JP2004524575A - 表面配向方法および装置 - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】
(関連出願)
本出願は、2001年3月30日に提出された米国特許仮出願第60/280232号と、同一出願人によって2002年2月13日に提出された以下の継続中の各米国特許出願「素子運動制御装置」と題された出願第10/075940号、「自由空間光スイッチ」と題された出願第10/075946号、および「ビーム偏向方法および装置」と題された出願第10/075930号とに関連し、すべての目的においてそれらの出願に基づく優先権を主張する。
【0002】
本発明は、1つまたは2つの軸に沿って表面の制御下で配向し、電力を必要とせずに磁気的にその表面の向きをクランプする装置に関する。本発明は特に、表面が反射表面であって、その反射表面に入射する光ビームを所望の方向に向けるためにその表面の配向が制御可能である、放射ビームスキャンまたは偏向装置を提供する。
【背景技術】
【0003】
2軸スキャン装置を用いて、ある領域にわたって放射ビームをスキャンすることは、周知である。その一例としては、2次元領域内で放射ビームをスキャンする2次元スキャナが、モンタグ(Montagu)による米国特許第5,150,249号に記載されている。モンタグの教示するところによれば、2つのスキャンミラーが、互いに直交する軸にて小さな偏向角度内(180°未満)で、検流計などの振動式部分回転モータまたは共振駆動式部分回転装置によって旋回される。モータドライバは通常、角位置および速度信号を、モータに関連するトランスデューサから受信して、各モータを制御することにより、ミラーの動きを高頻度振動にてサーボ制御する。モンタグのシステムには、従来から小型化が難しかったという問題点がある。モンタグのシステムではまた、高頻度振動によってスキャンミラーが変形してしまうため、放射ビームの質が低下するという問題がある。2つのミラーを使用するので、各ミラーの変形がビームの質の低下の原因となる。モンタグのスキャナのさらなる問題点は、スキャンにおいて特定の幾何学的精度を達成するには、ミラーの回転軸同士の精密な整列が必要となりうることである。
【0004】
1つのミラーのみを用いる他の2軸スキャンシステムも、知られている。光ファイバ通信システムでは、光スイッチ装置を用いて、光ファイバのチャネル間において放射ビームを偏向させる。小型2軸スキャン装置の一例として、光スイッチの用途に利用可能なマイクロマシーンエレメント(MEM)が、米国特許第6,300,619号でアクシュークら(Aksyuk et al.)によって教示されている。アクシュークらの技術では、たとえばミラーなどの小型光学装置は、バネに支持されていることで、電子機械的構造体に対して可動である。複数のプレーナ層をフォトリソグラフィ技術によってシリコン基板上に形成することによって、電子機械的構造体とミラーとの両方がシリコン基板上に形成されている。偏向またはスキャンミラーは、サイズ300×300μmで厚さ0.5μmのCr/Au層として形成される。ミラーを作動させる電極は、シリコン基板上でミラー素子の下層に形成される。電極への印加電圧に応じて、ミラーの不支持部分が下層方向へ静電的に誘引される。一例では、電極に約100Vの電圧を印加することで、ミラー表面を撓ませる。それによりミラーは、2軸を軸にして傾斜し、ミラーに入射した放射ビームを所望のターゲットへ方向付ける。ミラーの傾斜角の大きさは、電極電圧を変化させることで制御可能であるが、記載されている最大傾斜角は5°である。
【0005】
MEMミラーの問題点は、極めて脆弱なことである。そのためにMEMミラーは、均一に平坦でない場合があり、重力のみで変形または湾曲することさえある。MEMミラーは、高頻度の切換動作時にひどく変形することが考えられる。これらのいずれの場合にも、反射ビームが劣化する。さらにMEMミラーは、その脆弱性、材料構成、および支持構成に基づき、熱伝導性が不良であり、入射放射ビームから吸収したエネルギを放散できない。そのため、MEMミラーが損傷することなく偏向できる光ビームのエネルギ密度は、制限されている。また、従来の多層反射コーティングを用いれば、MEMミラーが吸収する入射放射量を制限でき上記加熱問題を改善できると考えられなくもないが、前述のミラー構成の脆弱性のため、そのようなコーティングは実際にはMEMミラーに塗布できない。その理由は、コーティングは高温かつ低圧にて塗布されるからである。
【0006】
アクシュークらの技術のMEMミラー構成のさらなる問題点は、ミラーを所望角度または向きに傾斜させた状態などの作動状態に維持するためには、作動電圧を連続的にシリコン基板に印加しなければならない点である。たとえば数分から1時間などの継続期間にわたってミラーを作動状態に維持する必要がある場合、ミラーは過熱状態になる可能性がある。さらに、数百から数千のスイッチ素子を含むスイッチシステムを用いる場合、長い作動期間に放出される熱によって、スイッチシステム全体が過熱状態になる。そのために従来は、光スイッチの熱負荷を検出して冷却する必要があった。またアクシュークらの文献に記載の装置には、パワーが切断されると電極電圧がゼロになり、ミラーが平常の未作動位置に解放されてしまうという問題がある。これは、ネットワークスイッチにおいて極めて不都合な状態である。パワー復帰時に、各スイッチを所望位置に再作動させなければならないからである。
【0007】
アクシュークらの技術はさらに、行および列に配置されたMEMミラーのアレイを教示している。行列レイアウトの欠点は、ミラー中心間のピッチが、上記の300μmであるミラー寸法と少なくとも同等である点である。それによってアクシュークらの技術のスイッチレイアウトには、ミラー間に高い割合の不使用空間が存在し、実装密度すなわち単位面積当たりのMEMミラー数が制限される。スイッチ領域に、可動ミラー表面をより高い密度で設置することが望ましい。
【0008】
単一ミラー2軸ビーム偏向装置は、ヤギら(Yagi et al.)の米国特許第6,154,312号、サカタら(Sakata et al.)の米国特許第6,201,644号、ドネラン(Donelan)の米国特許第4,436,260号、およびスウェインら(Swain et al.)の米国特許第4,961,627号にも記載されている。これらの各文献は、剛直な球状回転体およびビーム偏向平坦面を有する偏光装置を教示している。各文献において球状回転体は、球中心を中心にして回転するよう支持され、それによって偏向表面が2軸において傾斜可能となっている。球状要素を用いることで、より剛直かつ機械的に頑丈な傾斜表面を設計できる。上記文献のうちヤギらの技術が、最も本発明に近似する先行技術であると考えられる。
【0009】
ヤギらの技術では、球状回転体は、内部に支持空洞が形成された支持部材の中に支持される。支持空洞は、誘電性液体で充填され、その中に球状回転体が収容される。空洞を覆う透過性平行プレートが、空洞を密閉する。球状回転体上には、複数の帯電可能領域が形成されており、それらの領域は異なる帯電特性を有する。支持部材内に設けられた駆動電極が、誘電性液体を介して、球状回転体の帯電可能領域に電界を印加する。駆動電極に荷電することで、複数の異なる帯電特性領域のいずれかを誘引し、それにより回転トルクを発生させる。またヤギらの装置は、約100μmの球直径にまで小型化される。
【0010】
ヤギらの装置の1つの問題点は、偏向される放射ビームが、空洞を密閉する平行プレートを2度通過し、誘電性液体も2度通過することである。数個の光学的表面および異なる屈折媒体を通過させると、非コリメートビームを偏向するいずれのシステムにおいても、放射ビームの波面の変形や焦点距離の変更が発生する可能性が高くなる。ヤギらの技術の他の欠点は、偏向装置が液体中に懸架されるので、自由にドリフトしてしまうことである。そのようなドリフトは、精密なビーム配置が要求される場合には許容できない。ヤギらの技術には、半球体を保持するために電極電圧を印加しなくても、摩擦によって半球体は移動しないと記載されているものの、保持電荷を印加せずにより確実かつ制御可能な保持力を実現することが、当業界において望ましい。ヤギらの技術のさらなる欠点は、球状回転体が各軸において、たとえば0°から+/−20°の範囲内などの、選択された個々の配向にのみ移動可能であることである。約45°までのいずれの所望角度にも傾斜できる2軸ビーム操向装置が、望まれている。
【0011】
また当業界では、上述の他のデバイスほど小型化されないまでも、モンタグの装置よりはコンパクトであり、スキャンが関わる多くの用途に利用可能であって、光学システムを実質的に小型化し、高パワーのビームを偏向でき、機械的に剛直かつ頑丈であり、システムの複雑さおよびコストを低減するという利点を有する、2軸ビーム偏向装置または表面配向装置が必要とされている。
【発明を実施するための最良の形態】
【0012】
以下、請求項に記載の本発明の好適な実施形態と、同じく請求項に記載の数個の代替実施形態とを説明する。
【0013】
<ボールおよびソケット>
図1Aから図4に、本発明の好適な実施形態の全体的レイアウトを示す。図1Aは、表面30を、たとえば固定された表面6に対して、所望の向きに配向する装置の断面を表す。好適な実施形態では、デバイス5は、全体的にボール/ソケットアセンブリの形態である2軸光ビーム操向装置を含む。そのアセンブリは、球状またはボール部の形状であってアウタ軸受面11を有する可動部材10を含む。可動部材10は、可動部材10の収容部である球状レースウェイまたはソケット20を有する固定部材40内に支持される。ソケット20内で可動部材10は、ソケット20に対して回転可能な状態で支持される。本実施例では、固定部材40は薄い平板であるが、たとえば円錐形などの他のレースウェイ構造を含む構成であってもよい。図1Aに示すように、可動部材10および固定部材40はそれぞれ、第1の面6と、反対側の第2の面8とを有する。固定部材40は、第1の面6および第2の面8のそれぞれにおいて、可動部材10に対して自由にアクセスできるよう構成されている。
【0014】
好適な実施形態ではビーム操向器5は、ミラー表面30を有する。ミラー表面30を制御下で動かすことによって、表面30で光ビームを反射し、そのビームを所望のターゲット箇所へ偏向させる。本発明の他の実施形態では、以下で説明するとおり、可動部材を用いて他の表面、物体、または素子の動きを制御することもある。ミラー表面30は、可動部材10に直接に蒸着あるいは接着されていることが可能である。好適な実施形態ではミラー表面30は、球状またはボール部材10の赤道面に形成される。代替案では、ミラー表面30は球形の他の断面に形成され、その平面は赤道面に平行であってもなくてもよい。
【0015】
図1Aの断面図は、表面30に対して垂直な、球状またはボール部材10の第2の赤道面に沿って得られた図である。球状またはボール部材10の放射中心32が、表面30上に示されており、それが球状またはボール部材10の回転軸を表す。光ビームまたは光線34は、たとえば垂直軸Vに対して角度βにてミラー表面30に入射し、垂直軸Vに対して反射角度β+2αにて反射される。ここでαは、たとえば水平面Hに対する表面30の傾斜角である。したがって、反射ビームまたは光線36は、表面30が動いた角度αの2倍の角度だけ偏向される。2軸装置ではミラー表面30は、図1Aに示す赤道断面に直交する面内における第2の傾斜角を有する。第2の傾斜角は図示していない。このように、入力光線34は、回転軸32を頂点とした立体円錐の角内に含まれる角度のいずれであることも可能な反射角にて反射されうる。
【0016】
<磁気リング>
磁気リングから成る磁気要素50が、可動部材10の第2の面8に一体的に形成されているか、もしくは取り付けられている。磁気リング50は、リング50と固定部材40との間に隙間を設けた状態で、ボール10上に形成および固定されている。それによりボール10は、軸32を中心にして角度αおよび図示しない直交傾斜角にて回転できる。磁石リング50は4つの磁石部分50a〜50dから成り、図1Aの断面図には対向する対の50aおよび50cを示す。各磁気区分は、図1Aおよび図5A〜5DにおいてそれぞれNおよびSと表記される、対極の北および南磁極を含む。それにより磁束が、各磁気区分内を一方の極から他方の極へ通過する。本発明によれば、たとえば50aおよび50cである対向磁石部分では、S磁極がボール10に面し、N磁極がボール10の反対側に面する。それらに隣接する磁石区分では、交互になるように、磁極が反対向きに設けられている。したがって本実施例では、磁石部分50bおよび50dでは、N磁極がボール10に面し、S磁極がボール10の反対側に面する。リング50は、実質的に同じサイズであってそれぞれリング50の四半部分を構成する磁石部分を組み上げることで形成されてもよいし、あるいは1つのモノリシックな磁石として形成されてもよい。以下でさらに詳述するとおり、磁気リング50は、ボール10と一体的に形成されることも可能である。
【0017】
<固定子>
操向装置5の第2の面8を、図2に示す。図3および図4では、明確に表示するためにコイルを省略して該装置を表す。固定支持された一体的固定子要素70は、磁気要素50に近接して配置され、磁気要素50と固定子要素70との間には空隙が設けられている。固定子要素70は、鉄などの磁気透過性の材料から成り、磁気回路の一要素を構成する。図4の固定子要素70は、4つの各磁石リング部分50a〜50dに対応した4つの固定子アーム70a〜70dを含む十字形要素で構成される。固定子アームが、回転軸32であるボール10の球状放射中心を実質的に中心として設けられることにより、図3に示すように均一厚さの空隙73が、各固定子アーム70a〜70dと各磁石リング部分50a〜50dとの間に設けられる。同じく図3に示すとおり、固定子70は固定部材40に固定されている。図6において固定子要素70は、明確に表示するために平坦に図示される。
【0018】
本発明において、磁性誘引力または吸引力が、磁気透過性の固定子要素70と磁気要素50との間に発生する。空隙73を介して作用する吸引力が、可動部材10を固定部材40に引き寄せようとする。それにより、好適な実施形態では球状ボール10は、球状軸受レースウェイ20に引き入れられて嵌るよう配置される。十分な磁性吸引力と、軸受座界面における十分な摩擦力とが存在すれば、ボール10を、磁性吸引力によって無期限期間にわたり固定配向にしっかりと保持することが可能である。
【0019】
<固定子コイル>
固定子70はさらに、各固定子アーム70a〜70dに巻かれた固定子電流コイル60a〜60dを含む。その状態を、図2において第2の面8側から、また図6において平坦に図示する。図1Aの断面図に示すとおり、対向する固定子アーム70aおよび70cならびにそれらに関連する固定子コイル60aおよび60cは、ボール10の球形に実質的に沿うように、放射中心32から略均一な半径距離にて形成される。そして、各固定子アーム70a,70cの遠端部は、プレート40の下側の凹部71に嵌められる。各固定子アーム70a〜70dは、接着またはハンダ付けなどのいずれかの適切な固定方法によって、固定要素またはプレート40に固着される。各固定子コイル60a〜60dは、以下でさらに詳述するとおり、空隙73中の磁束線に略直交するように巻かれる。図6に示すとおりコイルは、固定子アーム70a〜70dの長手軸74に対して直交するように巻かれる。
【0020】
本発明において、たとえばコイル60aなどの固定子コイルのいずれか1つに電流を印加すると、固定子70の周囲に磁界が誘導される。その磁界は、コイル巻線に直交する軸に沿って力を発生させる。したがって電流コイル60aは、固定子アーム70aの長手軸74に沿った方向の磁力を誘導する。その力を磁石部分50aに作用させることによって、可動部材10を回転できる。第1方向の電流によって右回りの力が生成されるとすると、それによってたとえば角度αにて、ボール10が右回りに回転する。反対方向の電流は、左回りの磁力を生成し、ボール10を左回りに回転させる。同じ振幅および方向を有する実質的に同等な電流を、2つの対向するコイル(たとえば60aおよび60c)に印加した場合、各固定子アーム70aおよび70cに磁力が誘導され、ボール10を回転させる磁力が2倍になる。
【0021】
本発明では、4つのすべてのコイル60a,60b,60c,60dを、1つ以上の電流駆動回路によって、別個の大きさかつ両方向の電流で励起することが可能である。ただし好適な実施形態では、対向する電流コイルは、同じドライバに直列または並列に接続され、同じ電流源によって同時に駆動される。各固定子アーム70a〜70dの長手軸に沿って生成された磁力を用いて、ボール10を配置部20内で制御下で回転させることができる。4つの磁石区分、4つの固定子アーム、および4つのコイルを備えることによって、ボール10を2つの互いに直交する軸において回転でき、それによりミラー表面30を2つの互いに直交する軸にて傾斜できる。
【0022】
4つの各コイルへの電流を制御することで、3つの基本的な条件が実現できる。第1の条件は、電流ドライバで、空隙73を介してクランプ力を作用させることである。4つのすべてのコイルを駆動して、実質的に固定子要素70の中心開口72の方向に作用する力を生成することによって、クランプ力が印加される。それにより、磁気要素50は開口72へ誘引され、磁気要素50に固定された可動部材10は、磁気要素50が単独で供給できる力より大きな力によって軸受座20内に引き入れられる。コイル60内の印加電流が小さいまたは無い場合でも、クランプ力は存在する。コイル60内に電流が無くても、上述のとおり、磁気要素50と固定子70との間に吸引力が発生しているからである。
【0023】
第2の条件は、磁気要素50と固定子70との間のクランプ力とほぼ正反対の磁性浮揚力を固定子70内に発生させる浮揚電流を、コイル60に印加することである。浮揚力は、可動部材10を実際に持ち上げてボール10と軸受座20との間に間隙を設けるに十分な大きさであってもよいし、あるいは、磁気要素50と固定子70との間のクランプ力を低減するだけであってもよい。
【0024】
第3の条件は、固定子70内に誘導トルク力を発生させるトルク電流を、コイル60に印加することである。トルク力は、固定子アーム70a〜70dの長手軸74に実質的に沿って発生し、可動部材10を回転させる磁力が磁気要素50に印加される。上述のとおり、互いに直交するコイルを適切な電流で駆動することによって、2つの互いに直交する方向での回転を達成できる。もちろん、いずれの偶数の対向する磁石区分、固定子アーム、および固定子コイルを設けてもよく、それにより磁石、固定子アーム、およびコイルの各対向ペアに対応する個々の軸にて、可動要素を回転できる。
【0025】
<磁束通路>
図7は、2軸傾斜装置で生成される4つの磁気回路を概略的に示す。第1の磁束通路は、磁石部分50aのN極とS極との間を通過し、ボール10内を通り、隣接する磁石部分50dのS極とN極との間を通過し、第1の空隙73を横断して固定子アーム70dに至る。その後、磁気透過性の固定子要素70において、アーム70dから隣接する固定子アーム70aへと、第2の空隙73aを横断して通過し、磁石部分50aへ戻る。各磁気回路は、集中的な磁束線が各空隙73a〜73dを半径方向に横断するよう構成される。それにより磁石部分50a〜50dは、固定部材40に固着された固定子要素70へ誘引される。空隙を介する磁石部分と固定子との間の吸引力は、ボール10を球状レースウェイ20に引き入れる。可動部材10が磁気回路内に含まれるため、可動部材10の材料が、磁気的に透過しやすいことが有益である。しかし、ボール材料が、ガラスまたはサファイアなどの光学的材料もしくはプラスチックなどの他の多くの材料である場合でも、磁気回路は維持される。代替案では可動部材10は、内部を通過するよう形成された磁気透過性通路を含む。その通路は、可動部材10に関連する別個の鉄芯要素などから成ることが考えられる。
【0026】
当業者であれば、磁石構成を変更することによって、様々な製造結果が得られると認識するであろう。それらの数例を、図5A〜5Dに示す。たとえば磁石部分50a〜50dは、図5Aおよび図5Cに示すように、ボール外形構造と一体的に形成することが可能である。この構成ではボール10は、磁気要素50を取り外さなくても、第1の面6を通じて固定部材40から脱着可能である。このような構成は、ミラーの破損時などに可動部材10を定期的に交換することが要求される場合に、便利である。図5Cの部分断面図に示す着脱式または固定式の保持カラー41を、ボール10の上方に追加してもよい。カラー41は、固定部材40の第1の面6に取り付けられ、ボール10が不意に配置部から抜け出ないことを確実にする。他の例では磁気要素50は、図5Bおよび図5Dに示すように、ボール10の球形の外側に延伸するよう形成される。この構成では、磁気要素50を取り外さずにボール10を固定部材40から脱着することは不可能である。このように、磁気要素50はさらなる保持機能を発揮し、軸受座からボールを押し出すような振動衝撃力が生じた場合にもボールを定位置に保持する。また磁石リング50の突縁部は、プレート40の下面に接する限界ストッパとして機能して、表面30の傾斜角を制限することも可能である。
【0027】
また、図5Aおよび5Cは、磁極が垂直方向に配置された磁石構成を示し、図5Bおよび5Dは、磁極が半径方向に沿って配置された磁石構成を示す。いずれの構成を用いてもよいが、図5Dに示す構成が、磁性体積の最も効率的な利用を可能にすると同時に、空隙73を半径方向に横断する磁力線を生成するので、好適な実施形態である。また、図3に最もはっきりと示すとおり、磁気透過性の裏部鉄要素81を磁気非透過性のボール部材10と一体的に形成することで、図7の磁束通路を改善できる。もちろん、多数の他の磁気回路要素および磁束通路を、本発明の範囲から逸れることなく利用することが可能である。
【0028】
<作用力例>
図8および上記説明を参照すると、磁気要素50と固定子要素70との間のクランプ力は、ボール10をレースウェイ20内に保持するネット磁性吸引力Fnetである。クランプ力Fnetの大きさは、空隙73を介して作用する磁束の大きさに依存する。得られる磁束の大きさは、磁石部分50a〜50dの強さ、空隙73a〜73dの形状、固定子アーム70a〜70dの磁気透過性、およびボール10または裏鉄部81の磁気透過性に依存する。コイル60の厚さが、確保できる最小限の空隙73a〜73dを限定することが図からわかる。これらのパラメータのいずれかを調節することで、様々な大きさのクランプ力を生成することが可能である。図8において、各空隙73a〜73dを横断する吸引力Fの方向は、ボール10に対して実質的に半径方向である。得られるクランプ力(Fnet)はさらに、環状磁気リングが対する(subtend)平均円錐角の関数(すなわち、磁石のサイズの関数)となっている。
【0029】
半径方向に沿って実質的に球形中心32へ向かう法線力Fnormalが、ボール10と軸受座20との間に発生し、クランプ力Fnetに対抗する。この法線力は、ボール10と軸受座20との間に、球回転軸32を中心としたボール10の回転に抵抗する摩擦トルクを生じさせる。本発明では、クランプ力Fnetの大きさとしては、コイル60a〜60dに電流印加せずに、たとえば約50msから数時間などの長期間にわたってボール10を定位置に保持できる値が選択される。さらに、操向装置をどの向きでも使用可能にすることが有利である場合には、クランプ力Fnetの大きさとして、重力に逆らってボール10を保持できる値を選択することが考えられる。またクランプ力の大きさとして、必要であれば、高い衝撃負荷の存在時にボールを保持できる値を選択してもよい。
【0030】
軸受座20とボール10との界面において、クランプ力Fnetに対抗する法線力Fnormalは、摩擦力を発生させる。その摩擦力は、法線力に対して略垂直方向に発生するため、軸受座20内でのボール10のいっさいの回転に抵抗する摩擦トルクが印加される。したがって、ボール10を回転させるためにコイル60が印加する力は、この摩擦トルクを克服するのに十分な大きさでなければならない。摩擦トルクの大きさは、法線力Fnormalと界面における摩擦係数との積によって与えられる。
【0031】
たとえば、ボール10の球形半径が0.267インチ(6.8mm)であって、表面30がプレート40の第1の面6から0.104インチ(2.6mm)ずらされたボール10の赤道面であるシステム設計において、傾斜角αがゼロであり、磁石リング50の外側球形半径が0.323インチ(8.2mm)である場合のインチ−パウンド単位の摩擦トルクを、インチ単位の空隙サイズを変化させて以下の表1に示す。空隙サイズの変更は、表に示す固定子70の内側半径を変化させることによって実施できる。本例では、界面における摩擦係数は0.08、界面接触角は約23°であると仮定する。
【0032】
【表1】
【0033】
言い換えれば、空隙を大きくすると、コイル巻線60a〜60dの銅の量をより多くでき、それにより、以下で説明するとおり、より高いトルク係数を得ることができる。軸受座20においてトルクに抵抗するボール10の回転は、構成材料と法線力Fnormalとの間の摩擦係数に線形比例する。装置が球形対称性を有するため、軸受座20内のボール10の角位置に対してトルクは均一である。
【0034】
<製造例>
可動部材10は、たとえば52100軸受スチールなどの金属、あるいはたとえばサファイア、石英、またはその他の従来からの光学材料などの、硬質で緻密な構造の材料で形成されることが好ましい。このような材料の選択が有益である理由は、これらの材料を用いると、多様な製造手法によって、可動部材を必要な外形構造に高精度で製作可能であるためである。さらに、金属および光学材料は、耐摩耗性が高く、従来からのスムージングおよび精密研磨仕上げ工程によって高度な表面均一性を有するよう形成できるため、軸受材料としても適切である。スチール軸受材料の1つの利点は、磁気透過性である。そのような材料を用いれば、可動部材10内に別個の磁気通路を設ける必要がなくなる。もちろん可動部材10を、複数の材料を含む複合要素で構成してもよい。一例では可動部材10は、ポリマーベースの基板に、スチール軸受表面を組み入れ、別個の研磨されたアルミニウムのミラーを取り付けて構成される。
【0035】
固定部材40は、優れた軸受特性を有し、寸法的に安定した材料で形成されることが好ましく、さらに、磁気的に透過しにくいことが望ましい。リン青銅などの金属は、従来の手法での製造が可能であるため、軸受座20の材料として適切である。またリン青銅は、上述の軸受スチールと組み合わせる上で、適切な材料である。固定部材40は、操向装置への電気的結線をルーティングするためのプラットホーム、熱放散通路、あるいは1つまたは複数のアレイ状の操向装置を支持する構造部材を構成するなどの、他の機能を果たすことが考えられる。固定部材40もまた、複合要素として形成されてもよい。たとえば固定部材40は、ポリマーまたはエポキシベースの基板に、適切な軸受材料から成る軸受座を組み入れて構成され、さらに、基板内に銅製の回路が埋設されていてもよい。
【0036】
いずれの構成であっても、軸受界面における材料間の相互作用は、軸受材料に関する周知の組み合わせ基準に基づいて選択されるべきである。上記例では、軸受スチールボール部材10がリン青銅レースウェイ20と組み合わせられ、リン青銅レースウェイ20は、銀または他の軟質潤滑フィルムの薄層でコーティングされる。この場合、リン青銅がスチールより軟らかい材料であるため、実質的にすべての材料摩滅は、軸受スチールではなくリン青銅に生じる。さらに、各軸受要素を従来の形成工程後に一括してラップ仕上げすることで、界面における接触領域が研磨されて密接に接触できるようになる。そのような軸受は、潤滑材無しで、摩擦係数が約0.3であると考えられる。要求があれば、硬質クロムでコーティングした加鉛青銅などの他の軸受座材料の組み合わせを用いて、より低い摩擦係数を達成することも可能である。
【0037】
軸受座界面は、上記説明のように大きな接触領域を含んで球状レースウェイ20全体にわたってボール10が密接に接触する構成である必要はない。摩擦およびそれに伴いトルク力が、面積とは関係なく法線力に依存するとすれば、上記例の球状レースウェイ20を、軸受座内に均等に配置された3つの接触パッドに縮小することもできる。さらに、それらの接触点は、上述のように滑り接触するものでもよいし、あるいは転がり接触してもよい。転がり接触は、たとえば1つ以上のロッド、ボール、ボール軸受、またはローラ軸受をプレート40内に回転可能に支持して軸受座20を形成することで、実現可能である。転がり接触界面を用いることでさらに摩擦を低減でき、それによりボール10の保持トルクを減少できる。軸受界面が滑り界面である場合には、ボールと軸受座との間に潤滑材をさらに設けることによって、レースウェイ20内の摩擦係数を調節できる。ボールと軸受座との間には、乾燥フィルム状の潤滑材を設けてもよいし、あるいは低蒸気圧液体または半液体状の潤滑材を設けてもよい。潤滑材層のさらなる機能として、ボールとソケットとの間に表面張力を発生させ、磁性浮揚時、またはボールをソケットから持ち上げるような線形加速が生じる短期間において、ボールをソケット内に保持することが考えられる。
【0038】
本発明の好適な実施形態では、ボール部材10は、独立した頑丈かつ構造的に剛直な可動部材であって、従来技術の多くの問題点を実質的に排除する1つ以上の材料を設計者が選択してそのボールを製造できる。スチールまたはガラスの使用によって、熱、水分、および化学的環境による劣化のおそれが排除され、使用時により大きい衝撃および加速に耐えられるよう装置を構成できる。さらに本発明によれば、たとえば光学的用途において、より多様な製造工程が利用可能になる。本発明では、平面研削および研磨、特に多数の素子を同時に研磨する集団研磨などの従来の光学表面作成手法を用いて、ミラー表面30を精密に研磨することが可能になる。本発明はさらに、多層の高反射性かつ誘電性のコーティングなどの光学コーティングを、ボール10と一体的なミラー表面30上に蒸着または真空蒸着させることを可能にする。従来技術の光スイッチ装置では、このような製造およびコーティング手法の選択肢は存在しない。
【0039】
また本発明は、操向装置5から熱をより容易に除去できる熱通路を提供する。本発明では、可動および固定要素を金属などの熱を伝導しやすい材料で形成できるため、コイル巻線60およびミラー表面30から熱を素早く除去できる。これらの改良点の利点としては、たとえば光スイッチ装置においては、光スイッチの光信号損失を減少でき、ミラー表面30が損傷することなくさらに高いパワー密度の光ビームを反射することが可能になり、反射ビームにおける波面変形を減少できることが含まれる。これらのすべての利点は、より平坦なミラーなどの光学表面の形状の改良、熱放散の改善、およびミラーコーティングの改善が可能になったことに基づく。
【0040】
<運転>
運転時において、磁気要素50が供給するクランプ力が存在するため、コイル60に電流をまったく印加する必要なく可動部材10を長期間にわたって定位置にクランプすることができる。それにより操向作動器5は、電力は使用するがコイル60内に熱を発生させることなく、光ビームを固定方向または固定ターゲットへ向け、そのビーム位置を長期間保持することが可能である。光ビームを他の方向またはターゲットへ偏向させるために表面30を再配置するには、1つ以上のコイル60に電流を印加して、固定子70内に磁力を誘導する。固定子70に誘導された磁力は、Fnetに対抗するよう磁気要素50に作用することで、ボールを定位置に保持するトルク力を低減または排除する。同時に、レースウェイ20内で可動部材10を回転させるよう、コイル60内の電流を駆動することもできる。回転軸は、固定子アーム70a〜70dのいずれかの長手軸74に一致する。可動要素の回転によってミラー表面30は傾斜され、入射ビームは新たな反射角にて反射される。所望の配置を達成した時点で電流をオフすると、ボール10は再度、摩擦トルク力によって保持される。もしくは、固定子70内にFnetと同じ方向に作用する磁力を誘導することによって、追加のクランプ力を印加することもできる。
【0041】
<位置検出>
可動部材10の正確な配向を検出することは、その動きをより正確に制御可能にするために有用である。可動部材10の位置を取得するために、1つ以上の位置センサを設ける。2軸装置では、各軸に1つの位置センサを設ける。各位置センサは、固定部材40またはたとえばミラー表面30の水平軸などの基準方向に対する可動部材10の回転配向に比例する電気信号を供給する場合がある。
【0042】
図12に示す本発明の操向装置5はさらに、2軸において表面30の傾斜角を感知する容量性位置センサアセンブリを含む。容量性位置センサは、ボール10の下側に接着されるなどして形成される第1電極面(A)を有する。第1電極面(A)は、ボール10の残りの表面部分からは電気的に絶縁されており、ボール10の各傾斜運動に伴い、第2電極面(B)に対して移動する。第2電極面(B)は、ボール10との比較で言えば静止状態であり、第1電極表面(A)の全可動域において第1電極(A)に対向する。ほぼ均一の厚さの空隙(C)が、電極表面(A)と(B)とを分離し、それらの電極間に誘電層を形成する。このようにして、電極(A)および(B)ならびに空隙(C)は、キャパシタを形成する。電極(B)に印加される交流電圧は、空隙(C)を介して電極(A)に結合される。電極(A)、電極(B)、および空隙(C)によって形成されるキャパシタの容量値は、電極(B)に流れる電流を感知することで測定できる。たとえば、互いに電気的に絶縁された4つの四分区間などの複数の均等サイズの区分に、電極(B)を分割することによって、各区分の電流を測定して、各絶縁区分に生じる容量値を検出することができる。電極(A)が、分割された電極(B)の別個の絶縁区分を移動すると、電極(B)の所定区分において電流値を通じて測定される容量は、その電極(B)区分に対向して位置する電極(A)の面積が多いほど大きくなる。したがって、電極(A)が最も多く重なる区分に、最も大きな電流が流れる。このように、ボール10の運動が表面30を傾斜させて電極(A)が電極(B)の電極区分を移動すると、電極(B)の各区分には、電極(B)の他の区分とは異なる電流が流れる。電極(B)の各区分におけるそれらの電流の測定値から、ボール10の位置を検出できる。
【0043】
図13に、本発明の上記実施形態に適用できる光学位置検出システムの他の例を示す。この例では、ベース部材120上に、光源122から受光するのに適した穴と、ビームスプリッタミラーアセンブリ126と、位置感知検出器(PSD)130とを、図示する配置にて設ける。光源122からの光線124は、ビームスプリッタミラーアセンブリ126で反射されて、ボール10の下面に備えられたミラー82に向けられた後、ビームスプリッタミラーアセンブリ126へ反射されて戻り、PSD130の2次元作動表面に入射する。PSD130は、2次元作動表面の中心位置に対する反射ビームの位置を表す電気信号を供給する。前述の例と同様に、水平または他の基準平面からのボール10の傾斜はいずれも、PSD上の反射光線位置を傾斜角の2倍だけ移動させる。PSDは、PSD上の反射ビームのxおよびy座標に相当する電気信号を出力する。
【0044】
本発明の範囲内で、他の光学位置センサ構成を容易に考案することができる。たとえば、ミラー82が上側ミラー表面30と平行でない配置になるよう、ミラー82ならびに関連の光源およびセンサを、対応のボール10の可動構成品に対して設けてもよいことが、当業者には明白である。光源を検出器ペアからずらして配置することで、光源光線の角度と反射光線の角度とが、ほとんど同軸な状態にならず、かなりずれるようにも構成できる。上側ミラー表面30で反射された放射を受光することで表面30の配向を検出する構成の、照度検出器を設けてもよい。
【0045】
<電子制御>
当業者にとって明白であるとおり、ビーム操向装置5はさらに、図15に概略的に示すような、所望の向きにボール10を動かすためのコマンドを受信する電流駆動回路400を含むことが可能である。回路400はさらに、装置5から返信される位置検知器信号に基づいてボール10の実位置を表す信号も受信する。また回路400は、実位置から所望位置にボール10を移動させる差分信号を生成し、その差分信号を増幅してコイル60a〜60d内に電流を駆動する。回路400は、ボール10の極めて精密な配向を可能にするために、コイル内に電流を精密に駆動するサーボ制御増幅器をさらに含むことが考えられる。サーボ電流駆動器は、周知であり幅広く使用されている。
【0046】
好適な実施形態の電流駆動回路400における比例積分微分(PID)サーボドライバ構造を、図15に示す。図15は、たとえば60aおよび60cである1対の対向コイルを駆動できる1つのPID装置を表す。対向コイルは、図示のとおりドライバ出力Sにて直列に駆動されてもよいし、あるいは図15に点線で示す出力経路Pに沿って並列に駆動されてもよい。運転時に回路400は、図示しないデジタルコンピュータやアナログプロセッサなどの他の装置から、入力信号402を受信する。入力信号402は、1軸におけるボール10の所望配向を表す。回路400はさらに、該1軸に関連する1つ以上の位置センサから、実配向または実位置信号404を受信する。入力信号402と実配向信号404とを装置406で加算して、配向または位置エラー信号408を生成する。エラー信号408は、所望配向または位置を達成するために該1軸においてボール10をどのくらい動かす必要があるかを表す。エラー信号408はPIDサーボ装置410に供給され、PID装置410は電流信号412を生成する。電流信号412は、電流増幅器414で増幅され、構成SまたはPの一方によって対向コイルに配信される。実質的に同等のサーボドライブ回路を用いて、たとえば60bおよび60dなどの他の対向固定子コイルセットに駆動電流信号を供給する。
【0047】
<光信号スイッチ装置>
図14は、本発明による自由空間光リンク302を表す概略図である。自由空間光リンクは、上述した2軸操向装置の発明を実施する2つの光操向装置を含み、それらの光操向装置は光スイッチ200として機能する。2つのスイッチ200は、光信号または放射ビームを、第1の光ファイバ201から第2の光ファイバ203へ送ることが考えられる。自由空間光リンク302は、1つの通信切換ハブに組み込まれる数百にも及びうる多くの自由空間光リンクのうちの1つのチャネルのみを表す。また自由空間光リンクは、他のチャネルに連結することも可能であり、図14の略図は、通信ハブ内の光ファイバチャネルのいずれの組み合わせペアを表しているとも言える。
【0048】
スイッチ動作を制御するには、マスタ制御器154に接続されたスイッチ論理CPU152に、電気信号入力を供給する。本発明では、所望のチャネル接続を達成するためにどの自由空間スイッチ200の組み合わせを使用するかは、スイッチ論理CPU152が決定する。続いてスイッチ論理CPU152は、1つ以上のサーボ制御器160および170を駆動するために使用する信号を、マスタ制御器154に送信する。サーボ制御器160および170は、選択されたスイッチ装置200の固定子コイル電流162および172を駆動する。サーボ制御器160および170は、位置センサ166および176からの位置フィードバックを用いることで、ミラー164および174の位置を取得し、一方または両方のミラーを要求どおりに配向する。第1通信チャネルの入力ファイバ201からの光信号は、レンズ要素157aによってコリメートされ、各スイッチ200のスイッチミラー164および174によって反射される。コリメートされた光信号ビームは、第2のレンズ157bで集束される。第2レンズ157bは、ビームを出力ファイバ203の端部に集束させ、そこに光信号を伝達する。このシステムは逆に運転することも可能であり、入力信号をファイバ203で受信してファイバ201に出力してもよい。
【0049】
運転時にマスタ制御器154が、入力光ファイバチャネル201に、チャネル接続を最適化するための光制御信号156を挿入してもよい。光制御信号156は、いずれの通信信号の波長とも異なる既知の波長を有する光線から成ると考えられる。光制御信号156は、通信信号と同じ光路を進み、放射検知器205に至る。放射検知器205は、出力ファイバチャネル203から分岐するファイバタップ204に接続されている。ファイバタップ204は、受信ファイバ203内の光の数パーセントをサンプリングするか、あるいは制御信号のみをサンプリングする。本例では制御信号156は、タップフィルタ204を介して検知器205に到達し、マスタ制御器154に電気フィードバック信号を供給する。その電気フィードバック信号を用いて、チャネル接続を最適化できる。第1の最適化工程では、入射ビームが、互いに平行な各投射において、出力ファイバレンズ157b上の複数の側面箇所を標的とするよう、ミラー164および174を協調スキャンさせる。その間に検知器205内の信号を評価して、最良の結合を検出する。最大値を検出した時点で、ビームをレンズ157b上のその箇所に側方移動させる。この最適化工程は2軸において実施でき、それにより接続結合を最適化できる。
【0050】
図2および図9に、本発明のビーム操向装置5を、ミラー表面30を読者側とは反対に向けて第2の面8側から示す。4つのアームを有する固定子70および4つのコイル60a〜60dが設けられているため、操向装置5の下側の設置面形状は十字形である。この形状は、図9に示すかみ合い配置の実現に貢献している。本発明では、各操向装置の第2面の設置面形状は、従来技術のシステムに比べて向上した実装効率にて、複数の操向装置をかみ合わせて配置できるよう形成されている。円形の上側ミラー30および十字形の固定子要素70を用いることで、図9に示すとおり、1つのミラー600の縁部に4つの隣接するミラー縁部603を近接させて、複数装置を密集配置できる。それにより、隣接するミラー中心間の距離またはピッチによって決定されるユニット間の間隔は、かみ合わせられない各ビーム操向装置の行列配置において予想される間隔に比べて、約20%向上する。
【0051】
<単一磁石による実施形態>
図10および図11を参照すると、本発明の他の実施形態では、単体の二極磁石67を使用する。本発明のこの実施形態では上記と同様に、可動部材10が、固定部材40のレースウェイ20内に設けられ、固定部材40に対して移動する。本実施形態によれば、単一の磁石67は、軸に沿って配置され、可動部材10の、第1の面6とは反対側の第2の面8に設けられた開口部内に設置される。本例では磁石67の断面は円形であるが、他の断面形状を用いてもよい。磁石67は、両端部に単一のN極および単一のS極を有し、一方の極が固定子アセンブリ61に対向する。固定子アセンブリ61は、固定部材40に対して固定支持される磁気透過性の固定子65を含み、磁石67に近接配置される。固定子アセンブリ61は、磁石67に形成された対応の球状湾曲部64に実質的に沿った球状湾曲部63を有することが考えられる。それにより、略均一な空隙75が、磁石67と固定子65との間に、可動部材10の全可動域にわたって設けられる。さらに、磁石67と固定子65との間に略均一な吸引力が全可動域にわたって生成される。その吸引力は、可動部材10をレースウェイ20内に引き入れ、電力を必要とせずに可動部材を固定配向に保持する。
【0052】
固定子アセンブリ61はさらに、磁気透過性の固定子65に巻き付けられ、互いに直交して編み合わされる一対のコイルアセンブリ66を有する。各コイルアセンブリ66には別個の電流を印加するので、各コイル66が互いに垂直な磁力を誘導し、固定子65内に磁界が誘導される。
【0053】
固定子65の断面図を、図11に示す。本実施形態では固定子65は、固定部材40の穴804に嵌る外径802を有する円板800を含み、いずれかの適切な組立て手法によって定位置に固定される。円板800に4つのスロット68が貫通して設けられており、直交コイルアセンブリ66は、それらを通過して固定子65の中央部806に巻き付けられる。各コイルアセンブリ66は、互いに直交するよう巻かれる。それにより、各コイルに印加される電流は、互いに垂直な磁力を固定子65内に誘導し、その磁力が、磁石67およびそれに固定された可動部材10を、2つの直交する傾斜軸にて動かす。上述のとおり、サーボ制御器を用いてコイルアセンブリ66内の電流を要求どおりに制御することも可能である。
【0054】
<単一軸の実施形態>
本発明の別の実施形態として、図1Bに単一傾斜軸装置700を示す。単一軸装置700は、装置5に関して図1Aおよび図3に示す断面とほぼ同じ断面を有する。ただし単一軸装置700の固定子702は、両側に延伸する固定子アーム702aおよび702cと、固定子コイル704aおよび704cとを、一対のみ有する。単一軸装置700は、2つの磁石要素706および708を有する。本例では磁束通路は、磁石708と固定子アーム702cとの間の空隙を横断し、固定子に沿って固定子アーム702aに至り、固定子アーム702aと磁石706との間の第2の空隙を横断し、円筒要素712を通過する。装置700では、細長いミラー表面710が、部分円筒部材712上に設けられる。磁石706および708は、部分円筒部材712に固定され、円筒要素712の全長にわたって延伸してもよいし、あるいはその一部のみに延伸してもよい。固定子702も同様に、円筒要素712の全長または一部に延伸することが考えられる。円筒部分712は、支持プレート714に形成された円筒形の軸受座に収容される。このような構成により、単一軸装置は、実質的に1次元の線に沿って光信号をスキャンするために使用できる。装置700の用途の一例としては、ミラー表面710に入射するスキャンライン716の全体を、一定の角度範囲内にわたってスキャンすることが挙げられる。
【0055】
<放射スキャンシステム>
図16を参照すると、本発明のさらなる実施例および用途は、2軸ビームスキャンシステム500を含む。レーザによるマーキングまたはスクライビング、ならびに、金属やプリント回路基板(PCB)のレーザ溶接および穴あけを含む材料加工などの、偏向ミラー表面30にて極めて高いパワー密度を要するあらゆる種類のシステムにおいて、本ビームスキャンシステム500はモンタグによる従来技術のシステムに取って代わりうる。ビームスキャンシステム500の他の使用方法としては、2次元平面を放射ビームでスキャンすることによる感光性材料上へのイメージ記録、レーザを用いた皮膚科または眼科手術などの医療用用途、および、ビーム位置の精密制御を必要とする他のいずれの用途も含まれる。それらの用途では、文書スキャナで実施するようなイメージ情報の読み込みや、レーザ印刷装置で実施するようなイメージ情報の記録が実施されると考えられる。システム500はさらに、3次元物体またはシーンの走査にも使用でき、たとえば、物体や患者をX線または他の診断用放射ビームで走査することも可能である。また、3次元物体またはシーンのイメージを、システム500で走査してカメラまたはイメージ記録装置で記録するというような、セキュリティ用の走査も実施できる。あるいはこのような装置は、光ビーム表示システムに使用され、物体、または自由空間光データ通信に用いられるような光信号を追跡したり、指示子をターゲットに向けるために利用される。
【0056】
したがって放射ビームスキャンシステム500は、本発明による1軸または2軸ビーム操向装置5を備える。操向装置5は、本明細書で説明するいずれの構成であってもよい。スキャンシステム500の一実施形態では、放射ビーム源502が、操向装置5の可動ミラー表面30に入射する放射ビーム504を供給する。放射ビーム504は表面30によって反射され、2次元スキャン面506へ向けられる。ミラー表面30の2つの傾斜角を操作することによって、放射ビーム504をスキャン面506内の所望のxおよびy座標に配置でき、あるいは、スキャン面506を所望のパターンで連続的に走査することもできる。放射ビーム経路内にレンズ508などの集束装置が設けられた場合には、ビーム504は、スキャン面506全体に実質的に集束されることも可能である。
【0057】
上記で説明したように、上述の電流駆動回路400を含む電子制御器510を設けて、接続部512を通じて装置5の各コイル60に供給される電流振幅を変調させることにより、表面30の各傾斜角を別個に制御する。ボール10の動きを要求どおりに実現させるために電子制御器510は、他の装置から入力コマンドを受信することが考えられる。電子制御器510はさらに、装置5に関連する2軸位置検出器から接続部514を通じて位置フィードバック信号を受信し、そのフィードバック信号を処理して電流振幅を適切に制御してもよい。このように、システム500では数種の方法で制御を実施することにより、たとえばスキャン面上を放射ビーム504でラスタ走査したり、スキャン面506内の不連続位置にビーム504を選択的に配置したり、スキャン面506内の固定位置にビーム504を保持したりできる。上述のとおりシステム500は、コイル60を駆動する必要なく、ビーム504をスキャン面506内の固定位置に無期限に保持できる。電子制御器510はまた、レーザ502からの放射ビーム504の出力を制御してもよい。したがって電子制御器510は、放射ビームの出力振幅および波長を変調させる放射源ドライバをさらに含むことが考えられる。
【0058】
システム500の他の実施形態では、レンズ508は、放射ビーム504の光路内のどこに配置されてもよく、上記例のようにスキャン面506が平面である場合には、平坦フィールド上に放射ビームを集束するために使用される。他の用途では、スキャン面506は球形、円筒形、または他の表面形状であり、レンズ508は、所望のスキャン領域に集束する放射ビームを供給するよう構成される。
【0059】
システム500のさらに別の実施形態では、図16に示す放射源502の代わりに、フィルムまたはデジタルカメラシステムなどのイメージ記録装置、あるいは放射ビーム検出器を有することがある。この場合、ミラー表面30は、表面506を走査するよう制御され、それにより表面506のイメージを記録するか、あるいは、たとえば最も明るいスポット、特定の放射波長、または特定の特徴などの要求されるカメラ反応を検索する。上記と同様に、スキャン領域506は、物体やシーンなどの3次元空間であってもよい。さらに、カメラ内にレンズ508を含み、オートフォーカスレンズを有してもよい。さらなる実施形態ではスキャンシステム500は、レンズ508を使用せずに、放射源502からの発散放射ビーム504を、領域または面506内にスキャンさせる。そのような装置の一用途は、自由空間通信信号送信装置である。あるいは、表面30に放射検出器を設けることにより、装置500が自由空間通信信号受信装置を構成してもよい。
【0060】
システム500の他の実施形態では、レンズ508は、装置5とスキャン面506との間に、スキャン装置5に対してテレセントリックに配置される。テレセントリック配置のレンズ508(図示せず)は、スキャン装置5がレンズ508の焦点面に一致するよう配置される。したがって、装置5によって向けられる放射ビームの各方向において、レンズ508は、放射ビームをスキャン面506に略垂直に入射させる。このように、装置5に対してテレセントリックに配置されるレンズ508を装置5と組み合わせることにより、スキャン表面506に対して略垂直なビーム入射角にて、スキャン面506上の複数の不連続のxおよびy点を選択的にアドレスできる。この機能は、PCBに貫通穴をドリルするレーザ貫通ドリル装置、抵抗器およびキャパシタなどの電子回路素子をトリミングするレーザトリミング装置、および回路の選択箇所のレーザアブレーションによってレーザ集積回路を修理する回路修理装置などの、レーザ処理装置に容易に適用できる。
【0061】
上記数々の実施形態の変形を、当業者であれば簡単に認識できるであろう。操向装置5は、まったく異なる用途および必要性に合わせて、拡大および縮小して作成できる。操向される要素で支持できる重量には設計上の限界があるが、電子的および機械的なミクロ構造を用いることにより、本発明による機能および性能を、単純なビーム操向だけでなく多くの用途に適用できる。
【0062】
表面30は、本明細書では平坦なミラー表面として典型的に図示されているが、他のいずれの所望の形状および機能を有する表面として、当業者によって構想されうる。たとえば表面30は、球状または非球状の反射器を含んでもよい。さらに表面30は、たとえば回折格子を有する場合は波長選択、波長選択性吸収コーティングが施されている場合は波長フィルタリングなど、反射以外の他の光学的機能を果たすことも考えられる。従来技術で周知のとおり、トランスミッション(transmission)に球状要素を用いることが可能であり、当業者であれば本発明をトランスミッションに利用できると認識するであろう。
【0063】
本発明は、他の変形および実施形態が可能である。たとえば、角位置を調節可能なプラットホームを設けて、それに固定された要素を精密制御下で配向する場合に、その要素は2軸において、軸受座内の限定された角度範囲内である約40度にわたって操作可能であることが考えられる。他の変形例では、電流ドライバが、コンピュータに接続されたジョイスティックまたはマウスなどの手動制御入力装置と連結され、可動部材10の向きが手動で調節可能である。
【0064】
他の例では、角位置を調節可能なプラットホームシステムから成る平坦なアレイを設ける。そのアレイは、上述のとおりに個々に角位置を調節可能なプラットホームシステムを、均一な分布パターンで組み入れた平坦構造で構成される。制御回路は、アレイにおいて共通で、アレイ内の角位置調節可能なプラットホームシステムのいずれにも選択的に接続可能に構成されうる。上述のアレイと同様に、各操向装置に別個の制御回路を設けてもよいし、もしくは、各ビーム操向アレイに共通の制御回路を設けて、その共通制御回路を、各ビーム操向アレイ内の操向装置のいずれにも選択的に接続可能にしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【0065】
【図1A】本発明の好適な実施形態を示す断面図である。
【図1B】単一軸の実施形態を示す図である。
【図2】図1Aの実施形態の下端面図である。
【図3】明確に表示するためにコイルを省略した、図1Aの実施形態の部分断面図である。
【図4】コイルを省略した図3の構造の下端面図である。
【図5A】異なる磁石リング構成を有する各実施形態を示す部分断面図である。
【図5B】異なる磁石リング構成を有する各実施形態を示す部分断面図である。
【図5C】異なる磁石リング構成を有する各実施形態を示す部分断面図である。
【図5D】異なる磁石リング構成を有する各実施形態を示す部分断面図である。
【図6】図1Aの実施形態の固定子およびコイル巻線の下端部を、明確に表示するために平坦に図示する概略的平坦図である。
【図7】図1Aの実施形態の磁束回路を示す概略図である。
【図8】図1Aの断面図であって、実施形態における磁力を力図で示す。
【図9】図1Aの装置のアレイの下端面図であって、最良の領域密度を達成する実装配置を示す。
【図10】鉛直配置されたコア磁石と、2軸用固定子/コイルアセンブリとを含む、単一磁石の実施形態を示す断面図である。
【図11】図10の装置の水平断面図であって、2軸コイルアセンブリを平面的に示す。
【図12】容量性位置センサを用いて構成された図1Aの装置を示す断面図である。
【図13】直角光源、ビーム反射器、および光学位置センサ機構を組み込んだ、本発明の他の実施形態を示す側面図である。
【図14】ファイバタップ光学位置センサをシステムの構成品として用いる、ファイバ・ツー・ファイバ型光学リンク制御システムの単一チャネルを表す図である。
【図15】固定子コイルに対して制御電流を駆動させる電子サーボ制御器を示す。
【図16】2次元および3次元の対象物を走査する放射スキャンシステムを示す。
Claims (23)
- 表面(30)を配向させる装置において、
第1の面(6)およびその反対側の第2の面(8)を含む可動部材(10)であって、前記第1の面は配向される前記表面(30)を含み、前記第2の面(8)はアウタ軸受面(11)を含む可動部材(10)と、
前記アウタ軸受面(11)を収容するインナ軸受座(20)を含む固定部材(40)であって、前記アウタ軸受面と前記インナ軸受座との間に摩擦係数が存在する固定部材(40)と、
を有する装置であって、さらに、
前記可動部材(10)に固着され前記可動部材(10)に伴って可動であり、磁界を有する、磁気要素(50)と、
前記磁界内に固定配置される固定子要素(70)であって、略均一の空隙(73)が前記磁気要素(50)と前記固定子(70)とを前記可動要素(10)の可動域にわたって分離し、前記固定子および前記磁気要素が互いの間に吸引力を生成して前記表面(30)の向きを保持するよう配置される固定子要素(70)と、
を有する装置。 - 請求項1に記載の装置においてさらに、
前記磁界内に配置され、固定子磁界を前記固定子(70)内に誘導し前記磁気要素(50)の前記磁界と相互作用させる電流伝送部材(60)を有する装置。 - 請求項2に記載の装置においてさらに、前記電流伝送部材(60)に制御可能な電流を供給して前記固定子磁界を誘導させる電流ドライバ(400)を有する、装置。
- 請求項1〜3のいずれか1つに記載の装置において、
他の力を印加せずに、前記吸引力が前記摩擦係数との組み合わせにより、前記可動部材(10)を前記固定部材(40)に対して静止させるために十分なクランプ力を供給する装置。 - 請求項1〜4のいずれか1つに記載の装置において、
前記表面(30)の実配向を表すセンサ信号を供給する配向センサを有する装置。 - 請求項1〜5のいずれか1つに記載の装置において、
前記表面(30)は、前記表面(30)に入射する放射ビームと相互作用する光学要素を含む装置。 - 請求項1〜6のいずれか1つに記載の装置において、
前記表面(30)は、前記表面(30)に入射する放射ビームと相互作用する反射表面を含む装置。 - 請求項1〜7のいずれか1つに記載の装置において、
前記アウタ軸受面(11)は、略球状のアウタ軸受面から成り、
前記インナ軸受座(20)は、略球状の軸受レースウェイから成り、
前記アウタ軸受面(11)と前記インナ軸受座(20)とは、略一致する球形半径を有する装置。 - 請求項1〜8のいずれか1つに記載の装置において、
前記固定子要素(70)は、前記可動部材(10)の接触可能な前記第2の面(8)の周囲に略均一の空隙(73)を設けるよう球状に形成される十字形固定子要素を含み、
前記固定子要素はさらに、中心部によって連結される4つの固定子アーム(70a〜70d)を有し、
前記中心部は、隣接する固定子アーム(70a〜70d)の間に磁束通路を設け、
前記4つの固定子アーム(70a〜70d)は、ほぼ一致する第1の長手軸(74)を有し対向配置される第1および第3固定子アーム(70aおよび70c)と、ほぼ一致する第2の長手軸を有し対向配置される第2および第4固定子アーム(70bおよび70d)とから成り、前記第1および第2の長手軸は互いに略垂直である装置。 - 請求項1〜9のいずれか1つに記載の装置において、
前記磁気要素(50)は、それぞれN磁極およびS磁極を有する4つの磁石リング部分(50a〜50d)を含み、
前記4つの磁石リング部分は、対向配置され第1(70a)および第3(70c)固定子アームに対応する第1(50a)および第3(50c)の部分と、対向配置され第2(70b)および第4(70d)固定子アームに対応する第2(50b)および第4(50d)の部分とから成り、
前記各磁気部分のNおよびS磁極は、隣接する区分における向きとは反対の方向に向けられている装置。 - 請求項10に記載の装置において、
前記4つの固定子アーム(70a〜70d)の各々に巻かれ、対向配置される第1(60a)および第3(60c)電流コイルと、対向配置される第2(60b)および第4(60d)電流コイルとを備える、4つの電流コイル(60a〜60d)を有する装置。 - 請求項11に記載の装置において、
前記対向する第1(60a)および第3(60c)電流コイルは、並列または直列のいずれか一方の電流回路内に接続され、第1の電流ドライバ(400)によって駆動され、
前記対向する第2(60b)および第4(60d)電流コイルは、並列または直列のいずれか一方の電流回路内に接続され、第2の電流ドライバ(400)によって駆動される装置。 - 請求項1に記載の装置において、
前記アウタ軸受面(11)は、略円筒形の表面を有し、
前記インナ軸受座(20)は、略円筒形の軸受レースウェイを有し、
前記円筒形軸受面と前記円筒形軸受レースウェイとは、略一致する円筒形半径を有する、装置。 - 請求項6〜10のいずれか1つに記載の装置において、
前記表面(30)に入射するよう方向付けられる放射ビーム(504)を生成する放射ビーム源(502)を有し、
前記放射ビーム(504)は、前記表面(30)の動きによって偏向される、装置。 - 請求項14に記載の装置において、
前記放射ビーム(504)の経路内に配置され、前記放射ビームを所望の焦点位置に集束させるレンズ要素(508)を有する装置。 - 請求項14に記載の装置においてさらに、
前記表面(30)の配向を制御することで前記放射ビーム(504)を面(506)内の所望位置へ方向付け、さらに、前記放射源(502)の振幅または波長のいずれか一方を変調させる、電子制御器(510)を有する装置。 - 表面(30)を配向する方法において、
第1の面(6)およびその反対側の第2の面(8)を含む可動部材(10)であって、前記第1の面は配向される前記表面(30)を含み、前記第2の面(8)はアウタ軸受面(11)を含む、可動部材(10)を設けるステップと、
前記アウタ軸受面(11)を収容するインナ軸受座(20)を含む固定部材(40)であって、前記アウタ軸受面と前記インナ軸受座との間に摩擦係数が存在する、固定部材(40)を設けるステップと、
を有する方法であって、さらに、
磁界を有する磁気要素(50)を、前記可動部材(10)に伴って可動になるよう前記可動部材(10)に固着させるステップと、
固定子要素(70)を前記磁界内に固定配置し、略均一の空隙(73)が前記磁気要素(50)と前記固定子(70)とを前記可動要素(10)の可動域にわたって分離し、前記固定子および前記磁気要素が互いの間に吸引力を生成して前記表面(30)を固定方向に保持するよう構成するステップと、
を有する方法。 - 請求項17に記載の方法においてさらに、
固定子磁界を前記固定子(70)内に誘導し前記磁気要素(50)の前記磁界と相互作用させる電流伝送部材(60)を、前記磁界内に配置するステップを含む、方法。 - 請求項18に記載の方法においてさらに、
前記電流伝送部材(60)内に電流を流すことで、前記吸引力に対抗するよう前記固定子磁界を制御することを含む、方法。 - 請求項18に記載の方法においてさらに、
前記電流伝送部材(60)内に電流を流すことで、前記可動部材(10)を前記固定部材(40)に対して回転させるよう前記固定子磁界を制御することを含む、方法。 - 請求項17〜20のいずれかに記載の方法においてさらに、
他の力を印加せずに、前記可動部材(10)を前記固定部材(40)に対して静止方向に保持するのに十分なクランプ力が作用するよう、前記吸引力の大きさと前記摩擦係数とを、組み合わせて選択するステップを有する方法。 - 請求項17〜21のいずれかに記載の方法においてさらに、
前記可動部材(10)の位置を感知するステップと、
前記表面(30)の実配向を表すセンサ信号を供給するステップと、を有する方法。 - 請求項17〜22のいずれかに記載の方法においてさらに、
前記表面(30)に素子を固着させるステップと、
前記表面30を配向することで、制御状態で前記素子を配置させるステップと、を有する方法。
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Cited By (5)
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JP2008503777A (ja) * | 2004-06-23 | 2008-02-07 | クイン メディア アーツ アンド サイエンシズ インコーポレイテッド | 光学タイルを用いた彫刻撮影 |
JP2010514393A (ja) * | 2006-12-13 | 2010-04-30 | エー−テック コーポレーション | ステアリングミラーの適用のための高帯域リニアアクチュエータ |
JP2010256811A (ja) * | 2009-04-28 | 2010-11-11 | Mitsubishi Electric Corp | ガルバノスキャナ |
JP2010268552A (ja) * | 2009-05-13 | 2010-11-25 | Saitama Univ | 磁気浮上装置 |
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Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008503777A (ja) * | 2004-06-23 | 2008-02-07 | クイン メディア アーツ アンド サイエンシズ インコーポレイテッド | 光学タイルを用いた彫刻撮影 |
JP2010514393A (ja) * | 2006-12-13 | 2010-04-30 | エー−テック コーポレーション | ステアリングミラーの適用のための高帯域リニアアクチュエータ |
JP2010256811A (ja) * | 2009-04-28 | 2010-11-11 | Mitsubishi Electric Corp | ガルバノスキャナ |
JP2010268552A (ja) * | 2009-05-13 | 2010-11-25 | Saitama Univ | 磁気浮上装置 |
KR20170096997A (ko) * | 2014-10-08 | 2017-08-25 | 옵토투네 아게 | 광학 요소, 특히 거울을 틸팅하기 위한 장치 |
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