JP2004304194A - Sewing device for semiconductor package production process and its control method therefor - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、半導体パッケージ作製工程用ソーイング装置及びその制御方法に関し、さらに詳細には、チャックテーブルの構造改善及びそれによるソーイング工程の改善を通じて半導体ソーイング作業における生産性の向上が図られるようにしたものに関する。 The present invention relates to a sawing apparatus for a semiconductor package manufacturing process and a method of controlling the same, and more particularly, to an improvement in productivity in a semiconductor sawing operation through an improvement in the structure of a chuck table and an improvement in the sawing process thereby. About.
一般に、半導体パッケージは、FAB(Fabrication)工程により、シリコンからなる半導体基板上にトランジスタ及びキャパシタなどのような高集積回路が形成された半導体屑を作製した後、これをリードフレームや印刷回路基板に付着し、前記半導体屑とリードフレームや印刷回路基板とがお互い通電されるようにワイヤーなどで電気的に連結した後、屑が外部環境から保護されるようにEMC(Epoxy Molding Compound)でモールディングすることによって作製される。 In general, in a semiconductor package, after a semiconductor chip made of silicon and a highly integrated circuit such as a transistor is formed on a semiconductor substrate made of silicon by a FAB (Fabrication) process, the semiconductor chip is formed into a lead frame or a printed circuit board. Attach and electrically connect the semiconductor chip and the lead frame or the printed circuit board with a wire or the like so that they are electrically connected to each other, and then mold the chip with an EMC (Epoxy Molding Compound) so as to protect the chip from the external environment. It is produced by
一方、このように作製される半導体パッケージは、通常、リードフレーム上にマトリクスタイプにパッケージングされるので、リードフレームや印刷回路基板内で相互連結されているパッケージを切断し個別的に分離するソーイング工程が行われ、ソーイング工程により各々切断されたパッケージは、あらかじめ設定された品質基準に基づいてトレーに積載され、次の工程のために搬送される。 On the other hand, the semiconductor package manufactured in this manner is usually packaged in a matrix type on a lead frame, so that a sawing that cuts and separates interconnected packages in a lead frame or a printed circuit board. The process is performed, and the packages cut by the sawing process are stacked on a tray based on a preset quality standard and transported for the next process.
そして、通常、リードフレームや印刷回路基板は直方形の帯状となることからストリップ(strip)と呼ばれ、前記ストリップを幅方向及び長さ方向に所定間隔をおいて切断したものをパッケージと呼ぶ。 Usually, a lead frame or a printed circuit board has a rectangular band shape and is called a strip. A package obtained by cutting the strip at predetermined intervals in the width direction and the length direction is called a package.
一方、かかる工程に使用される装置は、本出願人により先出願された半導体パッケージ装置切断用ハンドラーシステム(韓国特許出願番号第2000−79282号、公開番号:特2002−49954)に詳細に開示されている。 Meanwhile, an apparatus used for such a process is disclosed in detail in a handler system for cutting a semiconductor package device (Korean Patent Application No. 2000-79282, Publication No. 2002-49954) previously filed by the present applicant. ing.
この半導体パッケージ装置切断用ハンドラーシステムは、図1に示すように、案内レール24に沿って水平に移動可能であり、搬入されたストリップを吸着した後チャックテーブル23にローディングしたりチャックテーブル23から各々のパッケージをアンローディングするストリップ/パッケージピッカー22と、チャックテーブルベース200に設置され、前記ピッカー22によりストリップがローディングされた状態でストリップを吸着して水平方向に移動させたり回転させたりするチャックテーブル23と、前記チャックテーブル23により搬送されたストリップを各々のパッケージに切断する切断装置30と、前記切断装置にてソーイング作業を行うに際して発生する異物を除去する洗浄装置40と、前記切断装置により個別的に分離されたパッケージを乾燥させる乾燥装置50と、を含めて構成される。
As shown in FIG. 1, the handler system for cutting a semiconductor package device is horizontally movable along a
これらハンドラーシステムの構成要素については上記の先出願された明細書に詳細に記載されているので、本発明と関連しない部分についてはその説明を省略するものとする。 Since the components of these handler systems are described in detail in the above-mentioned specification, the description of the parts not related to the present invention will be omitted.
一方、図2は、図1におけるストリップ/パッケージピッカーとチャックテーブルとの関係を示す参照図である。
図2に示すように、前記チャックテーブル23の上面には1枚のチャックプレート233が設置され、前記ストリップ/パッケージピッカー22は、前記チャックプレート233の上部に位置するとともに、昇降可能なストリップピッカーヘッド221とパッケージピッカーヘッド222とを備える。前記チャックプレート233の上部にはストリップまたはパッケージを吸着するための吸着部231が設けられている。
FIG. 2 is a reference diagram showing the relationship between the strip / package picker and the chuck table in FIG.
As shown in FIG. 2, one
ここで、Pは切断装置30により切断された後チャックプレート233に固定されているパッケージであり、Sはストリップピッカーヘッド221に吸着されたまま新規にチャックプレート233にローディングされるストリップである。
このように構成された従来のハンドラーシステムにおいてソーイング工程を概略的に説明すれば、まず、ストリップ(S)がオンローダ装置10からプッシャー12を通じてシステム内に搬入されると、ストリップ/パッケージピッカー22のストリップピッカーヘッド221が前記ストリップ(S)を吸着した後、案内レール24に沿って移動して前記チャックプレート233にストリップをローディングする。
Here, P is a package that is fixed to the
In the conventional handler system having the above-described configuration, the sewing process will be briefly described. First, when the strip (S) is carried into the system from the on-
その後、前記ストリップ(S)は前記チャックプレート233で真空力により吸着固定された状態で切断装置30に搬送され、前記チャックテーブル23と切断装置30の相互運動によりストリップ(S)は各々のパッケージ(P)に切断される。
一方、前記チャックテーブル23がストリップ(S)を整列し、切断装置30との相互運動によってストリップ(S)を切断する間、前記ストリップ/パッケージピッカー22のストリップピッカーヘッド221はオンローダ装置10の方に移動してシステム内に搬入された新しいストリップを吸着した後、再びストリップアンローディング位置に移動して前記チャックプレート233に新しいストリップ(S)をアンローディングできるように待機状態を保持する。
Thereafter, the strip (S) is conveyed to the
Meanwhile, while the chuck table 23 aligns the strip (S) and cuts the strip (S) by mutual movement with the
次いで、前記切断装置30でストリップ(S)が各々のパッケージ(P)に切断されたらそれらのパッケージ(P)はチャックテーブル23により再び原位置に搬送され、前記パッケージピッカーヘッド222によりアンローディングされる。
その後、前記アンローディング位置で待機していたストリップピッカーヘッド221が新しいストリップを前記チャックプレート233にローディングすることによってソーイング工程は終了する。
Next, when the strip (S) is cut into the respective packages (P) by the
Thereafter, the
一方、このようなソーイング工程を終了した後、従来のハンドラーシステムは、前記パッケージピッカーヘッド222にアンローディングされたパッケージ(P)を洗浄装置40と乾燥装置50に順次的に移動させ、洗浄及び乾燥を行う。
しかし、このような従来技術では、チャックテーブル23に単一のチャックプレート233しか備えていないため、前記チャックプレート233から切断された各々のパッケージ(P)をパッケージピッカーヘッド222にアンローディングした後で、ストリップピッカーヘッド221に吸着されている新たに搬入されたストリップ(S)を前記チャックプレート233にローディングしなければならなかった。
On the other hand, after completing the sewing process, the conventional handler system sequentially moves the package (P) unloaded to the
However, in such a conventional technique, since only a
つまり、従来の技術では、ストリップピッカーヘッド221が吸着している新しいストリップ(S)をチャックプレート233にローディングするためにはチャックプレート233が空きになっていなければならず、このため、新規ストリップ(S)のローディングに先立ち、ソーイング作業により各々切断された状態に前記チャックプレート233に置かれているパッケージ(P)を必ず移す必要があった。
That is, in the related art, the
したがって、従来の技術に係るハンドラーシステムでのソーイング工程は、チャックテーブルにおけるパッケージのアンローディング及びストリップのローディングが同時に行われず段階的に進行されるため、パッケージのアンローディング及びストリップのローディングに時間がかかり、作業時間の遅延につながる問題点があった。
したがって、本発明は、上記の従来における諸問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、半導体パッケージ作製のためのソーイング作業時、ストリップのローディング及びパッケージのアンローディングが同時に行われるようにすることによって生産性向上が図られるようにした半導体パッケージ作製工程用ソーイング装置及びその制御方法を提供することにある。 Therefore, the present invention has been made in view of the above-mentioned conventional problems, and an object of the present invention is to allow strip loading and package unloading to be performed simultaneously during a sawing operation for manufacturing a semiconductor package. Accordingly, it is an object of the present invention to provide a sawing apparatus for a semiconductor package manufacturing process and a control method therefor, in which productivity can be improved by doing so.
上記の目的を達成するするべく本発明の技術的思想に基づく半導体パッケージ作製工程用ソーイング装置は、チャックテーブルベースと、該チャックテーブルベースに、水平方向に移動可能に設置されるチャックテーブルと、該チャックテーブルの上部に回転可能に設置され、上面に交互にストリップがローディングされる2枚のチャックプレートと、前記チャックテーブルとの相互運動により前記チャックプレートにローディングされたストリップを各々のパッケージに切断する切断手段と、前記チャックプレートへの前記ストリップのローディング作業と前記パッケージのアンローディング作業を同時に行うストリップ/パッケージピッカーと、を含めて構成されることをその技術的構成上の特徴とする。
一方、前記ストリップ/パッケージピッカーは、X軸方向に移動可能に設置されて前記チャックプレートへの前記ストリップのローディング作業を行うストリップピッカーと、前記ストリップピッカーと平行にX軸方向へ移動可能に設置されて前記パッケージのアンローディング作業を行うパッケージピッカーとから構成されることによって、ストリップピッカーとパッケージピッカーが独立的に構成されることができる。
In order to achieve the above object, a sawing device for a semiconductor package manufacturing process based on the technical idea of the present invention includes a chuck table base, a chuck table which is mounted on the chuck table base so as to be movable in a horizontal direction, and Two chuck plates rotatably mounted on an upper portion of a chuck table and alternately loading strips on an upper surface, and the strip loaded on the chuck plate is cut into respective packages by mutual movement with the chuck table. It is characterized in that it comprises a cutting means and a strip / package picker for simultaneously performing the loading operation of the strip on the chuck plate and the unloading operation of the package.
On the other hand, the strip / package picker is installed movably in the X-axis direction to load the strip on the chuck plate, and is installed movably in the X-axis direction parallel to the strip picker. And the package picker for unloading the package, the strip picker and the package picker can be configured independently.
また、本発明の技術的思想に基づく半導体パッケージ作製工程用ソーイング装置の制御方法は、2枚のチャックプレートを備えた半導体パッケージ作製工程用ソーイング装置の制御方法であって、2枚のチャックプレートのうち一側のチャックプレートにストリップをローディングする第1段階と、前記チャックプレートにローディングされたストリップの整列を行う第2段階と、前記整列されたストリップを各々のパッケージに切断する第3段階と、前記一側のチャックプレートから各々のパッケージをアンローディングすると同時に他側のチャックプレートにストリップをローディングする第4段階と、を含めて構成されることをその技術的構成上の特徴とする。 In addition, a method for controlling a sawing device for a semiconductor package manufacturing process based on the technical idea of the present invention is a method for controlling a sawing device for a semiconductor package manufacturing process including two chuck plates. A first step of loading the strip on one of the chuck plates, a second step of aligning the strip loaded on the chuck plate, and a third step of cutting the aligned strip into respective packages; And a fourth step of unloading each package from the one chuck plate and loading a strip on the other chuck plate at the same time.
本発明に係る半導体パッケージ作製工程用ソーイング装置及びその制御方法は、2枚のチャックプレートを備え、半導体パッケージ作製のためのソーイング作業に際してストリップのローディング及びパッケージのアンローディングが同時に行われるようにしたため、生産性の向上が図られる効果がある。 The sawing apparatus for the semiconductor package manufacturing process and the control method thereof according to the present invention include two chuck plates so that the loading of the strip and the unloading of the package are performed simultaneously during the sawing operation for manufacturing the semiconductor package, This has the effect of improving productivity.
また、本発明は、ストリップの切断時に発生する屑が前記ストリップのローディングされていない他側のチャックプレートの方に送られないようにしたため、その他側のチャックプレートを汚染させるのを防止することができる。 In addition, the present invention prevents debris generated at the time of cutting the strip from being sent to the other chuck plate on which the strip is not loaded, thereby preventing contamination of the other chuck plate. it can.
また、本発明は、チャックプレートの回転角を最大180°に限定して使用できるため、チャックプレートの回転において大きい回転角が要らなくなる効果がある。
また、本発明は、オンローダ装置をソーイング装置の一側に直接結合し、ストリップのローディングを専担するストリップピッカーとパッケージのアンローディングを専担するパッケージピッカーを別途構成したシステムと組合わせることによって、より有効にストリップのローディング及びパッケージのアンローディング作業を行うことができ、システムの配置が単純で、作業流れが簡潔になるため、システムの単位時間当たり生産量を増大させる効果を持つ。
Further, since the present invention can be used with the rotation angle of the chuck plate limited to a maximum of 180 °, there is an effect that a large rotation angle is not required for rotation of the chuck plate.
Further, the present invention is more effective by directly connecting the on-loader device to one side of the sewing device, and combining a strip picker dedicated to loading the strip and a package picker dedicated to unloading the package separately. In addition, strip loading and package unloading operations can be performed, and the arrangement of the system is simple and the work flow is simple, so that the system has an effect of increasing the output per unit time.
以下、本発明の技術的思想に基づいた第1実施例を添付図面を参照しつつ具体的に説明する。 Hereinafter, a first embodiment based on the technical idea of the present invention will be specifically described with reference to the accompanying drawings.
図3は、本発明の一実施例による半導体パッケージ作製工程用ソーイング装置を示す平面図であり、図4は、図3のチャックテーブル及びチャックプレートを示す斜視図であり、図5は図3のストリップ/パッケージピッカーを示す平面図である。 FIG. 3 is a plan view showing a sawing apparatus for a semiconductor package manufacturing process according to an embodiment of the present invention, FIG. 4 is a perspective view showing a chuck table and a chuck plate of FIG. 3, and FIG. FIG. 4 is a plan view showing a strip / package picker.
図示の如く、本発明のソーイング装置は、チャックテーブルベース200にX軸方向に沿って水平移動可能に設置されるチャックテーブル23と、該チャックテーブル23の上部に回転可能に設置され、上面に交互にストリップ(S)がローディングされる2枚のチャックプレート233a、233bとを備える。
As shown in the drawing, the sewing apparatus of the present invention includes a chuck table 23 installed on a
また、前記チャックテーブル23は、図4に示すように、基底板231と、該基底板231の上部に取り付けられるサーボモータ232とから構成される。ここで、前記基底板231は、前記チャックテーブルベース200に備えられているガイドレール142の上に設置され、その下部はボールスクリュー141とねじ結合され、該ボールスクリュー141の回転により水平方向へ移動するようになっている。
As shown in FIG. 4, the chuck table 23 includes a
また、前記チャックプレート233a、233bは、前記サーボモータ232の上部に設置され、前記サーボモータ232の駆動によって回転するようになっている。
ここで、前記2枚のチャックプレート233a、233bの上面にはストリップ(S)が交互にローディングされる。つまり、左側のチャックプレート233aと右側のチャックプレート233bには切断されるストリップ(S)が交互にローディングされる。
In addition, the
Here, strips (S) are alternately loaded on the upper surfaces of the two
このため、ストリップ/パッケージピッカー22が180°回転しながら2枚のチャックプレート233a、233bの上面にストリップ(S)が交互にローディングされるようにしてもいいが、本発明では、前記チャックプレート233a、233bが180°回転して前記ストリップ/パッケージピッカー22から交互にストリップ(S)をローディングし、パッケージ(P)をアンローディングする構成にしている。
For this reason, the strip (S) may be alternately loaded on the upper surfaces of the two
このようにローディングされた前記ストリップ(S)は、チャックプレートに形成された吸着穴235により吸着されて固定される。前記吸着穴235に吸着力を付与するため、前記チャックテーブル23には公知の空気吸入手段(図示せず)が設置される。
一方、本発明では、前記チャックプレート233a、233bにローディングされたストリップ(S)を各々のパッケージ(P)に切断する切断装置30が備えられる。該切断装置30は、図3に示すように、Y軸方向に水平移動可能であり、前記チャックプレート233a、233bに対して垂直方向に昇降可能な切断用モータ31と、該モータ31に回転可能に装着されたスピンドル32と、該スピンドル32の端部に取り付けられて回転しながら前記ストリップ(S)を各々のパッケージ(P)に切断するのこ刃33とから構成される。
The strip (S) loaded as described above is sucked and fixed by the
Meanwhile, the present invention includes the
この構成により、前記切断装置30は前記チャックテーブル23との相互運動により前記ストリップ(S)を所定の間隔に幅方向と長さ方向に切断するようになる。この時、ストリップ(S)の安着していないチャックプレートの汚染を防止するため、前記のこ刃33の回転方向は、切断時に発生する屑がストリップ(S)の安着していないチャックプレートに送られないように制御される。
With this configuration, the cutting
すなわち、前記切断装置30は、Y軸方向に水平移動及び地面の垂直方向に昇降しながら前記チャックプレート上に載せられた前記ストリップ(S)を前記のこ刃33で所定の間隔に切断し、前記チャックテーブル23は、前記ストリップ(S)を90°回転及びX軸方向に水平移動させることによって前記ストリップ(S)が幅方向と長さ方向に切断されるようにする。
That is, the cutting
本実施例では、前記切断装置30がY軸方向に水平移動しながら前記ストリップ(S)を切断しているが、前記切断装置30を固定させた状態で前記のこ刃33だけを回転させ、前記チャックテーブル23をY軸方向に水平移動及び回転させながら前記ストリップ(S)を幅方向と長さ方向に切断させる構成にしてもいい。
In the present embodiment, the cutting
一方、本実施例において切断装置30は一つののこ刃が備えられているが、Y軸方向に相互対向するように設けられる1対ののこ刃33を備えた構成にしてもいい。それ以外にも、前記切断装置30は、レーザー、水など様々な手法を利用して切断作業を行うこともできる。
On the other hand, in this embodiment, the cutting
また、本発明のソーイング装置は、前記チャックプレート233a、233bにおける前記ストリップ(S)のローディング作業と前記パッケージ(P)のアンローディング作業を同時に行うストリップ/パッケージピッカー22を備える。
Further, the sewing apparatus of the present invention includes a strip /
このストリップ/パッケージピッカー22は、図5に示すように、前記ストリップ(S)のローディング作業を行うストリップピッカーヘッド221及び前記パッケージ(P)のアンローディング作業を行うパッケージピッカーヘッド222と、これらピッカーヘッド221、222を昇降させるピッカーヘッド昇降部223と、前記ピッカーヘッド221、223を案内レール24に沿って水平に往復移動させる往復搬送部224と、前記ピッカーヘッド221、222の下面にそれぞれ設置され、ストリップ(S)及びパッケージ(P)を吸着する吸着部231と、該吸着部231に真空を付与する真空ポート(図示せず)とを含めて構成される。
As shown in FIG. 5, the strip /
このような構成により、前記ストリップピッカーヘッド221は前記チャックプレートへのストリップ(S)のローディング作業を単独で行い、前記パッケージピッカーヘッド222は前記チャックプレートからのパッケージ(P)のアンローディング作業を単独で行う。
With such a configuration, the
このように前記ストリップピッカーヘッド221と前記パッケージピッカーヘッド222はそれぞれ、前記チャックプレートへのストリップ(S)のローディング作業及びパッケージ(P)のアンローディング作業を独立的に行うことによって、前記ストリップピッカーヘッド221は、前記ストリップ(S)の切断時に発生して前記パッケージ(P)についている汚れや冷却水などに影響を受けず、常時清潔な状態に保たれることができる。
As described above, the
一方、図6は、図3においてストリップピッカーヘッド221及びパッケージピッカーヘッド222と2枚のチャックプレート233a、233bとの関係を示す参照図である。
On the other hand, FIG. 6 is a reference view showing the relationship between the
図6に示すように、本発明のストリップピッカーヘッド221及びパッケージピッカーヘッド222は、2枚のチャックプレート233a、233bの上部に同時にチャックプレート233a、233b方向に下降しながら、前記パッケージピッカーヘッド222は左側のチャックプレート233aに吸着されている各々のパッケージ(P)をアンローディングし、これと同時に前記ストリップピッカーヘッド221は右側のチャックプレート233bにストリップ(S)をローディングする。
As shown in FIG. 6, the
次に、以上のように構成された本発明の第1実施例による半導体パッケージ作製工程用ソーイング装置の制御方法を添付図面に基づき詳細に説明する。
図7及び図8は、本発明の第1実施例による半導体パッケージ作製工程用ソーイング装置の制御方法を示す参照図である。
Next, a control method of the sawing apparatus for a semiconductor package manufacturing process according to the first embodiment of the present invention configured as described above will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
7 and 8 are reference diagrams illustrating a control method of a sawing apparatus for a semiconductor package manufacturing process according to a first embodiment of the present invention.
ここで、黒色で表されたチャックプレートは、ストリップ(S)がローディングされたチャックプレートを意味し、格子で表されたチャックプレートは切断済みのパッケージ(P)が安着されたチャックプレートを意味する。 Here, the chuck plate represented by black means the chuck plate on which the strip (S) is loaded, and the chuck plate represented by the lattice means the chuck plate on which the cut package (P) is seated. I do.
本実施例に係る半導体パッケージ作製工程用ソーイング装置の制御方法は、大きく、ストリップ(S)のローディング段階、ストリップ(S)の整列段階、ストリップ(S)の切断段階及びパッケージのアンローディング段階から構成される。これらの段階においてチャックテーブルは所定の方向及び角度に回転するようになるが、切断工程が終わった後、パッケージ(P)をアンローディングする時のチャックプレート233a、233bは、ストリップ(S)をローディングする時の最初位置から180°回転されていなければならないという条件を満足するなら、その回転角度及び回転方向をいかなる組合せしても構わないということを予め明らかにしておきたい。
The control method of the sawing apparatus for a semiconductor package manufacturing process according to the present embodiment is largely composed of a loading step of the strip (S), an alignment step of the strip (S), a cutting step of the strip (S), and an unloading step of the package. Is done. At these stages, the chuck table rotates in a predetermined direction and angle. After the cutting process, the
まず、図7に示す本発明の第1実施例による半導体パッケージ作製工程用ソーイング装置の制御方法について述べる。 First, a control method of the sawing apparatus for a semiconductor package manufacturing process according to the first embodiment of the present invention shown in FIG. 7 will be described.
まず、2枚のチャックプレート233a、233bのうち、右側のチャックプレート233bにストリップ(S)をローディングする。つまり、図7には示さぬストリップピッカーヘッド221は、本発明の装置内に搬入されたストリップ(S)をあらかじめ吸着した状態に待機していてからチャックテーブル23により前記チャックプレート233bがストリップピッカーヘッド221の下部に水平移動すると下降しながら吸着したストリップ(S)を右側のチャックプレート233bの上にローディングする。
First, the strip (S) is loaded on the right one of the two
次に、前記チャックプレート233bにローディングされたストリップ(S)の整列を行う。つまり、前記チャックプレート233bにローディングされたストリップ(S)を、ビジョン検査装置により撮影された後、反時計方向に90°ずつ2度回転させながらX軸及びY軸整列を行う。本実施例では前記ビジョン検査装置が切断装置に取り付けられているが、チャックテーブルと切断装置との間に位置してもいい。このX軸及びY軸整列は、前記チャックプレート233bにローディングされたストリップ(S)を正確な位置で切断するために行われるものであって、所定のビジョン検査装置がストリップの位置を撮影した後、その位置情報を制御部に送り、この送られたストリップ(S)の位置情報に基づいて前記チャックテーブル232及び/またはのこ刃33を制御して切断作業を行うようになる。一方、ストリップ(S)整列の際、チャックテーブルは、最初位置に対して180°を越えない範囲で回転方向及び回転角度が制御されることが好ましい。
Next, the strips (S) loaded on the
その後、前記整列されたストリップ(S)を各々のパッケージ(P)に切断する段階を行う。まず、前記整列されたストリップ(S)を長さ方向に所定の間隔をおきながら幅方向に切断し、つづいて前記ストリップ(S)を時計方向に90°回転させた後幅方向に所定の間隔をおきながら長さ方向に切断する。 Thereafter, a step of cutting the aligned strips (S) into respective packages (P) is performed. First, the aligned strips (S) are cut in the width direction at predetermined intervals in the length direction, and then the strips (S) are rotated clockwise by 90 °, and then the predetermined intervals in the width direction. And cut in the length direction.
かかる切断工程をより具体的に説明ると、切断装置30に備えられたのこ刃33が前記ストリップ(S)の上部で回転しながら前記ストリップ(S)に向かって下降し、前記ストリップ(S)をローディングしたチャックプレート233bはチャックテーブル23によりX軸方向に水平移動することによって前記ストリップ(S)を幅方向及び長さ方向に切断する。
More specifically, the
この時、前記切断装置30は、Y軸方向に沿って前方から後方に時間差をおきながら所定の間隔で移動することによって、前記ストリップ(S)を切断方向の垂直方向に所定の間隔をおきながら切断するようになる。
At this time, the cutting
一方、前記切断作業時に前記切断装置30ののこ刃33が過熱されるのを防止するために前記のこ刃33に冷却水または冷たい空気を噴射して冷却することが好ましい。
また、この切断工程で発生する屑が前記ストリップ(S)のローディングされていないチャックプレート233aを汚すのを防止するために、前記切断時に発生される屑は前記ストリップ(S)のローディングされていない他側のチャックプレート233aの方向でない他の方向(図中、屑方向)に向かうようにすることが好ましい。
On the other hand, in order to prevent the
Further, in order to prevent dust generated in the cutting process from soiling the
つまり、前記ストリップ(S)のローディングされたチャックプレート233bが、前記ストリップ(S)のローディングされていないチャックプレート233aの左側及び上方に各々位置するようにし、前記ストリップ(S)を切断する切断装置30ののこ刃33はY軸方向(↑)を見て時計方向に回転するようにして前記ストリップ(S)の切断時に発生する屑が左側に送られるように制御することが好ましい。
That is, a cutting device for cutting the strip (S) such that the
また、切断工程で発生する屑は洗浄装置40を汚染させるのを防止するという面からも左側方向(屑方向)に向かうようにすることが好ましい。
Further, it is preferable that the debris generated in the cutting step be directed to the left direction (the debris direction) from the viewpoint of preventing the
このような動作により、前記切断装置30ののこ刃33上に噴射される冷却水もまた、前記切断工程で発生する屑などと同様に、前記ストリップ(S)のローディングされていないチャックプレート233aの方向でなく他の方向に送られるので、前記ストリップ(S)のローディングされていないチャックプレート233aを汚すのを防止する。
Due to such an operation, the cooling water sprayed on the
次いで、切断を完了したパッケージ(P)を反時計方向に90°回転させた後、前記パッケージ(P)のアンローディング位置に水平移動させ、前記一側のチャックプレート233bから各々のパッケージ(P)をアンローディングすると同時に、他側のチャックプレート233aにストリップ(S)をローディングする。
Next, after the cut package (P) is rotated 90 ° in a counterclockwise direction, the package (P) is horizontally moved to the unloading position of the package (P), and each package (P) is moved from the
この時、前記一側のチャックプレート233bは最初ローディング位置から180°回転された状態にあるため、前記一側のチャックプレート233bから各々のパッケージ(P)をアンローディングすると同時に他側のチャックプレート233aにストリップ(S)をローディングすることが可能になる。すなわち、前記切断された各々のパッケージ(P)は、パッケージピッカーヘッド222の下部に位置するようになり、ストリップをローディングしていない空のチャックプレート233aは、ストリップピッカーヘッド221の下部に位置するようになる。この時、前記パッケージピッカーヘッド222及び前記ストリップピッカーヘッド221は同時に下降しながら、前記パッケージピッカーヘッド222は前記チャックプレート233bから各々のパッケージ(P)をアンローディングし、これと同時に前記ストリップピッカーヘッド221は吸着していた新規のストリップ(S)を前記空のチャックプレート233aにローディングする。
At this time, since the one-
以上の段階にて切断工程が完了すると、新規のストリップ(S)がローディングされて新しい切断工程が行われる。この時、ケーブルまたは真空ラインの絡みを防止するために、図7に示した各段階におけるストリップ(S)の回転方向と反対に作業が行われる。つまり、前記ストリップ(S)は、最初位置から180°回転範囲内で所定の角度に正回転及び逆回転しながら切断作業が行われるように制御されるのである。このような切断工程を図8に示す。 When the cutting step is completed in the above steps, a new strip (S) is loaded and a new cutting step is performed. At this time, in order to prevent the cable or the vacuum line from being entangled, the operation is performed in a direction opposite to the rotation direction of the strip (S) in each step shown in FIG. That is, the strip (S) is controlled so that the cutting operation is performed while rotating forward and backward at a predetermined angle within a rotation range of 180 ° from the initial position. FIG. 8 shows such a cutting step.
図8を参照して本発明の第1実施例による半導体パッケージ作製工程用ソーイング装置の制御方法を説明すると、下記の通りになる。 The control method of the sawing apparatus for a semiconductor package manufacturing process according to the first embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
図8においてストリップ(S)のローディングされたチャックプレート233aは、図7でストリップ(S)のローディングされたチャックプレート233bでない他のチャックプレートとなる。これにて、本発明の2枚のチャックプレート233a、233bの上面にはストリップ(S)が交互にローディングできるようになるのである。
In FIG. 8, the
一方、図8に示されている全段階は、ストリップ(S)の回転方向が図7における方向と反対となることを除けば、図7に示した段階と同様に行われるので、その詳細な説明は省略するものとする。 On the other hand, all the steps shown in FIG. 8 are performed in the same manner as the steps shown in FIG. 7 except that the rotation direction of the strip (S) is opposite to the direction in FIG. The description is omitted.
このように図8に示したストリップ(S)の回転方向と図7に示したストリップ(S)の回転方向を相互反対にすることによって、前記チャックプレート233a、233bの回転角は最大180°に限定される。したがって、前記チャックプレート233a、233bが180°範囲を越えて回転するがために発生するケーブルまたは真空ラインの絡みが防止できる。
In this way, by making the rotation direction of the strip (S) shown in FIG. 8 and the rotation direction of the strip (S) shown in FIG. 7 opposite to each other, the rotation angle of the
しかしながら、本実施例とは違いケーブルまたは真空ラインの絡みといった問題がないなら、チャックプレート233a、233bの回転範囲を180°に制限する必要がなく、前記チャックプレート233a、233bの回転角を360°にしてもいいだろう。
However, unlike the present embodiment, if there is no problem such as entanglement of a cable or a vacuum line, the rotation range of the
図9には、本発明の第1実施例による半導体パッケージ作製工程用ソーイング装置の他の制御方法を示す。 FIG. 9 shows another control method of the sawing apparatus for a semiconductor package manufacturing process according to the first embodiment of the present invention.
図9に示す制御方法も、図7に示した制御方法と同様に、大きく、ストリップ(S)のローディング段階、ストリップ(S)の整列段階、ストリップ(S)の切断段階及びパッケージ(P)のアンローディング段階から構成される。 The control method shown in FIG. 9 is also large, similar to the control method shown in FIG. 7, and includes a loading step of the strip (S), an alignment step of the strip (S), a cutting step of the strip (S), and a package (P). It consists of an unloading stage.
まず、2枚のチャックプレート233a、233bのうち一側のチャックプレート233bにストリップ(S)をローディングする。
First, the strip (S) is loaded on one of the two
その後、前記チャックプレート233bにローディングされたストリップ(S)の整列を行う。つまり、前記チャックプレート233bにローディングされたストリップ(S)をビジョン検事位置まで水平に移動させY軸整列を行い、Y軸整列が完了すると前記ストリップ(S)を時計方向に90°回転させてX軸整列を行う。
Thereafter, the strips (S) loaded on the
次いで、前記整列されたストリップ(S)を各々のパッケージ(P)に切断する段階を行う。まず、前記整列されたストリップ(S)を幅方向に所定の間隔をおきながら長さ方向に切断し、その後、前記ストリップ(S)を反時計方向に90°回転させた後長さ方向に所定の間隔をおきながら幅方向に切断する。 Next, a step of cutting the aligned strips (S) into respective packages (P) is performed. First, the aligned strips (S) are cut in the length direction at predetermined intervals in the width direction, and then, the strips (S) are rotated counterclockwise by 90 °, and then cut in the length direction. Cut in the width direction while leaving an interval.
上記切断時に発生する屑が前記ストリップ(S)のローディングされていないチャックプレート233aを汚すのを防止するため、それらの屑は前記ストリップ(S)のローディングされていない他側のチャックプレート233a方向でなく他の方向(屑方向)に送られるようにすることが好ましい。すなわち、前記ストリップ(S)を切断する切断装置30ののこ刃33は、図7及び図8とは違い、図中のY軸方向(↑)を見て反時計方向に回転するようにし、屑が右側に送られるように制御することが好ましい。この時、切断工程で発生する屑が洗浄装置40などのハンドラーを汚染させるのを防止できるような構造に設計される必要がある。
In order to prevent dust generated at the time of the cutting from contaminating the
次いで、前記ストリップ(S)を時計方向に180°回転させた後、前記パッケージ(P)のアンローディング位置に水平移動させ、前記一側のチャックプレート233bから各々のパッケージ(P)をアンローディングすると同時に、他側のチャックプレート233aにストリップ(S)をローディングする。図9では時計方向に180°回転する例を示したが、反時計方向に180°回転させても構わない。
これにより、図7に示した制御方法におけると同様に、前記一側のチャックプレート233bは最初のチャックプレート位置から180°回転された状態にあるため、前記一側のチャックプレート233bから各々のパッケージ(P)をアンローディングすると同時に、他側のチャックプレート233aにストリップ(S)をローディングすることが可能になるわけである。
Next, after rotating the strip (S) clockwise by 180 °, the strip (S) is horizontally moved to an unloading position of the package (P), and each package (P) is unloaded from the
As a result, as in the control method shown in FIG. 7, the one-
図10には、図9に示した制御方法においてストリップ(S)のローディング位置を変えた制御方法が示されている。つまり、図10には参照番号233aで表示されたチャックプレートにストリップ(S)をローディングした制御方法が示されており、これは、ストリップピッカーとパッケージピッカーの位置を取り替えることで実現可能である。
FIG. 10 shows a control method in which the loading position of the strip (S) is changed in the control method shown in FIG. That is, FIG. 10 shows a control method in which the strip (S) is loaded on the chuck plate indicated by
図10に示されている全段階は、ストリップ(S)の回転方向が図9における方向と反対となることを除けば、図9に示した段階と同様に行われるので、その詳細な説明は省略するものとする。 All steps shown in FIG. 10 are performed in the same manner as the steps shown in FIG. 9 except that the direction of rotation of the strip (S) is opposite to that in FIG. It shall be omitted.
図9に示す制御方法においても、図10に示した制御方法におけると同様に、ストリップ(S)のローディング位置を変えることによって、のこ刃33の回転方向を変えることなく屑が左側方向(屑方向)に送られるようにし、ハンドラー装置の汚染を防止することができる。
In the control method shown in FIG. 9, similarly to the control method shown in FIG. 10, by changing the loading position of the strip (S), the debris is moved in the left direction (the debris) without changing the rotation direction of the
図11に、本発明の第1実施例による半導体パッケージ作製工程用ソーイング装置のさらに他の制御方法を示す。 FIG. 11 shows still another control method of the sawing apparatus for a semiconductor package manufacturing process according to the first embodiment of the present invention.
図11に示す制御方法も、図7に示した制御方法と同様に、大きく、ストリップ(S)のローディング段階、ストリップ(S)の整列段階、ストリップ(S)の切断段階及びパッケージ(P)のアンローディング段階から構成される。ただし、図11に示した実施例ではストリップ(S)の整列段階とストリップ(S)の切断段階が混合されている。 The control method shown in FIG. 11 is also large, similar to the control method shown in FIG. 7, and includes a loading step of the strip (S), an alignment step of the strip (S), a cutting step of the strip (S), and a package (P). It consists of an unloading stage. However, in the embodiment shown in FIG. 11, the strip (S) alignment step and the strip (S) cutting step are mixed.
まず、2枚のチャックプレート233a、233bのうち右側のチャックプレート233bにストリップ(S)をローディングする。
First, the strip (S) is loaded on the
その後、前記チャックプレート233bにローディングされたストリップ(S)をビジョン検事位置まで水平に移動させてY軸整列を行った後、直ちに長さ方向に所定の間隔をおきながら幅方向に切断する。
Thereafter, the strip (S) loaded on the
このとき発生する屑が前記ストリップ(S)のローディングされていないチャックプレート233aを汚染させるのを防止するために、前記ストリップ(S)を切断する切断装置30ののこ刃33は、Y軸方向(↑)を見て反時計方向に回転するようにして屑が右側(屑方向)に送られるように制御することが好ましい。この時、切断工程で発生する屑が洗浄装置40などのハンドラーを汚染させるのを防止できるような構造に設計される必要がある。
In order to prevent dust generated at this time from contaminating the
次いで、前記ストリップ(S)を反時計方向に90°回転させてX軸整列を行った後、幅方向に所定の間隔をおきながら長さ方向に切断する。
その後、前記チャックテーブル232を反時計方向に90°回転させた後、前記パッケージ(P)のアンローディング位置に水平移動させた後、前記一側のチャックプレート233bから各々のパッケージ(P)をアンローディングすると同時に、他側のチャックプレート233aにストリップ(S)をローディングする。
Next, the strip (S) is rotated 90 ° counterclockwise to perform X-axis alignment, and then cut in the length direction at predetermined intervals in the width direction.
Thereafter, the chuck table 232 is rotated 90 ° in a counterclockwise direction, horizontally moved to an unloading position of the package (P), and then each package (P) is unloaded from the
このとき、図7に示した制御方法と同様に、前記一側のチャックプレート233bは最初のチャックプレート位置から180°回転された状態にあるので、前記一側のチャックプレート233bから各々のパッケージ(P)をアンローディングすると同時に、他側のチャックプレート233aにストリップ(S)をローディングすることが可能になる。
At this time, similarly to the control method shown in FIG. 7, the one-
図12には、図11に示した制御方法においてストリップ(S)のローディング位置を変えた制御方法が示している。すなわち、図12には、参照番号233aで表示されたチャックプレートにストリップ(S)をローディングした制御方法が示されており、これは、ストリップピッカーとパッケージピッカーの位置を取り替えることによって実現できる。
FIG. 12 shows a control method in which the loading position of the strip (S) is changed in the control method shown in FIG. That is, FIG. 12 shows a control method in which the strip (S) is loaded on the chuck plate indicated by
図12に示されている全段階は、ストリップ(S)の回転方向が図11における方向と反対となることを除けば、図11に示した段階と同様に行われるので、その詳細な説明は省略するものとする。 All steps shown in FIG. 12 are performed in the same manner as the steps shown in FIG. 11 except that the rotation direction of the strip (S) is opposite to the direction in FIG. It shall be omitted.
図11に示す制御方法においても、図12に示した制御方法におけると同様に、ストリップ(S)のローディング位置を変えることによって、のこ刃33の回転方向を変えることなく屑が左側方向(屑方向)に送られるようにし、ハンドラー装置の汚染を防止することができる。
In the control method shown in FIG. 11, similarly to the control method shown in FIG. 12, by changing the loading position of the strip (S), the debris is moved in the left direction (the debris) without changing the rotation direction of the
図13に、本発明の第1実施例による半導体パッケージ作製工程用ソーイング装置のさらに他の制御方法を示す。 FIG. 13 shows another control method of the sawing apparatus for a semiconductor package manufacturing process according to the first embodiment of the present invention.
図13に示す制御方法では、前記チャックプレート233bにローディングされたストリップ(S)が回転することなくビジョン検事によりX軸及びY軸整列を同時に行う。
次いで、前記ストリップ(S)を長さ方向に所定の間隔をおきながら幅方向に切断した後、反時計方向に90°回転し、幅方向に所定の間隔をおきながら長さ方向に切断する。
In the control method shown in FIG. 13, the X-axis and the Y-axis are simultaneously aligned by the vision inspection without rotating the strip (S) loaded on the
Next, the strip (S) is cut in the width direction at predetermined intervals in the length direction, and then rotated 90 ° counterclockwise, and cut in the length direction at predetermined intervals in the width direction.
このように切断工程が完了すると、反時計方向に90°回転した後、前記パッケージ(P)のアンローディング位置に水平移動させ、前記一側のチャックプレート233bから各々のパッケージ(P)をアンローディングすると同時に、他側のチャックプレート233aにストリップ(S)をローディングする。
When the cutting process is completed, the package (P) is rotated 90 ° in a counterclockwise direction, and is horizontally moved to the unloading position of the package (P), and each package (P) is unloaded from the
図13のようにストリップ(S)を回転させずにX軸及びY軸整列を同時に行うためには特殊のビジョン検査装置が要求される。すなわち、X軸、Y軸または対角線のうちいずれか一方向の1回のビジョン検事によりX軸及びY軸整列を同時に行えるビジョン検査装置が要求される。 As shown in FIG. 13, a special vision inspection device is required to simultaneously perform the X-axis and Y-axis alignment without rotating the strip (S). That is, there is a need for a vision inspection apparatus capable of simultaneously aligning the X-axis and the Y-axis by one vision inspection in one of the X-axis, the Y-axis, and the diagonal line.
一方、図13に示した例と違い、ストリップ(S)の回転方向を時計方向に90°回転してもいい。 On the other hand, unlike the example shown in FIG. 13, the rotation direction of the strip (S) may be rotated clockwise by 90 °.
以上、本発明に係るデュアルチャックテーブルについて説明した。 The dual chuck table according to the present invention has been described above.
以下、他の実施例として、本出願人により先出願された韓国特許出願第2003−35020に開示されたシステムに本発明のデュアルチャックテーブルが適用された例を説明する。この先出願ては、工程流れに従って構成要素が配置された長所を持つが、テーブルが単一であるがためにパッケージピッカーがパッケージをチャックテーブルから吸着する前までストリップピッカーがストリップをチャックテーブルにローディングできず、本明細書で前述した従来の技術の問題点を持つと言えよう。 Hereinafter, as another embodiment, an example will be described in which the dual chuck table of the present invention is applied to the system disclosed in Korean Patent Application No. 2003-35020 filed earlier by the present applicant. This prior application has the advantage that the components are arranged according to the process flow, but the single table allows the strip picker to load the strip onto the chuck table before the package picker picks up the package from the chuck table. However, it can be said that it has the problems of the conventional technology described above in this specification.
図14は、本発明の第2実施例による半導体パッケージ作製工程用ソーイング装置を示す平面図である。 FIG. 14 is a plan view showing a sawing apparatus for a semiconductor package manufacturing process according to a second embodiment of the present invention.
図14に示すように、第2実施例による半導体パッケージ作製工程用ソーイング装置は、第1実施例と同様に、2枚のチャックプレート233a、233bを備えたチャックテーブル23、切断装置30、ストリップピッカー22a及びパッケージピッカー22bから構成されている。
As shown in FIG. 14, a sawing device for a semiconductor package manufacturing process according to the second embodiment includes a chuck table 23 having two
しかし、第2実施例では、第1実施例とは違い、オンローダ装置10がソーイング装置の一側に結合されるように配置されている。また、ストリップ(S)をチャックテーブル23に安着させるストリップピッカー22aと切断されたパッケージ(P)を洗浄装置に移動させるパッケージピッカー22bが別途に構成されている。ここで、前記パッケージピッカー22bは平面上からみて前記ストリップピッカー22aに比べてシステムの前方に位置するように構成されてもよく、システムの天井部材を平面上からみてシステムの前方に延長させた後、この天井部材の下に案内レールを設置してストリップピッカー22aとパッケージピッカー22bを設置してもいい。また、切断用チャックテーブル23はY軸方向に水平移動可能に設置されている。また、前記切断装置30はX軸方向に相対向する1対ののこ刃33で構成されており、X軸方向へ移動しながらストリップ(S)の切断作業を行う。
However, in the second embodiment, unlike the first embodiment, the on-
したがって、本実施例によるソーイング装置では、ストリップピッカー22aとパッケージピッカー22bが別途構成されて、ストリップ(S)のローディングとパッケージ(P)のアンローディングをそれぞれ独立的に行うので、より効率よくストリップ(S)のローディング及びパッケージ(P)のアンローディング作業を行うことができる。また、オンローダ装置10がソーイング装置の一側に直接結合されているため、システムの配置が単純で、作業流れが簡潔になり、結果としてシステムの作業速度がさらに向上する。
Accordingly, in the sawing apparatus according to the present embodiment, the
次に、本発明の第2実施例による半導体パッケージ作製工程用ソーイング装置の制御方法を添付図面に基づき詳細に説明する。 Next, a control method of a sawing device for a semiconductor package manufacturing process according to a second embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
図15乃至図21は、本発明の第2実施例による半導体パッケージ作製工程用ソーイング装置の制御方法を示す参考図である。 FIGS. 15 to 21 are reference diagrams illustrating a method of controlling a sawing apparatus for a semiconductor package manufacturing process according to a second embodiment of the present invention.
本実施例に係る半導体パッケージ作製工程用ソーイング装置の制御方法も、第1実施例と同様に、大きく、ストリップ(S)のローディング段階、ストリップ(S)の整列段階、ストリップ(S)の切断段階及びパッケージのアンローディング段階から構成される。 As in the first embodiment, the control method of the sawing device for the semiconductor package manufacturing process according to the present embodiment is also large, and the strip (S) loading step, the strip (S) alignment step, and the strip (S) cutting step are performed. And a package unloading stage.
ここで、システムの配置上、ストリップ(S)がX軸方向に平行にチャックテーブル23にローディングされるという点、切断装置30がX軸方向に移動しながらY軸方向に移動するチャックプレート233a、233bとの相対的な運動によりストリップ(S)が切断されるという点、及び、ストリップ(S)のローディングとパッケージ(P)のアンローディング工程が変わるという点を除外すれば、基本的な制御方法は第1実施例の制御方法と同一である。つまり、切断工程が終わった後、パッケージ(P)をアンローディングする際のチャックプレート233a、233bは、ストリップ(S)をローディングする時の最初位置から180°回転されていなければならないという条件を満足するなら、その回転角度及び回転方向をいかなる組合せしても構わない。
Here, in view of the arrangement of the system, the strip (S) is loaded on the chuck table 23 in parallel with the X-axis direction, and the
図15に示す制御方法は、図7のそれと基本的に同一である。 The control method shown in FIG. 15 is basically the same as that of FIG.
まず、2枚のチャックプレート233a、233bのうち、上側のチャックプレート233bにストリップ(S)をローディングする。つまり、ストリップピッカー22aは、本発明の装置内に搬入されたストリップ(S)を吸着した状態に前記チャックプレート233bの上部に移動し、ストリップ(S)を上側チャックプレート233b上にローディングする。
First, the strip (S) is loaded on the
その後、前記チャックプレート233bにローディングされたストリップ(S)の整列を行う。つまり、前記チャックプレート233bにローディングされたストリップ(S)をビジョン検査装置までY軸方向に水平移動させ、反時計方向に90°回転させた後Y軸整列し、時計方向に90°回転させた後X軸整列を行う。
Thereafter, the strips (S) loaded on the
次いで、前記整列されたストリップ(S)を各々のパッケージ(P)に切断する段階を行う。まず、前記整列されたストリップ(S)を長さ方向に所定の間隔をおきながら幅方向に切断し、つづいて前記ストリップ(S)を時計方向に90°回転させた後、幅方向に所定の間隔をおきながら長さ方向に切断する。 Next, a step of cutting the aligned strips (S) into respective packages (P) is performed. First, the aligned strips (S) are cut in the width direction at predetermined intervals in the length direction, and then the strips (S) are rotated clockwise by 90 °, and thereafter, are cut in the width direction by a predetermined number. Cut in length direction at intervals.
この切断工程をより具体的に説明すると、切断装置30に備えられたのこ刃33が前記ストリップ(S)の上部で回転しながら前記ストリップ(S)方向に下降し、前記ストリップ(S)をローディングしたチャックプレート233bはチャックテーブル23によりY軸方向に水平移動することによって前記ストリップ(S)を幅方向及び長さ方向に切断するようになる。この時、前記切断装置30は、X軸方向に前方から後方へ時間差をおきながら所定の間隔で移動することから、前記ストリップ(S)が切断方向の垂直方向に所定の間隔をおきながら切断されるようにする。
To describe this cutting step more specifically, the
このような切断工程で発生する屑が前記ストリップ(S)のローディングされていないチャックプレート233aを汚染させるのを防止するために、それら屑は前記ストリップ(S)のローディングされていない他側のチャックプレート233aの方向でなく他の方向(屑方向)に送られるようにする。すなわち、前記ストリップ(S)を切断する切断装置30ののこ刃33は、図面においてX軸方向(→)からみて時計方向に回転するようにして屑が切断装備の後方へ送られるように制御する。
In order to prevent the debris generated in such a cutting process from contaminating the
その後、切断が完了したパッケージ(P)を時計方向に90°回転させた後前記パッケージ(P)のアンローディング位置に水平移動させ、パッケージピッカー22bが下側のチャックプレート233bから各々のパッケージ(P)をアンローディングすると同時に、ストリップピッカー22aが上側のチャックプレート233aにストリップ(S)をローディングするようにする。
Thereafter, the cut package (P) is rotated 90 ° clockwise and then moved horizontally to the unloading position of the package (P), and the
この時、前記上側のチャックプレート233bは下側に位置し180°回転された状態にあるので、前記一側のチャックプレート233bから各々のパッケージ(P)をアンローディングすると同時に、他側のチャックプレート233aにストリップ(S)をローディングすることが可能になる。
At this time, since the
一方、図16においてストリップ(S)のローディングされたチャックプレート233aは、図15においてストリップ(S)のローディングされたチャックプレート233bでない他のチャックプレートとなり、これにて、本発明の2枚のチャックプレート233a、233bの上面にはストリップ(S)が交互にローディングされるのである。
On the other hand, the
図16に示した段階は、チャックプレート233a、233bの回転方向が図15における方向と反対となることを除けば、図15に示した段階と同様に行われるので、その詳細な説明は省略するものとする。
The step illustrated in FIG. 16 is performed in the same manner as the step illustrated in FIG. 15 except that the rotation direction of the
このように図16に示したストリップ(S)の回転方向と図15に示したストリップ(S)の回転方向を反対にすることによって前記チャックプレート233a、233bの回転角は最大180°に限定される。したがって、チャックプレート233a、233bが無制限に回転することから発生し得るケーブルまたは真空ラインの絡みを防止することができる。しかし、本実施例でも、第1実施例のそれと同様にケーブルまたは真空ラインの絡みといった問題がないなら、チャックプレート233a、233bの回転範囲を180°に制限する必要はないだろう。
In this way, by reversing the rotation direction of the strip (S) shown in FIG. 16 and the rotation direction of the strip (S) shown in FIG. 15, the rotation angle of the
図17及び図18にはそれぞれ、図15と図9、及び図16と図10とを組合わせた制御方法が示されており、図19及び20にはそれぞれ、図15と図11、及び図16と図12とを組合わせた制御方法が示されており、図21には、図20と図13を組合わせた制御方法が示されている。 FIGS. 17 and 18 show control methods combining FIGS. 15 and 9 and FIGS. 16 and 10, respectively. FIGS. 19 and 20 show control methods of FIGS. 16 and FIG. 12 are shown in combination, and FIG. 21 shows a control method in which FIGS. 20 and 13 are combined.
一方、図7及び図8、図15及び図16には、本発明の全体サイクル(デュアルチャックテーブルに交互にストリップがローディングされる全体サイクル)が示されているに対し、図9及び図10、図11及び図12、図13、図17及び図18、図19及び図20、そして、図21には全体サイクルでなく一つのチャックテーブルにストリップがローディングされる段階だけが示されていることに留意されたい。デュアルチャックテーブルに交互にストリップがローディングされる全体サイクルについては、図8及び図16から容易に理解できる。 On the other hand, FIGS. 7 and 8, FIGS. 15 and 16 show an entire cycle (an entire cycle in which strips are alternately loaded on the dual chuck table) according to the present invention, whereas FIGS. 11 and 12, FIG. 13, FIG. 17, FIG. 17, FIG. 19, FIG. 20, and FIG. 21 show only the stage in which the strip is loaded on one chuck table instead of the entire cycle. Please note. The entire cycle in which strips are alternately loaded on the dual chuck table can be easily understood from FIGS.
これらは、以上で説明された制御方法の組合によって容易に分かるので、詳細な説明は省略するものとする。 Since these can be easily understood by the combination of the control methods described above, detailed description will be omitted.
以上では具体的な実施例に上げて説明してきたが、本発明は、その技術的思想を外れない範囲内で様々な変化及び変更実施が可能であることは勿論である。したがって、本発明の範囲は、特許請求の範囲及びその請求の範囲と均等なものによって定められるべきである。 Although the present invention has been described with reference to specific embodiments, it is needless to say that various changes and modifications can be made in the present invention without departing from the technical concept thereof. Therefore, the scope of the present invention should be defined by the appended claims and equivalents thereof.
10 オンローダ装置
12 プッシャー
22 ストリップ/パッケージピッカー
221 ストリップピッカーヘッド
222 パッケージピッカーヘッド
22a ストリップピッカー
22b パッケージピッカー
23 チャックテーブル
233 チャックプレート
233a チャックプレート
233b チャックプレート
24 案内レール
30 切断装置
31 モータ
32 スピンドル
33 のこ刃
40 洗浄装置
50 乾燥装置
10 On-
Claims (11)
前記チャックテーブルベースに、水平方向に移動可能に設置されるチャックテーブルと;
前記チャックテーブルの上部に回転可能に設置され、上面に交互にストリップがローディングされる2枚のチャックプレートと、
前記チャックテーブルとの相互運動により前記チャックプレートにローディングされたストリップを各々のパッケージに切断する切断装置と、
前記チャックプレートへの前記ストリップのローディング作業と前記パッケージのアンローディング作業を同時に行うストリップ/パッケージ専用ピッカーと;を含めて構成される半導体パッケージ作製工程用ソーイング装置。 Chuck table base,
A chuck table mounted on the chuck table base so as to be movable in a horizontal direction;
Two chuck plates, which are rotatably installed on the upper part of the chuck table, and on which strips are alternately loaded on the upper surface;
A cutting device for cutting a strip loaded on the chuck plate into respective packages by mutual movement with the chuck table;
A sawing apparatus for a semiconductor package manufacturing process, comprising: a strip / package dedicated picker for simultaneously performing the loading operation of the strip on the chuck plate and the unloading operation of the package.
前記スピンドルは、ストリップの切断時に発生する屑がストリップのローディングされていないチャックプレート方向に送られないようにその回転方向が制御されることを特徴とする請求項1に記載の半導体パッケージ作製工程用ソーイング装置。 Although the cutting device is configured to include a spindle rotatably installed by a predetermined power, and a saw blade installed at one end of the spindle to cut the strip into respective packages,
2. The semiconductor package manufacturing process according to claim 1, wherein a rotation direction of the spindle is controlled so that debris generated when the strip is cut is not sent to a chuck plate on which the strip is not loaded. 3. Sewing equipment.
2枚のチャックプレートのうち一側のチャックプレートにストリップをローディングする第1段階と、
前記チャックプレートにローディングされたストリップの整列を行う第2段階と、
前記整列されたストリップを各々のパッケージに切断する第3段階と、
前記第1段階のチャックプレート位置から前記一側のチャックプレートを180°回転させ、各々のパッケージをアンローディングすると同時に、他側のチャックプレートにストリップをローディングする第4段階とを含めて構成される半導体パッケージ作製工程用ソーイング装置の制御方法。 In a method of controlling a sawing device for a semiconductor package manufacturing process having two chuck plates,
A first step of loading a strip on one of the two chuck plates;
A second step of aligning the strip loaded on the chuck plate;
A third step of cutting the aligned strips into respective packages;
Rotating the one-side chuck plate by 180 ° from the first-stage chuck plate position to unload each package and simultaneously loading a strip on the other-side chuck plate; A method for controlling a sawing device for a semiconductor package manufacturing process.
前記チャックテーブルベースにY軸方向に水平移動可能に設置されるチャックテーブルと、
前記チャックテーブルの上部に回転可能に設置され、上面に交互にストリップがローディングされる2枚のチャックプレートと、
前記チャックテーブルとの相互運動により前記チャックプレートにローディングされたストリップを各々のパッケージに切断する切断装置と、
X軸方向に移動可能に設置されて前記チャックプレートに前記ストリップのローディング作業を行うストリップピッカーと、
前記ストリップピッカーと平行にX軸方向へ移動可能に設置されて前記ストリップピッカーのローディング作業に際して前記チャックテーブルから前記パッケージのアンローディング作業を行うパッケージピッカーと;を含めて構成される半導体パッケージ作製工程用ソーイング装置。 Chuck table base,
A chuck table installed on the chuck table base so as to be horizontally movable in the Y-axis direction;
Two chuck plates, which are rotatably installed on the upper part of the chuck table, and on which strips are alternately loaded on the upper surface;
A cutting device for cutting a strip loaded on the chuck plate into respective packages by mutual movement with the chuck table;
A strip picker installed movably in the X-axis direction to load the strip on the chuck plate;
A package picker installed to be movable in the X-axis direction in parallel with the strip picker and performing an unloading operation of the package from the chuck table during the loading operation of the strip picker; Sewing equipment.
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