JP2004343091A - ビーム照射装置、ビーム照射方法、及び薄膜トランジスタの作製方法 - Google Patents
ビーム照射装置、ビーム照射方法、及び薄膜トランジスタの作製方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】ガルバノミラー13を利用する場合、当該ガルバノミラー13を一方向に回転させることを特徴とする。ガルバノミラー13を回転させ、慣性を利用することで、被照射面におけるスポット15の等速性が上がる。また、ガルバノミラー13を重くすると、慣性がより強く働くので等速性が向上し好ましい。また本発明のポリゴンミラーは、ミラー間で走査位置の変更時間を設けるため、ミラー同士を接して配置しないことを特徴とする。レーザ光12が照射されないときと、被照射物の移動とのタイミングを合わせることにより、効率的にレーザ処理を行うことができる。
【選択図】図1
Description
本実施の形態では、走査手段に回転するガルバノミラーと、被照射物に半導体膜を用い、当該半導体膜を結晶化し、多結晶TFTを形成する場合を説明する。
本実施の形態では、基板上に形成される半導体膜に対して、複数のレーザ発振器を用いてレーザ処理を行い、薄膜トランジスタの量産性を高める場合を説明する。なお走査手段は、ポリゴンミラーを用いて説明する。
本実施の形態では、ポリゴンミラーとXYステージとの移動タイミングについて、図8を用いて説明する。なお、ポリゴンミラーはN個(1≦n≦N:nは整数)の鏡面体を有するものとする。
本実施の形態では、アクティブマトリクス基板を用いて作製される発光装置について、図5を用いて説明する。
本発明により作製されたアクティブマトリクス基板は、様々な電子機器に適用することができる。電子機器としては、携帯情報端末(携帯電話機、モバイルコンピュータ、携帯型ゲーム機又は電子書籍等)、ビデオカメラ、デジタルカメラ、ゴーグル型ディスプレイ、表示ディスプレイ、ナビゲーションシステム等が挙げられる。これら電子機器の具体例を図6に示す。
なお本発明に用いられるビームは、CWビームに限定されず、パルス的に出力されるエネルギービーム(パルスビーム、特に、光源にレーザを使用する場合パルスレーザと表記する)を用いることができる。
Claims (24)
- 連続的に出力されるエネルギービームを被照射物上に走査する手段を有し、
前記走査する手段は平面又は曲面を有する鏡面体を有し、
前記鏡面体は前記ビームの光軸上に配置されるよう軸に固定され、前記軸を中心として回転することを特徴とするビーム照射装置。 - 請求項1において、前記走査する手段を複数有することを特徴とするビーム照射装置。
- 請求項1又は2において、前記軸は、一端部、又は両端部に支持棒が設けられることを特徴とするビーム照射装置。
- 連続的に出力されるエネルギービームを被照射物上に走査する手段を有し、
前記走査する手段は複数の平面又は曲面を有する鏡面体を有し、
前記複数の鏡面体は前記ビームの光軸上に、前記鏡面体の側面が互いに接しないよう軸に固定され、前記軸を中心として回転することを特徴とするビーム照射装置。 - 請求項1乃至4のいずれか一において、前記走査する手段は単数の鏡面体を有することを特徴とするビーム照射装置。
- 請求項1乃至5のいずれか一において、前記被照射物と、前記ビームを相対的に移動させる手段を有することを特徴とするビーム照射装置。
- 請求項1乃至6のいずれか一において、前記移動させる手段は、前記走査する手段の走査と同期して移動するように制御する制御装置を有することを特徴とするビーム照射装置。
- 請求項1乃至7のいずれか一において、前記連続的に出力されるエネルギービームは、YVO4レーザ、YAGレーザ、YLFレーザ、YAlO3レーザ、及びArレーザのいずれかから射出されたビームであることを特徴とするビーム照射装置。
- 請求項1乃至8のいずれか一において、前記連続的に出力されるエネルギービームを線状に加工する光学系を有し、前記光学系は前記ビームの発振器と、前記走査する手段との間に配置されることを特徴とするビーム照射装置。
- 請求項1乃至9のいずれか一において、前記走査する手段と、前記被照射物との間にはfθレンズが配置されることを特徴とするビーム照射装置。
- 請求項1乃至10のいずれか一において、前記走査する手段と、前記被照射物との間にはテレセントリックfθレンズが配置されることを特徴とするビーム照射装置。
- 連続的に出力されるエネルギービームと、被照射物とを相対的に走査しながら照射するビーム照射方法において、複数の鏡面体が設けられ、前記複数の鏡面体により前記ビームが順に反射することにより、前記被照射物を処理し、前記鏡面体の面毎に、前記ビームと、前記被照射物との相対的な位置を制御することを特徴とするビーム照射方法。
- 請求項12において、前記複数の鏡面体は間隔をあけて設けられていることを特徴とするビーム照射方法。
- 請求項12又は13において、前記複数の鏡面体は接して設けられていることを特徴とするビーム照射方法。
- 請求項12乃至14のいずれか一において、前記連続的に出力されるエネルギービームを走査する手段はポリゴンミラーを有することを特徴とするビーム照射方法。
- 請求項12乃至15のいずれか一において、前記連続的に出力されるエネルギービームは、YVO4レーザ、YAGレーザ、YLFレーザ、YAlO3レーザ、及びArレーザのいずれかから射出されたビームであることを特徴とするビーム照射方法。
- 連続的に出力されるエネルギービームと、被照射物とを相対的に走査しながら照射するビーム照射方法において、N個(1≦n≦N:nは整数)の鏡面体が設けられ、前記N個の鏡面体により前記ビームが順に反射することにより、前記被照射物を処理し、n番目の鏡面体による走査が終了した後、前記被照射物との相対的な位置Y(n)を設定することを特徴とするビーム照射方法。
- 請求項17において、前記連続的に出力されるエネルギービームを走査する手段はガルバノミラー又はポリゴンミラーを有することを特徴とするビーム照射方法。
- 請求項17又は18において、前記連続的に出力されるエネルギービームは、YVO4レーザ、YAGレーザ、YLFレーザ、YAlO3レーザ、及びArレーザのいずれかから射出されたビームであることを特徴とするビーム照射方法。
- 連続的に出力されるエネルギービームを被照射物上に走査する手段を有し、
前記走査する手段は、平面又は曲面を有する鏡面体を有し、
前記鏡面体は前記ビームの光軸上に配置されるよう軸に固定され、前記軸を中心として回転するビーム照射装置を用いて、結晶性半導体膜を形成し、
前記結晶性半導体膜上にゲート電極を形成し、
前記ゲート電極をマスクとして前記半導体膜に不純物領域を形成することを特徴とする薄膜トランジスタの作製方法。 - 請求項20において、複数の前記走査する手段により形成される特徴とする薄膜トランジスタの作製方法。
- 請求項20又は21において、前記連続的に出力されるエネルギービームは、YVO4レーザ、YAGレーザ、YLFレーザ、YAlO3レーザ、及びArレーザのいずれかから射出されたビームであることを特徴とする薄膜トランジスタの作製方法。
- 連続的に出力されるエネルギービームを被照射物上に走査する手段を有し、前記走査する手段は、N個(1≦n≦N:nは整数)の平面又は曲面を有する鏡面体を有し、前記鏡面体は前記ビームの光軸上に配置されるよう軸に固定され、前記軸を中心として回転し、n番目の前記鏡面体による走査が終了した後、前記被照射物との相対的な位置Y(n)を設定するビーム照射装置を用いて、結晶性半導体膜を形成し、
前記結晶性半導体膜上にゲート電極を形成し、
前記ゲート電極をマスクとして前記半導体膜に不純物領域を形成することを特徴とする薄膜トランジスタの作製方法。 - 請求項23のいずれか一において、前記連続的に出力されるエネルギービームは、YVO4レーザ、YAGレーザ、YLFレーザ、YAlO3レーザ、及びArレーザのいずれかから射出されたビームであることを特徴とする薄膜トランジスタの作製方法。
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