JP2004361552A - リング照明装置 - Google Patents
リング照明装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004361552A JP2004361552A JP2003157854A JP2003157854A JP2004361552A JP 2004361552 A JP2004361552 A JP 2004361552A JP 2003157854 A JP2003157854 A JP 2003157854A JP 2003157854 A JP2003157854 A JP 2003157854A JP 2004361552 A JP2004361552 A JP 2004361552A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- illumination light
- light emitting
- illumination
- group
- emitting diode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Stroboscope Apparatuses (AREA)
- Non-Portable Lighting Devices Or Systems Thereof (AREA)
Abstract
【解決手段】中央照明光発生手段群130の照明光発生手段131の数を、内周照明光発生手段群120の照明光発生手段121の数および外周照明光発生手段群140の照明光発生手段141の数よりも少なくすることにより、中央照明光発生手段群130の照明光131Lからの照度を、各照明光発生手段群120,130の照明光121L,141Lからの照度よりも低くする。このため、照明光121L,131Lが重ねて照射される照射点611Aを含む内周照射領域の照度と、照明光121L,131L,141Lが重ねて照射される照射点612Aを含む中央照射領域の照度と、照明光131L,141Lが重ねて照射される照射点613Aを含む外周照射領域の照度とを略同一にできる。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、光学顕微鏡や画像測定機などの光学測定機に使用されるリング照明装置に関する。
【0002】
【背景技術】
従来、光学系によって被測定物の測定部位を光学的に結像し、その像を観察するための光学顕微鏡や、像から被測定物の形状や寸法などを検査、測定するための画像測定機が知られている。このような光学顕微鏡や画像測定機などの光学測定機では、被測定物の画像を鮮明に得る上で、被測定物に対する照明がきわめて重要な役割を果すが、特に形状が複雑な被測定物の測定においては、エッジ部の影を鮮明に検出することが重要である。そこで、被測定物のエッジ部の影を鮮明に検出できるようにした、例えば図9(A),(B)に示すようなリング照明装置900が知られている。
【0003】
図9は、リング照明装置900の概略構成を示す模式図で、図9(A)は、リング照明装置900の断面図であり、図9(B)は、リング照明装置900の底面図である。リング照明装置900は、図9(A),(B)に示すように、対物レンズ1を囲むように設けられ全体リング状に形成されたケース910と、対物レンズ1のレンズ光軸1Kを中心としてそれぞれ略同心円状に配列された内周発光ダイオード群920と、中央発光ダイオード群930と、外周発光ダイオード群940とを備えている。
【0004】
内周発光ダイオード群920には、それぞれ同じ大きさの発光ダイオード921が略同心円状に、かつ、隣り合う発光ダイオード921同士の間隔が略同一となるように配列されている。また、各発光ダイオード群930,940にも、内周発光ダイオード群920と同様に、それぞれ同じ大きさの発光ダイオード931,941が略同心円状に、かつ、隣り合う発光ダイオード931,941同士の間隔が発光ダイオード921同士の間隔と略同一となるように配列されている。このため、内周発光ダイオード群920は例えば18個の発光ダイオード921を有し、中央発光ダイオード群930は例えば24個の発光ダイオード931を有し、外周発光ダイオード群940は例えば30個の発光ダイオード941を有している。
【0005】
発光ダイオード921,931,941には、図9(A)に示すように、これらから発せられる照明光921L,931L,941Lの発散角度、つまり照明光921L,931L,941Lの照明光軸921K,931K,941Kと照明光921L,931L,941Lの周縁921E,931E,941Eとのなす角度をD1にするような、集光レンズが取り付けられている。そして、発光ダイオード921,931,941は、照明光921L,931L,941Lの照明光軸921K,931K,941Kと被測定物6の被測定面61上の照射点611A,612A,613Aとが交わるように、かつ、照明光軸921K,931K,941Kとレンズ光軸1Kとのなす角度がR1となるように、ケース910に取り付けられている。このように、レンズ光軸1Kに対して所定の角度で傾斜した方向から照明光を照射することで、被測定物6のエッジ部を照射することができ、エッジ部の影を鮮明に検出できるようになる。
【0006】
また、従来例として他の構成のリング照明装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。この特許文献1のリング照明装置は、ケースの内部に設けられた多数の発光ダイオードを備えている。これらの発光ダイオードは、同心円状に5つの円形列に配列されるとともに、それらの照明光軸が被測定物の被測定面上の1点に集まるように取り付けられている。さらにこのリング照明装置では、複数の発光ダイオードは、各円形列と、円周方向の扇形にゾーニングされた区画とで、マトリクス的にグルーピングされ、このグループごとに点灯または消灯の制御が可能とされている。このため、リング照明装置900と比べて、より汎用性が高い構成となっている。
【0007】
ところで、近年画像測定機に対して測定スループットの高速化の要求がある。この測定スループットの高速化を実現するための手法としては、光学系の倍率を低くして広い範囲を同時に測定することが挙げられる。しかしながら、光学系の倍率を低くすると、CCDカメラの各撮像素子に投影される被測定物の投影像の大きさが大きくなるため測定精度の低下が生じる。しかし、最近CCDカメラの撮像素子数が多い、いわゆるメガピクセルCCDカメラの開発に伴って、低倍率測定においても各撮像素子に投影される被測定物の投影像の大きさを小さくすることができ、精度の高い測定を実現することが可能となってきた。
【特許文献1】
特開平10−54940号公報
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように、CCDカメラの高性能化に伴い、光学系の倍率を低くしても高精度の測定が可能となってきたが、一方で、広い範囲を同時に測定するためには、その範囲の照度を略同一にする必要がある。
リング照明装置900では、例えば図9(B)に示すような分割線Bでそれぞれ4分の1に分割された領域S1および領域S2の発光ダイオード921,931,941を点灯させる。すると、図10(A)に示すように、照射点611Aを含む内周照射領域611、照射点612Aを含む中央照射領域612、ならびに、照射点613Aを含む外周照射領域613が照射される。
【0009】
内周照射領域611には、図9(A)に示すように、発光ダイオード921からの照明光921Lと、発光ダイオード931からの照明光931Lとが重ねて照射される。また、中央照射領域612には、図9(A)に示すように、発光ダイオード931からの照明光931Lと、発光ダイオード921からの照明光921Lと、発光ダイオード941からの照明光941Lとが重ねて照射される。さらに、外周照射領域613には、発光ダイオード941からの照明光941Lと、発光ダイオード931からの照明光931Lとが重ねて照射される。
【0010】
このとき、各発光ダイオード921,931,941から発せられる照明光921L,931L,941Lの発散角度は全てD1とされている。また、一般的に発光ダイオードから発せられる照明光からの照度は、当該照明光の発散角度の二乗に反比例する。このため、各発光ダイオード921,931,941から発せられる照明光921L,931L,941Lからの照度は全て等しくなる。したがって、各内周照射領域611の照度は、各外周照射領域613の照度とほぼ等しくなるが、各中央照射領域612の照度は、各内周照射領域611および各外周照射領域613の照度よりも高くなる。
【0011】
9個の発光ダイオード921および15個の発光ダイオード941が点灯しているので、各照射領域611,613で囲まれる観察領域N9における内周照射領域611近傍の照度は、図10(B)に示すように、外周照射領域613近傍の照度よりも高くなる。また、中央照射領域612近傍の照度に関しては、点灯している発光ダイオード931の数は、発光ダイオード941の数よりも少ない12個であるが、前述したように中央照射領域612の照度が外周照射領域613の照度よりも高いので、観察領域N9における中央照射領域612近傍の照度は、図10(B)に示すように、外周照射領域613近傍の照度よりも高くなる。このように、リング照明装置900は、観察領域N9において照度を略同一にできないという問題がある。
【0012】
上述したような問題を解決するために、例えば測定距離を長くする方法や、発光ダイオード921,931,941毎にレンズ光軸1Kに対する取付角度を設定して照射する領域を微調整する方法が考えられる。しかしながら、前者の方法では、照度が低くなってしまうため多くの発光ダイオードを使用する必要があり、コストアップおよび発光ダイオードによる発熱量の増加につながるという問題がある。また、後者の方法では、アッセンブリやケース910の加工が難しくなるという問題がある。
【0013】
一方で、特許文献1のリング照明装置では、各発光ダイオードは、その照明光軸が1点に集まるように設けられている。このため、広い範囲での照度を略同一にするためには、例えば測定距離を長くする方法や、発散角度の大きい発光ダイオードを用いる方法が考えられる。しかしながら、前者の方法ではリング照明装置900と同様の問題があり、後者の方法では、広い範囲を照射することができるがその分だけ照度が低くなってしまうので、多くの発光ダイオードを使用する必要があり、リング照明装置900と同様の問題がある。
【0014】
本発明は、被測定物の観察領域における照度分布を略均一にするリング照明装置を提供することを目的とする。
【0015】
【課題を解決するための手段】
請求項1に記載の発明は、被測定物を照射する複数の照明光発生手段を備え光学系の光軸の回りにリング状に設けられたリング照明装置であって、前記光軸に対して少なくとも一重の略同心円状に配列された複数の前記照明光発生手段を有する内周照明光発生手段群と、この内周照明光発生手段群の径方向外側に設けられ前記光軸に対して少なくとも一重の略同心円状に配列された複数の前記照明光発生手段を有する中央照明光発生手段群と、この中央照明光発生手段群の径方向外側に設けられ前記光軸に対して少なくとも一重の略同心円状に配列された複数の前記照明光発生手段を有する外周照明光発生手段群とを備え、前記中央照明光発生手段群の前記照明光発生手段の数は、前記内周照明光発生手段群の前記照明光発生手段の数および前記外周照明光発生手段群の前記照明光発生手段群の数よりも少ないことを特徴とするリング照明装置である。
【0016】
この発明によれば、このような構成のリング照明装置により被測定物を照射すると、内周照射領域と、中央照射領域と、外周照射領域とが照射される。内周照射領域には、内周照明光発生手段群の照明光発生手段からの照明光と、中央照明光発生手段群の照明光発生手段からの照明光とが重ねて照射される。中央照射領域には、中央照明光発生手段群の照明光発生手段からの照明光と、内周照明光発生手段群の照明光発生手段からの照明光と、外周照明光発生手段群の照明光発生手段からの照明光とが重ねて照射される。外周照射領域には、外周照明光発生手段群の照明光発生手段からの照明光と、中央照明光発生手段群の照明光発生手段からの照明光とが重ねて照射される。
【0017】
本発明では、中央照明光発生手段群の照明光発生手段は、内周照明光発生手段群の照明光発生手段の数および外周照明光発生手段群の照明光発生手段の数よりも少なく設けられている。そして、各照明光発生手段群から発せられる照明光からの照度は、各照明光発生手段群が有する照明光発生手段の数に比例するので、中央照明光発生手段群から発せられる照明光からの照度は、内周照明光発生手段群および外周照明光発生手段群から発せられる照明光からの照度よりも低くなる。
このため、内周照明光発生手段群からの照明光と、中央照明光発生手段群からの照明光とが重ねて照射される内周照射領域の照度と、中央照明光発生手段群からの照明光と、内周照明光発生手段群からの照明光と、外周照明光発生手段群からの照明光とが重ねて照射される中央照射領域の照度と、外周照明光発生手段群からの照明光と、中央照明光発生手段群からの照明光とが重ねて照射される外周照射領域の照度とを略同一にすることが可能になる。したがって、内周照射領域、中央照射領域、および、外周照射領域を含む観察領域における照度分布を、略均一にするリング照明装置の提供が可能になる。
【0018】
請求項2に記載の発明は、被測定物を照射する複数の照明光発生手段を備え光学系の光軸の回りにリング状に設けられたリング照明装置であって、前記光軸に対して少なくとも一重の略同心円状に配列された複数の前記照明光発生手段を有する内周照明光発生手段群と、この内周照明光発生手段群の径方向外側に設けられ前記光軸に対して少なくとも一重の略同心円状に配列された複数の前記照明光発生手段を有する中央照明光発生手段群と、この中央照明光発生手段群の径方向外側に設けられ前記光軸に対して少なくとも一重の略同心円状に配列された複数の前記照明光発生手段を有する外周照明光発生手段群とを備え、前記中央照明光発生手段群の前記照明光発生手段からの照明光の発散角度は、前記内周照明光発生手段群および前記外周照明光発生手段群の前記照明光発生手段からの照明光の発散角度よりも大きいことを特徴とするリング照明装置である。
【0019】
この発明によれば、中央照明光発生手段群の照明光の発散角度は、内周照明光発生手段群および外周照明光発生手段群の照明光の発散角度よりも大きく設定されている。そして、各照明光発生手段から発せられる照明光からの照度は、当該照明光の発散角度の二乗に反比例するので、中央照明光発生手段群の照明光発生手段から発せられる照明光からの照度は、内周照明光発生手段群および外周照明光発生手段群の照明光発生手段から発せられる照明光からの照度よりも低くなる。
このため、内周照明光発生手段群の照明光発生手段からの照明光と、中央照明光発生手段群の照明光発生手段からの照明光とが重ねて照射される内周照射領域の照度と、中央照明光発生手段群の照明光発生手段からの照明光と、内周照明光発生手段群の照明光発生手段からの照明光と、外周照明光発生手段群の照明光発生手段からの照明光とが重ねて照射される中央照射領域の照度と、外周照明光発生手段群の照明光発生手段からの照明光と、中央照明光発生手段群の照明光発生手段からの照明光とが重ねて照射される外周照射領域の照度とを略同一にすることが可能になる。
したがって、内周照射領域、中央照射領域、および、外周照射領域を含む観察領域における照度分布を、略均一にするリング照明装置の提供が可能になる。
【0020】
請求項3に記載の発明は、被測定物を照射する複数の照明光発生手段を備え光学系の光軸の回りにリング状に設けられたリング照明装置であって、前記光軸に対して少なくとも一重の略同心円状に配列された複数の前記照明光発生手段を有する内周照明光発生手段群と、この内周照明光発生手段群の径方向外側に設けられ前記光軸に対して少なくとも一重の略同心円状に配列された複数の前記照明光発生手段を有する中央照明光発生手段群と、この中央照明光発生手段群の径方向外側に設けられ前記光軸に対して少なくとも一重の略同心円状に配列された複数の前記照明光発生手段を有する外周照明光発生手段群とを備え、前記中央照明光発生手段群の前記照明光発生手段に、前記内周照明光発生手段群および前記外周照明光発生手段群の前記照明光発生手段に通電する電流の電流値よりも小さい電流値の電流を通電する電流制御手段を備えたことを特徴とするリング照明装置である。
【0021】
この発明によれば、中央照明光発生手段群の照明光発生手段に、内周照明光発生手段群、および、外周照明光発生手段群の照明光発生手段に通電する電流の電流値よりも小さい電流値の電流を通電する電流制御手段を備えている。そして、各照明光発生手段の光度は、当該照明光発生手段に通電する電流の電流値の上昇に伴い高くなるので、中央照明光発生手段群の照明光発生手段から発せられる照明光からの照度は、内周照明光発生手段群および外周照明光発生手段群の照明光発生手段から発せられる照明光からの照度よりも低くなる。このため、請求項2に記載の発明と同様の作用を奏することができ、観察領域における照度分布を略均一にするリング照明装置の提供が可能になる。
【0022】
請求項4に記載の発明は、請求項1ないし請求項3のいずれかに記載のリング照明装置において、前記照明光発生手段は、発光ダイオードであることを特徴とする。
【0023】
この発明によれば、照明光発生手段を高速応答や長寿命などの特徴を有する発光ダイオードとする。このため、汎用性が高いリング照明装置の提供が可能になる。
【0024】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の各実施形態について図面に基づいて説明する。なお、後述する第2実施形態以降の実施形態について、第1実施形態の構成部品と同じ部品および同様の機能を有する部品については、同一符号または同一名称を付しその説明を省略もしくは簡略化する。
【0025】
[第1実施形態]
〔リング照明装置の構成〕
図1は、第1実施形態に係るリング照明装置の概略構成を示す模式図であり、図1(A)は、リング照明装置の断面図であり、図1(B)は、リング照明装置の底面図である。図1(A)において、100はリング照明装置であり、このリング照明装置100は、図示しない画像測定装置の光学系としての対物レンズ1に取り付けられ、画像測定装置の測定台2に載置される被測定物6を照らす照明に用いられる。画像測定装置は、図示しない駆動装置により、測定台2を水平面内の直交二軸方向、すなわち、図1(A)における左右および前後方向に駆動制御し、また、対物レンズ1を垂直方向、すなわち、図1(A)における上下方向に駆動制御することで、被測定物6の被測定面61に適した位置および測定距離を調節できるようになっている。
【0026】
リング照明装置100は、ケース110と、複数の照明光発生手段としての発光ダイオード121を有する内周照明光発生手段としての内周発光ダイオード群120と、複数の照明光発生手段としての発光ダイオード131を有する中央照明光発生手段としての中央発光ダイオード群130と、複数の照明光発生手段としての発光ダイオード141を有する外周照明光発生手段としての外周発光ダイオード群140と、図示しない分割制御手段と、図示しない電源となどを備えている。
【0027】
ケース110は、対物レンズ1を囲むように画像測定装置に取り付けられている。このケース110は、金属などの材料により環状空間部111を有するとともに、図1における下側が開口されたリング状に形成されている。
【0028】
内周発光ダイオード群120は、図1(B)に示すように、対物レンズ1のレンズ光軸1Kを中心とする略同心円状に配列され、従来のリング照明装置900の発光ダイオード921と同じ部材で構成されたX個、例えば18個の発光ダイオード121を有している。発光ダイオード121は、発光部121Aと、配線121Bとを備えている。発光部121Aは、配線121Bを介して通電される電流により白色に発光する。また、発光部121Aには、この発光部121Aから発せられる照明光121Lの発散角度、つまり照明光121Lの照明光軸121Kと照明光121Lの周縁121Eとのなす角度を、発光ダイオード921と同じD1にするような集光レンズが取り付けられている。配線121Bは、導電性材料により形成され、図示しない分割制御手段に接続されている。
【0029】
発光ダイオード121は、発光部121Aがケース110の開口部から突出するように、かつ、隣り合う発光ダイオード121同士の間隔が略同一になるように、ケース110に取り付けられている。また、発光ダイオード121は、図1(A)に示すように、照明光軸121Kとレンズ光軸1Kとのなす角度がR1になるように、かつ、照明光軸121Kとレンズ光軸1Kとがレンズ光軸1K上の交点C1で交わるように、ケース110に取り付けられている。このような構成により、例えば、図1(A)に示すように、レンズ光軸1Kよりも右側の発光ダイオード121からの照明光121Lの照明光軸121Kは、被測定面61におけるレンズ光軸1Kよりも左側の照射点611Aで被測定面61と交わる。
【0030】
中央発光ダイオード群130は、レンズ光軸1Kを中心とする略同心円状に、かつ、内周発光ダイオード群120の径方向外側に設けられている。この中央発光ダイオード群130は、X>Yを満たすY個、例えば8個の発光ダイオード131を有している。発光ダイオード131は、発光部121Aと配線121Bとを備えている。そして、発光ダイオード131は、図1(B)に示すように、発光部121Aがケース110の開口部から突出するように、かつ、隣り合う発光ダイオード131同士の間隔が略同一となるように、ケース110に取り付けられている。また、発光ダイオード131は、図1(A)に示すように、この発光ダイオード131からの照明光131Lの照明光軸131Kと照明光軸121Kとが略平行になるように、ケース110に取り付けられている。このような構成により、例えば、図1(A)に示すように、発光ダイオード131からの照明光131Lの照明光軸131Kは、レンズ光軸1Kと被測定面61との交点の照射点612Aで交わる。
【0031】
外周発光ダイオード群140は、レンズ光軸1Kを中心とする略同心円状に、かつ、中央発光ダイオード群130の径方向外側に設けられている。この外周発光ダイオード群140は、Z>Yを満たすZ個、例えば18個の発光ダイオード141を有している。発光ダイオード141は、発光部121Aと配線121Bとを備えている。そして、発光ダイオード141は、図1(B)に示すように、発光部121Aがケース110の開口部から突出するように、かつ、隣り合う発光ダイオード141同士の間隔が略同一となるように、ケース110に取り付けられている。また、発光ダイオード141は、図1(A)に示すように、この発光ダイオード141から発せられる照明光141Lの照明光軸141Kと照明光軸121K,131Kとが略平行になるように、ケース110に取り付けられている。このような構成により、例えば、図1(A)に示すように、レンズ光軸1Kよりも右側の発光ダイオード141からの照明光141Lの照明光軸141Kは、被測定面61におけるレンズ光軸1Kよりも右側の照射点613Aで被測定面61と交わる。
【0032】
なお、ここでは、各発光ダイオード群120,130,140が一重の略同心円状に配列された発光ダイオード121,131,141を有する構成について例示したが、これに限らず二重以上の略同心円状に配列された発光ダイオード121,131,141を有する構成としてもよい。また、ここでは、X=18、Y=8、Z=18となる構成について例示したが、これに限らずX、Y、および、Zの値は、発光ダイオード121,131,141の大きさ、光度、取付角度、ケース110の径などの条件により最適な値に設定されるものである。したがって、X>Y,Z>Yを満たすような、X、Y、および、Zならば上述したような値に限らず、例えばX<Zなどとしてもよい。
【0033】
分割制御手段は、電源に接続されている。そして、この分割制御手段は、電源から通電される電流を配線121Bに選択的に通電することにより、発光ダイオード121,131,141を、図1(B)に示すような分割線Bでそれぞれ4分の1に分割された領域S1ないしS4毎に点灯または消灯する制御をする。例えば、領域S3の発光ダイオード121,131,141のみを点灯させたり、領域S1およびS4の発光ダイオード121,131,141を同時に点灯させたりする。
【0034】
〔第1実施形態の作用〕
次に、第1実施形態に係るリング照明装置100の作用について図2に基づいて説明する。図2は、リング照明装置100の作用を示す模式図であり、図2(A)は、照射領域の分布を示す模式図で、図2(B)は、観察領域の照度分布を示す模式図である。
【0035】
電源から通電される電流を分割制御手段において制御することにより、例えば領域S1およびS2の発光ダイオード121,131,141を点灯させる。つまり、8個の発光ダイオード121、4個の発光ダイオード131、8個の発光ダイオード141を点灯させる。
【0036】
すると、図2(A)に示すような照射点611Aを含む内周照射領域611には、図1に示すように発光ダイオード121からの照明光121Lと、発光ダイオード131からの照明光131Lとが重ねて照射される。また、照射点612Aを含む中央照射領域612には、発光ダイオード131からの照明光131Lと、発光ダイオード121からの照明光121Lと、発光ダイオード141からの照明光141Lとが重ねて照射される。さらに、照射点613Aを含む外周照射領域613には、発光ダイオード141からの照明光141Lと、発光ダイオード131からの照明光131Lとが重ねて照射される。
【0037】
このとき、各発光ダイオード121,131,141から発せられる照明光121L,131L,141Lの発散角度は全てD1とされている。また、一般的に発光ダイオードから発せられる照明光からの照度は、当該照明光の発散角度の二乗に反比例するので、各発光ダイオード121,131,141から発せられる照明光121L,131L,141Lからの照度は全て等しくなる。このため、各内周照射領域611の照度は、各外周照射領域613の照度とほぼ等しくなるが、各中央照射領域612の照度は、各内周照射領域611および各外周照射領域613の照度よりも高くなる。
【0038】
8個の発光ダイオード121および8個の発光ダイオード141が点灯しているので、各照射領域611,613はそれぞれ8箇所となる。このため、各照射領域611,613で囲まれる観察領域N1における内周照射領域611近傍の照度は、図2(B)に示すように、外周照射領域613近傍の照度とほぼ等しくなる。一方で、上述したように各中央照射領域612の照度は、各内周照射領域611および各外周照射領域613の照度よりも高くなっているが、従来のリング照明装置900の場合と異なり、点灯している中央照射領域612の発光ダイオード131の数は4個で、各照射領域611,613の発光ダイオード121,141のそれよりも少ない。このため、観察領域N1の中央照射領域612近傍の照度は従来と比べて低くなる。したがって、観察領域N1における中央照射領域612近傍の照度は、図2(B)に示すように、各照射領域611,613近傍の照度とほぼ等しくなる。
【0039】
〔第1実施形態の効果〕
上述したような第1実施形態のリング照明装置100では、次のような効果がある。
【0040】
(1)リング照明装置100の中央発光ダイオード群130の発光ダイオード131の数を、内周発光ダイオード群120の発光ダイオード121の数および外周発光ダイオード群140の発光ダイオード141の数よりも少なくした。このため、このリング照明装置100により照射される中央照射領域612近傍の照度を、従来のリング照明装置900により照射される中央照射領域612近傍の照度よりも低くでき、各照射領域611,612,613近傍の照度をほぼ等しくできる。したがって、各照射領域611,612,613を含む観察領域N1における照度分布を略均一にするリング照明装置100を提供できる。
【0041】
(2)中央発光ダイオード群130の発光ダイオード131の数を、各発光ダイオード群120,140の発光ダイオード121,141の数よりも少なくすることで、観察領域N1における照度分布の略均一化を実現した。このため、リング照明装置100に配置する発光ダイオード121,131,141の数を、従来の構成のリング照明装置900と比べて減らすことができる。したがって、部材のコストダウンを図ることができるとともに、発光ダイオード121,131,141の点灯による発熱量を抑えられ画像測定機への熱による影響を低減できる。
【0042】
(3)照明光発生手段を高速応答や長寿命などの特徴を有する発光ダイオード121,131,141とした。このため、汎用性が高いリング照明装置100を提供できる。
【0043】
(4)リング照明装置100に設けられた全ての発光ダイオード121,131,141を点灯させずに、半分の数の発光ダイオード121,131,141を点灯させても観察領域N1の照度分布を略均一にできる。したがって、発光ダイオード121,131,141の点灯による発熱量を抑えられ画像測定機への熱による影響をより低減できる。
【0044】
[第2実施形態]
〔リング照明装置の構成〕
次に、第2実施形態について図面に基づいて説明する。図3は、第2実施形態に係るリング照明装置の概略構成を示す模式図である。図3において、200はリング照明装置であり、このリング照明装置200は、ケース210と、複数の照明光発生手段としての発光ダイオード221を有する内周照明光発生手段としての内周発光ダイオード群220と、複数の照明光発生手段としての発光ダイオード231を有する中央照明光発生手段としての中央発光ダイオード群230と、複数の照明光発生手段としての発光ダイオード241を有する外周照明光発生手段としての外周発光ダイオード群240と、図示しない分割制御手段と、図示しない電源などを備えている。なお、このリング照明装置200は、第1実施形態のリング照明装置100の各発光ダイオード121,131,141の配置を変更したものであり、これら発光ダイオード121,131,141が設けられるケース210以外の構成についてはリング照明装置100の構成と同一である。
【0045】
ケース210は、対物レンズ1を囲むように画像測定装置に取り付けられている。このケース210は、金属などの材料により断面略五角形状の環状空間部211を有するリング状に形成されている。また、環状空間部211を形成する断面五角形の1辺に相当する面は開口されている。
【0046】
内周発光ダイオード群220は、図1(B)に示すような、第1実施形態の発光ダイオード121に対応する部分に配置されたX個、例えば18個の発光ダイオード221を有している。中央発光ダイオード群230は、発光ダイオード131に対応する部分に配置されたY個、例えば8個の発光ダイオード231を有している。外周発光ダイオード群240は、発光ダイオード141に対応する部分に配置されたZ個、例えば18個の発光ダイオード241を有している。なお、ここでは、各発光ダイオード群220,230,240が一重の略同心円状に配列された発光ダイオード221,231,241を有する構成について例示したが、これに限らず二重以上の略同心円状に配列された発光ダイオード221,231,241を有する構成としてもよい。また、ここではX=18、Y=8、Z=18となる構成について例示したが、第1実施形態と同様の理由により、X>Y,Z>Yを満たすような、X、Y、および、Zならば、上述したような値に限らず他の値に設定してもよい。
【0047】
発光ダイオード221,231,241は、図3に示すように、発光部121Aがケース210の開口部から突出するようにケース210に取り付けられている。また、発光ダイオード221,231,241は、リング照明装置100のそれらと同様に、照明光221L,231L,241Lの照明光軸221K,231K,241Kとレンズ光軸1Kとのなす角度がR1となるように、かつ、照明光軸221K,231K,241Kと被測定物6の被測定面61とが照射点611A,612A,613Aで交わるように取り付けられている。
【0048】
〔第2実施形態の作用効果〕
上述したような第2実施形態のリング照明装置200では、第1実施形態のリング照明装置100と同様の作用を奏することができる。このため、第1実施形態の(1)ないし(4)の効果を奏することができる。
【0049】
[実験例]
〔リング照明装置の構成〕
次に、第2実施形態の効果を確認するために実施した実験例について、図面に基づいて説明する。図4は、本実験に用いられるリング照明装置の概略構成を示す模式図で、図4(A)は、リング照明装置の断面図であり、図4(B)は、リング照明装置の底面図である。図4(A)において、500はリング照明装置であり、このリング照明装置500は、ケース510と、複数の照明光発生手段としての発光ダイオード521を有する第1発光ダイオード列520と、複数の照明光発生手段としての発光ダイオード531を有する第2発光ダイオード列530と、複数の照明光発生手段としての発光ダイオード541を有する第3発光ダイオード列540と、複数の照明光発生手段としての発光ダイオード551を有する第4発光ダイオード列550と、複数の照明光発生手段としての発光ダイオード561を有する第5発光ダイオード列560と、複数の照明光発生手段としての発光ダイオード571を有する第6発光ダイオード列570と、図示しない分割制御手段と、図示しない電源となどを備えている。なお、以下において、各発光ダイオード列520,530,540,550,560,570の構成はほぼ同等なので、第1発光ダイオード列520についてのみ詳細に説明し、他の発光ダイオード列530,540,550,560,570については説明を簡略化する。
【0050】
ケース510は、対物レンズ11を囲むように画像測定装置に取り付けられている。このケース510は、金属などの材料により環状空間部511を有するとともに、図4における下側および対物レンズ11に対向する面が開口された外径が150mmのリング状に形成されている。
【0051】
第1発光ダイオード列520は、各発光ダイオード列520,530,540,550,560,570のうちの最内周側に設けられている。この第1発光ダイオード列520は、表1に示すように20個の発光ダイオード521を備えている。発光ダイオード521は、発光部121Aと、図示しない配線とを備えている。発光部121Aは、配線を介して分割制御手段に接続されている。そして、発光ダイオード521は、図4(B)に示すように、隣り合う発光ダイオード521同士の間隔が略同一になるように、ケース510に取り付けられている。また、発光ダイオード521は、図4(A)に示すように、この発光ダイオード521から発せられる照明光の照明光軸521Kと、レンズ光軸11Kとのなす角度が27°になるように、かつ、照明光軸521Kと被測定物7の被測定面71とが照射点711Aで交わるように取り付けられている。
【0052】
【表1】
【0053】
第2発光ダイオード列530は、第1発光ダイオード列520の径方向外側に設けられている。この第2発光ダイオード列530は、40個の発光ダイオード531を備えている。発光ダイオード531は、発光部121Aと、図示しない配線とを備えている。また、発光ダイオード531は、この発光ダイオード531から発せられる照明光の照明光軸531Kと照明光軸521Kとが略平行になるように設けられている。
【0054】
第3発光ダイオード列540は、第2発光ダイオード列530の径方向外側に設けられている。この第3発光ダイオード列540は、24個の発光ダイオード541を備えている。発光ダイオード541は、発光部121Aと、図示しない配線とを備えている。また、発光ダイオード541は、この発光ダイオード541から発せられる照明光の照明光軸541Kと照明光軸531Kとが略平行になるように設けられている。
【0055】
第4発光ダイオード列550は、第3発光ダイオード列540の径方向外側に設けられている。この第4発光ダイオード列550は、24個の発光ダイオード551を備えている。発光ダイオード551は、発光部121Aと、図示しない配線とを備えている。また、発光ダイオード551は、この発光ダイオード551から発せられる照明光の照明光軸551Kと照明光軸541Kとが略平行になるように設けられている。
【0056】
第5発光ダイオード列560は、第4発光ダイオード列550の径方向外側に設けられている。この第5発光ダイオード列560は、40個の発光ダイオード561を備えている。発光ダイオード561は、発光部121Aと、図示しない配線とを備えている。また、発光ダイオード561は、この発光ダイオード561から発せられる照明光の照明光軸561Kと照明光軸551Kとが略平行になるように設けられている。
【0057】
第6発光ダイオード列570は、第5発光ダイオード列560の径方向外側に設けられている。この第6発光ダイオード列570は、60個の発光ダイオード571を備えている。発光ダイオード571は、発光部121Aと、図示しない配線とを備えている。また、発光ダイオード571は、この発光ダイオード571から発せられる照明光の照明光軸571Kと照明光軸561Kとが略平行になるように、かつ、照明光軸571Kと被測定物7の被測定面71とが照射点717Aで交わるように取り付けられている。また、照射点711Aから照射点717までの距離は40mmとされている。
【0058】
そして、第1発光ダイオード列520と第2発光ダイオード列530とで、第2実施形態の内周発光ダイオード群220が構成され、第3発光ダイオード列540と第4発光ダイオード列550とで中央発光ダイオード群230が構成され、第5発光ダイオード列560と第6発光ダイオード列570とで、外周発光ダイオード群240が構成されている。つまり、このリング照明装置500は、表1に示すように、X=60,Y=48,Z=100となる構成の実施例である。また、発光ダイオード521,531,541,551,561,571は、図4(B)に示すような、分割線Bでそれぞれ4分の1に分割された領域S1ないしS4毎に点灯または消灯するように分割制御機構により制御されている。
【0059】
〔実験結果〕
次に、リング照明装置500を用いた実験結果を図面に基づいて説明する。図5は、本発明を適用した構成、つまりX>Y、Z>Yを満たす構成のリング照明装置500を用いた観察範囲の照度分布を示すグラフで、図5(A)は、全ての発光ダイオード521,531,541,551,561,571を点灯させた場合の照度分布であり、図5(B)は、領域S1の発光ダイオード521,531,541,551,561,571を点灯させた場合の照度分布である。図6は、表2に示すような個数の発光ダイオードが設けられた、本発明を適用しない構成、つまりX>Y、Z>Yを満たさない構成のリング照明装置を用いた観察範囲の照度分布を示すグラフで、図6(A)は、全ての発光ダイオードを点灯させた場合の照度分布であり、図6(B)は、リング照明装置500の領域S1に対応する領域の発光ダイオードを点灯させた場合の照度分布である。なお、ここでの観察範囲とは、レンズ光軸1Kと被測定面71との交点Pを中心としたφ30mmの範囲である。
【0060】
【表2】
【0061】
これら図5(A),(B)および図6(A),(B)に示すように、本発明の構成を適用した構成では、発光ダイオード521,531,541,551,561,571を全点灯させた場合、および、四分割点灯させた場合のいずれにおいても、本発明の構成を適用しない構成と比べて観察範囲の照度分布を略均一化できる。
【0062】
[第3実施形態]
〔リング照明装置の構成〕
次に、第3実施形態について図面に基づいて説明する。図7は、第3実施形態に係るリング照明装置の概略構成を示す模式図である。図7において、300はリング照明装置であり、このリング照明装置300は、ケース910と、複数の照明光発生手段としての発光ダイオード321を有する内周照明光発生手段としての内周発光ダイオード群320と、複数の照明光発生手段としての発光ダイオード321を有する中央照明光発生手段としての中央発光ダイオード群330と、複数の照明光発生手段としての発光ダイオード331を有する外周照明光発生手段としての外周発光ダイオード群340と、図示しない分割制御手段と、図示しない電源となどを備えている。なお、このリング照明装置300は、図9(A),(B)に示すような従来のリング照明装置900に備えられた発光ダイオード921,931,941を、発光ダイオード321,331,341に変更したものであり、発光ダイオード321,331,341以外の構成についてはリング照明装置900の構成と同一である。
【0063】
ケース910は、対物レンズ1を囲むように画像測定装置に取り付けられている。このケース910は、金属などの材料により環状空間部911を有するとともに、図7における下側が開口されたリング状に形成されている。
【0064】
内周発光ダイオード群320は、図9(B)に示すような、従来のリング照明装置900の発光ダイオード921に対応する部分に配置された例えば18個の発光ダイオード321を有している。発光ダイオード321は、発光部321Aと、配線121Bとを備えている。発光部321Aは、配線121Bを介して通電される電流により白色に発光する。発光ダイオード321には、図7に示すように、この発光ダイオード321から発せられる照明光321Lの発散角度、つまり照明光321Lの照明光軸321Kと照明光321Lの周縁321Eとのなす角度をD2にするような、集光レンズが取り付けられている。発光ダイオード321は、図7に示すように、発光部321Aがケース910の開口部から突出するようにケース910に取り付けられている。また、発光ダイオード321は、照明光軸321Kとレンズ光軸1Kとのなす角度がR1になるように、かつ、照明光軸321Kと被測定物6の被測定面61とが照射点611Aで交わるように取り付けられている。
【0065】
中央発光ダイオード群330は、リング照明装置900の発光ダイオード931に対応する部分に配置された例えば24個の発光ダイオード331を有している。発光ダイオード331は、発光部331Aと、配線121Bとを備えている。発光部331Aは、配線121Bを介して通電される電流により白色に発光する。また、発光ダイオード331には、この発光ダイオード331から発せられる照明光331Lの発散角度、つまり照明光331Lの照明光軸331Kと照明光331Lの周縁331Eとのなす角度を、D3>D2を満たすD3にするような集光レンズが取り付けられている。発光ダイオード331は、発光部331Aがケース910の開口部から突出するようにケース910に取り付けられている。また、発光ダイオード331は、照明光軸331Kと照明光軸321Kとが略平行になるように、かつ、照明光軸331Kと被測定面61とが照射点612Aで交わるように取り付けられている。
【0066】
外周発光ダイオード群340は、リング照明装置900の発光ダイオード941に対応する部分に配置された30個の発光ダイオード341を有している。発光ダイオード341は、発光部341Aと、配線121Bとを備えている。発光部341Aは、配線121Bを介して通電される電流により白色に発光する。また、発光ダイオード341には、この発光ダイオード341から発せられる照明光341Lの発散角度、つまり照明光341Lの照明光軸341Kと照明光341Lの周縁341Eとのなす角度を、D3>D4>D2を満たすD4にするような集光レンズが取り付けられている。発光ダイオード341は、発光部341Aがケース910の開口部から突出するようにケース910に取り付けられている。また、発光ダイオード341は、照明光341Lの照明光軸341Kと照明光軸321K,331Kとが略平行になるように、かつ、照明光軸341Kと被測定面61とが照射点613Aで交わるように取り付けられている。
【0067】
なお、ここではD4>D2となる構成について例示するが、D4およびD2の大小関係は、発光ダイオード341,321の数、大きさ、光度、取付角度や、ケース910の径などの条件により、最適な関係に設定されるものである。したがって、D3>D4およびD3>D2を満たすようなD4およびD2ならば、上述したような大小関係に限らず、例えばD4=D2などとしてもよい。
【0068】
〔第3実施形態の作用〕
次に、第3実施形態に係るリング照明装置300の作用について説明する。電源から通電される電流を分割制御手段において制御することにより、例えば図9(B)に示すような領域S1およびS2の発光ダイオード321,331,341を点灯させる。
【0069】
すると、図10(A)に示すような照射点611Aを含む内周照射領域611には、図7に示すように発光ダイオード321からの照明光321Lと、発光ダイオード331からの照明光331Lとが重ねて照射される。また、照射点612Aを含む中央照射領域612には、発光ダイオード331からの照明光331Lと、発光ダイオード321からの照明光321Lと、発光ダイオード341からの照明光341Lとが重ねて照射される。さらに、照射点613Aを含む外周照射領域613には、発光ダイオード341からの照明光341Lと、発光ダイオード331からの照明光331Lとが重ねて照射される。
【0070】
このとき、照明光341Lの発散角度D4は、照明光321Lの発散角度D2よりも大きく設定されている。そして、前述したように発光ダイオードから発せられる照明光からの照度は、当該照明光の発散角度の二乗に反比例するので、照明光341Lからの照度は照明光321Lからの照度よりも低くなる。このため、照明光341Lと照明光331Lとが重ねて照射される外周照射領域613の照度は、照明光321Lと照明光331Lとが重ねて照射される内周照射領域611の照度よりも低くなる。したがって、9個の発光ダイオード321および15個の発光ダイオード341が点灯している場合でも、観察領域N9における外周照射領域613近傍の照度は、リング照明装置900を用いた場合のように内周照射領域611近傍の照度と比べて高くならず、図2(B)に示すようにほぼ等しくなる。
【0071】
また、照明光331Lの発散角度D3は、照明光321Lの発散角度D2および照明光341Lの発散角度D4よりも大きく設定されている。そして、発光ダイオードから発せられる照明光からの照度は、当該照明光の発散角度の二乗に反比例するので、照明光331Lからの照度は、照明光321L,341Lからの照度よりも低くなる。このため、照明光331Lと照明光321Lと照明光341Lとが重ねて照射される中央照射領域612の照度は、各照射領域611,613よりも低くなる。したがって、観察領域N9における中央照射領域612近傍の照度は、リング照明装置900を用いた場合のように各照射領域611,613と比べて極端に高くならず、図2(B)に示すようにほぼ等しくなる。
【0072】
〔第3実施形態の効果〕
上述したような第3実施形態のリング照明装置300では、第1実施形態の(3)および(4)の効果に加え次のような効果がある。
【0073】
(5)リング照明装置300の中央発光ダイオード群330の照明光331Lの発散角度D3を、内周発光ダイオード群320の照明光321Lの発散角度D2および外周発光ダイオード群340の照明光341Lの発散角度D4よりも大きく設定した。このため、このリング照明装置300により照射される中央照射領域612近傍の照度を、従来のリング照明装置900により照射される中央照射領域612近傍の照度よりも低くでき、各照射領域611,612,613近傍の照度をほぼ等しくできる。したがって、各照射領域611,612,613を含む観察領域N9における照度分布を略均一にするリング照明装置300を提供できる。
【0074】
(6)従来のリング照明装置900に用いられていた、照明光921L,931L,941Lの発散角度がD1の発光ダイオード921,931,941の代わりに、照明光321L,331L,341Lの発散角度がD2,D3,D4の発光ダイオード321,331,341を用いることで、観察領域N9における照度分布の略均一化を実現した。したがって、従来のリング照明装置900に設けられた発光ダイオード921,931,941を、発光ダイオード321,331,341に交換するだけの簡単な方法で、観察領域N9における照度分布を略均一にするリング照明装置300を提供できる。
【0075】
[第4実施形態]
〔リング照明装置の構成〕
次に、第4実施形態について図面に基づいて説明する。図8は、第4実施形態に係るリング照明装置の概略構成を示す模式図である。図8において、400はリング照明装置であり、このリング照明装置400は、ケース910と、複数の照明光発生手段としての発光ダイオード421を有する内周照明光発生手段としての内周発光ダイオード群420と、複数の照明光発生手段としての発光ダイオード431を有する中央照明光発生手段としての中央発光ダイオード群430と、複数の照明光発生手段としての発光ダイオード441を有する外周照明光発生手段としての外周発光ダイオード群440と、電流制御手段450と、図示しない分割制御手段と、電源となどを備えている。なお、このリング照明装置400は、図9(A),(B)に示すような従来のリング照明装置900に、電流制御手段450を新たに備えたものであり、電流制御手段450以外の構成についてはリング照明装置900の構成と同一である。
【0076】
内周発光ダイオード群420は、図9(B)に示すような、リング照明装置900の発光ダイオード921に対応する部分に配置され、発光部121Aおよび配線421Bを備えた例えば18個の発光ダイオード421を有している。中央発光ダイオード群430は、発光ダイオード931に対応する部分に配置され、発光部121Aおよび配線421Bを備えた例えば24個の発光ダイオード431を有している。外周発光ダイオード群440は、発光ダイオード941に対応する部分に配置され、発光部121Aおよび配線421Bを備えた例えば30個の発光ダイオード441を有している。
【0077】
発光ダイオード421,431,441の配線421Bは、導電性材料により形成されており、一端が発光部121Aに他端が電流制御手段450に接続されている。発光ダイオード421,431,441は、図8に示すように、発光部121Aがケース910の開口部から突出するようにケース910に取り付けられている。また、発光ダイオード421,431,441は、リング照明装置900のそれらと同様に、照明光軸421K,431K,441Kとレンズ光軸1Kとのなす角度がR1となるように、かつ、照明光軸421K,431K,441Kと被測定面61とが照射点611A,612A,613Aで交わるように取り付けられている。また、発光ダイオード421,431,441からの照明光421L,431L,441Lの照明光軸421K,431K,441Kと、照明光421L,431L,441Lの周縁421E,431E,441Eとのなす角度はD1とされている。
【0078】
電流制御手段450は、図8に示すように、分割制御手段を介して電源から通電される電流量を制御して、発光ダイオード421,431,441に、電流I1の電流値>電流I3の電流値>電流I2の電流値、を満たすような電流I1,I2,I3をそれぞれ通電する。なお、ここでは、電流I1の電流値>電流I3の電流値、となる構成について例示するが、電流I1の電流値および電流I3の電流値の大小関係は、発光ダイオード421,441の数、大きさ、照明光の発散角度、取付角度や、ケース910の径などの条件により、最適な関係に設定されるものである。したがって、電流I1の電流値>電流I2の電流値、および、電流I3の電流値>電流I2の電流値、を満たすような電流I1の電流値および電流I3の電流値ならば、上述したような大小関係に限らず、例えば、電流I1の電流値=電流I3の電流値などとしてもよい。
【0079】
〔第4実施形態の作用〕
次に、第4実施形態に係るリング照明装置400の作用について説明する。電源から通電される電流を、分割制御手段および電流制御手段450により制御することにより、例えば図9(B)に示すような領域S1およびS2の発光ダイオード421,431,441を点灯させる。
【0080】
すると、図10(A)に示すような照射点611Aを含む内周照射領域611には、図8に示すように発光ダイオード421からの照明光421Lと、発光ダイオード431からの照明光431Lとが重ねて照射される。また、照射点612Aを含む中央照射領域612には、発光ダイオード431からの照明光431Lと、発光ダイオード421からの照明光421Lと、発光ダイオード441からの照明光441Lとが重ねて照射される。さらに、照射点613Aを含む外周照射領域613には、発光ダイオード441からの照明光441Lと、発光ダイオード431からの照明光431Lとが重ねて照射される。
【0081】
このとき、発光ダイオード441に通電される電流I3の電流値は、発光ダイオード421に通電される電流I1の電流値よりも低く設定されている。そして、一般的に発光ダイオードの光度は、通電される電流値の上昇に伴い高くなるので、照明光441Lからの照度は照明光421Lからの照度よりも低くなる。このため、照明光441Lと照明光431Lとが重ねて照射される外周照射領域613の照度は、照明光421Lと照明光431Lとが重ねて照射される内周照射領域611の照度よりも低くなる。したがって、9個の発光ダイオード421および15個の発光ダイオード441が点灯している場合でも、観察領域N9における外周照射領域613近傍の照度は、リング照明装置900を用いた場合のように内周照射領域611近傍の照度と比べて高くならず、図2(B)に示すようにほぼ等しくなる。
【0082】
また、発光ダイオード431に通電される電流I2の電流値は、発光ダイオード421,441に通電される電流I1,I3の電流値よりも小さく設定されている。そして、発光ダイオードの光度は、通電される電流値の上昇に伴い高くなるので、照明光431Lからの照度は照明光421L,441Lからの照度よりも低くなる。このため、照明光431Lと照明光421Lと照明光441Lとが重ねて照射される中央照射領域612の照度は、各照射領域611,613よりも低くなる。したがって、観察領域N9における中央照射領域612近傍の照度は、リング照明装置900を用いた場合のように各照射領域611,613と比べて極端に高くならず、図2(B)に示すようにほぼ等しくなる。
【0083】
〔第4実施形態の効果〕
上述したような第4実施形態のリング照明装置400では、第1実施形態の(3)および(4)の効果に加え次のような効果がある。
【0084】
(7)リング照明装置300の中央発光ダイオード群430の発光ダイオード431に、内周発光ダイオード群420の発光ダイオード421に通電する電流I1の電流値、および、外周発光ダイオード群440の発光ダイオード441に通電する電流I3の電流値よりも低い電流値の電流I2を通電する電流制御手段450を設けた。このため、このリング照明装置400により照射される中央照射領域612近傍の照度を、従来のリング照明装置900により照射される中央照射領域612近傍の照度よりも低くでき、各照射領域611,612,613近傍の照度をほぼ等しくできる。したがって、各照射領域611,612,613を含む観察領域N9における照度分布を略均一にするリング照明装置400を提供できる。
【0085】
(8)従来のリング照明装置900に電流制御手段450を設けることで、観察領域N1における照度分布の略均一化を実現した。したがって、従来のリング照明装置900に電流制御手段を設けるだけの簡単な方法で、観察領域N9における照度分布を略均一にするリング照明装置400を提供できる。
【0086】
なお、本発明は前述の各実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良などは本発明に含まれるものである。例えば、前述の各実施形態では、画像測定装置に用いられるリング照明装置100,200,300,400,500について説明したが、測定顕微鏡、工具顕微鏡、投影機、三次元画像測定機などに用いてもよい。また、前述の各実施形態では、リング照明装置100,200,300,400,500を対物レンズ1に取り付けたが、これに限らず、測定装置などの本体や測定台2に取り付けてもよく、また、これらの測定装置などとは別にリング照明装置100,200,300,400,500を支持する部材を設け、この部材に取り付けてもよい。
【0087】
また、第3実施形態では、内周発光ダイオード群320、中央発光ダイオード群330、外周発光ダイオード群340が、一重の略同心円状に配列された発光ダイオード321,331,341を有する構成にしたが、これに限らず、二重以上の略同心円状に配列された発光ダイオード321,331,341を有する構成としてもよい。また、このような構成は、第4実施形態の構成にも適用できる。
【0088】
第3実施形態の発光ダイオード331を、第1,2実施形態の発光ダイオード131,231の代わりに設けてもよい。このようにすれば、発光ダイオード131,231からの照明光131L,231Lにより照射される中央照射領域612の照度をより低くすることができるので、図2(B)に示すような照度分布をより均一化できる。
【0089】
また、第4実施形態の電流制御手段450を、第1,2実施形態のリング照明装置100,200に設けてもよい。このようにすれば、発光ダイオード131,231の照明光131L,231Lにより照射される中央照射領域612の照度をより低くすることができるので、図2(B)に示すような照度分布をより均一化することができる。
【0090】
要するに、第1実施形態、第2実施形態、第3実施形態、第4実施形態を任意に組み合わせた構成としてもよい。
【0091】
本発明を実施するための最良の構成、方法等は、以上の記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ、説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。
したがって、上記に開示した形状、材質等を限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質等の限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【0092】
【発明の効果】
本発明によれば、リング照明装置に設けられる中央照明光発生手段群の照明光発生手段の数を、内周照明光発生手段群の照明光発生手段の数および外周照明光発生手段群の照明光発生手段の数よりも少なくする。このような構成により、中央照明光発生手段群から発せられる照明光からの照度を、内周照明光発生手段群および外周照明光発生手段群から発せられる照明光からの照度よりも低くすることができる。このため、内周照明光発生手段群からの照明光と、中央照明光発生手段群からの照明光とが重ねて照射される内周照射領域の照度と、中央照明光発生手段群からの照明光と、内周照明光発生手段群からの照明光と、外周照明光発生手段群からの照明光とが重ねて照射される中央照射領域の照度と、外周照明光発生手段群からの照明光と、中央照明光発生手段群からの照明光とが重ねて照射される外周照射領域の照度とを略同一にすることができる。したがって、内周照射領域、中央照射領域、および、外周照射領域を含む観察領域における照度分布を略均一にするリング照明装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態に係るリング照明装置の概略構成を示す模式図である。
(A):リング照明装置の断面図
(B):リング照明装置の底面図
【図2】前記実施形態に係るリング照明装置の作用を示す模式図である。
(A):照射領域の分布を示す模式図
(B):観察領域の照度分布を示す模式図
【図3】本発明の第2実施形態に係るリング照明装置の概略構成を示す模式図である。
【図4】前記実施形態の効果を確認するための実験に用いたリング照明装置の概略構成を示す模式図である。
(A):リング照明装置の断面図
(B):リング照明装置の底面図
【図5】前記実験に用いた本発明を適用したリング照明装置の観察範囲の照度分布を示すグラフである。
(A):全ての発光ダイオードを点灯させた場合の照度分布
(B):四分割した領域のうちの1つの領域の発光ダイオードを点灯させた場合の照度分布
【図6】前記実験に用いた本発明を適用しないリング照明装置の観察範囲の照度分布を示すグラフである。
(A):全ての発光ダイオードを点灯させた場合の照度分布
(B):四分割した領域のうちの1つの領域の発光ダイオードを点灯させた場合の照度分布
【図7】本発明の第3実施形態に係るリング照明装置の概略構成を示す模式図である。
【図8】本発明の第4実施形態に係るリング照明装置の概略構成を示す模式図である。
【図9】従来のリング照明装置の概略構成を示す模式図である。
(A):リング照明装置の断面図
(B):リング照明装置の底面図
【図10】従来のリング照明装置の作用を示す模式図である。
(A):照射領域の分布を示す模式図
(B):観察領域の照度分布を示す模式図
【符号の説明】
1 対物レンズ(光学系)
1K レンズ光軸(光軸)
6,7 被測定物
100,200,300,400,500 リング照明装置
120,220,320,420 内周発光ダイオード群(内周照明光発生手段群)
130,230,330,430 中央発光ダイオード群(中央照明光発生手段群)
140,240,340,440 外周発光ダイオード群(外周照明光発生手段群)
121,131,141,221,231,241,321,331,341,421,431,441,521,531,541,551,561,571 発光ダイオード(照明光発生手段)
450 電流制御手段
520 第1発光ダイオード列(内周照明光発生手段群)
530 第2発光ダイオード列(内周照明光発生手段群)
540 第3発光ダイオード列(中央照明光発生手段群)
550 第4発光ダイオード列(中央照明光発生手段群)
560 第5発光ダイオード列(外周照明光発生手段群)
570 第6発光ダイオード列(外周照明光発生手段群)
Claims (4)
- 被測定物を照射する複数の照明光発生手段を備え光学系の光軸の回りにリング状に設けられたリング照明装置であって、
前記光軸に対して少なくとも一重の略同心円状に配列された複数の前記照明光発生手段を有する内周照明光発生手段群と、
この内周照明光発生手段群の径方向外側に設けられ前記光軸に対して少なくとも一重の略同心円状に配列された複数の前記照明光発生手段を有する中央照明光発生手段群と、
この中央照明光発生手段群の径方向外側に設けられ前記光軸に対して少なくとも一重の略同心円状に配列された複数の前記照明光発生手段を有する外周照明光発生手段群と、
を備え、
前記中央照明光発生手段群の前記照明光発生手段の数は、前記内周照明光発生手段群の前記照明光発生手段の数および前記外周照明光発生手段群の前記照明光発生手段群の数よりも少ないことを特徴とするリング照明装置。 - 被測定物を照射する複数の照明光発生手段を備え光学系の光軸の回りにリング状に設けられたリング照明装置であって、
前記光軸に対して少なくとも一重の略同心円状に配列された複数の前記照明光発生手段を有する内周照明光発生手段群と、
この内周照明光発生手段群の径方向外側に設けられ前記光軸に対して少なくとも一重の略同心円状に配列された複数の前記照明光発生手段を有する中央照明光発生手段群と、
この中央照明光発生手段群の径方向外側に設けられ前記光軸に対して少なくとも一重の略同心円状に配列された複数の前記照明光発生手段を有する外周照明光発生手段群と、
を備え、
前記中央照明光発生手段群の前記照明光発生手段からの照明光の発散角度は、前記内周照明光発生手段群および前記外周照明光発生手段群の前記照明光発生手段からの照明光の発散角度よりも大きいことを特徴とするリング照明装置。 - 被測定物を照射する複数の照明光発生手段を備え光学系の光軸の回りにリング状に設けられたリング照明装置であって、
前記光軸に対して少なくとも一重の略同心円状に配列された複数の前記照明光発生手段を有する内周照明光発生手段群と、
この内周照明光発生手段群の径方向外側に設けられ前記光軸に対して少なくとも一重の略同心円状に配列された複数の前記照明光発生手段を有する中央照明光発生手段群と、
この中央照明光発生手段群の径方向外側に設けられ前記光軸に対して少なくとも一重の略同心円状に配列された複数の前記照明光発生手段を有する外周照明光発生手段群と、
を備え、
前記中央照明光発生手段群の前記照明光発生手段に、前記内周照明光発生手段群および前記外周照明光発生手段群の前記照明光発生手段に通電する電流の電流値よりも小さい電流値の電流を通電する電流制御手段を備えたことを特徴とするリング照明装置。 - 請求項1ないし請求項3のいずれかに記載のリング照明装置において、
前記照明光発生手段は、発光ダイオードであることを特徴とするリング照明装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003157854A JP2004361552A (ja) | 2003-06-03 | 2003-06-03 | リング照明装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003157854A JP2004361552A (ja) | 2003-06-03 | 2003-06-03 | リング照明装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004361552A true JP2004361552A (ja) | 2004-12-24 |
Family
ID=34051440
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003157854A Pending JP2004361552A (ja) | 2003-06-03 | 2003-06-03 | リング照明装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004361552A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007212764A (ja) * | 2006-02-09 | 2007-08-23 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | リングライト |
CN100533250C (zh) * | 2005-03-17 | 2009-08-26 | 佳能株式会社 | 发光装置和具有该发光装置的设备 |
JP2009300871A (ja) * | 2008-06-16 | 2009-12-24 | Edm Kk | 画像処理装置用照明装置及び方法 |
WO2010092412A1 (en) | 2009-02-13 | 2010-08-19 | Rudjer Boskovic Institute | Ring illuminator with maximizing intensity of illumination |
JP2013156347A (ja) * | 2012-01-27 | 2013-08-15 | Hamamatsu Photonics Kk | 撮像装置及び撮像装置の製造方法 |
US10142529B2 (en) | 2013-07-12 | 2018-11-27 | Hamamatsu Photonics K.K. | Imaging apparatus and method for manufacturing imaging apparatus |
-
2003
- 2003-06-03 JP JP2003157854A patent/JP2004361552A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100533250C (zh) * | 2005-03-17 | 2009-08-26 | 佳能株式会社 | 发光装置和具有该发光装置的设备 |
JP2007212764A (ja) * | 2006-02-09 | 2007-08-23 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | リングライト |
JP2009300871A (ja) * | 2008-06-16 | 2009-12-24 | Edm Kk | 画像処理装置用照明装置及び方法 |
WO2010092412A1 (en) | 2009-02-13 | 2010-08-19 | Rudjer Boskovic Institute | Ring illuminator with maximizing intensity of illumination |
JP2013156347A (ja) * | 2012-01-27 | 2013-08-15 | Hamamatsu Photonics Kk | 撮像装置及び撮像装置の製造方法 |
US10142529B2 (en) | 2013-07-12 | 2018-11-27 | Hamamatsu Photonics K.K. | Imaging apparatus and method for manufacturing imaging apparatus |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3889992B2 (ja) | リング照明装置 | |
US10502942B2 (en) | Integrated illuminator and condenser for microscopes | |
JPH1054940A (ja) | 入射照明の配向と傾斜を調節する手段を備えた表面照明器 | |
US6614596B2 (en) | Systems and methods for increasing illumination density within a field of view of an imaging system | |
JPH11242162A (ja) | 表面照明器 | |
US20100302630A1 (en) | Incident illumination device for a microscope | |
WO2000011400A1 (en) | Light array system and method for illumination of objects imaged by imaging systems | |
JP2000076904A (ja) | プログラム化可能な高い投射角のビデオ検査用等の表面照明器 | |
US20230350182A1 (en) | Illumination display as illumination source for microscopy | |
JP2003269919A (ja) | 画像処理型測定機の照明装置 | |
JP2001154103A (ja) | 光学器械の照明装置 | |
JP2006073767A (ja) | Led照明装置および照明制御装置 | |
JPH04125609A (ja) | 光学顕微鏡 | |
JP2004361552A (ja) | リング照明装置 | |
JP2003315678A (ja) | リング照明装置 | |
TWI393873B (zh) | 控制光束角作用區的裝置及方法 | |
JP2518236B2 (ja) | 光源装置 | |
JP4579554B2 (ja) | 顕微鏡用照明装置 | |
JP2004233189A (ja) | 照明装置及び検査装置 | |
JP2005078082A (ja) | 落射光照明装置が組み込まれたステレオ手術用顕微鏡 | |
WO2018173370A1 (ja) | 照明装置、照明方法および撮像装置 | |
JP2009054293A (ja) | Led照明装置 | |
JP2011033626A (ja) | 画像測定装置のための入射角高速可変照射装置 | |
US6755562B2 (en) | Illuminating apparatus for image processing type measuring machines | |
JPH10149705A (ja) | リング照明装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060530 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20070703 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20070809 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090226 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090317 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090518 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090811 |