JP2004349558A - 信号授受方式 - Google Patents
信号授受方式 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004349558A JP2004349558A JP2003146545A JP2003146545A JP2004349558A JP 2004349558 A JP2004349558 A JP 2004349558A JP 2003146545 A JP2003146545 A JP 2003146545A JP 2003146545 A JP2003146545 A JP 2003146545A JP 2004349558 A JP2004349558 A JP 2004349558A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- transmission
- reception
- lsi chip
- metal pad
- signal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
Landscapes
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
Abstract
【課題】物理的コンタクトを用いない、新規な構成の信号授受方式を提供する。
【解決手段】送信LSIチップの最上金属層に送信金属パッドを配置するとともに、受信LSIチップの最上金属層に受信金属パッドを配置し、前記送信金属パッドと前記受信金属パッドとが容量性結合を形成するように前記送信LSIチップと前記受信LSIチップとを近接して配置し、前記容量性結合を利用して信号の授受を行う。
【選択図】 図1
【解決手段】送信LSIチップの最上金属層に送信金属パッドを配置するとともに、受信LSIチップの最上金属層に受信金属パッドを配置し、前記送信金属パッドと前記受信金属パッドとが容量性結合を形成するように前記送信LSIチップと前記受信LSIチップとを近接して配置し、前記容量性結合を利用して信号の授受を行う。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、LSIチップなどのチップ間通信方式などに好ましく用いることのできる、信号授受方式に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来のチップ間通信方式には大きく分けて4つの方式が存在する。第1の方法としては、ラムバス方式に代表される高速インターフェイスで、インピーダンス整合をとり、信号振幅を小さくし、高度なアナログ回路を送受信系回路に用いることによって、高速な信号授受を可能にするものである。このような方式では、設計の複雑さ、コスト、及び電力の増大などの問題があった。
【0003】
第2の方法としては、eDRAM(組み込みDRAM)に代表されるシステムオンチップ(SOC)がある。チップ間通信の場所は同一チップ上に移行されるので、低電力化と高速化とが達成される。しかしながら、製造工程が複雑化すること、一つのチップサイズが大きくなるので歩留まりが低下すること、設計期間が延びることなどの短所があり、用途が制限される。
【0004】
第3の方法としては、3次元LSIを用いる方法があるが、この方法によれば最も複雑なシステムを最もコンパクトに作製できる反面、高度かつ高価なマイクロマシン技術を用いるため量産に向かないという短所がある。
【0005】
第4の方法としては、マイクロバンプに代表される、微小なバンプを用いてチップを接触させる方法がある。この方法によれば、一つのチップ上に多数の入出力パッドを載置できる。また、近距離で信号の授受を行うことができるため、高速性と低電力性とを両立することができる。しかしながら、この方法では、チップ上部に絶縁物質で保護されていない金属が露出するため、チップアセンブリする際にチップ内部の回路が静電破壊を起こさないようにESD回路を搭載する必要があり、入出力回路及びパッドをある程度以下に小さくすることができないという問題がある。したがって、達成可能な通信速度及び電力にも限界があった。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記問題に鑑み、新規な信号授受方式を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成すべく、本発明は、
送信LSIチップの最上金属層に送信金属パッドを配置するとともに、受信LSIチップの最上金属層に受信金属パッドを配置し、前記送信金属パッドと前記受信金属パッドとが容量性結合を形成するように前記送信LSIチップと前記受信LSIチップとを近接して配置し、前記容量性結合を利用して信号の授受を行うことを特徴とする、信号授受方式に関する。
【0008】
本発明によれば、送信LSIチップ及び受信LSIチップを近接させて配置し、これらの最上金属層に設けた送信金属パッド及び受信金属パッド間に形成された容量性結合を用いて、物理的な接触を用いることなく信号の授受を行うようにしている。送受信金属パッドは保護膜で覆われているため、ESD回路は必要なく、ボンディングのための大きなパッドが不要になるため、パッドに対する容量性付加が低減される。その結果、入出力系の容量が従来の物に比較して約3桁減少し、低電力化が達成される。
【0009】
また、複数のチップを非常に近距離に置くことができるので、信号が伝播する距離が短くなり、高速なチップ間通信が可能になる。
【0010】
さらに、送受信に使用する前記送信金属パッド及び前記受信金属パッドの大きさが、従来のものに比べて約2桁小さくすることができるので、同一チップ上により多くのパッドを配置することができる。また、チップ最上金属層にパッドを形成するので、従来のようにチップ周辺にだけしかパッドを配置できない場合に比較して、設計の自由度を増大させることができる。
【0011】
また、送受信系にインピーダンスマッチングなどの特別な回路設計技術が要求されないので、短期間に設計を完了することができる。さらに、システムオンチップなどに比べて低コストでシステムを組み上げることができる。また、複数のチップを物理的に接続しないので、チップの取り外し、再取り付けなどが可能になり、柔軟なシステム設計が可能となる。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を発明の実施の形態に基づいて詳細に説明する。
図1は、本発明の信号授受方式に用いる送信LSIチップ及び受信LSIチップの概要を示す構成図である。図1に示すように、送信LSIチップの最上金属層には送信金属パッドが設けられ、受信LSIチップの最上金属層には受信金属パッドが設けられている。前記送信LSIチップ及び前記受信LSIチップを所定の距離まで近接して配置すると、図2に示すように、送信金属パッド及び受信金属パッド間に容量性結合が形成される。
【0013】
このような容量性結合が形成されると、所定の信号は前記容量性結合を介して送受信することができるようになる。
【0014】
図3は、図1に示す信号受信方式に用いる送受信系の回路図を示すものである。図3に示す回路図においては、上側に送信LSIチップ(送信回路系)が配置され、下側に受信LSIチップ(受信回路系)が示されている。送信LSIチップの、送信金属パッドN1にはVDD/2の電圧が印加され、受信LSIチップの、受信金属パッドN2にもVDD/2の電圧が印加されている。
【0015】
そして、前記送信LSIチップにおいて、データ“1”を送信する際には、VDD/2からVDDに変化させ、データ“0”を送信する場合は、VDD/2から0に変化させる。また、前記受信LSIチップにおいては、上述した前記送信LSIチップの電圧変化に伴って、前記容量性結合に基づき、前記受信金属パッドN2の電位が変化するようになるので、その小振幅信号を例えばセンスアンプで増幅した後、検知することによってデータ“1”又は“0”の信号の受信を完了する。
【0016】
図4は、図3に示すような送受信系を用いて実施した信号の授受の様子を表すグラフである。図4から明らかなように、送信金属パッドN1の電圧変化(信号の送信)に伴って、受信金属パッドN2の電圧も変化しており、送信LSIチップ及び受信LSIチップ間の容量性結合を利用して、信号の送受信が実行されていることが分かる。
【0017】
なお、上記送信金属パッド及び受信金属パッドは、それぞれLSIチップの本体と別個に設けることもできるが、LSIチップの最上金属層に位置する保護層などで覆われた金属層などからも構成することができる。
【0018】
以上、具体例を挙げながら発明の実施の形態に基づいて本発明を詳細に説明してきたが、本発明は上記内容に限定されるものではなく、本発明の範疇を逸脱しない限りにおいてあらゆる変形や変更が可能である。
【0019】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、容量性結合を用い、物理的なコンタクトを用いることのない新規な信号授受方式を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の信号授受方式に用いる送信LSIチップ及び受信LSIチップの概要を示す構成図である。
【図2】送信金属パッド及び受信金属パッド間に形成された容量性結合を示す図である。
【図3】図1に示す信号受信方式に用いる送受信系の回路図である。
【図4】本発明の信号授受方式における信号の授受の様子を表すグラフである。
【発明の属する技術分野】
本発明は、LSIチップなどのチップ間通信方式などに好ましく用いることのできる、信号授受方式に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来のチップ間通信方式には大きく分けて4つの方式が存在する。第1の方法としては、ラムバス方式に代表される高速インターフェイスで、インピーダンス整合をとり、信号振幅を小さくし、高度なアナログ回路を送受信系回路に用いることによって、高速な信号授受を可能にするものである。このような方式では、設計の複雑さ、コスト、及び電力の増大などの問題があった。
【0003】
第2の方法としては、eDRAM(組み込みDRAM)に代表されるシステムオンチップ(SOC)がある。チップ間通信の場所は同一チップ上に移行されるので、低電力化と高速化とが達成される。しかしながら、製造工程が複雑化すること、一つのチップサイズが大きくなるので歩留まりが低下すること、設計期間が延びることなどの短所があり、用途が制限される。
【0004】
第3の方法としては、3次元LSIを用いる方法があるが、この方法によれば最も複雑なシステムを最もコンパクトに作製できる反面、高度かつ高価なマイクロマシン技術を用いるため量産に向かないという短所がある。
【0005】
第4の方法としては、マイクロバンプに代表される、微小なバンプを用いてチップを接触させる方法がある。この方法によれば、一つのチップ上に多数の入出力パッドを載置できる。また、近距離で信号の授受を行うことができるため、高速性と低電力性とを両立することができる。しかしながら、この方法では、チップ上部に絶縁物質で保護されていない金属が露出するため、チップアセンブリする際にチップ内部の回路が静電破壊を起こさないようにESD回路を搭載する必要があり、入出力回路及びパッドをある程度以下に小さくすることができないという問題がある。したがって、達成可能な通信速度及び電力にも限界があった。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記問題に鑑み、新規な信号授受方式を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成すべく、本発明は、
送信LSIチップの最上金属層に送信金属パッドを配置するとともに、受信LSIチップの最上金属層に受信金属パッドを配置し、前記送信金属パッドと前記受信金属パッドとが容量性結合を形成するように前記送信LSIチップと前記受信LSIチップとを近接して配置し、前記容量性結合を利用して信号の授受を行うことを特徴とする、信号授受方式に関する。
【0008】
本発明によれば、送信LSIチップ及び受信LSIチップを近接させて配置し、これらの最上金属層に設けた送信金属パッド及び受信金属パッド間に形成された容量性結合を用いて、物理的な接触を用いることなく信号の授受を行うようにしている。送受信金属パッドは保護膜で覆われているため、ESD回路は必要なく、ボンディングのための大きなパッドが不要になるため、パッドに対する容量性付加が低減される。その結果、入出力系の容量が従来の物に比較して約3桁減少し、低電力化が達成される。
【0009】
また、複数のチップを非常に近距離に置くことができるので、信号が伝播する距離が短くなり、高速なチップ間通信が可能になる。
【0010】
さらに、送受信に使用する前記送信金属パッド及び前記受信金属パッドの大きさが、従来のものに比べて約2桁小さくすることができるので、同一チップ上により多くのパッドを配置することができる。また、チップ最上金属層にパッドを形成するので、従来のようにチップ周辺にだけしかパッドを配置できない場合に比較して、設計の自由度を増大させることができる。
【0011】
また、送受信系にインピーダンスマッチングなどの特別な回路設計技術が要求されないので、短期間に設計を完了することができる。さらに、システムオンチップなどに比べて低コストでシステムを組み上げることができる。また、複数のチップを物理的に接続しないので、チップの取り外し、再取り付けなどが可能になり、柔軟なシステム設計が可能となる。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を発明の実施の形態に基づいて詳細に説明する。
図1は、本発明の信号授受方式に用いる送信LSIチップ及び受信LSIチップの概要を示す構成図である。図1に示すように、送信LSIチップの最上金属層には送信金属パッドが設けられ、受信LSIチップの最上金属層には受信金属パッドが設けられている。前記送信LSIチップ及び前記受信LSIチップを所定の距離まで近接して配置すると、図2に示すように、送信金属パッド及び受信金属パッド間に容量性結合が形成される。
【0013】
このような容量性結合が形成されると、所定の信号は前記容量性結合を介して送受信することができるようになる。
【0014】
図3は、図1に示す信号受信方式に用いる送受信系の回路図を示すものである。図3に示す回路図においては、上側に送信LSIチップ(送信回路系)が配置され、下側に受信LSIチップ(受信回路系)が示されている。送信LSIチップの、送信金属パッドN1にはVDD/2の電圧が印加され、受信LSIチップの、受信金属パッドN2にもVDD/2の電圧が印加されている。
【0015】
そして、前記送信LSIチップにおいて、データ“1”を送信する際には、VDD/2からVDDに変化させ、データ“0”を送信する場合は、VDD/2から0に変化させる。また、前記受信LSIチップにおいては、上述した前記送信LSIチップの電圧変化に伴って、前記容量性結合に基づき、前記受信金属パッドN2の電位が変化するようになるので、その小振幅信号を例えばセンスアンプで増幅した後、検知することによってデータ“1”又は“0”の信号の受信を完了する。
【0016】
図4は、図3に示すような送受信系を用いて実施した信号の授受の様子を表すグラフである。図4から明らかなように、送信金属パッドN1の電圧変化(信号の送信)に伴って、受信金属パッドN2の電圧も変化しており、送信LSIチップ及び受信LSIチップ間の容量性結合を利用して、信号の送受信が実行されていることが分かる。
【0017】
なお、上記送信金属パッド及び受信金属パッドは、それぞれLSIチップの本体と別個に設けることもできるが、LSIチップの最上金属層に位置する保護層などで覆われた金属層などからも構成することができる。
【0018】
以上、具体例を挙げながら発明の実施の形態に基づいて本発明を詳細に説明してきたが、本発明は上記内容に限定されるものではなく、本発明の範疇を逸脱しない限りにおいてあらゆる変形や変更が可能である。
【0019】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、容量性結合を用い、物理的なコンタクトを用いることのない新規な信号授受方式を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の信号授受方式に用いる送信LSIチップ及び受信LSIチップの概要を示す構成図である。
【図2】送信金属パッド及び受信金属パッド間に形成された容量性結合を示す図である。
【図3】図1に示す信号受信方式に用いる送受信系の回路図である。
【図4】本発明の信号授受方式における信号の授受の様子を表すグラフである。
Claims (6)
- 送信LSIチップの最上金属層に送信金属パッドを配置するとともに、受信LSIチップの最上金属層に受信金属パッドを配置し、前記送信金属パッドと前記受信金属パッドとが容量性結合を形成するように前記送信LSIチップと前記受信LSIチップとを近接して配置し、前記容量性結合を利用して信号の授受を行うことを特徴とする、信号授受方式。
- 前記送信金属パッド及び前記受信金属パッドの少なくとも一方は、電源電圧VDDの半分の値(VDD/2)にプリチャージすることを特徴とする、請求項1に記載の信号授受方式。
- 前記送信金属パッドの電圧値は、信号の送信に応じて前記VDD/2からVDD又は0に変化させることを特徴とする、請求項1又は2に記載の信号授受方式。
- 前記送信金属パッドは、前記送信LSIチップの最上金属層に位置するメタル層からなることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一に記載の信号授受方式。
- 前記受信金属パッドは、前記受信LSIチップの最上金属層に位置するメタル層からなることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一に記載の信号授受方式。
- 前記信号をセンスアンプで増幅することを特徴とする、請求項1〜5のいずれか一に記載の信号授受方式。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003146545A JP2004349558A (ja) | 2003-05-23 | 2003-05-23 | 信号授受方式 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003146545A JP2004349558A (ja) | 2003-05-23 | 2003-05-23 | 信号授受方式 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004349558A true JP2004349558A (ja) | 2004-12-09 |
Family
ID=33533368
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003146545A Pending JP2004349558A (ja) | 2003-05-23 | 2003-05-23 | 信号授受方式 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004349558A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006108439A1 (en) * | 2005-04-15 | 2006-10-19 | Qimonda Ag | Ic chip package, test equipment and interface for performing a functional test of a chip contained within said chip package |
WO2009119166A1 (ja) * | 2008-03-24 | 2009-10-01 | 日本電気株式会社 | 半導体光配線装置及び半導体光配線方法 |
-
2003
- 2003-05-23 JP JP2003146545A patent/JP2004349558A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006108439A1 (en) * | 2005-04-15 | 2006-10-19 | Qimonda Ag | Ic chip package, test equipment and interface for performing a functional test of a chip contained within said chip package |
WO2009119166A1 (ja) * | 2008-03-24 | 2009-10-01 | 日本電気株式会社 | 半導体光配線装置及び半導体光配線方法 |
US8363989B2 (en) | 2008-03-24 | 2013-01-29 | Nec Corporation | Semiconductor optical interconnection device and semiconductor optical interconnection method |
JP5429160B2 (ja) * | 2008-03-24 | 2014-02-26 | 日本電気株式会社 | 半導体光配線装置及び半導体光配線方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9177911B2 (en) | Package substrates with multiple dice | |
KR101599656B1 (ko) | 온-패키지 입/출력 인터페이스들을 이용한 패키지 내의 다이에 대한 패키징된 칩의 인터커넥션 | |
TWI715642B (zh) | 三維封裝裝置及其方法與電子裝置 | |
TWI411089B (zh) | Semiconductor device | |
CN208062047U (zh) | 具有集成dram的系统级封装 | |
US7514289B2 (en) | Methods and structures for facilitating proximity communication | |
TWI681513B (zh) | 具有應力重分布層之可延伸電子元件製作方法 | |
US20120051113A1 (en) | Semiconductor integrated circuit | |
JP2013025806A (ja) | モノランクとマルチランクとに互換可能なメモリ装置 | |
WO1996023320A1 (en) | High performance integrated circuit package | |
JP2010219531A (ja) | 集積回路 | |
JP2010108204A (ja) | マルチチッププロセッサ | |
TWI470945B (zh) | 使用封裝上輸入/輸出介面之電子系統與多晶片封裝及平板計算裝置 | |
TW202101727A (zh) | 晶粒的互連轂 | |
WO2017105671A1 (en) | Magnetic small footprint inductor array module for on-package voltage regulator | |
JP2004349558A (ja) | 信号授受方式 | |
CN107646142A (zh) | 通过固相粘合剂和选择性转移的超薄功能性块的异构集成 | |
US20110156731A1 (en) | Semiconductor integrated circuit | |
JP3914649B2 (ja) | 半導体装置 | |
US5126822A (en) | Supply pin rearrangement for an I.C. | |
TWI508253B (zh) | 用於封裝體上輸入/輸出架構之非線性終端技術 | |
CN104137257A (zh) | 封装的半导体管芯和cte工程管芯对 | |
KR20160058078A (ko) | 반도체 칩 및 반도체 칩 패키지 | |
JP3872320B2 (ja) | 半導体記憶装置およびその貼り合わせ方法 | |
US8698325B2 (en) | Integrated circuit package and physical layer interface arrangement |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050725 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050802 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060328 |