JP2004301828A - 光電センサ - Google Patents

Abstract

【課題】 任意の形状や大きさの光通過窓を有する製品を、迅速に、低コストに、さらに精度よく、製造することが可能な光通過窓付の光電センサを提供すること。
【解決手段】 投光素子（２３ａ）と投光レンズ（２１ａ）とを含む投光部と、受光素子（２２ｂ）と受光レンズ（２１ｂ）とを含む受光部とを有し、投光部に含まれる投光素子（２２ａ）と投光レンズ（２１ｂ）との間には、所定形状の光通過窓（４１ａ）が開口形成された遮光板（４１）が介在されており、かつ遮光板（４１）の光通過窓（４１ａ）がレーザ加工（Ｌ１，Ｌ２）により開口形成されたものである。
【選択図】 図５

Description

この発明は、投光素子や受光素子の前面にスリットやピンホール等の光通過窓を有する遮光板を配置することにより、検知領域限定や外乱光排除等を実現するようにした光電センサに関する。

投光素子や受光素子の前面にスリットやピンホール等の光通過窓を有する遮光板を配置することにより、検知領域限定や外乱光排除等を実現するようにした反射型や透過型の光電センサは既に知られている（例えば、特許文献１参照）。

反射型の光電センサにあっては、投受光素子と投受光レンズとは合成樹脂製のホルダにより一体的に保持されることが多い。その場合、スリットやピンホール等の光通過窓を有する遮光板はホルダの一部として一体的に形成される。すなわち、投受光素子の前面に配置される光通過窓付の遮光板はホルダと共に一体成形されたものであり、光通過窓のサイズや形状は金型設計により決定される。

透過型の光電センサにあっては、投光器と受光器とは別体とされる。投光器は、投光素子と投光レンズとを含んでおり、それらは合成樹脂製ホルダにより一体的に保持される。受光器は、受光レンズと受光素子とを含んでおり、それらも又合成樹脂製ホルダにより一体的に保持される。スリットやピンホール等の光通過窓を有する遮光板はホルダの一部として一体的に形成される。すなわち、投光器において、投光素子の前面に配置される光通過窓付の遮光板はホルダと一体成形されたものである。同様に、受光器において、受光素子の前面に配置される光通過窓付の遮光板はホルダと一体成形されたものである。光通過窓のサイズや形状は金型設計により決定される。
実開平６−４８４８号公報

しかしながら、遮光板上の光通過窓（スリットやピンホール等）の形状や大きさをホルダ製作の際の金型設計で決定するようにした従来の光電センサにあっては、（１）光通過窓の形状や大きさの異なるホルダが必要なときには、新規にホルダを製作する必要があり、ホルダの種類が増える毎に、部品在庫、金型償却費が増加すること、（２）新規に光通過窓の形状や大きさの異なるホルダを入手する場合、図面作成（設計）して金型を手配する必要があり、時間が掛かること、（３）新規に光通過窓の形状や大きさの異なるホルダを入手する場合、使用数量が少ないときには単価が割高となること、（４）光通過窓の位置精度は金型精度（例えば、±０．０５ｍｍ）以上に上げることはできないこと、と言った問題点がある。

この発明は、上述の問題点に着目してなされたものであり、その目的とするところは、任意の形状や大きさの光通過窓を有する製品を、迅速に、低コストに、さらに精度よく、製造することが可能な光通過窓付の光電センサを提供することにある。

この発明の他の目的とするところは、任意の形状や大きさの光通過窓を有する製品を、迅速に、低コストに、さらに精度よく、製造することが可能な光通過窓付光電センサの製造方法を提供することにある。

この発明のさらに他の目的並びに作用効果については、以下の明細書の記載を参照することにより、当業者であれば容易に理解されるであろう。

この発明の光電センサの主たる特徴は、遮光板に対する光通過窓の形成にレーザ加工技術を採用した点にある。投光部の光通過窓の形成にレーザ加工技術を採用した場合、そのような光電センサは、投光素子と投光レンズとを含む投光部と、受光素子と受光レンズとを含む受光部とを有し、投光部に含まれる投光素子と投光レンズとの間には、所定形状の光通過窓が開口形成された遮光板が介在されており、かつ遮光板の光通過窓がレーザ加工により開口形成されたものである、と表現することができる。一方、受光部の光通過窓の形成にレーザ加工技術を採用した場合、そのような光電センサは、投光素子と投光レンズとを含む投光部と、受光素子と受光レンズとを含む受光部とを有し、受光部に含まれる受光素子と受光レンズとの間には、所定形状の光通過窓が開口形成された遮光板が介在されており、かつ遮光板の光通過窓がレーザ加工により開口形成されたものである、と表現することができる。投光部及び受光部の光通過窓の双方に、レーザ加工技術を採用した場合にも、上述の２つの表現を満足することは言うまでもない。

なお、『所定形状の光通過窓』とあるのは、スリット（直線）状、ピンホール（小円）状、楕円状、半円状等々の様々な形状の光通過窓が可能であることを考慮した表現である。また、『光通過窓』とあるのは、光が通過しさえすれば、貫通孔であっても、透明孔（例えば、透明ガラス）であっても差し支えないことを考慮した表現である。

上述した本発明によれば、光通過窓の形成に形状やサイズの調整自由度の高いレーザ加工技術を導入しているため、それらの調整を金型設計に負担させた場合に生ずる、多大な製作日数、高価な金型、在庫増大と言った問題が解消され、しかもレーザ加工技術の精度は金型による成形精度よりも高いため、任意の形状や大きさの光通過窓を有する製品を、迅速に、低コストに、さらに精度よく、製造することが可能となる。

上述の２つの表現で特定される光電センサは、合成樹脂製ホルダを含む場合もある。そのような場合にあっては、前者の光電センサにあっては、投光素子と投光レンズとそれらを一体的に保持する合成樹脂製ホルダとを含む投光部と、受光素子と受光レンズとを含む受光部とを有し、投光部に含まれる投光素子と投光レンズとの間には、所定形状の光通過窓が開口形成された遮光板が介在されており、かつ遮光板の光通過窓がレーザ加工により開口形成されたものである、と表現することができる。また、後者の光電センサにあっては、投光素子と投光レンズとを含む投光部と、受光素子と受光レンズとそれらを一体的に保持する合成樹脂製ホルダとを含む受光部とを有し、受光部に含まれる受光素子と受光レンズとの間には、所定形状の光通過窓が開口形成された遮光板が介在されており、かつ遮光板の光通過窓がレーザ加工により開口形成されたものである、と表現することができる。

レーザ加工の対象となる遮光板については、ホルダとの関係、構造、材質、形状等々について、様々な選択肢が存在する。

ホルダとの関係における第１の選択肢としては、遮光板が合成樹脂製ホルダと一体成形されたものであり、かつ遮光板の光通過窓がレーザ加工により遮光板を所定形状に穿孔することにより開口形成されたものである、とすることが考えられる。このような構成を採用すれば、遮光板部分の存在しないホルダ（現状では注文全体の９割以上がこのホルダを用いた光電センサで対応可能）と存在するホルダ（本発明を用いて、光通過窓をレーザ加工により任意の形状や大きさに開口形成）との２種類の金型があれば、全ての光電センサのホルダに対応可能であるから、その都度にホルダの金型の設計からやり直さずとも、任意の顧客のニーズに対応できる。

ホルダとの関係における第２の選択肢としては、遮光板が合成樹脂製ホルダの所定位置に装着される別部品である、とすることが考えられる。このような構成を採用すれば、大多数の顧客に対しては遮光板を装着しないことで対応できる一方、一部の遮光板を要求する顧客に対しては別部品である遮光板を装着してこれにレーザ加工で光通過窓を開口形成することで対応することができる。加えて、ホルダと遮光板とを別素材とすることができるから、遮光板の素材を適切に選択すれば、孔加工精度を調整したり、遮光板に光学フィルタ機能を持たせることもできる。

より具体的には、遮光板がガラスやプラスチック等の透明板の表面にクロム等の金属膜を蒸着させた断面構造を有するものとし、レーザ加工により金属膜を昇華させて所定形状に除去することにより光通過窓を開口形成することができる。このとき、遮光板を構成する透明板が光学的多層膜（光学フィルタ、偏光板等として機能する）を含むものとすることもできる。他の具体的な例としては、遮光板がレーザ加工予定領域を薄肉化された金属板であり、かつ遮光板の光透過窓がレーザ加工により薄肉化された領域を所定形状に穿孔することにより開口形成されたものである、とすることもできる。ここで開口部の形状としては、いわゆるナイフエッジ形状が好ましい。従来は、樹脂成形などで開口を形成していたためナイフエッジ形状を形成するのが難しかったが、本発明ではレーザ加工により光通過窓を作製するため、薄肉化金属板・金属膜蒸着・薄肉化樹脂などにより加工部を薄肉化させておく必要があり、その結果必然的に開口部がナイフエッジ形状と等価になる。また、受光側遮光板において、遮光板傾斜した状態で保持されるような構成を採用することも可能である。

本発明は、別の一面から見れば、複数の製造ステップからなる光電センサの製造方法として捉えることもできる。

このような観点から捉えた本発明の製造方法は、投光部の遮光板のホルダ一体化に着目すれば、投光素子収容部と、投光レンズ収容部と、それらを結ぶ空洞部と、空洞部内にあって投光素子から投光レンズに向かう光路を遮る遮光板部とを有する合成樹脂製ホルダを射出成形により一体成形する第１のステップと、第１のステップにより得られた合成樹脂製ホルダを所定の治具によりレーザ加工機に装着したのち、空洞部内に投光素子収容部側又は投光レンズ収容部側より投光光路に沿ってレーザビームを導入して遮光板部を所定形状に穿孔することにより光通過窓を開口形成する第２のステップと、第２のステップにより光通過窓が遮光板部に開口形成された合成樹脂製ホルダに投光素子及び投光レンズを装着して素子・レンズ組立体を完成する第３のステップとを含む、光電センサの製造方法として表現することができる。

斯かる方法によれば、遮光板の光通過窓の形状制御を金型設計に依存しないことから、遮光板付のホルダと遮光板のないホルダとを用意するだけで、投光部側に任意の形状を有する光通過窓を備えた光電センサを迅速、低コスト、かつ高精度に製作することができる。

投光部の遮光板の別部品化に着目すれば、投光素子収容部と、投光レンズ収容部と、それらを結ぶ空洞部と、空洞部内にあって投光素子から投光レンズに向かう光路を遮る遮光板を装着するための遮光板収容部とを有する合成樹脂製ホルダを射出成形により一体成形する第１のステップと、第１のステップにより得られた合成樹脂製ホルダ内の遮光板収容部に遮光板を装着する第２のステップと、第２のステップにより得られた遮光板付合成樹脂製ホルダを所定の治具によりレーザ加工機に装着したのち、空洞部内に投光素子収容部側又は投光レンズ収容部側より投光光路に沿ってレーザビームを導入して遮光板を所定形状にレーザ加工することにより光通過窓を開口形成する第３のステップと、第３のステップにより光通過窓が遮光板に開口形成された合成樹脂製ホルダに投光素子及び受光素子を装着して素子・レンズ組立体を完成する第４のステップとを含む、光電センサの製造方法として表現することができる。

斯かる方法によれば、遮光板の光通過窓の形状制御を金型設計に依存しないことに加えて、共通のホルダを遮光板付用途と遮光板なし用途に併用できることから一層のコストダウンを図れる上、遮光板とホルダとを別素材とできるため、レーザ加工性を考慮して遮光板素材を選択すれば、光通過窓の加工精度を向上させることができる。さらに、遮光板として金属膜被着の透明板を採用すると共に、透明板に光学的多層膜を含ませれば、フィルタと遮光板とを共用できる。

受光部の遮光板のホルダ一体化に着目すれば、受光レンズ収容部と、受光素子収容部と、それらを結ぶ空洞部と、空洞部内にあって受光レンズから受光素子に向かう光路を遮る遮光板部とを有する合成樹脂製ホルダを射出成形により一体成形する第１のステップと、第１のステップにより得られた合成樹脂製ホルダを所定の治具によりレーザ加工機に装着したのち、空洞部内に受光レンズ収容部側又は受光素子収容部側より受光光路に沿ってレーザビームを導入して遮光板部を所定形状に穿孔することにより光通過窓を開口形成する第２のステップと、第２のステップにより光通過窓が遮光板部に開口形成された合成樹脂製ホルダに受光素子及び受光レンズを装着して素子・レンズ組立体を完成する第３のステップとを含む、光電センサの製造方法として表現することができる。

斯かる方法によれば、遮光板の光通過窓の形状制御を金型設計に依存しないことから、遮光板付のホルダと遮光板のないホルダとを用意するだけで、受光部側に任意の形状を有する光通過窓を備えた光電センサを迅速、低コスト、かつ高精度に製作することができる。

遮光板を傾斜状態で成型した場合には、第２のステップにおいてレーザ加工を行う前に、遮光板上の２点の座標を測定しその座標に基づいて遮光板の傾斜角を算出する工程を含む。

斯かる方法によれば、遮光板の光通過窓の形状制御を金型設計に依存しないことに加えて、距離限定性が高く、光電センサを製作することができる。

受光部の遮光板の別部品化に着目すれば、受光素子収容部と、受光レンズ収容部と、それらを結ぶ空洞部と、空洞部内にあって受光レンズから受光素子に向かう光路を遮る遮光板を装着するための遮光板収容部とを有する合成樹脂製ホルダを射出成形により一体成形する第１のステップと、第１のステップにより得られた合成樹脂製ホルダ内の遮光板収容部に遮光板を装着する第２のステップと、第２のステップにより得られた遮光板付合成樹脂製ホルダを所定の治具によりレーザ加工機に装着したのち、空洞部内に受光レンズ収容部側又は受光素子収容部側より受光光路に沿ってレーザビームを導入して遮光板を所定形状にレーザ加工することにより光通過窓を開口形成する第３のステップと、第３のステップにより光通過窓が遮光板に開口形成された合成樹脂製ホルダに受光レンズ及び受光素子を装着して素子・レンズ組立体を完成する第４のステップとを含む、光電センサの製造方法として表現することができる。

斯かる方法によれば、遮光板の光通過窓の形状制御を金型設計に依存しないことに加えて、共通のホルダを遮光板付用途と遮光板なし用途に併用できることから一層のコストダウンを図れる上、遮光板とホルダとを別素材とできるため、レーザ加工性を考慮して遮光板素材を選択すれば、光通過窓の加工精度を向上させることができる。さらに、遮光板として金属膜被着の透明板を採用すると共に、透明板に光学的多層膜を含ませれば、フィルタと遮光板とを共用できる。

遮光板を傾斜状態で保持した場合には、第３のステップにおいてレーザ加工を行う前に、遮光板上の２点の座標を測定しその座標に基づいて遮光板の傾斜角を算出する工程を含む。

以上の説明で明らかなように、本発明によれば、任意の形状や大きさの光通過窓を有する製品を、迅速に、低コストに、さらに精度良く、製造することが可能な光通過窓付きの光電センサ、及びその製造方法を提供することができる。

以下に、この発明に係る光電センサ並びにその製造方法の好適な実施の一形態を添附図面を参照しながら詳細に説明する。

本発明が適用された反射型光電センサの外観を示す斜視図が図１に示されている。同図に示されるように、この光電センサ１は反射型として構成されたものであり、ケース１０と、このケース１０の前面側開口に装着される素子・レンズ組立体２０と、ケース１０の上面側開口に装着される操作・表示部組立体３０とを主体として構成されている。尚、図において、符号５０ａは電気コード、２１は投光レンズ部と受光レンズ部とが形成されたレンズ板、２３ｇ，２３ｈはセンサ据付けのための取付穴、３１ａは表示灯の光を拡散させるための照光レンズ、３１ｂは感度調整等のために使用される回転操作子である。

同反射型光電センサの内部構造を示す分解斜視図が図２に示されている。同図に示されるように、レンズ・素子組立体２０は、レンズ板２１と投受光基板２２とを合成樹脂製のホルダ２３を介して一体的に結合してなるものである。レンズ板２１の裏面には、後に図７を参照して説明するように、投光レンズ部２１ａと受光レンズ部２１ｂとが膨出形成されている。投受光基板２２上には、投光素子２２ａと受光素子２２ｂとが搭載されている。

合成樹脂製のホルダ２３には、それぞれホルダを前後方向に貫通する２つの空洞部２３ｅ，２３ｆが設けられている。下側の空洞部２３ｅは投光光学系のためのものであり、上側の空洞部２３ｆは受光光学系のためのものである。ホルダ２３の側面には２つの遮光板装着スリット２３ｉ，２３ｊが上下２段に開口形成されている。これらの遮光板装着スリット２３ｉには、後に図３を参照して説明するように、投光側遮光板４１及び受光側遮光板４２が挿入固定される。尚、２３ｇ，２３ｈは取付穴である。

次に、操作・表示部組立体３０の詳細について説明する。操作・表示部組立体３０は、操作・表示ブロック３１と回路基板３２とを一体に結合して構成されている。回路基板３２上には、安定表示灯３２ａ及び動作表示灯３２ｂが搭載されている。一方、回路基板３２に被せるようにして装着される操作・表示ブロック３１の表面には、安定表示灯３２ａ及び動作表示灯３２ｂからの光を外部へと拡散するための照光レンズ３１ａと、感度調整等の各種の操作に利用されるマイナスドライバ差し込み式の２個の操作子３１ｂ，３１ｃとが設けられている。尚、突起３１ｅは操作・表示ブロック３１と回路基板３２とを結合するためのものであり、突起３１ｄは操作・表示ブロック３１をケース１０に装着する際に、ケース側の凹部１０ｂと係合抜け止めするためのものである。また、ケース１０の相対向する内面に設けられた凸部１０ａは、ケース１０とホルダ２３とを結合するためのものである。ケース１０の底部には電気コード組立体５０が装着される。尚、図において５０ａは電気コード、５０ｂはコードホルダである。

次に、本発明の要部であるレンズ・素子組立体２０の製造方法を、図３〜図７を参照して詳細に説明する。

遮光板装着工程を示す反射型光電センサ用のホルダの斜視図が図３に示されている。先に説明したように、ホルダ２３の側面には、２個の遮光板装着スリット２３ｉ，２３ｊが開口形成されている。これらの遮光板装着スリット２３ｉ，２３ｊには、図に示されるように、投光側遮光板４１及び受光側遮光板４２がそれぞれ矢印に示すように挿入される。後に詳細に説明するように、これらの遮光板４１，４２は、例えばガラス板の表面にクロム蒸着膜を被着させたものや、レーザ加工領域を薄肉化した金属板とされている。遮光板装着スリット２３ｉ，２３ｊの隙間の寸法は遮光板４１，４２の厚さとほぼ同等とされており、そのためそれらの遮光板４１，４２はスリット２３ｉ，２３ｊに圧入固定される。加えて、圧入装着が完了した後、各スリットの入口部に設けられた熱かしめ用凸部２３ｋ，２３ｌがそれぞれ加熱圧壊されることによって、スリットに装着された遮光板４１，４２はしっかりと抜け止め固定される。尚、図において、２３ｇ，２３ｈは取付穴であり、２３ｃは後述する投光素子収容部、２３ｄは受光素子収容部である。

次に、遮光板装着後、レーザ加工前の反射型光電センサ用のホルダの側断面図が図４に示されている。同図に示されるように、ホルダ２３内には、それぞれホルダ２３を前後に貫通する２個の空洞部２３ｅ，２３ｆが設けられている。下側の空洞部２３ｅは投光光学系のためのものであり、その前面側には投光レンズ収容部２３ａが、後面側には投光素子収容部２３ｃが設けられている。すなわち、空洞部２３ｅは、投光レンズ収容部２３ａと投光素子収容部２３ｃとを連通する。そのため、投光側遮光板４１は、投光素子収容部２３ｃから投光レンズ収容部２３ａへ至る光路を遮るようにして配置される。

上側の空洞部２３ｆの前面側には受光レンズ収容部２３ｂが、また後面側には受光素子収容部２３ｄが設けられる。すなわち、空洞部２３ｆは、受光レンズ収容部２３ｂと受光素子収容部２３ｄとを連通する。そのため、受光側遮光板４２は、受光レンズ収容部２３ｂから受光素子収容部２３ｄへ至る光路を遮るようにして配置される。

次に、治具に固定されてレーザ加工が行われている反射型光電センサ用のホルダの側面図が図５に示されている。同図に示されるように、投光側遮光板４１及び受光側遮光板４２が装着されたホルダ２３は、治具６０を介して、図示しないレーザ加工機のＸＹθテーブル上に固定される。図の例では、ホルダ２３は、レンズ収容部２３ａ，２３ｂを上に向けた水平姿勢を保った状態で、治具６０を介して、レーザ加工機のＸＹθテーブル上に位置決め固定される。

この状態において、レーザ加工機を作動させると、レーザ装置から出射されたレーザビームは、ホルダ２３をその真上から照射する。このとき、レーザビームＬ１のように、受光側光軸に沿って、受光レンズ収容部２３ｂから空洞部２３ｆに導入されたレーザビームは、受光側遮光板４２に照射される。このとき、図示しないＸＹθステージを適宜に移動制御させれば、受光側遮光板４２には所定形状の光通過窓が開口形成される。ここで、所定形状としては、スリット（直線）状、長方形状、円形状、楕円形状、半円状等々さまざまな形状をＸＹθステージの移動制御によって実現することができる。しかもこの種のレーザ加工機における加工精度は、一般に、金型設計による加工精度に比べて高いため、従前よりも高精度に光通過窓を形成することができる。同様にして、レーザビームＬ２に示されるように、投光側光軸に沿って、投光レンズ収容部２３ａから空洞部２３ｅに導入されたレーザビームは、投光側遮光板４１に照射される。このとき、先ほどと同様にして、ＸＹθステージを適宜に移動制御すれば、投光側遮光板４１上には、所定形状の光通過窓を開口形成することができる。

次に、光通過窓形成後の反射型光電センサ用のホルダの側断面図が図６に示されている。この例にあっては、図から明らかなように、遮光板４１には光通過窓４１ａが、また遮光板４２には光通過窓４２ａがそれぞれ開口形成されている。尚、図に示される遮光板４１，４２の断面構造は、ガラス板の表面にクロム蒸着膜を被着させたものやレーザ加工領域を若干薄肉化した金属板など様々なバリエーションが考えられる。

次に、投受光素子並びにレンズ板の組付けが完了した反射型光電センサ用のホルダであるレンズ・素子組立体２０の側断面図が図７に示されている。図から明らかなように、この状態においては、ホルダ２３の前面側にはレンズ板２１が装着され、後面側には投受光基板２２が装着される。先に説明したように、レンズ板２１の背面側には、投光レンズ部２１ａと受光レンズ部２１ｂとが膨出形成されている。そのため、空洞部２３ｅの前面側に位置する投光レンズ収容部２３ａには投光レンズ部２１ａが収容され、空洞部２３ｆの前面側に位置する受光レンズ収容部２３ｂには受光レンズ２１ｂが収容される。尚、レンズ板２１とホルダ２３との結合手段としては、例えばピンと穴とを利用した圧入構造、接着構造などが採用される。一方、投受光基板２２には投光素子２２ａと受光素子２２ｂとが搭載されている。そして、投光素子２２ａは投光素子収容部２３ｃに収容され、受光素子２２ｂは受光素子収容部２３ｄに収容される。尚、投受光基板２２とホルダ２３との結合手段もピンと穴とを利用した圧入構造、接着構造等が採用される。

このようにして製造されたレンズ・素子組立体２０によれば、投光光学系と受光光学系とが上下２段に構成される。下段に位置する投光光学系は、投光素子２２ａと光通過窓４１ａを有する投光側遮光板４１と、投光レンズ部２１ａとを順に配置した構造を有し、投光素子２２ａから発せられた光は、光通過窓４１ａによってビーム断面が整形された後、投光レンズ部２１ａを介して集光されて、検出対象物へと照射される。すなわち、光通過窓４１ａの存在によって、投光領域は適切に限定される。一方、上段に位置する受光光学系は、受光レンズ部２１ｂと、光通過窓４２ａと、受光素子２２ｂとを順に配置して構成される。そして、検出対象物で反射された光は、受光レンズ部２１ｂで収束された後、光通過窓４２ａによってビーム断面が整形された後、受光素子２２ｂへと照射される。これにより、受光素子２２ｂに照射される光は、受光側遮光板４２の光通過窓４２ａによって領域制限され、不要な外乱光等が受光素子２２ｂに導入される虞れを排除することができる。

しかも、この例にあっては、ホルダ２３と遮光板４１，４２とは別部品であるから、共通のホルダ２３を使用しつつも、遮光板４１，４２を選択的に装着することによって、光通過窓を要求する顧客と要求しない顧客との双方に対応することができる。また、光通過窓を要求する顧客に対して、任意の形状や大きさの光通過窓を加工できるため、顧客の任意のニーズに対応できる。加えて、ホルダ２３と遮光板４１，４２とを別素材とすることができるため、遮光板４１，４２の素材をレーザ加工し易いものとすることによって、光通過窓４１ａ，４２ａの加工精度を向上させることができる。

次に、レンズ・素子組立体２０の製造方法の別の一例を図１３〜図２０を参照して詳細に説明する。

遮光板未装着状態における反射型光電センサ用のホルダの側断面図が図１３に示されている。また、遮光板装着後、レーザ加工前の反射型光電センサ用のホルダの側断面図が図１４に示されている。図１３〜図１８に示された反射型光電センサ用ホルダは、受光側遮光板４２が受光レンズ部２１ｂ及び受光素子２２ｂと非平行に（傾斜して）設けられている点を除けば、図３〜７に示された反射型光電センサ用ホルダと基本的に同じ構成であり、受光素子収容部２３ｄから受光レンズ収容部２３ｂへ至る光路を遮るようにして受光側遮光板４２が配置される。

次に、遮光板の傾き角度が算出されている反射型光電センサ用のホルダの側断面図が図１５に、治具に固定されてレーザ加工が行われている反射型光電センサ用ホルダの別の一例が図１６にそれぞれ示されている。また、傾斜状態の遮光板に光通過窓をレーザ加工する工程を示すフローチャートが図１９に示されている。投光側遮光板４１及び受光側遮光板４２をホルダ２３の投光側遮光板取付部４３，受光側遮光板取付部４４に取り付けた後、治具６０を介して、図示しないレーザ加工機のＸＹθステージ上に固定される。図の例では、ホルダ２３は、レンズ収容部２３ａ，２３ｂを下に向けた水平姿勢を保った状態で固定された後、原点マークを読み込まれ、Ｘ，Ｙの加工原点補正が行われる（ステップ２００１）。加工原点補正を行った後、受光側遮光板４２の表面上の２点をフォーカスし、その２点の位置情報を記憶し（ステップ２００２，ステップ２００３）、フォーカスした２点の座標に基づき２点間のＸ，Ｙの移動量とＺ方向の傾きφを算出し、レーザ加工位置のＸ，Ｙ情報からＺ位置を算出する（ステップ２００４，ステップ２００５）。Ｚ位置情報に合わせてレーザ出射レンズ焦点を調整し、レーザ加工機を作動させると、レーザ装置から出射されたレーザビームＬ４は、ホルダ２３を遮光板取付部側から照射しレーザ加工を行う（ステップ２００６，ステップ２００７）。このとき、図示しないＸＹθステージを適宜に移動制御させれば、受光側遮光板４２には所定形状の光通過窓が形成される。ここで、所定形状としては、スリット（直線）状、長方形状、円形状、楕円形状、半円形状等々さまざまな形状をＸＹθステージの移動制御によって実現することが出来る。

次に、光通過窓形成後の反射型光電センサ用ホルダの側断面図が図１７に示されている。この例にあっては、先の工程でレーザ加工により形成された光通過窓４１ｂ及び４２ｂが、投光側遮光板４１と受光側遮光板４２にそれぞれ開口形成されている。

次いで、投受光素子並びにレンズ板の組み付けが完了した反射型光電センサ用のホルダであるレンズ・素子組立体２０の別の一例の側断面図が図１８に示されている。図７に示された反射型光電センサ用ホルダとの大きな違いは、受光側遮光板４２が傾斜状態で保持されていることである。受光側遮光板を傾斜状態で保持した場合の受光曲線と、平行状態で保持した場合の受光曲線との比較が図２０に示されている。同図より明らかなように、要検出範囲での受光感度は、いずれの遮光板の場合でもほぼ同様の値であるが、検出範囲外の受光感度は傾斜状態で保持された遮光板の方が著しく低く、傾斜状態で保持された遮光板は距離限定性に優れていることがわかる。すなわち、検出範囲外で受光量が急激に減少する急峻な受光特性が得られ距離限定性の高い反射型光電センサを作製できる。

次に、一体成形による遮光板にレーザ加工でスリットを形成する工程を示す透過型光電センサ用ホルダの断面図が図８に示されている。同図に示されるように、この例にあっては、遮光板部７１ｄはホルダ７１の製作（射出成形）の際に一体成形される。すなわち、投光レンズ収容部７１ａと投光素子収容部７１ｂとを連通する空洞部７１ｃには、これを遮るようにして遮光板部７１ｄがホルダ７１の射出成形時に一体に形成される。遮光板部７１ｄの厚さは、レーザビームＬ３の照射によって貫通穴を形成できるように適切に選択される。すなわち、この例にあっては、ホルダ７１と遮光板部７１ｄとは射出成形工程において一体的に形成される。

このような構成において、先に図５を参照して説明したと同様にして、治具８０を介してレーザ加工機のＸＹθステージ上に固定した後、レーザビームＬ３を照射しつつステージの移動制御を行えば、遮光板部７１ｄに所定形状の光通過窓を開口形成することができる。

次に、一体成形による遮光板にレーザ加工でスリットを形成した透過型光電センサ用ホルダの組立体の断面図が図９に示されている。同図に示されるように、ホルダ７１の前面側にはレンズ板７２が装着され、後面側には投光基板７３が装着される。レンズ板７２の裏面側には投光レンズ部７２ａが膨出形成されており、この投光レンズ部７２ａは投光レンズ収容部７１ａに収容される。一方、投光基板７３上には投光素子７３ａが搭載されており、この投光素子７３ａはホルダの投光素子収容部７１ｂに収容される。投光レンズ収容部７１ａと投光素子収容部７１ｂとは空洞部７１ｃを介して連通しており、この空洞部７１ｃには光通過窓７１ｇを有する遮光板部７１ｄが設けられる。

そのため、投光素子７３ａから出射された光は、光通過窓７１ｇによって断面形状が適宜に整形された後、投光レンズ部７２ａによって集光されて、検出対象領域へと投光される。

このようなレンズ・素子組立体７０によれば、遮光板部７１ｄを有する成形金型と有しない成形金型との２種類の成形金型を用意して、予め遮光板部７１ｄを有するホルダと有しないホルダの２種類を用意しておけば、光通過窓７１ｇの形状についてはレーザ加工機の作用によって任意に設定できるから、様々な形状を有する光通過窓を備えたレンズ・素子組立体７０を低コストに製作することができる。

次に、レーザ加工によるスリット形成方法のバリエーションを示す説明図が図１０に示されている。同図（ａ）に示されるものは、樹脂製遮光板へレーザ加工機によって穴開け加工を行うようにしたものであり、合成樹脂製薄板８１に対してレーザ加工を行うことによって、貫通孔８１ａを形成するものである。この方法は、先に図８及び図９を参照して説明した一体成形による遮光板部７１ｄに好適なものである。すなわち、ホルダ７１の射出成形時に、遮光板部７１ｄも同時に形成しておき、これにレーザビームを照射することによって、貫通孔を形成するものである。

同図（ｂ）に示されるものは、金属薄板へのレーザ加工により、光通過窓を開口形成するものである。この例にあっては、金属薄板８２の表面に電鋳金属層８３を形成してなる遮光板を用意し、その薄肉領域８４に対してレーザビームを照射して、貫通孔８４ａを形成することによって、光通過窓を開口形成しようとするものである。尚、電鋳金属層８３は補強のためであり、遮光板装着スリット２３ｉ，２３ｊに圧入する際の剛性を維持させるためである。金属薄板８２の厚さは１０μｍ〜０．２ｍｍ程度、電鋳金属層８３の厚さは０．５ｍｍ〜２．０ｍｍ程度が好ましい。

同図（ｃ）に示されるものは、金属蒸着膜へのレーザ加工を行うことにより、光通過窓を開口形成しようとするものである。この例にあっては、ガラス板８５の表面にクロム蒸着膜８６を形成すると共に、これにレーザビームを照射することによって、クロム除去領域８６ａを形成することにより、光通過窓を開口形成しようとするものである。この例にあっては、クロム蒸着膜８６はレーザビームの照射によって昇華除去されるため、光通過窓の形成が容易である他、ガラス板８５として光学的多層膜を含むものを採用すれば、ガラス板８５自体に光フィルタ機能を持たせることによって、別途光フィルタ板を設けることが不要となる利点がある。なお、ガラス板の素材としてはＢＫ７やＢ２７０等が好ましく、その厚さは０．５ｍｍ〜２．０ｍｍ程度が好ましい。

このように、同図（ａ）〜（ｃ）に示される方法を適宜選択することによって、遮光板上に任意の形状の光通過窓を高精度に開口形成することができる。

なお、同図（ａ）〜（ｃ）において、光通過窓は、（ａ）合成樹脂製薄板８１、（ｂ）金属薄板８２、（ｃ）クロム蒸着膜８６と、薄板または薄膜に対してレーザ加工されることにより形成されるため、ナイフエッジ形状と等価な開口部を得ることができる。

次に、レーザ加工設備のシステム構成図が図１１に示されている。同図に示されるように、レーザ加工機９０は、演算処理装置９１と、レーザ加工装置９２と、視覚認識装置９３とから構成される。演算処理装置９１には、ＣＡＤデータ９１ａとレーザ・ワーク制御数値演算装置９１ｂとが含まれている。また、レーザ加工装置９２には、レーザ装置９２ａと、電源装置９２ｂと、冷却装置９２ｃと、ミラー９２ｄと、集光レンズ９２ｅと、ＸＹθステージ装置とが含まれている。ここで、ＸＹθステージ装置は、Ｘ方向ステージ９２ｆと、Ｙ方向ステージ９２ｇと、θ方向ステージ９２ｈとを含んでいる。それらのステージ９２ｆ〜９２ｈは水平な基準面において、Ｘ方向、Ｙ方向、及び垂直軸を中心とした回転方向（θ方向）のそれぞれにおいて、位置決め制御が可能となされている。そして、θ方向ステージ９２ｈの上にワークＷが置かれる。ここでワークＷとしては、本発明にあっては、合成樹脂製のホルダ２３又は７１がこれに相当する。

一方、視覚認識装置９３は、照明用光源９３ａと、ハーフミラー９３ｂと、ＣＣＤ等を内蔵したカメラ９３ｃとを含んでいる。

以上の構成において、レーザ加工機９０が動作を開始すると、レーザ・ワーク制御数値演算装置９１ｂは、ＣＡＤデータ９１ａに従って、Ｘ方向ステージ９２ｆ，Ｙ方向ステージ９２ｇ，θ方向ステージ９２ｈを適宜制御することによって、ワークＷを適宜に移動制御する。このとき、ワークＷの位置は、カメラ９３ｃからの情報に基づいて制御される。一方、レーザ装置９２ａから発せられたレーザ光は、ミラー９２ｄで垂直真下に反射された後、集光レンズ９２ｅで集光されて、ワークＷの表面へと照射される。これにより、先に図５及び図８を参照して説明したように、遮光板４１，４２又は遮光板部７１ｄには、光通過窓４１ａ、４２ａ、７１ｇが開口形成されることとなる。

演算処理装置９１のソフトウェア構成を示すフローチャートが図１２に示されている。同図に示されるように、ワークがセットされると、スタートスイッチのＯＮを待機するか、またはオートスタート機能によって装置の作動が開始され（ステップ１０１）、しかる後ＣＡＤデータの読み込みが行われる（ステップ１０２）。以後、ＸＹθステージ装置を原点位置に復帰させた後（ステップ１０３）、加工位置への移動（ステップ１０４）とレーザ加工（ステップ１０５）とが繰り返し実行される。そして、ＣＡＤデータに従ってあらかじめ予定された加工処理が終了するのを待って、ワークを取り出し（ステップ１０６）、１個のホルダに対する処理が終了し、以後同様な処理を繰り返すことによって、１品製作的にこの種の光電センサにおける光通過窓の開口形成を可能とするのである。

以上説明した実施形態によれば、レーザ加工技術を用いてホルダにスリット等の光通過窓を開口形成するようにしているため、光通過窓の形状は丸穴、角穴、異形状等のどのような形状でも採用が可能となる他、後工程でホルダに異なる光通過窓を形成することで１個からでも光通過窓の形状の異なるホルダを製作することができ、ホルダの種類と在庫を減らすことができる。

また、遮光板をレーザ加工して任意の形状や大きさの光通過窓を有する製品を製造するため、遮光板素材と遮光板未装着状態のホルダの種類が少なくて済み、その結果生産量が増えるため、遮光板素材と遮光板未装着状態のホルダが量産効果でコストダウンとなり、光電センサ自身のコストダウンにつながるといった利点がある。

また、ホルダに直接光通過窓のための加工を行うことで光通過窓の位置精度が向上する。具体的には、従前の金型設計により光通過窓のサイズや形状を決定する場合の位置精度は±０．０５ｍｍ程度であったのに対し、本発明のレーザ加工により直接に光通過窓を開口形成する場合の位置精度は±０．０３ｍｍ以下とすることができた。

また、光通過窓を後加工することで、投受光素子とレンズとの位置関係を精度よく構築できるので、光学性能が向上するという利点も確認された。

また、光通過窓は、薄板または薄膜などに対してレーザ加工されることにより形成されるため、ナイフエッジ形状と等価な開口部を得ることができる。

また、傾斜状態で保持された遮光板に対しても本発明のレーザ加工により光通過窓を加工することができる。傾斜状態で保持された遮光板を有する反射型光電センサは、検出範囲外で受光量が急激に減少する急峻な受光特性が得られ、距離限定性が高くなるという利点がある。

さらに、ガラスの表面にクロム蒸着膜等を被着させて遮光板とする例にあっては、ガラス板それ自体を光学的なバンドパスフィルタとしておけば、単なる光通過窓の機能を超えて、窓それ自体が様々な光学的特性を有することとなり、新たな技術展開が期待できるという利点もある。

本発明が適用された反射型光電センサの外観を示す斜視図である。 本発明が適用された反射型光電センサの内部構造を示す分解斜視図である。 遮光板装着工程を示す反射型光電センサ用のホルダの斜視図である。 遮光板装着後、レーザ加工前の反射型光電センサ用のホルダの側断面図（その１）である。 治具に固定されてレーザ加工が行われている反射型光電センサ用のホルダの側断面図（その１）である。 光通過窓形成後の反射型光電センサ用のホルダの側断面図（その１）である。 投受光素子並びにレンズ板の組付けが完了した反射型光電センサ用ホルダの側断面図（その１）である。 一体成形による遮光板にレーザ加工で光通過窓を形成する工程を示す透過型光電センサ用ホルダの断面図である。 一体成形による遮光板にレーザ加工で光通過窓を形成した透過型光電センサ用ホルダの組立体を示す断面図である。 レーザ加工による光通過窓形成方法のバリエーションを示す説明図である。 レーザ加工設備のシステム構成図である。 演算処理装置のソフトウェア構成を示すフローチャートである。 遮光板未装着状態における反射型光電センサ用のホルダの側断面図である。 遮光板装着後、レーザ加工前の反射型光電センサ用のホルダの側断面図（その２）である。 遮光板の傾き角度が算出されている反射型光電センサ用のホルダの側断面図である。 治具に固定されてレーザ加工が行われている、反射型光電センサ用のホルダの側断面図（その２）である。 光通過窓形成後の反射型光電センサ用のホルダの側断面図（その２）である。 投受光素子並びにレンズ部材の組付けが完了した反射型光電センサ用のホルダの側断面図（その２）である。 傾斜状態の遮光板に光通過窓をレーザビームにて加工する工程を示すフローチャートである。 受光側遮光板を傾斜状態で保持した場合の受光曲線と、平行状態で保持した場合の受光曲線との比較を示す図である。

符号の説明

１ 反射型光電センサ
１０ ケース
１０ａ 凸部
１０ｂ 凹部
２０ レンズ・素子組立体
２１ レンズ板
２１ａ 投光レンズ部
２１ｂ 受光レンズ部
２２ 投受光基板
２２ａ 投光素子
２２ｂ 受光素子
２３ ホルダ
２３ａ 投光レンズ収容部
２３ｂ 受光レンズ収容部
２３ｃ 投光素子収容部
２３ｄ 受光素子収容部
２３ｅ，２３ｆ 空洞部
２３ｇ，２３ｈ 取付穴
２３ｉ，２３ｊ 遮光板装着スリット
２３ｋ，２３ｌ 熱かしめ用凸部
３０ 操作・表示部組立体
３１ 操作・表示ブロック
３２ 回路基板
３１ａ 照光レンズ
３１ｂ，３１ｃ 操作子
３２ａ 安定表示灯
３２ｂ 動作表示灯
３１ｄ，３１ｅ 凸部
４１ 投光側遮光板
４１ａ，４１ｂ 光通過窓
４２ 受光側遮光板
４２ａ，４２ｂ 光通過窓
４３ 投光側遮光板収容部
４４ 受光側遮光板収容部
５０ 電気コード組立体
５０ａ 電気コード
５０ｂ コードホルダ
６０ 治具
７０ レンズ・素子組立体
７１ ホルダ
７１ａ 投光レンズ収容部
７１ｂ 投光素子収容部
７１ｃ 空洞部
７１ｄ 遮光板部
７１ｅ，７１ｆ 取付穴
７１ｇ 光通過窓
７２ レンズ板
７２ａ 投光レンズ部
７３ 投光基盤
７３ａ 投光素子
８０ 治具
８１ 合成樹脂製薄板
８１ａ 貫通孔
８２ 金属製薄板
８３ 電鋳金属層
８４ 薄肉領域
８４ａ 貫通孔
８５ ガラス板
８６ クロム蒸着膜
８６ａ クロム除去領域
９０ レーザ加工機
９１ 演算処理装置
９１ａ ＣＡＤデータ
９１ｂ レーザ・ワーク制御数値演算装置
９２ レーザ加工装置
９２ａ レーザ装置
９２ｂ 電源装置
９２ｃ 冷却装置
９２ｄ ミラー
９２ｅ 集光レンズ
９２ｆ Ｘ方向ステージ
９２ｇ Ｙ方向ステージ
９２ｈ θ方向ステージ
９３ 視覚認識装置
９３ａ 光源
９３ｂ ハーフミラー
９３ｃ カメラ
Ｗ ワーク
φ 傾斜角
Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４ レーザビーム

Claims (18)

1. 投光素子と投光レンズとを含む投光部と、受光素子と受光レンズとを含む受光部とを有し、
   投光部に含まれる投光素子と投光レンズとの間には、所定形状の光通過窓が開口形成された遮光板が介在されており、かつ
   遮光板の光通過窓がレーザ加工により開口形成されたものである、
   ことを特徴とする光電センサ。
2. 投光素子と投光レンズとを含む投光部と、受光素子と受光レンズとを含む受光部とを有し、
   受光部に含まれる受光素子と受光レンズとの間には、所定形状の光通過窓が開口形成された遮光板が介在されており、かつ
   遮光板の光通過窓がレーザ加工により開口形成されたものである、
   ことを特徴とする光電センサ。
3. 投光素子と投光レンズとそれらを一体的に保持する合成樹脂製ホルダとを含む投光部と、受光素子と受光レンズとを含む受光部とを有し、
   投光部に含まれる投光素子と投光レンズとの間には、所定形状の光通過窓が開口形成された遮光板が介在されており、かつ
   遮光板の光通過窓がレーザ加工により開口形成されたものである、
   ことを特徴とする光電センサ。
4. 投光素子と投光レンズとを含む投光部と、受光素子と受光レンズとそれらを一体的に保持する合成樹脂製ホルダとを含む受光部とを有し、
   受光部に含まれる受光素子と受光レンズとの間には、所定形状の光通過窓が開口形成された遮光板が介在されており、かつ
   遮光板の光通過窓がレーザ加工により開口形成されたものである、
   ことを特徴とする光電センサ。
5. 受光素子と受光レンズとの間に介在する遮光板は、受光レンズ表面に対して所定の傾きをもって設置されることを特徴とする請求項２又は４のいずれかに記載の光電センサ。
6. 遮光板が合成樹脂製ホルダと一体成形されたものであり、かつ遮光板の光通過窓がレーザ加工により遮光板を所定形状に穿孔することにより開口形成されたものである、
   ことを特徴とする請求項３又は４に記載の光電センサ。
7. 遮光板が合成樹脂製ホルダの所定位置に装着される別部品である、ことを特徴とする請求項３又は４に記載の光電センサ。
8. 遮光板が透明板の表面に金属膜を蒸着させた断面構造を有するものであり、かつ遮光板の光通過窓がレーザ加工により金属膜を所定形状に除去することにより開口形成されたものである、
   ことを特徴とする請求項６に記載の光電センサ。
9. 遮光板を構成する透明板が光学的多層膜を含むものである、ことを特徴とする請求項８に記載の光電センサ。
10. 遮光板がレーザ加工予定領域を薄肉化された金属板であり、かつ遮光板の光透過窓がレーザ加工により薄肉化された領域を所定形状に穿孔することにより開口形成されたものである、
    ことを特徴とする請求項６に記載の光電センサ。
11. 投光素子収容部と、投光レンズ収容部と、それらを結ぶ空洞部と、空洞部内にあって投光素子から投光レンズに向かう光路を遮る遮光板部とを有する合成樹脂製ホルダを射出成形により一体成形する第１のステップと、
    第１のステップにより得られた合成樹脂製ホルダを所定の治具によりレーザ加工機に装着したのち、空洞部内に投光素子収容部側又は投光レンズ収容部側より投光光軸に沿ってレーザビームを導入して遮光板部を所定形状に穿孔することにより光通過窓を開口形成する第２のステップと、
    第２のステップにより光通過窓が遮光板部に開口形成された合成樹脂製ホルダに投光素子及び投光レンズを装着して素子・レンズ組立体を完成する第３のステップとを含む、
    ことを特徴とする光電センサの製造方法。
12. 投光素子収容部と、投光レンズ収容部と、それらを結ぶ空洞部と、空洞部内にあって投光素子から投光レンズに向かう光路を遮る遮光板を装着するための遮光板収容部とを有する合成樹脂製ホルダを射出成形により一体成形する第１のステップと、
    第１のステップにより得られた合成樹脂製ホルダ内の遮光板収容部に遮光板を装着する第２のステップと、
    第２のステップにより得られた遮光板付合成樹脂製ホルダを所定の治具によりレーザ加工機に装着したのち、空洞部内に投光素子収容部側又は投光レンズ収容部側より投光光軸に沿ってレーザビームを導入して遮光板を所定形状にレーザ加工することにより光通過窓を開口形成する第３のステップと、
    第３のステップにより光通過窓が遮光板に開口形成された合成樹脂製ホルダに投光素子及び投稿レンズを装着して素子・レンズ組立体を完成する第４のステップとを含む、
    ことを特徴とする光電センサの製造方法。
13. 受光レンズ収容部と、受光素子収容部と、それらを結ぶ空洞部と、空洞部内にあって受光レンズから受光素子に向かう光路を遮る遮光板部とを有する合成樹脂製ホルダを射出成形により一体成形する第１のステップと、
    第１のステップにより得られた合成樹脂製ホルダを所定の治具によりレーザ加工機に装着したのち、空洞部内に受光レンズ収容部側又は受光素子収容部側より受光光軸に沿ってレーザビームを導入して遮光板部を所定形状に穿孔することにより光通過窓を開口形成する第２のステップと、
    第２のステップにより光通過窓が遮光板部に開口形成された合成樹脂製ホルダに受光素子及び受光レンズを装着して素子・レンズ組立体を完成する第３のステップとを含む、
    ことを特徴とする光電センサの製造方法。
14. 遮光板部は、受光素子収容部及び受光レンズ収容部と、所定の傾きをもって設置されることを特徴とする請求項１３に記載の光電センサの製造方法。
15. 受光素子収容部と、受光レンズ収容部と、それらを結ぶ空洞部と、空洞部内にあって受光レンズから受光素子に向かう光路を遮る遮光板を装着するための遮光板収容部とを有する合成樹脂製ホルダを射出成形により一体成形する第１のステップと、
    第１のステップにより得られた合成樹脂製ホルダ内の遮光板収容部に遮光板を装着する第２のステップと、
    第２のステップにより得られた遮光板付合成樹脂製ホルダを所定の治具によりレーザ加工機に装着したのち、空洞部内に受光レンズ収容部側又は受光素子収容部側より受光光軸に沿ってレーザビームを導入して遮光板を所定形状にレーザ加工することにより光通過窓を開口形成する第３のステップと、
    第３のステップにより光通過窓が遮光板に開口形成された合成樹脂製ホルダに受光レンズ及び受光素子を装着して素子・レンズ組立体を完成する第４のステップとを含む、
    ことを特徴とする光電センサの製造方法。
16. 遮光板収容部は、遮光板が、受光素子収容部及び受光レンズ収容部と、所定の傾きをもって設置されることを特徴とする請求項１５に記載の光電センサの製造方法。
17. 第２のステップは、遮光板上の２点の座標に基づいて遮光板の傾き角を算出した後に、レーザ加工を施すステップを含むことを特徴とする請求項１３に記載の光電センサの製造方法
18. 第３のステップは、遮光板上の２点の座標に基づいて遮光板の傾き角を算出した後に、レーザ加工を施すステップを含むことを特徴とする請求項１５に記載の光電センサの製造方法

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