JP2004304209A - 基板処理方法及び基板処理システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 塗布現像処理システム1内の周辺露光装置51において,ケーシング60内に,レジスト膜の膜厚をレーザー光によって感知する膜厚センサ64を設け,載置台61上のウェハWをX方向に移動させて,ウェハW上のレジスト膜の膜厚を測定する。膜厚の測定は,ウェハWの周辺露光処理の前後に行う。これによって,ウェハWの周辺部での露光処理が所定の位置に行われたどうかを検査する。
【選択図】図5
Description
前記基板の塗布膜の膜厚を測定した後,前記基板の周辺部に光を照射して,前記塗布膜を所定の幅だけ露光する工程と,
前記塗布膜を露光した後に,再び前記塗布膜の膜厚を測定し,その測定結果から前記周辺部での露光が所定の位置に行われたどうかを検査する工程と,を有している。
51 周辺露光装置
63 レール
64 膜厚センサ
65 照射部
W ウェハ
Claims (4)
- 基板の周辺部に光を照射して,前記基板に塗布された塗布膜の周辺部に対して露光する周辺露光装置と,前記塗布膜の膜厚を測定する装置とを有する基板処理システムにおいて,
前記基板の塗布膜の膜厚を測定した後,前記基板の周辺部に光を照射して,前記塗布膜を所定の幅だけ露光する工程と,
前記塗布膜を露光した後に,再び前記塗布膜の膜厚を測定し,その測定結果から前記周辺部での露光が所定の位置に行われたどうかを検査する工程と,
を有する特徴とする,基板処理方法。 - さらに基板に対して塗布膜を塗布する塗布装置を備え,
前記膜厚を測定する基板にはテスト用基板を用い,前記膜厚を測定した結果,測定値が許容範囲内にある場合には,生産用基板に対して前記塗布装置で所定の塗布処理を実施し,
測定値が許容範囲から外れている場合には,前記塗布装置に対して必要な補正を行った後,この塗布装置で塗布処理を実施した他のテスト用基板の膜厚を測定することを特徴とする,請求項1に記載の基板処理方法。 - 測定値が許容範囲から外れている場合には,同時に外部に対してそのことを知らせる工程をさらに有することを特徴とする,請求項2に記載の基板処理方法。
- 基板上に処理液を塗布する塗布装置と,
回転自在でかつ少なくとも一方向に移動自在な載置台を有し,前記載置台上の基板の周辺部に対して照射部から光を照射して,前記基板周辺部の塗布膜を露光する周辺露光装置と,
を備えた,基板処理システムであって,
前記周辺露光装置は,前記塗布膜の膜厚を測定するセンサ部材を有する膜厚測定手段を備え,前記センサ部材は基板の周辺露光された部分の膜厚をも測定を有する機能を有し,
さらに前記センサ部材によって検出されたデータに基づいて膜厚の測定を行う膜厚センサ制御装置を有し,
前記膜厚センサ制御装置は,さらに周辺露光された部分の膜厚データに基づいて,周辺露光処理時に生じた露光部分の膜厚の変化を測定し,前記周辺露光された部分が所定位置に行われたどうかを判断する,
ことを特徴とする,基板処理システム。
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