JP2004333417A - 磁気式エンコーダ - Google Patents
磁気式エンコーダ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004333417A JP2004333417A JP2003132826A JP2003132826A JP2004333417A JP 2004333417 A JP2004333417 A JP 2004333417A JP 2003132826 A JP2003132826 A JP 2003132826A JP 2003132826 A JP2003132826 A JP 2003132826A JP 2004333417 A JP2004333417 A JP 2004333417A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scale
- grid
- coil
- conductive
- magnetic encoder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
【課題】磁気式エンコーダのスケールおよびグリッドに生じる静電気を防止し、動作不良の発生を抑制する。
【解決手段】スケール10に接地用パタン38を形成し、これと、スケールを固定するスケールベース32とを導体42で接続する。グリッド12に接地用パタン40を形成し、これと回路基準電位を導体44で接続する。グリッド12とスケール10の間は、導電性の摺動コマ36により導通されており、同電位に保たれる。また、摺動コマに絶縁性のものを用いる場合、このコマとは別にグリッドにで導電用コマを設け、またスケールの表面の導電用コマに対向する位置に導電用コマ接続パタンを形成して、スケール・グリッド間を同電位とする。
【選択図】 図4
【解決手段】スケール10に接地用パタン38を形成し、これと、スケールを固定するスケールベース32とを導体42で接続する。グリッド12に接地用パタン40を形成し、これと回路基準電位を導体44で接続する。グリッド12とスケール10の間は、導電性の摺動コマ36により導通されており、同電位に保たれる。また、摺動コマに絶縁性のものを用いる場合、このコマとは別にグリッドにで導電用コマを設け、またスケールの表面の導電用コマに対向する位置に導電用コマ接続パタンを形成して、スケール・グリッド間を同電位とする。
【選択図】 図4
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、スケールコイルにより形成された測定方向に周期変化する磁束を、スケールコイルと測定方向に相対移動する検出コイルで検出し、その増減に基づき前記相対移動量を算出する磁気式エンコーダに関する。
【0002】
【従来の技術】
磁気式エンコーダは、スケールとこれと相対移動するグリッドの移動量を検出し、グリッドの移動に関連づけられた測定対象物の移動量を算出するものである。スケールには、測定方向にスケールコイルが配列されており、グリッドには、スケールコイルを励磁する励磁コイルと、励磁されたスケールコイルの発生する磁束を検出する検出コイルが配置されている。励磁コイルに高周波電流が流され、磁界が形成され、この磁界によりスケールコイルに誘導電流が誘起される。この誘導電流によって、スケールコイルの配列方向に、所定周期の磁界が発生する。言い換えれば、所定周期の磁界が発生するようにスケールコイルの形状、配列が定められている。検出コイルは、この周期性の磁界を検出し、その周期性、強度から、スケールに対するグリッドの相対移動量を算出する。
【0003】
スケールコイルに誘起される電流、および検出コイルに誘起される電流は、コイル間の距離、すなわちスケールとグリッドの距離(間隔)の変化の影響を受けて変化する。したがって、スケールとグリッドの距離変化を抑える必要がある。このために、グリッドの、スケールに対向する面には、摺動コマが設けられている。摺動コマは、所定の高さを有し、グリッドに固定され、頂部がスケールに接触し、接触した状態でスケールとグリッドは相対移動を行う。スケールとグリッドの間隔は、この摺動コマの高さで規定され、一定の値に保たれる。磁気式エンコーダの概略構成は、下記特許文献1に記載されている。
【0004】
【特許文献1】
特開2002−31546公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前述の摺動コマは、スケールと接触しつつ移動するために、スケールおよびグリッドに静電気が発生し、蓄積された静電気が放電する際に、エンコーダの動作不良、故障が発生する問題があった。
【0006】
本発明は、スケール、グリッドに蓄積される静電気によるエンコーダの動作不良等を防止することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明の導電性の摺動コマを持つ磁気式エンコーダは、グリッドと回路の基準電位の間を接続する導体を有する。摺動コマが導電性であるので、スケールとグリッドの間での電位差は生じにくいが、グリッドを基準電位に対しても接地することにより、静電気の蓄積をより効果的に防止できる。また、スケールと、スケールが固定されたスケールベースの間を導体で接続しても良い。
【0008】
また、本発明の他の磁気エンコーダは、スケールとグリッド間の間隔を保持する摺動コマは絶縁性であり、スケールにはスケールコイルの配列に並んで、これに沿って延びる導電性材料からなる導通パタンが設けられ、グリッドには導通パタンに接触する導電性の導電用コマが設けられている。導電用コマにより、グリッドとスケールの間の導通が取られ、帯電が防止される。さらに、グリッドと回路の基準電位、またスケールとスケールベースの間を導通させることもできる。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態(以下実施形態という)を、図面に従って説明する。図1〜3は、磁気式エンコーダの概略構成と測定原理の説明図である、図中矢印で示す測定方向に延びるスケール10と、測定対象物と一体、または所定の関係をもって、測定方向に移動可能なグリッド12が配置されている。スケール10とグリッド12の相対移動量または相対位置を検出することにより、測定対象物の移動量または位置が検出される。スケール10には、測定方向に所定の規則をもって繰り返す配線パターンが形成される。配線パターンは、測定方向に1列に周期λ1/2で配置される第1スケールコイル14と、第1スケールコイル14の両側にそれぞれ周期λ2で配列される第2スケールコイル16と、第1および第2スケールコイル14,16を結合する結合配線18を含む。一方、グリッド12にも配線パターンが形成され、第1スケールコイル14に対応する位置に第1検出コイル20が、第2スケールコイル16に対応する位置に第2検出コイル22が配置されている。グリッド12には、さらに第2スケールコイル16に対応する位置に第1励磁コイル24、第1スケールコイル14に対応する位置に第2励磁コイル26が配置されている。
【0010】
第1および第2励磁コイル24,26には、送信制御部28よりそれぞれ所定周波数の電流が流される。この電流によって、スケールコイル14,16内に誘導電流が発生し、さらにこの誘導電流による磁界を検出コイル20,22で受信する。受信制御部30では、検出コイル20,22で受信された強度に基づいてグリッド12の移動量、位置の算出を行う。
【0011】
図2および図3には、本実施形態の磁気式エンコーダの測定原理が示されている。図2は、第1励磁コイル24および第1検出コイル20にかかる測定について説明するための図である。図示するように、2個の第1励磁コイル24に逆位相の電流を流す。これにより2個の第1励磁コイル24にそれぞれ対応して配置される第2スケールコイル16にも逆向きの電流が流れる。これらの電流は、結合配線18で結合されている第1スケールコイル14にも流れ、第1スケールコイル14の配列位置にて測定方向に交互に配列された逆向きの磁界を形成する。この磁界によって、第1検出コイル20の4個の菱形の部分には、交互に、図において逆回りの電流が誘起される。第1検出コイル20の4個の菱形部分は、第1スケールコイル14の配列ピッチと等しいピッチで配列され、また、図中配線が交差して見える部分は、紙面に直交する方向に離れており、絶縁が確保されている。この菱形部分の構成により、前記のように第1検出コイル20に誘起された電流は合算される。この電流の強度は、第1スケールコイル14と第1検出コイル20の測定方向の相対位置によって変化する。すなわち、第1検出コイル20の菱形の中心が、第1スケールコイル14の中心に一致する場合、最大値または最小値をとり、その間は、これらのコイルの位相に応じた値となる。この電流値は、ほぼ周期λ1の正弦波となる。
【0012】
図3は、第2励磁コイル26および第2検出コイル22にかかる測定について説明するための図である。図示するように、第2励磁コイル26に電流を流す。これにより各第1スケールコイル14に同一の向きの電流が流れる。この電流は、結合配線18で結合されている第2スケールコイル16にも流れ、全て同一の向きの磁界を形成する。測定方向に隣り合う第2スケールコイル16の間の部分には、第2スケールコイル16内に形成された磁界と逆向きの磁界が形成される。これらの磁界によって、第2検出コイル22の4個の菱形の部分には、交互に、図において逆回りの電流が誘起される。第2検出コイル22の4個の菱形部分は、第2スケールコイル14の配列ピッチと等しいピッチで配列され、また、図中配線が交差して見える部分は、紙面直交方向に離れており、絶縁が確保されている。この菱形部分の構成により、前記のように第2検出コイル22に誘起された電流は合算される。この電流の強度は、第2スケールコイル16と第2検出コイル22の測定方向の相対位置によって変化する。すなわち、第2検出コイル22の菱形の中心が、第2スケールコイル16の中心に一致する場合、最大値または最小値をとり、その間は、これらのコイルの位相に応じた値となる。この電流値は、ほぼ周期λ2の正弦波となる。
【0013】
第1検出コイル20と第2検出コイル22により検出される信号は、異なる周期λ1,λ2を有し、周期の最小公倍数の長さの間で、いわゆる絶対位置を測定することができる。
【0014】
図4は、スケール10とグリッド12の実際の配置の例を示す図である。スケール10は、スケールベース32に固定されている。このスケールベース32は、回路の基準電位に接続されている。スケール10に示した一点鎖線で囲われた領域34に、第1および第2スケールコイル14,16などの配線パタンが形成されている。図中、左右の方向が測定方向であり、前述のようにスケールコイルはこの方向に所定の周期のパタンにより配列されている。このスケールコイル配列領域34にグリッド12が対向して、図においては手前側に配置されている。グリッド12の、スケール10に対向する面のほぼ四隅には、摺動コマ36が固定されている。摺動コマ36は、スケール10にその頂部が当接している。したがって、スケール10とグリッド12の間隔は、この摺動コマ36の高さで規定される。また、摺動コマ36は、導電性材料で構成され、スケール10とグリッド12の間に電位の差を生じさせないようにしている。
【0015】
さらに、スケール10に接地用パタン38を形成し、これとスケールベース32を導体42、例えば導線で接続し、スケール10で生じた静電気をスケールベース32に逃がすようにする。また、グリッド12に接地用パタン40を形成し、これを回路の基準電位に導体44を用いて接続する。これにより、グリッド12に生じた静電気を基準電位へと逃がす。
【0016】
図5は、スケール10とグリッド12の実際の配置の他の例を示す図である。スケール10は、スケールベース32に固定されている。この例の場合においてもスケールベース32は、回路の基準電位に接続されている。スケール10に示した一点鎖線で囲われた領域34に、第1および第2スケールコイル14,16などの配線パタンが形成されている。図中、左右の方向が測定方向である、前述のようにスケールコイルはこの方向に所定周期のパタンにより配列されている。このスケールコイル配列領域34にグリッド12が対向して、配置されている。グリッド12の、スケール10に対向する面には、4個の摺動コマ50が配置、固定されている。摺動コマ50は、スケールコイルが配列された領域34の幅(図中上下方向の寸法)と同程度の間隔を空けて、グリッド12の図中左右の辺付近に、2個ずつ配置されている。摺動コマ50の頂部は、スケール10と接触しており、これによりスケール10とグリッド12の間隔が一定に保たれている。また、摺動コマ50は、絶縁性材料で構成されている。このため、摺動コマ50によってスケール・グリッド間を同電位とすることができない。
【0017】
スケール10とグリッド12を接続するために、スケール10には、スケールコイルの配列された領域34の隣に、これに沿って導電用コマ接続パタン52が形成されている。このパタン52に対向するグリッド12上の位置に導電用コマ54が設けられている。この導電用コマ54と導電用コマ接続パタン52によりスケール10とグリッド12が同電位となる。
【0018】
さらに、導電用コマ接続パタン52とスケールベース32を導体56、例えば導線で接続し、スケール10で発生した静電気をスケールベース32に逃がすようにする。また、グリッド12に接地用パタン58を設け、これと回路の基準電位を導体60で接続する。導体60を介してグリッド12に生じた静電気を基準電位に逃がすようにする。
【0019】
以上のように、摺動コマを用いた磁気式エンコーダにおいて、スケールおよびグリッドに発生する静電気をスケールベースに逃がすことにより、動作不良等を防止できる。なお、スケールコイルなどの配列の周期が2種類の場合について説明したが、単一周期のスケールを形成する場合、またさらに多くの種類の周期のスケールを形成する場合でも、全く同様に、静電気の防止に関する構成を採用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】磁気式エンコーダの測定原理の説明図であり、特に各コイルの配置を示す図である。
【図2】磁気式エンコーダの測定原理の説明図であり、特に信号検出に関する説明図である。
【図3】磁気式エンコーダの測定原理の説明図であり、特に信号検出に関する説明図である。
【図4】磁気式エンコーダのスケールとグリッドの配置の一例を示す図である。
【図5】磁気式エンコーダのスケールとグリッドの配置の他の例を示す図である。
【符号の説明】
10 スケール、12 グリッド、14 第1スケールコイル、16 第2スケールコイル、20 第1検出コイル、22 第2検出コイル、32 スケールべース、34 スケールコイルの配列された領域、36 導電性の摺動コマ、38,40 接地用パタン、42,44 導体、50 絶縁性の摺動コマ、52 導電用コマ接続パタン、54 導電用コマ、56,60 導体、58 接地用パタン。
【発明の属する技術分野】
本発明は、スケールコイルにより形成された測定方向に周期変化する磁束を、スケールコイルと測定方向に相対移動する検出コイルで検出し、その増減に基づき前記相対移動量を算出する磁気式エンコーダに関する。
【0002】
【従来の技術】
磁気式エンコーダは、スケールとこれと相対移動するグリッドの移動量を検出し、グリッドの移動に関連づけられた測定対象物の移動量を算出するものである。スケールには、測定方向にスケールコイルが配列されており、グリッドには、スケールコイルを励磁する励磁コイルと、励磁されたスケールコイルの発生する磁束を検出する検出コイルが配置されている。励磁コイルに高周波電流が流され、磁界が形成され、この磁界によりスケールコイルに誘導電流が誘起される。この誘導電流によって、スケールコイルの配列方向に、所定周期の磁界が発生する。言い換えれば、所定周期の磁界が発生するようにスケールコイルの形状、配列が定められている。検出コイルは、この周期性の磁界を検出し、その周期性、強度から、スケールに対するグリッドの相対移動量を算出する。
【0003】
スケールコイルに誘起される電流、および検出コイルに誘起される電流は、コイル間の距離、すなわちスケールとグリッドの距離(間隔)の変化の影響を受けて変化する。したがって、スケールとグリッドの距離変化を抑える必要がある。このために、グリッドの、スケールに対向する面には、摺動コマが設けられている。摺動コマは、所定の高さを有し、グリッドに固定され、頂部がスケールに接触し、接触した状態でスケールとグリッドは相対移動を行う。スケールとグリッドの間隔は、この摺動コマの高さで規定され、一定の値に保たれる。磁気式エンコーダの概略構成は、下記特許文献1に記載されている。
【0004】
【特許文献1】
特開2002−31546公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前述の摺動コマは、スケールと接触しつつ移動するために、スケールおよびグリッドに静電気が発生し、蓄積された静電気が放電する際に、エンコーダの動作不良、故障が発生する問題があった。
【0006】
本発明は、スケール、グリッドに蓄積される静電気によるエンコーダの動作不良等を防止することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明の導電性の摺動コマを持つ磁気式エンコーダは、グリッドと回路の基準電位の間を接続する導体を有する。摺動コマが導電性であるので、スケールとグリッドの間での電位差は生じにくいが、グリッドを基準電位に対しても接地することにより、静電気の蓄積をより効果的に防止できる。また、スケールと、スケールが固定されたスケールベースの間を導体で接続しても良い。
【0008】
また、本発明の他の磁気エンコーダは、スケールとグリッド間の間隔を保持する摺動コマは絶縁性であり、スケールにはスケールコイルの配列に並んで、これに沿って延びる導電性材料からなる導通パタンが設けられ、グリッドには導通パタンに接触する導電性の導電用コマが設けられている。導電用コマにより、グリッドとスケールの間の導通が取られ、帯電が防止される。さらに、グリッドと回路の基準電位、またスケールとスケールベースの間を導通させることもできる。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態(以下実施形態という)を、図面に従って説明する。図1〜3は、磁気式エンコーダの概略構成と測定原理の説明図である、図中矢印で示す測定方向に延びるスケール10と、測定対象物と一体、または所定の関係をもって、測定方向に移動可能なグリッド12が配置されている。スケール10とグリッド12の相対移動量または相対位置を検出することにより、測定対象物の移動量または位置が検出される。スケール10には、測定方向に所定の規則をもって繰り返す配線パターンが形成される。配線パターンは、測定方向に1列に周期λ1/2で配置される第1スケールコイル14と、第1スケールコイル14の両側にそれぞれ周期λ2で配列される第2スケールコイル16と、第1および第2スケールコイル14,16を結合する結合配線18を含む。一方、グリッド12にも配線パターンが形成され、第1スケールコイル14に対応する位置に第1検出コイル20が、第2スケールコイル16に対応する位置に第2検出コイル22が配置されている。グリッド12には、さらに第2スケールコイル16に対応する位置に第1励磁コイル24、第1スケールコイル14に対応する位置に第2励磁コイル26が配置されている。
【0010】
第1および第2励磁コイル24,26には、送信制御部28よりそれぞれ所定周波数の電流が流される。この電流によって、スケールコイル14,16内に誘導電流が発生し、さらにこの誘導電流による磁界を検出コイル20,22で受信する。受信制御部30では、検出コイル20,22で受信された強度に基づいてグリッド12の移動量、位置の算出を行う。
【0011】
図2および図3には、本実施形態の磁気式エンコーダの測定原理が示されている。図2は、第1励磁コイル24および第1検出コイル20にかかる測定について説明するための図である。図示するように、2個の第1励磁コイル24に逆位相の電流を流す。これにより2個の第1励磁コイル24にそれぞれ対応して配置される第2スケールコイル16にも逆向きの電流が流れる。これらの電流は、結合配線18で結合されている第1スケールコイル14にも流れ、第1スケールコイル14の配列位置にて測定方向に交互に配列された逆向きの磁界を形成する。この磁界によって、第1検出コイル20の4個の菱形の部分には、交互に、図において逆回りの電流が誘起される。第1検出コイル20の4個の菱形部分は、第1スケールコイル14の配列ピッチと等しいピッチで配列され、また、図中配線が交差して見える部分は、紙面に直交する方向に離れており、絶縁が確保されている。この菱形部分の構成により、前記のように第1検出コイル20に誘起された電流は合算される。この電流の強度は、第1スケールコイル14と第1検出コイル20の測定方向の相対位置によって変化する。すなわち、第1検出コイル20の菱形の中心が、第1スケールコイル14の中心に一致する場合、最大値または最小値をとり、その間は、これらのコイルの位相に応じた値となる。この電流値は、ほぼ周期λ1の正弦波となる。
【0012】
図3は、第2励磁コイル26および第2検出コイル22にかかる測定について説明するための図である。図示するように、第2励磁コイル26に電流を流す。これにより各第1スケールコイル14に同一の向きの電流が流れる。この電流は、結合配線18で結合されている第2スケールコイル16にも流れ、全て同一の向きの磁界を形成する。測定方向に隣り合う第2スケールコイル16の間の部分には、第2スケールコイル16内に形成された磁界と逆向きの磁界が形成される。これらの磁界によって、第2検出コイル22の4個の菱形の部分には、交互に、図において逆回りの電流が誘起される。第2検出コイル22の4個の菱形部分は、第2スケールコイル14の配列ピッチと等しいピッチで配列され、また、図中配線が交差して見える部分は、紙面直交方向に離れており、絶縁が確保されている。この菱形部分の構成により、前記のように第2検出コイル22に誘起された電流は合算される。この電流の強度は、第2スケールコイル16と第2検出コイル22の測定方向の相対位置によって変化する。すなわち、第2検出コイル22の菱形の中心が、第2スケールコイル16の中心に一致する場合、最大値または最小値をとり、その間は、これらのコイルの位相に応じた値となる。この電流値は、ほぼ周期λ2の正弦波となる。
【0013】
第1検出コイル20と第2検出コイル22により検出される信号は、異なる周期λ1,λ2を有し、周期の最小公倍数の長さの間で、いわゆる絶対位置を測定することができる。
【0014】
図4は、スケール10とグリッド12の実際の配置の例を示す図である。スケール10は、スケールベース32に固定されている。このスケールベース32は、回路の基準電位に接続されている。スケール10に示した一点鎖線で囲われた領域34に、第1および第2スケールコイル14,16などの配線パタンが形成されている。図中、左右の方向が測定方向であり、前述のようにスケールコイルはこの方向に所定の周期のパタンにより配列されている。このスケールコイル配列領域34にグリッド12が対向して、図においては手前側に配置されている。グリッド12の、スケール10に対向する面のほぼ四隅には、摺動コマ36が固定されている。摺動コマ36は、スケール10にその頂部が当接している。したがって、スケール10とグリッド12の間隔は、この摺動コマ36の高さで規定される。また、摺動コマ36は、導電性材料で構成され、スケール10とグリッド12の間に電位の差を生じさせないようにしている。
【0015】
さらに、スケール10に接地用パタン38を形成し、これとスケールベース32を導体42、例えば導線で接続し、スケール10で生じた静電気をスケールベース32に逃がすようにする。また、グリッド12に接地用パタン40を形成し、これを回路の基準電位に導体44を用いて接続する。これにより、グリッド12に生じた静電気を基準電位へと逃がす。
【0016】
図5は、スケール10とグリッド12の実際の配置の他の例を示す図である。スケール10は、スケールベース32に固定されている。この例の場合においてもスケールベース32は、回路の基準電位に接続されている。スケール10に示した一点鎖線で囲われた領域34に、第1および第2スケールコイル14,16などの配線パタンが形成されている。図中、左右の方向が測定方向である、前述のようにスケールコイルはこの方向に所定周期のパタンにより配列されている。このスケールコイル配列領域34にグリッド12が対向して、配置されている。グリッド12の、スケール10に対向する面には、4個の摺動コマ50が配置、固定されている。摺動コマ50は、スケールコイルが配列された領域34の幅(図中上下方向の寸法)と同程度の間隔を空けて、グリッド12の図中左右の辺付近に、2個ずつ配置されている。摺動コマ50の頂部は、スケール10と接触しており、これによりスケール10とグリッド12の間隔が一定に保たれている。また、摺動コマ50は、絶縁性材料で構成されている。このため、摺動コマ50によってスケール・グリッド間を同電位とすることができない。
【0017】
スケール10とグリッド12を接続するために、スケール10には、スケールコイルの配列された領域34の隣に、これに沿って導電用コマ接続パタン52が形成されている。このパタン52に対向するグリッド12上の位置に導電用コマ54が設けられている。この導電用コマ54と導電用コマ接続パタン52によりスケール10とグリッド12が同電位となる。
【0018】
さらに、導電用コマ接続パタン52とスケールベース32を導体56、例えば導線で接続し、スケール10で発生した静電気をスケールベース32に逃がすようにする。また、グリッド12に接地用パタン58を設け、これと回路の基準電位を導体60で接続する。導体60を介してグリッド12に生じた静電気を基準電位に逃がすようにする。
【0019】
以上のように、摺動コマを用いた磁気式エンコーダにおいて、スケールおよびグリッドに発生する静電気をスケールベースに逃がすことにより、動作不良等を防止できる。なお、スケールコイルなどの配列の周期が2種類の場合について説明したが、単一周期のスケールを形成する場合、またさらに多くの種類の周期のスケールを形成する場合でも、全く同様に、静電気の防止に関する構成を採用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】磁気式エンコーダの測定原理の説明図であり、特に各コイルの配置を示す図である。
【図2】磁気式エンコーダの測定原理の説明図であり、特に信号検出に関する説明図である。
【図3】磁気式エンコーダの測定原理の説明図であり、特に信号検出に関する説明図である。
【図4】磁気式エンコーダのスケールとグリッドの配置の一例を示す図である。
【図5】磁気式エンコーダのスケールとグリッドの配置の他の例を示す図である。
【符号の説明】
10 スケール、12 グリッド、14 第1スケールコイル、16 第2スケールコイル、20 第1検出コイル、22 第2検出コイル、32 スケールべース、34 スケールコイルの配列された領域、36 導電性の摺動コマ、38,40 接地用パタン、42,44 導体、50 絶縁性の摺動コマ、52 導電用コマ接続パタン、54 導電用コマ、56,60 導体、58 接地用パタン。
Claims (4)
- スケールベースに固定されたスケールと、前記スケールに対して相対移動するグリッドとを備え、グリッドの移動量を検出して、測定対象の移動量を算出する磁気式エンコーダであって、
前記スケールは、測定方向に所定のパタンで配列されたスケールコイルを有し、 前記グリッドは、前記スケールコイルを励磁する励磁コイルと、励磁されたスケールコイルの磁束を検出する検出コイルを有し、
さらに、前記グリッドは、その前記スケールに対向する面に、前記スケールに接触し、グリッドとスケールの前記コイル同士の間隔を保持する導電性の摺動コマを有し、
前記グリッドと回路の基準電位の間を接続する導体を有する、
磁気式エンコーダ。 - スケールベースに固定されたスケールと、前記スケールに対して相対移動するグリッドとを備え、グリッドの移動量を検出して、測定対象の移動量を算出する磁気式エンコーダであって、
前記スケールは、測定方向に所定のパタンで配列されたスケールコイルを有し、 前記グリッドは、前記スケールコイルを励磁する励磁コイルと、励磁されたスケールコイルの磁束を検出する検出コイルを有し、
さらに、
前記スケールは、その前記グリッドに対向する面に前記スケールコイルの側方に、これに沿って延びる導電性材料からなる導通パタンを有し、
前記グリッドは、その前記スケールに対向する面に、前記スケールに接触し、グリッドとスケールの前記コイル同士の間隔を保持する絶縁性の摺動コマと、前記導通パタンと接触する導電性の導電用コマを有する、
磁気式エンコーダ。 - 請求項2に記載の磁気式エンコーダにおいて、前記グリッドと回路の基準電位の間を接続する導体を有する、磁気式エンコーダ。
- 請求項1または3に記載の磁気式エンコーダであって、前記スケールと前記スケールベースの間を接続する導体を有する、磁気式エンコーダ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003132826A JP2004333417A (ja) | 2003-05-12 | 2003-05-12 | 磁気式エンコーダ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003132826A JP2004333417A (ja) | 2003-05-12 | 2003-05-12 | 磁気式エンコーダ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004333417A true JP2004333417A (ja) | 2004-11-25 |
Family
ID=33507553
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003132826A Pending JP2004333417A (ja) | 2003-05-12 | 2003-05-12 | 磁気式エンコーダ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004333417A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014202615A (ja) * | 2013-04-05 | 2014-10-27 | ハイデンハイン株式会社 | リニアエンコーダ |
JP2016044967A (ja) * | 2014-08-19 | 2016-04-04 | 株式会社ミツトヨ | エンコーダスケールおよびその製造方法 |
DE102016206879A1 (de) | 2015-04-24 | 2016-10-27 | Mitutoyo Corporation | Messgeberskala und Herstellungs- und Anbringungsverfahren dafür |
JP2016206163A (ja) * | 2015-04-24 | 2016-12-08 | 株式会社ミツトヨ | エンコーダスケール及びその製造・取付方法 |
CN110567540A (zh) * | 2019-09-20 | 2019-12-13 | 长春工业大学 | 摩擦电式远传型浮子流量计 |
CN110567539A (zh) * | 2019-09-20 | 2019-12-13 | 长春工业大学 | 栅格位错型摩擦电式浮子流量计 |
CN110567535A (zh) * | 2019-09-20 | 2019-12-13 | 长春工业大学 | 翻板型摩擦电式转子流量计 |
-
2003
- 2003-05-12 JP JP2003132826A patent/JP2004333417A/ja active Pending
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014202615A (ja) * | 2013-04-05 | 2014-10-27 | ハイデンハイン株式会社 | リニアエンコーダ |
JP2016044967A (ja) * | 2014-08-19 | 2016-04-04 | 株式会社ミツトヨ | エンコーダスケールおよびその製造方法 |
DE102016206879A1 (de) | 2015-04-24 | 2016-10-27 | Mitutoyo Corporation | Messgeberskala und Herstellungs- und Anbringungsverfahren dafür |
CN106066182A (zh) * | 2015-04-24 | 2016-11-02 | 株式会社三丰 | 编码器标尺及其制造与附接方法 |
JP2016206163A (ja) * | 2015-04-24 | 2016-12-08 | 株式会社ミツトヨ | エンコーダスケール及びその製造・取付方法 |
US9739642B2 (en) | 2015-04-24 | 2017-08-22 | Mitutoyo Corporation | Encoder scale and manufacturing and attaching method thereof |
CN106066182B (zh) * | 2015-04-24 | 2020-05-22 | 株式会社三丰 | 编码器标尺及其制造与附接方法 |
DE102016206879B4 (de) | 2015-04-24 | 2023-06-22 | Mitutoyo Corporation | Messgeberskala und Herstellungs- und Anbringungsverfahren dafür |
CN110567540A (zh) * | 2019-09-20 | 2019-12-13 | 长春工业大学 | 摩擦电式远传型浮子流量计 |
CN110567539A (zh) * | 2019-09-20 | 2019-12-13 | 长春工业大学 | 栅格位错型摩擦电式浮子流量计 |
CN110567535A (zh) * | 2019-09-20 | 2019-12-13 | 长春工业大学 | 翻板型摩擦电式转子流量计 |
CN110567540B (zh) * | 2019-09-20 | 2020-10-23 | 长春工业大学 | 摩擦电式远传型浮子流量计 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11437893B2 (en) | Planar-drive system, stator module and sensor module | |
JP3842099B2 (ja) | 磁気式エンコーダ | |
JP6399559B2 (ja) | 位置検出システム | |
US6646433B2 (en) | Induced current position transducers using tape scales with apertures | |
JP7300324B2 (ja) | 電磁誘導式エンコーダのためのスケール構成 | |
JP4615955B2 (ja) | 誘導型変位検出装置 | |
CN110375775B (zh) | 电磁感应式编码器 | |
US9027428B2 (en) | Non-contact sensor and shift lever device | |
CN104819682B (zh) | 感应型位置测量设备 | |
JP2004333417A (ja) | 磁気式エンコーダ | |
EP1174687A2 (en) | Induced current position transducer | |
KR20220127313A (ko) | 유도성 포지션 센서들 | |
US20160216134A1 (en) | Electromagnetic-induction-type position detector and detection method | |
JP2014055791A (ja) | 電流センサ | |
JP6234497B2 (ja) | エンコーダ装置及びエンコーダ装置付き運動案内装置 | |
US20200240812A1 (en) | Electromagnetic induction type encoder | |
CN111006698B (zh) | 电磁感应型编码器 | |
JP2002031546A (ja) | 磁気式エンコーダ | |
JP7294902B2 (ja) | 電磁誘導式エンコーダ | |
EP4053509A1 (en) | Target and receiver for an inductive sensor | |
JP2005077150A (ja) | 誘導型位置検出装置 | |
JP4266130B2 (ja) | 磁気式エンコーダ | |
JP6121657B2 (ja) | 差動磁場印加装置及び差動磁場印加方法 | |
JP6134964B2 (ja) | 誘導型変位検出装置 | |
JP3806331B2 (ja) | 磁気式エンコーダのスライダ |