JP2004512692A - 半導体ウェハキャリアを運搬する設備 - Google Patents

Abstract

半導体ウェハ運搬システムのベイタイプ構造のために、互いに取り付けられたベイ間レールトラック（１０）およびベイ内レールトラック（２０）が設備に提供され、ベイ間システムの運搬手段（１１）ならびにベイ内システムのキャリア搬送車（２１）は、互いを妨害することなく、ベイ領域内で双方向に自由に移動し得る。キャリア搬送は、ウェハキャリア（１）が、運搬手段（１１）から加工装置のロードポート（３１）に直接的に積載され得る。この設備は、搬送を単純化かつ加速し、ウェハ搬送における運搬手段の柔軟性を強化する。
【選択図】図１ａ

Description

【０００１】
本発明は、半導体ウェハキャリアを運搬する設備に関する。
【０００２】
半導体デバイス製作システム、特に、ウェハの製造において、デバイスキャリア（例えば、キャリアとも呼ばれるウェハカセット）の搬送に自動運搬システムが益々多く利用されている。これらのキャリアは、次に続く製造プロセス工程間にて、例えば、ウェハ等、多数のデバイスを収容する。一般的に用いられるのは、クリーンルーム内のベイタイプの領域に製作システムを構成する構造である。同じ種類の加工装置は、ベイに凝縮されて、化学物質および電気供給専用の装置を組み合わせ、オペレータが装置のそばで作業できるようにし、特に、運搬システムを単純化する。なぜなら、同じ種類の異なった装置上で加工されるロットが、空間的に一緒に保持されるからである。
【０００３】
通常、運搬システムは、製造システム全体にわたるすべてのベイ領域を接続するベイ間（ｉｎｔｅｒｂａｙ）システム、およびベイ領域内に環状のレールトラックを備えるベイ内（ｉｎｔｒａｂａｙ）システムを含み、ウェハキャリアをストッカ機器を介してベイ間運搬手段から受け取る機能、ならびにキャリア搬送車を用いてウェハを任意の使用中でない加工装置の空のロードポートに運搬する機能、およびその逆の機能を有する。ストッカ機器（ｓｔｏｃｋｅｒ　ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ）は、異なったシステム間でウェハキャリアを運搬するために利用され、ここで、多くの場合、オントップ運搬手段（ｏｎ−ｔｏｐ−ｖｅｈｉｃｌｅ）がベイ間レールトラックのために用いられる。キャリア搬送車は、加工装置に向かって移動し、ここで、個々のウェハハンドラが加工装置のロードポートに積載するか、オペレータがこのタスクを手動で行う。
【０００４】
加工装置のサイクルタイムが短縮およびクリーンルームの仕様が向上するに従って、クリーンルーム領域内の運搬機器の移動時間および設置面積による無付加価値コストが、ウェハ製造コストにとって重要になる。製作システムに著しい負荷がかかる場合、ストッカ機器または加工装置のロードポートにて長い待ち時間が生じ得る。これらのキャリアロードを運搬する際に用いられる運搬手段は、他の運搬手段を妨げ得る。これらの運搬手段は、上述の障害、すなわち、ストッカ機器またはロードポートを通過する必要がある。さらに、ストッカ機器は、クリーンルーム領域内に高価な設置面積を必要とし、かつ高い利用可能性を提供する必要があり、その結果、利用に対するコストが高くなる。
【０００５】
ＷＯ９８／５８４０２において、処理する自動カセットのための装置が開示される。この装置は、コンベヤからカセットまたはキャリアを受け取る機能を提供する。従って、コンベヤは、装置の昇降器チャンバの内部部分に延び、そこから、この装置は、昇降器によって特定の位置まで持ち上げられ得、そこで、ウェハハンドラは、付属の加工装置の処理チャンバに積載し得る。装置は、次の第２のウェハキャリアが、製造中、プロセス中の第１のウェハキャリアによって妨害されることなく通過すること、従って、装置の正面に列ができることを回避することを可能にする。それにもかかわらず、運搬システムは、コンベヤラインに限定され、従って、一般的なベイ内システムの搬送車の場合のように、配列可能な搬送機構を有する、動的に積載する異なった装置の柔軟性が欠如する。
【０００６】
ＷＯ００／３７３３８において、ベイ内システムが、ウェハキャリアをベイ内コンベヤから、そのコンベヤの近傍のストレージバッファに向かって上昇および移動するための搬送アセンブリを有することが提示される。さらなるユニット、送出ロボットは、後から（ツール容量が使用可能であるとき）ウェハキャリアをストレージバッファから処理ツールのロードポートに再分配し得る。送出ロボットは、垂直および水平運動を有し、天井のベイ内システムから独立して取り付けられ、かつ、各々が、ストレージバッファの近傍の２つのロードポートのために利用されるように意図される。
【０００７】
米国特許５，９８０，１８３号において、ベイ内バッファおよび送達システムが提供される。この記載によると、シャトルがベイ内ポイントへの入口にてベイ内システムからのウェハキャリアを受け取り、これにより、ストッカの機能をし得、かつ、これらのウェハキャリアをベイ内のバッファシェルフ内に保管する。必要に応じて、ウェハキャリアは、グリッパを備えるシャトルによってロードポートの位置に搬送される。シャトルは、ベイ内のガイドレールトラックに沿う配列可能なガイドレールに取り付けられる。
【０００８】
これらの２つの構成もまた、柔軟性を欠く。なぜなら、ストッカ機器およびストレージバッファへの、種々の積載／積降動作を依然として必要とするからである。
【０００９】
本発明の主な目的は、ウェハ製造プロセスにおける半導体ウェハキャリアを運搬するための設備を提供することである。この設備は、次に続く処理工程間の移動よび積載または積降の膨大な時間を低減し、ここで、半導体ウェハを加工装置に運搬するために必要な運搬機器を少なくする。
【００１０】
この目的は、半導体ウェハキャリアを運搬するための設備によって解決される。この設備は、各々が加工装置を備える複数のベイを接続するために、ベイ間レールトラックおよびトラック上を移動する運搬手段を有するベイ間運搬設備と、プロセスシーケンスにより、ウェハキャリアを異なったベイ間で搬送するための運搬手段と、ウェハキャリアをベイ間運搬設備と加工装置との間で搬送するために、ベイ内レールトラックおよびトラック上を移動するキャリア搬送車を備えるベイ内運搬設備と、ベイ内レールトラックに沿って自由に配列可能なキャリア搬送車、ベイ領域内に到達するベイ間レールトラックであって、これにより、加工装置の各々が通過される、ベイ間レールトラックと、ベイ領域内のベイ間レールトラックに沿って取り付けられるベイ内レールトラックと、ウェハキャリアを持ち上げるか、または降ろし、ウェハキャリアを、加工装置のうちの一つのロードポートに載せるための手段を有するホイストアームを有するキャリア搬送車であって、ウェハキャリアおよびキャリア搬送車を搬送する運搬手段が、トラック上で互いを妨害することなく、通過し合うことを可能にするために、ホイストアームは、運搬手段とホイストアームとの間に空いた積載空間を残すように設計される、キャリア搬送車とを備える、複数のベイを接続するための、トラック上を移動する運搬手段を有するベイ間レールトラック、プロセスシーケンスにより、異なったベイ間でウェハキャリアを搬送するための運搬手段、ウェハキャリアをベイ間運搬設備と加工装置との間で搬送するための、ベイ領域内でトラックに沿って自由に配列可能であり得るキャリア搬送車を有するベイ内レールトラックを含むベイ内搬送設備、加工装置の各々が通過するための、ベイ領域内に到達するベイ間レールトラック、ベイ領域内のベイ間レールトラックに沿って取り付けられるベイ内レールトラック、キャリアを持ち上げるかまたは降ろし、かつウェハキャリアを加工装置のうちの１つのロードポート上に置くための手段を有するホイストアーム（このために、ホイストアームは、運搬手段とホイストアームとの間の空いているキャリア積載空間を残すように設計される）を含むベイ間運搬設備を備える。ウェハキャリアを運ぶ運搬手段およびキャリア搬送車が、そのトラック上で共通の障害を有することなく通過し合うことを可能にする。
【００１１】
本発明によると、半導体ウェハキャリアをベイ内の第１の加工装置から第２の加工装置に搬送するために必要とされる時間が著しく低減される設備が提供される。ベイ間レールトラックは、ベイ間運搬設備の運搬手段がそれらのキャリアロードを加工装置のすぐ正面に運ぶことを可能にするために、ベイ領域内に導かれ、かつベイ領域を完全に通る。これは、ウェハ製造シーケンスにおける次のプロセス工程を実行するためである。
【００１２】
この位置において、運搬手段は、ベイ内運搬設備のキャリア搬送車と合流し得る。これは、ウェハキャリアを受け取り、積荷を加工装置のロードポートに向けるというタスクを実行する。これによって、ストッカ工程、すなわち、ベイ間設備とベイ内設備との間のウェハキャリアの搬送、および加工装置の積載工程が、ただ一つの動きにて実行され得、従って、時間を節約し、かつボトルネック配置の量を低減する。
【００１３】
さらなるスループットの改善は、機能性を改善することによって生じる。この機能性は、２つ以上の運搬手段が、比較的小さい時間差の範囲内でベイ領域に入り得、従って、多くの加工装置が、用いられる運搬手段の数に依存して、並行に積載され得る。搬送速度の改善と並んで、コストの節減がさらに獲得され得る。なぜなら、ベイ領域内のほとんどの搬送スループットは、より安いベイ間運搬手段を用いることによって達成され得るからである。これに対して、それらの動的な柔軟性のために、あまり多くはないが、高価なキャリア搬送車が必要とされ得る。
【００１４】
運搬手段およびキャリア搬送車は、ベイ領域におけるどこででも合流し得る。なぜなら、両方のトラックは、互いに取り付けられ、かつ、キャリア搬送車は、ベイ内レールトラックに沿う任意の場所に移動し得るからである。現在のベイ内のすべてのロードポートが使用中である場合でさえ、運搬手段は、そのキャリアロードを非積載位置におけるキャリア搬送車に送達し、その後、別の搬送タスクを受け取るために空になり得、他方、キャリア搬送車だけが空いたロードポートを待つ。従って、ベイ間設備のための空いた運搬手段の容量は維持される。
【００１５】
キャリア搬送車に取り付けられたホイストアームは、積載および搬送タスクを実行する多目性（ｖｅｒｓａｔｉｌｉｔｙ）を与え、ベイ間レールトラック構造も、キャリア搬送車の位置を通過し得る運搬手段のどちらも妨げない。積載された運搬手段およびキャリア搬送車の両方が互いを妨げ得ないという理由で、運搬手段、どれだけの数のキャリア搬送車および空のロードポートがベイ領域内で利用可能であるかに依存して、企画および最適化手順のための広い余裕が存在し、従って、使用中の運搬手段とキャリア搬送車との間の所望の均衡が保たれる。例えば、運搬手段が他の領域内で緊急に必要とされる場合、これらの運搬手段は、ベイ入口領域における非積載位置（ｎｏｎ−ｌｏａｄ−ｐｏｓｉｔｉｏｎ）にて、そのキャリアロードをキャリア搬送車に迅速に放出し、かつ新しい動作領域への経路を再び占める。
【００１６】
ベイ間レールトラックへのベイ内レールトラックの連結の種類は、ベイ内レールトラックが、クリーンルームホール構造、好適には、天井におけるベイ間レールトラックから別々に取り付けられるように選択され得る。この構造は、部分的に独立した、ベイ内レールトラックのガイダンスの可能性を提供する。例えば、キャリア搬送車のサービスエリアまたは駐車位置が提供され得る。
【００１７】
ベイ内レールトラックもまた、ベイ間レールトラックに直接的に取り付けられ得る。これは、高価および妨害的な支持構造の量を低減する。従って、２つのトラックシステム間の相対空間は、取り付けられたトラックに沿って一定であることが保証される。
【００１８】
さらなる局面は、キャリア搬送車の伸長可能ホイストアームを考慮する。これは、運搬手段上のウェハキャリア積載空間からウェハキャリアを迅速に除去することを達成する。ホイストアームは、ウェハキャリアが、キャリア搬送車の現在位置を通過する別の運搬手段の上部に置かれている他のウェハキャリアによって妨害され得ない位置に伸長され得る。この特徴は、さらに、ベイ内運搬設備の柔軟性を改善する。
【００１９】
さらなる局面において、ホイストアームの伸長手段は、加工装置のロードポート上の位置に達するように構成される。この位置から、ウェハキャリアは、ロードポートに直接的に降ろされ得、従って、特別なロードポート機器を提供する必要はない。
【００２０】
同様に、ホイストアームは、伸長され得るグリッパアームとして設計され得る。このグリッパアームは、グリッパを用いてウェハキャリアを取り、積載空間からキャリアを除去し、その後、ロードポートに向かって下方へ伸長する。この際、水平方向の運動が達成され得る。例えば、特別な障壁が迂回され得るか、レールトラックに対して相対的シフトして加工装置のロードポートに到達され得る。
【００２１】
さらなる局面は、機構がウェハを運搬手段からロードポートへまたはロードポートから運搬手段に持ち上げおよび載せるので、ウィンチおよびロープを用いる。この構造は、搬送を実行するための単純かつコスト節約的な解決を提供する。
【００２２】
さらなる局面は、両方の運搬手段および車が、互いに独立する双方向駆動機能を提供する。この機能は、発送された運搬手段が、ベイ領域からの最短距離を見出して、別のタスクを再び続けることを可能にし、従って、ベイ間運搬手段の一般的利用可能性を向上させる。
【００２３】
さらなる局面は、任意の方向の組み合わせでベイ領域に入出するためのスイッチをそれぞれ用いて、ベイの結合部（ｊｕｎｃｔｉｏｎ）を提供する。運搬手段が現在のベイ領域を飛び越して、ベイ間ルートを経由することを可能にするベイ間レールトラックの一部分が供給される。あるいは、運搬手段は、ベイ領域をスイッチを介して、ベイ間レールトラックのベイ領域部分である、ベイ間運搬設備の第２の部分に入り得る。
【００２４】
好適には、ベイ内の環状のベイ間およびベイ内レールトラックレイアウトに、両方がベイ領域レールトラックと外部ベイ間運搬設備とを接続するリング内の２つの結合部が提供される。２つの結合部の配置は、従来技術のストッカポート位置に対応する。従って、入口および出口結合部が意味されるが、両方の結合部の意味は、さらに、交換され得る。なぜなら、運搬手段は、それらのトラックおよびスイッチ上で双方向に移動し得るからである。これは、ベイ領域内へのおよびベイ領域からの柔軟な発送を可能にする。
【００２５】
運搬手段が２つの結合部を介してベイ内領域をベイ領域の環状リングの内側に入れ得る場合、運搬手段へのウェハキャリアの配向の問題が、２つのさらなる局面によって解決される。第１の局面は、切り換え、かつ運搬手段の上部のウェハキャリアを回転させる制御手段を有する結合部が供給される。運搬手段がベイ領域内のスイッチ部分を通過した場合、ウェハキャリアドアの配向が、自動的に検出され得、ベイ領域の内側のスイッチの背後のトラックに沿う加工装置の位置についての情報と比較され得る。ウェハキャリアドアの配向が加工装置のうちの１つのロードポートと逆である場合、オントップ運搬装置の上部のすべてのウェハキャリアは、１８０ドだけ回転され得る。この機能は、加工装置のロードポートが積載される際に、操作オペレータの付き添いを不必要にする。機械的インプリメンテーションおよび電子的実現化が可能である。
【００２６】
第２の局面は、プラットフォーム全体の回転を取り扱う。個々のウェハキャリアの代わりに、このプラットフォーム上でウェハキャリアがオントップ運搬手段の上部に載せられる。これによって、回転機器の複雑さが低減される。ウェハキャリアは、プラットフォーム上に固定され、すべてのウェハキャリアは、同じウェハキャリアドアの配向が同じである。運搬手段がスイッチを介してベイ領域に入る場合、自動検出および回転プロセスは、全体的にプラットフォーム上で作動する。２つの局面による、ウェハキャリアまたはプラットフォームを回転させる手段は、運搬手段上または外部に取り付けられ得る。
【００２７】
さらなる局面において、キャリア搬送車は、ベイ間レールトラックシステムのスイッチを横断し得る。この特徴は、キャリア搬送車が、リモート領域に到達し得るという局面をもたらす。例えば、ベイ内レールトラックは、ベイ領域の外側のスイッチを超えるベイ間レールトラック上に取り付けられ得る。これは、キャリア搬送車が任意のベイ領域の外側または他のベイ内の加工装置に用いられることを可能にする。このことは、キャリア搬送車が、製造システム全体にわたって、これらが丁度必要とされるところに集中され得、これによって、製造システムに必要とされるキャリア搬送車の総数が低減されるという利点を与える。
【００２８】
さらなる局面において、ベイ内レールトラックは、浮遊レールタイプのベイ内レールトラック上を移動するキャリア搬送車を有するベイ間レールトラックの直下、およびこの局面においてはオントップ運搬手段と呼ばれる運搬手段の下に取り付けられる。キャリア搬送車には、ホイストアームが提供される。このアームは、ガイドレールを頭上運搬手段の上の位置に導く。設備全体は、支持アームの稀な使用、両方のガイドレールのコンパクトな構造およびベイ間レール構造内に適合するホイストアームによって、空間を効率的に節約する。さらに、この構造の床上の高さは、運搬設備の設置面積を低減する。
【００２９】
本発明の実施形態は、ここで、図面を参照して説明される。
【００３０】
図１（ａ）のリモート制御される運搬手段１１は、ベイ間レールトラック１０を表すＴ字形のガイドレール上で移動し、これによって、ウェハキャリア１を運ぶ。Ｔ字形のガイドレールトラックは、支持アーム１２上に取り付けられ、この支持アームはそれ自体天井１３に取り付けられる。システム全体は頭上運搬システムを表す。Ｔ字形のガイドレールトラック１０の下に、もう一つのガイドレールが、ベイ内レールトラック２０で表すように、水平にフランジ取りつけされている。キャリア搬送車２１は、このガイドレールトラック２０の下でベイ間トラック１０に沿って浮遊（ｆｌｏａｔｉｎｇ）レールタイプで動く。クレーンタイプのホイストアーム２２は、支持アーム１２に対向して、キャリア搬送車２１上に取り付けられ、この支持アームは、レールトラック１０および２０を保持する。ホイストアーム２２の上部は、ウェハキャリア１の上部のコネクタ３にラッチするウィンチとロープ構造２４を備える。図１ｂで示す特定の状況で、キャリア搬送車２１および上部運搬手段１１は、既にウェハキャリアの運搬を開始して合流している。クレーンタイプのホイストアーム２２は、レールトラック１０および２０の軸から離れて取り付けられ、そして運搬手段プラットフォームの上に充分高い天井１３の下の上部位置にレールトラックの周りに導き、この結果、ウェハキャリア１を積載した運搬手段の通過を可能にする。
【００３１】
理想的には、この運搬は、加工装置３０の前で起こり、この加工装置は図１（ｂ）のように、この前にロードポート３１を有する。ホイストアーム２２は、その上部に伸長可能アーム２３を有し、この上部は、ウィンチおよびロープ２４を用いて、ロードポート３１上の位置に達するまで下方へ伸ばされ得る。ウェハキャリアは、加工装置３０のプロセスチャンバの積載位置に方向付けられたウェハキャリアドア２を有してロードポート３１上に降ろされ得る。この図で示されるこの後に、運搬手段１１は、次のタスクを探すために、元の経路を続け得る。さらに、他の運搬手段は、キャリア搬送車２１がなお、ウェハキャリア１を積み込むのに忙しい場合、現在の位置を通過できる。
【００３２】
図１で与えられた二つの状況は、図２の平面図の同じ好適な実施形態で示される。数台の運搬手段１１ａ〜１１ｃが、ベイ領域内のベイ間レールトラック１０に沿って動いて、目的のロードポート３１に達する。運搬手段１１ｂおよび１１ｃは、既に積載位置にあり、そして図１（ａ）で示す状況は運搬手段１１ｄで表し、図１（ｂ）は運搬手段１１ｃを表し、ただし、キャリア搬送車２１ｂおよび２１ｃは、運搬の役目を行う。運搬手段１１ａは、既に加工装置３０の前にロードポート３１の目的の位置を見つけてあり、そしてキャリア搬送車２１ａは、その配置に達することになる。運搬手段１１ｄおよびキャリア搬送車２１ｄは、同様に空のロードポート３１に合流するように見える。
【００３３】
本発明によるこの実施形態では、企画性および最適化構成に対して余裕があるので、キャリア搬送車２１ｄが、運搬手段１１ｄを飛び越えかつ通過、そして運搬手段１１ｅ（運搬手段１１ｅの目標の位置になる別のロードポートにあるベイ領域に、丁度入ろうとする）に合流する場合、時間が節約されそしてリソースが強化され得る。これは、キャリア搬送車２１ｃが運搬手段１１ｃおよびロードポート３１間の運搬の役目を丁度終えようとしている可能性によって起こる。したがって、キャリア搬送車２１ｃは、その運搬の役目の運搬手段１１ｄの隣の位置に移動し、一方、運搬手段１１ｃは、ベイを通って時計と反対方向に移動することによって、このベイ領域を離れ始める。運搬手段１１ｃが運搬手段１１ｂの位置に到着すると、後者の運搬手段は、ウェハキャリア１を持ち上げたキャリア搬送車２１ｂから解放され、そして、両運搬手段はベイ出口結合部４０に移動できる。その間、運搬手段１１ａおよびキャリア搬送車２１ａはその運搬を実行し、そして３台の運搬手段１１ａ、１１ｂおよび１１ｃのすべてが、結合部４０を通過し得る。
【００３４】
本発明による本実施形態の利点は、２個の結合部４０および４１が存在し、これらはベイ間レールトラック１０およびベイ内レールトラック２０を含むベイ内システム、およびベイ間レールトラック１０から成るベイ間システムと接続する。双方向に動くすべての搬送車および運搬手段の機能性によって、列待ちは、ベイ領域の入出の最適経路を用いて避けられ得る。
【００３５】
本実施形態によるウェハキャリア搬送はなお、結合部４０および４１のスイッチ４２および運搬手段１１に、電気的または機械的な手段を装着することにより加速され得、そしてこの手段は運搬手段１１ｅの上部でウェハキャリア１を回転させ、その結果、ウェハキャリアドア２をロードポート３１に位置合わせする。スイッチおよび運搬手段の各手段はツールを含み、このツールでもって、現在の運搬手段１１ｅのウェハキャリア１の配向を推定し得る。この手段は、この検出された位置と、局部的に格納された情報（ロードポート３１がレールトラック１０および２０に沿って、スイッチ４２を越えてレールトラックの左側かまたは右側かに接触されているかどうか）と比較する。このツールは、このようにして、ウェハキャリア１を回転させるか否かを決定する可能性を有する。本実施形態によると、これは製造実行システムをベースにしたコンピュータネットワークによって達成される。
【００３６】
本実施形態は、図３に示されるベイ間レールトラックに直角に配列され得る挿入物を含むスイッチ４２を処理する。図３（ａ）に示されるスイッチ４２の位置において、図２の運搬手段１１（ｆ）は、直線的に前に進み、ベイ領域を飛び越える。従って、運搬手段１１（ｆ）は、スイッチ４２が図３（ｂ）で表される状態であると左側に曲がる。
【図面の簡単な説明】
【図１ａ】
図１ａは、ウェハキャリアの上部のコネクタにラッチされるホイストアームを有する本発明によるキャリア搬送車の側面図を示す。
【図１ｂ】
図１ｂは、ウェハキャリアを加工装置のロードポート上に載せる伸長されたホイストアームを有する本発明によるキャリア搬送車の側面図を示す。
【図２】
図２は、ベイ間レールトラック上を移動する運搬手段と、ベイ内レールトラック上を移動するキャリア搬送車とを有するベイ間領域の平面図を示す。
【図３ａ】
図３ａは、直線ポジションの配列可能な挿入物を有する本発明によるスイッチを示す。
【図３ｂ】
図３ｂは、左へ曲がるポジションの配列可能な挿入物を有する本発明によるスイッチを示す。

Claims (10)

1. 半導体ウェハキャリアを運搬する設備であって、
   各々が加工装置（３０）を備える複数のベイを接続するために、ベイ間レールトラック（１０）および該トラック上を移動する運搬手段（１１）を有するベイ間運搬設備と、
   プロセスシーケンスにより、ウェハキャリア（１）を異なったベイ間で搬送するための該運搬手段（１１）と、
   該ウェハキャリア（１）を該ベイ間運搬設備と該加工装置（３０）との間で搬送するために、ベイ内レールトラック（２０）および該トラック上を移動するキャリア搬送車（２１）を備えるベイ内運搬設備と、
   該ベイ内レールトラック（２０）に沿って自由に配列可能な該キャリア搬送車（２１）と、
   該ベイ領域内に到達するベイ間レールトラック（１０）であって、これにより、該加工装置（３０）の各々が通過される、ベイ間レールトラックと、
   該ベイ領域内の該ベイ間レールトラック（１９）に沿って取り付けられる該ベイ内レールトラック（２０）と、
   該ウェハキャリア（１）を持ち上げるか、または降ろし、該ウェハキャリア（１）を、該加工装置（３０）のうちの一つのロードポート（３１）に載せるための手段を有するホイストアーム（２２）を有する該キャリア搬送車であって、該ウェハキャリア（１）および該キャリア搬送車（２１）を搬送する該運搬手段（１１）が、該トラック上で互いを妨害することなく、通過し合うことを可能にするために、該ホイストアーム（２２）は、該運搬手段（１１）と該ホイストアーム（２２）との間に空いた積載空間を残すように設計される、キャリア搬送車と
   を備える、設備。
2. 半導体ウェハキャリアを運搬する設備であって、
   前記ホイストアーム（２２）は伸長可能であり、前記持ち上げられたウェハキャリア（１）を、前記運搬手段（１１）上の前記キャリア積載空間から、第２のウェハキャリアを運ぶ該運搬手段が前記キャリア搬送車（２１）を自由に通過させ得る位置に移動することを特徴とする、請求項１に記載の設備。
3. 半導体ウェハキャリアを運搬する設備であって、
   前記伸長可能ホイストアーム（２２）は、前記ウェハキャリア（１）を、前記加工装置（３０）の前記ロードポート（３１）に向かって下方へ降ろすように設計されることを特徴とする、請求項１または２に記載の設備。
4. 半導体ウェハキャリアを運搬する設備であって、
   前記ホイストアーム（２２）は、前記ウェハキャリア（１）を持ち上げるためのウィンチおよびロープ（２４）を備えることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか１項に記載の設備。
5. 半導体ウェハキャリアを運搬する設備であって、
   前記運搬手段（１１）および前記キャリア搬送車（２１）の両方は、それぞれ、妨害し合うことなく、前記レールトラックに沿って双方向に独立して移動し得ることと特徴とする、請求項１〜４のいずれか１項に記載の設備。
6. 半導体ウェハキャリアを運搬する設備であって、
   前記ベイ間レールトラック（１０）は、複数のベイを接続する第１の部分および前記ベイ領域に到達する第２の部分を備え、該両方の部分は、結合部（４０）によって結合され、該結合部（４０）は、該第１の部分上の運搬手段（１１）が、どちらかの方向に移動する際、該第２の部分に分岐することを可能にし、かつ該第２の部分の運搬手段（１１）が、どちらかの方向で該第１の部分に入ることを可能にするスイッチ（４２）を有することを特徴とする、請求項１〜５のいずれか１項に記載の設備。
7. 半導体ウェハキャリアを運搬する設備であって、
   前記運搬手段（１１）は、前記ウェハキャリア（１）を回転させる手段を有することと、前記結合部（４０）は、該運搬手段（１１）が前記スイッチ（４２）を通過する場合、該ウェハキャリア（１）を回転させる制御手段を有することと、を特徴とする、請求項１〜６のいずれか１項に記載の設備。
8. 半導体ウェハキャリアを運搬する設備であって、
   前記運搬手段（１１）は、プラットフォーム上に固定されている前記ウェハキャリア（１）を有する回転可能なプラットフォームを備えることと、前記結合部（４０）は、該運搬手段（１１）が前記スイッチ（４２）を通過すると、該ウェハキャリア（１）を有する該プラットフォームを回転させる制御手段を有することと、を特徴とする、請求項１〜６のいずれか１項に記載の設備。
9. 半導体ウェハキャリアを運搬する設備であって、
   前記ベイ内レールトラック（２０）は、前記ベイ領域を越えて、前記ベイ間レールトラック（１０）に沿って取り付けられて、前記キャリア搬送車（２１）が、１つの加工装置（３０）に積載または積降することを可能にし、他のベイ領域とキャリア搬送者（２１）を交換するために、該加工装置は、他のベイまたは任意のベイの外側に配置されることと、前記スイッチ（４２）は、該ベイ領域を出入すると、前記ホイストアーム（２２）を下方に向ける手段を有することと、を特徴とする、請求項１〜８のいずれか１項に記載の設備。
10. 半導体ウェハキャリアを運搬する設備であって、
    前記ベイ内レールトラック（２０）は、前記ベイ間レールトラック（１０）の下に取り付けられることと、前記運搬手段（１１）は、該ベイ間レールトラック（１０）の上部にて移動することと、前記キャリア搬送車（２１）は、該運搬手段（１１）上に伸長するホイストアームを備える該キャリア搬送車（２１）を有する該運搬手段（１１）の下を移動することとを特徴とする、請求項１〜９のいずれか１項に記載の設備。