JP2004311574A

JP2004311574A - Interposer, manufacturing method thereof, and electronic device

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Publication number: JP2004311574A
Application number: JP2003100340A
Authority: JP
Inventors: Mitsutoshi Azuma; 光敏東
Original assignee: Shinko Electric Industries Co Ltd
Current assignee: Shinko Electric Industries Co Ltd
Priority date: 2003-04-03
Filing date: 2003-04-03
Publication date: 2004-11-04
Anticipated expiration: 2023-04-03
Also published as: JP4330367B2

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an interposer capable of preventing the generation of damage or coming-off of a semiconductor chip and abnormal operation due to warpage of a wiring board and a semiconductor chip caused by mismatching between coefficients of linear expansion, in mounting the semiconductor chip on a wiring board via an interposer by an FC method, and then sealing it with an underfill material. <P>SOLUTION: The interposer has a base made of an inorganic material having thermal resistance and insulation property, and conductor embedding through holes piercing the base and each being filled with a conductor in its piercing portion. The base is so constituted that it has a cross-sectional shape moved in a widthwise direction so that deformation caused in an electronic device manufacturing process can be compensated. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インターポーザーに関し、さらに詳しく述べると、配線基板と、該配線基板に搭載される電子素子（例えば、半導体チップ）との間に介挿されて半導体装置やその他の電子装置を構成するために用いられるインターポーザー（インターポーザー基板とも呼ばれる）に関する。本発明は、また、そのようなインターポーザーの製造方法と、そのようなインターポーザーを組み込んだ、半導体装置やその他の電子装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
周知の通り、半導体装置は、例えば多層回路基板のような配線基板（実装基板などとも呼ばれる）の上にＩＣチップ、ＬＳＩチップのような半導体チップを搭載して構成されている。また、配線基板と半導体チップを電気的に接続するため、ボンディングワイヤを接続手段として使用したワイヤボンディング法（ＷＢ法）が用いられている。
【０００３】
しかし、ＷＢ法の場合、接続手段として使用するボンディングワイヤが機械的強度に弱く、広い配線スペースを必要とするなどの欠点があり、最近における高密度配線やデバイスの小型化、薄型化などの要求に十分に対応できないという問題があった。このような問題を解決するため、最近では、図１９に示すように、多層回路基板のような配線基板１０１の上にＩＣチップ、ＬＳＩチップのような半導体チップ１０５をはんだバンプ１０３を介して搭載する方法が広く用いられている。この方法は、フリップチップ法（ＦＣ法）と呼ばれるもので、半導体チップ１０５にＦＣ接続用のはんだバンプ１０３を形成する方法としては、例えば、半導体チップ１０５の回路形成面のアルミニウム電極にはんだを盛り上げ、さらにそのはんだを加熱して半球状にバンプを形成する方法や、金ワイヤをアルミニウム電極にボンディングして小球状のバンプを形成する方法などが使用されている。また、配線基板１０１と半導体チップ１０５の間は、デバイスの機械的強度を上げ、耐水性を高めるため、例えばエポキシ樹脂のような絶縁性の封止樹脂（アンダーフィル材とも呼ばれる）１０７で封止されている。
【０００４】
しかしながら、ＦＣ法によって高密度に配線を形成した半導体装置にも欠点が残されている。すなわち、配線基板と半導体チップとははんだバンプによって接合されているだけであるので、半導体装置に下方や側面からストレスがかかった場合、たとえ樹脂封止していたとしても、配線基板から半導体チップが外れてしまうことがある。また、配線基板、半導体チップ、そしてアンダーフィル材は、それぞれ線膨張率を異にしているので、線膨張率のミスマッチにより配線基板や半導体チップに大きな反りが発生し、チップの破損や外れ、異常動作の発生が問題となっている。また、配線基板を硬質の材料から構成して反りの問題を防止することも考えられるが、最近の傾向として半導体チップの基板は脆い材料から形成されているので、配線基板の解決ですべての問題が解決できるわけでない。
【０００５】
これらの問題を解決するため、例えば以下に図２０及び図２１を参照して説明するように、配線基板と半導体チップの間にインターポーザー（インターポーザー基板とも呼ばれる）を介挿して半導体装置を構成する方法が提案されている。
【０００６】
例えば図２０に示す半導体装置では、半導体チップ１０５が配線基板（図示せず）から容易に外れるのを防止するため、はんだ付けのための電極１１９を下面に備えたインターポーザー１１０の上にはんだバンプ１０３を介して半導体チップ１０５を載置する方法を提案している（特許文献１）。この半導体装置の場合、インターポーザー１１０の側面に４つの角（端面）に、配線基板にはんだ付けが可能な電極１１１をさらに有していることを特徴とする。
【０００７】
また、図２１に示す半導体装置では、充填後のアンダーフィル材１３７の硬化時に半導体チップ１０５の表面（配線等）にダメージが与えられるのを防止するため、半導体チップ１０５をはんだバンプ１０３によりインターポーザー１１０と接続し、さらにインターポーザー１１０の電極パッド１２１を配線基板（図示せず）に接続する方法を提案している（特許文献２）。この半導体装置の場合、アンダーフィル材１３７をエポキシ樹脂系の封止樹脂１３１とそれに分散されたシリカ、アルミナ等の充填材１３２とから構成するとともに、充填材１３２の分布密度を、図示のように、インターポーザー１１０の側で「密」に、半導体チップ１０５の側で「疎」に調整していることを特徴とする。
【０００８】
【特許文献１】
特開平１１−２８８９７８号公報（特許請求の範囲、段落００１１〜００１５、図１）
【特許文献２】
特開２０００−３１３４５号公報（特許請求の範囲、段落００１９〜００２３、図１）
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
従来の方法では、上記したようにインターポーザーを配線基板と半導体チップの間に介挿して実装強度の向上やチップの外れ防止などを達成している。しかし、最近の傾向として、多機能化などによりチップそのもの大型化が進んでいるので、アンダーフィル材を多量に充填しなければならず、配線基板、半導体チップ、アンダーフィル材等の線膨張率のミスマッチにより配線基板や半導体チップに大きな反りが発生し、チップの破損や外れ、異常動作の発生が再度大きな問題となっている。使用するアンダーフィル材の線膨張率をそれに隣接する部材の線膨張率にあわせる解決策が考えられるが、アンダーフィル材が多量であり、デバイス構造が多様化しているため、線膨張率の調整は容易でない。また、インターポーザーを配線基板や半導体チップに接合する手段としては、上記したようにはんだバンプが多用されているが、接合強度のより一層の増加が望ましい。
【００１０】
本発明の目的は、上記した従来の技術の問題を解決して、例えば半導体チップの一辺の長さが約２５ｍｍもしくはそれ以上の長さを有する時でも、配線基板上にインターポーザーを介してＦＣ法により半導体チップを搭載し、さらにアンダーフィル材で封止する際に、線膨張率のミスマッチにより配線基板や半導体チップに反りが発生し、チップの破損や外れ、異常動作の発生がない半導体装置、あるいはその他の電子装置を製造するのに有用なインターポーザーを提供することにある。
【００１１】
本発明の目的は、また、半導体チップ等の搭載が容易であり、かつインターポーザーを配線基板や半導体チップに強固に接合できるインターポーザーを提供することにある。
【００１２】
本発明の目的は、さらに、インターポーザーそのものの機能に追加して、その他の機能を組み込み、半導体装置やその他の電子装置の多機能化に有用なインターポーザーを提供することにある。
【００１３】
また、本発明の目的は、上記したような高性能かつ高機能なインターポーザーを容易に製造する方法を提供することにある。
【００１４】
さらに、本発明の目的は、インターポーザーを搭載した高性能かつ高機能な電子装置を提供することにある。
【００１５】
本発明の上記したような目的やその他の目的は、以下の詳細な説明から容易に理解することができるであろう。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、その１つの面において、配線基板と、該配線基板に搭載される電子素子との間に介挿されて電子装置を構成するために用いられるインターポーザーであって、
耐熱性及び絶縁性を有する無機材料からなる基体と、該基体を貫通するとともに貫通部に導体が充填されている導体埋め込みスルーホールとを有しており、かつ前記基体が、前記電子装置の製造過程で引き起こされる変形を補償し得るように、幅方向に変動した断面形状を有していることを特徴とするインターポーザーにある。
【００１７】
また、本発明は、配線基板と、該配線基板に搭載される電子素子との間に介挿されて電子装置を構成するために用いられるインターポーザーであって、
耐熱性及び絶縁性を有する無機材料からなる基体と、該基体を貫通するとともに貫通部に導体が充填されている導体埋め込みスルーホールとを有しており、かつ前記導体埋め込みスルーホールの端面に、付形された電極パッドを有していることを特徴とするインターポーザーにある。
【００１８】
さらに、本発明は、配線基板と、該配線基板に搭載される電子素子との間に介挿されて電子装置を構成するために用いられるインターポーザーであって、
耐熱性及び絶縁性を有する無機材料からなる基体と、該基体を貫通するとともに貫通部に導体が充填されている導体埋め込みスルーホールとを有しており、かつ前記導体埋め込みスルーホールの端面に形成された電極パッドが、超音波接合のためのバンプをさらに有していることを特徴とするインターポーザーにある。
【００１９】
また、本発明は、そのもう１つの面において、配線基板と、該配線基板に搭載される電子素子との間に介挿されて電子装置を構成するために用いられるインターポーザーを製造する方法であって、
耐熱性及び絶縁性を有する無機材料からなる基体を形成する工程と、
前記基体を加工して、前記電子装置の製造過程で引き起こされる変形を補償し得るように、幅方向に変動した断面形状を付与する工程と、
前記基体を貫通したスルーホールを形成する工程と、
前記スルーホールに導体を充填して導体埋め込みスルーホールを形成する工程とを含むことを特徴とするインターポーザーの製造方法にある。
【００２０】
さらに、本発明は、配線基板と、該配線基板に搭載される電子素子との間に介挿されて電子装置を構成するために用いられるインターポーザーを製造する方法であって、
耐熱性及び絶縁性を有する無機材料からなる基体を形成する工程と、
前記基体を貫通したスルーホールを形成する工程と、
前記スルーホールに導体を充填して導体埋め込みスルーホールを形成する工程と、
前記導体埋め込みスルーホールの端面に、付形された電極パッドを形成する工程を含むことを特徴とするインターポーザーの製造方法にある。
【００２１】
さらにまた、本発明は、配線基板と、該配線基板に搭載される電子素子との間に介挿されて電子装置を構成するために用いられるインターポーザーを製造する方法であって、
耐熱性及び絶縁性を有する無機材料からなる基体を形成する工程と、
前記基体を貫通したスルーホールを形成する工程と、
前記スルーホールに導体を充填して導体埋め込みスルーホールを形成する工程と、
前記導体埋め込みスルーホールの端面に形成された電極パッドに、超音波接合のためのバンプを形成する工程とを含むことを特徴とするインターポーザーの製造方法にある。
【００２２】
これらの発明に加えて、本発明は、そのもう１つの面において、少なくとも１個の電子素子を備えた電子装置であって、
配線基板の上部にインターポーザーを介して前記電子素子が搭載されており、前記インターポーザーが、上述のような本発明のインターポーザーであることを特徴とする電子装置にある。
【００２３】
【発明の実施の形態】
本発明は、上記したように、配線基板と、該配線基板に搭載される電子素子との間に介挿されて電子装置を構成するために用いられるインターポーザーとその製造方法、そして本発明のインターポーザーを備えた電子装置にある。ここで、「配線基板」とは、広義で使用されていて、電子素子等を搭載することが意図されている各種の実装基板、例えば多層配線基板などのようにすでに配線が作り込まれている配線基板、半導体基板（例えば、シリコン基板等）、ガラス基板、絶縁性樹脂基板などのように、後段の工程で配線の形成が予定されている基板などを意味している。また、「電子素子」は、例えば半導体素子（例えば、ＩＣチップ、ＬＳＩチップ等）などの能動素子、キャパシタ、レジスタなどの受動素子、あるいはその他の電子部品を意味し、また、したがって、「電子装置」は、各種の電子素子を搭載した装置（電子デバイス）を意味し、その典型例が、以下に図面を参照して説明する半導体装置である。
【００２４】
以下、本発明の好ましい実施の形態を添付の図面を参照しながら説明する。なお、下記の形態は一例であって、本発明はこれらの形態に限定されるものではないことを理解されたい。
【００２５】
図１は、本発明による半導体装置の一例を示したものである。図示の半導体装置５０では、半導体素子（ここでは、ＬＳＩチップ）５がインターポーザー１０を介して配線基板１の上に搭載されている。半導体素子は、特にそのサイズが制限されることはないが、本発明の場合、一辺が２５ｍｍもしくはそれ以上の、従来の素子に較べて大きい半導体素子であっても、反りなどの不都合を伴うことなく搭載できるという点で、注目に値する。インターポーザー１０は、耐熱性及び絶縁性を有する無機材料から形成された基体１１からなり、その所定の位置には、半導体素子５と配線基板１の電気的導通をとるため、導体埋め込みスルーホール１４が形成されている。また、配線基板１の内部には、図面では示されていないが、配線層が予め定められたパターンで多層に形成されている。さらに、配線基板１の電極２には、インターポーザー１０の下面に形成された電極パッド１４ａがバンプ１６を介して接合され、一方、半導体素子５の下面に外部端子として予め形成されたバンプ３には、インターポーザー１０の上面に形成された電極パッド１４ａがバンプ１５を介して接合されている。バンプ１５は、常法に従って、はんだや金あるいはその他の材料から形成することができる。配線基板１とインターポーザー１０の間、そしてインターポーザー１０と半導体素子５の間には、それぞれ、絶縁性の封止樹脂（アンダーフィル材）７が充填されている。
【００２６】
図示の半導体装置について、その構成を具体的に説明する。
【００２７】
本発明によるインターポーザーにおいて、その主体を構成する基体は、通常、耐熱性及び絶縁性を有する無機材料から形成される。これは、本発明のインターポーザーは、半導体装置等の製造（例えば、スパッタリング工程）において一般的には高温環境にさらされることから、反りや変形の発生を防止するために、さらには、配線基板と電子素子の間の電気的な導通を確実なものとするために、最低限の要件として必要である。適当な基体材料としては、以下に列挙するものに限定されるわけではないけれども、例えばシリコン等の半導体材料、ガラスなどを挙げることができる。基体材料を選択するに当たっては、特に、基体の無機材料の線膨張率が、配線基板の線膨張率や電子素子の線膨張率とほぼ同じであるように考慮することが、電子素子などの反りや変形を防止する上で有効である。なお、加工の容易性などの面を考慮すると、シリコンから基体を形成するのがとりわけ有利である。
【００２８】
基体の大きさは、特に限定されるものではなく、所望とするインターポーザーの機能や大きさなどに応じて任意に変更することができる。基体の厚さは、通常、約０．０１〜０．８ｍｍの範囲であり、好ましくは、約０．０１〜０．２０ｍｍの範囲である。また、基体の大きさ（一辺の長さ）は、基体の主たる表面が正方形であると仮定して、通常、約２．０〜３０．０ｍｍの範囲である。なお、基体は、例えばシリコンウエハのような円板をダイシングなどで個々の小片に切り出すことによって容易に作製することができる。個々の基体の切り出しは、通常、シリコンウエハ上にインターポーザーの実質的な部分を形成した後、一括取りで有利に行われる。
【００２９】
導体埋め込みスルーホールは、半導体装置などの分野で一般的に使用されているいろいろな手法によって形成することができる。一例を示すと、例えば、基体の所定の位置に基体を貫通する細孔（スルーホール）を形成した後、そのスルーホールにめっきなどによって導体金属（例えば、銅、アルミニウム等）を充填する。例えば、基体としてシリコン基板を使用する場合には、ＹＡＧレーザあるいはエキシマレーザ等によりφ３０〜３００μｍ程度の大きさの複数個のスルーホールを所要パターンで形成する。シリコン基板の厚さは、特に制限されないが、一般的には５０μｍ程度であり、そのような厚さまで薄板化した後、ポリッシングにより表面を平滑化する。また、ガラス基板を使用する場合には、スルーホールは、マスクを用いてエッチングにより孔明け加工するか、マスクを用いてサンドブラストにより孔明け加工するとよい。ガラス基板の場合も、表面が平滑であることが好適である。
【００３０】
上記のようにしてスルーホールを形成した後、一般的には、スパッタリング、次いで電解めっきを行って、スルーホールの内壁を含む基体の表裏面に銅、アルミニウム等の導体金属を充填し、目的とする導体埋め込みスルーホールを形成する。形成された胴体埋め込みスルーホールの両端面、すなわち、基体の表裏面に露出した導体金属層（通常、めっき被膜）は、電極パッドの形に形成するか、あるいは形成後の導体金属層をパターニングして電極パッドを形成するのが好ましい。電極パッドの形は特に制限されないけれども、一般的にはランドの形に突出させることが好ましく、以下に具体的に説明するように、バンプ（例えば、はんだバンプ、金バンプ等）等を収納しやすいように受け皿形状に加工するのがとりわけ好ましい。
【００３１】
本発明のインターポーザーにおいて、基体は、平板状で使用してもよいけれども、従来のインターポーザーにおいてアンダーフィル材の熱収縮に原因して不可避的に発生した反りや変形の問題を予め回避するため、非平板状で使用するのが有利である。特に、基体が、前記電子装置の製造過程で引き起こされる反りや変形を補償し得るように、幅方向に変動した断面形状を有しているように、非平板状に基体を加工して使用するのが有利である。
【００３２】
本発明の実施において、基体は、それが非平板状の断面形状を有する限り、いろいろな形で使用することができる。
【００３３】
図２〜図４は、それぞれ、本発明に従い非平板状の基体１１を使用してインターポーザーを作製した例である。いずれの基体１１にも、表裏両面に電極パッド１４ａを備えた導体（Ｃｕ）埋め込みスルーホール１４が備わっている。
【００３４】
図２のインターポーザーの場合、基体１１の下面に矩形の凹部１３を有している。なお、本形態の場合、基体１１の周縁領域に突起部１２を形成することで凹部１３を形成したけれども、基体１１の下面を機械加工して凹部１３を形成してもよい。また、必要ならば、基体１１の上面にも凹部を形成してもよい。さらに、凹部の形状は、矩形に限定されるものではなく、必要ならば、円筒形などであってもよい。
【００３５】
図３のインターポーザーの場合、基体１１の下面にゆるい半球状の突起Ｒ_１を有している。すなわち、本形態の場合、基体１１の下面において、その厚さを幅方向に徐々に増加させた凸部Ｒ_１を有している。凸部Ｒ_１は、必要ならば、基体１１の上面にも形成してもよい。さらに、凸部Ｒ_１の形状は、図示の形に限定されるものではなく、任意に変更可能である。
【００３６】
図４のインターポーザーの場合、基体１１の下面の周縁部にゆるいカーブ（アール）Ｒ_２を有している。すなわち、本形態の場合、基体１１の下面において、その厚さを幅方向に徐々に徐々に減少させた凹部Ｒ_２を有している。凹部Ｒ_２は、必要ならば、基体１１の上面にも形成してもよい。さらに、凹部Ｒ_２の形状は、図示の形に限定されるものではなく、任意に変更可能である。
【００３７】
本発明のインターポーザーにおいて、基体に形成された導体埋め込みスルーホールは、その端面に電極パッドを形成してそのまま使用してもよいけれども、先に図１を参照して説明したように、バンプ（例えば、はんだバンプや金バンプあるいはその他の材料のバンプ）やその他の接合手段をさらに備えることが好ましい。バンプ等を介在させることによって、インターポーザーとその他の部品との接合をより確実にかつ強固に行うことができるからである。
【００３８】
本発明の実施では、特に、インターポーザーとその他の部品との接合を超音波接合によって行うのが有利であり、また、そのために、超音波接合の実施のために併用するバンプは、特に金やその合金などからなるのが好ましい。超音波接合法の使用は、半導体チップ等の搭載を容易にするといった効果もある。さらに、金バンプ等を使用して超音波接合を行う効果をさらに高めるため、通常は銅などからなる電極パッドの上にさらに、表面仕上げ層、例えば金系合金、例えばＮｉ／Ａｕなどのめっき層を施すのが有利である。
【００３９】
また、本発明のインターポーザーにおいて、基体の表裏面に電極パッドを形成してそのまま使用してもよいけれども、電極パッドをいろいろに改良した後で有利に使用することができる。例えば、電極パッドは、その形状を、半導体チップの外部接続端子などを受け入れやすくするため、基体１１の表面から突出したように形成してもよく、段差、円錐状凹部、受け皿などの形に加工してもよく、あるいは両者を組み合わせてもよい。
【００４０】
図５は、図示の形態に限定されるわけではないけれども、本発明の実施に有用な電極パッドの改良例を示したものである。図５（Ａ）のインターポーザーの場合、その基体１１の上面には図１のような手法で電極パッド１４ａが形成されているけれども、下面には、基体１１のスルーホール近傍を突出させて突起部１１ａを形成した後に、電極パッド１４ｂが形成されている。突起部１１ａは、例えば、基体１１の表面を選択的にエッチングすることで簡単に形成することができる。図５（Ｂ）のインターポーザーの場合、その基体１１の両面に突起部１１ａを形成した後に、それぞれの突起部に電極パッド１４ｂを形成している。また、図５（Ｃ）のインターポーザーは、図５（Ａ）のインターポーザーの１変形例であり、上面の電極パッドとして、今まで説明してきたランド状の電極パッド１４ａに代えて、円錐状の受け部を備えた電極パッド１４ｃを形成している。また、電極パッド１４ｃは、図５（Ｄ）に示すように、基体１１の表面に突起部１１ｄを形成した後に電極パッド１４ｃを形成してもよい。もちろん、これらの電極パッドや本発明によるその他の電極パッドは、所望とする効果などに応じて任意に組み合わせて使用することができる。
【００４１】
さらに、本発明のインターポーザーにおいて、基体の端面に電極パッドを形成してそのまま使用してもよいけれども、上述のように超音波接合用バンプを使用しない場合でもまた、表面仕上げ層を電極パッドの上に施すのが有利である。
【００４２】
図６は、図示の形態に限定されるわけではないけれども、本発明の実施に有用な表面仕上げ層の形成例を示したものである。図６（Ａ）のインターポーザーの場合、その基体１１の上面及び下面に形成された電極パッド１４ａに表面に表面仕上げ層１５ａが形成されている。ここで、表面仕上げ層１５ａは、Ｎｉ／Ａｕめっき層からなる。もちろん、表面仕上げ層１５ａは、半導体チップ等の接合に好適なその他の導体金属から、めっきやその他の薄膜形成手段によって形成してもよい。また、図６（Ｂ）のインターポーザーは、図５（Ｂ）のようにして電極パッド１４ｂを形成した後、図６（Ａ）と同様な手順に従って表面仕上げ層（Ｎｉ／Ａｕめっき層）１５ａを形成したものである。さらに、図６（Ｃ）のインターポーザーは、図６（Ａ）のようにして電極パッド１４ａの上に表面仕上げ層（Ｎｉ／Ａｕめっき層）１５ａを形成した後、その上にさらにもう１つの表面仕上げ層１５ｂを形成したものである。表面仕上げ層１５ｂは、Ｎｉ／Ａｕ／Ｓｎ／Ａｇのめっき層であるが、必要に応じて、その他のめっき層、例えばＳｎ／Ａｇ／Ｃｕなどから形成してもよい。表面仕上げ層をこのように二重構造とすることによって、インターポーザーに対する半導体チップなどの接合強度をさらに高めることができる。
【００４３】
さらに加えて、本発明のインターポーザーにおいて、基体の表面及び（又は）裏面に、一体的に作り込まれた追加の機能素子を薄膜の形で形成することが好ましい。ここで、機能素子は、例えば半導体素子などの能動素子であってもよく、さもなければ、キャパシタ、レジスタ、インダクタ等の受動素子であってもよい。また、機能素子は、例えば再配線層のような特定の配線などであってもよい。これらの機能素子は、単独で使用してもよく、２種以上を任意に組み合わせて使用してもよい。
【００４４】
図７は、本発明のインターポーザー１０において、その基体１１の上面の空きスペースに２個の薄膜積層型キャパシタ１７を作り込んだ例である。キャパシタ１７は、それぞれ、常用の薄膜形成技術を使用して、上下の電極層の間に誘電体層をサンドイッチすることによって容易に製造することができる。図示の形態の場合、インターポーザー１０に組み込まれたキャパシタ１７が半導体素子５の直下に位置して極めて近接していることから、デカップリングキャパシタとして極めて性能よく機能することができる。また、２個のキャパシタ１７が、インターポーザーの作製時に同時に作り込まれるから、製造コストの低減化も図れる。さらに、以下で説明するようにインターポーザー上に配線パターンにより再配線層を形成することによって、微細な配線パターンを得ることが可能となる。実際、再配線層の導入によって、多層配線基板からなる配線基板側の層を１層減らすことも可能となる。
【００４５】
図７に示した薄膜積層型キャパシタ１７は、常法に従って、例えば次のようにして製造することができる。
【００４６】
まず、基体１の上に、キャパシタ形成部位を含めた形で第１の導体層を形成し、次いでこれをフォトリソグラフィー法によりパターンニングして、キャパシタ用の下部電極層を形成する。次いで、下部電極層を覆って誘電体層を形成する。誘電体層には、例えば、ＳＴＯ（ストロンチウムチタンオキサイド）や、ＰＺＴ（鉛ジルコニウムチタン）等の強誘電体を用いることができる。誘電体層は、好ましくは、スパッタリング法によって形成することができる。次いで、所望とするキャパシタに合わせて誘電体層をパターンニングする。さらに続けて、下部電極層の形成と同様にして上部電極層を形成し、高容量の薄膜キャパシタが完成する。
【００４７】
得られる薄膜キャパシタにおいて、誘電体層の厚さは、薄い程キャパシタの容量を高容量のものにすることができる。下地となる下部電極層が凹凸のない平滑面に形成されていることから、薄い誘電体層であってもピンホール等のない薄い良好な膜に形成できる。また、誘電体層を隣接する配線パターンと接続すると、誘電体層を抵抗線としても用いることができる。
【００４８】
図８は、本発明のインターポーザー１０において、その基体１１の下面の空きスペースに１個のレジスタ１８を作り込んだ例である。レジスタ１８も、上記したキャパシタ１７と同様に、常用の薄膜形成技術を使用して、容易に製造することができる。
【００４９】
図９は、本発明のインターポーザーの再配線層を導入した例である。図示の半導体装置５０は、先に図１を参照して説明した半導体装置と同様な構成を有しているけれども、インターポーザー１０の上面に再配線層１９が２個所に形成されている点で相違する。それぞれの再配線層１９は、この技術分野で一般的な手法で形成することができる。半導体装置５０に再配線層１９を組み込んだことで、ピッチ変換や配線切換えが容易に可能となる。
【００５０】
【実施例】
引き続いて、本発明をその実施例を参照して説明する。なお、本発明は、これらの実施例によって限定されるものでないことは言うまでもない。例えば、下記の実施例では、インターポーザーの基体としてシリコンウエハを使用するけれども、これに代えてガラス基板を使用することもでき、その場合、シリコンウエハの熱酸化によってシリコン酸化膜を形成する工程を省略することができる。
実施例１
本例では、図１に示す半導体装置を、図１０及び図１１に順を追って示す方法を使用して製造するプロセスを説明する。
【００５１】
まず、図１０（Ａ）に示すように、所定のサイズをもったシリコンウエハ１１を用意する。なお、本例では平板状のウエハを使用したけれども、必要ならば、封止樹脂の熱収縮を考慮して非平板状に加工してもよい。
【００５２】
次いで、シリコンウエハ１１の表裏両面にエッチング耐性に優れたレジストを塗布し、硬化後にパターニングする。図１０（Ｂ）に示すように、レジストパターン３１を備えたシリコンウエハ１１が得られる。
【００５３】
レジストパターン３１の形成後、そのレジストパターンをマスクとして下地のシリコンウエハ１１をエッチングし、図１０（Ｃ）に示すように、微細の貫通孔（スルーホール）３２を形成する。エッチングには、シリコンウエハのエッチングに一般的に使用されている技術、例えばプラズマエッチング、スパッタエッチング、リアクティブイオンエッチング（ＲＩＥ）などを使用することができる。例えば、プラズマエッチングは、ＣＦ_４やＳＦ_６をエッチングガスとして使用して有利に実施することができる。また、このようなドライエッチングプロセスに代えて、エッチング液を使用したウエットエッチングプロセスを使用してもよい。さらに、例えばＣＯ_２レーザやＹＡＧレーザを使用したレーザ加工によってスルーホールを形成してもよく、このような方法を使用すると上述のレジストプロセスも省略することができる。
【００５４】
スルーホール３２の形成に引き続いて、図１０（Ｄ）に示すように、マスクとして使用したレジストパターンを除去し、酸化性雰囲気中で加熱処理する。図示しないが、スルーホール３２を有するシリコンウエハ１１の表面に薄いシリコン酸化膜（ＳｉＯ_２）が形成される。
【００５５】
次いで、図１０（Ｅ）に示すように、図１０（Ｂ）と同様な手法に従って、配線となる部分が露出したレジストパターン３３を形成する。なお、図示しないが、このレジストパターン３３を形成するに先がけて、銅の無電解めっきや、クロムと銅のスパッタリングによって電解めっきの際の給電層を形成する。
【００５６】
次いで、先の工程で形成した給電層（図示せず）から給電し、銅の電解めっきを行う。図１０（Ｆ）に示すように、金属層（銅埋め込みスルーホール）１４と、銅めっきからなる電極パッド（配線パターンのパッド）１４ａが形成される。
【００５７】
また、必要に応じて、電極パッド１４ａの部分に、ニッケルめっき、金めっき等の保護めっきを施してもよい。さらに、この時点で、半導体チップを搭載するためのはんだを、はんだめっきなどによって形成してもよい。
【００５８】
引き続いて、マスクとして使用したレジストパターン３３を除去する。図１０（Ｇ）に示すように、銅埋め込みスルーホール１４とその端面の電極パッド１４ａとが残留する。なお、図示していないが、シリコンウエハ１１の上には配線パターンも形成されている。また、配線パターンは、任意の公知な手法、例えばサブトラクティブ法、アディティブ法などによって形成することができる。
【００５９】
次いで、図１１（Ｈ）に示すように、シリコンウエハ１１の下面に形成された電極パッド１４ａに、配線基板との接合用のバンプ１６を形成する。バンプ１６は、例えば、ワイヤボンダーを使用して、金のスタッドバンプの形で形成することができる。なお、バンプ１６は、はんだボールを接合して形成してもよい。
【００６０】
さらに続けて、図１１（Ｉ）に示すように、シリコンウエハ１１の上面に形成された電極パッド１４ａに、半導体チップ搭載用のバンプ１５を形成する。バンプ１５は、例えば、はんだペーストをスクリーン印刷し、所定の温度でリフローすることによって形成することができる。なお、バンプ１５は、図１０（Ｆ）の工程ではんだめっきにより形成してもよく、さもなければ、金のスタッドバンプにより形成してもよい。バンプ１５の形成後、図に点線で示す部分でダイシングする。図１１（Ｊ）に示すように、個々に分離されたインターポーザー１０が得られる。
【００６１】
上記のような一連の工程でインターポーザー１０を形成した後、図１１（Ｋ）に示すように、配線基板１（電極２）とインターポーザー１０（電極パッド１４ａ）を位置合わせし、バンプ１６を介して超音波接合により接合する。配線基板１とその上のインターポーザー１０の間には、図示のように、封止樹脂（アンダーフィル材）７を充填し、封止する。
【００６２】
最後に、図１１（Ｌ）に示すように、配線基板１の上に搭載したインターポーザー１０の上にさらに半導体チップ５をバンプ３を介して搭載し、インターポーザー１０と半導体チップ５の間に封止樹脂（アンダーフィル材）７を充填する。
【００６３】
なお、図示していないが、上記のプロセスの順序を変更して、インターポーザーに半導体チップを搭載した後、半導体チップを搭載したインターポーザーを配線基板に接合してもよい。
実施例２
本例では、図１２に順を追って示す方法を使用して半導体装置を製造するプロセスを説明する。
【００６４】
まず、前記実施例１と同様な手法によって、図１２（Ａ）に示すように、銅埋め込みスルーホール１４とその端面の電極パッド１４ａとを備え、かつ配線パターン（図示せず）が形成されているシリコンウエハ１１を作製する。
【００６５】
次いで、図１２（Ｂ）に示すように、シリコンウエハ１１の表裏両面にエッチング耐性に優れたレジストを塗布し、硬化させる。レジスト膜３４が形成される。
【００６６】
次いで、電極パッド１４ａを被覆するようにレジスト膜３４をパターニングする。図１２（Ｃ）に示すように、レジストパターン３４ａを備えたシリコンウエハ１１が得られる。レジストパターン３４ａは、それぞれ、電極パッド１４ａの頭の上面を被覆している。
【００６７】
レジストパターン３４ａの形成後、そのレジストパターンをマスクとして下地のシリコンウエハ１１を所定の深さまでエッチングする。エッチングは、前記実施例１と同様にして行うことができる。図１２（Ｄ）に示すように、シリコンウエハ１１の銅埋め込みスルーホール１４の部分に突起部１１ａが形成される。
【００６８】
引き続いて、図１２（Ｅ）に示すように、使用済みのレジストパターンを除去し、図に点線で示す部分でダイシングする。図１２（Ｆ）に示すように、個々に分離されたインターポーザー１０が得られる。このインターポーザー１０の場合、電極パッド１４ｂを突出させた形状が得られる。
【００６９】
さらに続けて、前記実施例１と同様な手法によって配線基板１にインターポーザー１０及び半導体チップ５を搭載する。最後にインターポーザー１０と半導体チップ５の間に封止樹脂（アンダーフィル材）７を充填すると、図１２（Ｇ）に示すような半導体装置５０が得られる。
【００７０】
この半導体装置では、電極パッドが突出しているので、インターポーザーを配線基板や半導体チップに接合する作業を容易に、すばやく行うことができる。また、電極パッドが突出しているので、電極パッドにニッケルめっきと金めっきを施しておくことで、インターポーザーと配線基板や半導体チップとの超音波接合を容易に行うことができる。
実施例３
本例では、前記実施例２の変更例として、インターポーザーの片面のみに電極パッドが突出している半導体装置を製造するプロセスを説明する。
【００７１】
前記実施例２に記載の手法を繰り返して、図１３（Ａ）に示すように、シリコンウエハ１１の下面において、銅埋め込みスルーホール１４の部分に突起部１１ａを選択的に形成する。シリコンウエハ１１の上面では、図示のように、電極パッド１４ａに半導体チップ搭載用のバンプ１５を形成する。
【００７２】
引き続いて、図に点線で示す部分でシリコンウエハ１１をダイシングする。図１３（Ｂ）に示すように、個々に分離されたインターポーザー１０が得られる。
【００７３】
得られたインターポーザー１０を使用して、前記実施例２と同様な手法によって配線基板１にインターポーザー１０及び半導体チップ５を搭載し、さらに続けて封止樹脂（アンダーフィル材）７を充填する。図１３（Ｃ）に示すように、配線基板１の上にインターポーザー１０及び半導体チップ５を順次搭載してなる半導体装置５０が得られる。
実施例４
本例では、図１４に順を追って示す方法を使用して図１５の半導体装置を製造するプロセスを説明する。
【００７４】
まず、前記実施例１と同様な手法によって、図１４（Ａ）に示すように、
シリコンウエハ１１のエッチングによって微細な貫通孔（スルーホール）３２を形成する。
【００７５】
次いで、図１４（Ｂ）に示すようにシリコンウエハ１１の上面に薄いドライレジストフィルム３５を貼布し、さらにこれをパターニングする。図１４（Ｃ）に示すように、配線となる部分が露出したレジストパターン３５ａが形成される。
【００７６】
次いで、図１４（Ｄ）に示すように、露出したスルーホール３２の端部を等方性エッチングにより選択的に除去して、円錐状の凹部３６を形成する。
【００７７】
マスクとして使用したレジストパターン３５ａを除去した後、前記実施例１と同様な手法によって熱処理を行い、シリコンウエハの表面にシリコン酸化膜（図示せず）を形成する。また、このシリコン酸化膜の上に、銅の無電解めっきや、クロムと銅のスパッタリングによって電解めっきの際の給電層（図示せず）を形成する。
【００７８】
引き続いて、図１４（Ｅ）に示すように、前記実施例１と同様な手法に従って、配線となる部分が露出したレジストパターン３７を形成する。次いで、先の工程で形成した給電層から給電し、銅の電解めっきを行う。図示のように、金属層（銅埋め込みスルーホール）１４が形成される。また、シリコンウエハ１１の下面では、銅めっきからなるランド状の電極パッド（配線パターンのパッド）１４ａが形成され、一方、シリコンウエハ１１の上面では、すでに形成されている円錐状の凹部の形状を反映して、銅めっきからなる円錐窪み状の電極パッド１４ｃが形成される。
【００７９】
引き続いて、マスクとして使用したレジストパターン３７を除去する。図１４（Ｆ）に示すように、銅埋め込みスルーホール１４とその端面の電極パッド１４ａ及び１４ｃとが残留する。次いで、シリコンウエハ１１の下面に形成された電極パッド１４ａに配線基板との接合用のバンプ１６を形成し、また、上面に形成された電極パッド１４ｃに半導体チップ搭載用のバンプ１５を形成する。バンプ１５及び１６は、それぞれ、前記実施例１に記載の手法に従って有利に形成することができる。
【００８０】
バンプ１５及び１６の形成後、図１４（Ｆ）に点線で示す部分でダイシングする。図１４（Ｇ）に示すように、個々に分離されたインターポーザー１０が得られる。
【００８１】
上記のような一連の工程でインターポーザー１０を形成した後、前記実施例１と同様な手法によって配線基板１にインターポーザー１０及び半導体チップ５を搭載し、さらに続けて封止樹脂（アンダーフィル材）７を充填する。図１５に示すように、配線基板１の上にインターポーザー１０及び半導体チップ５を順次搭載してなる半導体装置５０が得られる。本例の場合、インターポーザー１０において、半導体チップ搭載側の電極パッド１４ｃに凹部が形成されているので、半導体チップ５のバンプ３を凹部内に位置させることにより、チップの位置決めと搭載を容易に実施することができる。
実施例５
本例では、図１６に順を追って示す方法を使用して図１７の半導体装置を製造するプロセスを説明する。
【００８２】
まず、前記実施例４と同様な手法によって、先に図１４（Ａ）〜図１４（Ｅ）を参照して説明したようにシリコンウエハ１１を加工する。すなわち、図１６（Ａ）に示すように、シリコンウエハ１にそれを貫通する金属層（銅埋め込みスルーホール）１４を形成するとともに、シリコンウエハ１１の下面では、銅めっきからなるランド状の電極パッド（配線パターンのパッド）１４ａを形成し、かつシリコンウエハ１１の上面では銅めっきからなる円錐窪み状の電極パッド１４ｃを形成する。
【００８３】
引き続いて、前記実施例２と同様な手法によって、図１６（Ａ）に示すように、シリコンウエハ１１の表裏両面にエッチング耐性に優れたレジストを塗布し、硬化させる。レジスト膜３４が形成される。
【００８４】
次いで、電極パッド１４ａ及び１４ｃのそれぞれを被覆するようにレジスト膜３４をパターニングする。図１６（Ｂ）に示すように、レジストパターン３４ａを備えたシリコンウエハ１１が得られる。
【００８５】
レジストパターン３４ａの形成後、そのレジストパターンをマスクとして下地のシリコンウエハ１１を所定の深さまでエッチングする。エッチングは、前記実施例２と同様にして行うことができる。図１６（Ｃ）に示すように、シリコンウエハ１１の下面の銅埋め込みスルーホール１４の部分に突起部１１ａが形成され、かつ上面の対応部分に突起部１１ｄが形成される。
【００８６】
引き続いて、図１４（Ｄ）に示すように、使用済みのレジストパターンを除去し、さらに続けて、シリコンウエハ１１の上面に形成された電極パッド１４ｃに半導体チップ搭載用のバンプ１５を形成する。その後、シリコンウエハ１１を図に点線で示す部分でダイシングする。図１６（Ｅ）に示すように、個々に分離されたインターポーザー１０が得られる。
【００８７】
上記のような一連の工程でインターポーザー１０を形成した後、前記実施例１と同様な手法によって配線基板１にインターポーザー１０及び半導体チップ５を搭載し、さらに続けて封止樹脂（アンダーフィル材）７を充填する。図１５に示すように、配線基板１の上にインターポーザー１０及び半導体チップ５を順次搭載してなる半導体装置５０が得られる。
実施例６
本例では、前記実施例５の変更例として、インターポーザーの片面のみに電極パッドが突出している半導体装置を製造するプロセスを説明する。
【００８８】
前記実施例５に記載の手法を繰り返して、図１８（Ａ）に示すように、シリコンウエハ１１の上面において、銅埋め込みスルーホール１４の部分に突起部１１ｄを選択的に形成し、また、その上に形成された円錐窪み状の電極パッド１４ｃに半導体チップ搭載用のバンプ１５を形成する。一方、シリコンウエハ１１の下面には、図示されるように、突起部を有しない電極パッド１４ａを形成した後、配線基板との接合用のバンプ１６をさらに形成する。
【００８９】
引き続いて、図１８（Ａ）に点線で示す部分でシリコンウエハ１１をダイシングする。図１８（Ｂ）に示すように、個々に分離されたインターポーザー１０が得られる。
【００９０】
得られたインターポーザー１０を使用して、前記実施例５と同様な手法によって配線基板１にインターポーザー１０及び半導体チップ５を搭載し、さらに続けて封止樹脂（アンダーフィル材）７を充填する。図１８（Ｃ）に示すように、配線基板１の上にインターポーザー１０及び半導体チップ５を順次搭載してなる半導体装置５０が得られる。
【００９１】
【発明の効果】
以上に詳細に説明したように、本発明によれば、例えば半導体チップの一辺の長さが約２５ｍｍもしくはそれ以上である時でも、配線基板上にインターポーザーを介してＦＣ法により半導体チップを搭載し、さらにアンダーフィル材で封止する際に、線膨張率のミスマッチにより配線基板や半導体チップに反りが発生し、チップの破損や外れ、異常動作の発生がない、半導体装置やその他の電子装置を製造するのに有用なインターポーザーを提供することができる。
【００９２】
また、本発明のインターポーザーを使用すると、半導体チップ等の搭載が容易であり、かつインターポーザーを配線基板や半導体チップに強固に接合することができる。さらに、本発明のインターポーザーは、インターポーザーそのものの機能に追加して、その他の機能、例えばキャパシタなどの受動素子としての機能あるいは再配線層などを組み込むことができ、半導体装置やその他の電子装置を多機能化、小型化することができる。に有用なインターポーザーを提供することにある。
【００９３】
また、本発明によれば、上記したような高性能かつ高機能な本発明のインターポーザーを容易にかつ歩留まりよく製造することができる。
【００９４】
さらに、本発明によれば、インターポーザーを搭載しているにもかかわらず、チップの破損や外れ、異常動作の発生等を伴わない高性能かつ高機能な電子装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による半導体装置の好ましい１形態を示した断面図である。
【図２】本発明のインターポーザーにおいて使用される基板の好ましい１形態を示した断面図である。
【図３】本発明のインターポーザーにおいて使用される基板のもう１つの好ましい形態を示した断面図である。
【図４】本発明のインターポーザーにおいて使用される基板のさらにもう１つの好ましい形態を示した断面図である。
【図５】本発明のインターポーザーに含まれる導体埋め込みスルーホールのいくつかの好ましい形態を示した断面図である。
【図６】本発明のインターポーザーに含まれる導体埋め込みスルーホールについて、そのスルーホールの端面処理にいくつかの好ましい形態を示した断面図である。
【図７】本発明によるインターポーザーの好ましい１形態を示した断面図である。
【図８】本発明によるインターポーザーのもう１つの好ましい形態を示した断面図である。
【図９】本発明による半導体装置のもう１つの好ましい形態を示した断面図である。
【図１０】本発明による半導体装置の好ましい製造方法（その１）を順を追って示した断面図である。
【図１１】本発明による半導体装置の好ましい製造方法（その２）を順を追って示した断面図である。
【図１２】本発明による半導体装置のもう１つの好ましい製造方法を順を追って示した断面図である。
【図１３】本発明による半導体装置のさらにもう１つの好ましい製造方法を順を追って示した断面図である。
【図１４】本発明による半導体装置のさらにもう１つの好ましい製造方法を順を追って示した断面図である。
【図１５】図１４の製造方法で製造された半導体装置の断面図である。
【図１６】本発明による半導体装置のさらにもう１つの好ましい製造方法を順を追って示した断面図である。
【図１７】図１６の製造方法で製造された半導体装置の断面図である。
【図１８】本発明による半導体装置のさらにもう１つの好ましい製造方法を順を追って示した断面図である。
【図１９】従来の半導体装置の一般的な例を示した断面図である。
【図２０】従来のインターポーザーの１例を示した断面図である。
【図２１】従来のインターポーザーのもう１つの例を示した断面図である。
【符号の説明】
１…配線基板
２…電極
３…バンプ
５…半導体素子
７…封止樹脂
１０…インターポーザー
１１…基板
１４…導体埋め込みスルーホール
１４ａ…電極パッド
１５…はんだバンプ
１６…はんだバンプ
１７…キャパシタ
１８…レジスタ
１９…再配線層
５０…半導体装置[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to an interposer, and more particularly, to a semiconductor device and other electronic devices interposed between a wiring board and an electronic element (for example, a semiconductor chip) mounted on the wiring board. (Also referred to as an interposer substrate) used for the above. The invention also relates to a method for manufacturing such an interposer, and to semiconductor devices and other electronic devices incorporating such an interposer.
[0002]
[Prior art]
As is well known, a semiconductor device is configured by mounting a semiconductor chip such as an IC chip or an LSI chip on a wiring board (also called a mounting board or the like) such as a multilayer circuit board. Further, in order to electrically connect the wiring board and the semiconductor chip, a wire bonding method (WB method) using a bonding wire as a connecting means is used.
[0003]
However, in the case of the WB method, the bonding wire used as the connection means has drawbacks such as low mechanical strength and a large wiring space is required, and recent demands for high-density wiring and miniaturization and thinning of devices are required. There was a problem that it could not cope sufficiently. In order to solve such a problem, recently, as shown in FIG. 19, a semiconductor chip 105 such as an IC chip or an LSI chip is mounted on a wiring board 101 such as a multilayer circuit board via solder bumps 103. Are widely used. This method is called a flip chip method (FC method). As a method of forming the solder bump 103 for FC connection on the semiconductor chip 105, for example, solder is raised on an aluminum electrode on a circuit forming surface of the semiconductor chip 105. Further, a method of heating the solder to form a hemispherical bump or a method of bonding a gold wire to an aluminum electrode to form a small spherical bump has been used. Further, the space between the wiring board 101 and the semiconductor chip 105 is sealed with an insulating sealing resin (also called an underfill material) 107 such as an epoxy resin in order to increase the mechanical strength of the device and increase the water resistance. Have been.
[0004]
However, a disadvantage still remains in a semiconductor device in which wiring is formed at a high density by the FC method. That is, since the wiring board and the semiconductor chip are only joined by the solder bumps, even if the semiconductor device is stressed from below or from the side, even if the semiconductor chip is sealed with the resin, the semiconductor chip is removed from the wiring board. It may come off. Also, since the wiring board, semiconductor chip, and underfill material have different coefficients of linear expansion, a large warpage occurs in the wiring board or semiconductor chip due to a mismatch in the coefficient of linear expansion, and the chip may be damaged, come off, or become abnormal. The occurrence of operation is a problem. It is also conceivable that the wiring substrate is made of a hard material to prevent the problem of warpage. However, as a recent trend, the semiconductor chip substrate is formed of a brittle material, so that all problems are solved in the wiring substrate. Cannot be solved.
[0005]
In order to solve these problems, a semiconductor device is configured by interposing an interposer (also called an interposer substrate) between a wiring substrate and a semiconductor chip, as described below with reference to FIGS. A way to do that has been proposed.
[0006]
For example, in the semiconductor device shown in FIG. 20, in order to prevent the semiconductor chip 105 from easily detaching from a wiring board (not shown), a solder bump is formed on the interposer 110 having an electrode 119 for soldering on the lower surface. A method of mounting a semiconductor chip 105 via the semiconductor chip 103 has been proposed (Patent Document 1). This semiconductor device is characterized in that electrodes 111 that can be soldered to a wiring board are further provided at four corners (end faces) on the side surface of the interposer 110.
[0007]
In the semiconductor device shown in FIG. 21, the semiconductor chip 105 is interposed by solder bumps 103 in order to prevent the surface (wiring and the like) of the semiconductor chip 105 from being damaged when the filled underfill material 137 is cured. And a method of connecting the electrode pad 121 of the interposer 110 to a wiring board (not shown) (Patent Document 2). In the case of this semiconductor device, the underfill material 137 is composed of an epoxy resin-based sealing resin 131 and a filler 132 such as silica or alumina dispersed therein, and the distribution density of the filler 132 is reduced as shown in the figure. , The interposer 110 is adjusted to be “dense” and the semiconductor chip 105 is adjusted to be “sparse”.
[0008]
[Patent Document 1]
JP-A-11-28897 (Claims, paragraphs 0011 to 0015, FIG. 1)
[Patent Document 2]
JP-A-2000-31345 (claims, paragraphs 0019 to 0023, FIG. 1)
[0009]
[Problems to be solved by the invention]
In the conventional method, as described above, the interposer is interposed between the wiring board and the semiconductor chip to improve the mounting strength and prevent the chip from coming off. However, as a recent trend, the chip itself has been increasing in size due to multifunctionalization, etc., so that a large amount of underfill material must be filled, and the linear expansion coefficient of wiring boards, semiconductor chips, underfill material, etc. A large warpage occurs in the wiring board or the semiconductor chip due to the mismatch, and breakage or detachment of the chip and occurrence of abnormal operation again become a serious problem. A possible solution is to adjust the linear expansion coefficient of the used underfill material to the linear expansion coefficient of the member adjacent thereto.However, since the amount of underfill material is large and the device structure is diversified, adjustment of the linear expansion coefficient is Not easy. As a means for joining the interposer to the wiring board or the semiconductor chip, solder bumps are frequently used as described above, but it is desirable to further increase the joining strength.
[0010]
An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems of the conventional technology, and to solve the problem of, for example, a case where a side of a semiconductor chip has a length of about 25 mm or more, through an interposer on a wiring board. A semiconductor device in which a wiring board or semiconductor chip is warped due to a mismatch in linear expansion coefficient when a semiconductor chip is mounted by a method and further sealed with an underfill material, and the chip is not broken, detached, or abnormally operated. Or other interposers useful for manufacturing electronic devices.
[0011]
Another object of the present invention is to provide an interposer in which a semiconductor chip or the like can be easily mounted and the interposer can be firmly joined to a wiring board or a semiconductor chip.
[0012]
It is still another object of the present invention to provide an interposer that is useful for multifunctional semiconductor devices and other electronic devices by incorporating other functions in addition to the functions of the interposer itself.
[0013]
Another object of the present invention is to provide a method for easily manufacturing a high-performance and high-performance interposer as described above.
[0014]
Another object of the present invention is to provide a high-performance and high-performance electronic device equipped with an interposer.
[0015]
The above and other objects of the present invention can be easily understood from the following detailed description.
[0016]
[Means for Solving the Problems]
The present invention is an interposer used to constitute an electronic device by being interposed between a wiring board and an electronic element mounted on the wiring board on one side thereof,
A base made of an inorganic material having heat resistance and insulating properties, and a conductor-embedded through-hole penetrating through the base and filled with a conductor in a penetrating portion, wherein the base is manufactured by manufacturing the electronic device. An interposer characterized by having a cross-sectional shape that varies in the width direction so as to compensate for deformation caused in the process.
[0017]
Further, the present invention is an interposer used to constitute an electronic device inserted between a wiring board and an electronic element mounted on the wiring board,
A base made of an inorganic material having heat resistance and insulating properties, and having a conductor-embedded through-hole penetrating the base and filled with a conductor in a penetrating portion, and on an end face of the conductor-embedded through-hole, An interposer having shaped electrode pads.
[0018]
Furthermore, the present invention is an interposer used to constitute an electronic device inserted between a wiring board and an electronic element mounted on the wiring board,
It has a base made of an inorganic material having heat resistance and insulating properties, and a conductor-embedded through-hole penetrating the base and filled with a conductor in a penetrating portion, and formed on an end face of the conductor-embedded through-hole. The interposed electrode pad further includes a bump for ultrasonic bonding.
[0019]
According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing an interposer that is interposed between a wiring board and an electronic element mounted on the wiring board and used to configure an electronic device. So,
Forming a substrate made of an inorganic material having heat resistance and insulating properties,
Processing the base, so as to compensate for the deformation caused in the process of manufacturing the electronic device, a step of providing a cross-sectional shape varied in the width direction,
Forming a through hole through the base;
Filling the through-hole with a conductor to form a conductor-embedded through-hole.
[0020]
Further, the present invention is a method of manufacturing an interposer used to constitute an electronic device inserted between a wiring board and an electronic element mounted on the wiring board,
Forming a substrate made of an inorganic material having heat resistance and insulating properties,
Forming a through hole through the base;
Forming a conductor-embedded through-hole by filling the through-hole with a conductor,
A method of manufacturing an interposer, comprising a step of forming a shaped electrode pad on an end face of the conductor embedded through hole.
[0021]
Still further, the present invention is a method of manufacturing an interposer used to constitute an electronic device by being interposed between a wiring board and an electronic element mounted on the wiring board,
Forming a substrate made of an inorganic material having heat resistance and insulating properties,
Forming a through hole through the base;
Forming a conductor-embedded through-hole by filling the through-hole with a conductor,
Forming a bump for ultrasonic bonding on an electrode pad formed on an end face of the conductor-embedded through-hole.
[0022]
In addition to these inventions, the present invention, in another aspect, is an electronic device comprising at least one electronic element,
The electronic device is characterized in that the electronic element is mounted on an upper part of a wiring board via an interposer, and the interposer is the interposer of the present invention as described above.
[0023]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
The present invention provides, as described above, an interposer used to constitute an electronic device by being interposed between a wiring board and an electronic element mounted on the wiring board, a method of manufacturing the interposer, and the present invention. An electronic device having an interposer. Here, the term “wiring board” is used in a broad sense, and various wiring boards, on which electronic elements and the like are intended to be mounted, for example, wiring has already been built in, such as a multilayer wiring board. It refers to a substrate, such as a wiring substrate, a semiconductor substrate (for example, a silicon substrate), a glass substrate, an insulating resin substrate, and the like, on which wiring is to be formed in a later step, and the like. The “electronic element” means an active element such as a semiconductor element (for example, an IC chip or an LSI chip), a passive element such as a capacitor or a resistor, or another electronic component. Means a device (electronic device) on which various electronic elements are mounted, a typical example of which is a semiconductor device described below with reference to the drawings.
[0024]
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. It should be understood that the following embodiments are merely examples, and the present invention is not limited to these embodiments.
[0025]
FIG. 1 shows an example of a semiconductor device according to the present invention. In the illustrated semiconductor device 50, a semiconductor element (here, an LSI chip) 5 is mounted on the wiring board 1 via an interposer 10. Although the size of the semiconductor element is not particularly limited, in the case of the present invention, even a semiconductor element having a side of 25 mm or more, which is larger than a conventional element, involves problems such as warpage. It's worth noting that it can be installed without it. The interposer 10 is composed of a base 11 made of an inorganic material having heat resistance and insulating properties. At a predetermined position, a conductor-embedded through hole 14 is provided to establish electrical conduction between the semiconductor element 5 and the wiring board 1. Is formed. Although not shown in the drawing, multiple layers of wiring layers are formed in the wiring substrate 1 in a predetermined pattern. Further, an electrode pad 14 a formed on the lower surface of the interposer 10 is bonded to the electrode 2 of the wiring board 1 via a bump 16, while an electrode pad 14 a formed on the lower surface of the semiconductor element 5 as an external terminal is connected to the bump 3. The electrode pad 14 a formed on the upper surface of the interposer 10 is joined via a bump 15. The bump 15 can be formed from solder, gold, or another material according to a conventional method. An insulating sealing resin (underfill material) 7 is filled between the wiring board 1 and the interposer 10 and between the interposer 10 and the semiconductor element 5, respectively.
[0026]
The configuration of the illustrated semiconductor device will be specifically described.
[0027]
In the interposer according to the present invention, the base constituting the main body is usually formed of an inorganic material having heat resistance and insulating properties. This is because the interposer of the present invention is generally exposed to a high-temperature environment in the manufacture of a semiconductor device or the like (for example, a sputtering process), so that warpage or deformation is prevented. It is necessary as a minimum requirement to ensure electrical conduction between the device and the electronic device. Suitable substrate materials are not limited to those listed below, but include, for example, semiconductor materials such as silicon, glass, and the like. In selecting the base material, it is particularly important to consider that the linear expansion coefficient of the inorganic material of the base is substantially the same as the linear expansion coefficient of the wiring substrate or the linear expansion coefficient of the electronic element. It is effective in preventing deformation and deformation. It is particularly advantageous to form the substrate from silicon in view of the ease of processing and the like.
[0028]
The size of the substrate is not particularly limited, and can be arbitrarily changed according to the desired function and size of the interposer. The thickness of the substrate is usually in the range of about 0.01-0.8 mm, preferably in the range of about 0.01-0.20 mm. Further, the size (length of one side) of the base is usually in a range of about 2.0 to 30.0 mm, assuming that the main surface of the base is a square. The base can be easily manufactured by cutting a disk such as a silicon wafer into individual small pieces by dicing or the like. The cutting of the individual substrates is advantageously performed in a batch, usually after forming a substantial part of the interposer on the silicon wafer.
[0029]
The conductor embedded through hole can be formed by various methods generally used in the field of semiconductor devices and the like. As an example, for example, after forming a fine hole (through hole) penetrating the base at a predetermined position on the base, the through hole is filled with a conductive metal (eg, copper, aluminum, or the like) by plating or the like. For example, when a silicon substrate is used as a base, a plurality of through holes having a size of about 30 to 300 μm are formed in a required pattern by using a YAG laser or an excimer laser. The thickness of the silicon substrate is not particularly limited, but is generally about 50 μm. After the silicon substrate is thinned to such a thickness, the surface is smoothed by polishing. When a glass substrate is used, the through-hole may be formed by etching using a mask or by sandblasting using a mask. Also in the case of a glass substrate, it is preferable that the surface is smooth.
[0030]
After forming the through hole as described above, generally, by performing sputtering, then electrolytic plating, copper and aluminum and other conductive metals are filled on the front and back surfaces of the base including the inner wall of the through hole. A conductor embedded through hole is formed. The conductor metal layer (usually a plating film) exposed on both end surfaces of the formed body buried through hole, that is, on the front and back surfaces of the substrate, is formed in the form of an electrode pad or by patterning the conductor metal layer after formation. It is preferable to form an electrode pad by using the above method. Although the shape of the electrode pad is not particularly limited, it is generally preferable to protrude in the shape of a land, and as described below, it is easy to store bumps (for example, solder bumps, gold bumps, etc.). It is particularly preferable to process it into a saucer shape.
[0031]
In the interposer of the present invention, the substrate may be used in the form of a flat plate, but in order to avoid in advance the problem of warpage or deformation inevitably caused by heat shrinkage of the underfill material in the conventional interposer. It is advantageous to use it in a non-flat form. In particular, the base is processed and used in a non-flat shape so that the base has a cross-sectional shape that fluctuates in the width direction so as to compensate for warpage or deformation caused in the manufacturing process of the electronic device. Is advantageous.
[0032]
In the practice of the present invention, the substrate can be used in various forms, as long as it has a non-planar cross-sectional shape.
[0033]
FIGS. 2 to 4 are examples in which an interposer is manufactured using the non-flat substrate 11 according to the present invention. Each of the bases 11 has a through-hole 14 buried with a conductor (Cu) having electrode pads 14a on both front and back surfaces.
[0034]
In the case of the interposer of FIG. 2, the base 11 has a rectangular recess 13 on the lower surface. In the present embodiment, the recess 13 is formed by forming the protrusion 12 in the peripheral region of the base 11, but the recess 13 may be formed by machining the lower surface of the base 11. If necessary, a concave portion may be formed on the upper surface of the base 11. Further, the shape of the concave portion is not limited to a rectangle, and may be a cylindrical shape if necessary.
[0035]
In the case of the interposer shown in FIG.₁have. That is, in the case of this embodiment, on the lower surface of the base 11, the convex portion R whose thickness is gradually increased in the width direction is provided.₁have. Convex part R₁May be formed on the upper surface of the base 11 if necessary. Further, the convex portion R₁Is not limited to the illustrated form, and can be arbitrarily changed.
[0036]
In the case of the interposer shown in FIG. 4, a gentle curve (R) R₂have. That is, in the case of the present embodiment, on the lower surface of the base 11, the concave portion R whose thickness is gradually reduced in the width direction.₂have. Recess R₂May be formed on the upper surface of the base 11 if necessary. Further, the recess R₂Is not limited to the illustrated form, and can be arbitrarily changed.
[0037]
In the interposer of the present invention, the conductor-embedded through-hole formed in the base may be used as it is by forming an electrode pad on its end face. However, as described with reference to FIG. For example, it is preferable to further include a solder bump, a gold bump, or a bump made of another material) and other joining means. This is because the interposition of the interposer and other components can be performed more reliably and firmly by interposing a bump or the like.
[0038]
In the practice of the present invention, it is particularly advantageous to perform the joining between the interposer and the other parts by ultrasonic joining, and for that purpose, the bumps used together for carrying out the ultrasonic joining are preferably made of gold or the like. It is preferable to be made of an alloy thereof. Use of the ultrasonic bonding method also has an effect of facilitating mounting of a semiconductor chip or the like. Further, in order to further enhance the effect of performing ultrasonic bonding using a gold bump or the like, a surface finishing layer, for example, a plating layer of a gold-based alloy, for example, Ni / Au, is further formed on an electrode pad usually made of copper or the like. It is advantageous to apply
[0039]
In the interposer of the present invention, the electrode pads may be formed on the front and back surfaces of the base and used as they are, but may be advantageously used after variously improving the electrode pads. For example, the electrode pad may be formed so as to protrude from the surface of the base 11 so as to easily receive the external connection terminal of the semiconductor chip or the like, and may be formed into a shape such as a step, a conical recess, and a tray. Or both may be combined.
[0040]
FIG. 5 shows an improved example of an electrode pad useful for carrying out the present invention, although not limited to the illustrated form. In the case of the interposer shown in FIG. 5A, the electrode pad 14a is formed on the upper surface of the base 11 by the method as shown in FIG. After forming the portion 11a, the electrode pad 14b is formed. The protrusion 11a can be easily formed, for example, by selectively etching the surface of the base 11. In the case of the interposer shown in FIG. 5B, after the protrusions 11a are formed on both surfaces of the base 11, the electrode pads 14b are formed on the respective protrusions. The interposer shown in FIG. 5C is a modified example of the interposer shown in FIG. 5A. The electrode pad on the upper surface has a conical shape instead of the land-like electrode pad 14a described above. The electrode pad 14c having the receiving portion is formed. Further, as shown in FIG. 5D, the electrode pad 14c may be formed after the protrusion 11d is formed on the surface of the base 11, as shown in FIG. Of course, these electrode pads and the other electrode pads according to the present invention can be used in any combination according to the desired effect.
[0041]
Furthermore, in the interposer of the present invention, the electrode pad may be formed on the end face of the base and used as it is. However, even when the ultrasonic bonding bump is not used as described above, the surface finishing layer may be used as the electrode pad. Advantageously applied on top.
[0042]
FIG. 6 shows an example of the formation of a surface finishing layer useful for practicing the present invention, although not limited to the illustrated form. In the case of the interposer shown in FIG. 6A, a surface finishing layer 15a is formed on the surface of the electrode pads 14a formed on the upper and lower surfaces of the base 11. Here, the surface finishing layer 15a is made of a Ni / Au plating layer. Of course, the surface finishing layer 15a may be formed from another conductive metal suitable for bonding a semiconductor chip or the like by plating or other thin film forming means. In the interposer of FIG. 6B, after the electrode pads 14b are formed as shown in FIG. 5B, the surface finish layer (Ni / Au plating layer) 15a is formed according to the same procedure as that of FIG. 6A. Is formed. Further, the interposer shown in FIG. 6C forms a surface finishing layer (Ni / Au plating layer) 15a on the electrode pad 14a as shown in FIG. This is one in which a surface finishing layer 15b is formed. The surface finishing layer 15b is a plating layer of Ni / Au / Sn / Ag, but may be formed of another plating layer, for example, Sn / Ag / Cu, if necessary. When the surface finishing layer has such a double structure, the bonding strength of the semiconductor chip or the like to the interposer can be further increased.
[0043]
In addition, in the interposer of the present invention, it is preferable to form additional functional elements integrally formed in the form of a thin film on the front surface and / or the back surface of the base. Here, the functional element may be an active element such as a semiconductor element, or may be a passive element such as a capacitor, a resistor, or an inductor. The functional element may be a specific wiring such as a rewiring layer. These functional elements may be used alone or in any combination of two or more.
[0044]
FIG. 7 shows an example in which two thin-film multilayer capacitors 17 are formed in an empty space on the upper surface of the base 11 in the interposer 10 of the present invention. Each of the capacitors 17 can be easily manufactured by sandwiching a dielectric layer between the upper and lower electrode layers using a conventional thin film forming technique. In the case of the illustrated embodiment, since the capacitor 17 incorporated in the interposer 10 is located immediately below and very close to the semiconductor element 5, it can function as a decoupling capacitor with extremely high performance. Further, since the two capacitors 17 are formed simultaneously when the interposer is manufactured, the manufacturing cost can be reduced. Further, by forming a rewiring layer on the interposer with a wiring pattern as described below, a fine wiring pattern can be obtained. In fact, the introduction of the rewiring layer makes it possible to reduce the number of layers on the wiring board side composed of the multilayer wiring board by one.
[0045]
The thin film multilayer capacitor 17 shown in FIG. 7 can be manufactured according to a conventional method, for example, as follows.
[0046]
First, a first conductor layer is formed on the base 1 including a portion where a capacitor is to be formed, and then the first conductor layer is patterned by photolithography to form a lower electrode layer for a capacitor. Next, a dielectric layer is formed to cover the lower electrode layer. For the dielectric layer, for example, a ferroelectric material such as STO (strontium titanium oxide) or PZT (lead zirconium titanium) can be used. The dielectric layer can be preferably formed by a sputtering method. Next, the dielectric layer is patterned according to a desired capacitor. Subsequently, the upper electrode layer is formed in the same manner as the formation of the lower electrode layer, and a high-capacity thin-film capacitor is completed.
[0047]
In the obtained thin film capacitor, the smaller the thickness of the dielectric layer, the higher the capacity of the capacitor can be made. Since the lower electrode layer serving as a base is formed on a smooth surface without irregularities, even a thin dielectric layer can be formed into a thin and good film without pinholes or the like. When the dielectric layer is connected to an adjacent wiring pattern, the dielectric layer can be used as a resistance line.
[0048]
FIG. 8 is an example in which one register 18 is formed in an empty space on the lower surface of the base 11 in the interposer 10 of the present invention. Similarly to the capacitor 17, the resistor 18 can be easily manufactured by using a conventional thin film forming technique.
[0049]
FIG. 9 is an example in which a rewiring layer of the interposer of the present invention is introduced. Although the illustrated semiconductor device 50 has a configuration similar to that of the semiconductor device described above with reference to FIG. 1, the rewiring layer 19 is formed at two places on the upper surface of the interposer 10. Different. Each redistribution layer 19 can be formed by a method generally used in this technical field. By incorporating the rewiring layer 19 into the semiconductor device 50, pitch conversion and wiring switching can be easily performed.
[0050]
【Example】
Subsequently, the present invention will be described with reference to examples thereof. It goes without saying that the present invention is not limited by these examples. For example, in the following embodiment, although a silicon wafer is used as a base of the interposer, a glass substrate can be used instead. In this case, a step of forming a silicon oxide film by thermal oxidation of the silicon wafer is performed. Can be omitted.
Example 1
In this example, a process of manufacturing the semiconductor device shown in FIG. 1 using a method shown in FIGS. 10 and 11 will be described.
[0051]
First, as shown in FIG. 10A, a silicon wafer 11 having a predetermined size is prepared. Although a flat wafer is used in this example, if necessary, the wafer may be processed into a non-flat shape in consideration of the heat shrinkage of the sealing resin.
[0052]
Next, a resist having excellent etching resistance is applied to both the front and back surfaces of the silicon wafer 11, and is patterned after curing. As shown in FIG. 10B, a silicon wafer 11 having the resist pattern 31 is obtained.
[0053]
After forming the resist pattern 31, the underlying silicon wafer 11 is etched using the resist pattern as a mask to form fine through holes 32 as shown in FIG. 10C. For the etching, a technique generally used for etching a silicon wafer, for example, plasma etching, sputter etching, reactive ion etching (RIE), or the like can be used. For example, plasma etching is performed using CF₄And SF₆Is advantageously used as an etching gas. Further, instead of such a dry etching process, a wet etching process using an etchant may be used. Further, for example, CO₂The through hole may be formed by laser processing using a laser or a YAG laser. If such a method is used, the above-described resist process can be omitted.
[0054]
Subsequent to the formation of the through holes 32, as shown in FIG. 10D, the resist pattern used as a mask is removed, and heat treatment is performed in an oxidizing atmosphere. Although not shown, a thin silicon oxide film (SiO 2) is formed on the surface of the silicon wafer 11 having the through holes 32.₂) Is formed.
[0055]
Next, as shown in FIG. 10E, a resist pattern 33 in which a portion serving as a wiring is exposed is formed in accordance with a method similar to that of FIG. Although not shown, before forming the resist pattern 33, a power supply layer for electrolytic plating is formed by electroless plating of copper or sputtering of chromium and copper.
[0056]
Next, power is supplied from a power supply layer (not shown) formed in the previous step, and copper electrolytic plating is performed. As shown in FIG. 10F, a metal layer (copper buried through hole) 14 and an electrode pad (pad of a wiring pattern) 14a made of copper plating are formed.
[0057]
If necessary, the electrode pad 14a may be provided with a protective plating such as nickel plating or gold plating. Further, at this point, solder for mounting the semiconductor chip may be formed by solder plating or the like.
[0058]
Subsequently, the resist pattern 33 used as the mask is removed. As shown in FIG. 10 (G), copper buried through holes 14 and electrode pads 14a on the end surfaces thereof remain. Although not shown, a wiring pattern is also formed on the silicon wafer 11. Further, the wiring pattern can be formed by any known method, for example, a subtractive method, an additive method, or the like.
[0059]
Next, as shown in FIG. 11H, bumps 16 for bonding to the wiring substrate are formed on the electrode pads 14a formed on the lower surface of the silicon wafer 11. The bump 16 can be formed in the form of a gold stud bump using, for example, a wire bonder. The bumps 16 may be formed by joining solder balls.
[0060]
Subsequently, as shown in FIG. 11I, bumps 15 for mounting semiconductor chips are formed on the electrode pads 14a formed on the upper surface of the silicon wafer 11. The bumps 15 can be formed, for example, by screen-printing a solder paste and performing reflow at a predetermined temperature. The bumps 15 may be formed by solder plating in the step of FIG. 10F, or may be formed by gold stud bumps. After the formation of the bumps 15, dicing is performed at a portion indicated by a dotted line in the figure. As shown in FIG. 11 (J), interposers 10 separated individually are obtained.
[0061]
After the interposer 10 is formed in a series of steps as described above, the wiring board 1 (electrode 2) and the interposer 10 (electrode pad 14a) are aligned as shown in FIG. Through ultrasonic bonding. As shown, the space between the wiring board 1 and the interposer 10 thereon is filled with a sealing resin (underfill material) 7 and sealed.
[0062]
Finally, as shown in FIG. 11 (L), a semiconductor chip 5 is further mounted on the interposer 10 mounted on the wiring board 1 via the bumps 3, and between the interposer 10 and the semiconductor chip 5. A sealing resin (underfill material) 7 is filled.
[0063]
Although not shown, the order of the above processes may be changed so that the semiconductor chip is mounted on the interposer, and then the interposer mounting the semiconductor chip is bonded to the wiring board.
Example 2
In this example, a process of manufacturing a semiconductor device using a method shown in FIG. 12 will be described.
[0064]
First, by a method similar to that of the first embodiment, as shown in FIG. 12A, a copper buried through hole 14 and an electrode pad 14a on its end face are provided, and a wiring pattern (not shown) is formed. A silicon wafer 11 is prepared.
[0065]
Next, as shown in FIG. 12B, a resist having excellent etching resistance is applied to the front and back surfaces of the silicon wafer 11 and cured. A resist film 34 is formed.
[0066]
Next, the resist film 34 is patterned so as to cover the electrode pads 14a. As shown in FIG. 12C, a silicon wafer 11 provided with the resist pattern 34a is obtained. The resist patterns 34a respectively cover the upper surfaces of the heads of the electrode pads 14a.
[0067]
After the formation of the resist pattern 34a, the underlying silicon wafer 11 is etched to a predetermined depth using the resist pattern as a mask. The etching can be performed in the same manner as in the first embodiment. As shown in FIG. 12D, a protruding portion 11a is formed in the portion of the silicon wafer 11 where the copper buried through hole 14 is formed.
[0068]
Subsequently, as shown in FIG. 12E, the used resist pattern is removed, and dicing is performed at a portion indicated by a dotted line in the figure. As shown in FIG. 12 (F), interposers 10 which are individually separated are obtained. In the case of the interposer 10, a shape in which the electrode pads 14b are protruded is obtained.
[0069]
Subsequently, the interposer 10 and the semiconductor chip 5 are mounted on the wiring board 1 in the same manner as in the first embodiment. Finally, when the sealing resin (underfill material) 7 is filled between the interposer 10 and the semiconductor chip 5, a semiconductor device 50 as shown in FIG. 12G is obtained.
[0070]
In this semiconductor device, since the electrode pads protrude, the operation of joining the interposer to the wiring board or the semiconductor chip can be easily and quickly performed. In addition, since the electrode pads protrude, by applying nickel plating and gold plating to the electrode pads, ultrasonic bonding between the interposer and the wiring board or semiconductor chip can be easily performed.
Example 3
In the present embodiment, as a modification of the second embodiment, a process of manufacturing a semiconductor device in which an electrode pad protrudes from only one surface of an interposer will be described.
[0071]
By repeating the method described in the second embodiment, as shown in FIG. 13A, a protrusion 11 a is selectively formed on the lower surface of the silicon wafer 11 at the portion of the copper buried through hole 14. On the upper surface of the silicon wafer 11, bumps 15 for mounting a semiconductor chip are formed on the electrode pads 14a as shown.
[0072]
Subsequently, the silicon wafer 11 is diced at a portion indicated by a dotted line in the figure. As shown in FIG. 13 (B), interposers 10 separated individually are obtained.
[0073]
Using the obtained interposer 10, the interposer 10 and the semiconductor chip 5 are mounted on the wiring board 1 in the same manner as in the second embodiment, and subsequently, the sealing resin (underfill material) 7 is filled. . As shown in FIG. 13C, a semiconductor device 50 in which the interposer 10 and the semiconductor chip 5 are sequentially mounted on the wiring board 1 is obtained.
Example 4
In this example, a process of manufacturing the semiconductor device of FIG. 15 using the method shown in FIG. 14 will be described.
[0074]
First, by the same method as in the first embodiment, as shown in FIG.
Fine through holes (through holes) 32 are formed by etching the silicon wafer 11.
[0075]
Next, as shown in FIG. 14B, a thin dry resist film 35 is stuck on the upper surface of the silicon wafer 11, and is further patterned. As shown in FIG. 14C, a resist pattern 35a in which a portion serving as a wiring is exposed is formed.
[0076]
Next, as shown in FIG. 14D, the exposed end portion of the through hole 32 is selectively removed by isotropic etching to form a conical concave portion 36.
[0077]
After removing the resist pattern 35a used as a mask, a heat treatment is performed in the same manner as in the first embodiment to form a silicon oxide film (not shown) on the surface of the silicon wafer. A power supply layer (not shown) for electrolytic plating is formed on the silicon oxide film by electroless plating of copper or sputtering of chromium and copper.
[0078]
Subsequently, as shown in FIG. 14E, a resist pattern 37 in which a portion serving as a wiring is exposed is formed in the same manner as in the first embodiment. Next, power is supplied from the power supply layer formed in the previous step, and copper electrolytic plating is performed. As shown, a metal layer (copper buried through hole) 14 is formed. On the lower surface of the silicon wafer 11, a land-like electrode pad (pad of a wiring pattern) 14a made of copper plating is formed. On the other hand, on the upper surface of the silicon wafer 11, the shape of the already formed conical concave portion is changed. Reflectingly, a conical concave electrode pad 14c made of copper plating is formed.
[0079]
Subsequently, the resist pattern 37 used as a mask is removed. As shown in FIG. 14F, the copper buried through hole 14 and the electrode pads 14a and 14c on the end surfaces thereof remain. Next, bumps 16 for bonding to the wiring substrate are formed on the electrode pads 14a formed on the lower surface of the silicon wafer 11, and bumps 15 for mounting semiconductor chips are formed on the electrode pads 14c formed on the upper surface. Each of the bumps 15 and 16 can be advantageously formed according to the method described in the first embodiment.
[0080]
After the formation of the bumps 15 and 16, dicing is performed at a portion indicated by a dotted line in FIG. As shown in FIG. 14 (G), interposers 10 separated individually are obtained.
[0081]
After the interposer 10 is formed in a series of steps as described above, the interposer 10 and the semiconductor chip 5 are mounted on the wiring board 1 in the same manner as in the first embodiment, and then the sealing resin (underfill material) ) 7 is filled. As shown in FIG. 15, a semiconductor device 50 in which the interposer 10 and the semiconductor chip 5 are sequentially mounted on the wiring board 1 is obtained. In the case of this example, in the interposer 10, since the concave portion is formed in the electrode pad 14c on the semiconductor chip mounting side, the positioning and mounting of the chip can be easily performed by positioning the bump 3 of the semiconductor chip 5 in the concave portion. Can be implemented.
Example 5
In this example, a process for manufacturing the semiconductor device of FIG. 17 using the method shown in FIG. 16 will be described.
[0082]
First, the silicon wafer 11 is processed as described above with reference to FIGS. 14A to 14E by a method similar to that of the fourth embodiment. That is, as shown in FIG. 16A, a metal layer (copper buried through hole) 14 penetrating the silicon wafer 1 is formed on the silicon wafer 1, and a land-like electrode pad made of copper plating is formed on the lower surface of the silicon wafer 11. A (pad of a wiring pattern) 14a is formed, and a conical recessed electrode pad 14c made of copper plating is formed on the upper surface of the silicon wafer 11.
[0083]
Subsequently, as shown in FIG. 16A, a resist having excellent etching resistance is applied to both the front and back surfaces of the silicon wafer 11 and cured by the same method as in the second embodiment. A resist film 34 is formed.
[0084]
Next, the resist film 34 is patterned so as to cover each of the electrode pads 14a and 14c. As shown in FIG. 16B, a silicon wafer 11 having a resist pattern 34a is obtained.
[0085]
After the formation of the resist pattern 34a, the underlying silicon wafer 11 is etched to a predetermined depth using the resist pattern as a mask. The etching can be performed in the same manner as in the second embodiment. As shown in FIG. 16 (C), a projection 11a is formed on the lower surface of the silicon wafer 11 at the portion of the copper buried through hole 14, and a projection 11d is formed on the corresponding portion on the upper surface.
[0086]
Subsequently, as shown in FIG. 14D, the used resist pattern is removed, and subsequently, bumps 15 for mounting a semiconductor chip are formed on the electrode pads 14c formed on the upper surface of the silicon wafer 11. Thereafter, the silicon wafer 11 is diced at a portion indicated by a dotted line in the figure. As shown in FIG. 16 (E), interposers 10 separated individually are obtained.
[0087]
After the interposer 10 is formed in a series of steps as described above, the interposer 10 and the semiconductor chip 5 are mounted on the wiring board 1 in the same manner as in the first embodiment, and then the sealing resin (underfill material) ) 7 is filled. As shown in FIG. 15, a semiconductor device 50 in which the interposer 10 and the semiconductor chip 5 are sequentially mounted on the wiring board 1 is obtained.
Example 6
In this embodiment, as a modification of the fifth embodiment, a process for manufacturing a semiconductor device in which electrode pads protrude from only one surface of an interposer will be described.
[0088]
By repeating the method described in the fifth embodiment, as shown in FIG. 18A, a protrusion 11d is selectively formed on the upper surface of the silicon wafer 11 at the portion of the copper buried through hole 14, and A bump 15 for mounting a semiconductor chip is formed on the conical recessed electrode pad 14c formed above. On the other hand, as shown, an electrode pad 14a having no projection is formed on the lower surface of the silicon wafer 11, and then a bump 16 for bonding to a wiring board is further formed.
[0089]
Subsequently, the silicon wafer 11 is diced at a portion indicated by a dotted line in FIG. As shown in FIG. 18B, interposers 10 separated individually are obtained.
[0090]
Using the obtained interposer 10, the interposer 10 and the semiconductor chip 5 are mounted on the wiring board 1 in the same manner as in the fifth embodiment, and subsequently, the sealing resin (underfill material) 7 is filled. . As shown in FIG. 18C, a semiconductor device 50 in which the interposer 10 and the semiconductor chip 5 are sequentially mounted on the wiring board 1 is obtained.
[0091]
【The invention's effect】
As described in detail above, according to the present invention, even when the length of one side of the semiconductor chip is about 25 mm or more, for example, the semiconductor chip is mounted on the wiring board by the FC method via the interposer. In addition, when sealing with an underfill material, a mismatch in the coefficient of linear expansion causes warpage of a wiring board or a semiconductor chip, and there is no breakage or detachment of the chip and no abnormal operation. Can be provided.
[0092]
Further, when the interposer of the present invention is used, mounting of a semiconductor chip or the like is easy, and the interposer can be firmly joined to a wiring board or a semiconductor chip. Furthermore, the interposer of the present invention can incorporate other functions, for example, a function as a passive element such as a capacitor or a rewiring layer, in addition to the function of the interposer itself, and can be used for semiconductor devices and other electronic devices. Can be multifunctional and miniaturized. And to provide a useful interposer.
[0093]
Further, according to the present invention, the above-described high-performance and high-functional interposer of the present invention can be easily manufactured with high yield.
[0094]
Further, according to the present invention, it is possible to provide a high-performance and high-performance electronic device that is not accompanied by breakage or detachment of a chip, occurrence of an abnormal operation, or the like despite the mounting of an interposer.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a sectional view showing a preferred embodiment of a semiconductor device according to the present invention.
FIG. 2 is a cross-sectional view showing a preferred embodiment of a substrate used in the interposer of the present invention.
FIG. 3 is a cross-sectional view showing another preferred embodiment of a substrate used in the interposer of the present invention.
FIG. 4 is a cross-sectional view showing yet another preferred embodiment of a substrate used in the interposer of the present invention.
FIG. 5 is a cross-sectional view showing some preferred embodiments of a conductor embedded through hole included in the interposer of the present invention.
FIG. 6 is a cross-sectional view showing some preferred modes for the end face treatment of the through hole embedded in the conductor included in the interposer of the present invention.
FIG. 7 is a sectional view showing a preferred embodiment of an interposer according to the present invention.
FIG. 8 is a sectional view showing another preferred embodiment of an interposer according to the present invention.
FIG. 9 is a cross-sectional view showing another preferred embodiment of the semiconductor device according to the present invention.
FIG. 10 is a sectional view sequentially showing a preferred method (1) of manufacturing a semiconductor device according to the present invention.
FIG. 11 is a sectional view sequentially showing a preferred method (2) of manufacturing a semiconductor device according to the present invention.
FIG. 12 is a sectional view sequentially showing another preferred method of manufacturing a semiconductor device according to the present invention.
FIG. 13 is a sectional view sequentially showing still another preferred method of manufacturing a semiconductor device according to the present invention.
FIG. 14 is a sectional view sequentially showing still another preferred method of manufacturing a semiconductor device according to the present invention.
FIG. 15 is a sectional view of a semiconductor device manufactured by the manufacturing method of FIG. 14;
FIG. 16 is a sectional view showing still another preferred manufacturing method of the semiconductor device according to the present invention in order.
FIG. 17 is a sectional view of a semiconductor device manufactured by the manufacturing method of FIG. 16;
FIG. 18 is a sectional view sequentially showing still another preferred method of manufacturing a semiconductor device according to the present invention.
FIG. 19 is a cross-sectional view showing a general example of a conventional semiconductor device.
FIG. 20 is a cross-sectional view showing an example of a conventional interposer.
FIG. 21 is a cross-sectional view showing another example of the conventional interposer.
[Explanation of symbols]
1: Wiring board
2 ... Electrode
3 ... Bump
5 ... Semiconductor element
7 ... sealing resin
10 ... Interposer
11 ... substrate
14 ... conductor embedded through hole
14a: Electrode pad
15 ... Solder bump
16 ... Solder bump
17 ... Capacitor
18… Register
19 ... Rewiring layer
50 ... Semiconductor device

Claims

A wiring board, and an interposer used to configure an electronic device that is inserted between an electronic element mounted on the wiring board,
A base made of an inorganic material having heat resistance and insulating properties, and a conductor-embedded through-hole penetrating through the base and filled with a conductor in a penetrating portion, wherein the base is manufactured by manufacturing the electronic device. An interposer having a cross-sectional shape that varies in the width direction so as to compensate for deformation caused in the process.

(1) the electrode pad formed on the end face of the conductor-embedded through hole further has a bump for ultrasonic bonding;
(2) the electrode pad further has a surface finishing layer;
(3) the electrode pad is formed on a protrusion projecting from a main surface of the interposer; and (4) an additional integrally formed surface and / or back surface of the base. Having further functional elements in the form of thin films,
The interposer according to claim 1, wherein the interposer comprises at least one of the following.

The interposer according to claim 1, wherein a linear expansion coefficient of the inorganic material of the base is substantially the same as a linear expansion coefficient of the wiring substrate and a linear expansion coefficient of the electronic element.

The interposer according to any one of claims 1 to 3, wherein the inorganic material of the base is a semiconductor material or glass.

The interposer according to any one of claims 1 to 4, wherein the base is made of silicon.

The interposer according to any one of claims 1 to 5, wherein the substrate is a non-flat substrate, and has a rectangular recess on at least one of its main surfaces.

The substrate according to any one of claims 1 to 5, wherein the substrate is a non-flat substrate, and at least one of its main surfaces has a concave portion whose thickness is gradually reduced in a width direction. Or the interposer according to item 1.

The said base | substrate is a non-plate-shaped base | substrate, The at least one of the main surfaces has the convex part whose thickness increased gradually in the width direction, The convex part of Claim 1 characterized by the above-mentioned. An interposer according to any one of the preceding claims.

A wiring board, and an interposer used to configure an electronic device that is inserted between an electronic element mounted on the wiring board,
A base made of an inorganic material having heat resistance and insulating properties, and having a conductor-embedded through-hole penetrating the base and filled with a conductor in a penetrating portion, and on an end face of the conductor-embedded through-hole, An interposer having shaped electrode pads.

The electrode pad,
(1) being formed on a projection projecting from a main surface of the interposer, and / or
(2) The interposer according to claim 9, wherein the end face has a concave portion.

The electrode pad,
(3) further having a bump for ultrasonic bonding; and / or
(4) having a surface finishing layer,
The interposer according to claim 9 or 10, further comprising:

12. The device according to claim 9, further comprising additional functional elements integrally formed on the front surface and / or the back surface of the base in the form of a thin film. 13. Interposer.

13. The interface according to claim 9, wherein a coefficient of linear expansion of the inorganic material of the base is substantially the same as a coefficient of linear expansion of the wiring board and a coefficient of linear expansion of the electronic element. Poser.

The interposer according to any one of claims 9 to 13, wherein the inorganic material of the base is a semiconductor material or glass.

The interposer according to any one of claims 9 to 14, wherein the base is made of silicon.

The interposer according to any one of claims 9 to 15, wherein the substrate is a non-flat substrate, and has a rectangular recess on at least one of its main surfaces.

The substrate according to any one of claims 9 to 15, wherein the substrate is a non-flat substrate, and at least one of its main surfaces has a concave portion whose thickness is gradually reduced in a width direction. Or the interposer according to item 1.

The substrate according to claim 9, wherein the substrate is a non-flat substrate, and at least one of its main surfaces has a convex portion whose thickness is gradually increased in the width direction. An interposer according to any one of the preceding claims.

A wiring board, and an interposer used to configure an electronic device that is inserted between an electronic element mounted on the wiring board,
It has a base made of an inorganic material having heat resistance and insulating properties, and a conductor-embedded through-hole penetrating the base and filled with a conductor in a penetrating portion, and formed on an end face of the conductor-embedded through-hole. An interposer, wherein the formed electrode pad further has a bump for ultrasonic bonding.

The electrode pad further has a surface finishing layer; and / or
Being formed on a projection projecting from the main surface of the interposer,
The interposer according to claim 19, wherein:

21. The interposer according to claim 19, further comprising additional functional elements integrally formed on the front surface and / or the rear surface of the base in the form of a thin film.

22. The interface according to claim 19, wherein the coefficient of linear expansion of the inorganic material of the base is substantially the same as the coefficient of linear expansion of the wiring substrate and the coefficient of linear expansion of the electronic element. Poser.

The interposer according to any one of claims 19 to 22, wherein the inorganic material of the base is a semiconductor material or glass.

The interposer according to any one of claims 19 to 23, wherein the base is made of silicon.

The interposer according to any one of claims 19 to 24, wherein the base is a non-flat base, and has a rectangular recess on at least one of its main surfaces.

The substrate according to any one of claims 19 to 24, wherein the substrate is a non-flat substrate, and at least one of its main surfaces has a recess whose thickness is gradually reduced in the width direction. Or the interposer according to item 1.

The substrate according to any one of claims 19 to 24, wherein the substrate is a non-flat substrate, and at least one of its main surfaces has a convex portion whose thickness is gradually increased in a width direction. An interposer according to any one of the preceding claims.

A method of manufacturing an interposer used to configure an electronic device by being interposed between a wiring board and an electronic element mounted on the wiring board,
Forming a substrate made of an inorganic material having heat resistance and insulating properties,
Processing the base, so as to compensate for the deformation caused in the process of manufacturing the electronic device, a step of providing a cross-sectional shape varied in the width direction,
Forming a through hole through the base;
Forming a conductor-embedded through hole by filling the through hole with a conductor.

(1) a step of further forming a bump for ultrasonic bonding on the electrode pad formed on the end face of the conductor-embedded through hole;
(2) a step of further forming a surface finishing layer on the electrode pad;
(3) forming the electrode pad on a projection projecting from a main surface of the interposer; and / or
(4) a step of integrally forming an additional functional element in the form of a thin film on the front surface and / or the back surface of the base;
The method for manufacturing an interposer according to claim 28, further comprising:

30. The method according to claim 28, wherein in the step of forming the base, the inorganic material having a linear expansion coefficient substantially equal to a linear expansion coefficient of the wiring substrate and a linear expansion coefficient of the electronic element is used. The method for producing the interposer according to the above.

31. The method for manufacturing an interposer according to claim 28, wherein in the step of forming the base, a semiconductor material or glass is used as the inorganic material.

The method for manufacturing an interposer according to any one of claims 28 to 31, wherein the base is made of silicon.

29. The method according to claim 28, wherein, in the step of processing the base, the base is processed into a non-planar base, and at least one of the main surfaces of the base is provided with a rectangular recess. 32. The method for manufacturing an interposer according to any one of 32.

In the processing step of the base, the base is processed into a non-flat base, and at least one of the main surfaces of the base has a recess whose thickness is gradually reduced in the width direction. The method for manufacturing an interposer according to any one of claims 28 to 32, wherein

In the processing step of the substrate, the substrate is processed into a non-flat substrate shape, and at this time, at least one of the main surfaces of the substrate has a protrusion whose thickness is gradually increased in the width direction. The method for manufacturing an interposer according to any one of claims 28 to 32, wherein a part is provided.

A method of manufacturing an interposer used to configure an electronic device by being interposed between a wiring board and an electronic element mounted on the wiring board,
Forming a substrate made of an inorganic material having heat resistance and insulating properties,
Forming a through hole through the base;
Forming a conductor-embedded through-hole by filling the through-hole with a conductor,
Forming a shaped electrode pad on the end face of the conductor-embedded through hole.

37. The interposer according to claim 36, wherein in the electrode pad forming step, the electrode pad is formed by projecting from a main end face of the interposer, and / or a concave portion is provided on the end face of the electrode pad. How to make a poser.

38. The method according to claim 36, further comprising a step of further forming a bump for ultrasonic bonding on the electrode pad and / or a step of further forming a surface finishing layer on the electrode pad. Method of manufacturing an interposer.

39. The method according to any one of claims 36 to 38, further comprising the step of integrally forming additional functional elements in the form of a thin film on the front surface and / or the rear surface of the base. Method.

The method according to claim 36, wherein in the step of forming the base, the inorganic material having a linear expansion coefficient substantially equal to a linear expansion coefficient of the wiring substrate and a linear expansion coefficient of the electronic element is used. A method for producing the interposer according to any one of the preceding claims.

41. The method for manufacturing an interposer according to claim 36, wherein in the step of forming the base, a semiconductor material or glass is used as the inorganic material.

The method for manufacturing an interposer according to any one of claims 36 to 41, wherein the base is made of silicon.

37. The substrate processing step, wherein the substrate is processed into a non-flat substrate shape, and at least one of the main surfaces of the substrate is provided with a rectangular recess. 43. The method for manufacturing an interposer according to any one of the items 42.

In the processing step of the base, the base is processed into a non-planar base form, and at least one of the main surfaces of the base has a recess whose thickness is gradually reduced in the width direction. The method of manufacturing an interposer according to any one of claims 36 to 42, wherein

In the processing step of the substrate, the substrate is processed into a non-flat substrate shape, and at this time, at least one of the main surfaces of the substrate has a protrusion whose thickness is gradually increased in the width direction. 43. The method for manufacturing an interposer according to claim 36, wherein a part is provided.

A method of manufacturing an interposer used to configure an electronic device by being interposed between a wiring board and an electronic element mounted on the wiring board,
Forming a substrate made of an inorganic material having heat resistance and insulating properties,
Forming a through hole through the base;
Forming a conductor-embedded through-hole by filling the through-hole with a conductor,
Forming a bump for ultrasonic bonding on an electrode pad formed on an end face of the conductor embedded through hole.

A step of further forming a surface finishing layer on the electrode pad; and / or
Forming the electrode pad on a protrusion protruding from a main surface of the interposer;
The method for manufacturing an interposer according to claim 46, further comprising:

48. The method according to claim 46, further comprising a step of integrally forming an additional functional element in the form of a thin film on the front surface and / or the rear surface of the base.

49. The method according to claim 46, wherein in the step of forming the base, the inorganic material having a linear expansion coefficient substantially equal to a linear expansion coefficient of the wiring substrate and a linear expansion coefficient of the electronic element is used. A method for producing the interposer according to any one of the preceding claims.

The method for manufacturing an interposer according to any one of claims 46 to 49, wherein in the step of forming the base, a semiconductor material or glass is used as the inorganic material.

The method for manufacturing an interposer according to any one of claims 46 to 50, wherein the base is made of silicon.

47. The processing step of the base body, wherein the base body is processed into a shape of a non-flat base body, and at this time, a rectangular recess is provided on at least one of the main surfaces of the base body. 52. The method of manufacturing an interposer according to any one of items 51 to 51.

In the processing step of the base, the base is processed into a non-planar base form, and at least one of the main surfaces of the base has a recess whose thickness is gradually reduced in the width direction. The method of manufacturing an interposer according to any one of claims 46 to 51, wherein

In the processing step of the substrate, the substrate is processed into a non-flat substrate shape, and at this time, at least one of the main surfaces of the substrate has a protrusion whose thickness is gradually increased in the width direction. The method for manufacturing an interposer according to any one of claims 46 to 51, wherein a part is provided.

An electronic device comprising at least one electronic element,
An electronic device, wherein the electronic element is mounted on an upper part of a wiring board via the interposer according to any one of claims 1 to 27.

The electronic device according to claim 55, wherein the electronic element is a semiconductor element.