JP2004358631A - Cmp研磨装置における研磨剤の供給装置及び供給方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】研磨剤のタンク12と、タンクに配置された研磨剤の液面レベル検出手段14と、タンクに研磨剤の原料又は調合後の研磨剤を投入する研磨剤投入手段16と、液面レベル検出手段14の計測結果により研磨剤の液面レベルが一定になるように研磨剤投入手段16を制御する制御手段18と、を有する研磨剤の供給装置10。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明はCMP(Chemical Mechanical Polishing :化学的機械研磨)研磨装置における研磨剤の供給装置及び供給方法に係り、特に、ウェーハの傷(マイクロスクラッチ)の発生、ウェーハの品質の低下、ウェーハの歩留りの低下等に対し有効な対処手段となり得る研磨剤の供給装置及び供給方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体集積回路のデザインルールの縮小化に伴って、層間膜等の平坦化プロセスにCMPが多用されるようになってきた。該CMPに使用される研磨剤は、微細粒子をpH調整剤等の試薬を含む水溶液に分散させた固液分散系のものがほとんどである。これらの微細粒子としては、コロイダルシリカ、フュームドシリカ、酸化セリウム等が一般的に使用されている。
【0003】
また、研磨装置における研磨剤の調合装置は、図2に断面図で示されるような構成であるものが一般的である。なお、この研磨剤の調合装置は研磨剤の供給を行うスラリータンク(研磨剤の供給装置)としても機能する。
【0004】
同図において、研磨剤の調合装置1は、上蓋を挿通して配管2、3、4が槽の内部に挿入されている。また、槽の底には配管5が連結されている。配管2は研磨剤原液(研磨剤メーカーから購入した状態のもの)を供給するためのものであり、配管3は添加剤を供給するためのものである。配管5は研磨剤を排出し研磨装置に供給するためのものであり、配管4は研磨剤を槽内に戻すためのものである。
【0005】
配管4、5はCMP研磨装置に連結され、研磨剤を循環させつつ研磨剤の調合装置1からCMP研磨装置への研磨剤の供給を行う。そして、配管4と配管5との間には、配管6が連結されていて、研磨剤の調合装置1とCMP研磨装置との間を循環する配管4と配管5とのバイパスとなっている。なお、付帯設備として、ポンプ7及びバルブ8、9が設けられている。
【0006】
研磨剤の調合は、配管2より研磨剤原液を、配管3より添加剤をそれぞれ供給し、図示しないスターラにより攪拌することにより行う。また、研磨剤の調合装置1内の研磨剤の量が減少してきたときも、同様に研磨剤原液と添加剤を供給して調合を行う。
【0007】
一方、このように研磨剤の調合装置1で研磨剤の初期調合を行わず、外部で別途調合した研磨剤を供給する例もある。この場合には、研磨剤原液及び/又は添加剤の追加を行うときにのみ配管2及び/又は配管3を使用している。
【0008】
上記従来の研磨剤の調合装置1においては、研磨剤が乾燥し、凝集・凝固することを防止できないという問題点を有する。すなわち、研磨剤を供給していくと、使用した分だけ研磨剤の調合装置1内の液面が下降する。その際、研磨剤を使用する前の液面から、研磨剤を使用した分だけ下降した液面までの壁面に研磨剤が付着する。
【0009】
その付着した研磨剤は、その後壁面において乾燥し、凝集・凝固する。その凝集・凝固した研磨剤は、壁面から落下し、研磨剤(液)の中に混在することとなる。このように、凝集・凝固した後、研磨剤(液)の中に混在することとなった大粒径の研磨剤は、CMPを実施した際ウェーハに傷(マイクロスクラッチ)を発生させたり、ウェーハの品質を低下させたり、ウェーハの歩留りを低下させたりする。
【0010】
このような現象の対策として、調合槽の壁部に冷却部を設けたりして調合槽の壁部に水滴を付着させ、研磨剤の乾燥を防止する構成が提案されている(特許文献1参照)。
【0011】
【特許文献1】
特開平11−165259号公報
【0012】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記の構成は装置的に複雑にならざるを得ず、管理も煩雑である。一方、このような手段を設けず、凝集・凝固した後、研磨剤(液)の中に混在することとなった大粒径の研磨剤をフィルタにより濾過する対策も採用されている。しかし、濾過に完全を期すとフィルタの目詰まりが早く、その反面、目詰まりが少ないフィルタを使用すると濾過が不十分となり、マイクロスクラッチの発生を避けられない。
【0013】
本発明はかかる事情に鑑みてなされたもので、ウェーハの傷(マイクロスクラッチ)の発生、ウェーハの品質の低下、ウェーハの歩留りの低下等に対し有効な対処手段となり得るCMP研磨装置における研磨剤の供給装置及び供給方法を提供することを目的とする。
【0014】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、本発明は、CMP研磨装置における研磨剤の供給装置であって、研磨剤のタンクと、該タンクに配置された研磨剤の液面レベル検出手段と、該タンクに研磨剤の原料又は調合後の研磨剤を投入する研磨剤投入手段と、前記液面レベル検出手段の計測結果により研磨剤の液面レベルが一定になるように前記研磨剤投入手段を制御する制御手段と、を有することを特徴とするCMP研磨装置における研磨剤の供給装置及び該装置による供給方法を提供する。
【0015】
本発明によれば、研磨剤のタンクに配置された研磨剤の液面レベル検出手段によりタンク内の研磨剤の液面レベルが計測され、該計測結果により研磨剤の液面レベルが一定になるように研磨剤の原料又は調合後の研磨剤の投入量が制御される。したがって、液面レベルの変動によりタンクの壁面に研磨剤が付着することはない。その結果、凝集・凝固した研磨剤が壁面から落下し、研磨剤(液)の中に混在するようなことはなくなり、ウェーハの傷(マイクロスクラッチ)の発生、ウェーハの品質の低下、ウェーハの歩留りの低下等に対し有効な対処手段となり得る。
【0016】
なお、研磨剤の液面レベル検出手段としては、タンク及びタンク内の研磨剤の重量を計測する重量センサ、研磨剤の液面レベルを検知する液面レベル計等、公知の各種手段が採用できる。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面に従って本発明に係るCMP研磨装置における研磨剤の供給装置及び供給方法の好ましい実施の形態について詳説する。
【0018】
図1は、研磨剤の供給装置10の全体構成を示す概略図である。同図に示すように研磨剤の供給装置10は、主として、研磨剤のタンク12、研磨剤の液面レベル検出手段としての重量センサ14、研磨剤投入手段16、及びこれらを制御する制御手段18とで構成されている。
【0019】
研磨剤のタンク12は樹脂製の円筒形状をしたものであり、重量センサ14であるロードセルの上に固定されており、タンク12の全重量が重量センサ14に負荷されるように構成されている。
【0020】
タンク12の側面を挿通して配管20、22が内部に連通されている。また、上蓋を挿通して配管24が設けられている。この配管24は研磨剤を排出し研磨装置に供給するべくポンプ26に接続され、研磨装置へと配管される。タンク12の底には配管28が連結されており、配管28の端末に配されるバルブ30を操作することによりドレン排出ができる。
【0021】
タンク12にはスターラ32が設けられ、攪拌ができるようになっている。スターラ32による攪拌は、モータ32Aで駆動されるシャフトの先端に設けられたプロペラ32Bを回転させることにより行う。
【0022】
これらの、タンク12に連結される配管20、22、24、28及びスターラ32は、重量センサ14によるタンク12の重量計測に誤差を生じないように、タンク12とは緩く連結されている。このような構成とするには、たとえば、フレキシブルホース等を使用すればよい。
【0023】
重量センサ14としては、上部に固定されたタンク12の重量を検出し、電気信号として取り出せるものであれば使用できるが、ロードセルが一般的に好ましく使用できる。このようなロードセルとしては、たとえば、テクニカルアンドトライ社製のロードセル、型番:TTS−100−1300−SW205(コントローラ14Aとしては、型番:MX−8800を使用)が使用できる。このロードセルの表示範囲は0〜15kgであり、アナログ出力としては0〜5000mVが得られる。
【0024】
コントローラ14Aからのアナログ出力は後述するシーケンサ62を経て、コンピュータ(パソコン)60に送られる。なお、コントローラ14Aからのアナログ出力又はデジタル出力を直接コンピュータ60に直接取り込む構成も採用できる。
【0025】
研磨剤投入手段16は、タンク12に供給される研磨剤原液や添加剤等が貯蔵される原液タンク40、42と、これらのタンクから研磨剤原液や添加剤を送液する送液ポンプ44、46と、流量計(Flow Meter)48、50と、送液のON−OFFを行うバルブ52、54と、原液タンク40、42からタンク12まで送液ポンプ44、46、流量計48、50、バルブ52、54を直列に繋いで設けられる既述の配管20、22とで構成される。
【0026】
本構成では、送液ポンプ44、46として、ダイヤフラムポンプが使用されているが、研磨剤原液や添加剤等の送液が確実に行えるタイプのポンプであれば、他の形態のものであってもよい。
【0027】
流量計48、50としては、テーパ管流量計のように目視で読み取れるものであってもよいが、検知した値が電気信号として取り出せるタイプのもの、たとえば、電磁流量計のようなタイプのものが好ましい。この出力は回線(1ch、2ch)を経て後述するデータロガー90に記憶される。
【0028】
バルブ52、54としては、後述する制御手段18によりソレノイド(Sol)56が駆動されることにより、送液のON−OFFが行える形式のものが使用される。
【0029】
制御手段18は、研磨剤の供給装置全体をコントロールするコンピュータ(パソコン)60と、コンピュータ60からの指令を受けてソレノイド56を制御するシーケンサ62と、バルブ52、54のON−OFFを行う既述のソレノイド56とで構成される。
【0030】
その他の構成として、流量計48、50及び重量センサ14のコントローラ14Aからの信号を取り込み、研磨剤原液や添加剤等の流量、タンク12の重量(3chを経る)等の経時的な測定結果を記録するデータロガー90が設けられる。
【0031】
また、ドレン排出等の用途のバルブ30が設けられているが、これを操作して調合済みの研磨剤を抜き出し、浮き子式の比重計等により研磨剤をモニターする等の作業もできる。
【0032】
なお、流量計48、50及びデータロガー90は本発明における必須の構成要件ではない。
【0033】
前記のように構成された研磨剤の供給装置10における研磨剤の供給方法、すなわち、研磨剤の液面レベルが一定になるように研磨剤の原料又は調合後の研磨剤の投入量を制御する方法は次のとおりである。
【0034】
先ず、タンク12が空の状態で、新規に研磨剤を調合する例について説明する。タンク12の重量が重量センサ14により測定され、重量センサ14のコントローラ14Aからの出力がシーケンサ62を経て、コンピュータ60に送られ、記憶される。
【0035】
次いで、送液ポンプ44が駆動され、原液タンク40内の添加剤(この場合は過酸化水素)がタンク12内に供給される。このとき、バルブ52はON(開)状態にある。タンク12の重量が所定重量になった(コンピュータ60が重量を判断した)時点で、コンピュータ60がシーケンサ62を経てソレノイド56を制御し、バルブ52をOFF(閉)状態にする。これにより、添加剤の供給は停止される。
【0036】
その後、送液ポンプ46が駆動され、原液タンク42内の研磨剤原液がタンク12内に供給される。このとき、バルブ54はON(開)状態にされる。タンク12の重量が所定重量になった(コンピュータ60が重量を判断した)時点で、コンピュータ60がシーケンサ62を経てソレノイド56を制御し、バルブ54をOFF(閉)状態にする。これにより、研磨剤原液の供給は停止される。
【0037】
上記操作と並行して、供給された添加剤及び研磨剤原液は、タンク12内においてスターラ32により攪拌され、均一に調合される。
【0038】
なお、流量計48、50及び重量センサ14のコントローラ14Aからの信号がデータロガー90に取り込まれ、研磨剤原液や添加剤等の流量、タンク12の重量等の経時的な測定結果が記録される。
【0039】
次に、研磨作業が行われており、研磨剤がCMP研磨装置に供給されている際に、研磨剤の液面レベルが一定になるように制御する方法について説明する。
【0040】
研磨剤がCMP研磨装置に供給されることにより、タンク12の重量が所定重量よりも減少した場合、重量センサ14のコントローラ14Aからの信号を受けたコンピュータ60の指令により送液ポンプ44が駆動され、原液タンク40内の添加剤(この場合は過酸化水素)がタンク12内に供給される。このとき、バルブ52はON(開)状態にある。タンク12の重量が所定重量になった(コンピュータ60が重量を判断した)時点で、コンピュータ60がシーケンサ62を経てソレノイド56を制御し、バルブ52をOFF(閉)状態にする。これにより、添加剤の供給は停止される。
【0041】
その後、コンピュータ60の指令により送液ポンプ46が駆動され、原液タンク42内の研磨剤原液がタンク12内に供給される。このとき、バルブ54はON(開)状態にされる。タンク12の重量が所定重量になった(コンピュータ60が重量を判断した)時点で、コンピュータ60がシーケンサ62を経てソレノイド56を制御し、バルブ54をOFF(閉)状態にする。これにより、研磨剤原液の供給は停止される。
【0042】
このようにして、タンク12の重量が所定重量よりも減少した場合、すなわち、タンク12内の研磨剤の液面レベルが設定レベルよりも所定高さHだけ下がった場合には、研磨剤の液面レベルが設定レベルに迅速に回復するように制御される。したがって、液面レベルの変動によりタンクの壁面に研磨剤が付着することはない。その結果、凝集・凝固した研磨剤が壁面から落下し、研磨剤(液)の中に混在するようなことはなくなり、ウェーハの傷(マイクロスクラッチ)の発生、ウェーハの品質の低下、ウェーハの歩留りの低下等に対し有効な対処手段となり得る。
【0043】
なお、上記の所定高さHは、研磨剤の供給装置10の制御系の特性(時定数等)を鑑みて最適な値を採用することが好ましい。すなわち、所定高さHを過少に設定した場合には、オーバーコントロールとなり不適であり、所定高さHを過大に設定した場合には、タンクの壁面に研磨剤が付着することとなり不適であるからである。
【0044】
また、研磨剤の供給装置10の制御系は、単なるオンオフ制御ではなく、PID制御のように偏差に良好に対応できる制御系とすることが好ましい。
【0045】
以上、本発明に係るCMP研磨装置における研磨剤の供給装置及び供給方法の実施形態の例について説明したが、本発明は上記実施形態の例に限定されるものではなく、各種の態様が採り得る。
【0046】
たとえば、上記実施形態の例では、研磨剤の原料、すなわち、添加剤(過酸化水素)と研磨剤原液の2種が投入される2系統の配管系の構成が採用されているが、調合後の研磨剤を投入する場合には、1系統の配管系の構成でよい。
【0047】
また、研磨剤の液面レベル検出手段として重量センサ14が採用されているが、これに代えて研磨剤の液面レベル検出手段として液面レベル計等を採用する構成も採り得る。液面レベル計等を採用した場合、研磨剤の液面が振動しており検出誤差を生じたり、液面計の取り付け精度を出すのが大変であったり、僅かの量(たとえば、2重量%前後)の添加剤(たとえば、過酸化水素)の検出誤差があった場合に研磨品質へ影響を及ぼすという問題があったりもするが、調合後の研磨剤を投入する構成等の場合には充分に採用に値する。
【0048】
【実施例】
図1に示される構成の研磨剤の供給装置10等を使用してCMP研磨を行い効果を確認した。タンク12の容量は15リットルであり、研磨剤原液としてはCABOT社製のコロイダルシリカ研磨剤、型番:SS−25を使用した。研磨パッドにはロデール社製の製品名:IC1000を使用した。ワークとして、シリコンウェーハに酸化膜が形成されたものを使用した。
【0049】
供給装置10の運転時のタンク12内の液面レベルが常に一定レベルとなるように制御しながら約8時間連続してCMP研磨を行った。その状態の研磨剤を使用してテスト用のワークを研磨し、研磨後のワーク5枚のマイクロスクラッチを計測したところ、いずれのワークのマイクロスクラッチもウェーハ面内で数個(10個未満)であった。
【0050】
比較例として、従来から使用していたスラリータンク(図2の構成と略同様のもの)を使用し、同一の条件(材料、研磨条件等)でCMP研磨を行い、研磨後のワーク5枚のマイクロスクラッチを計測したところ、いずれのワークのマイクロスクラッチもウェーハ面内で数千個のレベルであった。
【0051】
次に、研磨剤の種類を代えて上記と同様のCMP研磨を行い効果を確認した。研磨剤原液としてはロデール社製のフュームドシリカ研磨剤、型番:ILD−1300を使用した。その他の条件は同一とした。
【0052】
供給装置10の運転時のタンク12内の液面レベルが常に一定レベルとなるように制御しながら約8時間連続してCMP研磨を行った。その状態の研磨剤を使用してテスト用のワークを研磨し、研磨後のワーク5枚のマイクロスクラッチを計測したところ、いずれのワークのマイクロスクラッチもウェーハ面内で数個(10個未満)であった。
【0053】
比較例として、従来から使用していたスラリータンク(図2の構成と略同様のもの)を使用し、同一の条件(材料、研磨条件等)でCMP研磨を行い、研磨後のワーク5枚のマイクロスクラッチを計測したところ、いずれのワークのマイクロスクラッチも面内で数千個のレベルであった。
【0054】
このように、研磨剤砥粒の種類に関係なく、本願発明が従来例と比較して顕著な効果を奏することを確認した。
【0055】
【発明の効果】
以上に説明したように、本発明によれば、研磨剤のタンクに配置された研磨剤の液面レベル検出手段によりタンク内の研磨剤の液面レベルが計測され、該計測結果により研磨剤の液面レベルが一定になるように研磨剤の原料又は調合後の研磨剤の投入量が制御される。したがって、液面レベルの変動によりタンクの壁面に研磨剤が付着することはない。その結果、凝集・凝固した研磨剤が壁面から落下し、研磨剤(液)の中に混在するようなことはなくなり、ウェーハの傷(マイクロスクラッチ)の発生、ウェーハの品質の低下、ウェーハの歩留りの低下等に対し有効な対処手段となり得る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る研磨剤の供給装置の全体構成を示す概略図である。
【図2】従来例である研磨剤の調合装置の概要を示す断面図である。
【符号の説明】
10…研磨剤の供給装置、12…タンク、14…重力センサ、16…研磨剤投入手段、18…制御手段
Claims (2)
- CMP研磨装置における研磨剤の供給装置であって、
研磨剤のタンクと、
該タンクに配置された研磨剤の液面レベル検出手段と、
該タンクに研磨剤の原料又は調合後の研磨剤を投入する研磨剤投入手段と、
前記液面レベル検出手段の計測結果により研磨剤の液面レベルが一定になるように前記研磨剤投入手段を制御する制御手段と、を有することを特徴とするCMP研磨装置における研磨剤の供給装置。 - CMP研磨装置における研磨剤の供給方法であって、
研磨剤のタンクに研磨剤の液面レベル検出手段を配置し、該検出手段により前記タンク内の研磨剤の液面レベルを計測し、該計測結果により研磨剤の液面レベルが一定になるように研磨剤の原料又は調合後の研磨剤の投入量を制御することを特徴とするCMP研磨装置における研磨剤の供給方法。
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