ると、一定の周波数で駆動する、オープンループの同期電動機として動作する。
次に、可動子101が固定子2Bから固定子2Cに移る場合は、固定子2Cに取付けられたセンサヘッド7Cと可動子101に取付けたリニアスケール6による位置信号とコントローラ10からの位置指令がサーボアンプ8Cに入力され、固定子2Cの移動磁界の速度と電流位相が固定子2Bと一致するようサーボアンプ8Cを制御する。可動子101が固定子2C上に完全に移れば、通常のリニアサーボモータと同様に駆動できる。
【0013】
したがって、本発明の実施例は、固定子を可動子101および102のスライド方向に電気的に3分割してあり(固定子2A、2Bおよび2C)、該分割された複数の固定子のうち、両端に位置する固定子2A、2Cには固定子に対する可動子のスライド方向の位置を検出するリニアエンコーダを具備した構成、このリニアエンコーダを、可動子101、102に配設された光学式のリニアスケール6と該リニアスケール6に対向して固定子の両端に配設されて該リニアスケール6を検出するセンサヘッド7A、7Bとから構成される光学式リニアエンコーダとした構成にしたので、固定子2B上では複数の可動子を同期運転させることができる。また、固定子が3分割されているため、各固定子に少なくとも1つの可動子を同時に駆動させることができる。総じて、可動子は動力線や信号線などの配線が不要となるため、摩擦力が小さくでき、駆動ケーブル引き回しによるパーティクルも発生せず、環境を汚染しないなどの効果がある。
【0014】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、交互に極性が異なるように直線状に隣り合わせに並べて配置した複数の永久磁石よりなる界磁を可動子とし、界磁と磁気的空隙を介して対向配置される電機子巻線を有した電機子を固定子として構成する可動磁石形リニアモータにおいて、該固定子を該可動子のスライド方向に少なくとも3分割し、該分割された複数の固定子のうち、両端に位置する固定子には該固定子に対する可動子のスライド方向の位置を検出するリニアエンコーダを具備しており、該両端の固定子には単独で電流位相、電流周波数を制御可能な所定相数の駆動回路を接続すると共に、該両端の固定子を除く他の固定子には一定の電流周波数、電流位相となる所定相数の電流を印加可能な駆動回路を少なくとも1つ以上接続する構成にしたため、固定子上では複数の可動子を同期運転させることができる。
また、固定子が3分割されているため、各固定子に少なくとも1つの可動子を同時に駆動させることができる。総じて、可動子は動力線や信号線などの配線が不要となるため、摩擦力が小さくでき、駆動ケーブル引き回しによるパーティクルも発生せず、環境を汚染しないなどの効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例を示す可動磁石形リニアモータの構成図
【図2】リニアモータ部の構造を詳細に示したものであって、(a)は図1のY−Y´線に沿う断面図、(b)は図2(a)のA−A´線に沿う断面図
【図3】本発明の実施例を示す電流波形
【図4】従来の可動磁石形リニアモータであって、(a)はその側断面図、(b)はその駆動回路の結線図、(c)はその各相コイルへの通電シーケンス図
【符号の説明】
1、101、102 可動子
2、2A、2B、2C 固定子
3 テーブル
4 スライダ
5 ガイドレール
6 リニアスケール
7A、7C センサヘッド
8A、8C サーボアンプ
9 インバータ
10 コントローラ
11 永久磁石
12 可動子ヨーク
20 固定子ベース
21 電機子巻線
22 固定子ヨーク
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、電気部品実装装置、半導体関連装置あるいは工作機械などの各種産業機械に使用されると共に、その直動機構の駆動用に好適なリニアモータに関し、特に永久磁石よりなる界磁を可動子とし、電機子巻線を有した電機子を固定子として、電機子巻線を励磁することにより、界磁と電機子とで作られる移動磁界により可動子を直線運動させる可動磁石形リニアモータに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、例えば、電気部品実装装置、半導体関連装置あるいは工作機械などのハンドリング、搬送、装着などを行うための各種産業機械に使用されると共に、その直動機構の駆動装置として好適なリニモータが実用化されている。その中で、界磁を備えた可動子を、電機子を備えた固定子と対向させ、摺動可能に支持することて直線運動を行うようにした、高性能な可動磁石形リニアモータが提案されている。(例えば、特許文献1を参照)。
【0003】
【特許文献1】
特開平8−140330号公報
【0004】
図4は従来の可動磁石形リニアモータであって、(a)はその側断面図、(b)はその駆動回路の結線図、(c)はその各相コイルへの通電シーケンスである。なお、図4(c)の横軸は時間の経過を示している。
図4(a)において、31は可動子、32は可動子ヨーク、33a〜33fは永久磁石、34は固定子、35a〜35dはコイル、36は固定子ヨークである。
リニアモータは、界磁を構成する複数の永久磁石33a〜33fを配置した可動子31を、コイル35を複数個配置した固定子34と対向させ、該コイル35を電気角360°±60°相当の略等間隔(磁石間隔の5/3倍)で固定子ヨーク36上に4個配置し、各コイルの一端を共通に、他端を相端子に夫々結線して構成してなる電機子を備えたものとなっている。なお、可動子を案内支持するスライダとガイドレールよりなるリニアガイド(直動軸受ユニット)は図示を省略する。
【0005】
次に動作を説明する。
今、例えば永久磁石33a〜33bの境界部がコイル35aの中心位置にあるときを想定すると、コイル35aとコイル35cに図示の方向の電流が流れ、可動子31と固定子34の夫々の磁極が吸引・反発を行い右行きの推力を発生する。左行きの場合は電流の流し方は逆方向にする。それらの電機子コイルを励磁する駆動回路の結線が図4(b)に示されており、直流電源の正・負端子からの直流電圧を、51、53、55、57の上段アームのトランジスタと52、54、56、58の下段アームのトランジスタを介して、4相のコイル通電を行う。それらの各相への通電のシーケンスの一例を図4(c)に表すと共に、横軸に時間経過を取り、通電のシーケンスが右行きの時は左から右に時間を取り、左行きの時はその逆となる。そして通電するアームのトランジスタをそれらの時点において、対応する上段アームと下段アームを同時にオンの状態にし、その他はオフの状態とするものであり、所謂インバータ制御手段を示している。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
従来の可動磁石形リニアモータでは、位置センサに例えば、リニアエンコーダを適用した場合、可動子(界磁側)にリニアスケールを装着し、それに対向して固定子(電機子)側にセンサヘッドを配設したものとなっている。ところが、位置センサの信号により可動子と電機子の相対位置を検出し、位置に応じて通電電流を制御する必要があるため、1つの固定子に1つの可動子しか配置することができない。従って、1つの固定子に対して複数の可動子を配置する用途の必要性が生じた場合に、複数の可動子を同時に駆動することができないという問題があった。
また、可動コイル形リニアモータでは同一の界磁固定子上で電機子を備えた複数の可動子を独立に駆動することは可能であるが、可動子側に動力線、センサの信号線を接続して、可動子の駆動時に動力線や信号線を引き回す必要があり、また、冷却条件により液冷が必要な場合は冷媒を供給する配管も可動子に接続することから、摩擦力が大きくなり、位置決め精度、パーティクルの発生などの問題があった。
【0007】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、1つの固定子に複数の可動子を配置した場合に、固定子上で複数の可動子を同期運転させることができる共に、可動子側に動力線や信号線などの接続を必要としない可動磁石形リニアモータを提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記問題を解決するため、請求項1の発明は、交互に極性が異なるように直線状に隣り合わせに並べて配置した複数の永久磁石よりなる界磁を可動子とし、界磁と磁気的空隙を介して対向配置される電機子巻線を有した電機子を固定子として構成する可動磁石形リニアモータにおいて、前記固定子を前記可動子のスライド方向に少なくとも3分割し、前記分割された複数の固定子のうち、両端に位置する固定子には該固定子に対する前記可動子のスライド方向の位置を検出するリニアエンコーダを具備しており、前記両端の固定子には単独で電流位相、電流周波数を制御可能な所定相数の駆動回路を接続すると共に、前記両端の固定子を除く他の固定子には一定の電流周波数、電流位相となる所定相数の電流を印加可能な駆動回路を少なくとも1つ接続したものである。
請求項2の発明は、請求項1に記載の可動磁石形リニアモータにおいて、前記リニアエンコーダを、前記可動子に配設された光学式のリニアスケールと前記リニアスケールに対向して前記固定子の両端に配設されて前記リニアスケールを検出するセンサヘッドとから構成される光学式リニアエンコーダとしたものである。
請求項3の発明は、請求項1に記載の可動磁石形リニアモータにおいて、前記両端の固定子に接続される駆動回路をサーボアンプで構成すると共に該固定子を上位のコントローラによって速度自在に制御できるようにしてあり、前記両端の固定子を除く他の固定子に接続される駆動回路をインバータで構成すると共に該固定子を所定の速度で移動磁界を発生するようにしたものである。
請求項4の発明は、請求項1に記載の可動磁石形リニアモータにおいて、前記両端の固定子の位置には夫々独立して走行制御するように前記可動子を一つ以下配置すると共に、前記両端の固定子を除く他の固定子には、前記可動子を少なくとも1つ設けてあり、前記両端の固定子の位置に配置される可動子が前記両端の固定子を除く他の位置に配置される固定子に移る際、または可動子が前記両端の固定子を除く他の位置に配置される固定子から前記両端位置に移る際、両端部の固定子の電流周波数、電流位相が前記両端の固定子を除く他の固定子の電流周波数および電流位相と同期するようにしたものである。
上記手段により、1つの固定子で複数の可動子を配置することで、可動子側に動力線や信号線などの接続を必要としないリニアモータを提供することができる。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例を図に基づいて具体的に説明する。
図1は本発明の実施例を示す可動磁石形リニアモータの構成図、図2はリニアモータ部の構造を詳細に示したものであって、(a)は図1のY−Y´線に沿う断面図、(b)は図2(a)のA−A´線に沿う断面図である。
図1および図2において、1、101および102は可動子、2A、2Bおよび2Cは固定子、3はテーブル、4はスライダ、5はガイドレール、6はリニアスケール、7A、7Cはセンサヘッド、8A、8Cはサーボアンプ、9はインバータ、10はコントローラ、11は永久磁石、12は可動子ヨーク、20は固定子ベース、21は電機子巻線(コイル)、22は固定子ヨークである。このうち、スライダ4とガイドレール5とでリニアガイドを構成し、リニアスケール6とセンサヘッド7とでリニアエンコーダを構成している。
【0010】
本発明の特徴は以下のとおりである。
すなわち、本リニアモータは3相のリニアモータであって、固定子を可動子101および102のスライド方向に電気的に3分割してあり(固定子2A、2Bおよび2C)、該分割された複数の固定子のうち、両端に位置する固定子2A、2Cには固定子に対する可動子のスライド方向の位置を検出するリニアエンコーダを具備した点である。このリニアエンコーダは、可動子101、102に配設された光学式のリニアスケール6と該リニアスケール6に対向して固定子の両端に配設されて該リニアスケール6を検出するセンサヘッド7A、7Bとから構成される光学式リニアエンコーダとしたものとなっている。また、走行精度の低下を防ぐため、2つの可動子101および102がリニアガイドを介して移動自在に取付けられている
また、両端の固定子2A、2Cには駆動回路(サーボアンプA、C)を接続してあり、一方のサーボアンプAは位置信号Aとコントローラ10の位置指令に基き、単独で固定子Aに所定の電流位相、電流周波数を持った3相電流を供給し、他方のサーボアンプCは位置信号Cとコントローラ10の位置指令に基き、単独で固定子Cに所定の電流位相、電流周波数を持った3相電流を供給するようになっている。また、両端の固定子を除く他の固定子2Bには、コントローラ10の周波数指令により、一定の電流周波数、電流位相となる所定相数の電流を印加可能な駆動回路(インバータ9)を1つ接続したものとなっている。
【0011】
次に、図2を用いてリニアモータ部の詳細を説明する。
可動子1はテーブル3、可動子ヨーク12、永久磁石11により構成される。軟磁性材料で構成された可動子ヨーク12上に、交互に極性が異なるように界磁を構成する複数の永久磁石11が直線状に隣り合わせに並べて配置され、接着により固定されている。
また、固定子は、固定子ベース20、電機子巻線21、固定子ヨーク22より構成される。電機子を構成する電機子巻線21は界磁と磁気的空隙を介して対向配置されると共に、該電機子巻線21は軟磁性材料からなる固定子ヨーク22上に絶縁材(不図示)を介して固着されると共に、所定の起磁力分布が得られるよう結線されている。また、固定子ヨーク22は、固定子ベース20に図示しないボルトにより固定してある。、なお、可動子ヨーク12はテーブル3に図示しないボルトにより固定される。テーブル3にはスライダ4が取付けられており、固定子ベース20に設置されたガイドレール5により、固定子2に対して可動自在に固定される。
【0012】
次に動作について説明する。
まず、図1において、可動子101を固定子Aから固定子Cに移動する場合、可動子101は固定子2A上に静止しており、固定子2Bにはインバータ9により規定速度Vの移動磁界が印加されている。インバータ9には電流位相信号を出力できるようにしておき、この電流位相信号をコントローラ10に入力する。
可動子101に取付けたリニアスケール6と固定子2Aに取付けたセンサヘッド7Aによる位置信号とコントローラ10から出された位置指令がサーボアンプ8Aに入力され、可動子1は移動を開始する。固定子2A上で可動子101を加速し、可動子101が固定子2Aから固定子2Bに移るタイミングで、図3に示すように固定子2Aの移動磁界の速度と電流位相が固定子2Bと一致するようサーボアンプ8Aを制御し、固定子2B上に可動子1が移ると、一定の周波数で駆動する、オープンループの同期電動機として動作する。
次に、可動子101が固定子2Bから固定子2Cに移る場合は、固定子2Cに取付けられたセンサヘッド7Cと可動子101に取付けたリニアスケール6による位置信号とコントローラ10からの位置指令がサーボアンプ8Cに入力され、固定子2Cの移動磁界の速度と電流位相が固定子2Bと一致するようサーボアンプ8Cを制御する。可動子101が固定子2C上に完全に移れば、通常のリニアサーボモータと同様に駆動できる。
【0013】
したがって、本発明の実施例は、固定子を可動子101および102のスライド方向に電気的に3分割してあり(固定子2A、2Bおよび2C)、該分割された複数の固定子のうち、両端に位置する固定子2A、2Cには固定子に対する可動子のスライド方向の位置を検出するリニアエンコーダを具備した構成、このリニアエンコーダを、可動子101、102に配設された光学式のリニアスケール6と該リニアスケール6に対向して固定子の両端に配設されて該リニアスケール6を検出するセンサヘッド7A、7Bとから構成される光学式リニアエンコーダとした構成にしたので、固定子2B上では複数の可動子を同期運転させることができる。また、固定子が3分割されているため、各固定子に少なくとも1つの可動子を同時に駆動させることができる。総じて、可動子は動力線や信号線などの配線が不要となるため、摩擦力が小さくでき、駆動ケーブル引き回しによるパーティクルも発生せず、環境を汚染しないなどの効果がある。
【0014】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、交互に極性が異なるように直線状に隣り合わせに並べて配置した複数の永久磁石よりなる界磁を可動子とし、界磁と磁気的空隙を介して対向配置される電機子巻線を有した電機子を固定子として構成する可動磁石形リニアモータにおいて、該固定子を該可動子のスライド方向に少なくとも3分割し、該分割された複数の固定子のうち、両端に位置する固定子には該固定子に対する可動子のスライド方向の位置を検出するリニアエンコーダを具備しており、該両端の固定子には単独で電流位相、電流周波数を制御可能な所定相数の駆動回路を接続すると共に、該両端の固定子を除く他の固定子には一定の電流周波数、電流位相となる所定相数の電流を印加可能な駆動回路を少なくとも1つ以上接続する構成にしたため、固定子上では複数の可動子を同期運転させることができる。
また、固定子が3分割されているため、各固定子に少なくとも1つの可動子を同時に駆動させることができる。総じて、可動子は動力線や信号線などの配線が不要となるため、摩擦力が小さくでき、駆動ケーブル引き回しによるパーティクルも発生せず、環境を汚染しないなどの効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例を示す可動磁石形リニアモータの構成図
【図2】リニアモータ部の構造を詳細に示したものであって、(a)は図1のY−Y´線に沿う断面図、(b)は図2(a)のA−A´線に沿う断面図
【図3】本発明の実施例を示す電流波形
【図4】従来の可動磁石形リニアモータであって、(a)はその側断面図、(b)はその駆動回路の結線図、(c)はその各相コイルへの通電シーケンス図
【符号の説明】
1、101、102 可動子
2、2A、2B、2C 固定子
3 テーブル
4 スライダ
5 ガイドレール
6 リニアスケール
7A、7C センサヘッド
8A、8C サーボアンプ
9 インバータ
10 コントローラ
11 永久磁石
12 可動子ヨーク
20 固定子ベース
21 電機子巻線
22 固定子ヨーク
Claims (4)
- 交互に極性が異なるように直線状に隣り合わせに並べて配置した複数の永久磁石よりなる界磁を可動子とし、界磁と磁気的空隙を介して対向配置される電機子巻線を有した電機子を固定子として構成する可動磁石形リニアモータにおいて、
前記固定子を前記可動子のスライド方向に少なくとも3分割し、
前記分割された複数の固定子のうち、両端に位置する固定子には該固定子に対する前記可動子のスライド方向の位置を検出するリニアエンコーダを具備しており、
前記両端の固定子には単独で電流位相、電流周波数を制御可能な所定相数の駆動回路を接続すると共に、前記両端の固定子を除く他の固定子には一定の電流周波数、電流位相となる所定相数の電流を印加可能な駆動回路を少なくとも1つ接続したことを特徴とする可動磁石形リニアモータ。 - 前記リニアエンコーダは、前記可動子に配設された光学式のリニアスケールと前記リニアスケールに対向して前記固定子の両端に配設されて前記リニアスケールを検出するセンサヘッドとから構成される光学式リニアエンコーダであることから成る請求項1に記載の可動磁石形リニアモータ。
- 前記両端の固定子に接続される駆動回路をサーボアンプで構成すると共に該固定子を上位のコントローラによって速度自在に制御できるようにしてあり、
前記両端の固定子を除く他の固定子に接続される駆動回路をインバータで構成すると共に該固定子を所定の速度で移動磁界を発生するようにしたことを特徴とする請求項1に記載の可動磁石形リニアモータ。 - 前記両端の固定子の位置には夫々独立して走行制御するように前記可動子を一つ以下配置すると共に、前記両端の固定子を除く他の固定子には、前記可動子を少なくとも1つ設けてあり、前記両端の固定子の位置に配置される可動子が前記両端の固定子を除く他の位置に配置される固定子に移る際、または可動子が前記両端の固定子を除く他の位置に配置される固定子から前記両端位置に移る際、両端部の固定子の電流周波数、電流位相が前記両端の固定子を除く他の固定子の電流周波数および電流位相と同期するようにしたものであることを特徴とする請求項1に記載の可動磁石形リニアモータ。
Priority Applications (1)
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ID=34099191
Family Applications (1)
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JP2003176257A Abandoned JP2005012963A (ja) | 2003-06-20 | 2003-06-20 | 可動磁石形リニアモータ |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2005012963A (ja) |
-
2003
- 2003-06-20 JP JP2003176257A patent/JP2005012963A/ja not_active Abandoned
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A621 | Written request for application examination |
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A762 | Written abandonment of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A762 Effective date: 20090714 |