JP2004521354A - マイクロメカニカルマスフローセンサおよびその製造方法 - Google Patents
マイクロメカニカルマスフローセンサおよびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004521354A JP2004521354A JP2003507506A JP2003507506A JP2004521354A JP 2004521354 A JP2004521354 A JP 2004521354A JP 2003507506 A JP2003507506 A JP 2003507506A JP 2003507506 A JP2003507506 A JP 2003507506A JP 2004521354 A JP2004521354 A JP 2004521354A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- silicon
- silicon dioxide
- silicon substrate
- deposited
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
- G01F1/6845—Micromachined devices
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Abstract
Description
本発明はシリコン技術によるマイクロメカニカルマスフローセンサに関する。本発明はまたこのようなセンサの製造方法に関する。
【0002】
シリコンマイクロメカニカル技術により、半導体テクノロジの手法を用いて微小なセンサチップを低コストで作成することができる。数100μmのオーダーの寸法を有するマスフローセンサは例えば車両内で空気供給を制御する領域において使用される。
【0003】
独国特許出願公開第19527861号明細書から公知のシリコンマイクロメカニカル技術によるマスフローセンサはヒータ素子と典型的には複数の温度測定素子とを有している。温度測定素子は金属の抵抗層からパターニングされ、誘電体材料から成る薄いメンブレン上に配置される。このメンブレンはシリコン基板内の切欠の上方に架けわたされている。
【0004】
媒体流、例えば空気流がメンブレンの表面上をこれに沿って流れるとき、この媒体流はメンブレンを冷却する作用を有する。この冷却作用は特に(ヒータ素子に対して)上流に配置された温度測定素子と下流に配置された温度測定素子とにより評価される。その際に上流に配置された温度測定素子は下流に配置された温度測定素子よりも強い冷却作用を受ける。これに代えてヒータ素子の抵抗測定によりメンブレンの冷却作用を測定することもできる。温度測定素子は同様にその抵抗値が温度に依存する材料から成る抵抗であってもよい。ヒータおよび温度測定素子に特に適した材料は白金である。
【0005】
独国特許出願公開第19527861号明細書からはさらに、この種のメンブレンセンサを製造するために、シリコン基板の表面に最初にシリコン酸化物層、シリコン窒化物層またはその他の材料から成るメンブレン層を堆積することが知られる。メンブレン層上には全面にわたって金属層が被着され、この金属層からフォトリソグラフィとエッチングとにより測定素子、ヒータ素子、導体路などがパターニングされる。さらなるプロセスステップではシリコン基板のリア面からエッチングフレームを用いた切欠のエッチングを行い、その際にシリコンから成るフレームおよびその内部に架けわたされているメンブレンのみを残す。続いてメンブレン層の下方を(フレームが覆っている個所を除いて)露出させ、空気に接触させる。
【0006】
公知のメンブレンの構成によれば、金属層からパターニングされた抵抗と基板とのあいだの熱分離は切欠またはそこに存在する空気により保証される(空気またはSiO2の熱伝導率はケイ素よりもほぼオーダー2ほど小さい)。切欠が設けられないとヒータ素子で形成される熱の大部分はそばを流れる媒体により放出されず、メンブレン層を介してシリコン基板へ流れこんでしまう。ラテラル方向およびバーティカル方向で基板内へ流れる熱は大きな問題となる。なぜなら測定感度にとって重要な設定動作温度はどんな場合でもヒータのエネルギ消費を上昇させることにより実現されるものだからである。
【0007】
特に問題となるのは、測定素子が典型的にはヒータのラテラル方向で隣接して配置されることから、ラテラル方向の熱流である。この熱流の関数は温度グラジエントの発生に基づいて生じる。これはヒータ素子によって加熱されるメンブレン中央部とセンサの縁とのあいだに発生するが、本来なるべく周囲温度に近くあるべきものである。ラテラル方向の熱流があると(たとえメンブレンそのものを介した直接の熱結合に大きく寄与しなくとも)、温度測定素子は基板を介してともに加熱されてしまう。ヒータ素子または測定素子の温度グラジエントを低減すれば、直接にセンサの感度が低減されてしまう。したがってラテラル方向およびバーティカル方向の熱結合は不可避のことのように見える。
【0008】
しかも周知のメンブレンセンサは製造の際に、前述のように、基板のリア面からのボリュームマイクロメカニカルプロセスを前提としている。メンブレンのこうしたパターニングは通常の場合KOHエッチングプロセスにより、ウェハをエッチング剤に浸して行われる。リア集積面の処理プロセスをともなうバルクシリコンマイクロメカニカルプロセスの製造方法はきわめて煩雑であり、高いコストがかかる。さらに典型的には1μm〜2μmの厚さの薄いメンブレンは機械的な安定性に乏しいために望ましくない振動を発生しやすい。
【0009】
したがって本発明の課題は、従来のものよりも簡単に製造でき、充分な感度と機械的な安定性とを有するマイクロメカニカルマスフローセンサを提供することである。さらにこうしたセンサを相応に製造する方法も提供する。
【0010】
この課題は請求項1に記載の本発明のセンサおよび請求項7に記載の本発明の方法により解決される。本発明の別の実施形態は従属請求項に記載されている。
【0011】
本発明は、シリコン基板の表面に層構造体が配置されており、この層構造体の導電層から少なくとも1つのヒータ素子がパターニングされており、ヒータ素子とシリコン基板とのあいだの熱分離を行うアイソレーション部が設けられており、アイソレーション部は二酸化シリコンブロックを有しており、このブロックはヒータ素子の下方でシリコン基板上の層構造体の表面またはシリコン基板の表面に製造されていることを特徴とするマイクロメカニカルマスフローセンサを提供する。
【0012】
本発明は白金抵抗とシリコン基板とのあいだの熱分離を充分な厚さの二酸化シリコン層により達成し、同時に充分な機械的安定性を得るという着想に基づいている。二酸化シリコン層は酸化物ブロックとして構成されており、直接に表面からシリコン基板内へパターニングされるか、またはシリコン基板上の相応の層構造体内に製造される。後者の場合にはシリコン基板上にはシリコン酸化物層が配置され、さらにその上にシリコン層が被着される。二酸化シリコン層はこのシリコン層内に製造される。
【0013】
本発明のセンサは、製造にフロント面マイクロメカニカルプロセスしか必要とせず、すなわち一方面のプロセスのみで煩雑なリア面処理のプロセスを省略できる利点を有している。リア面のKOHエッチングを省略できることにより、さらにモジュールの微細化も可能となる。またリア面処理のプロセスに関連してこれまでほとんど回避できなかったウェハ表面のかきざきまたは粒子も低減される。
【0014】
センサの特に有利な実施形態によれば、二酸化シリコンブロックに垂直方向の空隙状の複数の中空スペースが形成される。中空スペースは空気を含むかまたは真空であるので、パターニングされた二酸化シリコンブロックによる熱分離の効果は著しく高められる。
【0015】
前述の二酸化シリコンブロックを層構造体の内部に構成する実施形態として、二酸化シリコンブロックの下方のシリコン酸化物層が除去され、そこにシリコン基板へ向かって水平方向の中空スペースが形成される。この場合にも熱分離への寄与は大きい。
【0016】
有利には、水平方向の中空スペースでは、上方で二酸化シリコンブロックに接し、下方でシリコン基板に接する少なくとも1つの支承部が配置されている。これにより機械的な安定性がさらに改善される。
【0017】
本発明はさらに、請求項1記載のマイクロメカニカルマスフローセンサの製造方法において、エッチングマスクをパターニングした後、このマスクをシリコン酸化物層の上方でシリコン基板に被着されたシリコン層上に被着するかまたは直接にシリコン基板上に被着し、エッチングによりほぼ垂直なトレンチをエッチングマスクの下方に存在するシリコン材料内に形成し、その際にトレンチ間にシリコンから成るランド部(Steg)を残し、続いてランド部を熱酸化により完全に酸化させ、このようにしてフロント面マイクロメカニカル技術によって形成された二酸化シリコンブロックを二酸化シリコンの封止層を堆積することによりカバーし、導電層の堆積およびパターニング前に二酸化シリコンブロック上で平坦化ステップを行い、平坦な表面を製造することを特徴とするセンサの製造方法を提供する。
【0018】
本発明の方法によりセンサを簡単に製造することができる。ここでは方法ステップとして半導体技術で周知のステップのみが使用される。これにより再現性のある酸化物ブロックの層厚さおよびパターンを製造することができる。特に良好な多孔性と酸化物ブロックのアイソレーションとの観点から、エッチングマスク下方のシリコン層またはシリコン基板が等方性のエッチングによりアンダエッチされる。エッチングマスクがエッチング後にもランド部上に残され、後にともにカバーされるようにすれば、薄いランド部でも幅広のトレンチを用意に形成することができる。一般に本発明によれば層数もフォトリソグラフィステップの数も僅かしか必要とならない。
【0019】
本発明の方法の特に有利な実施形態によれば、平坦化のためにシリコン酸化物層を堆積し、続いて化学的機械的研磨CMPを行う。これはシリコン酸化物の補助層または二酸化シリコンの封止層を用いて行われる。このようにして後に被着される過敏な薄膜導電層に対して必要なトポグラフィのためのプレーナプロセスステップを特に簡単に行うことができる。
【0020】
本発明を以下に図示の実施例に則して詳細に説明する。図は縮尺通りではないことに注意されたい。
【0021】
図1〜図20には本発明のセンサを種々の製造方法で製造したときのそれぞれのバリエーションの断面図が示されている。
【0022】
図1〜図7には本発明の製造方法の第1の実施例が示されている。図8〜図10には本発明の製造方法の第2の実施例が示されている。図11〜図14には本発明の製造方法の第3の実施例が示されている。図15には使用される製造方法の全てのバリエーションが示されている。図16〜図20にはプレーナプロセスに使用される2通りの製造方法の連続ステップが示されている。
【0023】
図1にはシリコン基板1が示されており、この基板の表面からトレンチ2がエッチングにより形成されている。これに類似した(別の目的のための)約20μmまでの深さのトレンチがフロント面マイクロメカニカル技術から知られている。トレンチ2を分離しているランド部3の幅は、このランド部3が続く熱酸化のステップでどんな場合にも完全に酸化されるような大きさに選定されている。ランド部3の完全な酸化の後、これらのあいだに空隙4が残るようにトレンチ2の幅が選定されているケースにおいて次に達成される状態が図2に示されている。トレンチ2の初期的な幅はトレンチ2が完全に閉鎖されるように選定されている(図3を参照)。
【0024】
付加的な中空スペースを形成するために、最初からトレンチ2を横切る方向で付加的なトレンチをエッチングすることもできる。ランド部3はこの場合中断され、厳密に云えばピラー状のランド部エレメントから形成されることになる。
【0025】
熱酸化は比較的緩慢な表面プロセスであるが、トレンチ内でもコンフォーマルな酸化物の成長は発生する。いずれにしてもプロセスは典型的には1μm〜5μmの幅でランド部3がそれぞれSiO2から形成されるまでのあいだ続行される。
【0026】
図2、図3の状態では、本発明固有の酸化物ブロック5は所望の低い熱伝導性で既に製造されている。以下に図2の空隙4を備えた構成を詳細に説明する。このようにパターニングされる酸化物ブロック5はアイソレーションの利点を有するからである。酸化物ブロック5に必要な厚さは一方では要求に応じて選定されるが、他方では垂直方向および/または水平方向の中空スペースにより低減されてしまうこともある。典型的には100μmまでの厚さがあれば充分である。酸化物ブロック5の厚さによりセンサの機械的な安定性が向上する。
【0027】
次のステップとして基板1の全面にわたって酸化物の封止層6が堆積され、その上に断湿のための窒化物層が堆積される。これにより図4の状態が得られる。続くステップでは抵抗8(ヒータ素子および測定素子)やパッドなどのための白金層が堆積され、パターニングされる(図5を参照)。抵抗8間の間隔は典型的には数μmであり、場合によっては多数の抵抗を並べて配置することもできる。白金に代えて他の導電層を、例えば金属、ポリシリコンまたはゲルマニウムから形成してパターニングすることもできる。さらに酸化物の保護層9が数nmの厚さで堆積され、パターニングされる(図6を参照)。続いてアルミニウム導体路10の堆積およびパターニングが行われ、図7に完成したセンサが示されている。
【0028】
図8、図9にはセンサのバリエーションが示されており、ここでは酸化物ブロック5が基板1そのものにではなく、基板の表面上に配置された適切な層構造体内に形成されている。図8によれば、基板1上に埋め込まれた酸化物層11と例えばエピタキシャル成長されたポリシリコン層12が被着されている。酸化物層11は有利にはシリコンランド部3およびトレンチ2を形成する際のエッチングストッパとして用いられる。図9には、図2と同様に、シリコンランド部3を熱酸化で完全に酸化することにより形成された酸化物ブロック5が示されている。さらなる方法ステップは図4〜図6に則して説明したものと同様である。図10には最終的に作成されたセンサが示されている。
【0029】
最後に示したバリエーションは他のバリエーションの出発点として使用するのに特に有効である。ここではまず気相エッチングステップが行われ、酸化物層11の部分的な除去がパターニングされたシリコン層の下方で行われている。そこに水平方向の中空スペース13(図11を参照)が形成され、白金抵抗8と基板1とのあいだの付加的な熱分離に用いられる。その後再び酸化物ブロック5がシリコン層12内に図8、図9と同様に形成され、図12の状態が得られる。このほかのステップは前述の手法と同様に行われ、最終的な状態が図13に示されている。酸化物5の必要な厚さが付加的な中空スペース13によって部分的に低減されていてもよい。
【0030】
図14には図13の構成に一致する完成したセンサ1が示されているが、水平方向の中空スペース13には付加的に、上方で酸化物ブロック5に接し、下方で基板1に接する少なくとも1つの支承部14が設けられている。このためにはプロセスのシーケンスからシリコン層12の被着の前に酸化物層11を相応にパターニングしなければならない。支承部14によりセンサの構造の機械的な安定性が高められ、酸化物ブロック5は測定すべき空気流による振動を生じない。
【0031】
図15には幅広のトレンチ2を薄いランド部2のもとで形成するために特に有利な手段が示されている。その際にはトレンチ2のエッチング後に残されたエッチングマスク15(ハードマスク、例えばSiO2)は除去されず、続く熱酸化の際にも基板1上に残される。有利にはこの実施例においては、強い等方性エッチングによるアンダエッチをともなうトレンチプロセスが行われ、このことは図15から見て取れる。エッチングマスク15はこの場合にトレンチプロセスの後にもトレンチ幅よりも小さな開口で残る。これによりランド部3の酸化後、幅広のトレンチ2または空隙4の閉鎖は例えばSiO2の封止層により行われる。幅広のトレンチ2または空隙4により高度の多孔性と相応のアイソレーションの利点とが得られる。
【0032】
図16に示されているように、酸化物ブロック5のカバーは例えば酸化物の封止層6により平坦な表面に直接にはかからない。REM検査で見られるように、凹部16が空隙4の上に存在する。僅か数μmの望ましくないトポグラフィにもかかわらず、これは後に被着される金属層にとって大きな問題となる。白金層の典型的な厚さはこのトポグラフィよりもおおよそオーダー1だけ小さく、このため破壊の重大な危険が生じることになる。
【0033】
図17には図16に示されているトポグラフィのための平坦化手段が示されている。酸化物の封止層6上にはまず窒化物層7が堆積され、図示されているようにそこに凹部16が残される。窒化物層7上には続いて次の平坦化ステップのためのSiO2の補助層17が堆積される。補除層17の平坦化は周知の化学的機械的研磨プロセスCMPを用いて窒化物層まで行われ、この窒化物層はこの場合さしあたって平坦化のストッパとして用いられる。残留酸化物18は凹部16内に残され、その表面は図18から見て取れるように平坦化される。続いて白金構造体、酸化物保護層およびアルミニウム導体路が前述の場合と同様に堆積され、パターニングされる。
【0034】
平坦化のための別の手段が図19に示されている。この変形実施例では窒化物層7が酸化物の封止層5の前に堆積される。これにより前述の酸化物の補助層17を後から堆積する必要がなくなる。
【0035】
図19には堆積された窒化物層7とその上方に堆積された酸化物の封止層6とが示されている。封止層には凹部16が設けられる。平坦化プロセスでのストッパとして用いられる窒化物層7まで構造体を平坦化するステップが前述のようにCMPにより行われる。次に予めクリティカルな凹部が存在する位置に酸化物の封止層6の残留部18を残す(図20を参照)。白金構造体の接着性を改善するために、窒化物層7は周知の手法で再酸化プロセスにより表面の部分が再び酸化物層へ変換される。続いて白金構造体、酸化物保護層、アルミニウム導体路などが前述のように堆積され、パターニングされる。
【0036】
CMP平坦化の代替手段としてパッシベーション層をスピンオンガラスプロセスで表面上に被着することもできる。フローによりパッシベーション層が凹部16を充填する。続いて薄い酸化物層が白金層の接着のために堆積される。
【0037】
別の平坦化手段として、BPSGまたはPSGがフローガラスプロセスにより被着される。このプロセスはスピンオンガラスプロセスとともに集積回路技術から周知である。フローにより凹部16が充填され、平坦な表面が形成される。続いて薄い酸化物層が堆積される。
【0038】
さらにトポグラフィは周知のCVD堆積プロセスによっても充分に低減することができる。適切な堆積のパラメータによりここでは凹部16のみがSiO2で充填される。これによりほぼ平坦な面が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】
本発明の製造方法の第1の実施例を示す図である。
【図2】
本発明の製造方法の第1の実施例を示す図である。
【図3】
本発明の製造方法の第1の実施例を示す図である。
【図4】
本発明の製造方法の第1の実施例を示す図である。
【図5】
本発明の製造方法の第1の実施例を示す図である。
【図6】
本発明の製造方法の第1の実施例を示す図である。
【図7】
本発明の製造方法の第1の実施例を示す図である。
【図8】
本発明の製造方法の第2の実施例を示す図である。
【図9】
本発明の製造方法の第2の実施例を示す図である。
【図10】
本発明の製造方法の第2の実施例を示す図である。
【図11】
本発明の製造方法の第3の実施例を示す図である。
【図12】
本発明の製造方法の第3の実施例を示す図である。
【図13】
本発明の製造方法の第3の実施例を示す図である。
【図14】
本発明の製造方法の第3の実施例を示す図である。
【図15】
使用される製造方法の全てのバリエーションを示す図である。
【図16】
第1の平坦化プロセスを示す図である。
【図17】
第1の平坦化プロセスを示す図である。
【図18】
第1の平坦化プロセスを示す図である。
【図19】
第2の平坦化プロセスを示す図である。
【図20】
第2の平坦化プロセスを示す図である。
Claims (14)
- シリコン基板(1)の表面に層構造体が配置されており、
該層構造体の導電層から少なくとも1つのヒータ素子(8)がパターニングされており、
ヒータ素子(8)とシリコン基板(1)とのあいだの熱分離を行うアイソレーション部が設けられており、該アイソレーション部は二酸化シリコンブロック(5)を有しており、
該ブロックはヒータ素子(8)の下方でシリコン基板(1)上の層構造体内またはシリコン基板(1)の表面に製造されている
ことを特徴とするマイクロメカニカルマスフローセンサ。 - 二酸化シリコンブロック(5)には垂直方向の空隙状の複数の中空スペース(4)が形成されている、請求項1記載のセンサ。
- シリコン基板(1)上にはシリコン酸化物層(11)が被着されており、その上にシリコン層(12)が被着されており、該シリコン層(12)内に二酸化シリコンブロック(5)が製造されている、請求項1または2記載のセンサ。
- 二酸化シリコンブロック(5)の下方のシリコン酸化物層(11)が除去されており、そこにシリコン基板(1)へ向かって水平方向の中空スペース(13)が形成されている、請求項3記載のセンサ。
- 水平方向の中空スペース(13)には、上方で二酸化シリコンブロック(5)に接し、下方でシリコン基板(1)に接する少なくとも1つの支承部(14)が配置されている、請求項4記載のセンサ。
- 二酸化シリコンブロック(5)とパターニングされた導電層とのあいだに二酸化シリコンの封止層(6)およびシリコン窒化物層(7)が被着されている、請求項1から5までのいずれか1項記載のセンサ。
- 請求項1記載のマイクロメカニカルマスフローセンサの製造方法において、
エッチングマスクをパターニングした後、該マスクをシリコン酸化物層(11)の上方でシリコン基板(1)上に被着されたシリコン層(12)上に被着するかまたは直接にシリコン基板(1)上に被着し、
エッチングによりほぼ垂直なトレンチ(2)をエッチングマスクの下方に存在するシリコン材料(1、12)内に形成し、その際にトレンチ(2)間にシリコンから成るランド部(3)を残し、
続いてランド部(3)を熱酸化により完全に酸化させ、
このようにフロント面マイクロメカニカル技術によって形成された二酸化シリコンブロック(5)を二酸化シリコンの封止層(6)を堆積することによりカバーし、
導電層の堆積およびパターニングの前に二酸化シリコンブロック(5)上で平坦化ステップを行い、平坦な表面を製造する
ことを特徴とするセンサの製造方法。 - エッチングマスクをシリコン層(12)上に被着し、ランド部(3)の酸化前にシリコン酸化物層(11)を少なくとも部分的に気相エッチングステップにより除去して水平方向の中空スペース(13)をシリコン層(12)のパターニング領域の下方に形成する、請求項7記載の方法。
- シリコン酸化物層(11)をシリコン層(12)の被着前にパターニングして中空スペース(13)内に少なくとも1つの支承部(14)を形成する、請求項8記載の方法。
- シリコン層(12)またはシリコン基板(1)をハードマスク(15)の下方で等方性エッチングによりアンダエッチし、ハードマスク(15)をエッチング後にランド部(3)上に残し、後にともにカバーする、請求項7記載の方法。
- 二酸化シリコンの封止層(6)上に窒化物層(7)を堆積し、該窒化物層上にシリコン酸化物の補助層(17)を平坦化のために堆積し、続いて窒化物層(7)まで平坦化する、請求項7から10までのいずれか1項記載の方法。
- シリコン層(12)内の酸化された構造体上またはシリコン基板(1)内にまず窒化物層(7)を堆積し、次に二酸化シリコンの封止層(6)を堆積し、続いてこれらを窒化物層(7)まで平坦化する、請求項7から10までのいずれか1項記載の方法。
- 平坦化をシリコン酸化物の補助層(17)または二酸化シリコンの封止層(6)の化学的機械的研磨(CMP)により行い、その際に窒化物層(7)を平坦化のストッパとして用いる、請求項11または12記載の方法。
- 平坦化をスピンオンガラスプロセスまたはフローガラスプロセスにより行う、請求項7から10までのいずれか1項記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE10130379A DE10130379A1 (de) | 2001-06-23 | 2001-06-23 | Mikromechanischer Massenflusssensor und Verfahren zu dessen Herstellung |
PCT/DE2002/002096 WO2003001158A1 (de) | 2001-06-23 | 2002-06-08 | Mikromechanischer massenflussensor und verfahren zu dessen herstellung |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004521354A true JP2004521354A (ja) | 2004-07-15 |
JP4124726B2 JP4124726B2 (ja) | 2008-07-23 |
Family
ID=7689235
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003507506A Expired - Fee Related JP4124726B2 (ja) | 2001-06-23 | 2002-06-08 | マイクロメカニカルマスフローセンサおよびその製造方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7060197B2 (ja) |
EP (1) | EP1402235B1 (ja) |
JP (1) | JP4124726B2 (ja) |
DE (2) | DE10130379A1 (ja) |
WO (1) | WO2003001158A1 (ja) |
Families Citing this family (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102005023699B4 (de) * | 2005-05-23 | 2013-11-07 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements mit einer Membran |
DE102006001386A1 (de) * | 2005-12-20 | 2007-06-21 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zum Herstellen einer Membran auf einem Halbleitersubstrat und mikromechanisches Bauelement mit einer solchen Membran |
US7755466B2 (en) * | 2006-04-26 | 2010-07-13 | Honeywell International Inc. | Flip-chip flow sensor |
US8175835B2 (en) * | 2006-05-17 | 2012-05-08 | Honeywell International Inc. | Flow sensor with conditioning-coefficient memory |
US7277802B1 (en) | 2006-05-18 | 2007-10-02 | Honeywell International Inc. | Method and system for providing a linear signal from a mass flow transducer |
US7280927B1 (en) | 2006-10-11 | 2007-10-09 | Honeywell International Inc. | Method and system for providing a linear signal from a mass airflow and/or liquid flow transducer |
FR2909221B1 (fr) * | 2006-11-29 | 2009-04-17 | Commissariat Energie Atomique | Procede de realisation d'un substrat mixte. |
US7832269B2 (en) * | 2007-06-22 | 2010-11-16 | Honeywell International Inc. | Packaging multiple measurands into a combinational sensor system using elastomeric seals |
US7712347B2 (en) | 2007-08-29 | 2010-05-11 | Honeywell International Inc. | Self diagnostic measurement method to detect microbridge null drift and performance |
US8132546B2 (en) * | 2008-05-08 | 2012-03-13 | Ford Global Technologies, Llc | Control strategy for multi-stroke engine system |
WO2010138640A2 (en) * | 2009-05-27 | 2010-12-02 | Archimedes, Inc. | Healthcare quality measurement |
KR101692398B1 (ko) * | 2010-08-30 | 2017-01-03 | 삼성전자주식회사 | 디지털 촬영 장치 및 디지털 촬영 장치의 제어 방법 |
US8718981B2 (en) | 2011-05-09 | 2014-05-06 | Honeywell International Inc. | Modular sensor assembly including removable sensing module |
US9766106B2 (en) * | 2011-11-28 | 2017-09-19 | Hitachi Automotive Systems, Ltd. | Thermal air flow sensor |
CH707797A1 (fr) * | 2013-03-28 | 2014-09-30 | Silicior Sa | Procédé de fabrication d'une pièce micro-mécanique essentiellement plane, et pièce micro-mécanique comportant au moins une portion formée d'oxyde de silicium. |
US10107662B2 (en) | 2015-01-30 | 2018-10-23 | Honeywell International Inc. | Sensor assembly |
EP3153851B1 (en) | 2015-10-06 | 2024-05-01 | Carrier Corporation | Mems die with sensing structures |
US20180236765A1 (en) * | 2016-01-25 | 2018-08-23 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Fluid device |
US10132712B1 (en) * | 2016-09-14 | 2018-11-20 | Northrop Grumman Systems Corporation | Micro hermetic sensor |
DE102016119031A1 (de) * | 2016-10-07 | 2018-04-12 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Wärmeisoliertes Mikrosystem |
CN113562688B (zh) * | 2021-07-23 | 2024-04-23 | 力晟智感科技无锡有限公司 | 微机电系统传感器芯片制备方法及其制备的传感器芯片 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5237867A (en) * | 1990-06-29 | 1993-08-24 | Siemens Automotive L.P. | Thin-film air flow sensor using temperature-biasing resistive element |
JP3896158B2 (ja) * | 1993-02-04 | 2007-03-22 | コーネル・リサーチ・ファウンデーション・インコーポレイテッド | マイクロ構造及びその製造のためのシングルマスク、単結晶プロセス |
US6199874B1 (en) * | 1993-05-26 | 2001-03-13 | Cornell Research Foundation Inc. | Microelectromechanical accelerometer for automotive applications |
US5610335A (en) * | 1993-05-26 | 1997-03-11 | Cornell Research Foundation | Microelectromechanical lateral accelerometer |
US5426070A (en) * | 1993-05-26 | 1995-06-20 | Cornell Research Foundation, Inc. | Microstructures and high temperature isolation process for fabrication thereof |
DE19527861B4 (de) | 1995-07-29 | 2010-09-30 | Robert Bosch Gmbh | Massenflusssensor sowie Verfahren zur Herstellung |
US6184773B1 (en) * | 1998-12-07 | 2001-02-06 | Honeywell Inc. | Rugged fluid flow and property microsensor |
US20020127760A1 (en) * | 2000-08-02 | 2002-09-12 | Jer-Liang Yeh | Method and apparatus for micro electro-mechanical systems and their manufacture |
US6461888B1 (en) * | 2001-06-14 | 2002-10-08 | Institute Of Microelectronics | Lateral polysilicon beam process |
-
2001
- 2001-06-23 DE DE10130379A patent/DE10130379A1/de not_active Withdrawn
-
2002
- 2002-06-08 JP JP2003507506A patent/JP4124726B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2002-06-08 WO PCT/DE2002/002096 patent/WO2003001158A1/de active IP Right Grant
- 2002-06-08 DE DE50203208T patent/DE50203208D1/de not_active Expired - Lifetime
- 2002-06-08 US US10/362,654 patent/US7060197B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2002-06-08 EP EP02747203A patent/EP1402235B1/de not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2003001158A1 (de) | 2003-01-03 |
DE10130379A1 (de) | 2003-01-02 |
DE50203208D1 (de) | 2005-06-30 |
US7060197B2 (en) | 2006-06-13 |
US20040026365A1 (en) | 2004-02-12 |
JP4124726B2 (ja) | 2008-07-23 |
EP1402235A1 (de) | 2004-03-31 |
EP1402235B1 (de) | 2005-05-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4124726B2 (ja) | マイクロメカニカルマスフローセンサおよびその製造方法 | |
JP5090603B2 (ja) | マイクロメカニック構造素子および相当する製造方法 | |
KR100692593B1 (ko) | Mems 구조체, 외팔보 형태의 mems 구조체 및밀봉된 유체채널의 제조 방법. | |
JP5602761B2 (ja) | 分離した微細構造を有する微小電気機械システムデバイス及びその製造方法 | |
KR101774072B1 (ko) | Mems 마이크로폰 및 그 제조 방법 | |
JP5091156B2 (ja) | マイクロメカニカル素子及びマイクロメカニカル素子の製造方法 | |
US20040195096A1 (en) | Method for the fabrication of suspended porous silicon microstructures and application in gas sensors | |
JP4260396B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP2005246601A (ja) | マイクロマシニング型の構成エレメントおよび相応の製作法 | |
JP2009160728A (ja) | 単結晶シリコンで作製されるmems又はnems構造の機械部品の製造方法 | |
JP2003517611A (ja) | 半導体素子、殊には加速度センサをマイクロメカニカル製造するための方法 | |
JP5129456B2 (ja) | 梁部を備えた構造体の製造方法およびmemsデバイス | |
JP2004522174A (ja) | マイクロマシニング型の構成エレメント | |
KR100889115B1 (ko) | Soi 기판상에 공동구조를 형성하는 방법 및 soi기판상에 형성된 공동구조 | |
US20060226114A1 (en) | Method for producing a micromechanical device and a micromechanical device | |
JP4603641B2 (ja) | マイクロマシンの構成要素の製造方法 | |
US10290721B2 (en) | Method of fabricating an electromechanical structure including at least one mechanical reinforcing pillar | |
CN111579012A (zh) | Mems热式流量传感器及其制作方法 | |
JP2005524080A (ja) | 温度センサーおよびその製造方法 | |
JP2009123818A (ja) | 磁気センサデバイスの製造方法 | |
JP5145412B2 (ja) | マイクロメカニカル素子、ならびに、薄膜キャップを備えたマイクロメカニカル素子の製造方法 | |
CN113735055A (zh) | 一种mems器件制造方法及mems器件 | |
JP2002514521A (ja) | マイクロメカニック構造部品の製造方法 | |
WO2003015183A1 (fr) | Procede de fabrication d'une structure a couches minces | |
US20070138581A1 (en) | Micromechanical sensor |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050608 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20071214 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071220 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080317 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080403 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080502 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110516 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120516 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130516 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |