JP2004324723A - 配管接続構造及びヒータ内蔵シール部材 - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明は、フランジが設けられ、且つシール部材が設けられた配管接続部であっても、配管接続部を効率的に加熱して反応ガスによる生成物の堆積を防止することのできる配管接続構造、及びそのような配管接続構造に用いるシール部材を提供することを目的とする。
【解決手段】配管部材4aのフランジ4bの間に、配管接続部を気密に保持するためのOリング30が設けられる。Oリング30の内部に電熱ヒータ34が埋め込まれており、リード線32がOリング30の外周から延出する。リード線32からOリング内の電熱ヒータ34に通電することにより、Oリング30の近傍を所定の温度に加熱して維持することができる。
【選択図】 図5
【解決手段】配管部材4aのフランジ4bの間に、配管接続部を気密に保持するためのOリング30が設けられる。Oリング30の内部に電熱ヒータ34が埋め込まれており、リード線32がOリング30の外周から延出する。リード線32からOリング内の電熱ヒータ34に通電することにより、Oリング30の近傍を所定の温度に加熱して維持することができる。
【選択図】 図5
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は配管接続構造に係り、より詳細には、Oリング等のシール部材を用いて気密な状態で配管を接続する配管接続構造に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体製造設備等において、処理ガスを半導体製造装置に供給したり、半導体製造装置から処理ガスを排気したりするために、処理ガスを流すための配管が半導体製造装置に接続される。
【0003】
図1は従来の半導体製造設備の一例を示す図である。図1に示す半導体製造設備は、半導体製造装置2を有する。半導体製造装置2は、例えばSiH4,SiH2Cl2,NH3,TEOS,TEB,TEPO,WF6等の反応性ガスをシリコンウェハ等の基板に供給して、基板上に薄膜を形成するための装置である。なお、図1において、反応性ガスや他の処理ガスや不活性ガスの供給系の図示は省略されている。
【0004】
半導体製造装置2に供給された反応性ガスは、基板の処理に使用された後、大部分はそのまま半導体製造装置2から排気配管4を介して排気される。排気配管4はドライポンプ等の真空排気ポンプ6に接続され、真空排気ポンプ6により半導体製造装置内2のガスを真空排気する。
【0005】
半導体製造装置2はクリーンルームの床に設置されるが、真空排気ポンプ6は床下のポンプ室に設置されるため、排気配管4はクリーンルームの床上から床下へと延在し、ポンプ室にて真空排気ポンプ6の吸入口に接続される。
【0006】
真空排気ポンプ6の排気口は、排気配管8を介して除害装置10に接続される。真空排気ポンプ6からの排気中の処理ガス等の有害なガスは除外装置10により取り除かれ、大気中に放出できる状態の排気が建屋排気ダクト12へと送られる。
【0007】
上述の排気配管4,8は、ある程度の長さが必要であり、一般的に数本の配管部材(直線のパイプ部材や90度に曲げられたパイプ部材)を繋ぎ合わせて構成される。このため、配管部材の繋ぎ目、すなわち配管接続部4A及び8Aは、気密性を確保できるような接続構造を有する。
【0008】
ここで、上述のように、半導体製造装置2においてSiH4,SiH2Cl2,NH3,TEOS,TEB,TEPO,WF6等の反応性ガスを用いた処理が行なわれる場合、反応に寄与しなかった反応性ガスは、真空排気ポンプ6により排気されるため、排気配管4及び8を流れることとなる。
【0009】
上述の反応性ガスは、半導体製造装置内で加熱された状態では気体であるが、排気配管4,8内で室温あるいは室温に近い温度まで冷却されると、昇華により個体(粉体)となる性質を有するものがある。また、排気配管4,8内で反応性ガスと他のガスとが反応して個体が生成される場合もある。
【0010】
例えば、半導体製造装置2において、反応性ガスとしてSiH4及びNH3を用いるような処理を行う場合、これらのガスが排気配管4,8内で冷却されると、昇華により生成される粉体及び反応性ガスが互いに反応して生成される粉体(この場合酸化ケイ素が生成される)が、生成された粉体は排気配管4,8の内壁に付着して堆積してしまう。堆積した粉体の量が多くなると排気配管4,8が粉体により閉塞された状態となることもある。
【0011】
例えば、上述のように反応性ガスとしてSiH4及びNH3を用いるような処理では、処理時の温度は400〜800℃程度であるが、排気配管において反応性ガスの温度が約120℃より低くなると、排気配管内に粉体が堆積することが知られている。
【0012】
このような問題を防止するために、排気配管4,8に電熱線(ヒータ)を巻きつけて排気配管をある程度の温度(上述の場合120℃)に加熱し、反応性ガスの昇華及び反応性ガスの反応が生じないようにする。図2おいて、排気配管4,8の加熱範囲を点線で示している。一般的に、加熱範囲において配管に電熱線が巻き付けられ、その外側は断熱材で覆われる。
【0013】
【特許文献1】
特開平8−115885号公報
【0014】
【特許文献2】
特開平10−168571号公報
【0015】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、排気配管4,8を適切な温度に加熱した場合であっても、配管接続部4A,8Aの内面付近に粉体が堆積する場合がある。これは、配管接続部4A,8Aの内部は、構造的にみて外周に巻きつけられたヒータでは十分に加熱できないためである。
【0016】
すなわち、図3に示すように、配管接続部4Aの内部は、各配管部材4aに設けられたフランジ4b同士をカップリング14により締め付けて繋ぎ合せる構成であり、ヒータ16と内壁との距離が大きくなってしまうため加熱しにくい。加えて、配管接続部4Aには、気密性を維持するためにシール部材としてOリング18が設けられているが、Oリング18自体は熱伝導性が低いゴムやプラスチックの弾性体により形成されているため、この部分での熱伝導が悪く、配管接続部4Aの内壁まで十分に熱が伝わらない。
【0017】
図4は、Oリング18を支持するOリング座20の構成を示す図であり、(a)は平面図、(b)は半断面側面図である。Oリング座20は、インナリング20Aとアウタリング20Bとよりなり、間にOリング18が挟まれた状態で支持される。
【0018】
上述の反応性ガスから生成される粉体は、インナリング20Aの内面部及びその近傍に堆積する。なお、排気配管8の配管接続部8Aも同様な構成であり、同様な問題を有している。
【0019】
以上のように、従来の配管接続部にはフランジ及びシール部材が設けられるため、配管接続部の温度が低下し、反応性ガスが所定の温度以下となって内面に粉体が堆積してしまうという問題あった。
【0020】
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、フランジが設けられ、且つシール部材が設けられた配管接続部であっても、配管接続部を効率的に加熱して反応ガスによる生成物の堆積を防止することのできる配管接続構造、及びそのような配管接続構造に用いるシール部材を提供することを目的とする。
【0021】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、本発明によれば、配管接続部の気密を保持するためのシール部材を有する配管接続構造であって、前記シール部材の内部に電熱ヒータが埋め込まれていることを特徴とする配管接続構造が提供される。
【0022】
上述の発明によれば、配管接続構造の内部に設けられるシール部材が内部から加熱されるため、シール部材の近傍を所定の温度に維持することができる。したがって、シール部材の近傍の配管の内面を所定温度に加熱して維持することができる。
【0023】
上述の発明において、前記シール部材は円環状に形成された弾性部材よりなり、前記電熱ヒータは線状のヒータであって円周に沿って配置された状態で該弾性部材中に埋め込まれ、前記電熱ヒータに接続されたリード線が前記弾性部材の外周から延出することが好ましい。
【0024】
また、前記配管部材は端部にフランジを有し、該フランジ同士を対向させてその間に前記シール部材が配置され、前記リード線は前記フランジの間を延在して配管接続部の外部に導出されることとしてもよい。
【0025】
本発明の一実施例では、前記シール部材は断面が円形のOリングとして形成され、該Oリングの内周側及び外周側に該Oリングの潰れ代を調整するための環状部材が設けられる。
【0026】
また、本発明によれば、配管接続部の気密を保持するためのシール部材であって、前記シール部材の内部に電熱ヒータが埋め込まれていることを特徴とするシール部材が提供される。
【発明の実施の形態】
次に、本発明の一実施例による配管接続部の構造について、図5を参照しながら説明する。図5は本発明の一実施例による配管接続構造を示す断面図である。なお、図5に示す配管接続部は、図1に示す半導体製造設備の排気配管に適用される構造である。ただし、本発明による配管接続部は、図1に示す排気配管に限ることなく、半導体製造装置2へのガス供給配管にも適用することができる。また、本発明による配管接続構造を適用可能な配管が接続される装置としては、半導体製造装置に限ることなく、ガスを供給しながら処理を施す処理装置にも本発明による配管接続構造を適用することができる。
【0027】
図5に示す配管接続構造は、Oリング14の代わりにヒータを内蔵したOリング30を設ける他は、図3に示す配管接続構造と同様であり、同等な構成部品には同じ符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【0028】
Oリング30には、後述するように電熱ヒータが埋め込まれており、Oリング30自体を加熱することができる。したがって、配管接続部の内面(インナリング20Aの内面)に非常に近い部分において、配管接続部を加熱することができる。すなわち、Oリング30の温度とインナリング20Aの内面の温度はほぼ等しくなるため、Oリング30の温度が例えば120℃となるように内部の電熱ヒータに通電して加熱すれば、インナリング20Aの内面もほぼ120℃となり、反応性ガスにより粉体が生成されないような温度に維持することができる。なお、上述の120℃という加熱温度は反応性ガスの種類によって異なるものであり、反応性ガスの種類によって加熱温度を変更する必要がある。
【0029】
図6は図5に示すOリング座20を示す図であり、(a)は平面図、(b)は半断面側面図である。本実施例におけるOリング座20には、環状のシール部材としてヒータ内蔵Oリング30が組み込まれる。Oリング座は、Oリング30を配管部材4のフランジ4bの間に挟んで押圧した際に、所定の潰し代を維持するために設けられる環状部材である。
【0030】
ヒータ内蔵Oリング30の外周面からは、内蔵ヒータに対して通電するためのリード線32が延出している。リード線32を配管接続部の外部に引き出すために、アウタリング20Bの一部は切断されており、切断した部分にリード線32を通してアウタリングの外部に延出させる。アウタリング20Bの切断部を通過したリード線32は、対向するフランジ4bの間の空間を通り、カップリング14に形成された孔から外部に導出される。
【0031】
配管部材4aは、内部を流れるガスにより腐食されないように、例えばSUS316やSUS314のようなステンレス鋼管を用いて形成され、両端に接続用のフランジ4bが形成される。本実施例に用いられる配管部材4aは、従来用いられている配管部材4aをそのまま使用することができ、特別な加工を施す必要なはい。
【0032】
Oリング座20は、インナリング20Aとアウタリング20Bとに分かれているが、各々はステンレス鋼やアルミニウムにより形成されことが好ましい。特に、インナリング20Aには反応性ガスが接触するので、腐蝕しにくい材料で形成されることが好ましく、表面にフッ素コートを施したアルミニウムを用いることとしてもよい。
【0033】
Oリング座20は、フランジ4aの間に挟まれてOリング30が所定の潰し代を持って変形された状態に維持する機能を果たす。また、インナリング20Bは両側に延在する円筒状の延在部20Baを有し、この延在部20Baが両側の配管部材4aの内周に嵌合することで、配管部材4a同士を位置合わせする機能も有する。
【0034】
次に、本実施例によるシール部材としてのヒータ内蔵Oリング30について、図7及び図8を参照しながら説明する。図7は図5に示すOリング30の平面図であり、図8は図7のA−A線に沿った断面図である。
【0035】
上述のように、Oリング30は内部に電熱ヒータ34を有し、電熱ヒータ34に接続された例えば被覆銅線よりなるリード線32が外周の一部からOリング30の外部に延出している。電熱ヒータ34はOリング30の断面における中心部分に長手方向に沿ってほぼ全周にわたって設けられる。したがって、リード線32を介して電熱ヒータ34に電力を供給することにより、Oリング30は内部から加熱され、Oリング30自体を例えば120℃のような所定の温度に維持することができる。
【0036】
Oリング30は、シリコン系あるいはフッ素系のゴムや弾力性を有するプラスチックを用いて形成される。耐薬品性や耐熱性を考慮すると、例えば、バイトン(登録商標)やカルレッツ(登録商標)などを用いることが好ましい。
【0037】
電熱ヒータ34は、例えばニクロム線のような電熱線により形成され、成形時に鋳込むことでOリング30の内部に設けることができる。すなわち、リード線32を接続した略円形のヒータ34の周囲にOリングが形成されるように成型時にヒータ34を型内に配置することで、ヒータ内蔵Oリング30を成形する。
【0038】
Oリング30の成形の際、図7の拡大部分に示すように、リード線32の被覆32aの先端も、電熱ヒータ34と共にOリング30内に埋め込まれる状態とすることが好ましい。リード線32のリード32bが被覆無しでOリング30の外周から延出すると、この部分で折れ曲がって損傷したり、リード同士が接触するおそれがあるからである。
【0039】
以上のような構成のOリング30は、配管接続部を気密に維持するためだけでなく、内蔵された電熱ヒータ34に通電することにより、配管接続部(特にインナリング20Aの内面)を所定の温度に加熱することができる。したがって、反応性ガスが配管接続部を通過する際でも、反応性ガスを所定の温度に維持することができ、上述のような粉体が生成されることがなく、配管内に粉体が堆積することを防止することができる。
【0040】
なお、上述の実施例では、断面が円形の環状シール部材としてOリングが用いられているが、円形断面に限ることなく、シール部材として機能する形状であれば任意の形状とすることができる。
【0041】
また、上述の実施例では、Oリングの潰し代を調整するためにOリング座を設けているが、例えばフランジの面に所定の深さの溝を形成してその中にOリングを収容することにより、Oリング座を用いなくても所定のOリングの潰し代を確保することができる。
【発明の効果】
上述の如く本発明によれば、配管接続構造の内部に設けられるシール部材が内部から加熱されるため、シール部材の近傍を所定の温度に維持することができる。したがって、シール部材の近傍の配管の内面を所定温度に加熱して維持することができ、反応性ガス等が配管接続部を流れる反応性ガス等の温度を所定の加熱温度に維持しておくことがでできる。これにより、反応性ガスが低温になった際に生成される粉体等が生成されることがなく、配管内に粉体が堆積することを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】半導体製造設備を示す図である。
【図2】図1の半導体製造設備において、排気配管の加熱範囲を示す図である。
【図3】図1に示す配管接続部の構造を示す断面図である。
【図4】図3に示すOリングを支持するOリング座の構成を示す図である。
【図5】本発明の一実施例による配管接続構造を示す断面図である。
【図6】図5に示すOリング座の構成を示す図である。
【図7】図5に示すOリングの平面図である。
【図8】図7のA−A線に沿った断面図である。
【符号の説明】
2 半導体製造設備
4,8 排気配管
4A,8A 配管接続部
4a 配管部材
4b フランジ
6 真空排気ポンプ
10 除害装置
12 建屋排気ダクト
14 カップリング
16 ヒータ
18 Oリング
20 Oリング座
20A インナリング
20B アウタリング
30 Oリング
32 リード線
32a 被覆
32b リード
34 電熱ヒータ
【発明の属する技術分野】
本発明は配管接続構造に係り、より詳細には、Oリング等のシール部材を用いて気密な状態で配管を接続する配管接続構造に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体製造設備等において、処理ガスを半導体製造装置に供給したり、半導体製造装置から処理ガスを排気したりするために、処理ガスを流すための配管が半導体製造装置に接続される。
【0003】
図1は従来の半導体製造設備の一例を示す図である。図1に示す半導体製造設備は、半導体製造装置2を有する。半導体製造装置2は、例えばSiH4,SiH2Cl2,NH3,TEOS,TEB,TEPO,WF6等の反応性ガスをシリコンウェハ等の基板に供給して、基板上に薄膜を形成するための装置である。なお、図1において、反応性ガスや他の処理ガスや不活性ガスの供給系の図示は省略されている。
【0004】
半導体製造装置2に供給された反応性ガスは、基板の処理に使用された後、大部分はそのまま半導体製造装置2から排気配管4を介して排気される。排気配管4はドライポンプ等の真空排気ポンプ6に接続され、真空排気ポンプ6により半導体製造装置内2のガスを真空排気する。
【0005】
半導体製造装置2はクリーンルームの床に設置されるが、真空排気ポンプ6は床下のポンプ室に設置されるため、排気配管4はクリーンルームの床上から床下へと延在し、ポンプ室にて真空排気ポンプ6の吸入口に接続される。
【0006】
真空排気ポンプ6の排気口は、排気配管8を介して除害装置10に接続される。真空排気ポンプ6からの排気中の処理ガス等の有害なガスは除外装置10により取り除かれ、大気中に放出できる状態の排気が建屋排気ダクト12へと送られる。
【0007】
上述の排気配管4,8は、ある程度の長さが必要であり、一般的に数本の配管部材(直線のパイプ部材や90度に曲げられたパイプ部材)を繋ぎ合わせて構成される。このため、配管部材の繋ぎ目、すなわち配管接続部4A及び8Aは、気密性を確保できるような接続構造を有する。
【0008】
ここで、上述のように、半導体製造装置2においてSiH4,SiH2Cl2,NH3,TEOS,TEB,TEPO,WF6等の反応性ガスを用いた処理が行なわれる場合、反応に寄与しなかった反応性ガスは、真空排気ポンプ6により排気されるため、排気配管4及び8を流れることとなる。
【0009】
上述の反応性ガスは、半導体製造装置内で加熱された状態では気体であるが、排気配管4,8内で室温あるいは室温に近い温度まで冷却されると、昇華により個体(粉体)となる性質を有するものがある。また、排気配管4,8内で反応性ガスと他のガスとが反応して個体が生成される場合もある。
【0010】
例えば、半導体製造装置2において、反応性ガスとしてSiH4及びNH3を用いるような処理を行う場合、これらのガスが排気配管4,8内で冷却されると、昇華により生成される粉体及び反応性ガスが互いに反応して生成される粉体(この場合酸化ケイ素が生成される)が、生成された粉体は排気配管4,8の内壁に付着して堆積してしまう。堆積した粉体の量が多くなると排気配管4,8が粉体により閉塞された状態となることもある。
【0011】
例えば、上述のように反応性ガスとしてSiH4及びNH3を用いるような処理では、処理時の温度は400〜800℃程度であるが、排気配管において反応性ガスの温度が約120℃より低くなると、排気配管内に粉体が堆積することが知られている。
【0012】
このような問題を防止するために、排気配管4,8に電熱線(ヒータ)を巻きつけて排気配管をある程度の温度(上述の場合120℃)に加熱し、反応性ガスの昇華及び反応性ガスの反応が生じないようにする。図2おいて、排気配管4,8の加熱範囲を点線で示している。一般的に、加熱範囲において配管に電熱線が巻き付けられ、その外側は断熱材で覆われる。
【0013】
【特許文献1】
特開平8−115885号公報
【0014】
【特許文献2】
特開平10−168571号公報
【0015】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、排気配管4,8を適切な温度に加熱した場合であっても、配管接続部4A,8Aの内面付近に粉体が堆積する場合がある。これは、配管接続部4A,8Aの内部は、構造的にみて外周に巻きつけられたヒータでは十分に加熱できないためである。
【0016】
すなわち、図3に示すように、配管接続部4Aの内部は、各配管部材4aに設けられたフランジ4b同士をカップリング14により締め付けて繋ぎ合せる構成であり、ヒータ16と内壁との距離が大きくなってしまうため加熱しにくい。加えて、配管接続部4Aには、気密性を維持するためにシール部材としてOリング18が設けられているが、Oリング18自体は熱伝導性が低いゴムやプラスチックの弾性体により形成されているため、この部分での熱伝導が悪く、配管接続部4Aの内壁まで十分に熱が伝わらない。
【0017】
図4は、Oリング18を支持するOリング座20の構成を示す図であり、(a)は平面図、(b)は半断面側面図である。Oリング座20は、インナリング20Aとアウタリング20Bとよりなり、間にOリング18が挟まれた状態で支持される。
【0018】
上述の反応性ガスから生成される粉体は、インナリング20Aの内面部及びその近傍に堆積する。なお、排気配管8の配管接続部8Aも同様な構成であり、同様な問題を有している。
【0019】
以上のように、従来の配管接続部にはフランジ及びシール部材が設けられるため、配管接続部の温度が低下し、反応性ガスが所定の温度以下となって内面に粉体が堆積してしまうという問題あった。
【0020】
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、フランジが設けられ、且つシール部材が設けられた配管接続部であっても、配管接続部を効率的に加熱して反応ガスによる生成物の堆積を防止することのできる配管接続構造、及びそのような配管接続構造に用いるシール部材を提供することを目的とする。
【0021】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、本発明によれば、配管接続部の気密を保持するためのシール部材を有する配管接続構造であって、前記シール部材の内部に電熱ヒータが埋め込まれていることを特徴とする配管接続構造が提供される。
【0022】
上述の発明によれば、配管接続構造の内部に設けられるシール部材が内部から加熱されるため、シール部材の近傍を所定の温度に維持することができる。したがって、シール部材の近傍の配管の内面を所定温度に加熱して維持することができる。
【0023】
上述の発明において、前記シール部材は円環状に形成された弾性部材よりなり、前記電熱ヒータは線状のヒータであって円周に沿って配置された状態で該弾性部材中に埋め込まれ、前記電熱ヒータに接続されたリード線が前記弾性部材の外周から延出することが好ましい。
【0024】
また、前記配管部材は端部にフランジを有し、該フランジ同士を対向させてその間に前記シール部材が配置され、前記リード線は前記フランジの間を延在して配管接続部の外部に導出されることとしてもよい。
【0025】
本発明の一実施例では、前記シール部材は断面が円形のOリングとして形成され、該Oリングの内周側及び外周側に該Oリングの潰れ代を調整するための環状部材が設けられる。
【0026】
また、本発明によれば、配管接続部の気密を保持するためのシール部材であって、前記シール部材の内部に電熱ヒータが埋め込まれていることを特徴とするシール部材が提供される。
【発明の実施の形態】
次に、本発明の一実施例による配管接続部の構造について、図5を参照しながら説明する。図5は本発明の一実施例による配管接続構造を示す断面図である。なお、図5に示す配管接続部は、図1に示す半導体製造設備の排気配管に適用される構造である。ただし、本発明による配管接続部は、図1に示す排気配管に限ることなく、半導体製造装置2へのガス供給配管にも適用することができる。また、本発明による配管接続構造を適用可能な配管が接続される装置としては、半導体製造装置に限ることなく、ガスを供給しながら処理を施す処理装置にも本発明による配管接続構造を適用することができる。
【0027】
図5に示す配管接続構造は、Oリング14の代わりにヒータを内蔵したOリング30を設ける他は、図3に示す配管接続構造と同様であり、同等な構成部品には同じ符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【0028】
Oリング30には、後述するように電熱ヒータが埋め込まれており、Oリング30自体を加熱することができる。したがって、配管接続部の内面(インナリング20Aの内面)に非常に近い部分において、配管接続部を加熱することができる。すなわち、Oリング30の温度とインナリング20Aの内面の温度はほぼ等しくなるため、Oリング30の温度が例えば120℃となるように内部の電熱ヒータに通電して加熱すれば、インナリング20Aの内面もほぼ120℃となり、反応性ガスにより粉体が生成されないような温度に維持することができる。なお、上述の120℃という加熱温度は反応性ガスの種類によって異なるものであり、反応性ガスの種類によって加熱温度を変更する必要がある。
【0029】
図6は図5に示すOリング座20を示す図であり、(a)は平面図、(b)は半断面側面図である。本実施例におけるOリング座20には、環状のシール部材としてヒータ内蔵Oリング30が組み込まれる。Oリング座は、Oリング30を配管部材4のフランジ4bの間に挟んで押圧した際に、所定の潰し代を維持するために設けられる環状部材である。
【0030】
ヒータ内蔵Oリング30の外周面からは、内蔵ヒータに対して通電するためのリード線32が延出している。リード線32を配管接続部の外部に引き出すために、アウタリング20Bの一部は切断されており、切断した部分にリード線32を通してアウタリングの外部に延出させる。アウタリング20Bの切断部を通過したリード線32は、対向するフランジ4bの間の空間を通り、カップリング14に形成された孔から外部に導出される。
【0031】
配管部材4aは、内部を流れるガスにより腐食されないように、例えばSUS316やSUS314のようなステンレス鋼管を用いて形成され、両端に接続用のフランジ4bが形成される。本実施例に用いられる配管部材4aは、従来用いられている配管部材4aをそのまま使用することができ、特別な加工を施す必要なはい。
【0032】
Oリング座20は、インナリング20Aとアウタリング20Bとに分かれているが、各々はステンレス鋼やアルミニウムにより形成されことが好ましい。特に、インナリング20Aには反応性ガスが接触するので、腐蝕しにくい材料で形成されることが好ましく、表面にフッ素コートを施したアルミニウムを用いることとしてもよい。
【0033】
Oリング座20は、フランジ4aの間に挟まれてOリング30が所定の潰し代を持って変形された状態に維持する機能を果たす。また、インナリング20Bは両側に延在する円筒状の延在部20Baを有し、この延在部20Baが両側の配管部材4aの内周に嵌合することで、配管部材4a同士を位置合わせする機能も有する。
【0034】
次に、本実施例によるシール部材としてのヒータ内蔵Oリング30について、図7及び図8を参照しながら説明する。図7は図5に示すOリング30の平面図であり、図8は図7のA−A線に沿った断面図である。
【0035】
上述のように、Oリング30は内部に電熱ヒータ34を有し、電熱ヒータ34に接続された例えば被覆銅線よりなるリード線32が外周の一部からOリング30の外部に延出している。電熱ヒータ34はOリング30の断面における中心部分に長手方向に沿ってほぼ全周にわたって設けられる。したがって、リード線32を介して電熱ヒータ34に電力を供給することにより、Oリング30は内部から加熱され、Oリング30自体を例えば120℃のような所定の温度に維持することができる。
【0036】
Oリング30は、シリコン系あるいはフッ素系のゴムや弾力性を有するプラスチックを用いて形成される。耐薬品性や耐熱性を考慮すると、例えば、バイトン(登録商標)やカルレッツ(登録商標)などを用いることが好ましい。
【0037】
電熱ヒータ34は、例えばニクロム線のような電熱線により形成され、成形時に鋳込むことでOリング30の内部に設けることができる。すなわち、リード線32を接続した略円形のヒータ34の周囲にOリングが形成されるように成型時にヒータ34を型内に配置することで、ヒータ内蔵Oリング30を成形する。
【0038】
Oリング30の成形の際、図7の拡大部分に示すように、リード線32の被覆32aの先端も、電熱ヒータ34と共にOリング30内に埋め込まれる状態とすることが好ましい。リード線32のリード32bが被覆無しでOリング30の外周から延出すると、この部分で折れ曲がって損傷したり、リード同士が接触するおそれがあるからである。
【0039】
以上のような構成のOリング30は、配管接続部を気密に維持するためだけでなく、内蔵された電熱ヒータ34に通電することにより、配管接続部(特にインナリング20Aの内面)を所定の温度に加熱することができる。したがって、反応性ガスが配管接続部を通過する際でも、反応性ガスを所定の温度に維持することができ、上述のような粉体が生成されることがなく、配管内に粉体が堆積することを防止することができる。
【0040】
なお、上述の実施例では、断面が円形の環状シール部材としてOリングが用いられているが、円形断面に限ることなく、シール部材として機能する形状であれば任意の形状とすることができる。
【0041】
また、上述の実施例では、Oリングの潰し代を調整するためにOリング座を設けているが、例えばフランジの面に所定の深さの溝を形成してその中にOリングを収容することにより、Oリング座を用いなくても所定のOリングの潰し代を確保することができる。
【発明の効果】
上述の如く本発明によれば、配管接続構造の内部に設けられるシール部材が内部から加熱されるため、シール部材の近傍を所定の温度に維持することができる。したがって、シール部材の近傍の配管の内面を所定温度に加熱して維持することができ、反応性ガス等が配管接続部を流れる反応性ガス等の温度を所定の加熱温度に維持しておくことがでできる。これにより、反応性ガスが低温になった際に生成される粉体等が生成されることがなく、配管内に粉体が堆積することを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】半導体製造設備を示す図である。
【図2】図1の半導体製造設備において、排気配管の加熱範囲を示す図である。
【図3】図1に示す配管接続部の構造を示す断面図である。
【図4】図3に示すOリングを支持するOリング座の構成を示す図である。
【図5】本発明の一実施例による配管接続構造を示す断面図である。
【図6】図5に示すOリング座の構成を示す図である。
【図7】図5に示すOリングの平面図である。
【図8】図7のA−A線に沿った断面図である。
【符号の説明】
2 半導体製造設備
4,8 排気配管
4A,8A 配管接続部
4a 配管部材
4b フランジ
6 真空排気ポンプ
10 除害装置
12 建屋排気ダクト
14 カップリング
16 ヒータ
18 Oリング
20 Oリング座
20A インナリング
20B アウタリング
30 Oリング
32 リード線
32a 被覆
32b リード
34 電熱ヒータ
Claims (5)
- 配管接続部の気密を保持するためのシール部材を有する配管接続構造であって、
前記シール部材の内部に電熱ヒータが埋め込まれていることを特徴とする配管接続構造。 - 請求項1記載の配管接続構造であって、
前記シール部材は円環状に形成された弾性部材よりなり、前記電熱ヒータは線状のヒータであって円周に沿って配置された状態で該弾性部材中に埋め込まれ、前記電熱ヒータに接続されたリード線が前記弾性部材の外周から延出することを特徴とする配管接続構造。 - 請求項2記載の配管接続構造であって、
前記配管部材は端部にフランジを有し、該フランジ同士を対向させてその間に前記シール部材が配置され、前記リード線は前記フランジの間を延在して配管接続部の外部に導出されることを特徴とする配管接続構造。 - 請求項1乃至3のうちいずれか一項記載の配管接続構造であって、
前記シール部材は断面が円形のOリングとして形成され、該Oリングの内周側及び外周側に該Oリングの潰れ代を調整するための環状部材が設けられることを特徴とする配管接続構造。 - 配管接続部の気密を保持するためのシール部材であって、
前記シール部材の内部に電熱ヒータが埋め込まれていることを特徴とするシール部材。
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Cited By (7)
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KR100786274B1 (ko) | 2006-05-22 | 2007-12-18 | 주식회사 에스에프에이 | 화학 기상 증착장치 |
JP2008311346A (ja) * | 2007-06-13 | 2008-12-25 | Fujitsu Microelectronics Ltd | 半導体製造装置、半導体装置の製造方法、及びこれらに使用するシール部材 |
JP2010531967A (ja) * | 2007-07-02 | 2010-09-30 | エドワーズ リミテッド | Fkm又はffkm多層シール |
WO2011013810A1 (ja) * | 2009-07-31 | 2011-02-03 | 株式会社 アルバック | 半導体装置の製造方法及び半導体装置の製造装置 |
WO2011013812A1 (ja) * | 2009-07-31 | 2011-02-03 | 株式会社 アルバック | 半導体装置の製造装置及び半導体装置の製造方法 |
WO2011013811A1 (ja) * | 2009-07-31 | 2011-02-03 | 株式会社 アルバック | 半導体装置の製造装置及び半導体装置の製造方法 |
CN103470889A (zh) * | 2013-09-17 | 2013-12-25 | 宁波市镇海声光密封件厂(普通合伙) | 一种密封圈 |
-
2003
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Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100786274B1 (ko) | 2006-05-22 | 2007-12-18 | 주식회사 에스에프에이 | 화학 기상 증착장치 |
JP2008311346A (ja) * | 2007-06-13 | 2008-12-25 | Fujitsu Microelectronics Ltd | 半導体製造装置、半導体装置の製造方法、及びこれらに使用するシール部材 |
JP2010531967A (ja) * | 2007-07-02 | 2010-09-30 | エドワーズ リミテッド | Fkm又はffkm多層シール |
WO2011013810A1 (ja) * | 2009-07-31 | 2011-02-03 | 株式会社 アルバック | 半導体装置の製造方法及び半導体装置の製造装置 |
WO2011013812A1 (ja) * | 2009-07-31 | 2011-02-03 | 株式会社 アルバック | 半導体装置の製造装置及び半導体装置の製造方法 |
WO2011013811A1 (ja) * | 2009-07-31 | 2011-02-03 | 株式会社 アルバック | 半導体装置の製造装置及び半導体装置の製造方法 |
JPWO2011013811A1 (ja) * | 2009-07-31 | 2013-01-10 | 株式会社アルバック | 半導体装置の製造装置及び半導体装置の製造方法 |
JPWO2011013812A1 (ja) * | 2009-07-31 | 2013-01-10 | 株式会社アルバック | 半導体装置の製造装置及び半導体装置の製造方法 |
JP5389924B2 (ja) * | 2009-07-31 | 2014-01-15 | 株式会社アルバック | 半導体装置の製造方法及び半導体装置の製造装置 |
CN103470889A (zh) * | 2013-09-17 | 2013-12-25 | 宁波市镇海声光密封件厂(普通合伙) | 一种密封圈 |
CN103470889B (zh) * | 2013-09-17 | 2015-08-26 | 宁波市镇海声光密封件厂(普通合伙) | 一种密封圈 |
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