JP2004354094A - 網解析装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】極座標上での合否判定が可能な測定装置の提供
【解決手段】基準信号を周波数掃引または電力掃引させながら被測定物に印加する事により被測定物の網特性を解析する網解析装置において、前記基準信号の掃引範囲および掃引間隔、ならびに、前記被測定物を合否判定するための判定円の中心座標および半径を入力する入力手段と、前記被測定物の網特性を測定し、前記掃引範囲と前記掃引間隔とから決定される測定点数個の測定値を得る測定手段と、判定手段とを備え、前記判定手段は、前記測定値と前記中心座標との差分値を求め、さらに、前記差分値と前記半径とを参照して、前記参照する差分値の大きさが前記参照する半径以下または前記参照する半径未満であれば前記読み出した測定値を合格と判定する。
【選択図】図2
【解決手段】基準信号を周波数掃引または電力掃引させながら被測定物に印加する事により被測定物の網特性を解析する網解析装置において、前記基準信号の掃引範囲および掃引間隔、ならびに、前記被測定物を合否判定するための判定円の中心座標および半径を入力する入力手段と、前記被測定物の網特性を測定し、前記掃引範囲と前記掃引間隔とから決定される測定点数個の測定値を得る測定手段と、判定手段とを備え、前記判定手段は、前記測定値と前記中心座標との差分値を求め、さらに、前記差分値と前記半径とを参照して、前記参照する差分値の大きさが前記参照する半径以下または前記参照する半径未満であれば前記読み出した測定値を合格と判定する。
【選択図】図2
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、極座標上において被測定物の性能の合否を自動的に判定する測定装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
極座標表示機能を有する測定装置の一例として、ネットワーク・アナライザがある(例えば、特許文献1を参照。)。ネットワーク・アナライザで表示される極座標形式には、幾つかの種類があり、ポーラー・チャートならびにポーラー・チャートを変形したスミス・チャートおよびイミタンス・チャートなどがある。例えば、スミス・チャートは、電子部品の性能の合否を判定する際に使用される。以下に、電子部品の性能の合否判定の一例を示す。
【0003】
一般に、電子部品の性能の合否は、ネットワーク・アナライザの画面上に表示されるスミス・チャート上にプロットされる測定値が所定の半径を有する円内に収まっているか否かにより判定される場合がある。この判定のための円を判定円と称する。例えば、電子部品は、そのリターン・ロスの測定値が、ある複素インピーダンス値の近辺にある時に合格と判定される。現状、試験者は、ネットワーク・アナライザの画面上に所定の半径を有する円が描かれた透明のフィルムを張り付け、その円内に電子部品の測定値が収まっているか否かを目視により確認して、電子部品の性能合否を判定している。
【0004】
【特許文献1】
特開昭64−88165号公報(第2−3頁、第1図)
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、目視による合否判定は、判定結果のバラツキが大きく、判定誤りが生じやすい。特に、フィルム上の判定円は一定の太さの線で描かれているので、測定結果が判定円に隠れるなどして判定円付近での判定の誤り率が高まる。また、極座標表示された測定結果のうち特定の掃引点を識別する事が難しいため、合否判定を他の検査と併合しにくいという問題もある。例えば、フィルタの量産検査を行う場合、まず、判定円を描いたフィルムを用いて通過帯域の特性の合否を判定し、次に掃引条件を変更して通過帯域と阻止帯域とを含む全体的な帯域特性の観測が行われており、検査効率が悪い。さらに、外部回路の付加が要求される被測定物は、測定結果が極座標の原点から離れた位置に表示されるので、測定結果全体を表示させた場合に測定結果が小さく表示され、判定誤りを誘起する。また、この場合、最適な状態で測定結果が判定円内に収まるように、判定結果や測定結果を見ながら被測定物を調整することが難しい。
【0006】
そこで、本発明は上記の課題を解決するために、極座標上で被測定物の合否を判定できる測定装置を提供することを目的とする。また、判定円に影響されることなく正確かつ安定に被測定物の合否を判定できる測定装置を提供する事も目的とする。さらに、他の検査と併合が容易な合否判定機能を有する測定装置を提供する事も目的とする。またさらに、調査作業を容易にする合否判定機能を有する測定装置を提供する事も目的とする。また、上記の装置を実現するための方法およびプログラムを提供することも目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本第一発明は、基準信号を周波数掃引または電力掃引させながら被測定物に印加する事により被測定物の網特性を解析する網解析装置において、前記基準信号の掃引範囲および掃引間隔を入力するための第一の入力手段と、前記被測定物を合否判定するための判定円の中心座標と半径を入力するための第二の入力手段と、入力される前記中心座標を記憶する第一の記憶手段と、入力される前記半径を記憶する第二の記憶手段と、前記被測定物の網特性を測定し、前記掃引範囲と前記掃引間隔とから決定される測定点数個の測定値を得る測定手段と、前記測定点数個の要素を有し、得られる前記測定値が該要素のそれぞれに格納される配列を記憶する第三の記憶手段と、前記第三の記憶手段から前記測定値を読み出し、前記第一の記憶手段から前記中心座標を読み出し、前記読み出した測定値と前記読み出した中心座標との差分値を求め、さらに前記第二の記憶手段から前記半径を読み出し、前記差分値と前記読み出した半径とを参照して、前記参照する差分値の大きさが前記参照する半径以下または前記参照する半径未満であれば前記読み出した測定値を合格と判定する判定手段と、を備えることを特徴とするものである。
【0008】
本第二発明は、基準信号を周波数掃引または電力掃引させながら被測定物に印加する事により被測定物の網特性を解析する網解析装置において、前記基準信号の掃引範囲および掃引間隔を入力するための第一の入力手段と、前記被測定物を合否判定するための判定円の中心座標と半径を入力するための第二の入力手段と、入力される前記中心座標を記憶する第一の記憶手段と、前記掃引範囲と前記掃引間隔とから決定される測定点数個の要素を有し、入力される前記半径が該要素のそれぞれに格納される配列を記憶する第二の記憶手段と、前記被測定物の網特性を測定し、前記測定点数個の測定値を得る測定手段と、前記測定点数個の要素を有し、得られる前記測定値が該要素のそれぞれに格納される配列を記憶する第三の記憶手段と、前記第三の記憶手段から前記測定値を読み出し、前記第一の記憶手段から前記中心座標を読み出し、前記読み出した測定値と前記読み出した中心座標との差分値を求め、さらに前記読み出した測定値に関連する前記半径を前記第二の記憶手段から読み出し、前記差分値と前記読み出した半径とを参照して、前記参照する差分値の大きさが前記参照する半径以下または前記参照する半径未満であれば前記読み出した測定値を合格と判定する判定手段と、を備えることを特徴とするものである。
【0009】
本第三発明は、基準信号を周波数掃引または電力掃引させながら被測定物に印加する事により被測定物の網特性を解析する網解析装置において、前記基準信号の掃引範囲および掃引間隔を入力するための第一の入力手段と、前記被測定物を合否判定するための判定円の半径と中心座標を入力するための第二の入力手段と、前記掃引範囲と前記掃引間隔とから決定される測定点数個の要素を有し、入力される前記中心座標が該要素のそれぞれに格納される配列を記憶する第一の記憶手段と、入力される前記半径を記憶する第二の記憶手段と、前記被測定物の網特性を測定し、前記測定点数個の測定値を得る測定手段と、前記測定点数個の要素を有し、得られる前記測定値が該要素のそれぞれに格納される配列を記憶する第三の記憶手段と、前記第三の記憶手段から前記測定値を読み出し、該読み出した測定値に関連する前記中心座標を前記第一の記憶手段から読み出し、前記読み出した測定値と前記読み出した中心座標との差分値を求め、さらに前記第二の記憶手段から前記半径を読み出し、前記差分値と前記読み出した半径とを参照して、前記参照する差分値の大きさが前記参照する半径以下または前記参照する半径未満であれば前記読み出した測定値を合格と判定する判定手段と、を備えることを特徴とするものである。
【0010】
本第四発明は、基準信号を周波数掃引または電力掃引させながら被測定物に印加する事により被測定物の網特性を解析する網解析装置において、前記基準信号の掃引範囲および掃引間隔を入力するための第一の入力手段と、前記被測定物を合否判定するための判定円の中心座標と半径を入力するための第二の入力手段と、前記掃引範囲と前記掃引間隔とから決定される測定点数個の要素を有し、入力される前記中心座標が該要素のそれぞれに格納される配列を記憶する第一の記憶手段と、前記測定点数個の要素を有し、入力される前記半径が該要素のそれぞれに格納される配列を記憶する第二の記憶手段と、前記被測定物の網特性を測定し、前記測定点数個の測定値を得る測定手段と、前記測定点数個の要素を有し、得られる前記測定値が該要素のそれぞれに格納される配列を記憶する第三の記憶手段と、前記第三の記憶手段から前記測定値を読み出し、該読み出した測定値に関連する前記中心座標を前記第一の記憶手段から読み出し、前記読み出した測定値と前記読み出した中心座標との差分値を求め、さらに前記読み出した測定値に関連する前記半径を前記第二の記憶手段から読み出し、前記差分値と前記読み出した半径とを参照して、前記参照する差分値の大きさが前記参照する半径以下または前記参照する半径未満であれば前記読み出した測定値を合格と判定する判定手段と、を備えることを特徴とする網解析装置。
【0011】
本第五発明は、本第一発明乃至本第四発明において、前記第三の記憶手段に記憶される配列の各要素に格納される測定値について、その全てが前記判定手段により合格と判定される時に、前記被測定物を合格と判定する、ことを特徴とするものである。
【0012】
本第六発明は、本第一発明乃至本第四発明において、前記掃引範囲のうちから判定対象の範囲を定める判定範囲を入力するための第三の入力手段を備え、前記第三の記憶手段に記憶される配列の各要素に格納される測定値のうち前記第三の入力手段により入力される判定範囲内にある測定値について、その全てが前記判定手段により合格と判定される時に、前記被測定物を合格と判定する、ことを特徴とするものである。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を添付の図面に示す好適実施形態に基づいて説明する。本発明の第一の実施形態は、ネットワーク・アナライザであって、その概略構成を図1に示す。
【0014】
図1において、ネットワーク・アナライザ100は、構成要素として、測定部110と、表示部120と、記憶部130と、演算処理部140と、ドライブ装置150と、入力部160と、通信部170とを備える。
【0015】
測定部110は、測定ポートP1と測定ポートP2とを備え、各ポートに接続される被測定物10の網特性を測定する装置。測定ポートP1および測定ポートP2のそれぞれは、基準信号を出力し、また、入射信号および出射信号の振幅を測定することができる。図示の便宜上、測定部110が備える測定ポート数は2つであるが、特に、これに限定される訳ではない。例えば、流通しているネットワーク・アナライザには、3ポートまたは4ポートを有するものがある。さて、測定部110は、測定ポートP1と測定ポートP2を介して、2ポート・デバイスである被測定物10と接続されている。被測定物10の測定ポートP1における反射係数を測定する場合、測定部110は、基準信号を周波数掃引または電力掃引させながら測定ポートP1から出力し、測定ポートP1における入射信号および出射信号のエネルギーを測定するようにすれば良い。反射係数は、入射信号と出射信号との比として算出される。なお、比の計算は、演算処理部140で行っても良い。
【0016】
表示部120は、ネットワーク・アナライザ100の測定値や設定情報などの各種情報を表示する手段である。表示部120は、各種情報を出力できる手段であれば良く、LEDランプや液晶パネルディスプレイなどが利用できる。
【0017】
記憶部130は、プログラムや測定部110の測定値などの各種データが格納される記憶手段である。記憶部130は、交換不可能な記憶媒体を備える記憶手段である。例えば、記憶部130は、RAM、CPU内のレジスタ、または、固定ディスクドライブ装置などである。
【0018】
演算処理部140は、プログラムを実行することにより少なくとも1つの機能が実現されるコンピュータ手段である。本実施形態において、演算処理部140は、マイクロ・プロセッサである。しかし、演算処理部140は、マイクロ・プロセッサに限定されず、ディジタル・シグナル・プロセッサなど、演算機能および制御機能を有する他の型のプロセッサであっても良い。また、演算処理部140は、2以上のプロセッサを備えることもできる。演算処理部140は、ネットワーク・アナライザ100全体の動作を制御し、測定部110で測定した測定値の演算処理などを行う。なお、制御部120が実行するプログラムは、記憶部130に格納されるものであるか、ドライブ装置150から読み出されるものであるか、または、入力部160を介して受信するものである。
【0019】
ドライブ装置150は、プログラムや測定部110の測定値などの各種データが格納される手段である。ドライブ装置150は、交換可能な記憶媒体を備える記憶手段である。例えば、ドライブ装置150は、CD−ROMドライブやメモリーカード・リーダーなどである。
【0020】
入力部160は、入力手段の一例であって、ネットワーク・アナライザ100の使用者からの情報入力を受信する手段である。例えば、入力部160は、ボタン、バーニヤ・ノブ、または、キーボードなど情報入力に適した入力手段を具備することができる。
【0021】
通信部170は、ネットワーク・アナライザ100に外部装置との通信を可能にさせる手段である。例えば、通信部170は、シリアルインタフェース、パラレルインターフェース、または、LANインターフェースなどを具備することができる。通信部170は、通信媒体を介して情報を受信する場合、記憶部130や入力部160などの機能を代行することができる。また、通信部170は、通信媒体を介して情報を送信する場合、表示部120の機能を代行することもできる。
【0022】
測定部110と表示部120と記憶部130と演算処理部140とドライブ装置150と入力部160と通信部170とは、バス180を介して互い接続され互いに通信が可能である。
【0023】
次に、ネットワーク・アナライザ100の動作手順を以下に説明する。前述の通り、ネットワーク・アナライザ100は、プログラムを実行する演算処理部140の制御により動作する。従って、以下の動作手順は、演算処理部140が実行するプログラムの流れを説明するものでもある。ここで、ネットワーク・アナライザ100の動作手順を示すフローチャートを図2に示す。また、記憶部130に含まれる記憶領域を示す図を、図3に示す。以下の説明は、図1と図2と図3を参照する。
【0024】
まず、ステップ1aにおいて、測定に関する設定情報が入力される。ネットワーク・アナライザ100は、入力部160を介して基準信号の掃引範囲と掃引間隔とが入力され、入力された掃引範囲と掃引間隔とを記憶部130に格納する。この時、掃引範囲は、掃引始点と掃引終点との組で指定される。従って、記憶部130は、掃引始点を記憶するための記憶領域200、掃引終点を記憶するための記憶領域210、および、掃引間隔を記憶するための記憶領域220を備える。また、掃引範囲は掃引範囲の中心と掃引幅との組により指定する事ができ、その場合、記憶領域200および記憶領域210は、掃引始点および掃引終点に代えて、掃引範囲の中心および掃引幅が格納される。なお、掃引始点、掃引終点、掃引範囲の中心、掃引幅、および、掃引間隔は、電力掃引の場合には電力が入力され、周波数掃引の場合には周波数が入力される。また、掃引始点、掃引終点、掃引範囲の中心、掃引幅、および、掃引間隔は、全て実数である。
【0025】
次に、ステップ2aにおいて、合否判定に関する設定情報が入力される。ネットワーク・アナライザ100は、入力部160を介して合否判定の対象となる範囲、ならびに、被測定物を合否判定するための判定円の中心座標および半径が入力され、入力された判定範囲と中心座標と半径とを記憶部130に格納する。合否判定の対象範囲は、基準信号の掃引範囲内で指定され、判定開始点と判定終了点との組で指定される。従って、記憶部130は、判定開始点を記憶するための記憶領域230、判定終了点を記憶するための記憶領域240、中心座標を記憶するための記憶領域260、および、半径を記憶するための記憶領域270を備える。また、合否判定の対象範囲は判定範囲の中心と判定範囲の幅との組により指定する事ができ、その場合、記憶領域230および記憶領域240は、判定開始点および判定終了点に代えて、判定範囲の中心および判定範囲の幅が格納される。なお、判定開始点、判定終了点、判定範囲の中心、および、判定範囲の幅は、電力掃引の場合には電力が入力され、周波数掃引の場合には周波数が入力される。判定開始点、判定終了点、判定範囲の中心、判定範囲の幅、および、判定円の半径は、実数である。また、判定円の中心座標は複素数である。
【0026】
次に、ステップ3aにおいて、ネットワーク・アナライザ100は、表示部120に判定円を表示する。判定円は、下式で表される点Lkの集合、または、下式で表される点Lk同士を結ぶ線の集合として描かれる。下式の計算、および、計算結果に基づく表示部120の制御は、演算処理部140によって行われる。なお、判定円は、表示部120に表示される極座標上に描画される。
【0027】
【数1】
【0028】
ここで、kは、0〜(M−1)までの整数である。Mは、判定円の分割数であり、任意の値である。Rは、記憶領域270に記憶された半径である。Crは、記憶領域260に記憶された中心座標の実部の値である。Ciは、記憶領域260に記憶された中心座標の虚部の値である。上式の計算に用いられる半径、中心座標、掃引範囲、および、掃引間隔は、それぞれ対応する記憶領域から演算処理部140により読み出される。
【0029】
次に、ステップ4aにおいて、ネットワーク・アナライザ100は、被測定物10の網特性を測定する。その詳細は次の通りである。まず、測定部110により測定点数n個の測定値が得られる。測定点数nは、掃引範囲の幅を掃引間隔で割った値に1を加えた値である。n個の測定値は、記憶部130内の記憶領域380に格納される。記憶領域380には、要素M1から要素Mnで構成される複素配列が記憶されている。複素配列の各要素には、n個の測定値のそれぞれが格納される。なお、要素Mnの添え字nは、要素の識別番号である。
【0030】
次に、ステップ5aにおいて、ネットワーク・アナライザ100は、測定結果の合否判定と表示を行う。その詳細は次の通りである。まず、演算処理部140は、記憶領域380の配列の要素に格納された測定値を読み出す。読み出した測定値が判定範囲外で測定されたものであれば、演算処理部140は、表示部120を制御して、読み出した測定値を用いて極座標上に通常色で点をプロットする。読み出した測定値が判定範囲内で測定されたものであれば、演算処理部140は、さらに、記憶領域260に格納された中心座標と記憶領域270に格納された半径を読み出す。そして、演算処理部140は、読み出した測定値から読み出した中心座標を差し引き、差分値を得る。さらに、演算処理部140は、得られた差分値と読み出した半径とを参照し、参照する差分値の大きさが参照する半径以下であれば合格と判定する。また、参照する差分値の大きさが参照する半径未満の場合に、合格と判定しても良い。さて、合格と判定した場合、演算処理部140は、表示部120を制御して、読み出した測定値を用いて極座標上に通常色で点をプロットする。一方、不合格と判定した場合、演算処理部140は、読み出した測定値を用いて極座標上に通常色とは異なる色でプロットし、記憶領域250に“1”を設定する。なお、記憶領域250は、記憶部130内にあって、合否判定の結果が格納されている。記憶領域250に格納される判定結果が“0”であれば合格を表し、判定結果が“1”であれば不合格を表す。初期状態の記憶領域250は“0”が設定されている。ステップ5aにおける上記の処理は、全ての測定値に対して実施される。なお、プロットされる点と点との間は、必要に応じて直線や近似曲線などにより補間される。また、測定値を極座標上に表す時に測定値に関連する場所に印が付けられれば良いので、プロットされる点は記号や符号などに代える事も可能である。
【0031】
最後に、ステップ6aにおいて、ネットワーク・アナライザ100は、判定結果の表示を行う。具体的には、演算処理部140が記憶部130内の記憶領域250を読み出し、その読み値に従って以下の処理を行う。記憶領域250が“0”である場合、演算処理部140は、表示部120に「被測定物20が合格である」ことを表示する。一方、記憶領域250が“1”である場合、演算処理部140は、表示部120に「被測定物20が不合格である」ことを表示する。
【0032】
第一の実施形態における判定円は真円であるが、被測定物10の特性によっては真円でない方が好ましい場合もある。そこで、判定円を真円以外にも定義できるようにした第二の実施形態および第三の実施形態について、以下に説明する。
【0033】
本発明の第二の実施形態は、ネットワーク・アナライザであって、その構成は図1に示す通りである。ただし、第二の実施形態におけるネットワーク・アナライザ100は、その動作が第一の実施形態におけるネットワーク・アナライザ100の動作と異なる。
【0034】
ここで、第二の実施形態におけるネットワーク・アナライザ100の動作手順を以下に説明する。前述の通り、ネットワーク・アナライザ100は、プログラムを実行する演算処理部140の制御により動作する。従って、以下の動作手順は、演算処理部140が実行するプログラムの流れを説明するものでもある。ここで、ネットワーク・アナライザ100の動作手順を示すフローチャートを図2に示す。また、記憶部130内に含まれる記憶領域を示す図を、図4に示す。以下の説明は、図1と図2と図4を参照する。
【0035】
まず、ステップ1bにおいて、測定に関する設定情報が入力される。ステップ1bは、ステップ1aと同一の処理を行う。
【0036】
次に、ステップ2bにおいて、合否判定に関する設定情報が入力される。ネットワーク・アナライザ100は、入力部160を介して合否判定の対象となる範囲、および、被測定物を合否判定するための判定円の中心座標と半径が入力され、入力された判定範囲と中心座標と半径とを記憶部130に格納する。合否判定の対象範囲は、基準信号の掃引範囲内で指定され、判定開始点と判定終了点との組で指定される。従って、記憶部130は、判定開始点を記憶するための記憶領域230、判定終了点を記憶するための記憶領域240、中心座標を記憶するための記憶領域260、および、半径を記憶するための記憶領域370を備える。記憶領域370には、要素R1から要素Rnで構成される実数配列が記憶されている。nは、測定点数であり、掃引範囲の幅を掃引間隔で割った値に1を加えた値である。実数配列の各要素には、n個の半径のそれぞれが格納される。なお、要素Rnの添え字nは、要素の識別番号である。例えば、記憶領域370の配列の要素の値が全て同一であれば、判定円は真円となる。判定円は、記憶領域370の配列の要素の値を変えることにより、楕円や四角形など他の形になる。本明細書では、中心座標と半径とで与えられる合否判定のための境界線を、その形に限定されることなく、判定円と称する。また、合否判定の対象範囲は判定範囲の中心と判定範囲の幅との組により指定する事ができ、その場合、記憶領域230および記憶領域240は、判定開始点および判定終了点に代えて、判定範囲の中心および判定範囲の幅が格納される。なお、判定開始点、判定終了点、判定範囲の中心、および、判定範囲の幅は、電力掃引の場合には電力が入力され、周波数掃引の場合には周波数が入力される。判定開始点、判定終了点、判定範囲の中心、判定範囲の幅、および、判定円の半径は、実数である。また、判定円の中心座標は複素数である。
【0037】
次に、ステップ3bにおいて、ネットワーク・アナライザ100は、表示部120に判定円を表示する。判定円は、下式で表される点Lkの集合、または、下式で表される点Lk同士を結ぶ線の集合として描かれる。下式の計算、および、計算結果に基づく表示部120の制御は、演算処理部140によって行われる。なお、判定円は、表示部120に表示される極座標上に描画される。
【0038】
【数2】
【0039】
ここで、nは測定点数である。kは、0〜(n−1)までの整数である。Rは、記憶領域370の配列の要素Rkに格納された半径である。Crは、記憶領域260に記憶された中心座標の実部の値である。Ciは、記憶領域260に記憶された中心座標の虚部の値である。上式の計算に用いられる半径、中心座標、掃引範囲、および、掃引間隔は、それぞれ対応する記憶領域から演算処理部140により読み出される。
【0040】
次に、ステップ4bにおいて、ネットワーク・アナライザ100は、被測定物10の網特性を測定する。ステップ4bは、ステップ4aと同一の処理を行う。
【0041】
次に、ステップ5bにおいて、ネットワーク・アナライザ100は、測定結果の合否判定と表示を行う。その詳細は次の通りである。まず、演算処理部140は、記憶領域380の配列の要素に格納された測定値を読み出す。読み出した測定値が判定範囲外で測定されたものであれば、演算処理部140は、表示部120を制御して、読み出した測定値を用いて極座標上に通常色で点をプロットする。読み出した測定値が判定範囲内で測定されたものであれば、演算処理部140は、さらに、記憶領域260に格納された中心座標を読み出す。そして、演算処理部140は、先ほど読み出した測定値から読み出した中心座標を差し引き、差分値を得る。続いて、演算処理部140は、記憶領域370の配列の要素に格納された半径を読み出す。この時、半径は、差分値を得る時に読み出した測定値に関連して読み出される。例えば、記憶領域370の配列の要素の識別番号と、差分値を得る時に読み出した記憶領域380の配列の要素の識別番号とが、一致するように読み出される。そして、演算処理部140は、得られた差分値と読み出した半径とを参照し、参照する差分値の大きさが参照する半径以下であれば合格と判定する。また、参照する差分値の絶対値が参照する半径未満の場合に、合格と判定しても良い。さて、合格と判定した場合、演算処理部140は、表示部120を制御して、読み出した測定値を用いて極座標上に通常色で点をプロットする。一方、不合格と判定した場合、演算処理部140は、読み出した測定値を用いて極座標上に通常色とは異なる色でプロットし、記憶領域250に“1”を設定する。なお、記憶領域250は、記憶部130内にあって、合否判定の結果が格納されている。記憶領域250に格納される判定結果が“0”であれば合格を表し、判定結果が“1”であれば不合格を表す。初期状態の記憶領域250は“0”が設定されている。ステップ5bにおける上記の処理は、全ての測定値に対して実施される。なお、プロットされる点と点との間は、必要に応じて直線や近似曲線などにより補間される。また、測定値を極座標上に表す時に測定値に関連する場所に印が付けられれば良いので、プロットされる点は記号や符号などに代える事も可能である。
【0042】
最後に、ステップ6bにおいて、ネットワーク・アナライザ100は、判定結果の表示を行う。ステップ6bは、ステップ6aと同一の処理を行う。
【0043】
続いて第三の実施形態について、以下に説明する。
【0044】
本発明の第三の実施形態は、ネットワーク・アナライザであって、その構成は図1に示す通りである。ただし、第三の実施形態におけるネットワーク・アナライザ100は、その動作が第一の実施形態におけるネットワーク・アナライザ100の動作と異なる。
【0045】
ここで、第三の実施形態におけるネットワーク・アナライザ100の動作手順を以下に説明する。前述の通り、ネットワーク・アナライザ100は、プログラムを実行する演算処理部140の制御により動作する。従って、以下の動作手順は、演算処理部140が実行するプログラムの流れを説明するものでもある。ここで、ネットワーク・アナライザ100の動作手順を示すフローチャートを図2に示す。また、記憶部130内に含まれる記憶領域を示す図を、図5に示す。以下の説明は、図1と図2と図5を参照する。
【0046】
まず、ステップ1cにおいて、測定に関する設定情報が入力される。ステップ1cは、ステップ1aと同一の処理を行う。
【0047】
次に、ステップ2cにおいて、合否判定に関する設定情報が入力される。ネットワーク・アナライザ100は、入力部160を介して合否判定の対象となる範囲、および、被測定物を合否判定するための判定円の中心座標と半径が入力され、入力された判定範囲と中心座標と半径とを記憶部130に格納する。合否判定の対象範囲は、基準信号の掃引範囲内で指定され、判定開始点と判定終了点との組で指定される。従って、記憶部130は、判定開始点を記憶するための記憶領域230、判定終了点を記憶するための記憶領域240、中心座標を記憶するための記憶領域360、および、半径を記憶するための記憶領域270を備える。記憶領域360には、要素C1から要素Cnで構成される複素配列が記憶されている。nは、測定点数であり、掃引範囲の幅を掃引間隔で割った値に1を加えた値である。複素配列の各要素には、n個の中心座標のそれぞれが格納される。なお、要素Cnの添え字nは、要素の識別番号である。例えば、記憶領域360の配列の要素の値が全て同一であれば、判定円は真円となる。判定円は、記憶領域360の配列の要素の値を変えることにより、真円以外の形になる。また、合否判定の対象範囲は判定範囲の中心と判定範囲の幅との組により指定する事ができ、その場合、記憶領域230および記憶領域240は、判定開始点および判定終了点に代えて、判定範囲の中心および判定範囲の幅が格納される。なお、判定開始点、判定終了点、判定範囲の中心、および、判定範囲の幅は、電力掃引の場合には電力が入力され、周波数掃引の場合には周波数が入力される。判定開始点、判定終了点、判定範囲の中心、判定範囲の幅、および、判定円の半径は、実数である。さらに、判定円の中心座標は複素数である。
【0048】
次に、ステップ3cにおいて、ネットワーク・アナライザ100は、表示部120に判定円を表示する。判定円は、下式で表される点Lkの集合、または、下式で表される点Lk同士を結ぶ線の集合として描かれる。下式の計算、および、計算結果に基づく表示部120の制御は、演算処理部140によって行われる。なお、判定円は、表示部120に表示される極座標上に描画される。
【0049】
【数3】
【0050】
ここで、nは測定点数である。kは、0〜(n−1)までの整数である。Rは、記憶領域270に記憶された半径である。Ckrは、記憶領域360の配列の要素Ckに格納された中心座標の実部の値である。Ckiは、記憶領域360の配列の要素Ckに格納された中心座標の虚部の値である。上式の計算に用いられる半径、中心座標、掃引範囲、および、掃引間隔は、それぞれ対応する記憶領域から演算処理部140により読み出される。
【0051】
次に、ステップ4cにおいて、ネットワーク・アナライザ100は、被測定物10の網特性を測定する。ステップ4cは、ステップ4aと同一の処理を行う。
【0052】
次に、ステップ5cにおいて、ネットワーク・アナライザ100は、測定結果の合否判定と表示を行う。その詳細は次の通りである。まず、演算処理部140は、記憶領域380の配列の要素に格納された測定値を読み出す。読み出した測定値が判定範囲外で測定されたものであれば、演算処理部140は、表示部120を制御して、読み出した測定値を用いて極座標上に通常色で点をプロットする。読み出した測定値が判定範囲内で測定されたものであれば、演算処理部140は、さらに、記憶領域360の配列の要素に格納された中心座標を読み出す。この時、中心座標は、先ほど読み出した測定値に関連して読み出される。例えば、記憶領域360の配列の要素の識別番号と、記憶領域380の配列の要素の識別番号とが、一致するように読み出される。演算処理部140は、予め読み出した測定値から読み出した中心座標を差し引き、差分値を得る。続いて、演算処理部140は、記憶領域270に記憶された半径を読み出す。そして、演算処理部140は、得られた差分値と読み出した半径とを参照し、参照する差分値の大きさが参照する半径以下であれば合格と判定する。また、参照する差分値の絶対値が参照する半径未満の場合に、合格と判定しても良い。さて、合格と判定した場合、演算処理部140は、表示部120を制御して、読み出した測定値を用いて極座標上に通常色で点をプロットする。一方、不合格と判定した場合、演算処理部140は、読み出した測定値を用いて極座標上に通常色とは異なる色でプロットし、記憶領域250に“1”を設定する。なお、記憶領域250は、記憶部130内にあって、合否判定の結果が格納されている。記憶領域250に格納される判定結果が“0”であれば合格を表し、判定結果が“1”であれば不合格を表す。初期状態の記憶領域250は“0”が設定されている。ステップ5cにおける上記の処理は、全ての測定値に対して実施される。なお、プロットされる点と点との間は、必要に応じて直線や近似曲線などにより補間される。また、測定値を極座標上に表す時に測定値に関連する場所に印が付けられれば良いので、プロットされる点は記号や符号などに代える事も可能である。
【0053】
最後に、ステップ6cにおいて、ネットワーク・アナライザ100は、判定結果の表示を行う。ステップ6cは、ステップ6aと同一の処理を行う。
【0054】
さらに、第二の実施形態と第三の実施形態は、それぞれの利用技術を融合することも可能である。そのような変形例を第四の実施形態として、以下に説明する。
【0055】
本発明の第四の実施形態は、ネットワーク・アナライザであって、その構成は図1に示す通りである。ただし、第四の実施形態におけるネットワーク・アナライザ100は、その動作が第一の実施形態におけるネットワーク・アナライザ100の動作と異なる。
【0056】
ここで、第四の実施形態におけるネットワーク・アナライザ100の動作手順を以下に説明する。前述の通り、ネットワーク・アナライザ100は、プログラムを実行する演算処理部140の制御により動作する。従って、以下の動作手順は、演算処理部140が実行するプログラムの流れを説明するものでもある。ここで、ネットワーク・アナライザ100の動作手順を示すフローチャートを図2に示す。また、記憶部130内に含まれる記憶領域を示す図を、図6に示す。以下の説明は、図1と図2と図6を参照する。
【0057】
まず、ステップ1dにおいて、測定に関する設定情報が入力される。ステップ1dは、ステップ1aと同一の処理を行う。
【0058】
次に、ステップ2dにおいて、合否判定に関する設定情報が入力される。ネットワーク・アナライザ100は、入力部160を介して合否判定の対象となる範囲、および、被測定物を合否判定するための判定円の中心座標と半径が入力され、入力された判定範囲と中心座標と半径とを記憶部130に格納する。合否判定の対象範囲は、基準信号の掃引範囲内で指定され、判定開始点と判定終了点との組で指定される。従って、記憶部130は、判定開始点を記憶するための記憶領域230、判定終了点を記憶するための記憶領域240、中心座標を記憶するための記憶領域360、および、半径を記憶するための記憶領域270を備える。記憶領域360には、要素C1から要素Cnで構成される複素配列が記憶されている。nは、測定点数であり、掃引範囲の幅を掃引間隔で割った値に1を加えた値である。複素配列の各要素には、n個の中心座標のそれぞれが格納される。なお、要素Cnの添え字nは、要素の識別番号である。また、記憶領域370には、要素R1から要素Rnで構成される実数配列が記憶されている。なお、要素Cnの添え字nも、また要素の識別番号である。例えば、記憶領域360および記憶領域360の配列の要素の値が全て同一であれば、判定円は真円となる。判定円は、記憶領域360または記憶領域370の配列の要素の値を変えることにより、真円以外の形になる。また、合否判定の対象範囲は判定範囲の中心と判定範囲の幅との組により指定する事ができ、その場合、記憶領域230および記憶領域240は、判定開始点および判定終了点に代えて、判定範囲の中心および判定範囲の幅が格納される。なお、判定開始点、判定終了点、判定範囲の中心、および、判定範囲の幅は、電力掃引の場合には電力が入力され、周波数掃引の場合には周波数が入力される。判定開始点、判定終了点、判定範囲の中心、判定範囲の幅、および、判定円の半径は、実数である。さらに、判定円の中心座標は複素数である。
【0059】
次に、ステップ3dにおいて、ネットワーク・アナライザ100は、表示部120に判定円を表示する。判定円は、下式で表される点Lkの集合、または、下式で表される点Lk同士を結ぶ線の集合として描かれる。下式の計算、および、計算結果に基づく表示部120の制御は、演算処理部140によって行われる。なお、判定円は、表示部120に表示される極座標上に描画される。
【0060】
【数4】
【0061】
ここで、nは測定点数である。kは、0〜(n−1)までの整数である。Rは、記憶領域370の配列の要素Rkに格納された半径である。Ckrは、記憶領域360の配列の要素Ckに格納された中心座標の実部の値である。Ckiは、記憶領域360の配列の要素Ckに格納された中心座標の虚部の値である。上式の計算に用いられる半径、中心座標、掃引範囲、および、掃引間隔は、それぞれ対応する記憶領域から演算処理部140により読み出される。
【0062】
次に、ステップ4dにおいて、ネットワーク・アナライザ100は、被測定物10の網特性を測定する。ステップ4dは、ステップ4aと同一の処理を行う。
【0063】
次に、ステップ5dにおいて、ネットワーク・アナライザ100は、測定結果の合否判定と表示を行う。その詳細は次の通りである。まず、演算処理部140は、記憶領域380の配列の要素に格納された測定値を読み出す。読み出した測定値が判定範囲外で測定されたものであれば、演算処理部140は、表示部120を制御して、読み出した測定値を用いて極座標上に通常色で点をプロットする。読み出した測定値が判定範囲内で測定されたものであれば、演算処理部140は、さらに、記憶領域360の配列の要素に格納された中心座標を読み出す。この時、中心座標は、先ほど読み出した測定値に関連して読み出される。例えば、記憶領域360の配列の要素の識別番号と、記憶領域380の配列の要素の識別番号とが、一致するように読み出される。演算処理部140は、予め読み出した測定値から読み出した中心座標を差し引き、差分値を得る。続いて、演算処理部140は、記憶領域370の配列の要素に格納された半径を読み出す。この時、半径は、差分値を得る時に読み出した測定値に関連して読み出される。例えば、記憶領域370の配列の要素の識別番号と、差分値を得る時に読み出した記憶領域380の配列の要素の識別番号とが、一致するように読み出される。そして、演算処理部140は、先ほど得られた差分値と読み出した半径とを参照し、参照する差分値の大きさが参照する半径以下であれば合格と判定する。また、参照する差分値の絶対値が参照する半径未満の場合に、合格と判定しても良い。さて、合格と判定した場合、演算処理部140は、表示部120を制御して、読み出した測定値を用いて極座標上に通常色で点をプロットする。一方、不合格と判定した場合、演算処理部140は、読み出した測定値を用いて極座標上に通常色とは異なる色でプロットし、記憶領域250に“1”を設定する。なお、記憶領域250は、記憶部130内にあって、合否判定の結果が格納されている。記憶領域250に格納される判定結果が“0”であれば合格を表し、判定結果が“1”であれば不合格を表す。初期状態の記憶領域250は“0”が設定されている。ステップ5dにおける上記の処理は、全ての測定値に対して実施される。なお、プロットされる点と点との間は、必要に応じて直線や近似曲線などにより補間される。また、測定値を極座標上に表す時に測定値に関連する場所に印が付けられれば良いので、プロットされる点は記号や符号などに代える事も可能である。
【0064】
最後に、ステップ6dにおいて、ネットワーク・アナライザ100は、判定結果の表示を行う。ステップ6dは、ステップ6aと同一の処理を行う。
【0065】
ここで、第一乃至第四の実施形態における表示例を図7に示す。図7において、判定円210は中心座標と半径とにより極座標220上に描かれ、さらに、測定結果230が同じく極座標上に表示される。しかし、このような表示形式では、判定円210や測定結果230が極座標220の隅近くに表示され見にくい場合がある。そこで、新たな表示方法を提案する。新たな表示方法による表示例を図8に示す。新たな表示方法によれば、判定円310および測定結果330は、判定円310の中心座標を原点として極座標320上に描かれる。上述の4つの実施形態のそれぞれにおいては、判定円は半径を用いて表し、測定結果は判定の際に測定値に関連して算出される差分値を用いて表すと良いであろう。このような表示形式によれば、判定円と測定値が常に極座標の中心付近に表示されるので、判定円と測定値を最大限に拡大して表示することが容易になる。この拡大表示は、判定結果が合格となるように、測定しながら被測定物を調整する時に極めて便利である。なお、上記の新たな表示方法を採用する場合、上述の4つの実施形態のそれぞれにおいて、以下の変更を施せばよい。まず、ステップ3a,3c,3c,3dのそれぞれにおいて、原点をR+j0として判定円を描くようにする。ただし、Rは網解析装置に設定されている特性インピーダンスの値である。ちなみに、原点における反射係数は、0+j0となる。また、ステップ5a,5c,5c,5dのそれぞれにおいて、全ての測定値に関して差分値を計算するようにし、測定結果の表示は差分値を用いて表示するようにし、判定範囲で測定された測定値のみに対して判定を行うようにする。
【0066】
また、上記のように全測定値に関連して差分値を計算するようにすれば、従来の網解析装置に備わっている演算機能の一部を流用することができ、僅かな改変により合否判定機能を追加することが可能になる。例えば、ステップ5a,5c,5c,5dのそれぞれの事前に全測定値について差分値を求め、ステップ5a,5c,5c,5dのそれぞれにおいて、予め計算した差分値に基づいて判定するようにすれば良い。
【0067】
さらに、第一乃至第四の実施形態において、合否判定は判定範囲について行われているが、全測定値について行うようにすることも可能である。その場合には、判定範囲の入力工程などが省略できるであろう。
【0068】
またさらに、第一乃至第四の実施形態において、測定結果を判定円に上書きして表示するようにすると、作業者が測定結果を認識しやすくなる。
【0069】
また、ステップ3a,3c,3c,3dのぞれぞれにおける判定円の表示やステップ5a,5c,5c,5dのそれぞれにおける測定結果の表示は、省略することができる。例えば、完全自動化された生産ラインにおいては、判定さえ行われれば良く、判定円の表示や測定結果の表示が必要とされない場合がある。
【0070】
さらに、第一乃至第四の実施形態において、設定情報は入力部160を介して入力されているが、これに限定される必要はない。基準信号の掃引範囲もしくは掃引間隔、判定円の中心座標もしくは半径、または、判定範囲などの設定情報は、ドライブ装置150や通信部170を介して入力されても良い。例えば、設定情報が予め書き込まれたフロピティカル・ディスクをドライブ装置150が保持し、必要に応じて、フロピティカル・ディスクから設定情報を読み出す事により、設定情報の入力とすることができる。また、通信部170を介して遠隔地から入力されても良い。
【0071】
またさらに、第一乃至第四の実施形態において、掃引範囲および掃引間隔は、1つに限定されない。複数ある掃引範囲は、同一である必要はなく、連続している必要もない。複数ある掃引間隔は、同一である必要はない。例えば、ネットワークアナライザ100において、1〜5MHzを1MHzで、7〜13MHzを100kHzで、10〜20MHzを1MHzで、20〜70MHzを5MHzで、それぞれ掃引するように、掃引範囲と掃引間隔が入力されても良い。上記のように掃引範囲および掃引間隔の組が複数指定される場合、第一乃至第四の実施形態において、多少の変更が施されるであろう。例えば、入力される設定情報や記憶部130内の記憶領域が必要な数だけ追加され、判定円の表示工程や判定工程において複数ある掃引範囲および掃引間隔の組が適当に参照されるように変更される。必要な変更は、当業者にとって容易に考え得るであろう。なお、判定範囲も1つに限定されないことは、言うまでもない。
【0072】
またさらに、第一乃至第四の実施形態において、測定点数と測定間隔は密接に関連しているので、掃引間隔に代えて測定点数が入力され、使用されるようにしても良い。掃引間隔は掃引範囲と当該掃引範囲における測定点数から計算により求めることができるからである。
【0073】
上述した実施形態およびその変形例は、特許請求の範囲に記載した本発明の説明のための一実施形態にすぎず、特許請求の範囲で示した権利範囲内において種々の変形を行うことができることは、当業者にとって明らかである。念のため、本発明の実施態様の一部をまとめて示す。
【0074】
(実施態様1)
基準信号を周波数掃引または電力掃引させながら被測定物に印加する事により被測定物の網特性を解析する網解析装置において、
前記基準信号の掃引範囲および掃引間隔を入力するための第一の入力手段と、
前記被測定物を合否判定するための判定円の中心座標と半径を入力するための第二の入力手段と、
入力される前記中心座標を記憶する第一の記憶手段と、
入力される前記半径を記憶する第二の記憶手段と、
前記被測定物の網特性を測定し、前記掃引範囲と前記掃引間隔とから決定される測定点数個の測定値を得る測定手段と、
前記測定点数個の要素を有し、得られる前記測定値が該要素のそれぞれに格納される配列を記憶する第三の記憶手段と、
前記第三の記憶手段から前記測定値を読み出し、前記第一の記憶手段から前記中心座標を読み出し、前記読み出した測定値と前記読み出した中心座標との差分値を求め、さらに前記第二の記憶手段から前記半径を読み出し、前記差分値と前記読み出した半径とを参照して、前記参照する差分値の大きさが前記参照する半径以下または前記参照する半径未満であれば前記読み出した測定値を合格と判定する判定手段と、
を備えることを特徴とする網解析装置。
【0075】
(実施態様2)
基準信号を周波数掃引または電力掃引させながら被測定物に印加する事により被測定物の網特性を解析する網解析装置において、
前記基準信号の掃引範囲および掃引間隔を入力するための第一の入力手段と、
前記被測定物を合否判定するための判定円の中心座標と半径を入力するための第二の入力手段と、
入力される前記中心座標を記憶する第一の記憶手段と、
前記掃引範囲と前記掃引間隔とから決定される測定点数個の要素を有し、入力される前記半径が該要素のそれぞれに格納される配列を記憶する第二の記憶手段と、
前記被測定物の網特性を測定し、前記測定点数個の測定値を得る測定手段と、
前記測定点数個の要素を有し、得られる前記測定値が該要素のそれぞれに格納される配列を記憶する第三の記憶手段と、
前記第三の記憶手段から前記測定値を読み出し、前記第一の記憶手段から前記中心座標を読み出し、前記読み出した測定値と前記読み出した中心座標との差分値を求め、さらに前記読み出した測定値に関連する前記半径を前記第二の記憶手段から読み出し、前記差分値と前記読み出した半径とを参照して、前記参照する差分値の大きさが前記参照する半径以下または前記参照する半径未満であれば前記読み出した測定値を合格と判定する判定手段と、
を備えることを特徴とする網解析装置。
【0076】
(実施態様3)
基準信号を周波数掃引または電力掃引させながら被測定物に印加する事により被測定物の網特性を解析する網解析装置において、
前記基準信号の掃引範囲および掃引間隔を入力するための第一の入力手段と、
前記被測定物を合否判定するための判定円の半径と中心座標を入力するための第二の入力手段と、
前記掃引範囲と前記掃引間隔とから決定される測定点数個の要素を有し、入力される前記中心座標が該要素のそれぞれに格納される配列を記憶する第一の記憶手段と、
入力される前記半径を記憶する第二の記憶手段と、
前記被測定物の網特性を測定し、前記測定点数個の測定値を得る測定手段と、
前記測定点数個の要素を有し、得られる前記測定値が該要素のそれぞれに格納される配列を記憶する第三の記憶手段と、
前記第三の記憶手段から前記測定値を読み出し、該読み出した測定値に関連する前記中心座標を前記第一の記憶手段から読み出し、前記読み出した測定値と前記読み出した中心座標との差分値を求め、さらに前記第二の記憶手段から前記半径を読み出し、前記差分値と前記読み出した半径とを参照して、前記参照する差分値の大きさが前記参照する半径以下または前記参照する半径未満であれば前記読み出した測定値を合格と判定する判定手段と、
を備えることを特徴とする網解析装置。
【0077】
(実施態様4)
基準信号を周波数掃引または電力掃引させながら被測定物に印加する事により被測定物の網特性を解析する網解析装置において、
前記基準信号の掃引範囲および掃引間隔を入力するための第一の入力手段と、
前記被測定物を合否判定するための判定円の中心座標と半径を入力するための第二の入力手段と、
前記掃引範囲と前記掃引間隔とから決定される測定点数個の要素を有し、入力される前記中心座標が該要素のそれぞれに格納される配列を記憶する第一の記憶手段と、
前記測定点数個の要素を有し、入力される前記半径が該要素のそれぞれに格納される配列を記憶する第二の記憶手段と、
前記被測定物の網特性を測定し、前記測定点数個の測定値を得る測定手段と、
前記測定点数個の要素を有し、得られる前記測定値が該要素のそれぞれに格納される配列を記憶する第三の記憶手段と、
前記第三の記憶手段から前記測定値を読み出し、該読み出した測定値に関連する前記中心座標を前記第一の記憶手段から読み出し、前記読み出した測定値と前記読み出した中心座標との差分値を求め、さらに前記読み出した測定値に関連する前記半径を前記第二の記憶手段から読み出し、前記差分値と前記読み出した半径とを参照して、前記参照する差分値の大きさが前記参照する半径以下または前記参照する半径未満であれば前記読み出した測定値を合格と判定する判定手段と、
を備えることを特徴とする網解析装置。
【0078】
(実施態様5)
前記第三の記憶手段に記憶される配列の各要素に格納される測定値について、その全てが前記判定手段により合格と判定される時に、前記被測定物を合格と判定する、
ことを特徴とする実施態様1乃至実施態様4のいずれかに記載の網解析装置。
【0079】
(実施態様6)
前記掃引範囲のうちから判定対象の範囲を定める判定範囲を入力するための第三の入力手段を備え、
前記第三の記憶手段に記憶される配列の各要素に格納される測定値のうち前記第三の入力手段により入力される判定範囲内にある測定値について、その全てが前記判定手段により合格と判定される時に、前記被測定物を合格と判定する、
ことを特徴とする実施態様1乃至実施態様4のいずれかに記載の網解析装置。
【0080】
(実施態様7)
前記中心座標を極座標の原点とし、前記測定値または前記判定円を前記極座標上に表示する手段を備えることを特徴とする実施態様1乃至6のいずれかに記載の網解析装置。
【0081】
(実施態様8)
前記測定値を表示する時、前記測定値が合格か否かに応じて形状、模様または色彩を変えて表示する、
ことを特徴とする実施態様7に記載の網解析装置。
【0082】
(実施態様9)
網解析装置において、
被測定物の網特性を測定する手段と
前記測定手段により測定された測定値が、中心座標と半径とにより表される判定円内に収まっているか否かを判定する手段と、
前記中心座標を極座標の原点とし、前記測定値または前記判定円を前記極座標上に表示する手段と、
を備えることを特徴とする網解析装置。
【0083】
(実施態様10)
基準信号を周波数掃引または電力掃引させながら被測定物に印加する事により被測定物の網特性を解析する網解析装置において、被測定物の合否判定を行う方法であって、
前記基準信号の掃引範囲および掃引間隔を入力するステップと、
前記被測定物を合否判定するための判定円の中心座標と半径を入力するステップと、
前記入力される中心座標を第一の記憶手段に記憶するステップと、
前記入力される半径を第二の記憶手段に記憶するステップと、
前記被測定物の網特性を測定し、前記掃引範囲と前記掃引間隔とから決定される測定点数個の測定値を得るステップと、
第三の記憶手段に記憶される配列の前記測定点数個の要素のそれぞれに前記得られる測定値を格納するステップと、
前記第三の記憶手段から前記測定値を読み出し、前記第一の記憶手段から前記中心座標を読み出し、前記読み出した測定値と前記読み出した中心座標との差分値を求め、さらに前記第二の記憶手段から前記半径を読み出し、前記差分値と前記読み出した半径とを参照して、前記参照する差分値の大きさが前記参照する半径以下または前記参照する半径未満であれば前記読み出した測定値を合格と判定するステップと、
を含むことを特徴とする合否判定方法。
【0084】
(実施態様11)
基準信号を周波数掃引または電力掃引させながら被測定物に印加する事により被測定物の網特性を解析する網解析装置において、被測定物の合否判定を行う方法であって、
前記基準信号の掃引範囲および掃引間隔を入力するステップと、
前記被測定物を合否判定するための判定円の中心座標と半径を入力するステップと、
前記入力される中心座標を第一の記憶手段に記憶するステップと、
第二の記憶手段に記憶される配列の、前記掃引範囲と前記掃引間隔とから決定される測定点数個の要素のそれぞれに前記入力される半径を格納するステップと、
前記被測定物の網特性を測定し、前記測定点数個の測定値を得るステップと、
第三の記憶手段に記憶される配列の前記測定点数個の要素のそれぞれに前記得られる測定値を格納するステップと、
前記第三の記憶手段から前記測定値を読み出し、前記第一の記憶手段から前記中心座標を読み出し、前記読み出した測定値と前記読み出した中心座標との差分値を求め、さらに前記読み出した測定値に関連する前記半径を前記第二の記憶手段から読み出し、前記差分値と前記読み出した半径とを参照して、前記参照する差分値の大きさが前記参照する半径以下または前記参照する半径未満であれば前記読み出した測定値を合格と判定するステップと、
を含むことを特徴とする合否判定方法。
【0085】
(実施態様12)
基準信号を周波数掃引または電力掃引させながら被測定物に印加する事により被測定物の網特性を解析する網解析装置において、被測定物の合否判定を行う方法であって、
前記基準信号の掃引範囲および掃引間隔を入力するステップと、
前記被測定物を合否判定するための判定円の中心座標と半径を入力するステップ、
第一の記憶手段に記憶される配列の、前記掃引範囲と前記掃引間隔とから決定される測定点数個の要素のそれぞれに前記入力される中心座標を格納するステップと、
前記入力される半径を第二の記憶手段に記憶するステップと、
前記被測定物の網特性を測定し、前記測定点数個の測定値を得るステップと、
第三の記憶手段に記憶される配列の前記測定点数個の要素のそれぞれに前記得られる測定値を格納するステップと、
前記第三の記憶手段から前記測定値を読み出し、該読み出した測定値に関連する前記中心座標を前記第一の記憶手段から読み出し、前記読み出した測定値と前記読み出した中心座標との差分値を求め、さらに前記第二の記憶手段から前記半径を読み出し、前記差分値と前記読み出した半径とを参照して、前記参照する差分値の大きさが前記参照する半径以下または前記参照する半径未満であれば前記読み出した測定値を合格と判定するステップと、
を含むことを特徴とする合否判定方法。
【0086】
(実施態様13)
基準信号を周波数掃引または電力掃引させながら被測定物に印加する事により被測定物の網特性を解析する網解析装置において、被測定物の合否判定を行う方法であって、
前記基準信号の掃引範囲および掃引間隔を入力するステップと、
前記被測定物を合否判定するための判定円の中心座標と半径を入力するステップと、
第一の記憶手段に記憶される配列の、前記掃引範囲と前記掃引間隔とから決定される測定点数個の要素のそれぞれに前記入力される中心座標を格納するステップと、
第二の記憶手段に記憶される配列の前記測定点数個の要素のそれぞれに前記入力される半径を格納するステップと、
前記被測定物の網特性を測定し、前記測定点数個の測定値を得るステップと、
第三の記憶手段に記憶される配列の前記測定点数個の要素のそれぞれに前記得られる測定値を格納するステップと、
前記第三の記憶手段から前記測定値を読み出し、該読み出した測定値に関連する前記中心座標を前記第一の記憶手段から読み出し、前記読み出した測定値と前記読み出した中心座標との差分値を求め、さらに前記読み出した測定値に関連する前記半径を前記第二の記憶手段から読み出し、前記差分値と前記読み出した半径とを参照して、前記参照する差分値の大きさが前記参照する半径以下または前記参照する半径未満であれば前記読み出した測定値を合格と判定するステップと、
を含むことを特徴とする合否判定方法。
【0087】
(実施態様14)
さらに、
前記第三の記憶手段に記憶される配列の各要素に格納される測定値について、その全てが前記判定ステップにおいて合格と判定される時に、前記被測定物を合格と判定するステップを、
含むことを特徴とする実施態様10乃至実施態様13のいずれかに記載の合否判定方法。
【0088】
(実施態様15)
さらに、
前記掃引範囲のうちから判定対象の範囲を定める判定範囲を入力するステップと、
前記第三の記憶手段に記憶される配列の各要素に格納される測定値のうち前記入力される判定範囲内にある測定値について、その全てが前記判定手段により合格と判定される時に、前記被測定物を合格と判定するステップと、
を含むことを特徴とする実施態様10乃至実施態様13のいずれかに記載の合否判定方法。
【0089】
(実施態様16)
さらに、
前記中心座標を極座標の原点とし、前記測定値または前記判定円を前記極座標上に表示するステップ、
を含むことを特徴とする実施態様10乃至15のいずれかに記載の合否判定方法。
【0090】
(実施態様17)
さらに、
前記測定値を表示するステップにおいて、前記測定値を表示する時に、前記測定値が合格か否かに応じて形状、模様または色彩を変えて表示する、
ことを特徴とする実施態様16に記載の合否判定方法。
【0091】
(実施態様18)
網解析装置において、被測定物の合否判定を行う方法であって、
被測定物の網特性を測定するステップと
前記測定ステップにおいて測定された測定値が、中心座標と半径とにより表される判定円内に収まっているか否かを判定するステップと、
前記中心座標を極座標の原点とし、前記測定値または前記判定円を前記極座標上に表示するステップと、
を含むことを特徴とする合否判定方法。
【0092】
(実施態様19)
基準信号を周波数掃引または電力掃引させながら被測定物に印加する事により被測定物の網特性を解析する網解析装置であって、第一の入力手段と第二の入力手段と測定手段と第一の記憶手段と第二の記憶手段と第三の記憶手段とを備える網解析装置に被測定物の合否判定を行わせるプログラムであって、
前記基準信号の掃引範囲および掃引間隔を入力するステップと、
前記被測定物を合否判定するための判定円の中心座標と半径を入力するステップと、
前記入力される中心座標を第一の記憶手段に記憶するステップと、
前記入力される半径を第二の記憶手段に記憶するステップと、
前記被測定物の網特性を測定し、前記掃引範囲と前記掃引間隔とから決定される測定点数個の測定値を得るステップと、
第三の記憶手段に記憶される配列の前記測定点数個の要素のそれぞれに前記得られる測定値を格納するステップと、
前記第三の記憶手段から前記測定値を読み出し、前記第一の記憶手段から前記中心座標を読み出し、前記読み出した測定値と前記読み出した中心座標との差分値を求め、さらに前記第二の記憶手段から前記半径を読み出し、前記差分値と前記読み出した半径とを参照して、前記参照する差分値の大きさが前記参照する半径以下または前記参照する半径未満であれば前記読み出した測定値を合格と判定するステップと、
を含むことを特徴とするプログラム。
【0093】
(実施態様20)
基準信号を周波数掃引または電力掃引させながら被測定物に印加する事により被測定物の網特性を解析する網解析装置であって、第一の入力手段と第二の入力手段と測定手段と第一の記憶手段と第二の記憶手段と第三の記憶手段とを備える網解析装置に被測定物の合否判定を行わせるプログラムであって、
前記基準信号の掃引範囲および掃引間隔を入力するステップと、
前記被測定物を合否判定するための判定円の中心座標と半径を入力するステップと、
前記入力される中心座標を第一の記憶手段に記憶するステップと、
第二の記憶手段に記憶される配列の、前記掃引範囲と前記掃引間隔とから決定される測定点数個の要素のそれぞれに前記入力される半径を格納するステップと、
前記被測定物の網特性を測定し、前記測定点数個の測定値を得るステップと、
第三の記憶手段に記憶される配列の前記測定点数個の要素のそれぞれに前記得られる測定値を格納するステップと、
前記第三の記憶手段から前記測定値を読み出し、前記第一の記憶手段から前記中心座標を読み出し、前記読み出した測定値と前記読み出した中心座標との差分値を求め、さらに前記読み出した測定値に関連する前記半径を前記第二の記憶手段から読み出し、前記差分値と前記読み出した半径とを参照して、前記参照する差分値の大きさが前記参照する半径以下または前記参照する半径未満であれば前記読み出した測定値を合格と判定するステップと、
を含むことを特徴とするプログラム。
【0094】
(実施態様21)
基準信号を周波数掃引または電力掃引させながら被測定物に印加する事により被測定物の網特性を解析する網解析装置であって、第一の入力手段と第二の入力手段と測定手段と第一の記憶手段と第二の記憶手段と第三の記憶手段とを備える網解析装置に被測定物の合否判定を行わせるプログラムであって、
前記基準信号の掃引範囲および掃引間隔を入力するステップと、
前記被測定物を合否判定するための判定円の中心座標と半径を入力するステップ、
第一の記憶手段に記憶される配列の、前記掃引範囲と前記掃引間隔とから決定される測定点数個の要素のそれぞれに前記入力される中心座標を格納するステップと、
前記入力される半径を第二の記憶手段に記憶するステップと、
前記被測定物の網特性を測定し、前記測定点数個の測定値を得るステップと、
第三の記憶手段に記憶される配列の前記測定点数個の要素のそれぞれに前記得られる測定値を格納するステップと、
前記第三の記憶手段から前記測定値を読み出し、該読み出した測定値に関連する前記中心座標を前記第一の記憶手段から読み出し、前記読み出した測定値と前記読み出した中心座標との差分値を求め、さらに前記第二の記憶手段から前記半径を読み出し、前記差分値と前記読み出した半径とを参照して、前記参照する差分値の大きさが前記参照する半径以下または前記参照する半径未満であれば前記読み出した測定値を合格と判定するステップと、
を含むことを特徴とするプログラム。
【0095】
(実施態様22)
基準信号を周波数掃引または電力掃引させながら被測定物に印加する事により被測定物の網特性を解析する網解析装置であって、第一の入力手段と第二の入力手段と測定手段と第一の記憶手段と第二の記憶手段と第三の記憶手段とを備える網解析装置に被測定物の合否判定を行わせるプログラムであって、
前記基準信号の掃引範囲および掃引間隔を入力するステップと、
前記被測定物を合否判定するための判定円の中心座標と半径を入力するステップと、
第一の記憶手段に記憶される配列の、前記掃引範囲と前記掃引間隔とから決定される測定点数個の要素のそれぞれに前記入力される中心座標を格納するステップと、
第二の記憶手段に記憶される配列の前記測定点数個の要素のそれぞれに前記入力される半径を格納するステップと、
前記被測定物の網特性を測定し、前記測定点数個の測定値を得るステップと、
第三の記憶手段に記憶される配列の前記測定点数個の要素のそれぞれに前記得られる測定値を格納するステップと、
前記第三の記憶手段から前記測定値を読み出し、該読み出した測定値に関連する前記中心座標を前記第一の記憶手段から読み出し、前記読み出した測定値と前記読み出した中心座標との差分値を求め、さらに前記読み出した測定値に関連する前記半径を前記第二の記憶手段から読み出し、前記差分値と前記読み出した半径とを参照して、前記参照する差分値の大きさが前記参照する半径以下または前記参照する半径未満であれば前記読み出した測定値を合格と判定するステップと、
を含むことを特徴とするプログラム。
【0096】
(実施態様23)
さらに、
前記第三の記憶手段に記憶される配列の各要素に格納される測定値について、その全てが前記判定ステップにおいて合格と判定される時に、前記被測定物を合格と判定するステップを、
含むことを特徴とする実施態様19乃至実施態様22のいずれかに記載のプログラム。
【0097】
(実施態様24)
さらに、
前記掃引範囲のうちから判定対象の範囲を定める判定範囲を入力するステップと、
前記第三の記憶手段に記憶される配列の各要素に格納される測定値のうち前記入力される判定範囲内にある測定値について、その全てが前記判定手段により合格と判定される時に、前記被測定物を合格と判定するステップと、
を含むことを特徴とする実施態様19乃至実施態様22のいずれかに記載のプログラム。
【0098】
(実施態様25)
さらに、
前記網解析装置は、表示手段を備え、
前記中心座標を極座標の原点とし、前記測定値または前記判定円を前記極座標上に表示するステップ、
を含むことを特徴とする実施態様19乃至24のいずれかに記載のプログラム。
【0099】
(実施態様26)
さらに、
前記測定値を表示するステップにおいて、前記測定値を表示する時に、前記測定値が合格か否かに応じて形状、模様または色彩を変えて表示する、
ことを特徴とする実施態様25に記載の合否判定方法。
【0100】
(実施態様27)
測定手段と判定手段と表示手段とを備える網解析装置に被測定物の合否判定を行わせるプログラムであって、
前記測定手段により、被測定物の網特性を測定するステップと
前記判定手段により、前記測定ステップにおいて測定された測定値が、中心座標と半径とにより表される判定円内に収まっているか否かを判定するステップと、
前記表示手段により、前記中心座標を極座標の原点とし、前記測定値または前記判定円を前記極座標上に表示するステップと、
を含むことを特徴とするプログラム。
【0101】
【発明の効果】
本発明よれば、フィルムに判定円を描く必要がなくなり、極座標上に表示される判定円を表示させずとも合否判定を行うことができるようになり、極座標上に測定結果を表示する際に判定円に上書き表示させることができ、また、多様な形状の判定円を正確に設定することができるようになった。また、判定範囲を設定できるようにしたので、判定範囲を含む広い範囲の測定を同時に行うことができる。これにより、合否判定を他の検査工程と併合することが容易になった。さらに、判定のために必要となる差分値を全測定値に対して計算するようにすれば、従来の網解析装置に備わっている演算機能の一部を流用することができ、僅かな改変により合否判定機能を追加することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の好適実施形態であるネットワーク・アナライザ100の概略構成示す図である。
【図2】本発明の好適実施形態であるネットワーク・アナライザ100の動作を示すフローチャートである。
【図3】本発明の好適実施形態であるネットワーク・アナライザ100が具備する記憶部130の内部を示す図である。
【図4】本発明の好適実施形態であるネットワーク・アナライザ100が具備する記憶部130の内部を示す図である。
【図5】本発明の好適実施形態であるネットワーク・アナライザ100が具備する記憶部130の内部を示す図である。
【図6】本発明の好適実施形態であるネットワーク・アナライザ100が具備する記憶部130の内部を示す図である。
【図7】本発明の好適実施形態であるネットワーク・アナライザ100の表示例を示す図である。
【図8】本発明の好適実施形態であるネットワーク・アナライザ100の表示例を示す図である。
【符号の説明】
10 被測定物
100 ネットワーク・アナライザ
110 測定部
120 表示部
130 記憶部
140 演算処理部
150 ドライブ装置
160 入力部
170 通信部
210,220,230,240 記憶領域
250,260,270 記憶領域
360,370,380 記憶領域
P1,P2 測定ポート
【発明の属する技術分野】
本発明は、極座標上において被測定物の性能の合否を自動的に判定する測定装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
極座標表示機能を有する測定装置の一例として、ネットワーク・アナライザがある(例えば、特許文献1を参照。)。ネットワーク・アナライザで表示される極座標形式には、幾つかの種類があり、ポーラー・チャートならびにポーラー・チャートを変形したスミス・チャートおよびイミタンス・チャートなどがある。例えば、スミス・チャートは、電子部品の性能の合否を判定する際に使用される。以下に、電子部品の性能の合否判定の一例を示す。
【0003】
一般に、電子部品の性能の合否は、ネットワーク・アナライザの画面上に表示されるスミス・チャート上にプロットされる測定値が所定の半径を有する円内に収まっているか否かにより判定される場合がある。この判定のための円を判定円と称する。例えば、電子部品は、そのリターン・ロスの測定値が、ある複素インピーダンス値の近辺にある時に合格と判定される。現状、試験者は、ネットワーク・アナライザの画面上に所定の半径を有する円が描かれた透明のフィルムを張り付け、その円内に電子部品の測定値が収まっているか否かを目視により確認して、電子部品の性能合否を判定している。
【0004】
【特許文献1】
特開昭64−88165号公報(第2−3頁、第1図)
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、目視による合否判定は、判定結果のバラツキが大きく、判定誤りが生じやすい。特に、フィルム上の判定円は一定の太さの線で描かれているので、測定結果が判定円に隠れるなどして判定円付近での判定の誤り率が高まる。また、極座標表示された測定結果のうち特定の掃引点を識別する事が難しいため、合否判定を他の検査と併合しにくいという問題もある。例えば、フィルタの量産検査を行う場合、まず、判定円を描いたフィルムを用いて通過帯域の特性の合否を判定し、次に掃引条件を変更して通過帯域と阻止帯域とを含む全体的な帯域特性の観測が行われており、検査効率が悪い。さらに、外部回路の付加が要求される被測定物は、測定結果が極座標の原点から離れた位置に表示されるので、測定結果全体を表示させた場合に測定結果が小さく表示され、判定誤りを誘起する。また、この場合、最適な状態で測定結果が判定円内に収まるように、判定結果や測定結果を見ながら被測定物を調整することが難しい。
【0006】
そこで、本発明は上記の課題を解決するために、極座標上で被測定物の合否を判定できる測定装置を提供することを目的とする。また、判定円に影響されることなく正確かつ安定に被測定物の合否を判定できる測定装置を提供する事も目的とする。さらに、他の検査と併合が容易な合否判定機能を有する測定装置を提供する事も目的とする。またさらに、調査作業を容易にする合否判定機能を有する測定装置を提供する事も目的とする。また、上記の装置を実現するための方法およびプログラムを提供することも目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本第一発明は、基準信号を周波数掃引または電力掃引させながら被測定物に印加する事により被測定物の網特性を解析する網解析装置において、前記基準信号の掃引範囲および掃引間隔を入力するための第一の入力手段と、前記被測定物を合否判定するための判定円の中心座標と半径を入力するための第二の入力手段と、入力される前記中心座標を記憶する第一の記憶手段と、入力される前記半径を記憶する第二の記憶手段と、前記被測定物の網特性を測定し、前記掃引範囲と前記掃引間隔とから決定される測定点数個の測定値を得る測定手段と、前記測定点数個の要素を有し、得られる前記測定値が該要素のそれぞれに格納される配列を記憶する第三の記憶手段と、前記第三の記憶手段から前記測定値を読み出し、前記第一の記憶手段から前記中心座標を読み出し、前記読み出した測定値と前記読み出した中心座標との差分値を求め、さらに前記第二の記憶手段から前記半径を読み出し、前記差分値と前記読み出した半径とを参照して、前記参照する差分値の大きさが前記参照する半径以下または前記参照する半径未満であれば前記読み出した測定値を合格と判定する判定手段と、を備えることを特徴とするものである。
【0008】
本第二発明は、基準信号を周波数掃引または電力掃引させながら被測定物に印加する事により被測定物の網特性を解析する網解析装置において、前記基準信号の掃引範囲および掃引間隔を入力するための第一の入力手段と、前記被測定物を合否判定するための判定円の中心座標と半径を入力するための第二の入力手段と、入力される前記中心座標を記憶する第一の記憶手段と、前記掃引範囲と前記掃引間隔とから決定される測定点数個の要素を有し、入力される前記半径が該要素のそれぞれに格納される配列を記憶する第二の記憶手段と、前記被測定物の網特性を測定し、前記測定点数個の測定値を得る測定手段と、前記測定点数個の要素を有し、得られる前記測定値が該要素のそれぞれに格納される配列を記憶する第三の記憶手段と、前記第三の記憶手段から前記測定値を読み出し、前記第一の記憶手段から前記中心座標を読み出し、前記読み出した測定値と前記読み出した中心座標との差分値を求め、さらに前記読み出した測定値に関連する前記半径を前記第二の記憶手段から読み出し、前記差分値と前記読み出した半径とを参照して、前記参照する差分値の大きさが前記参照する半径以下または前記参照する半径未満であれば前記読み出した測定値を合格と判定する判定手段と、を備えることを特徴とするものである。
【0009】
本第三発明は、基準信号を周波数掃引または電力掃引させながら被測定物に印加する事により被測定物の網特性を解析する網解析装置において、前記基準信号の掃引範囲および掃引間隔を入力するための第一の入力手段と、前記被測定物を合否判定するための判定円の半径と中心座標を入力するための第二の入力手段と、前記掃引範囲と前記掃引間隔とから決定される測定点数個の要素を有し、入力される前記中心座標が該要素のそれぞれに格納される配列を記憶する第一の記憶手段と、入力される前記半径を記憶する第二の記憶手段と、前記被測定物の網特性を測定し、前記測定点数個の測定値を得る測定手段と、前記測定点数個の要素を有し、得られる前記測定値が該要素のそれぞれに格納される配列を記憶する第三の記憶手段と、前記第三の記憶手段から前記測定値を読み出し、該読み出した測定値に関連する前記中心座標を前記第一の記憶手段から読み出し、前記読み出した測定値と前記読み出した中心座標との差分値を求め、さらに前記第二の記憶手段から前記半径を読み出し、前記差分値と前記読み出した半径とを参照して、前記参照する差分値の大きさが前記参照する半径以下または前記参照する半径未満であれば前記読み出した測定値を合格と判定する判定手段と、を備えることを特徴とするものである。
【0010】
本第四発明は、基準信号を周波数掃引または電力掃引させながら被測定物に印加する事により被測定物の網特性を解析する網解析装置において、前記基準信号の掃引範囲および掃引間隔を入力するための第一の入力手段と、前記被測定物を合否判定するための判定円の中心座標と半径を入力するための第二の入力手段と、前記掃引範囲と前記掃引間隔とから決定される測定点数個の要素を有し、入力される前記中心座標が該要素のそれぞれに格納される配列を記憶する第一の記憶手段と、前記測定点数個の要素を有し、入力される前記半径が該要素のそれぞれに格納される配列を記憶する第二の記憶手段と、前記被測定物の網特性を測定し、前記測定点数個の測定値を得る測定手段と、前記測定点数個の要素を有し、得られる前記測定値が該要素のそれぞれに格納される配列を記憶する第三の記憶手段と、前記第三の記憶手段から前記測定値を読み出し、該読み出した測定値に関連する前記中心座標を前記第一の記憶手段から読み出し、前記読み出した測定値と前記読み出した中心座標との差分値を求め、さらに前記読み出した測定値に関連する前記半径を前記第二の記憶手段から読み出し、前記差分値と前記読み出した半径とを参照して、前記参照する差分値の大きさが前記参照する半径以下または前記参照する半径未満であれば前記読み出した測定値を合格と判定する判定手段と、を備えることを特徴とする網解析装置。
【0011】
本第五発明は、本第一発明乃至本第四発明において、前記第三の記憶手段に記憶される配列の各要素に格納される測定値について、その全てが前記判定手段により合格と判定される時に、前記被測定物を合格と判定する、ことを特徴とするものである。
【0012】
本第六発明は、本第一発明乃至本第四発明において、前記掃引範囲のうちから判定対象の範囲を定める判定範囲を入力するための第三の入力手段を備え、前記第三の記憶手段に記憶される配列の各要素に格納される測定値のうち前記第三の入力手段により入力される判定範囲内にある測定値について、その全てが前記判定手段により合格と判定される時に、前記被測定物を合格と判定する、ことを特徴とするものである。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を添付の図面に示す好適実施形態に基づいて説明する。本発明の第一の実施形態は、ネットワーク・アナライザであって、その概略構成を図1に示す。
【0014】
図1において、ネットワーク・アナライザ100は、構成要素として、測定部110と、表示部120と、記憶部130と、演算処理部140と、ドライブ装置150と、入力部160と、通信部170とを備える。
【0015】
測定部110は、測定ポートP1と測定ポートP2とを備え、各ポートに接続される被測定物10の網特性を測定する装置。測定ポートP1および測定ポートP2のそれぞれは、基準信号を出力し、また、入射信号および出射信号の振幅を測定することができる。図示の便宜上、測定部110が備える測定ポート数は2つであるが、特に、これに限定される訳ではない。例えば、流通しているネットワーク・アナライザには、3ポートまたは4ポートを有するものがある。さて、測定部110は、測定ポートP1と測定ポートP2を介して、2ポート・デバイスである被測定物10と接続されている。被測定物10の測定ポートP1における反射係数を測定する場合、測定部110は、基準信号を周波数掃引または電力掃引させながら測定ポートP1から出力し、測定ポートP1における入射信号および出射信号のエネルギーを測定するようにすれば良い。反射係数は、入射信号と出射信号との比として算出される。なお、比の計算は、演算処理部140で行っても良い。
【0016】
表示部120は、ネットワーク・アナライザ100の測定値や設定情報などの各種情報を表示する手段である。表示部120は、各種情報を出力できる手段であれば良く、LEDランプや液晶パネルディスプレイなどが利用できる。
【0017】
記憶部130は、プログラムや測定部110の測定値などの各種データが格納される記憶手段である。記憶部130は、交換不可能な記憶媒体を備える記憶手段である。例えば、記憶部130は、RAM、CPU内のレジスタ、または、固定ディスクドライブ装置などである。
【0018】
演算処理部140は、プログラムを実行することにより少なくとも1つの機能が実現されるコンピュータ手段である。本実施形態において、演算処理部140は、マイクロ・プロセッサである。しかし、演算処理部140は、マイクロ・プロセッサに限定されず、ディジタル・シグナル・プロセッサなど、演算機能および制御機能を有する他の型のプロセッサであっても良い。また、演算処理部140は、2以上のプロセッサを備えることもできる。演算処理部140は、ネットワーク・アナライザ100全体の動作を制御し、測定部110で測定した測定値の演算処理などを行う。なお、制御部120が実行するプログラムは、記憶部130に格納されるものであるか、ドライブ装置150から読み出されるものであるか、または、入力部160を介して受信するものである。
【0019】
ドライブ装置150は、プログラムや測定部110の測定値などの各種データが格納される手段である。ドライブ装置150は、交換可能な記憶媒体を備える記憶手段である。例えば、ドライブ装置150は、CD−ROMドライブやメモリーカード・リーダーなどである。
【0020】
入力部160は、入力手段の一例であって、ネットワーク・アナライザ100の使用者からの情報入力を受信する手段である。例えば、入力部160は、ボタン、バーニヤ・ノブ、または、キーボードなど情報入力に適した入力手段を具備することができる。
【0021】
通信部170は、ネットワーク・アナライザ100に外部装置との通信を可能にさせる手段である。例えば、通信部170は、シリアルインタフェース、パラレルインターフェース、または、LANインターフェースなどを具備することができる。通信部170は、通信媒体を介して情報を受信する場合、記憶部130や入力部160などの機能を代行することができる。また、通信部170は、通信媒体を介して情報を送信する場合、表示部120の機能を代行することもできる。
【0022】
測定部110と表示部120と記憶部130と演算処理部140とドライブ装置150と入力部160と通信部170とは、バス180を介して互い接続され互いに通信が可能である。
【0023】
次に、ネットワーク・アナライザ100の動作手順を以下に説明する。前述の通り、ネットワーク・アナライザ100は、プログラムを実行する演算処理部140の制御により動作する。従って、以下の動作手順は、演算処理部140が実行するプログラムの流れを説明するものでもある。ここで、ネットワーク・アナライザ100の動作手順を示すフローチャートを図2に示す。また、記憶部130に含まれる記憶領域を示す図を、図3に示す。以下の説明は、図1と図2と図3を参照する。
【0024】
まず、ステップ1aにおいて、測定に関する設定情報が入力される。ネットワーク・アナライザ100は、入力部160を介して基準信号の掃引範囲と掃引間隔とが入力され、入力された掃引範囲と掃引間隔とを記憶部130に格納する。この時、掃引範囲は、掃引始点と掃引終点との組で指定される。従って、記憶部130は、掃引始点を記憶するための記憶領域200、掃引終点を記憶するための記憶領域210、および、掃引間隔を記憶するための記憶領域220を備える。また、掃引範囲は掃引範囲の中心と掃引幅との組により指定する事ができ、その場合、記憶領域200および記憶領域210は、掃引始点および掃引終点に代えて、掃引範囲の中心および掃引幅が格納される。なお、掃引始点、掃引終点、掃引範囲の中心、掃引幅、および、掃引間隔は、電力掃引の場合には電力が入力され、周波数掃引の場合には周波数が入力される。また、掃引始点、掃引終点、掃引範囲の中心、掃引幅、および、掃引間隔は、全て実数である。
【0025】
次に、ステップ2aにおいて、合否判定に関する設定情報が入力される。ネットワーク・アナライザ100は、入力部160を介して合否判定の対象となる範囲、ならびに、被測定物を合否判定するための判定円の中心座標および半径が入力され、入力された判定範囲と中心座標と半径とを記憶部130に格納する。合否判定の対象範囲は、基準信号の掃引範囲内で指定され、判定開始点と判定終了点との組で指定される。従って、記憶部130は、判定開始点を記憶するための記憶領域230、判定終了点を記憶するための記憶領域240、中心座標を記憶するための記憶領域260、および、半径を記憶するための記憶領域270を備える。また、合否判定の対象範囲は判定範囲の中心と判定範囲の幅との組により指定する事ができ、その場合、記憶領域230および記憶領域240は、判定開始点および判定終了点に代えて、判定範囲の中心および判定範囲の幅が格納される。なお、判定開始点、判定終了点、判定範囲の中心、および、判定範囲の幅は、電力掃引の場合には電力が入力され、周波数掃引の場合には周波数が入力される。判定開始点、判定終了点、判定範囲の中心、判定範囲の幅、および、判定円の半径は、実数である。また、判定円の中心座標は複素数である。
【0026】
次に、ステップ3aにおいて、ネットワーク・アナライザ100は、表示部120に判定円を表示する。判定円は、下式で表される点Lkの集合、または、下式で表される点Lk同士を結ぶ線の集合として描かれる。下式の計算、および、計算結果に基づく表示部120の制御は、演算処理部140によって行われる。なお、判定円は、表示部120に表示される極座標上に描画される。
【0027】
【数1】
【0028】
ここで、kは、0〜(M−1)までの整数である。Mは、判定円の分割数であり、任意の値である。Rは、記憶領域270に記憶された半径である。Crは、記憶領域260に記憶された中心座標の実部の値である。Ciは、記憶領域260に記憶された中心座標の虚部の値である。上式の計算に用いられる半径、中心座標、掃引範囲、および、掃引間隔は、それぞれ対応する記憶領域から演算処理部140により読み出される。
【0029】
次に、ステップ4aにおいて、ネットワーク・アナライザ100は、被測定物10の網特性を測定する。その詳細は次の通りである。まず、測定部110により測定点数n個の測定値が得られる。測定点数nは、掃引範囲の幅を掃引間隔で割った値に1を加えた値である。n個の測定値は、記憶部130内の記憶領域380に格納される。記憶領域380には、要素M1から要素Mnで構成される複素配列が記憶されている。複素配列の各要素には、n個の測定値のそれぞれが格納される。なお、要素Mnの添え字nは、要素の識別番号である。
【0030】
次に、ステップ5aにおいて、ネットワーク・アナライザ100は、測定結果の合否判定と表示を行う。その詳細は次の通りである。まず、演算処理部140は、記憶領域380の配列の要素に格納された測定値を読み出す。読み出した測定値が判定範囲外で測定されたものであれば、演算処理部140は、表示部120を制御して、読み出した測定値を用いて極座標上に通常色で点をプロットする。読み出した測定値が判定範囲内で測定されたものであれば、演算処理部140は、さらに、記憶領域260に格納された中心座標と記憶領域270に格納された半径を読み出す。そして、演算処理部140は、読み出した測定値から読み出した中心座標を差し引き、差分値を得る。さらに、演算処理部140は、得られた差分値と読み出した半径とを参照し、参照する差分値の大きさが参照する半径以下であれば合格と判定する。また、参照する差分値の大きさが参照する半径未満の場合に、合格と判定しても良い。さて、合格と判定した場合、演算処理部140は、表示部120を制御して、読み出した測定値を用いて極座標上に通常色で点をプロットする。一方、不合格と判定した場合、演算処理部140は、読み出した測定値を用いて極座標上に通常色とは異なる色でプロットし、記憶領域250に“1”を設定する。なお、記憶領域250は、記憶部130内にあって、合否判定の結果が格納されている。記憶領域250に格納される判定結果が“0”であれば合格を表し、判定結果が“1”であれば不合格を表す。初期状態の記憶領域250は“0”が設定されている。ステップ5aにおける上記の処理は、全ての測定値に対して実施される。なお、プロットされる点と点との間は、必要に応じて直線や近似曲線などにより補間される。また、測定値を極座標上に表す時に測定値に関連する場所に印が付けられれば良いので、プロットされる点は記号や符号などに代える事も可能である。
【0031】
最後に、ステップ6aにおいて、ネットワーク・アナライザ100は、判定結果の表示を行う。具体的には、演算処理部140が記憶部130内の記憶領域250を読み出し、その読み値に従って以下の処理を行う。記憶領域250が“0”である場合、演算処理部140は、表示部120に「被測定物20が合格である」ことを表示する。一方、記憶領域250が“1”である場合、演算処理部140は、表示部120に「被測定物20が不合格である」ことを表示する。
【0032】
第一の実施形態における判定円は真円であるが、被測定物10の特性によっては真円でない方が好ましい場合もある。そこで、判定円を真円以外にも定義できるようにした第二の実施形態および第三の実施形態について、以下に説明する。
【0033】
本発明の第二の実施形態は、ネットワーク・アナライザであって、その構成は図1に示す通りである。ただし、第二の実施形態におけるネットワーク・アナライザ100は、その動作が第一の実施形態におけるネットワーク・アナライザ100の動作と異なる。
【0034】
ここで、第二の実施形態におけるネットワーク・アナライザ100の動作手順を以下に説明する。前述の通り、ネットワーク・アナライザ100は、プログラムを実行する演算処理部140の制御により動作する。従って、以下の動作手順は、演算処理部140が実行するプログラムの流れを説明するものでもある。ここで、ネットワーク・アナライザ100の動作手順を示すフローチャートを図2に示す。また、記憶部130内に含まれる記憶領域を示す図を、図4に示す。以下の説明は、図1と図2と図4を参照する。
【0035】
まず、ステップ1bにおいて、測定に関する設定情報が入力される。ステップ1bは、ステップ1aと同一の処理を行う。
【0036】
次に、ステップ2bにおいて、合否判定に関する設定情報が入力される。ネットワーク・アナライザ100は、入力部160を介して合否判定の対象となる範囲、および、被測定物を合否判定するための判定円の中心座標と半径が入力され、入力された判定範囲と中心座標と半径とを記憶部130に格納する。合否判定の対象範囲は、基準信号の掃引範囲内で指定され、判定開始点と判定終了点との組で指定される。従って、記憶部130は、判定開始点を記憶するための記憶領域230、判定終了点を記憶するための記憶領域240、中心座標を記憶するための記憶領域260、および、半径を記憶するための記憶領域370を備える。記憶領域370には、要素R1から要素Rnで構成される実数配列が記憶されている。nは、測定点数であり、掃引範囲の幅を掃引間隔で割った値に1を加えた値である。実数配列の各要素には、n個の半径のそれぞれが格納される。なお、要素Rnの添え字nは、要素の識別番号である。例えば、記憶領域370の配列の要素の値が全て同一であれば、判定円は真円となる。判定円は、記憶領域370の配列の要素の値を変えることにより、楕円や四角形など他の形になる。本明細書では、中心座標と半径とで与えられる合否判定のための境界線を、その形に限定されることなく、判定円と称する。また、合否判定の対象範囲は判定範囲の中心と判定範囲の幅との組により指定する事ができ、その場合、記憶領域230および記憶領域240は、判定開始点および判定終了点に代えて、判定範囲の中心および判定範囲の幅が格納される。なお、判定開始点、判定終了点、判定範囲の中心、および、判定範囲の幅は、電力掃引の場合には電力が入力され、周波数掃引の場合には周波数が入力される。判定開始点、判定終了点、判定範囲の中心、判定範囲の幅、および、判定円の半径は、実数である。また、判定円の中心座標は複素数である。
【0037】
次に、ステップ3bにおいて、ネットワーク・アナライザ100は、表示部120に判定円を表示する。判定円は、下式で表される点Lkの集合、または、下式で表される点Lk同士を結ぶ線の集合として描かれる。下式の計算、および、計算結果に基づく表示部120の制御は、演算処理部140によって行われる。なお、判定円は、表示部120に表示される極座標上に描画される。
【0038】
【数2】
【0039】
ここで、nは測定点数である。kは、0〜(n−1)までの整数である。Rは、記憶領域370の配列の要素Rkに格納された半径である。Crは、記憶領域260に記憶された中心座標の実部の値である。Ciは、記憶領域260に記憶された中心座標の虚部の値である。上式の計算に用いられる半径、中心座標、掃引範囲、および、掃引間隔は、それぞれ対応する記憶領域から演算処理部140により読み出される。
【0040】
次に、ステップ4bにおいて、ネットワーク・アナライザ100は、被測定物10の網特性を測定する。ステップ4bは、ステップ4aと同一の処理を行う。
【0041】
次に、ステップ5bにおいて、ネットワーク・アナライザ100は、測定結果の合否判定と表示を行う。その詳細は次の通りである。まず、演算処理部140は、記憶領域380の配列の要素に格納された測定値を読み出す。読み出した測定値が判定範囲外で測定されたものであれば、演算処理部140は、表示部120を制御して、読み出した測定値を用いて極座標上に通常色で点をプロットする。読み出した測定値が判定範囲内で測定されたものであれば、演算処理部140は、さらに、記憶領域260に格納された中心座標を読み出す。そして、演算処理部140は、先ほど読み出した測定値から読み出した中心座標を差し引き、差分値を得る。続いて、演算処理部140は、記憶領域370の配列の要素に格納された半径を読み出す。この時、半径は、差分値を得る時に読み出した測定値に関連して読み出される。例えば、記憶領域370の配列の要素の識別番号と、差分値を得る時に読み出した記憶領域380の配列の要素の識別番号とが、一致するように読み出される。そして、演算処理部140は、得られた差分値と読み出した半径とを参照し、参照する差分値の大きさが参照する半径以下であれば合格と判定する。また、参照する差分値の絶対値が参照する半径未満の場合に、合格と判定しても良い。さて、合格と判定した場合、演算処理部140は、表示部120を制御して、読み出した測定値を用いて極座標上に通常色で点をプロットする。一方、不合格と判定した場合、演算処理部140は、読み出した測定値を用いて極座標上に通常色とは異なる色でプロットし、記憶領域250に“1”を設定する。なお、記憶領域250は、記憶部130内にあって、合否判定の結果が格納されている。記憶領域250に格納される判定結果が“0”であれば合格を表し、判定結果が“1”であれば不合格を表す。初期状態の記憶領域250は“0”が設定されている。ステップ5bにおける上記の処理は、全ての測定値に対して実施される。なお、プロットされる点と点との間は、必要に応じて直線や近似曲線などにより補間される。また、測定値を極座標上に表す時に測定値に関連する場所に印が付けられれば良いので、プロットされる点は記号や符号などに代える事も可能である。
【0042】
最後に、ステップ6bにおいて、ネットワーク・アナライザ100は、判定結果の表示を行う。ステップ6bは、ステップ6aと同一の処理を行う。
【0043】
続いて第三の実施形態について、以下に説明する。
【0044】
本発明の第三の実施形態は、ネットワーク・アナライザであって、その構成は図1に示す通りである。ただし、第三の実施形態におけるネットワーク・アナライザ100は、その動作が第一の実施形態におけるネットワーク・アナライザ100の動作と異なる。
【0045】
ここで、第三の実施形態におけるネットワーク・アナライザ100の動作手順を以下に説明する。前述の通り、ネットワーク・アナライザ100は、プログラムを実行する演算処理部140の制御により動作する。従って、以下の動作手順は、演算処理部140が実行するプログラムの流れを説明するものでもある。ここで、ネットワーク・アナライザ100の動作手順を示すフローチャートを図2に示す。また、記憶部130内に含まれる記憶領域を示す図を、図5に示す。以下の説明は、図1と図2と図5を参照する。
【0046】
まず、ステップ1cにおいて、測定に関する設定情報が入力される。ステップ1cは、ステップ1aと同一の処理を行う。
【0047】
次に、ステップ2cにおいて、合否判定に関する設定情報が入力される。ネットワーク・アナライザ100は、入力部160を介して合否判定の対象となる範囲、および、被測定物を合否判定するための判定円の中心座標と半径が入力され、入力された判定範囲と中心座標と半径とを記憶部130に格納する。合否判定の対象範囲は、基準信号の掃引範囲内で指定され、判定開始点と判定終了点との組で指定される。従って、記憶部130は、判定開始点を記憶するための記憶領域230、判定終了点を記憶するための記憶領域240、中心座標を記憶するための記憶領域360、および、半径を記憶するための記憶領域270を備える。記憶領域360には、要素C1から要素Cnで構成される複素配列が記憶されている。nは、測定点数であり、掃引範囲の幅を掃引間隔で割った値に1を加えた値である。複素配列の各要素には、n個の中心座標のそれぞれが格納される。なお、要素Cnの添え字nは、要素の識別番号である。例えば、記憶領域360の配列の要素の値が全て同一であれば、判定円は真円となる。判定円は、記憶領域360の配列の要素の値を変えることにより、真円以外の形になる。また、合否判定の対象範囲は判定範囲の中心と判定範囲の幅との組により指定する事ができ、その場合、記憶領域230および記憶領域240は、判定開始点および判定終了点に代えて、判定範囲の中心および判定範囲の幅が格納される。なお、判定開始点、判定終了点、判定範囲の中心、および、判定範囲の幅は、電力掃引の場合には電力が入力され、周波数掃引の場合には周波数が入力される。判定開始点、判定終了点、判定範囲の中心、判定範囲の幅、および、判定円の半径は、実数である。さらに、判定円の中心座標は複素数である。
【0048】
次に、ステップ3cにおいて、ネットワーク・アナライザ100は、表示部120に判定円を表示する。判定円は、下式で表される点Lkの集合、または、下式で表される点Lk同士を結ぶ線の集合として描かれる。下式の計算、および、計算結果に基づく表示部120の制御は、演算処理部140によって行われる。なお、判定円は、表示部120に表示される極座標上に描画される。
【0049】
【数3】
【0050】
ここで、nは測定点数である。kは、0〜(n−1)までの整数である。Rは、記憶領域270に記憶された半径である。Ckrは、記憶領域360の配列の要素Ckに格納された中心座標の実部の値である。Ckiは、記憶領域360の配列の要素Ckに格納された中心座標の虚部の値である。上式の計算に用いられる半径、中心座標、掃引範囲、および、掃引間隔は、それぞれ対応する記憶領域から演算処理部140により読み出される。
【0051】
次に、ステップ4cにおいて、ネットワーク・アナライザ100は、被測定物10の網特性を測定する。ステップ4cは、ステップ4aと同一の処理を行う。
【0052】
次に、ステップ5cにおいて、ネットワーク・アナライザ100は、測定結果の合否判定と表示を行う。その詳細は次の通りである。まず、演算処理部140は、記憶領域380の配列の要素に格納された測定値を読み出す。読み出した測定値が判定範囲外で測定されたものであれば、演算処理部140は、表示部120を制御して、読み出した測定値を用いて極座標上に通常色で点をプロットする。読み出した測定値が判定範囲内で測定されたものであれば、演算処理部140は、さらに、記憶領域360の配列の要素に格納された中心座標を読み出す。この時、中心座標は、先ほど読み出した測定値に関連して読み出される。例えば、記憶領域360の配列の要素の識別番号と、記憶領域380の配列の要素の識別番号とが、一致するように読み出される。演算処理部140は、予め読み出した測定値から読み出した中心座標を差し引き、差分値を得る。続いて、演算処理部140は、記憶領域270に記憶された半径を読み出す。そして、演算処理部140は、得られた差分値と読み出した半径とを参照し、参照する差分値の大きさが参照する半径以下であれば合格と判定する。また、参照する差分値の絶対値が参照する半径未満の場合に、合格と判定しても良い。さて、合格と判定した場合、演算処理部140は、表示部120を制御して、読み出した測定値を用いて極座標上に通常色で点をプロットする。一方、不合格と判定した場合、演算処理部140は、読み出した測定値を用いて極座標上に通常色とは異なる色でプロットし、記憶領域250に“1”を設定する。なお、記憶領域250は、記憶部130内にあって、合否判定の結果が格納されている。記憶領域250に格納される判定結果が“0”であれば合格を表し、判定結果が“1”であれば不合格を表す。初期状態の記憶領域250は“0”が設定されている。ステップ5cにおける上記の処理は、全ての測定値に対して実施される。なお、プロットされる点と点との間は、必要に応じて直線や近似曲線などにより補間される。また、測定値を極座標上に表す時に測定値に関連する場所に印が付けられれば良いので、プロットされる点は記号や符号などに代える事も可能である。
【0053】
最後に、ステップ6cにおいて、ネットワーク・アナライザ100は、判定結果の表示を行う。ステップ6cは、ステップ6aと同一の処理を行う。
【0054】
さらに、第二の実施形態と第三の実施形態は、それぞれの利用技術を融合することも可能である。そのような変形例を第四の実施形態として、以下に説明する。
【0055】
本発明の第四の実施形態は、ネットワーク・アナライザであって、その構成は図1に示す通りである。ただし、第四の実施形態におけるネットワーク・アナライザ100は、その動作が第一の実施形態におけるネットワーク・アナライザ100の動作と異なる。
【0056】
ここで、第四の実施形態におけるネットワーク・アナライザ100の動作手順を以下に説明する。前述の通り、ネットワーク・アナライザ100は、プログラムを実行する演算処理部140の制御により動作する。従って、以下の動作手順は、演算処理部140が実行するプログラムの流れを説明するものでもある。ここで、ネットワーク・アナライザ100の動作手順を示すフローチャートを図2に示す。また、記憶部130内に含まれる記憶領域を示す図を、図6に示す。以下の説明は、図1と図2と図6を参照する。
【0057】
まず、ステップ1dにおいて、測定に関する設定情報が入力される。ステップ1dは、ステップ1aと同一の処理を行う。
【0058】
次に、ステップ2dにおいて、合否判定に関する設定情報が入力される。ネットワーク・アナライザ100は、入力部160を介して合否判定の対象となる範囲、および、被測定物を合否判定するための判定円の中心座標と半径が入力され、入力された判定範囲と中心座標と半径とを記憶部130に格納する。合否判定の対象範囲は、基準信号の掃引範囲内で指定され、判定開始点と判定終了点との組で指定される。従って、記憶部130は、判定開始点を記憶するための記憶領域230、判定終了点を記憶するための記憶領域240、中心座標を記憶するための記憶領域360、および、半径を記憶するための記憶領域270を備える。記憶領域360には、要素C1から要素Cnで構成される複素配列が記憶されている。nは、測定点数であり、掃引範囲の幅を掃引間隔で割った値に1を加えた値である。複素配列の各要素には、n個の中心座標のそれぞれが格納される。なお、要素Cnの添え字nは、要素の識別番号である。また、記憶領域370には、要素R1から要素Rnで構成される実数配列が記憶されている。なお、要素Cnの添え字nも、また要素の識別番号である。例えば、記憶領域360および記憶領域360の配列の要素の値が全て同一であれば、判定円は真円となる。判定円は、記憶領域360または記憶領域370の配列の要素の値を変えることにより、真円以外の形になる。また、合否判定の対象範囲は判定範囲の中心と判定範囲の幅との組により指定する事ができ、その場合、記憶領域230および記憶領域240は、判定開始点および判定終了点に代えて、判定範囲の中心および判定範囲の幅が格納される。なお、判定開始点、判定終了点、判定範囲の中心、および、判定範囲の幅は、電力掃引の場合には電力が入力され、周波数掃引の場合には周波数が入力される。判定開始点、判定終了点、判定範囲の中心、判定範囲の幅、および、判定円の半径は、実数である。さらに、判定円の中心座標は複素数である。
【0059】
次に、ステップ3dにおいて、ネットワーク・アナライザ100は、表示部120に判定円を表示する。判定円は、下式で表される点Lkの集合、または、下式で表される点Lk同士を結ぶ線の集合として描かれる。下式の計算、および、計算結果に基づく表示部120の制御は、演算処理部140によって行われる。なお、判定円は、表示部120に表示される極座標上に描画される。
【0060】
【数4】
【0061】
ここで、nは測定点数である。kは、0〜(n−1)までの整数である。Rは、記憶領域370の配列の要素Rkに格納された半径である。Ckrは、記憶領域360の配列の要素Ckに格納された中心座標の実部の値である。Ckiは、記憶領域360の配列の要素Ckに格納された中心座標の虚部の値である。上式の計算に用いられる半径、中心座標、掃引範囲、および、掃引間隔は、それぞれ対応する記憶領域から演算処理部140により読み出される。
【0062】
次に、ステップ4dにおいて、ネットワーク・アナライザ100は、被測定物10の網特性を測定する。ステップ4dは、ステップ4aと同一の処理を行う。
【0063】
次に、ステップ5dにおいて、ネットワーク・アナライザ100は、測定結果の合否判定と表示を行う。その詳細は次の通りである。まず、演算処理部140は、記憶領域380の配列の要素に格納された測定値を読み出す。読み出した測定値が判定範囲外で測定されたものであれば、演算処理部140は、表示部120を制御して、読み出した測定値を用いて極座標上に通常色で点をプロットする。読み出した測定値が判定範囲内で測定されたものであれば、演算処理部140は、さらに、記憶領域360の配列の要素に格納された中心座標を読み出す。この時、中心座標は、先ほど読み出した測定値に関連して読み出される。例えば、記憶領域360の配列の要素の識別番号と、記憶領域380の配列の要素の識別番号とが、一致するように読み出される。演算処理部140は、予め読み出した測定値から読み出した中心座標を差し引き、差分値を得る。続いて、演算処理部140は、記憶領域370の配列の要素に格納された半径を読み出す。この時、半径は、差分値を得る時に読み出した測定値に関連して読み出される。例えば、記憶領域370の配列の要素の識別番号と、差分値を得る時に読み出した記憶領域380の配列の要素の識別番号とが、一致するように読み出される。そして、演算処理部140は、先ほど得られた差分値と読み出した半径とを参照し、参照する差分値の大きさが参照する半径以下であれば合格と判定する。また、参照する差分値の絶対値が参照する半径未満の場合に、合格と判定しても良い。さて、合格と判定した場合、演算処理部140は、表示部120を制御して、読み出した測定値を用いて極座標上に通常色で点をプロットする。一方、不合格と判定した場合、演算処理部140は、読み出した測定値を用いて極座標上に通常色とは異なる色でプロットし、記憶領域250に“1”を設定する。なお、記憶領域250は、記憶部130内にあって、合否判定の結果が格納されている。記憶領域250に格納される判定結果が“0”であれば合格を表し、判定結果が“1”であれば不合格を表す。初期状態の記憶領域250は“0”が設定されている。ステップ5dにおける上記の処理は、全ての測定値に対して実施される。なお、プロットされる点と点との間は、必要に応じて直線や近似曲線などにより補間される。また、測定値を極座標上に表す時に測定値に関連する場所に印が付けられれば良いので、プロットされる点は記号や符号などに代える事も可能である。
【0064】
最後に、ステップ6dにおいて、ネットワーク・アナライザ100は、判定結果の表示を行う。ステップ6dは、ステップ6aと同一の処理を行う。
【0065】
ここで、第一乃至第四の実施形態における表示例を図7に示す。図7において、判定円210は中心座標と半径とにより極座標220上に描かれ、さらに、測定結果230が同じく極座標上に表示される。しかし、このような表示形式では、判定円210や測定結果230が極座標220の隅近くに表示され見にくい場合がある。そこで、新たな表示方法を提案する。新たな表示方法による表示例を図8に示す。新たな表示方法によれば、判定円310および測定結果330は、判定円310の中心座標を原点として極座標320上に描かれる。上述の4つの実施形態のそれぞれにおいては、判定円は半径を用いて表し、測定結果は判定の際に測定値に関連して算出される差分値を用いて表すと良いであろう。このような表示形式によれば、判定円と測定値が常に極座標の中心付近に表示されるので、判定円と測定値を最大限に拡大して表示することが容易になる。この拡大表示は、判定結果が合格となるように、測定しながら被測定物を調整する時に極めて便利である。なお、上記の新たな表示方法を採用する場合、上述の4つの実施形態のそれぞれにおいて、以下の変更を施せばよい。まず、ステップ3a,3c,3c,3dのそれぞれにおいて、原点をR+j0として判定円を描くようにする。ただし、Rは網解析装置に設定されている特性インピーダンスの値である。ちなみに、原点における反射係数は、0+j0となる。また、ステップ5a,5c,5c,5dのそれぞれにおいて、全ての測定値に関して差分値を計算するようにし、測定結果の表示は差分値を用いて表示するようにし、判定範囲で測定された測定値のみに対して判定を行うようにする。
【0066】
また、上記のように全測定値に関連して差分値を計算するようにすれば、従来の網解析装置に備わっている演算機能の一部を流用することができ、僅かな改変により合否判定機能を追加することが可能になる。例えば、ステップ5a,5c,5c,5dのそれぞれの事前に全測定値について差分値を求め、ステップ5a,5c,5c,5dのそれぞれにおいて、予め計算した差分値に基づいて判定するようにすれば良い。
【0067】
さらに、第一乃至第四の実施形態において、合否判定は判定範囲について行われているが、全測定値について行うようにすることも可能である。その場合には、判定範囲の入力工程などが省略できるであろう。
【0068】
またさらに、第一乃至第四の実施形態において、測定結果を判定円に上書きして表示するようにすると、作業者が測定結果を認識しやすくなる。
【0069】
また、ステップ3a,3c,3c,3dのぞれぞれにおける判定円の表示やステップ5a,5c,5c,5dのそれぞれにおける測定結果の表示は、省略することができる。例えば、完全自動化された生産ラインにおいては、判定さえ行われれば良く、判定円の表示や測定結果の表示が必要とされない場合がある。
【0070】
さらに、第一乃至第四の実施形態において、設定情報は入力部160を介して入力されているが、これに限定される必要はない。基準信号の掃引範囲もしくは掃引間隔、判定円の中心座標もしくは半径、または、判定範囲などの設定情報は、ドライブ装置150や通信部170を介して入力されても良い。例えば、設定情報が予め書き込まれたフロピティカル・ディスクをドライブ装置150が保持し、必要に応じて、フロピティカル・ディスクから設定情報を読み出す事により、設定情報の入力とすることができる。また、通信部170を介して遠隔地から入力されても良い。
【0071】
またさらに、第一乃至第四の実施形態において、掃引範囲および掃引間隔は、1つに限定されない。複数ある掃引範囲は、同一である必要はなく、連続している必要もない。複数ある掃引間隔は、同一である必要はない。例えば、ネットワークアナライザ100において、1〜5MHzを1MHzで、7〜13MHzを100kHzで、10〜20MHzを1MHzで、20〜70MHzを5MHzで、それぞれ掃引するように、掃引範囲と掃引間隔が入力されても良い。上記のように掃引範囲および掃引間隔の組が複数指定される場合、第一乃至第四の実施形態において、多少の変更が施されるであろう。例えば、入力される設定情報や記憶部130内の記憶領域が必要な数だけ追加され、判定円の表示工程や判定工程において複数ある掃引範囲および掃引間隔の組が適当に参照されるように変更される。必要な変更は、当業者にとって容易に考え得るであろう。なお、判定範囲も1つに限定されないことは、言うまでもない。
【0072】
またさらに、第一乃至第四の実施形態において、測定点数と測定間隔は密接に関連しているので、掃引間隔に代えて測定点数が入力され、使用されるようにしても良い。掃引間隔は掃引範囲と当該掃引範囲における測定点数から計算により求めることができるからである。
【0073】
上述した実施形態およびその変形例は、特許請求の範囲に記載した本発明の説明のための一実施形態にすぎず、特許請求の範囲で示した権利範囲内において種々の変形を行うことができることは、当業者にとって明らかである。念のため、本発明の実施態様の一部をまとめて示す。
【0074】
(実施態様1)
基準信号を周波数掃引または電力掃引させながら被測定物に印加する事により被測定物の網特性を解析する網解析装置において、
前記基準信号の掃引範囲および掃引間隔を入力するための第一の入力手段と、
前記被測定物を合否判定するための判定円の中心座標と半径を入力するための第二の入力手段と、
入力される前記中心座標を記憶する第一の記憶手段と、
入力される前記半径を記憶する第二の記憶手段と、
前記被測定物の網特性を測定し、前記掃引範囲と前記掃引間隔とから決定される測定点数個の測定値を得る測定手段と、
前記測定点数個の要素を有し、得られる前記測定値が該要素のそれぞれに格納される配列を記憶する第三の記憶手段と、
前記第三の記憶手段から前記測定値を読み出し、前記第一の記憶手段から前記中心座標を読み出し、前記読み出した測定値と前記読み出した中心座標との差分値を求め、さらに前記第二の記憶手段から前記半径を読み出し、前記差分値と前記読み出した半径とを参照して、前記参照する差分値の大きさが前記参照する半径以下または前記参照する半径未満であれば前記読み出した測定値を合格と判定する判定手段と、
を備えることを特徴とする網解析装置。
【0075】
(実施態様2)
基準信号を周波数掃引または電力掃引させながら被測定物に印加する事により被測定物の網特性を解析する網解析装置において、
前記基準信号の掃引範囲および掃引間隔を入力するための第一の入力手段と、
前記被測定物を合否判定するための判定円の中心座標と半径を入力するための第二の入力手段と、
入力される前記中心座標を記憶する第一の記憶手段と、
前記掃引範囲と前記掃引間隔とから決定される測定点数個の要素を有し、入力される前記半径が該要素のそれぞれに格納される配列を記憶する第二の記憶手段と、
前記被測定物の網特性を測定し、前記測定点数個の測定値を得る測定手段と、
前記測定点数個の要素を有し、得られる前記測定値が該要素のそれぞれに格納される配列を記憶する第三の記憶手段と、
前記第三の記憶手段から前記測定値を読み出し、前記第一の記憶手段から前記中心座標を読み出し、前記読み出した測定値と前記読み出した中心座標との差分値を求め、さらに前記読み出した測定値に関連する前記半径を前記第二の記憶手段から読み出し、前記差分値と前記読み出した半径とを参照して、前記参照する差分値の大きさが前記参照する半径以下または前記参照する半径未満であれば前記読み出した測定値を合格と判定する判定手段と、
を備えることを特徴とする網解析装置。
【0076】
(実施態様3)
基準信号を周波数掃引または電力掃引させながら被測定物に印加する事により被測定物の網特性を解析する網解析装置において、
前記基準信号の掃引範囲および掃引間隔を入力するための第一の入力手段と、
前記被測定物を合否判定するための判定円の半径と中心座標を入力するための第二の入力手段と、
前記掃引範囲と前記掃引間隔とから決定される測定点数個の要素を有し、入力される前記中心座標が該要素のそれぞれに格納される配列を記憶する第一の記憶手段と、
入力される前記半径を記憶する第二の記憶手段と、
前記被測定物の網特性を測定し、前記測定点数個の測定値を得る測定手段と、
前記測定点数個の要素を有し、得られる前記測定値が該要素のそれぞれに格納される配列を記憶する第三の記憶手段と、
前記第三の記憶手段から前記測定値を読み出し、該読み出した測定値に関連する前記中心座標を前記第一の記憶手段から読み出し、前記読み出した測定値と前記読み出した中心座標との差分値を求め、さらに前記第二の記憶手段から前記半径を読み出し、前記差分値と前記読み出した半径とを参照して、前記参照する差分値の大きさが前記参照する半径以下または前記参照する半径未満であれば前記読み出した測定値を合格と判定する判定手段と、
を備えることを特徴とする網解析装置。
【0077】
(実施態様4)
基準信号を周波数掃引または電力掃引させながら被測定物に印加する事により被測定物の網特性を解析する網解析装置において、
前記基準信号の掃引範囲および掃引間隔を入力するための第一の入力手段と、
前記被測定物を合否判定するための判定円の中心座標と半径を入力するための第二の入力手段と、
前記掃引範囲と前記掃引間隔とから決定される測定点数個の要素を有し、入力される前記中心座標が該要素のそれぞれに格納される配列を記憶する第一の記憶手段と、
前記測定点数個の要素を有し、入力される前記半径が該要素のそれぞれに格納される配列を記憶する第二の記憶手段と、
前記被測定物の網特性を測定し、前記測定点数個の測定値を得る測定手段と、
前記測定点数個の要素を有し、得られる前記測定値が該要素のそれぞれに格納される配列を記憶する第三の記憶手段と、
前記第三の記憶手段から前記測定値を読み出し、該読み出した測定値に関連する前記中心座標を前記第一の記憶手段から読み出し、前記読み出した測定値と前記読み出した中心座標との差分値を求め、さらに前記読み出した測定値に関連する前記半径を前記第二の記憶手段から読み出し、前記差分値と前記読み出した半径とを参照して、前記参照する差分値の大きさが前記参照する半径以下または前記参照する半径未満であれば前記読み出した測定値を合格と判定する判定手段と、
を備えることを特徴とする網解析装置。
【0078】
(実施態様5)
前記第三の記憶手段に記憶される配列の各要素に格納される測定値について、その全てが前記判定手段により合格と判定される時に、前記被測定物を合格と判定する、
ことを特徴とする実施態様1乃至実施態様4のいずれかに記載の網解析装置。
【0079】
(実施態様6)
前記掃引範囲のうちから判定対象の範囲を定める判定範囲を入力するための第三の入力手段を備え、
前記第三の記憶手段に記憶される配列の各要素に格納される測定値のうち前記第三の入力手段により入力される判定範囲内にある測定値について、その全てが前記判定手段により合格と判定される時に、前記被測定物を合格と判定する、
ことを特徴とする実施態様1乃至実施態様4のいずれかに記載の網解析装置。
【0080】
(実施態様7)
前記中心座標を極座標の原点とし、前記測定値または前記判定円を前記極座標上に表示する手段を備えることを特徴とする実施態様1乃至6のいずれかに記載の網解析装置。
【0081】
(実施態様8)
前記測定値を表示する時、前記測定値が合格か否かに応じて形状、模様または色彩を変えて表示する、
ことを特徴とする実施態様7に記載の網解析装置。
【0082】
(実施態様9)
網解析装置において、
被測定物の網特性を測定する手段と
前記測定手段により測定された測定値が、中心座標と半径とにより表される判定円内に収まっているか否かを判定する手段と、
前記中心座標を極座標の原点とし、前記測定値または前記判定円を前記極座標上に表示する手段と、
を備えることを特徴とする網解析装置。
【0083】
(実施態様10)
基準信号を周波数掃引または電力掃引させながら被測定物に印加する事により被測定物の網特性を解析する網解析装置において、被測定物の合否判定を行う方法であって、
前記基準信号の掃引範囲および掃引間隔を入力するステップと、
前記被測定物を合否判定するための判定円の中心座標と半径を入力するステップと、
前記入力される中心座標を第一の記憶手段に記憶するステップと、
前記入力される半径を第二の記憶手段に記憶するステップと、
前記被測定物の網特性を測定し、前記掃引範囲と前記掃引間隔とから決定される測定点数個の測定値を得るステップと、
第三の記憶手段に記憶される配列の前記測定点数個の要素のそれぞれに前記得られる測定値を格納するステップと、
前記第三の記憶手段から前記測定値を読み出し、前記第一の記憶手段から前記中心座標を読み出し、前記読み出した測定値と前記読み出した中心座標との差分値を求め、さらに前記第二の記憶手段から前記半径を読み出し、前記差分値と前記読み出した半径とを参照して、前記参照する差分値の大きさが前記参照する半径以下または前記参照する半径未満であれば前記読み出した測定値を合格と判定するステップと、
を含むことを特徴とする合否判定方法。
【0084】
(実施態様11)
基準信号を周波数掃引または電力掃引させながら被測定物に印加する事により被測定物の網特性を解析する網解析装置において、被測定物の合否判定を行う方法であって、
前記基準信号の掃引範囲および掃引間隔を入力するステップと、
前記被測定物を合否判定するための判定円の中心座標と半径を入力するステップと、
前記入力される中心座標を第一の記憶手段に記憶するステップと、
第二の記憶手段に記憶される配列の、前記掃引範囲と前記掃引間隔とから決定される測定点数個の要素のそれぞれに前記入力される半径を格納するステップと、
前記被測定物の網特性を測定し、前記測定点数個の測定値を得るステップと、
第三の記憶手段に記憶される配列の前記測定点数個の要素のそれぞれに前記得られる測定値を格納するステップと、
前記第三の記憶手段から前記測定値を読み出し、前記第一の記憶手段から前記中心座標を読み出し、前記読み出した測定値と前記読み出した中心座標との差分値を求め、さらに前記読み出した測定値に関連する前記半径を前記第二の記憶手段から読み出し、前記差分値と前記読み出した半径とを参照して、前記参照する差分値の大きさが前記参照する半径以下または前記参照する半径未満であれば前記読み出した測定値を合格と判定するステップと、
を含むことを特徴とする合否判定方法。
【0085】
(実施態様12)
基準信号を周波数掃引または電力掃引させながら被測定物に印加する事により被測定物の網特性を解析する網解析装置において、被測定物の合否判定を行う方法であって、
前記基準信号の掃引範囲および掃引間隔を入力するステップと、
前記被測定物を合否判定するための判定円の中心座標と半径を入力するステップ、
第一の記憶手段に記憶される配列の、前記掃引範囲と前記掃引間隔とから決定される測定点数個の要素のそれぞれに前記入力される中心座標を格納するステップと、
前記入力される半径を第二の記憶手段に記憶するステップと、
前記被測定物の網特性を測定し、前記測定点数個の測定値を得るステップと、
第三の記憶手段に記憶される配列の前記測定点数個の要素のそれぞれに前記得られる測定値を格納するステップと、
前記第三の記憶手段から前記測定値を読み出し、該読み出した測定値に関連する前記中心座標を前記第一の記憶手段から読み出し、前記読み出した測定値と前記読み出した中心座標との差分値を求め、さらに前記第二の記憶手段から前記半径を読み出し、前記差分値と前記読み出した半径とを参照して、前記参照する差分値の大きさが前記参照する半径以下または前記参照する半径未満であれば前記読み出した測定値を合格と判定するステップと、
を含むことを特徴とする合否判定方法。
【0086】
(実施態様13)
基準信号を周波数掃引または電力掃引させながら被測定物に印加する事により被測定物の網特性を解析する網解析装置において、被測定物の合否判定を行う方法であって、
前記基準信号の掃引範囲および掃引間隔を入力するステップと、
前記被測定物を合否判定するための判定円の中心座標と半径を入力するステップと、
第一の記憶手段に記憶される配列の、前記掃引範囲と前記掃引間隔とから決定される測定点数個の要素のそれぞれに前記入力される中心座標を格納するステップと、
第二の記憶手段に記憶される配列の前記測定点数個の要素のそれぞれに前記入力される半径を格納するステップと、
前記被測定物の網特性を測定し、前記測定点数個の測定値を得るステップと、
第三の記憶手段に記憶される配列の前記測定点数個の要素のそれぞれに前記得られる測定値を格納するステップと、
前記第三の記憶手段から前記測定値を読み出し、該読み出した測定値に関連する前記中心座標を前記第一の記憶手段から読み出し、前記読み出した測定値と前記読み出した中心座標との差分値を求め、さらに前記読み出した測定値に関連する前記半径を前記第二の記憶手段から読み出し、前記差分値と前記読み出した半径とを参照して、前記参照する差分値の大きさが前記参照する半径以下または前記参照する半径未満であれば前記読み出した測定値を合格と判定するステップと、
を含むことを特徴とする合否判定方法。
【0087】
(実施態様14)
さらに、
前記第三の記憶手段に記憶される配列の各要素に格納される測定値について、その全てが前記判定ステップにおいて合格と判定される時に、前記被測定物を合格と判定するステップを、
含むことを特徴とする実施態様10乃至実施態様13のいずれかに記載の合否判定方法。
【0088】
(実施態様15)
さらに、
前記掃引範囲のうちから判定対象の範囲を定める判定範囲を入力するステップと、
前記第三の記憶手段に記憶される配列の各要素に格納される測定値のうち前記入力される判定範囲内にある測定値について、その全てが前記判定手段により合格と判定される時に、前記被測定物を合格と判定するステップと、
を含むことを特徴とする実施態様10乃至実施態様13のいずれかに記載の合否判定方法。
【0089】
(実施態様16)
さらに、
前記中心座標を極座標の原点とし、前記測定値または前記判定円を前記極座標上に表示するステップ、
を含むことを特徴とする実施態様10乃至15のいずれかに記載の合否判定方法。
【0090】
(実施態様17)
さらに、
前記測定値を表示するステップにおいて、前記測定値を表示する時に、前記測定値が合格か否かに応じて形状、模様または色彩を変えて表示する、
ことを特徴とする実施態様16に記載の合否判定方法。
【0091】
(実施態様18)
網解析装置において、被測定物の合否判定を行う方法であって、
被測定物の網特性を測定するステップと
前記測定ステップにおいて測定された測定値が、中心座標と半径とにより表される判定円内に収まっているか否かを判定するステップと、
前記中心座標を極座標の原点とし、前記測定値または前記判定円を前記極座標上に表示するステップと、
を含むことを特徴とする合否判定方法。
【0092】
(実施態様19)
基準信号を周波数掃引または電力掃引させながら被測定物に印加する事により被測定物の網特性を解析する網解析装置であって、第一の入力手段と第二の入力手段と測定手段と第一の記憶手段と第二の記憶手段と第三の記憶手段とを備える網解析装置に被測定物の合否判定を行わせるプログラムであって、
前記基準信号の掃引範囲および掃引間隔を入力するステップと、
前記被測定物を合否判定するための判定円の中心座標と半径を入力するステップと、
前記入力される中心座標を第一の記憶手段に記憶するステップと、
前記入力される半径を第二の記憶手段に記憶するステップと、
前記被測定物の網特性を測定し、前記掃引範囲と前記掃引間隔とから決定される測定点数個の測定値を得るステップと、
第三の記憶手段に記憶される配列の前記測定点数個の要素のそれぞれに前記得られる測定値を格納するステップと、
前記第三の記憶手段から前記測定値を読み出し、前記第一の記憶手段から前記中心座標を読み出し、前記読み出した測定値と前記読み出した中心座標との差分値を求め、さらに前記第二の記憶手段から前記半径を読み出し、前記差分値と前記読み出した半径とを参照して、前記参照する差分値の大きさが前記参照する半径以下または前記参照する半径未満であれば前記読み出した測定値を合格と判定するステップと、
を含むことを特徴とするプログラム。
【0093】
(実施態様20)
基準信号を周波数掃引または電力掃引させながら被測定物に印加する事により被測定物の網特性を解析する網解析装置であって、第一の入力手段と第二の入力手段と測定手段と第一の記憶手段と第二の記憶手段と第三の記憶手段とを備える網解析装置に被測定物の合否判定を行わせるプログラムであって、
前記基準信号の掃引範囲および掃引間隔を入力するステップと、
前記被測定物を合否判定するための判定円の中心座標と半径を入力するステップと、
前記入力される中心座標を第一の記憶手段に記憶するステップと、
第二の記憶手段に記憶される配列の、前記掃引範囲と前記掃引間隔とから決定される測定点数個の要素のそれぞれに前記入力される半径を格納するステップと、
前記被測定物の網特性を測定し、前記測定点数個の測定値を得るステップと、
第三の記憶手段に記憶される配列の前記測定点数個の要素のそれぞれに前記得られる測定値を格納するステップと、
前記第三の記憶手段から前記測定値を読み出し、前記第一の記憶手段から前記中心座標を読み出し、前記読み出した測定値と前記読み出した中心座標との差分値を求め、さらに前記読み出した測定値に関連する前記半径を前記第二の記憶手段から読み出し、前記差分値と前記読み出した半径とを参照して、前記参照する差分値の大きさが前記参照する半径以下または前記参照する半径未満であれば前記読み出した測定値を合格と判定するステップと、
を含むことを特徴とするプログラム。
【0094】
(実施態様21)
基準信号を周波数掃引または電力掃引させながら被測定物に印加する事により被測定物の網特性を解析する網解析装置であって、第一の入力手段と第二の入力手段と測定手段と第一の記憶手段と第二の記憶手段と第三の記憶手段とを備える網解析装置に被測定物の合否判定を行わせるプログラムであって、
前記基準信号の掃引範囲および掃引間隔を入力するステップと、
前記被測定物を合否判定するための判定円の中心座標と半径を入力するステップ、
第一の記憶手段に記憶される配列の、前記掃引範囲と前記掃引間隔とから決定される測定点数個の要素のそれぞれに前記入力される中心座標を格納するステップと、
前記入力される半径を第二の記憶手段に記憶するステップと、
前記被測定物の網特性を測定し、前記測定点数個の測定値を得るステップと、
第三の記憶手段に記憶される配列の前記測定点数個の要素のそれぞれに前記得られる測定値を格納するステップと、
前記第三の記憶手段から前記測定値を読み出し、該読み出した測定値に関連する前記中心座標を前記第一の記憶手段から読み出し、前記読み出した測定値と前記読み出した中心座標との差分値を求め、さらに前記第二の記憶手段から前記半径を読み出し、前記差分値と前記読み出した半径とを参照して、前記参照する差分値の大きさが前記参照する半径以下または前記参照する半径未満であれば前記読み出した測定値を合格と判定するステップと、
を含むことを特徴とするプログラム。
【0095】
(実施態様22)
基準信号を周波数掃引または電力掃引させながら被測定物に印加する事により被測定物の網特性を解析する網解析装置であって、第一の入力手段と第二の入力手段と測定手段と第一の記憶手段と第二の記憶手段と第三の記憶手段とを備える網解析装置に被測定物の合否判定を行わせるプログラムであって、
前記基準信号の掃引範囲および掃引間隔を入力するステップと、
前記被測定物を合否判定するための判定円の中心座標と半径を入力するステップと、
第一の記憶手段に記憶される配列の、前記掃引範囲と前記掃引間隔とから決定される測定点数個の要素のそれぞれに前記入力される中心座標を格納するステップと、
第二の記憶手段に記憶される配列の前記測定点数個の要素のそれぞれに前記入力される半径を格納するステップと、
前記被測定物の網特性を測定し、前記測定点数個の測定値を得るステップと、
第三の記憶手段に記憶される配列の前記測定点数個の要素のそれぞれに前記得られる測定値を格納するステップと、
前記第三の記憶手段から前記測定値を読み出し、該読み出した測定値に関連する前記中心座標を前記第一の記憶手段から読み出し、前記読み出した測定値と前記読み出した中心座標との差分値を求め、さらに前記読み出した測定値に関連する前記半径を前記第二の記憶手段から読み出し、前記差分値と前記読み出した半径とを参照して、前記参照する差分値の大きさが前記参照する半径以下または前記参照する半径未満であれば前記読み出した測定値を合格と判定するステップと、
を含むことを特徴とするプログラム。
【0096】
(実施態様23)
さらに、
前記第三の記憶手段に記憶される配列の各要素に格納される測定値について、その全てが前記判定ステップにおいて合格と判定される時に、前記被測定物を合格と判定するステップを、
含むことを特徴とする実施態様19乃至実施態様22のいずれかに記載のプログラム。
【0097】
(実施態様24)
さらに、
前記掃引範囲のうちから判定対象の範囲を定める判定範囲を入力するステップと、
前記第三の記憶手段に記憶される配列の各要素に格納される測定値のうち前記入力される判定範囲内にある測定値について、その全てが前記判定手段により合格と判定される時に、前記被測定物を合格と判定するステップと、
を含むことを特徴とする実施態様19乃至実施態様22のいずれかに記載のプログラム。
【0098】
(実施態様25)
さらに、
前記網解析装置は、表示手段を備え、
前記中心座標を極座標の原点とし、前記測定値または前記判定円を前記極座標上に表示するステップ、
を含むことを特徴とする実施態様19乃至24のいずれかに記載のプログラム。
【0099】
(実施態様26)
さらに、
前記測定値を表示するステップにおいて、前記測定値を表示する時に、前記測定値が合格か否かに応じて形状、模様または色彩を変えて表示する、
ことを特徴とする実施態様25に記載の合否判定方法。
【0100】
(実施態様27)
測定手段と判定手段と表示手段とを備える網解析装置に被測定物の合否判定を行わせるプログラムであって、
前記測定手段により、被測定物の網特性を測定するステップと
前記判定手段により、前記測定ステップにおいて測定された測定値が、中心座標と半径とにより表される判定円内に収まっているか否かを判定するステップと、
前記表示手段により、前記中心座標を極座標の原点とし、前記測定値または前記判定円を前記極座標上に表示するステップと、
を含むことを特徴とするプログラム。
【0101】
【発明の効果】
本発明よれば、フィルムに判定円を描く必要がなくなり、極座標上に表示される判定円を表示させずとも合否判定を行うことができるようになり、極座標上に測定結果を表示する際に判定円に上書き表示させることができ、また、多様な形状の判定円を正確に設定することができるようになった。また、判定範囲を設定できるようにしたので、判定範囲を含む広い範囲の測定を同時に行うことができる。これにより、合否判定を他の検査工程と併合することが容易になった。さらに、判定のために必要となる差分値を全測定値に対して計算するようにすれば、従来の網解析装置に備わっている演算機能の一部を流用することができ、僅かな改変により合否判定機能を追加することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の好適実施形態であるネットワーク・アナライザ100の概略構成示す図である。
【図2】本発明の好適実施形態であるネットワーク・アナライザ100の動作を示すフローチャートである。
【図3】本発明の好適実施形態であるネットワーク・アナライザ100が具備する記憶部130の内部を示す図である。
【図4】本発明の好適実施形態であるネットワーク・アナライザ100が具備する記憶部130の内部を示す図である。
【図5】本発明の好適実施形態であるネットワーク・アナライザ100が具備する記憶部130の内部を示す図である。
【図6】本発明の好適実施形態であるネットワーク・アナライザ100が具備する記憶部130の内部を示す図である。
【図7】本発明の好適実施形態であるネットワーク・アナライザ100の表示例を示す図である。
【図8】本発明の好適実施形態であるネットワーク・アナライザ100の表示例を示す図である。
【符号の説明】
10 被測定物
100 ネットワーク・アナライザ
110 測定部
120 表示部
130 記憶部
140 演算処理部
150 ドライブ装置
160 入力部
170 通信部
210,220,230,240 記憶領域
250,260,270 記憶領域
360,370,380 記憶領域
P1,P2 測定ポート
Claims (7)
- 基準信号を周波数掃引または電力掃引させながら被測定物に印加する事により被測定物の網特性を解析する網解析装置において、
前記基準信号の掃引範囲および掃引間隔を入力するための第一の入力手段と、
前記被測定物を合否判定するための判定円の中心座標と半径を入力するための第二の入力手段と、
入力される前記中心座標を記憶する第一の記憶手段と、
入力される前記半径を記憶する第二の記憶手段と、
前記被測定物の網特性を測定し、前記掃引範囲と前記掃引間隔とから決定される測定点数個の測定値を得る測定手段と、
前記測定点数個の要素を有し、得られる前記測定値が該要素のそれぞれに格納される配列を記憶する第三の記憶手段と、
前記第三の記憶手段から前記測定値を読み出し、前記第一の記憶手段から前記中心座標を読み出し、前記読み出した測定値と前記読み出した中心座標との差分値を求め、さらに前記第二の記憶手段から前記半径を読み出し、前記差分値と前記読み出した半径とを参照して、前記参照する差分値の大きさが前記参照する半径以下または前記参照する半径未満であれば前記読み出した測定値を合格と判定する判定手段と、
を備えることを特徴とする網解析装置。 - 基準信号を周波数掃引または電力掃引させながら被測定物に印加する事により被測定物の網特性を解析する網解析装置において、
前記基準信号の掃引範囲および掃引間隔を入力するための第一の入力手段と、
前記被測定物を合否判定するための判定円の中心座標と半径を入力するための第二の入力手段と、
前記掃引範囲と前記掃引間隔とから決定される測定点数個の要素を有し、入力される前記中心座標が該要素のそれぞれに格納される配列を記憶する第一の記憶手段と、
前記測定点数個の要素を有し、入力される前記半径が該要素のそれぞれに格納される配列を記憶する第二の記憶手段と、
前記被測定物の網特性を測定し、前記測定点数個の測定値を得る測定手段と、
前記測定点数個の要素を有し、得られる前記測定値が該要素のそれぞれに格納される配列を記憶する第三の記憶手段と、
前記第三の記憶手段から前記測定値を読み出し、該読み出した測定値に関連する前記中心座標を前記第一の記憶手段から読み出し、前記読み出した測定値と前記読み出した中心座標との差分値を求め、さらに前記読み出した測定値に関連する前記半径を前記第二の記憶手段から読み出し、前記差分値と前記読み出した半径とを参照して、前記参照する差分値の大きさが前記参照する半径以下または前記参照する半径未満であれば前記読み出した測定値を合格と判定する判定手段と、
を備えることを特徴とする網解析装置。 - 前記第三の記憶手段に記憶される配列の各要素に格納される測定値について、その全てが前記判定手段により合格と判定される時に、前記被測定物を合格と判定する、
ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の網解析装置。 - 前記掃引範囲のうちから判定対象の範囲を定める判定範囲を入力するための第三の入力手段を備え、
前記第三の記憶手段に記憶される配列の各要素に格納される測定値のうち前記第三の入力手段により入力される判定範囲内にある測定値について、その全てが前記判定手段により合格と判定される時に、前記被測定物を合格と判定する、
ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の網解析装置。 - 前記中心座標を極座標の原点とし、前記測定値または前記判定円を前記極座標上に表示する手段を備えることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の網解析装置。
- 前記測定値を表示する時、前記測定値が合格か否かに応じて形状、模様または色彩を変えて表示する、
ことを特徴とする請求項5に記載の網解析装置。 - 網解析装置において、
被測定物の網特性を測定する手段と
前記測定手段により測定された測定値が、中心座標と半径とにより表される判定円内に収まっているか否かを判定する手段と、
前記中心座標を極座標の原点とし、前記測定値または前記判定円を前記極座標上に表示する手段と、
を備えることを特徴とする網解析装置。
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