JP2021170593A - 薬液調合装置 - Google Patents
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Abstract
Description
前記第1の薬液と前記第2の薬液が、CMPスラリー用薬液を調合する液体である、薬液調合装置を提供する。
また、調合比・薬液比重等を無段階に調整することができるので、薬液の種類や比重等が変わっても、同じ装置で対応することができる。
また、さらに調合タンクに入れられた薬液を、ロードセルにより計量するだけなので、簡易な構成で正確に調合を行うことができるとともに、調合タンク内の泡立ち等を考慮する必要もなくなる。これにより、異なる薬液の計量精度を高めて品質を向上させ、かつ、簡易な構成の薬液調合装置を得ることができる。
11A :貯留タンク
11B :貯留タンク
12 :スラリー
13 :調合タンク
13a :底面
14 :制御部
15 :薬液供給配管
15A :第1の薬液供給ライン
15B :第2の薬液供給ライン
16A :第1の吐出ノズル
16Aa:吐出口
16B :第2の吐出ノズル
16Ba:吐出口
17A :圧力調整手段
17B :圧力調整手段
17C :接続切換弁
18A :第1の圧力可変手段
18B :第1の圧力可変手段
19A :第1の開閉弁
19B :第2の開閉弁
20A :第2の圧力可変手段
20B :第2の圧力可変手段
21 :曲面
30 :ロードセル
A :薬液(第1の薬液)
B :薬液(第2の薬液)
D :堆積物
θ :角度
Claims (5)
- 調合タンク内に、少なくとも第1の薬液と第2の薬液を注いで調合する薬液調合装置であって、
前記調合タンクが載せられ、前記調合タンク内に注がれた前記第1の薬液又は前記第2の薬液の量に応じた荷重を電気信号に変換して出力するロードセルと、
前記調合タンク内に前記第1の薬液を注ぐ第1の吐出ノズルと前記第2の薬液を注ぐ第2の吐出ノズルと、
前記第1の吐出ノズルを介して前記調合タンク内に注がれる前記第1の薬液を送る第1の薬液供給ラインと、
前記第2の吐出ノズルを介して前記調合タンク内に注がれる前記第2の薬液を送る第2の薬液供給ラインと、
前記ロードセルの前記電気信号に基づいて、前記第1の薬液供給ラインからの第1の薬液の注入・停止と前記第2の薬液供給ラインからの第2の薬液の注入・停止を各々制御する制御部と、
を備えることを特徴とする薬液調合装置。 - 前記調合タンクは、前記第1の吐出ノズル又は前記第2の吐出ノズルから吐出されて前記調合タンクの底面側に向かう前記薬液の流れを滑らかにするための曲面を、前記調合タンクの内側底面近傍に設けている、ことを特徴とする請求項1に記載の薬液調合装置。
- 前記第1の吐出ノズルの吐出口及び前記第2の吐出ノズルの吐出口は、前記調合タンクの垂直な内面に向けて下向きに傾斜して設けている、ことを特徴とする請求項1又は2に記載の薬液調合装置。
- 前記第1の薬液供給ラインと前記第2の薬液供給ラインの途中に、前記第1の薬液又は前記第2の薬液の供給送圧を切り換えて、前記第1の薬液供給ライン内を通る前記第1の薬液の供給速度と前記第2の薬液供給ライン内を通る前記第2の薬液の供給速度を調整可能な圧力可変手段を設けている、ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の薬液調合装置。
- 前記第1の薬液と前記第2の薬液が、CMPスラリー用薬液を調合する液体である、ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の薬液調合装置。
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