JP2004529774A - ガラス被覆金属ワイヤを連続加工するための装置と該連続加工法 - Google Patents

ガラス被覆金属ワイヤを連続加工するための装置と該連続加工法 Download PDF

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Abstract

本装置と本方法によって、かなりの長さのガラス被覆金属ワイヤ(10)を連続的に加工できる。
通常、必要な金属を全て含んでいる供給管(15)自身は、ガラス管(20)に配置されており、ガラス管(20)の下方部分に溶球(14)を連続的に供給する。ガラス管(20)の周囲の第一のインダクタ(23)と、ガラス管(20)下の第二のインダクタ(24)からの熱により、溶球を安定した温度で且つ連続的な態様で維持し、ガラス被覆金属ワイヤ(10)の連続的な引き伸ばし工程を得ることが可能となる。
【選択図】図2

Description

【技術分野】
【0001】
本発明は、ガラス被覆金属ワイヤの連続加工に関し、特に、該ワイヤの2つの構成材料を加熱し、部分的に溶解することにより、それらを最終的な形状へ連続的に引き伸ばす場合に関係する。
【背景技術】
【0002】
従来技術におけるガラス被覆金属ワイヤの連続加工のための方法はいずれも、1924年に始めてテイラー(Taylor)が示した複雑な工程に基づいている。それは以下の原理からなる。
【0003】
第一に、一定の金属塊を、底面が閉止したガラス管へ挿入する。該管の下方部分は、高周波インダクタの近くに配置され、その結果、ガラス管内部の金属が溶解する。ガラスは、熱伝導を通じて軟化する。ガラス管内の金属ワイヤから構成された、微小繊維の鋳造法は、毛細管を使用して手動で着手される。この着手されたワイヤは、ガラスに包まれた金属からなる構成要素を連続的に引き伸ばすために、回転ドラムへ配置される。全直径が6ないし25μmの範囲で変化し、金属芯の全直径が2ないし18μmの範囲で変化する、該ワイヤはこの成形法で得られることが多い。
【0004】
しかし、この方法の主たる欠点は、該管に挿入された金属塊が大量の場合、ガラスの外被に穴を開ける危険があるので、該方法が連続的に働かないという点である。実際、金属塊の量が増加すればするほど、インダクタが金属と連動することがさらに重要となる。つまり、該管の下方部の軟化の大切さは、該管内の溶解金属塊に応じて直接的に定まる。
【0005】
したがって、ガラス管に挿入しうる金属塊は制限されるので、作業者は、鋳造法を分断せざるをえない。
【0006】
この不便さがこの方法の開発につながった。つまり、非特許文献1は、絶縁ガラス内での微小繊維の鋳造法を記載しており、これが図1に図示されている。該方法では、ガラス管1を使用し、ここで溶球5を発生させ、ガラス管1の下方部が軟化し溶球5に接触して、金属ワイヤが構成されるようになっている。ガラス管1の周囲に配置された第一のインダクタ4は、ガラス管1の内側に配置され、昇降装置7により降下する金属棒2を、ノーズプライヤ3を使用して加熱する。ガラス管1の下方部の溶球5が急速に消費されても溶球を規則的に供給できるように、溶解金属であるインプット溶球8が棒2の下方部に常に垂下している程度に金属棒2を加熱するように設計されている。下方部のインダクタ6は、溶球5を溶解状態に維持できる。これによって、ガラス被覆金属ワイヤを引き伸ばすことができる。
【非特許文献1】
ロシア国発明者証第1088075号
【0007】
該方法がテイラーの方法により提起された課題のいくつかを解決できるとしても(たとえば、金属のリザーバを提供し、機械を止めることなく、かなり長いワイヤの形成を可能とする)、該方法は、溶球5により構成されたマイクロメルトへの溶解金属の供給が中断することと、該棒2の下方部のインプット溶球8を調整することが困難であることに関係する、2つの不都合を依然として有する。実際、溶球5と比較してかなり大量のインプット溶球8は、メタルバスの塊を非常に増加させる。これにより、ガラス管1の軟化した部分が、最高磁力を有する範囲まで、引き伸ばされる。該バスはこのように非常に高温となり、金属ワイヤの幾何学的特性に変化を生じさせる。さらに、該棒の底部のインプット溶球の連続形成を分断する数分単位の間隔が発生することにより、該棒2が連続的に溶解されず、そのため、金属ワイヤの質の均一さにとって問題となる不均一な酸化物が溶球5に定期的に供給される。実際、融点がより高いこれらの酸化物のいくつかは、しばしば不溶性の含有物を形成し、これにより金属ワイヤ生成部分が破壊されるおそれがある。
【0008】
他の解決方法は、特許文献1に記載されている。本方法は、所望の長さの金属ワイヤに必要な金属量をガラス管に充填し、その後、インダクションによりガラス管の下方部の金属のみを溶解することからなる。金属の上方部は、電気抵抗により、ガラスまたはセラミックを軟化させる温度よりも低い温度まで予熱する。しかし、溶解金属は、良好な熱伝導体であるから、熱は上方に伝わる。溶解アロイと接触しているガラスは、ガラス管に収容された溶解金属塊の作用により、ガラス管を破壊する危険性がある程度の高さまで軟化する。
【特許文献1】
米国特許第3362803号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0009】
本発明の目的は、上記の装置および方法により提起された課題を解決することである。
【0010】
他方で、ガラスを過度に液状化させる高い溶解温度を有する金属であって、本装置を構成するために使用しうる材料の種類を制限する反応性金属からなる金属の加工を可能にする方法が、特許文献2により知られている。本特許で提案されている方法は、耐熱性るつぼにおいて、このるつぼに比べると不活性な金属/金属アロイを溶解することからなる。底部が金型で終端するこのるつぼは、ガラス管の中にガラス管に接触しないように配置されている。第一の加熱手段は、該るつぼの中に収容された金属アロイを溶解するために使用される。第二の加熱手段は、ガラス管からガラス毛細管を生成するために、ガラス管の下方部近くに位置してこれを軟化させる。他方で、本装置は、金型内を加圧して液体アロイを金型のオフィリスから射出する手段を用いている。これにより、液体アロイは、溶解した金属の状態で、鋳造された毛細管の方向に向かって射出される。この装置では、該るつぼから出た金属がガラス管に到達するまでには2ないし25cmの長さがあり、出来る限り遅くに到達し、金属はゆっくりと冷却される。溶解金属がガラスに接触している時間は非常に短く(接触時間は0.5から0.002秒間)、且つもっぱら毛細管においてのみ接触している。結果的に、特許文献3で実施される方法(永続的な溶球はなく、溶解金属の射出に過剰圧力を使用する)は、テイラーの原則と非常に異なる。さらにこの特許文献で実施されている方法を通じて得られる金属ワイヤの直径は一般的に30μmより大きく、これに対して、本発明の目的の1つは、直径が20μm未満の金属ワイヤを高速で(10m/秒よりも速く)製造することを目的とする。
【特許文献2】
米国特許第3481390号
【課題を解決するための手段】
【0011】
本発明の第一の主要な目的は:
− 移動可能のガラス管に金属を挿入することと;
− ガラス管内の金属を溶解するまで加熱して溶球を発生させ、これによりガラス管の下方部分を軟化させることと;及び
− ガラス管の下方部分から出た、ガラスに包まれた溶解金属からなる集合体を連続的に引き伸ばし、その一方で、得られた被覆ワイヤの引き伸ばしによりガラス管が消費されていくのに応じて、該管をゆっくり降下させることからなる、
ガラス被覆金属ワイヤの連続加工法である。
【0012】
本発明は耐熱供給管を使用し、当該供給管は、ガラス管に対して固定されており、その外径はガラス管の内径未満であり、金属塊に関して完全に不活性であり、金属塊が到達する温度で軟化せず、ガラス管内に配置され、大量のガラス被覆金属ワイヤを加工するために必要な全ての金属が充填されており、その下方部分にノズルが開口している。このノズルは、ガラス管の下方部分から一定のわずかな距離を置いて位置しており、進行溶球と接触しており、これにより、進行溶球の形成と連続的供給が可能となる。その結果、この進行溶球の外形寸法は、該ワイヤの引き伸ばし作業の間ほぼ一定に保たれる。溶解金属を該管内に保持するために、供給管を減圧する手段が使用される。その後負圧を放出および調節することによりノズルを介して溶解金属を流し始め、引き伸ばし作業の間金属塊の連続的な流れを制御する。
【0013】
加工されたワイヤ内の酸素量を最小にするために、2つの管の間にアルゴン等の不活性ガスをフラッシングすることが好ましい。
【0014】
溶球が溶解する前に、不活性ガスを噴き出して供給管の内側を排出するための手段(上記のガスフラッシング)を使用することは非常に有益である。
【0015】
本発明の第二の目的は:
− 既定の直径を有する、底部が閉止したガラス管と;
− ガラス管内に配置された金属塊を溶解し、該カラス管の下方部分を軟化させる進行溶球を液状に維持するための加熱手段と
を具備する、ガラス被覆金属ワイヤを連続的に加工するための装置である。
【0016】
本発明によると、本装置は、
作業温度では軟化しないガラス管の内直径に未たない外直径を有する、金属塊を収容する供給管であって、その下方部分にノズルを有し、そのノズルを該ガラス管の非常に近くに配置するように該ガラス管内に配置される供給管と;
− 該ワイヤの引き伸ばし作業を通じてガラス管が消費されていくのに応じ、ガラス管を徐々に下降させるための、ガラス管移動手段と;
− 進行溶球を供給する溶解金属塊の流れの調整と制御を行うために、供給管の内側に負圧を発生し管理するための、減圧及びフラッシング手段を具備する。
【発明を実施するための最良の形態】
【0017】
加熱手段の好適な実施態様では、該手段は、供給管の下方部分を数センチメートルまで包囲するコイルを有する、第一の誘導炉を備える。
【0018】
好適には、ガラス管内の進行溶球を加熱する手段は、貝殻状で、ガラス管の下方部分の下に配置された第二のインダクタを備える。
【0019】
ガラス管と金属供給管の間にアルゴンを循環させる。ガラス管の上方部分においてケーブルグラントジョイントを使用して、ガラス管と金属供給管の間に漏れ防止ジョイントを形成する。
【0020】
本装置は、ガラス管内において不活性ガスを使用するフラッシング手段によって完成する。
【0021】
本発明とその様々な特徴は、以下の詳細な説明と2つの添付図を読めばさらによく理解されるであろう。
【実施例1】
【0022】
図2を参照すると、本発明の装置は、従来技術に関連する、図1に記載された作業要素を用いている。これらは、ガラス管20、ガラス管の周囲に配置され、第一のインダクタ23からなる第一の加熱要素、ガラス管20の下方部21の下に配置され、第二のインダクタ24からなる第二の加熱要素、および管15の内側を減圧しフラッシングする手段38である。ガラス被覆金属ワイヤの製造方法をよりよく説明するために、図2には以下の二次的要素が含まれる。
【0023】
高温計30などの温度センサが、ガラス管20を加熱する手段の隣と、該ガラス管の下方部21を加熱する手段の隣に配置される。水噴射装置34は、引き伸ばし作業から生じているシーズド金属ワイヤ10に噴水し、これを急速に冷却する。ワイヤの直径測定装置31が、ユニットの下流に配置され、該ワイヤの直径を調整する。最後に、コイル状の巻き装置11が、このように引き伸ばされたワイヤ10を蓄積する。
【0024】
ガラス管20の製作には、被覆金属ワイヤ10の加工に使用される金属アロイの溶解温度に応じて、ホウケイ酸塩ガラス、アルミノ珪酸塩ガラス、96%のシリカガラス、または溶解石英ガラスなどの様々な種類のガラスを使用できる。セラミックも使用できる。さらに、引き伸ばし温度は、金属の融解点の温度よりも50度から300度高いことも考慮されなければならない。ガラス管20は、ワイヤが引伸ばし作業によって消費されていくのに応じて、連続下降する装置25により除々に下降する。
【0025】
したがって、本発明の主な技術的な特徴は、金属または金属アロイから構成された金属塊12が事前に配される供給管15を使用する点にある。この供給管15は、破壊または劣化温度が作業温度よりも高い耐熱物質から構成することができる。溶解温度が約1000度であるアモルファスまたは微小結晶したアロイを生成したい場合には、たとえば、それは石英であってもよい。溶解温度がより高いアロイのためには、アルミナ、窒化ホウ素、またはほう化チタンの管を使用できる。
【0026】
固定されたこの供給管15には、従って、成形されるアロイまたは金属、あるいはアロイを構成する非合金成分が充填される。金属塊12は、加熱手段の一部分を構成する第一のインダクタ23のコイルによって、溶解点まで到達する。実際、該コイルは、供給管15の下方部を囲むことにより、先行技術を示す図1の装置における加熱範囲と比較して第二の加熱範囲を形成する。第一のインダクタ23のコイルの数は、得ようとする金属塊12の溶解金属の高さに応じて決まる。
【0027】
従って、不活性ガスフラッシングと、減圧およびフラッシング装置38は、供給管15上方の出口に直接接続され、溶解した金属塊12が供給管15の下方のノズル13から自由に流れ落ちるのを防止する。この下方ノズルは、ガラス管20の下方部分21の真上に配置されている。留意するべきなのは、該下方部分が第二のインダクタ24に対しても配置されているということ、つまり、第二のインダクタ24が、ガラス管20の下方部分21の真下に配置され、進行している溶球14とガラス管20のガラスの温度を、引き伸ばしに適した温度にまで適切に引き上げることである。ガラス管20の下方部21に対するノズル13の高さは、供給管15のノズル13とガラス管20の下方部21の間の進行範囲において「進行溶球」と呼ばれる、溶球14の所望の高さよりも低い。進行溶球14の高さによって、ガラス管20の底部の温度幅と、進行溶球14の重さによりガラス管20の下方部21に加わる力が設定される。減圧およびフラッシング装置38の使用において、進行溶球14の高さを調整することが可能である。さらに、供給管15の金属塊12の温度を進行溶球14の温度に近い値に設定することにおいて、進行範囲(進行溶球14の進行範囲である)での温度不均衡を防止する。
【0028】
進行溶球14の量および温度だけではなくその形状もまた、得られたシーズドワイヤの形状寸法と品質に影響することも明らかにしなければならない。従来技術の方法では、ガラス管内の金属は、本質的に偏球に似た進行溶球の形状を有している。特にガラス管20の下方部分21と接触する範囲で、供給管15の使用により進行溶球14の形状を調整できる。この目的のため、異なる結果を得るためにノズル13は様々な形状をとることができる。
【0029】
留意されるべきは、溶解金属の供給が進行範囲において直接的手段を介してなされるので、進行溶球14の表面に浮いているくずや溶解ガラスの存在の有無は重要ではない点である。
【0030】
ガラス管20の下方部分21の下に配置されて進行溶球14を加熱する手段を構成する第二のインダクタ24は、1または複数のインダクタコイルから構成される。この第二のインダクタ24は、座屈力により進行溶球14を維持できるように、進行溶球14の隣に、好適にはガラス管20の下方部分21の真下に配置される。
【0031】
従って、図2の実施態様で使用する単一コイルは、平坦で若干湾曲した貝の形状で、中央に穴を有し、端部が中央の穴26から延びている。ガラス管20は中央の穴26から最高で10mm上方に位置する。特に、中央の穴26は、ガラス管20の下に位置し、その内半径は、ガラス管20の半径より小さくもてもよい。これにより、加熱の高さを低くすることができ、この高さは該コイルの内半径とほぼ等しい。従って、加熱エネルギーが進行溶球14に集中する。
【0032】
第二のインダクタ24はまた、円錐状の複数のコイルから構成されてもよく、この場合も進行溶球24を維持することができる。このように維持できることで、ガラス管20の下方部分21に加わる力が低下することによりガラス管20が突然伸びるのを防止する。
【0033】
進行溶球14を加熱するこれらの手段を構成するために赤外線放射炉を使用してもよい。
【0034】
フィーダー入り口32Aとフィーダー出口32Bにより、供給管15の外側とガラス管20の間のアルゴンの循環を調整できる。この範囲は、ガラス管20と供給管15の間に配置されたケーブルグランドジョイント33により確実に密封される。
【0035】
供給管15に対して、および2つのインダクタ23と24に対して、ガラス管20が移動可能であることを忘れてはならない。よって、ガラス管20は、該ワイヤの引き伸ばし作業により消費されていくのに応じて徐々に降下する。
【0036】
本発明の方法は以下のようなものである。
【0037】
被覆ワイヤ10を加工するために必要な金属または金属アロイのすべてをインゴットまたは粉末状で供給管15へ挿入する。この金属塊12を第一のインダクタ23によって加熱し、供給管15内で溶解する。
【0038】
前処理として、金属が溶解する以前に、該装置を不活性ガス(特にアルゴン)を流して加圧する。このように、フラッシングおよび減圧手段38と、フィーダー入り口32Aおよびフィーダー出口32Bとにより、アルゴンの流れは供給管15の中をガラス管20に向かって循環する。供給管15のノズル13は、溶解金属によってまだ遮断されていない。
【0039】
第一のインダクタ23によって金属塊12を加熱し、供給管15のアルゴンの流れを止める。次に、供給管15の内側を減圧することにより、溶解金属塊12がガラス管20の下方部分21に向かう自由な流れを止める。他方で、アルゴンのフィーダー入り口32Aとフィーダー出口32Bにより、供給管15の外側とガラス管20の内側で、アルゴンのフラッシングを依然として続行できる。
【0040】
次に、供給管15の内側の負圧を減少させることにより、液体状の金属塊12をガラス管20の下方部分21の方向に向かってゆっくりと連続して一定の溶解金属の流速で流す。そうすると、外形寸法と質量が調整された進行溶球14が、ガラス管20の下方部分21の内側に形成される。該溶球は、さらに、第二のインダクタ24により加熱され液状のまま維持される。
【0041】
供給工程は、いかなる動的妨害もなしに進めなければならない。他方で、進行溶球14の金属塊は、下方部分21の軟化したガラスが過度に引き伸ばされるのを避けるために、大きすぎてはならない。
【0042】
進行溶球14の塊を安定的に保たなければならない。従って、該ワイヤの引き伸ばしを通じて消費された金属の量と等しい金属量を、供給管15を介して追加しなければならない。
【0043】
溶解金属塊12の温度と進行溶球14の温度は、熱妨害を可能な限り制限するために、非常に近くなくてはならない。
【0044】
よって、石英からなる供給管15へ、約40グラムのCoFeNiMoSiBのアロイを導入することにより、連続的に金属ワイヤを加工できる。ガラス管20は、PYREX(登録商標)7 740型のホウケイ酸塩からなってもよい。
【0045】
第二のインダクタ24は、直径8mmの穴26が穿たれた、直径50mmの若干湾曲した単一のコイルである。第一のインダクタ23は、直径20mmの複数のコイルにより構成され、高さ100mm超である。該インダクタは、ガラス管20の下方部分21の10mm下に配置されている第二のインダクタ24の20mm上に配置されなくてはならない。
【0046】
ガラス管20は、高さ500mm、内径12.6mm、壁厚1.2mmとすることができる。
【0047】
供給管15は、高さ約1m、外径10mm、内径が8mmとすることができる。その下方部分にあるノズル13の直径は1mmでよい。当然のことながら、この供給管15は、ガラス管20の内側中央に配置され、該下方部分21の10mm上に位置決めされている。
【0048】
この場合、金属アロイの温度を、管15と管20において約1280度に維持する。この温度は、2つの高温計30により調節する。進行溶球14の塊は約5gであり、その高さは約10mmである。
【0049】
ガラス管20の供給速度を2.5mm/分に、巻き取り速度を10m/秒に設定する。供給管15内部の溶解金属塊12の水面の下降速度は0.2mm/分である。
【0050】
これらの実験条件下で引き伸ばされたワイヤの全径は16μm、金属芯の直径は5μmである。
【0051】
同様に、全径8mmおよび内径6mmの供給管15に、約20グラムのCoFeNbBアロイを挿入してもよい。金属アロイの温度は、管15と管20において1260度に維持する。ガラス管20の供給速度を2mm/分に、巻き取り速度を18m/秒に設定する。供給管15内の溶解金属塊12の水面の下降速度は0.75mm/分である。
【0052】
これらの条件下で引き伸ばされたワイヤの全径は10μmで、金属芯の直径は5μmである。該管の下降速度を4から13mm/分へ増加させる場合、巻き取り速度は20から80m/秒の値へ上昇させてもよい。例えば、全径9μm、および金属芯の直径4μmのワイヤを得ることができる。
【0053】
いずれの場合においても、第二のインダクタ24を出る際に、被覆金属ワイヤは引き伸ばされ、水ジェット35により湿らされ、アモルファス構造が形成される。
【0054】
該ユニットは、第二のインダクタ24の300mm下方に配置されたレーザー回折センサ31を装備している。それにより、引き伸ばし工程を通じて加工された被覆ワイヤの全径を測定できる。
【図面の簡単な説明】
【0055】
【図1】従来技術の装置である。
【図2】本発明の装置である。

Claims (8)

  1. − 移動可能なガラス管に金属を挿入することと;
    − ガラス管(20)の下方内部の金属を溶解するまで加熱して進行溶球(14)を発生させ、これによりガラス管(20)の下方部分(21)を軟化させることと;
    − ガラス管(20)の下方部分(21)から生じた、ガラスに包まれた溶解金属からなる集合体を連続的に引き伸ばし、その一方で、得られた被覆ワイヤの引き伸ばしによりガラス管が消費されていくのに応じて、下方部分(21)において部分的に溶解した該管(20)をゆっくり降下させることからなる、ガラス被覆金属ワイヤの連続加工法であって、
    耐熱供給管(15)を使用し、該供給管はガラス管に対して固定されており、その外径はガラス管(20)の内径より小さく、金属塊(12)に関して完全に不活性であり、作業温度で軟化せず、ガラス管(20)内に配置され、大量のガラス被覆金属ワイヤ(10)を加工するために必要な全ての金属が充填されており、その下方部分にノズル(13)が開口しており、このノズル(13)は、ガラス管(20)の下方部分(21)から一定のわずかな距離を置いて配置されて進行溶球(14)と接触しており、これにより進行溶球(14)の形成と連続供給を可能とし、その結果、この進行溶球(14)の外形寸法が該ワイヤの引き伸ばし作業の間ほぼ一定に保たれることと、金属塊(12)を該管内に保持するために供給管(15)を減圧する手段を使用し、負圧を放出および調整してノズル(13)を介して溶解金属を流し始め、引き伸ばし作業の間金属塊(12)の連続的な流れを調整することを特徴とする、
    ガラス被覆金属ワイヤ(10)の連続加工法。
  2. 不活性ガスが供給管(15)とガラス管(20)の間を循環することを特徴とする、請求項1に記載のガラス被覆金属ワイヤ(10)の加工法。
  3. 減圧およびフラッシング手段(38)は、金蔵塊(12)が溶解する前に供給管(15)の内側を不活性ガスでフラッシングするために使用されることを特徴とする、請求項1に記載の加工法。
  4. − 既定の直径を有し、下方部分(21)が閉止したガラス管(20)と;
    − ガラス管(20)内に配置された金属塊(12)を溶解し、該カラス管(20)の下方部分(21)を軟化させる進行溶球(14)を液状に維持するための加熱手段(23)を有する、
    ガラス被覆金属ワイヤ(10)の連続加工装置であって、
    溶解される金属の溶解温度では軟化しないガラス管(20)の内径に未たない外径を有し、金属塊(12)を収容するための、進行管の内部に配置された供給管(15)を備え、下方部分にノズル(13)を有するこの供給管(15)は、該ノズルが該ガラス管の下方部分(21)の非常に近くに位置するように、ガラス管内に配置されることを特徴とし;
    − 該ワイヤの引き伸ばし作業を通じてガラス管が消費されていくのに応じて、該ガラス管を徐々に下降させるための、ガラス管(20)移動手段と;
    − 金属塊(12)の溶解部分の流れを規制および調整するために、供給管(15)内側に負圧を発生しそれを管理するための該パイプ減圧手段
    を主として具備する、ガラス被覆金属ワイヤ(10)を連続的に加工するための装置。
  5. 上記加熱手段が、供給管(15)の下方部内側を数センチメートルに亘って加熱する第一のインダクタ(23)から構成され、よって第一の誘導炉を構成していることを特徴とする、請求項4に記載の装置。
  6. ガラス管(20)の内側の進行溶球(14)を加熱する手段は、ガラス管(20)の下方部分(21)の下に位置する貝状の第二のインダクタ(24)を備えることを特徴とする、請求項4に記載の装置。
  7. アルゴンの循環(32A、32B)をガラス管(20)と供給管(15)の間に有し、ガラス管(20)と供給管(15)の間に漏れ防止ジョイントを形成するために、ガラス管(20)の上方部分にケーブルグランドジョイントを用いることを特徴とする、請求項4に記載の装置。
  8. ガラス管(20)において不活性ガス(32A、32B)を使用するフラッシング手段を備えることを特徴とする請求項7に記載の装置。
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