JP2004336853A - リニアモータ可動体の位置検出装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】構造を簡略化し、かつ煩雑な初期設定作業やメンテナンスなどを不要にするとともに、高精度の位置検出を期待できるリニアモータ可動体の位置検出装置を提供する。
【解決手段】複数個のマグネットを配置したリニアモータ固定子と、この固定子に沿って移動可能に配置されたリニアモータ可動子とからなるリニアモータ駆動機構によって、リニアモータ可動子および可動体がリニアモータ固定子に沿って進退移動するリニアモータにおいて、2極着磁(N,S)構造のエンコーダ用磁石4を、エンコーダ駆動軸10に同時回転可能に取付け、このエンコーダ駆動軸10の端部にロータリーエンコーダ5を設けてある。
【選択図】 図1
【解決手段】複数個のマグネットを配置したリニアモータ固定子と、この固定子に沿って移動可能に配置されたリニアモータ可動子とからなるリニアモータ駆動機構によって、リニアモータ可動子および可動体がリニアモータ固定子に沿って進退移動するリニアモータにおいて、2極着磁(N,S)構造のエンコーダ用磁石4を、エンコーダ駆動軸10に同時回転可能に取付け、このエンコーダ駆動軸10の端部にロータリーエンコーダ5を設けてある。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、リニアモータ可動体の位置検出装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来より、リニアモータ可動体の位置検出装置として、リニアモータ走行軸の位置検出機構が知られている(たとえば、特許文献1参照)。
【0003】
このリニアモータ走行軸の位置検出機構は、図8および図9に示すように、端部がストッパ50で固定された走行レール51と、該走行レール51に沿って走行ブロック52により移動可能に支持された走行テーブル53とを備え、走行レール51に沿って配置された固定磁界部54と走行テーブル53に設けられた移動磁界部55とによってリニアモータ56が構成されている。固定磁界部54は、たとえば複数個のマグネットをつなぎ合わせて形成することができ、また、移動磁界部55はコイルにより形成することができる。そして、固定磁界部54と移動磁界部55が形成する磁界によって形成される吸引力あるいは反発力を利用して走行テーブル53の移動を行う。
【0004】
前記リニアモータ走行軸において、走行テーブル53の位置を検出する検出機構は、ワイヤ57とロータリーエンコーダ58とを備えており、ワイヤ57の一端部を移動部である走行テーブル53に固定し、他端を走行軸の固定側であるストッパ50に固定したロータリーエンコーダ58に取付けた構成とし、走行軸の固定側に取付けたワイヤ巻取機60によってワイヤ57をロータリーエンコーダ58側に牽引して張力を与えるものである。ワイヤ巻取機60は、たとえばワイヤ57を所定のトルクで巻回して、繰り出したワイヤ57に所定の張力を付与する。また、ロータリーエンコーダ58はワイヤ57との相対変位量を検出する。
【0005】
したがって、ワイヤ57は、走行テーブル53とロータリーエンコーダ58との間で張設され、走行テーブル53が移動すると、その移動量に対応してワイヤ巻取機60から繰り出し、あるいはワイヤ巻取機60に巻き取られる。繰り出されたワイヤ57あるいは巻き取られるワイヤ57はロータリーエンコーダ58を通過するため、その繰り出し量あるいは巻取り量はロータリーエンコーダ58によって測定される。ワイヤ57は、ワイヤ巻取機60によって常に張られた状態に保持されているため、走行テーブル53の移動量とロータリーエンコーダ58に対するワイヤ57の相対変位量は1対1で対応している。そこで、ロータリーエンコーダ58によってワイヤ57とのの相対変位量を検出すると、この検出した変位量から走行テーブル53の移動量を検出することができ、さらに走行テーブル53の走行輪上での位置検出を行うことができる。
【0006】
また、走行テーブル53の移動量は、ワイヤ57の移動量をによって出することができ、該ワイヤ57の敷設は走行レール51や固定磁界部54の継ぎ部分に影響されることなく行うことができる。このため、たとえば、リニアスケールやラック・ピニオン機構とロータリーエンコーダとを組み合わせた位置検出装置の問題点、つまり、走行軸の走行ストロークが長くなると、それに合わせて位置検出のための機構本体が長くなるために必要な位置検出機構の管理、調整が不要になるとされている。
【0007】
【特許文献】
【0008】
特開平9−222318号公報
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、前記従来のリニアモータ可動体の位置検出装置では、ワイヤ57を所定のトルクで巻回して、繰り出したワイヤ57に所定の張力を付与するワイヤ巻取機60が必要であるため構造の複雑化を招く。また、ワイヤ57の張力を適正な値に設定する煩雑な初期設定作業やメンテナンスなどが必要である。しかも、ワイヤ57に生じる僅かな揺動あるいは巻取り・繰出し時に生じる僅かなスリップ現象などを回避することが困難である。これにより、位置検出精度の低下を招くおそれがあるばかりか、何等かの原因によってワイヤ57が切断した場合には、復帰不能になるとともに暴走する危険性をも含んでいる。
【0010】
本発明は、このような事情を考慮してなされたもので、構造を簡略化し、かつ煩雑な初期設定作業やメンテナンスなどを不要にするとともに、高精度の位置検出を期待できるリニアモータ可動体の位置検出装置を提供することを目的としている。
【0011】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、請求項1に記載の発明に係るニアモータ可動体の位置検出装置は、複数個のマグネットを配置して構成されたリニアモータ固定子と、このリニアモータ固定子に沿って移動可能に配置されたリニアモータ可動子とからなるリニアモータ駆動機構によって、前記リニアモータ可動子および該リニアモータ可動子に設置した可動体が前記リニアモータ固定子に沿って進退移動するリニアモータにおいて、前記リニアモータ固定子に対向して該リニアモータ固定子の複数個のマグネットに吸引または反発される磁極を備えたエンコーダ用磁石が前記可動体に回転自在に取付られているとともに、このエンコーダ用磁石の回転量を検出するロータリーエンコーダを備えていることを特徴としている。
【0012】
また、請求項2に記載の発明のように、前記リニアモータ固定子におけるマグネットの磁極間距離をl、前記エンコーダ用磁石の半径をrとしたときに、l=πrの関係に設定することが望ましい。
【0013】
請求項1に記載の発明によれば、複数個のマグネットを配置して構成されたリニアモータ固定子と、このリニアモータ固定子に沿って移動可能に配置されたリニアモータ可動子とからなるリニアモータ駆動機構によって、前記リニアモータ可動子および該リニアモータ可動子に設置した可動体が前記リニアモータ固定子に沿って進退移動すると、リニアモータ固定子の複数個のマグネットと、エンコーダ用磁石との間に生じる吸引・反発作用によって、エンコーダ用磁石が正方向または逆方向に回転する。このエンコーダ用磁石の正逆方向の回転量をロータリーエンコーダによって検出し、この検出したエンコーダ用磁石の正逆方向の回転量から可動体の正逆方向の正逆方向の移動量、すなわち、可動体の正逆方向の位置を検出することができる。
【0014】
請求項2に記載の発明によれば、高精度の位置検出が可能になる。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施の形態を図面に基づいて説明する。図1は本発明の一実施の形態を示す斜視図、図2は図1の一部を断面にして示す拡大正面図、図3は図1の概略側面図、図4は図1の概略縦断側面図である。これらの図において、リニアモータは、リニアモータ固定子1と、リニアモータ可動子2と、可動体3とを備え、リニアモータ可動体の位置検出装置は、エンコーダ用磁石4と、ロータリーエンコーダ5とを備えている。
【0016】
リニアモータ固定子1は、複数個のマグネット(永久磁石)N,S…を軸方向(リニアモータ可動子2と可動体3の進退移動方向)につなぎ合わせて磁性材料によってなる筒体1Aの内部に収容配置した構造のもので、筒体の軸方向両端部は支持体7,7を介してスライダー用フレーム8の上面中央部に水平に支持されている。
【0017】
リニアモータ可動子2は、リニアモータ固定子1の筒体1Aを挿通して該リニアモータ固定子1に沿って移動可能に配置された電磁コイルによって構成されており、リニアモータ固定子1とリニアモータ可動子2とでリニアモータ駆動機構6を構成している。
【0018】
可動体3は、天井部3Aと、この天井部3Aの幅方向の両端部で下方にのびる左右一対の脚部3B,3Bとを備えた門型のスライダブロックによってなり、天井部3Aの下面にリニアモータ可動子2を組み付けてある。また、可動体3は、直動案内9を介して、リニアモータ固定子1に沿う方向の進退移動を可能に、つまり軸方向の進退移動を可能に、スライダー用フレーム8に取付けられている。すなわち、直動案内9は、スライダー用フレーム8の上端部左右両側において該スライダー用フレーム8の全長にわたって上下に振り分けて設けられた、一対2組のレール9A,9Aと、スライダー用フレーム8における左右一対の脚部3B,3Bの内側に軸方向の間隔を隔てて回転自在に支持され、前記一対2組のレール9A,9Aを上下方向両側から挟んで転動する複数個の転動輪9B,9Bとを備えている(ただし、図4には、4つの転動輪9B,9Bのみを示している)。
【0019】
エンコーダ用磁石4は、2極着磁(N,S)構造のもので、エンコーダ駆動軸10に同時回転可能に取付けられて、前記2つの磁極N,Sがリニアモータ固定子1の複数個のマグネットN,S…に非接触で対向するマグネットカップリングを構成している。また、エンコーダ駆動軸10は、軸受11,11を介してブラケット12に回転自在に支持され、ブラケット12は、可動体3における天井部3Aの一端面に固着されている。さらに、ロータリーエンコーダ5は、エンコーダ駆動軸10の一端に設けてある。そして、リニアモータ固定子1における複数個のマグネットN,S…と、エンコーダ用磁石4との関係は、リニアモータ固定子1における複数個のマグネットN,S…の磁極間距離をl、エンコーダ用磁石4の半径をrとしたときに、l=πrに設定されている。
【0020】
前記構成において、複数個のマグネットN,S…を配置して構成されたリニアモータ固定子1と、このリニアモータ固定子1に沿って移動可能に配置されたリニアモータ可動子2とからなるリニアモータ駆動機構6によって、リニアモータ可動子2および可動体3がリニアモータ固定子1に沿って、図1の矢印X方向に前進すると、リニアモータ固定子1の複数個のマグネットN,S…とエンコーダ用磁石4の2つの磁極N,Sとの間に生じる吸引・反発作用によって、エンコーダ用磁石4は、図5(a)〜図5(d)に示すように、反時計まわりに回転する。このエンコーダ用磁石4の反時計まわりの回転量をロータリーエンコーダ5によって検出し、この検出したエンコーダ用磁石4の反時計まわりの回転量から可動体3の前進移動量、すなわち、可動体3の前進位置を検出することができる。
【0021】
一方、図1のリニアモータ可動子2および可動体3がリニアモータ固定子1に沿って矢印Y方向に後退すると、リニアモータ固定子1の複数個のマグネットN,S…とエンコーダ用磁石4の2つの磁極N,Sとの間に生じる吸引・反発作用によって、エンコーダ用磁石4は時計まわりに回転する。このエンコーダ用磁石4の時計まわりの回転量をロータリーエンコーダ5によって検出し、この検出したエンコーダ用磁石4の時計まわりの回転量から可動体3の後退移動量、すなわち、可動体3の後退位置を検出することができる。
【0022】
特に、リニアモータ固定子1における複数個のマグネットN,S…と、エンコーダ用磁石4との関係が、リニアモータ固定子1における複数個のマグネットN,S…の磁極間距離をl、エンコーダ用磁石4の半径をrとしたときに、l=πrに設定されていることで、エンコーダ用磁石4の正逆方向の回転量から可動体3の正逆方向の正逆方向の移動量、すなわち、可動体3の正逆方向の位置を正確に割り出して、高精度で位置検出を行うことができる。
【0023】
このように、本発明に係るリニアモータ可動体の位置検出装置は、リニアモータ固定子1の複数個のマグネットN,S…と、エンコーダ用磁石4の2つの磁極N,Sとの間に生じる吸引・反発作用によって、エンコーダ用磁石4を正方向または逆方向に回転させ、このエンコーダ用磁石4の正逆方向の回転量をロータリーエンコーダ5によって検出し、この検出したエンコーダ用磁石4の正逆方向の回転量から可動体3の正逆方向の正逆方向の移動量、すなわち、可動体3の正逆方向の位置を検出することができるので、図8および図9で説明した従来のリニアモータ可動体の位置検出装置と比較して、構造を簡略化し、かつ煩雑な初期設定作業やメンテナンスなどを不要にするとともに、高精度の位置検出を期待することができる。
【0024】
なお、前記実施の形態では、2つの磁極N,Sを有する前述のエンコーダ用磁石4をリニアモータ固定子1の複数個のマグネットN,S…に対向させた構成で説明しているが、図6および図7に示すように、2つの磁極N,Sを有するエンコーダ用磁石4とリニアモータ固定子1の間に、2倍の半径を有して4つの磁極N,S、N,Sを有して逓倍用磁石として機能する第2のエンコーダ用磁石13を非接触状態で回転自在に介在させ、この第2のエンコーダ用磁石13の回転数の2倍の回転数でエンコーダ用磁石4、つまり第1のエンコーダ用磁石4を回転させるように構成してもよい。このように構成することで分解能を上げることができる。また、第2のエンコーダ用磁石13の回転をギアートレインによって増大してエンコーダ駆動軸10を増速回転させることによっても、分解能を上げることができる。なお、図7および図8において、図1および図2と同一部分には同一符号を付して、重複する構造と作用の説明は省略する。
【0025】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係るリニアモータ可動体の位置検出装置は構成されているので、以下のような格別な効果を奏する。
【0026】
すなわち、請求項1に記載の発明によれば、リニアモータ固定子の複数個のマグネットと、エンコーダ用磁石の磁極との間に生じる吸引・反発作用によって、エンコーダ用磁石を正方向または逆方向に回転させ、このエンコーダ用磁石の正逆方向の回転量をロータリーエンコーダによって検出し、この検出したエンコーダ用磁石の正逆方向の回転量から可動体の正逆方向の正逆方向の移動量、すなわち、可動体の正逆方向の位置を検出することができるので、従来のリニアモータ可動体の位置検出装置と比較して、構造を簡略化し、かつ煩雑な初期設定作業やメンテナンスなどを不要にするとともに、高精度の位置検出を期待することができる。
【0027】
請求項2に記載の発明によれば、リニアモータ固定子における複数個のマグネットの磁極間距離をl、エンコーダ用磁石の半径をrとしたときに、l=πrの関係に設定されていることで、エンコーダ用磁石の正逆方向の回転量から可動体3の正逆方向の正逆方向の移動量、すなわち、可動体の正逆方向の位置を正確に割り出して、高精度で位置検出を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態を示す斜視図である。
【図2】図1の一部を断面にして示す拡大正面図である。
【図3】図1の概略側面図である。
【図4】図1の概略縦断側面図である。
【図5】(a)〜(d)は動作説明図である。
【図6】本発明の他の実施の形態を示す斜視図である。
【図7】図6の一部を断面にして示す拡大正面図である。
【図8】従来例の斜視図である。
【図9】図8の機構配置を示す平面図である。
【符号の説明】
1 リニアモータ固定子
2 リニアモータ可動子
3 可動体
4 FGリング磁石(エンコーダ用磁石)
5 ロータリーエンコーダ
6 リニアモータ駆動機構
【発明の属する技術分野】
本発明は、リニアモータ可動体の位置検出装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来より、リニアモータ可動体の位置検出装置として、リニアモータ走行軸の位置検出機構が知られている(たとえば、特許文献1参照)。
【0003】
このリニアモータ走行軸の位置検出機構は、図8および図9に示すように、端部がストッパ50で固定された走行レール51と、該走行レール51に沿って走行ブロック52により移動可能に支持された走行テーブル53とを備え、走行レール51に沿って配置された固定磁界部54と走行テーブル53に設けられた移動磁界部55とによってリニアモータ56が構成されている。固定磁界部54は、たとえば複数個のマグネットをつなぎ合わせて形成することができ、また、移動磁界部55はコイルにより形成することができる。そして、固定磁界部54と移動磁界部55が形成する磁界によって形成される吸引力あるいは反発力を利用して走行テーブル53の移動を行う。
【0004】
前記リニアモータ走行軸において、走行テーブル53の位置を検出する検出機構は、ワイヤ57とロータリーエンコーダ58とを備えており、ワイヤ57の一端部を移動部である走行テーブル53に固定し、他端を走行軸の固定側であるストッパ50に固定したロータリーエンコーダ58に取付けた構成とし、走行軸の固定側に取付けたワイヤ巻取機60によってワイヤ57をロータリーエンコーダ58側に牽引して張力を与えるものである。ワイヤ巻取機60は、たとえばワイヤ57を所定のトルクで巻回して、繰り出したワイヤ57に所定の張力を付与する。また、ロータリーエンコーダ58はワイヤ57との相対変位量を検出する。
【0005】
したがって、ワイヤ57は、走行テーブル53とロータリーエンコーダ58との間で張設され、走行テーブル53が移動すると、その移動量に対応してワイヤ巻取機60から繰り出し、あるいはワイヤ巻取機60に巻き取られる。繰り出されたワイヤ57あるいは巻き取られるワイヤ57はロータリーエンコーダ58を通過するため、その繰り出し量あるいは巻取り量はロータリーエンコーダ58によって測定される。ワイヤ57は、ワイヤ巻取機60によって常に張られた状態に保持されているため、走行テーブル53の移動量とロータリーエンコーダ58に対するワイヤ57の相対変位量は1対1で対応している。そこで、ロータリーエンコーダ58によってワイヤ57とのの相対変位量を検出すると、この検出した変位量から走行テーブル53の移動量を検出することができ、さらに走行テーブル53の走行輪上での位置検出を行うことができる。
【0006】
また、走行テーブル53の移動量は、ワイヤ57の移動量をによって出することができ、該ワイヤ57の敷設は走行レール51や固定磁界部54の継ぎ部分に影響されることなく行うことができる。このため、たとえば、リニアスケールやラック・ピニオン機構とロータリーエンコーダとを組み合わせた位置検出装置の問題点、つまり、走行軸の走行ストロークが長くなると、それに合わせて位置検出のための機構本体が長くなるために必要な位置検出機構の管理、調整が不要になるとされている。
【0007】
【特許文献】
【0008】
特開平9−222318号公報
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、前記従来のリニアモータ可動体の位置検出装置では、ワイヤ57を所定のトルクで巻回して、繰り出したワイヤ57に所定の張力を付与するワイヤ巻取機60が必要であるため構造の複雑化を招く。また、ワイヤ57の張力を適正な値に設定する煩雑な初期設定作業やメンテナンスなどが必要である。しかも、ワイヤ57に生じる僅かな揺動あるいは巻取り・繰出し時に生じる僅かなスリップ現象などを回避することが困難である。これにより、位置検出精度の低下を招くおそれがあるばかりか、何等かの原因によってワイヤ57が切断した場合には、復帰不能になるとともに暴走する危険性をも含んでいる。
【0010】
本発明は、このような事情を考慮してなされたもので、構造を簡略化し、かつ煩雑な初期設定作業やメンテナンスなどを不要にするとともに、高精度の位置検出を期待できるリニアモータ可動体の位置検出装置を提供することを目的としている。
【0011】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、請求項1に記載の発明に係るニアモータ可動体の位置検出装置は、複数個のマグネットを配置して構成されたリニアモータ固定子と、このリニアモータ固定子に沿って移動可能に配置されたリニアモータ可動子とからなるリニアモータ駆動機構によって、前記リニアモータ可動子および該リニアモータ可動子に設置した可動体が前記リニアモータ固定子に沿って進退移動するリニアモータにおいて、前記リニアモータ固定子に対向して該リニアモータ固定子の複数個のマグネットに吸引または反発される磁極を備えたエンコーダ用磁石が前記可動体に回転自在に取付られているとともに、このエンコーダ用磁石の回転量を検出するロータリーエンコーダを備えていることを特徴としている。
【0012】
また、請求項2に記載の発明のように、前記リニアモータ固定子におけるマグネットの磁極間距離をl、前記エンコーダ用磁石の半径をrとしたときに、l=πrの関係に設定することが望ましい。
【0013】
請求項1に記載の発明によれば、複数個のマグネットを配置して構成されたリニアモータ固定子と、このリニアモータ固定子に沿って移動可能に配置されたリニアモータ可動子とからなるリニアモータ駆動機構によって、前記リニアモータ可動子および該リニアモータ可動子に設置した可動体が前記リニアモータ固定子に沿って進退移動すると、リニアモータ固定子の複数個のマグネットと、エンコーダ用磁石との間に生じる吸引・反発作用によって、エンコーダ用磁石が正方向または逆方向に回転する。このエンコーダ用磁石の正逆方向の回転量をロータリーエンコーダによって検出し、この検出したエンコーダ用磁石の正逆方向の回転量から可動体の正逆方向の正逆方向の移動量、すなわち、可動体の正逆方向の位置を検出することができる。
【0014】
請求項2に記載の発明によれば、高精度の位置検出が可能になる。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施の形態を図面に基づいて説明する。図1は本発明の一実施の形態を示す斜視図、図2は図1の一部を断面にして示す拡大正面図、図3は図1の概略側面図、図4は図1の概略縦断側面図である。これらの図において、リニアモータは、リニアモータ固定子1と、リニアモータ可動子2と、可動体3とを備え、リニアモータ可動体の位置検出装置は、エンコーダ用磁石4と、ロータリーエンコーダ5とを備えている。
【0016】
リニアモータ固定子1は、複数個のマグネット(永久磁石)N,S…を軸方向(リニアモータ可動子2と可動体3の進退移動方向)につなぎ合わせて磁性材料によってなる筒体1Aの内部に収容配置した構造のもので、筒体の軸方向両端部は支持体7,7を介してスライダー用フレーム8の上面中央部に水平に支持されている。
【0017】
リニアモータ可動子2は、リニアモータ固定子1の筒体1Aを挿通して該リニアモータ固定子1に沿って移動可能に配置された電磁コイルによって構成されており、リニアモータ固定子1とリニアモータ可動子2とでリニアモータ駆動機構6を構成している。
【0018】
可動体3は、天井部3Aと、この天井部3Aの幅方向の両端部で下方にのびる左右一対の脚部3B,3Bとを備えた門型のスライダブロックによってなり、天井部3Aの下面にリニアモータ可動子2を組み付けてある。また、可動体3は、直動案内9を介して、リニアモータ固定子1に沿う方向の進退移動を可能に、つまり軸方向の進退移動を可能に、スライダー用フレーム8に取付けられている。すなわち、直動案内9は、スライダー用フレーム8の上端部左右両側において該スライダー用フレーム8の全長にわたって上下に振り分けて設けられた、一対2組のレール9A,9Aと、スライダー用フレーム8における左右一対の脚部3B,3Bの内側に軸方向の間隔を隔てて回転自在に支持され、前記一対2組のレール9A,9Aを上下方向両側から挟んで転動する複数個の転動輪9B,9Bとを備えている(ただし、図4には、4つの転動輪9B,9Bのみを示している)。
【0019】
エンコーダ用磁石4は、2極着磁(N,S)構造のもので、エンコーダ駆動軸10に同時回転可能に取付けられて、前記2つの磁極N,Sがリニアモータ固定子1の複数個のマグネットN,S…に非接触で対向するマグネットカップリングを構成している。また、エンコーダ駆動軸10は、軸受11,11を介してブラケット12に回転自在に支持され、ブラケット12は、可動体3における天井部3Aの一端面に固着されている。さらに、ロータリーエンコーダ5は、エンコーダ駆動軸10の一端に設けてある。そして、リニアモータ固定子1における複数個のマグネットN,S…と、エンコーダ用磁石4との関係は、リニアモータ固定子1における複数個のマグネットN,S…の磁極間距離をl、エンコーダ用磁石4の半径をrとしたときに、l=πrに設定されている。
【0020】
前記構成において、複数個のマグネットN,S…を配置して構成されたリニアモータ固定子1と、このリニアモータ固定子1に沿って移動可能に配置されたリニアモータ可動子2とからなるリニアモータ駆動機構6によって、リニアモータ可動子2および可動体3がリニアモータ固定子1に沿って、図1の矢印X方向に前進すると、リニアモータ固定子1の複数個のマグネットN,S…とエンコーダ用磁石4の2つの磁極N,Sとの間に生じる吸引・反発作用によって、エンコーダ用磁石4は、図5(a)〜図5(d)に示すように、反時計まわりに回転する。このエンコーダ用磁石4の反時計まわりの回転量をロータリーエンコーダ5によって検出し、この検出したエンコーダ用磁石4の反時計まわりの回転量から可動体3の前進移動量、すなわち、可動体3の前進位置を検出することができる。
【0021】
一方、図1のリニアモータ可動子2および可動体3がリニアモータ固定子1に沿って矢印Y方向に後退すると、リニアモータ固定子1の複数個のマグネットN,S…とエンコーダ用磁石4の2つの磁極N,Sとの間に生じる吸引・反発作用によって、エンコーダ用磁石4は時計まわりに回転する。このエンコーダ用磁石4の時計まわりの回転量をロータリーエンコーダ5によって検出し、この検出したエンコーダ用磁石4の時計まわりの回転量から可動体3の後退移動量、すなわち、可動体3の後退位置を検出することができる。
【0022】
特に、リニアモータ固定子1における複数個のマグネットN,S…と、エンコーダ用磁石4との関係が、リニアモータ固定子1における複数個のマグネットN,S…の磁極間距離をl、エンコーダ用磁石4の半径をrとしたときに、l=πrに設定されていることで、エンコーダ用磁石4の正逆方向の回転量から可動体3の正逆方向の正逆方向の移動量、すなわち、可動体3の正逆方向の位置を正確に割り出して、高精度で位置検出を行うことができる。
【0023】
このように、本発明に係るリニアモータ可動体の位置検出装置は、リニアモータ固定子1の複数個のマグネットN,S…と、エンコーダ用磁石4の2つの磁極N,Sとの間に生じる吸引・反発作用によって、エンコーダ用磁石4を正方向または逆方向に回転させ、このエンコーダ用磁石4の正逆方向の回転量をロータリーエンコーダ5によって検出し、この検出したエンコーダ用磁石4の正逆方向の回転量から可動体3の正逆方向の正逆方向の移動量、すなわち、可動体3の正逆方向の位置を検出することができるので、図8および図9で説明した従来のリニアモータ可動体の位置検出装置と比較して、構造を簡略化し、かつ煩雑な初期設定作業やメンテナンスなどを不要にするとともに、高精度の位置検出を期待することができる。
【0024】
なお、前記実施の形態では、2つの磁極N,Sを有する前述のエンコーダ用磁石4をリニアモータ固定子1の複数個のマグネットN,S…に対向させた構成で説明しているが、図6および図7に示すように、2つの磁極N,Sを有するエンコーダ用磁石4とリニアモータ固定子1の間に、2倍の半径を有して4つの磁極N,S、N,Sを有して逓倍用磁石として機能する第2のエンコーダ用磁石13を非接触状態で回転自在に介在させ、この第2のエンコーダ用磁石13の回転数の2倍の回転数でエンコーダ用磁石4、つまり第1のエンコーダ用磁石4を回転させるように構成してもよい。このように構成することで分解能を上げることができる。また、第2のエンコーダ用磁石13の回転をギアートレインによって増大してエンコーダ駆動軸10を増速回転させることによっても、分解能を上げることができる。なお、図7および図8において、図1および図2と同一部分には同一符号を付して、重複する構造と作用の説明は省略する。
【0025】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係るリニアモータ可動体の位置検出装置は構成されているので、以下のような格別な効果を奏する。
【0026】
すなわち、請求項1に記載の発明によれば、リニアモータ固定子の複数個のマグネットと、エンコーダ用磁石の磁極との間に生じる吸引・反発作用によって、エンコーダ用磁石を正方向または逆方向に回転させ、このエンコーダ用磁石の正逆方向の回転量をロータリーエンコーダによって検出し、この検出したエンコーダ用磁石の正逆方向の回転量から可動体の正逆方向の正逆方向の移動量、すなわち、可動体の正逆方向の位置を検出することができるので、従来のリニアモータ可動体の位置検出装置と比較して、構造を簡略化し、かつ煩雑な初期設定作業やメンテナンスなどを不要にするとともに、高精度の位置検出を期待することができる。
【0027】
請求項2に記載の発明によれば、リニアモータ固定子における複数個のマグネットの磁極間距離をl、エンコーダ用磁石の半径をrとしたときに、l=πrの関係に設定されていることで、エンコーダ用磁石の正逆方向の回転量から可動体3の正逆方向の正逆方向の移動量、すなわち、可動体の正逆方向の位置を正確に割り出して、高精度で位置検出を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態を示す斜視図である。
【図2】図1の一部を断面にして示す拡大正面図である。
【図3】図1の概略側面図である。
【図4】図1の概略縦断側面図である。
【図5】(a)〜(d)は動作説明図である。
【図6】本発明の他の実施の形態を示す斜視図である。
【図7】図6の一部を断面にして示す拡大正面図である。
【図8】従来例の斜視図である。
【図9】図8の機構配置を示す平面図である。
【符号の説明】
1 リニアモータ固定子
2 リニアモータ可動子
3 可動体
4 FGリング磁石(エンコーダ用磁石)
5 ロータリーエンコーダ
6 リニアモータ駆動機構
Claims (2)
- 複数個のマグネットを配置して構成されたリニアモータ固定子と、このリニアモータ固定子に沿って移動可能に配置されたリニアモータ可動子とからなるリニアモータ駆動機構によって、前記リニアモータ可動子および該リニアモータ可動子に設置した可動体が前記リニアモータ固定子に沿って進退移動するリニアモータにおいて、前記リニアモータ固定子に対向して該リニアモータ固定子の複数個のマグネットに吸引または反発される磁極を備えたFGリング磁石(以下は、エンコーダ用磁石という)が前記可動体に回転自在に取付られているとともに、このエンコーダ用磁石の回転量を検出するロータリーエンコーダを備えていることを特徴とするリニアモータ可動体の位置検出装置。
- 前記リニアモータ固定子におけるマグネットの磁極間距離をl、前記エンコーダ用磁石の半径をrとしたときに、l=πrの関係に設定されている請求項1に記載のリニアモータ可動体の位置検出装置。
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JP2003127428A JP2004336853A (ja) | 2003-05-02 | 2003-05-02 | リニアモータ可動体の位置検出装置 |
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JP2011517766A (ja) * | 2007-06-27 | 2011-06-16 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 多次元位置センサ |
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2003
- 2003-05-02 JP JP2003127428A patent/JP2004336853A/ja active Pending
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