JP2004350489A - 多層電極スタックを有する静電駆動器 - Google Patents
多層電極スタックを有する静電駆動器 Download PDFInfo
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- Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
Abstract
【解決手段】第1本体は導電性表面を有し、第2本体は、間隔によって導電性表面から隔置された本体表面を有する。導体層および駆動器電極は第2本体の窪みにあり、電極面は、間隔を挟んで導電性表面に面する。駆動器電極は、間隔の絶縁破壊による導体層と導電性表面との短絡を防止する電気抵抗と厚さとの組合せを有する半絶縁性材料を備える。
【選択図】図1
Description
本発明の実施形態を特徴付ける他の特徴および利点は、以下の詳細な説明を読み、添付図面を検討することにより明白になる。
本出願は、導電性層の半絶縁性電極コーティングについて開示する。半絶縁性電極コーティングと導電性層は、一緒になって多層電極スタックを構成する。導電性層は、通常は金属であり、半絶縁性層の長さおよび幅にわたって均一の電圧が印加されることを保証する。半絶縁性電極コーティングは、凹凸、遊動粒子または他の原因から生じるような空気絶縁破壊により接触した場合に、電極とディスク間の破壊的放電を制限する厚さと電気抵抗との組合せを有する。多層電極スタックを絶縁されていない本体上に配置する場合、多層電極スタックは、導体層を本体から絶縁する絶縁層も含むことができる。
102 ベース
106 ディスク・パック
108 ディスク・クランプ
110 スライダ
112 サスペンション
114 アーム
116 駆動器
118 音声コイル・モータ
120 旋回シャフト
122 アーチ形路
124 ディスク内径
126 ディスク外径
130 サーボ・エレクトロニクス
140 静電駆動器
142 間隔
144 第1本体
146 導電性表面
148 第2本体
150 本体表面
152 導体層
154 導体面
156 駆動器電極
158 電極面
170 静電駆動器回路
172 静電駆動器
174、176 導体
178 電位源
180 電圧源
182 電気抵抗
184 間隔
186 粒子
188 導電性表面
190 半絶縁性材料
192 電気抵抗
194 電極面
196 キャパシタンス
200 縦軸
202 横軸
204 電極表面幅
206 垂直点線
208 水平点線
210 実線
212 局所的部分
220 駆動器
222 サスペンション
224 名目間隔
226 調節した間隔
230 ばね要素
232、234 並進運動要素
240 駆動器
242 電気絶縁層
244 接触パッド
246 接続リード線
248 軟質リード線
250 共通導体
260 スライダ
262 ディスク
263 導電性表面
264 スライダ表面
266 後側
268 底側
270 隆起表面
272 読み書きヘッド
274 導体層
275 ヘッド表面
276 空隙
278 絶縁層
280 導体面
282 駆動器電極
284 電極面
286 静電荷電部分
300 スライダ
302 基板
304 後側
306 底側
308、310、312、314 隆起表面
309 空隙
316 読み書きヘッド
318、320、322 絶縁層
324 リード線
330 駆動器電極
332、334、336、338 ボンディング・パッド
340 ボンディング・パッド/縦軸
350 スライダ
352 トレンチ
370 スライダ
372 駆動器電極
Claims (30)
- 間隔を調節する静電駆動器で、
導電性表面を含む第1本体と、
間隔によって導電性表面から隔置された本体表面を有する第2本体と、
第2本体表面から絶縁状態で引込んだ導体層とを備え、導体層は導体面を有し、さらに、
導体面に配置され、間隔を挟んで導電性表面に面する電極面を有する駆動器電極を備え、駆動器電極が、間隔を通した導体層と導電性表面との短絡を防止する電気抵抗と厚さとの組合せを有する半絶縁性材料を備える静電駆動器。 - 第2本体が電気的に絶縁され、導体層が第2本体上に配置される、請求項1に記載の静電駆動器。
- 間隔が250オングストローム以内である、請求項1に記載の静電駆動器。
- 間隔が一過性の絶縁破壊を経験し、半絶縁性材料は、空気絶縁破壊によって電極面と導電性表面とが短絡すると、導体層の放電を制限する電気抵抗を有する、請求項1に記載の静電駆動器。
- 半絶縁性材料は、一時的短絡を除去した後、電極面が、50マイクロ秒以内で導体層に電位の63%を再荷電するよう緩和時間を有する、請求項1に記載の静電駆動器。
- 間隔が一過性の絶縁破壊を経験し、半絶縁性材料は、破壊による短絡が破壊周辺の電極面の部分に局所化され、破壊から遠い電極面の部分は短絡しないような電気抵抗と厚さとを有する、請求項1に記載の静電駆動器。
- さらに、
第1本体と第2本体との間に結合され、第1本体からの名目的間隔にて第2本体を弾性的に懸架するサスペンションと、
電極面と導電性表面との間に、名目間隔から調節した間隔へと間隔を調節する引力を生成するため、導体層と導電性表面との間に調節電位を印加する電位源とを備える、請求項1に記載の静電駆動器。 - 電位源が電源抵抗を有し、駆動器電極が、絶縁破壊による短絡抵抗を有し、短絡抵抗が電源抵抗の少なくとも10倍である、請求項7に記載の静電駆動器。
- さらに、第2本体と導体層の間に配置された電気絶縁層を備える、請求項1に記載の静電駆動器。
- さらに、第2本体上の接触パッド、および導体層と接触パッドの間に結合された接続リード線を備える、請求項1に記載の静電駆動器。
- さらに、接触パッドに結合された軟質リード線を備える、請求項10に記載の静電駆動器。
- 第1本体が、第2本体の電位と等しい電位を有する、請求項1に記載の静電駆動器。
- ディスクに記憶されたデータにアクセスするスライダで、
後側、ディスクに面する底側、および底側から突出した隆起表面を有するスライダ基板を備え、隆起表面が空気支承表面の第1部分を形成し、さらに、
後側上の読み書きヘッドを備え、読み書きヘッドは、データにアクセスし、空気支承表面の第2部分を形成するヘッド表面を有し、さらに、
空気支承表面にて開いた空隙内に絶縁状態で引込んだ導体層を備え、導体層が導体面を有し、さらに、
導体面に配置され、空気支承層の導電性間隔を挟んでディスクに面する電極面を有する駆動器電極を備え、駆動器電極は、導体層からディスクへの短絡を防止する電気抵抗と厚さとの組合せを有する半絶縁性材料を備えるスライダ。 - 駆動部電極と空気支承表面との間にトレンチ・カットを含み、トレンチが、電極面と空気支承表面との間に空力的分離を提供する、請求項13に記載のスライダ。
- 駆動器電極が読み書きヘッドの後を追う、請求項13に記載のスライダ。
- 駆動器電極が読み書きヘッドを案内する、請求項13に記載のスライダ。
- 間隔が250オングストローム以内である、請求項13に記載のスライダ。
- 間隔が一過性の絶縁破壊を経験し、半絶縁性材料は、電極面とディスクとが短絡すると、導体層の放電を制限する電気抵抗を有する、請求項13に記載のスライダ。
- 半絶縁性材料は、一時的短絡を除去した後、電極面が、50マイクロ秒以内で導体層に電位の63%を再荷電するような緩和時間を有する、請求項13に記載のスライダ。
- 間隔が絶縁破壊を経験し、半絶縁性材料は、破壊による短絡が破壊周辺の電極面の部分に局所化し、破壊から遠い電極面の部分は短絡しないような電気抵抗および厚さを有する、請求項19に記載のスライダ。
- さらに、
スライダとディスクの間に結合され、ディスクからの名目的間隔にてスライダを弾性的に懸架するサスペンションと、
電極面とディスクの間に、名目間隔から調節した間隔へと間隔を調節する引力を生成するため、導体層とディスクの間に調節電位を印加する電位源とを備える、請求項13に記載のスライダ。 - 電位源が電源抵抗を有し、駆動器電極が絶縁破壊による短絡抵抗を有し、短絡抵抗が電源抵抗の少なくとも10倍である、請求項13に記載のスライダ。
- さらに、スライダ基板と導体層の間に配置された電気絶縁層を備える、請求項13に記載のスライダ。
- さらに、スライダ基板上の接触パッド、および導体層と接触パッドの間に結合された接続リード線を備える、請求項13に記載のスライダ。
- さらに、接触パッドに結合された軟質リード線を備える、請求項13に記載のスライダ。
- スライダ基板が、ディスクの電位と等しい電位を有する、請求項13に記載のスライダ。
- 間隔を調節する静電駆動器で、
間隔によって分離された第1および第2本体を備え、静電駆動器の電極手段を受けるため、導体面が第2本体の窪みにあり、さらに、
間隔の絶縁破壊による導体層と導電性表面との短絡を防止する電気抵抗と厚さとの組合せを有する静電駆動器電極手段とを備える静電駆動器。 - 間隔が一過性の絶縁破壊を経験し、静電駆動器電極手段は、絶縁破壊による電極面とディスクとが短絡すると、導体層の放電を制限する電気抵抗を有する、請求項27に記載の静電駆動器。
- 静電駆動器電極手段は、一時的短絡を除去した後、電極面が、50マイクロ秒以内で導体層に電位の63%を再荷電するような緩和時間を有する、請求項27に記載の静電駆動器。
- 間隔が一過性の絶縁破壊を経験し、静電駆動器電極手段は、絶縁破壊による短絡が粒子周辺の電極面の部分に局所化され、粒子から遠い電極面の部分は短絡しないような電気抵抗と厚さとを有する、請求項27に記載の静電駆動器。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012009101A (ja) * | 2010-06-23 | 2012-01-12 | Toshiba Corp | ヘッドおよびこれを備えたディスク装置 |
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Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2825680B1 (fr) * | 2001-06-07 | 2003-09-26 | Sagem | Actionneur de commande de vol primaire a moteur a vibration |
US7199960B1 (en) * | 2001-12-11 | 2007-04-03 | Maxtor Corporation | Disk drive with AC exciter for head/disk interface |
US7336443B2 (en) * | 2002-02-27 | 2008-02-26 | Seagate Technology Llc | Slider for a data storage device with a floating transducer body and method of fabrication therefor |
US7042670B2 (en) * | 2003-07-11 | 2006-05-09 | Sae Magnetics (H.K.) Ltd. | Method for adjusting flying height of magnetic heads using an electrical charge through an electrical pad on the slider |
US6985326B2 (en) * | 2003-11-17 | 2006-01-10 | Seagate Technology Llc | Multi-layer electrode device on slider for electrostatic fly height adjustment |
US7450342B2 (en) * | 2005-03-14 | 2008-11-11 | Seagate Technology Llc | Composite head-electrical conditioner assembly |
JP4366366B2 (ja) * | 2006-02-16 | 2009-11-18 | 富士通株式会社 | 記録媒体駆動装置並びにヘッドスライダおよびその制御方法 |
US7440219B2 (en) * | 2006-11-28 | 2008-10-21 | Sae Magnetics (H.K.) Ltd. | Non-contact measurement of slider fly height by electrostatic force |
US7929249B2 (en) * | 2007-03-28 | 2011-04-19 | Seagate Technology Llc | Spring loaded head for reduced fly height and tracking control |
JP5268762B2 (ja) * | 2009-04-20 | 2013-08-21 | 日本発條株式会社 | 圧電アクチュエータ処理装置および圧電アクチュエータ処理方法 |
US20110007423A1 (en) * | 2009-07-13 | 2011-01-13 | Seagate Technology Llc | Supplemental Layer to Reduce Damage from Recording Head to Recording Media Contact |
GB2483503A (en) * | 2010-09-10 | 2012-03-14 | Epsilon Motors Ltd | Variable capacitance machine |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4605977A (en) | 1983-12-14 | 1986-08-12 | Sperry Corporation | Air bearing head displacement sensor and positioner |
DE3578017D1 (de) * | 1985-11-19 | 1990-07-05 | Ibm | Verfahren und vorrichtung zur regelung der flughoehe des kopfes in einem magnetspeicher. |
US4931887A (en) | 1988-02-01 | 1990-06-05 | International Business Machines Corporation | Capacitive measurement and control of the fly height of a recording slider |
US4823205A (en) | 1988-02-08 | 1989-04-18 | International Business Machines Corporation | Capacitive sensor for head positioning in magnetic recording disk files |
US6359746B1 (en) | 1994-09-14 | 2002-03-19 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Magnetic disk drive |
JP3748911B2 (ja) * | 1995-01-24 | 2006-02-22 | 株式会社東芝 | 記録再生ヘッドスライダ及びこれを用いた記録再生装置 |
US5920978A (en) * | 1995-03-01 | 1999-07-13 | Fujitsu Limited | Method of making a thin film magnetic slider |
US6269687B1 (en) * | 1997-09-22 | 2001-08-07 | Seagate Technology Llc | Force sensing slider |
US6005736A (en) | 1997-10-21 | 1999-12-21 | International Business Machines Corporation | Method and means for active shock protection in a magnetic disk storage device using electrostatic forces |
US6366416B1 (en) | 2000-02-03 | 2002-04-02 | Seagate Technology Llc | Glide test head with active fly height control |
US6088907A (en) | 1998-09-09 | 2000-07-18 | Institute For Advanced Engineering | Method for fabricating a head/slider assembly integrated with a track-following micro actuator |
AU2001279053A1 (en) | 2000-07-28 | 2002-02-13 | Seagate Technology Llc | Disk head slider having cavities for increasing contact stiffness and controlling suction center movement |
JP3934055B2 (ja) | 2001-01-25 | 2007-06-20 | シーゲイト テクノロジー エルエルシー | 統合静電スライダ浮上高制御 |
US6943980B2 (en) | 2001-02-08 | 2005-09-13 | Seagate Technology Llc | Electrostatic track following using patterned media |
JP4111914B2 (ja) * | 2001-08-22 | 2008-07-02 | シーゲイト テクノロジー エルエルシー | ディスクドライブにおける静電フライハイト制御のための接触検出と較正 |
WO2003019538A1 (en) * | 2001-08-22 | 2003-03-06 | Seagate Technology Llc | System and method for electrostatic fly height control |
-
2003
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5178507B2 (ja) * | 2006-03-22 | 2013-04-10 | 京セラ株式会社 | 静圧スライダ、これを備えた搬送装置および処理装置 |
JP2012009101A (ja) * | 2010-06-23 | 2012-01-12 | Toshiba Corp | ヘッドおよびこれを備えたディスク装置 |
Also Published As
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