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TECHNISCHES GEBIET
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Die
vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen photoelektrischen Sensor,
bei welchem eine Lichtabschirmungsplatte mit einem Lichtdurchtrittsfenster,
wie etwa einem Schlitz oder einem Loch, vor einem Lichtemissionselement
oder einem Lichtempfangselement angeordnet ist, um einen Nachweisbereich
zu begrenzen oder Fremdlicht auszuschließen.
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HINTERGRUND DER ERFINDUNG
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Ein
photoelektrischer Sensor des Reflexionstyps oder Transmissionstyps,
bei welchem eine Lichtabschirmungsplatte mit einem Schlitz oder
einem Loch vor einem Lichtemissionselement oder Lichtempfangselement
zur Begrenzung eines Nachweisbereichs oder zum Ausschluss von Fremdlicht angeordnet
ist, ist bereits bekannt, beschrieben beispielsweise durch japanische
Offenlegungsveröffentlichung
Nr. 6-4848.
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Was
einen photoelektrischen Sensor vom Reflexionstyp anbelangt, so sind
ein Lichtemissionselement, ein Lichtempfangselement, eine Lichtemissionslinse
und eine Lichtempfangslinse oftmals in einem Halter aus Kunststoff
als ein Körper
enthalten. In einem solchen Fall ist die Lichtabschirmungsplatte mit
einem Lichtdurchtrittsfenster, wie etwa einem Schlitz oder einem
Loch, als Teil des Halters als ein Körper ausgebildet. Anders ausgedrückt, sind
die Lichtabschirmungsplatte mit einem Lichtdurchtrittsfenster angeordnet
vor dem Lichtemissionselement, und das Lichtempfangselement zusammen
mit dem Halter als ein Körper
ausgebildet, und Größe und Form
des Lichtdurchtrittsfensters werden durch eine Pressform bestimmt.
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Was
einen photoelektrischen Sensor vom Transmissionstyp anbelangt, so
sind Lichtemissionsvorrichtung und Lichtempfangsvorrichtung als
getrennte Körper
ausgebildet. Die Lichtemissionsvorrichtung umfasst ein Lichtemissionselement
und eine Lichtemissionslinse, enthalten in einem Halter aus Kunststoff
als ein Körper.
Die Lichtempfangsvorrichtung umfasst ein Lichtempfangselement und
eine Lichtempfangslinse, enthalten in einem Halter aus Kunststoff
als ein Körper.
Eine Lichtabschirmungsplatte mit einem Lichtdurchtrittsfenster,
wie etwa einem Schlitz oder einem Loch, ist als Teil des Halters als
ein Körper
ausgebildet. Anders ausgedrückt
ist, was die Lichtemissionsvorrichtung anbelangt, die Lichtabschirmungsplatte
mit einem Lichtdurchtrittsfenster, angeordnet vor dem Lichtemissionselement, zusammen
mit dem Halter als ein Körper
ausgebildet. Ähnlich
ist, was die Lichtempfangsvorrichtung anbelangt, die Lichtabschirmungsplatte
mit einem Lichtdurchtrittsfenster, angeordnet vor dem Lichtempfangselement,
zusammen mit dem Halter als ein Körper ausgebildet. Größe und Form
des Lichtdurchtrittsfensters werden durch die Pressform bestimmt.
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KURZE ZUSAMMENFASSUNG
DER ERFINDUNG
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Bei
einem herkömmlichen
photoelektrischen Sensor, bei dem Größe und Form des Lichtdurchtrittsfensters
der Lichtabschirmungsplatte durch die bei der Herstellung des Halters
verwendete Pressform bestimmt werden, treten jedoch die folgenden Probleme
auf: (1) wenn ein Halter mit anderer Größe oder Form des Lichtdurchtrittsfensters
erforderlich ist, muss eine neue Pressform hergestellt werden, womit,
da die Arten von Haltern zunehmen, die gelagerten Produkte und die
Kosten für
die Herstellung der Pressform zunehmen, (2) wenn ein Halter mit
einem Lichtdurchtrittsfenster neuer Form oder Größe gewonnen wird, muss eine
neue Pressform gezeichnet (entworfen) und erstellt werden, was zu
einem Zeitaufwand führt,
(3) wenn ein Halter mit einem Lichtdurchtrittsfenster neuer Form
oder Größe gewonnen
wird, wird, wenn die Anzahl verwendeter Halter gering ist, der Einheitenpreis
des Halters übermäßig hoch,
(4) die Lagegenauigkeit des Lichtdurchtrittsfensters lässt sich
nicht über
die Genauigkeit der Pressform (beispielsweise ± 0,05 mm) hinaus steigern.
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Die
vorliegende Erfindung wurde im Hinblick auf obige Probleme ausgedacht,
und eine Hauptaufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, einen photoelektrischen
Sensor zu schaffen, der ein Lichtdurchtrittsfenster beliebiger Formen
und Größen hat,
das schnell, bei niedrigen Kosten und mit hoher Präzision hergestellt
werden kann.
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Eine
weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein Verfahren
zur Herstellung eines photoelektrischen Sensors mit einem Lichtdurchtrittsfenster
beliebiger Formen und Größen zu schaffen, das
schnell, bei niedrigen Kosten und mit hoher Präzision hergestellt werden kann.
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Weitere
Aufgaben und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden für den Fachmann
bei Bezugnahme auf die folgende Beschreibung deutlich werden.
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Ein
Hauptmerkmal des photoelektrischen Sensors gemäß der vorliegenden Erfindung
ist es, eine Laserbearbeitungstechnik zur Ausbildung eines Lichtdurchtrittsfensters
auf einer Lichtabschirmungsplatte zu verwenden. Im Falleder Verwendung
einer Laserbearbeitungstechnik zur Ausbildung eines Lichtdurchtrittsfensters
auf einer Lichtemissionseinheit, wie einem photoelektrischen Sensor,
lässt sich als
eine Lichtemissionseinheit mit einem Lichtemissionselement und einer
Lichtemissionslinse, sowie eine Lichtempfangseinheit mit einem Lichtempfangselement
und einer Lichtempfangslinse aufweisend ausdrücken, wobei eine Lichtabschirmungsplatte
mit einem Lichtdurchtrittsfenster vorgeschriebener Form zwischen
dem Lichtemissionselement und der Lichtemissionslinse angeordnet
ist, und wobei das Lichtdurchtrittsfenster der Lichtabschirmungsplatte durch Laserbearbeitung
ausgebildet ist. Andererseits lässt sich
im Falle der Anwendung einer Laserbearbeitungstechnik zur Ausbildung
eines Lichtdurchtrittsfensters auf einer Lichtempfangseinheit ein
solcher photoelektrischer Sensor als eine Lichtemissionseinheit
mit einem Lichtemissionselement und einer Lichtemissionslinse als
auch eine Lichtempfangseinheit mit einem Lichtempfangselement und
einer Lichtempfangslinse aufweisend ausdrücken, wobei eine Lichtabschirmungsplatte
mit einem Lichtdurchtrittsfenster bestimmter Form zwischen dem Lichtempfangselement
und der Lichtempfangslinse angeordnet ist, und wobei das Lichtdurchtrittsfenster
der Lichtabschirmungsplatte durch Laserbearbeitung ausgebildet ist.
Im Falle der Anwendung einer Laserbearbeitungstechnik zur Ausbildung
eines Lichtdurchtrittsfensters auf sowohl der Lichtemissionseinheit
als auch der Lichtempfangseinheit versteht sich, dass die beiden
oben beschriebenen Ausdrücke
eine solche Situation erfüllen.
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Der
Ausdruck „Lichtdurchtrittsfenster
vorgeschriebener Form" wird
im Hinblick darauf verwendet, dass verschiedene Konfigurationen
von Lichtdurchtrittsfenstern, wie etwa ein Schlitz-(linear) Typ, ein
Loch-(klein, kreisförmig)
Typ, ein elliptischer Typ und ein halbkreisförmiger Typ, möglich sind.
Der Ausdruck „Lichtdurchtrittsfenster" wird ferner im Hinblick darauf
verwendet, dass es ein Durchgangsloch oder ein transparenter Abschnitt
(beispielsweise transparentes Glas) sein kann, solange der Durchtritt
von Licht zugelassen ist.
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Gemäß der oben
beschriebenen Erfindung sind die Probleme, wie ein großer Zeitaufwand
für die Herstellung,
eine teure Pressform und zunehmende Lagerhaltung, die entstehen,
wenn die Anpassung der Größen und
Formen des Lichtdurchtrittsfensters vom Entwurf einer Pressform
abhängen,
gelöst,
da die vorliegende Erfindung eine Laserbearbeitungstechnik mit einem
hohen Grad an Freiheit bei der Anpassung der Formen und Größen des
Lichtdurchtrittsfensters aufweist. Da ferner die Laserbearbeitung
größere Präzision bietet
als die Pressform, lässt sich
ein Produkt mit einem Lichtdurchtrittsfenster beliebiger Formen
und Größen schnell,
bei niedrigen Kosten und mit hoher Präzision herstellen.
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Der
durch die obigen beiden Ausdrücke
spezifizierte photoelektrische Sensor, kann auch einen Halter aus
Kunststoff enthalten. Was den ersteren photoelektrischen Sensor
anbelangt, so lässt
sich der photoelektrische Sensor als eine Lichtemissionseinheit
mit einem Lichtemissionselement, einer Lichtemissionslinse und einem
Kunststoffhalter, der das Lichtemissionselement und die Lichtemissionslinse als
ein Körper
enthält,
und eine Lichtempfangseinheit mit einem Lichtempfangselement und
einer Lichtempfangslinse aufweisend ausdrücken, wobei eine Lichtabschirmungsplatte
mit einem Lichtdurchtrittsfenster vorgeschriebener Form zwischen
dem Lichtemissionselement und der Lichtemissionslinse angeordnet
ist, und wobei das Lichtdurchtrittsfenster der Lichtabschirmungsplatte
als eine Öffnung
durch Laserbearbeitung ausgebildet ist. Andererseits lässt sich,
was den letzteren photoelektrischen Sensor anbelangt, ein solcher
photoelektrischer Sensor als ein Lichtemissionselement und eine
Lichtemissionslinse sowie eine Lichtempfangseinheit mit einem Lichtempfangselement,
einer Lichtempfangslinse und einem Kunststoffhalter, der das Lichtempfangselement und
die Lichtempfangslinse als einen Körper enthält, aufweisend ausdrücken, wobei
eine Lichtabschirmungsplatte mit einem Lichtdurchtrittsfenster vorgeschriebener
Form zwischen dem Lichtempfangselement und der Lichtempfangslinse
angeordnet ist, und wobei das Lichtdurchtrittsfenster der Lichtabschirmungsplatte
als eine Öffnung
durch Laserbearbeitung ausgebildet ist.
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Was
die einer Laserbearbeitung zu unterwerfende Lichtabschirmungsplatte
anbelangt, so sind verschiedene zur Auswahl verfügbar unter Berücksichtigung
der Beziehung zum Halter, des Aufbaus, des Materials, der Form und
dergleichen.
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Eine
erste Option betreffend die Beziehung zum Halter lässt sich
als die Lichtabschirmungsplatte ausgebildet als ein Körper mit
dem Kunststoffhalter und das Lichtdurchtrittsfenster der Lichtabschirmungsplatte
als durch Perforieren der Lichtabschirmungsplatte zu einer bestimmten
Form durch Laserbearbeitung aufweisend ausdenken. Gemäß diesem Aufbau
kann durch Vorsehen von zwei Arten von Pressformen, einer Pressform
für einen
Halter, der keinen Lichtabschirmungsabschnitt aufweist (gegenwärtig können photoelektrische
Sensoren mit dieser Art von Halter mehr als 90% aller Aufträge entsprechen)
und einer für
einen Halter mit einem Lichtabschirmungsplattenabschnitt (Ausbilden
eines Lichtdurchtrittsfensters mit beliebigen Formen und Größen durch
Laserbearbeitung gemäß der Erfindung) Haltern
aller photoelektrischen Sensoren entsprochen werden. Dadurch wird
es möglich,
beliebigen Erfordernissen eines Kunden zu entsprechen, ohne jedes
Mal den Vorgang des Entwerfens der Pressform zu wiederholen.
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Eine
zweite Option betreffend die Beziehung zum Halter lässt sich
als die Lichtabschirmungsplatte als getrennte Komponente zur Anbringung
an einem bestimmten Ort des Kunststoffhalters ausdenken. Dieser
Aufbau ermöglicht
es, den Bedürfnissen
der Mehrheit der Kunden dadurch zu entsprechen, dass eine Lichtabschirmungsplatte
nicht angebracht wird, und andererseits einem Teil der Kunden, die
eine Lichtabschirmungsplatte verlangen, dadurch zu entsprechen,
dass eine Lichtabschirmungsplatte als getrennte Komponente angebracht
und dann ein Lichtdurchtrittsfenster als Öffnung durch Laserbearbeitung
ausgebildet wird. Zusätzlich
kann, da der Halter und die Lichtabschirmungsplatte aus getrennten
Materialien hergestellt werden können,
durch geeignetes Auswählen
des Materials für
die Lichtabschirmungsplatte die Präzision bei der Perforationsverarbeitung
eingestellt werden, und ebenso ermöglicht dies die Hinzufügung einer
optischen Filterfunktion zur Lichtabschirmungsplatte.
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Ferner
kann die Lichtabschirmungsplatte so eingerichtet sein, dass sie
den Querschnittsaufbau einer transparenten Platte mit einer Metalldünnschicht,
etwa aus Chrom, abgeschieden auf einer Oberfläche einer transparenten Platte,
etwa aus Glas oder Kunststoff, hat, wobei das Lichtdurchtrittsfenster als
eine Öffnung
durch Sublimieren und Entfernen der Metalldünnschicht in vorgeschriebener
Form unter Verwendung einer Laserbearbeitung ausgebildet werden
kann. Die die Lichtabschirmungsplatte bildende transparente Platte
kann hierbei einen optischen Mehrschichtfilm (Funktionen als optisches
Filter oder als Polarisationsplatte und dergleichen) aufweisen.
Als ein weiteres spezielles Beispiel ist die Lichtabschirmungsplatte
eine Metallplatte mit einem vorgesehenen Laserbearbeitungsbereich
als dünnem
Abschnitt, wobei das Lichtdurchtrittsfenster der Lichtabschirmungsplatte
als eine Öffnung
durch Perforation des dünnen
Abschnitts in vorgeschriebener Konfiguration durch Laserbearbeitung
ausgebildet ist. Die transparente Platte, die die Lichtabschirmungsplatte
bildet, kann hierbei einen optischen Mehrschichtfilm (Funktionen
als optisches Filter oder Polarisationsplatte und dergleichen) aufweisen.
Als weiteres spezielles Beispiel ist die Lichtabschirmungsplatte
eine Metallplatte mit einem planmäßig vorgesehenen Laserbearbeitungsbereich
als dünnem
Abschnitt und das Lichtdurchtrittsfenster der Lichtabschirmungsplatte
als Öffnung
durch Perforieren des dünnen
Abschnitts in vorgeschriebener Konfiguration durch Laserbearbeitung
ausgebildet. Hierbei ist eine so genannte Schneidenform bevorzugt als
Form des Öffnungsabschnitts.
Herkömmlicherweise
war es, da der Öffnungsabschnitt
durch eine Kunststoffform ausgebildet worden ist, schwierig, eine
Schneidenform auszubilden. Da die vorliegende Erfindung das Lichtdurchtrittsfenster
durch Laserbearbeitung erzeugt, muss jedoch der Verarbeitungsabschnitt
durch Verwenden einer dünnen
Metallplatte, einer abgeschiedenen Metalldünnschicht, von dünnem Harz
und dergleichen dünn
sein. Dadurch wird die Öffnung
einer Schneidenform äquivalent.
Ferner kann auf der empfangsseitigen Lichtabschirmungsplatte auch
eine Konfiguration, bei der die Lichtabschirmungsplatte in schräger Position
gehalten wird, verwendet werden.
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Bei
Betrachtung unter einem anderen Gesichtspunkt kann die Erfindung
als ein Verfahren zur Herstellung eines photoelektrischen Sensors,
der mehrere Herstellungsschritte umfasst, betrachtet werden.
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Ein
Verfahren zur Herstellung eines photoelektrischen Sensors gemäß der vorliegenden
Erfindung betrachtet unter einem solchen Gesichtspunkt und im Hinblick
darauf, dass die Lichtabschirmungsplatte der Lichtemissionseinheit
und der Halter als ein Körper
aufgebaut sind, kann das Verfahren zur Herstellung eines photoelektrischen
Sensors als einen ersten Schritt der Ausbildung eines Kunststoffhalters mit
einem Aufnahmeabschnitt für
ein Lichtemissionselement, mit einem Aufnahmeabschnitt für eine Lichtemissionslinse,
mit einem Einsinkabschnitt, der die Aufnahmeabschnitte verbindet,
und mit einem Lichtabschirmungsplattenabschnitt innerhalb des Einsinkabschnitts,
der einen Lichtweg von einem Lichtemissionselement zu einer Lichtemissionslinse
abschirmt, als ein Körper
durch Spritzgießen,
einen zweiten Schritt des Anbringens des durch den ersten Schritt
gewonnenen Kunststoffhalters an einer Laserbearbeitungsvorrichtung
mit einer vorgeschriebenen Spann vorrichtung, und Ausbildens eines
Lichtdurchtrittsfensters durch Perforieren des Lichtabschirmungsplattenabschnitts
in eine vorgeschriebene Form durch Einführen eines Laserstrahls von
der Lichtemissionselementaufnahmeabschnittsseite oder der Lichtemissionslinsenaufnahmeabschnittsseite
längs einer
Lichtemissionsachse, und einen dritten Schritt einer Vervollständigung
eines Element/Linsenaufbaus durch Anbringen eines Lichtemissionselements
und einer Lichtemissionslinse an dem mit dem zweiten Schritt gewonnenen
Kunststoffhalter, der ein als Öffnung
ausgebildetes Lichtdurchtrittsfenster der Lichtabschirmungsplatte
aufweist, umfassend ausgedrückt
werden.
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Gemäß einem
solchen Verfahren kann, da die Kontrolle über die Form des Lichtdurchtrittsfensters
der Lichtabschirmungsplatte nicht von einer Pressform abhängt, durch
einfaches Herstellen von Haltern mit Lichtabschirmungsplatte und
Haltern ohne Lichtabschirmungsplatte ein photoelektrischer Sensor
mit einem lichtemissionsseitigen Lichtdurchtrittsfenster beliebiger
Form schnell, bei niedrigen Kosten und mit hoher Präzision hergestellt
werden.
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Hinsichtlich
einer Lichtabschirmungsplatte der Lichtemissionseinheit und eines
Halters als getrennte Körper
lässt sich
ein Verfahren zur Herstellung eines photoelektrischen Sensors gemäß der Erfindung
als einen ersten Schritt der Ausbildung eines Kunststoffhalters
mit einem Aufnahmeabschnitt für ein
Lichtemissionselement, einem Aufnahmeabschnitt für eine Lichtemissionslinse
und einem Aufnahmeabschnitt für
eine Lichtabschirmungsplatte zur Anbringung einer Lichtabschirmungsplatte
innerhalb des Einsinkabschnitts, die einen Lichtweg von einem Lichtemissionselement
zu einer Lichtemissionslinse abschirmt, als einen Körper durch
Spritzgießen,
einen zweiten Schritt des Anbringens der Lichtabschirmungsplatte
in dem Lichtabschirmungsplattenaufnahmeabschnitt innerhalb des mit
dem ersten Schritt gewonnenen Kunststoffhalters, einen dritten Schritt des
Anbringens des Kunststoffhalters mit angebrachter Lichtabschirmungsplatte,
gewonnen durch den zweiten Schritt, an einer Laserbearbeitungsvorrichtung
mit einer vorgeschriebenen Spannvorrichtung und Ausbildens eines
Lichtdurchtrittsfensters durch Perforieren der Lichtabschirmungsplatte
in vorgeschriebener Form durch Einführen eines Laserbündels aus
der Lichtemissionselementaufnahmeabschnittseite oder der Lichtemissionslinsenaufnahmeabschnittseite
längs einer
Lichtemissionslichtachse, und einen vierten Schritt des Abschlusses
eines Element/Linsenaufbaus durch Anbringen eines Lichtemissionselements
und einer Lichtemissionslinse an dem mit dem zweiten Schritt gewonnenen
Kunststoffhalter mit einem Lichtdurchtrittsfenster der Lichtabschirmungsplatte
ausgebildet als Öffnung
umfassend ausdrücken.
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Gemäß einem
solchen Verfahren kann neben der Kontrolle über die Form des Lichtdurchtrittsfensters
der Lichtabschirmungsplatte unabhängig von einer Pressform eine
noch stärkere
Kostenreduktion versucht werden, da ein gemeinsamer Halter für beide
Anwendungen, nämlich
eine Anwendung mit der Lichtabschirmungsplatte und eine Anwendung
ohne die Lichtabschirmungsplatte, verwendet werden kann. Da ferner
die Lichtabschirmungsplatte und der Halter aus getrennten Materialien
aufgebaut sein können,
kann durch Auswahl des Materials für die Lichtabschirmungsplatte
unter Berücksichtigung einer
einfachen Laserbearbeitung die Präzision bei der Verarbeitung
des Lichtdurchtrittsfensters verbessert werden. Ferner kann durch
Vorsehen einer transparenten Platte mit einer abgeschiedenen Metalldünnschicht
als Lichtabschirmungsplatte und bei gleichzeitigem Aufbau der transparenten
Platte als optischer Mehrschichtfilm die transparente Platte gemeinsam
als Lichtabschirmungsplatte und als Filter verwendet werden.
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Hinsichtlich
der Lichtabschirmungsplatte, der Lichtempfangseinheit und des Halters
als ein Körper lässt sich
das Verfahren zur Herstellung eines photoelektrischen Sensors als
einen ersten Schritt des Ausbildens eines Kunststoffhalters mit
einem Aufnahmeabschnitt für
ein Lichtempfangselement, einem Aufnahmeabschnitt für eine Lichtempfangslinse, einem
Einsinkabschnitt, der die Aufnahmeabschnitte verbindet und einem
Lichtabschirmungsplattenabschnitt innerhalb des Einsinkabschnitts,
der einen Lichtweg von der Lichtempfangslinse zu einem Lichtempfangselement
abschirmt, als ein Körper
durch Spritzgießen,
einen zweiten Schritt des Anbringens des durch den ersten Schritt
gewonnenen Kunststoffhalter an einer Laserbearbeitungsvorrichtung
mit einer vorgeschriebenen Spannvorrichtung und des Ausbildens eines
Lichtdurchtrittsfensters durch Perforieren des Lichtabschirmungsplattenabschnitts
in vorgeschriebener Konfiguration durch Einführen eines Laserstrahls von
der Lichtempfangselementaufnahmeabschnittsseite oder der Lichtempfangselementaufnahmeabschnittseite
längs einer
Empfangslichtachse, und einen Schritt des Fertigstellens eines Element/Linsenaufbaus
durch Anbringen eines Lichtempfangselements und einer Lichtempfangslinse
an dem durch den zweiten Schritt gewonnen Kunststoffhalter mit einem
Lichtdurchtrittsfenster in der Lichtabschirmungsplatte ausgebildet
als eine Öffnung
aufweisend ausgedrückt
werden.
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Gemäß einem
solchen Verfahren kann durch einfaches Herstellen von Haltern mit
einer Lichtabschirmungsplatte und Haltern ohne Lichtabschirmungsplatte
ein photoelektrischer Sensor mit einem lichtempfangsseitigen Lichtdurchtrittsfenster
beliebiger Form schnell, bei niedrigen Kosten und mit hoher Präzision hergestellt
werden.
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Im
Falle der Ausbildung einer Lichtabschirmungsplatte in schräger Position
umfasst der zweite Schritt einen Schritt ei ner Durchführung einer
Laserbearbeitung nach Berechnung eines Neigungswinkels der Lichtabschirmungsplatte
beruhend auf Koordinaten von zwei Punkten auf der Lichtabschirmungsplatte.
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Gemäß einem
solchen Verfahren hängt
nicht nur die Kontrolle über
die Form des Lichtdurchtrittsfensters der Lichtabschirmungsplatte
nicht von einer Pressform ab, sondern es lässt sich auch ein photoelektrischer
Sensor mit hoher Abstandsbegrenzungseigenschaft herstellen.
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Hinsichtlich
der Lichtabschirmungsplatte der Lichtempfangseinheit und des Halters
aufgebaut als getrennte Körper
lässt sich
ein Verfahren zur Herstellung eines photoelektrischen Sensors gemäß der Erfindung
als einen ersten Schritt des Ausbildens eines Kunststoffhalters
mit einem Aufnahmeabschnitt für ein
Lichtempfangselement, einem Aufnahmeabschnitt für eine Lichtempfangslitte,
einem Einsinkabschnitt, der die Aufnahmeabschnitte verbindet, und einem
Aufnahmeabschnitt für
eine Lichtabschirmungsplatte zur Anbringung einer Lichtabschirmungsplatte
in dem Einsinkabschnitt, die einen Lichtweg von einer Lichtempfangslinse
zu einem Lichtempfangselement abschirmt, als ein Körper durch Spritzgießen, einen
zweiten Schritt des Anbringens der Lichtabschirmungsplatte in dem
Aufnahmeabschnitt der Lichtabschirmungsplatte in dem mit dem ersten
Schritt gewonnenen Kunststoffhalter, einen dritten Schritt des Anbringens
des Kunststoffhalters mit der angebrachten Lichtabschirmungsplatte,
gewonnen durch den zweiten Schritt, an einer Laserbearbeitungsvorrichtung
mit einer vorgeschriebenen Spannvorrichtung und Ausbildens eines
Lichtdurchtrittsfensters durch Perforieren des Lichtabschirmungsplattenabschnitts
in vorgeschriebener Form durch Einführen eines Laserstrahls von
der Lichtempfangselementaufnahmeabschnittseite oder der Lichtempfangslinsenaufnahmeabschnittseite längs einer
Lichtempfangslichtachse, und einen vierten Schritt des Ab schließens eines
Element/Linsenaufbaus durch Anbringen eines Lichtempfangselements
und einer Lichtempfangslinse an dem durch den zweiten Schritt gewonnenen
Kunststoffhalter mit einem Lichtdurchtrittsfenster der Lichtabschirmungsplatte
ausgebildet als eine Öffnung
aufweisend ausgedrückt
werden.
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Gemäß einem
solchen Verfahren kann zusätzlich
zu einer nicht von einer Pressform abhängigen Kontrolle über die
Form des Lichtdurchtrittsfensters der Lichtabschirmungsplatte eine
noch größere Kostenverminderung
versucht werden, da ein gemeinsamer Halter für beide Anwendungen, nämlich eine
Anwendung mit der Lichtabschirmungsplatte und eine Anwendung ohne
die Lichtabschirmungsplatte, verwendet werden kann. Da ferner die
Lichtabschirmungsplatte und der Halter aus getrennten Materialien
aufgebaut sein können,
lässt sich
durch Auswahl des Materials der Lichtabschirmungsplatte unter Berücksichtigung
einer einfachen Laserbearbeitung die Präzision bei der Verarbeitung
des Lichtdurchtrittsfensters verbessern. Ferner kann durch Verwendung
einer transparenten Platte mit einer abgeschiedenen Metalldünnschicht
als Lichtabschirmungsplatte und gleichzeitiges Vorsehen der transparenten
Platte aus einem optischen Mehrschichtfilm die transparente Platte
gemeinsam als Lichtabschirmungsplatte und als Filter verwendet werden.
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Im
Falle der Ausbildung einer Lichtabschirmungsplatte in geneigter
Position umfasst der dritte Schritt einen Schritt der Durchführung einer
Laserbearbeitung nach Berechnung eines Neigungswinkels der Lichtabschirmungsplatte
beruhend auf Koordinaten von zwei Punkten auf der Lichtabschirmungsplatte.
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KURZE BESCHREIBUNG
DER ZEICHNUNGEN
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1 ist eine perspektivische
Ansicht, die das Äußere eines
erfindungsgemäßen photoelektrischen
Sensors des Reflexionstyps zeigt;
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2 ist eine auseinander gezogene
perspektivische Ansicht, die den Innenaufbau eines erfindungsgemäßen photoelektrischen
Sensors des Reflexionstyps zeigt;
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3 ist eine perspektivische
Ansicht, die den Lichtabschirmungsplattenanbringungsvorgang eines
Halters für
einen photoelektrischen Sensor des Reflexionstyps zeigt;
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4 ist eine Seitenschnittansicht
eines Halters für
einen photoelektrischen Sensor des Reflexionstyps nach Einsetzen
der Lichtabschirmungsplatte und vor Laserbearbeitung (Beispiel 1);
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5 ist eine Seitenschnittansicht
eines Halters für
einen photoelektrischen Sensor des Reflexionstyps in einem Laserbearbeitungsvorgang
bei Befestigung an einer Spannvorrichtung (Beispiel 1);
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6 ist eine Seitenschnittansicht
eines Halters für
einen photoelektrischen Sensor des Reflexionstyps nach Schlitzausbildung
(Beispiel 1);
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7 ist eine Seitenschnittansicht
eines Halters für
einen photoelektrischen Sensor des Reflexionstyps, wobei das Anbringen
der Lichtemissions- und -empfangselemente und Linse abgeschlossen
ist (Beispiel 1);
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8 ist eine Seitenschnittansicht
eines Halters für
einen photoelektrischen Sensor des Transmissionstyps, die einen
Schlitzausbildungsvorgang einer Lichtabschirmungsplatte, ausgebildet
als ein Körper
mit dem Halter, durch Laserbearbeitung zeigt;
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9 ist eine Figur, die einen
Aufbau eines Halters für
einen photoelektrischen Sensor des Transmissionstyps zeigt, wobei
ein Schlitz durch Laserbearbeitung auf einer Lichtabschirmungsplatte ausgebildet
ist, die als ein Körper
mit dem Halter ausgebildet ist;
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10 ist eine Erläuterungsfigur,
die Abwandlungen eines eine Laserbearbeitung verwendenden Schlitzausbildungsverfahrens
zeigt;
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11 ist eine Figur, die einen
Systemaufbau einer Laserbearbeitungseinrichtung zeigt;
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12 ist ein Flussdiagramm,
welches eine Software-Konfiguration
einer Rechenverarbeitungseinheit zeigt;
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13 ist eine Seitenschnittansicht
eines Halters für
einen photoelektrischen Sensor des Reflexionstyps, wobei die Lichtabschirmungsplatte
nicht angebracht worden ist;
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14 ist eine Seitenschnittansicht
eines Schalters für
einen photoelektrischen Sensor des Reflexionstyps nach Einsetzen
der Lichtabschirmungsplatte und vor der Laserbearbeitung (Beispiel 2);
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15 ist eine Seitenschnittansicht
eines Halters für
einen photoelektrischen Sensor des Reflexionstyps, wobei ein Neigungswinkel
der Lichtabschirmungsplatte berechnet worden ist;
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16 ist eine Seitenschnittansicht
eines Halters für
einen photoelektrischen Sensor des Reflexionstyps in einem Laserbearbeitungsvorgang
unter Befestigung an einer Spannvorrichtung (Beispiel 2);
-
17 ist eine Seitenschnittansicht
eines Halters für
einen photoelektrischen Sensor des Reflexionstyps nach Schlitzausbildung
(Beispiel 2);
-
18 ist eine Seitenschnittansicht
eines Halters für
einen photoelektrischen Sensor des Reflexionstyps, wobei das Anbringen
der Lichtemissions- und -empfangselemente und Linse abgeschlossen
ist (Beispiel 2);
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19 ist ein Flussdiagramm,
welches einen Vorgang der Ausbildung eines Lichtdurchtrittfensters
auf einer schrägen
Lichtabschirmungsplatte durch einen Laserstrahl zeigt;
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20 ist eine Figur, die einen
Vergleich zwischen einer Kurve, die Empfangslicht bei in schräger Position
gehaltener Lichtabschirmungsplatte darstellt, und einer Kurve, die
Empfangslicht bei in paralleler Position gehaltener Lichtabschirmungsplatte
der Lichtempfangsseite darstellt, zeigt.
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AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN
AUSFÜHRUNGSFORMEN
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Im
Folgenden werden eine bevorzugte Ausführungsform eines photoelektrischen
Sensors und ein Verfahren zur Herstellung desselben gemäß der vorliegenden
Erfindung im Einzelnen unter Bezug auf die beigefügten Zeichnungen
beschrieben.
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1 ist eine perspektivische
Ansicht, die das Äußere eines
erfindungsgemäßen Sensors
vom Reflexionstyp zeigt. Wie in der Figur gezeigt, weist der als
Reflexionstyp aufgebaute photoelektrische Sensor 1 im Wesentlichen
ein Gehäuse 10,
einen Element- und Linsenaufbau 20, der an der frontseitigen Öffnung des
Gehäuses 10 angeordnet
ist, und einen Steuer/Anzeigeeinheit-Aufbau 30, der an
der oberseitigen Öffnung
des Gehäuses 10 angeordnet ist,
auf. In der Figur ist 50a ein elektrisches Kabel, 21 eine
Linsenplatte mit einem darin ausgebildeten Lichtemissionslinsenabschnitt
und Lichtempfangslinsenabschnitt, 23g und 23h sind
Montagelöcher
zur Anbringung des Sensors, 31a ist eine Leuchtlinse zur Zerstreuung
von Licht einer Anzeigelampe und 31b ist ein Drehsteuerteil
zur Einstellung der Empfindlichkeit und dergleichen.
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2 zeigt eine auseinandergezogene
perspektivische Ansicht, die den inneren Aufbau eines erfindungsgemäßen photoelektrischen
Sensors vom Reflexionstyp wiedergibt. Wie in der Figur gezeigt,
ist der Element- und Linsenaufbau 20 durch Linsenplatte 21 und
Lichtemissions- und -empfangsbasisplatte 22, kombiniert
zu einem einzigen Körper über einen Kunststoffhalter 23 gebildet.
Auf der Rückseite
der Linsenplatte 21 sind, wie später noch unter Bezug auf 7 beschrieben wird, ein Lichtemissionslinsenabschnitt 21a und
ein Lichtempfangslinsenabschnitt 21b in einer ausdehnenden
Weise ausgebildet. Ein Lichtemissionselement 22a und ein
Lichtempfangselement 22b sind auf der Lichtemissions- und
-empfangsbasisplatte 22 angebracht.
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Im
Kunststoffhalter 23 sind zwei Aushöhlungsabschnitte 23e und 23f,
durchgehend von der Vorder- zur Rückseite des Halters, ausgebildet.
Der untere Aushöhlungsabschnitt 23e ist
für ein
optisches Lichtemissionssystem vorgesehen, und der obere Aushöhlungsabschnitt 23f ist
für ein
optisches Lichtempfangssystem vorgesehen. An der Seitenfläche des
Halters 23 sind zwei Lichtabschirmungsplattenanbringungsschlitze 23i und 23j oben
und unten in zwei Reihen ausgebildet als Öffnungen angeordnet. Wie später unter
Bezug auf 3 noch beschrieben
wird, sind eine lichtemissionsseitige Lichtabschirmungsplatte 41 und
eine lichtempfangsseitige Lichtabschirmungsplatte 42 in
diese Lichtabschirmungsplattenanbringungsschlitze eingesetzt und
in ihnen fixiert. Ferner bezeichnen 23g und 23h Montagelöcher.
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Als
Nächstes
wird ein Steuer/Anzeigeeinheit-Aufbau 30 im Einzelnen beschrieben.
Der Steuer/Anzeigeeinheit-Aufbau 30 ist durch Anbringen
eines Steuer/Anzeigeblocks 31 und einer Leiterplatte 32 zusammen
als ein Körper
gebildet. Auf der Leiterplatte 32 sind eine Stabilitätsanzeigelampe 32a und eine
Betriebsanzeigelampe 32b angebracht. Auf einer Fläche des
auf der Leiterplatte 32 diese abdeckend angebrachten Steuer/Anzeigeblocks 31 sind eine
Beleuchtungslinse zum Zerstreuen von Licht der Stabilitätsanzeigelampe 32a und
der Betriebsanzeigelampe 32b nach außen sowie zwei Betätigungsgriffe 31b und 31c eines
Typs für
das Einsetzen eines Klingenschraubendrehers, die für verschiedene Steuerungen,
wie das Einstellen der Empfindlichkeit verwendet werden, vorgesehen.
Ferner ist ein Vorsprung 31e für eine Verbindung des Steuer/Anzeigeblocks 31 mit
der Leiterplatte 32 vorgesehen, und ein Vorsprung 31d wird
zum Verhindern eines Lösens von
einem Ausnehmungsabschnitt l0b des Gehäuses 10, wenn der
Steuer/Anzeigeblock 31 am Gehäuse 10 angebracht
ist, verwendet. Ferner dienen konvexe Abschnitte 10a, die
einander zugekehrt an der Innenfläche des Gehäuses 10 angeordnet
sind, für das
Eingreifen des Gehäuses 10 in
den Halter 23. Am Bodenabschnitt des Gehäuses 10 ist
ein Kabelaufbau 50 angebracht. Ferner ist in der 50a ein elektrisches Kabel und 50b ein Kabelhalter.
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Als
Nächstes
wird ein Verfahren zur Herstellung des Hauptabschnitts der vorliegenden
Erfindung, des Element- und Linsenaufbaus 20, im Einzelnen
unter Bezug auf die 3 bis 7 beschrieben.
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3 zeigt eine perspektivische
Ansicht, welche den Lichtabschirmungsplattenanbringungsvorgang für einen
Halter für
einen photoelektrischen Sensor des Reflexionstyps wiedergibt. Wie
weiter oben beschrieben, sind Lichtabschirmungsplattenanbringungsschlitze 23i und 23j als Öffnungen
in der Seitenfläche
des Halters 23 ausgebildet. Wie in der Figur gezeigt, werden
die lichtemissionsseitige Lichtabschirmungsplatte 41 und
die lichtempfangsseitige Lichtabschirmungsplatte 42 in
die Lichtabschirmungsplattenanbringungsschlitze 23i und 23j,
wie durch einen Pfeil angegeben, eingesetzt. Wie im Einzelnen weiter
unten beschrieben, können
diese Lichtabschirmungsplatten 41 und 42 beispielsweise
eine Glasplatte mit einem auf einer Fläche aufgedampften Chromfilm
oder eine Metallplatte mit einem dünnen Laserbearbeitungsbereich
sein. Das Maß der Öffnung der
Lichtabschirmungsplattenanbringungsschlitze 23i und 23j ist
im Wesentlichen gleich der Dicke der Lichtabschirmungsplatten 41 und 42.
Die Lichtabschirmungsplatten 41 und 42 werden
daher in die Schlitze 23i und 23j eingepresst und
so darin fixiert. Nach Abschluss der Einpressanbringung fallen konvexe
Abschnitte 23k und 23l für eine Wärmeverstemmung, die im Eingangsabschnitt
eines jeden Schlitzes angeordnet sind, durch Wärme zusammen, womit die Lichtabschirmungsplatten 41 und 42 ein Lösen verhindernd
fixiert sind. Ferner sind in der 23g und 23h Montagelöcher, ist 23c ein
später noch
beschriebener Lichtemissionselementaufnahmeabschnitt und 23d ein
ebenfalls später
noch beschriebener Lichtempfangselementaufnahmeabschnitt.
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Als
Nächstes,
nach Anbringung der Lichtabschirmungsplatte, ist eine Seitenschnittansicht
eines Halters für
einen photoelektrischen Sensor eines Reflexionstyps nach Lichtabschirmungsplattenanbringung
und vor Laserbearbeitung in 4 gezeigt.
Wie in der Figur gezeigt, sind im Halter 23 zwei Höhlungsabschnitte 23e und 23f,
die den Halter 23 von vorne nach hinten durchsetzen, ausgebildet.
Der untere Höhlungsabschnitt 23e ist
für das
optische Lichtemissionssystem bestimmt und weist einen Lichtemissionslinsenaufnahmebereich 23a auf
der Vorderseite und einen Lichtemissionselementaufnahmebereich 23c auf
der Rückseite
auf. Anders ausgedrückt,
verbindet der Einsinkabschnitt 23e den Lichtemissionslinsenaufnahmebereich 23a und
den Lichtemissionselementaufnahmebereich 23c durch. Die
Lichtabschirmungsplatte 41 ist daher so eingerichtet, dass sie
einen Lichtweg vom Lichtemissionselementaufnahmebereich 23c zum
Lichtemissionslinsenbereich 23a abschirmt.
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Der
obere Einsinkabschnitt 23f weist einen Lichtempfangslinsenaufnahmebereich 23b auf
der Vorderseite und einen Lichtempfangselementaufnahmebereich 23d auf
der Rückseite
auf. Anders ausgedrückt
verbindet der Einsinkabschnitt 23f den Lichtempfangslinsenaufnahmebereich 23b und
den Lichtempfangselementaufnahmebereich 23d durch. Die Lichtabschirmungsplatte 42 ist
daher so eingerichtet, dass sie einen Lichtweg von dem Lichtempfangslinsenbereich 23b zum
Lichtempfangselementaufnahmebereich 23d abschirmt.
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Als
Nächstes
ist eine Seitenrissansicht eines Halters für einen photoelektrischen Sensor
des Reflexionstyps in einem Laserbearbeitungsprozess, befestigt
an einer Spannvorrichtung, in 5 gezeigt. Wie
in der Figur gezeigt, wird der Halter 23 mit angebrachter
lichtemissionsseitiger Lichtabschirmungsplatte 41 und lichtempfangsseitiger
Lichtabschirmungsplatte 42 auf einem in der Figur nicht
gezeigten XYθ-Tisch
einer Laserbearbeitungsvorrichtung über eine Spannvorrichtung 60 montiert.
Gemäß dem in
der Figur gezeigten Beispiel ist der Halter 23 auf den
XYθ-Tisch
der Laserbearbeitungsvorrichtung über die Spannvorrichtung 60 an
einer Position so befestigt, dass er eine horizontale Position mit
nach oben weisenden Linsenaufnahmebereichen 23a und 23b beibehält.
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In
dieser Situation strahlt durch Betreiben der Laserbearbeitungsvorrichtung
ein Laserstrahl eines Lasers auf den Halter 23 direkt von
oben ein. Dabei wird der aus dem Lichtempfangslinsenaufnahmebereich 23b in
den Einsinkbereich 23f längs einer Lichtachse auf der
Lichtempfangsseite gerichtete Laserstrahl, wie durch den Laserstrahl
L1 gezeigt, auf die Lichtempfangsseitige Lichtabschirmungsplatte eingestrahlt.
Durch geeignetes Bewegen des in der Figur nicht gezeigten XYθ-Tischs
wird ein Lichtdurchtrittsfenster mit einer vorgeschriebenen Form
als eine Öffnung
in der lichtempfangsseitigen Lichtabschirmungsplatte 42 ausgebildet.
Was die vorgeschriebene Form anbelangt, so können verschiedene Formen, wie
etwa ein Schlitz- (linearer) Typ, ein Rechtecktyp, ein elliptischer
Typ oder ein Halbkreistyp, durch Steuern der Bewegung des XYθ-Tischs verwirklicht
werden. Da ferner diese Art von Laserbearbeitungsvorrichtung eine
höhere
Präzision,
verglichen mit der Präzision
einer Pressform, bietet, lässt sich
das Lichtdurch trittsfenster mit höherer Präzision als nach den herkömmlichen
Verfahren ausbilden. Ähnlich
wird der aus dem Lichtemissionslinsenaufnahmebereich 23a in
den Einsinkabschnitt 23e längs einer Lichtachse auf der
Lichtemissionsseite gerichtete Laserstrahl, wie durch den Laserstrahl
L2 gezeigt, auf die lichtemissionsseitige Lichtabschirmungsplatte
eingestrahlt. Auch hier wird, ähnlich
wie oben, durch geeignetes Bewegen des in der Figur nicht gezeigten
XYθ-Tischs
ein Lichtdurchtrittsfenster mit einer vorgeschriebenen Form als
eine Öffnung
in der lichtemissionsseitigen Lichtabschirmungsplatte 41 ausgebildet.
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Als
Nächstes
ist eine Seitenschnittansicht eines Halters für einen photoelektrischen Sensor
des Reflexionstyps nach Ausbildung des Lichtdurchtrittsfensters
in 6 gezeigt. Gemäß diesem
Beispiel ist, wie aus der Figur deutlich wird, ein Lichtdurchtrittsfenster 41a als Öffnung in
der Lichtabschirmungsplatte 41 und ein Lichtdurchtrittsfenster 42a als Öffnung in
der Lichtabschirmungsplatte 42 ausgebildet. Auch können für den Querschnittsaufbau
der in der Figur gezeigten Lichtabschirmungsplatten 41 und 42 zahlreiche
Abwandlungen, wie etwa eine Glasplatte mit einem aufgedampften Chromfilm
auf einer Oberfläche
oder eine Metallplatte mit einem dünnen Laserbearbeitungsbereich,
in Betracht gezogen werden.
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Als
Nächstes
ist in 7 eine Seitenschnittansicht
eines Element- und Linsenaufbaus 20 als eines Halters für einen
photoelektrischen Sensor des Reflexionstyps gezeigt, wobei die Anbringung
des Lichtemissionselements, des Lichtempfangselements und der Linse
abgeschlossen ist. Wie aus der Figur deutlich wird, ist in dieser
Situation die Linsenplatte 21 an der Vorderseite des Halters 23 und
eine Lichtemissions- und -empfangsbasisplatte an der Rückseite
des Halters 23 angebracht. Wie weiter oben beschrieben,
sind der Lichtemissions linsenabschnitt 21a und der Lichtempfangslinsenabschnitt 21b auf
der Rückseite
der Linsenplatte 21 ausgebildet. Der Lichtemissionslinsenabschnitt 21a ist
daher in dem Lichtemissionslinsenaufnahmeabschnitt 23a, der
in der Vorderseite des Einsinkabschnitts 23e angeordnet
ist, wobei der Lichtempfangslinsenabschnitt 21b in einem
Lichtempfangslinsenaufnahmeabschnitt 23b aufgenommen ist,
der in der Vorderseite des Einsinkabschnitts 23f angeordnet
ist. Ferner kann für
das Anbringen der Linsenplatte 21 und des Halters 23 beispielsweise
ein Presspassaufbau unter Verwendung von Stiften und Löchern oder
ein Klebeaufbau verwendet werden. Andererseits sind ein Lichtemissionselement 22a und
ein Lichtempfangselement 22b auf der Lichtemissions- und
-empfangsbasisplatte 22 angebracht. Das Lichtemissionselement 22a ist
in dem Lichtemissionselementaufnahmebereich 23c aufgenommen,
während
das Lichtempfangselement im Lichtempfangselementaufnahmebereich 23d aufgenommen
ist. Ferner kann zur Anbringung der Lichtemissions- und -empfangsbasisplatte 22 und
des Halters 23 beispielsweise ein Presspassaufbau unter
Verwendung von Stiften und Löchern
oder auch ein Klebeaufbau verwendet werden.
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Gemäß dem so
aufgebauten Element- und Linsenaufbau 20 sind ein optisches
Lichtemissionssystem und ein optisches Lichtempfangssystem oben
und unten in zwei Reihen angeordnet. Das in der unteren Reihe liegende
optische Lichtemissionssystem weist einen Aufbau mit dem Lichtemissionselement 22a,
der ein Lichtdurchtrittsfenster 41a aufweisenden Lichtabschirmungsplatte 41 und
dem Lichtemissionslinsenabschnitt 21a, angeordnet in der betreffenden
Reihenfolge, auf, und wenn Licht von dem Lichtemissionselement 22a abgegeben
wird, bildet das Lichtdurchtrittsfenster 41a den Bündelquerschnitt
aus, wonach das Licht durch den Lichtemissionslinsenabschnitt 21a fokussiert
und das Licht auf ein Messobjekt eingestrahlt wird. Anders ausge drückt, wird
der Lichtemissionsbereich durch die Existenz des Lichtdurchtrittsfensters 14a geeignet begrenzt.
Andererseits weist das optische Lichtempfangssystem, das in der
oberen Reihe angeordnet ist, einen Aufbau mit dem Lichtempfangselement 22b, der
Lichtabschirmungsplatte 42 mit Lichtdurchtrittsfenster 42a und
dem Lichtempfangslinsenabschnitt 21b, angeordnet in der
betreffenden Reihenfolge, auf. Wenn Licht durch das Messobjekt reflektiert
wird, macht der Lichtempfangslinsenabschnitt 21b das Licht
konvergent, bildet das Lichtdurchtrittsfenster 42a den
Bündelquerschnitt
aus und wird das Licht dann auf das Lichtempfangselement 22b eingestrahlt.
Das auf das Lichtempfangselement 22b eingestrahlte Licht
weist daher den durch das Lichtdurchtrittsfenster 42a begrenzten
Bereich auf, und Fremdlicht und dergleichen werden von einer Einführung in
das Lichtempfangselement 22b ausgeschlossen.
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Ferner
kann in diesem Beispiel, da der Halter 23 und die Lichtabschirmungsplatten 41 und 42 getrennte
Komponenten sind, durch ausgewähltes
Anbringen der Lichtabschirmungsplatten 41 und 42 der photoelektrische
Sensor gemäß der Erfindung
sowohl Kunden gerecht werden, die das Lichtdurchtrittsfenster verlangen,
als auch Kunden, die das Lichtdurchtrittsfenster nicht verlangen,
wobei ein gemeinsamer Halter verwendet wird. Ferner kann für Kunden,
die das Lichtdurchtrittsfenster verlangen, der photoelektrische
Sensor gemäß der Erfindung beliebigen
Anforderungen von Kunden angepasst werden, da ein Lichtdurchtrittsfenster
beliebiger Formen und Größen verarbeitet
werden kann. Da ferner der Halter 23 und die Lichtabschirmungsplatten 41 und 42 aus
getrennten Materialen aufgebaut werden können, lässt sich die Bearbeitungspräzision der Lichtdurchtrittsfenster 41a und 42a verbessern,
indem als Material für
die Lichtabschirmungsplatte 41 und 42 Materialien
verwendet werden, die sich durch Laserbearbeitung einfach bearbeiten
lassen.
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Als
Nächstes
wird ein anderes Beispiel für ein
Verfahren zur Herstellung des Element- und Linsenaufbaus 20 im
Einzelnen unter Bezug auf die 13 bis 20 erläutert.
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Eine
Seitenschnittansicht eines Halters für einen photoelektrischen Sensor
vom Reflexionstyp, bei welchem die Lichtabschirmungsplatte nicht
angebracht worden ist, ist in 13 gezeigt.
Ferner ist eine Seitenschnittansicht eines Halters für einen
photoelektrischen Sensor des Reflexionstyps nach Anbringen der Lichtabschirmungsplatte
und vor Laserbearbeitung in 14 gezeigt.
Der Halter für
einen photoelektrischen Sensor des Reflexionstyps, wie er in den 13 bis 18 gezeigt ist, weist die lichtempfangsseitige
Lichtabschirmungsplatte 42 angeordnet zur Abschirmung des
Lichtwegs vom Lichtempfangslinsenabschnitt 23a zum Lichtempfangselementaufnahmeabschnitt 23c,
auf, und hat damit im Wesentlichen den gleichen Aufbau wie der Halter
für einen photoelektrischen
Sensor des Reflexionstyps, wie er in den 3 bis 7 gezeigt
ist, mit Ausnahme eines Punktes, nach dem die lichtempfangsseitige
Lichtabschirmungsplatte 42, unparallel (unter einem Neigungswinkel)
hinsichtlich des Lichtempfangslinsenabschnitts 21b und
des Lichtempfangselements 22b angeordnet ist.
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Als
Nächstes
ist eine Seitenschnittansicht eines Halters für einen photoelektrischen Sensor
vom Reflexionstyp, bei welchem ein Neigungswinkel der Lichtabschirmungsplatte
berechnet worden ist, in 15 gezeigt,
wobei ein anderes Beispiel für
einen Halter für
einen photoelektrischen Sensor des Reflexionstyps in einem Laserbearbeitungsvorgang,
befestigt an einer Spannvorrichtung, in 16 gezeigt ist. In 19 ist ferner ein Flussdiagramm gezeigt, welches
einen Vorgang einer Ausbildung eines Lichtdurchtrittsfensters in
einer geneigten Lichtabschirmungsplatte durch Laserbearbeitung wiedergibt.
Der Halter 23 ist an einem in der Figur nicht gezeigten XYθ-Tisch einer
Laserbearbeitungsvorrichtung durch eine Spannvorrichtung 60 nach
Anbringung der lichtemissionsseitigen Lichtabschirmungsplatte 41 und der
lichtempfangsseitigen Lichtabschirmungsplatte 42 im Anbringungsabschnitt 43 für die lichtemissionsseitige
Lichtabschirmungsplatte bzw. im Anbringungsabschnitt 44 für die lichtempfangsseitige
Lichtabschirmungsplatte befestigt. Gemäß dem in der Figur gezeigten
Beispiel ist der Halter 23 in horizontaler Position mit
nach unten weisenden Linsenaufnahmebereichen 23a und 23b befestigt,
wobei eine Ursprungsmarkierung gelesen wird und der Bearbeitungsursprung
für X und
Y einjustiert wird (Schritt 2001). Nach Einjustierung des
Bearbeitungsursprungs werden zwei Oberflächenpunkte der lichtempfangsseitigen
Lichtabschirmungsplatte 42 fokussiert und die Lageinformation
der zwei Punkte gespeichert (Schritt 2002, Schritt 2003).
Dann werden gemäß den Koordinaten
der beiden Punkte das Ausmaß der
X- und Y-Bewegung und die Neigung ϕ in Z-Richtung zwischen
den beiden Punkten berechnet, und die Z-Position wird anhand von
X-, Y-Information der Laserbearbeitungsposition berechnet (Schritt 2004,
Schritt 2005). Eine Laserbearbeitungsvorrichtung wird betätigt, nachdem
ein Lasereinstrahlungslinsenfokus so einjustiert ist, dass er der
Z-Positionsinformation entspricht, wonach der von der Laserstrahlvorrichtung
eingestrahlte Laserstrahl L4 auf die Lichtabschirmungsplattenanbringungspositionsseite des
Halters 23 eingestrahlt und die Laserbearbeitung durchgeführt wird
(Schritt 2006, Schritt 2007). Dabei wird durch
geeignetes Steuern der Bewegung des in der Figur nicht gezeigten
XYθ-Tischs ein Lichtdurchtrittsfenster
vorgeschriebener Form in der lichtempfangsseitigen Lichtabschirmungsplatte 42 ausgebildet.
Hierbei lassen sich als vorgeschriebene Form verschiedene Formen,
wie etwa ein Schlitz- (linearer) Typ, ein rechteckiger Typ, ein
Kreistyp, ein Ellipsentyp und ein Halbkreistyp, durch Steuern der
Bewegung des XYθ-Tischs
erzielen.
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Als
Nächstes
ist eine Seitenschnittansicht eines Halters für einen photoelektrischen Sensor
des Reflexionstyps nach Ausbildung des Lichtdurchtrittsfensters
in 17 gezeigt. In diesem
Beispiel sind durch Laserbearbeitung im vorhergehenden Prozess ausgebildete
Lichtdurchtrittsfenster 41b und 42b als Öffnungen
in der lichtemissionsseitigen Lichtabschirmungsplatte 41 und
lichtempfangsseitigen Lichtabschirmungsplatte 42 ausgebildet.
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Eine
Seitenschnittansicht eines anderen Beispiels eins Element- und Linsenaufbaus 20 als
Halter für
einen photoelektrischen Sensor vom Reflexionstyp, bei welchem die
Anbringung des Lichtemissionselements, des Lichtempfangselements
und der Linse abgeschlossen ist, ist in 18 gezeigt. Ein Hauptunterschied gegenüber dem
in 7 gezeigten Halter
für einen
photoelektrischen Sensor des Reflexionstyps besteht darin, dass
die lichtempfangsseitige Lichtabschirmungsplatte 42 in
einer geneigten Stellung gehalten wird. Ein Vergleich zwischen einer
Kurve, die empfangenes Licht bei in geneigter Position gehaltener
Lichtabschirmungsplatte der Lichtempfangsseite darstellt, und einer
Kurve, die Empfangslicht bei in paralleler Position gehaltener Lichtabschirmungsplatte
der Lichtempfangsseite darstellt, ist in 20 gezeigt. Wie aus der Figur deutlich
wird, sind die Lichtempfangsempfindlichkeiten innerhalb des Nachweisbereichs
für beide
Arten von Lichtabschirmungsplatte ungefähr gleich groß, aber
die Lichtempfangsempfindlichkeit für den Nicht-Nachweisbereich
ist für
die in einer geneigten Position gehaltene Lichtabschirmungsplatte
extrem niedrig, weshalb die in geneigter Position gehaltene Lichtabschirmungsplatte
bei der Begrenzung des Abstandes überlegen ist. Anders ausgedrückt, lässt sich
ein photoelektri scher Sensor des Reflexionstyps, der hohe Abstandsbegrenzungseigenschaft
hat, unter Gewinnung einer extrem scharfen Lichtempfangseigenschaft
herstellen, bei welcher die Menge an empfangenem Licht außerhalb
des Nachweisbereichs rasch abnimmt.
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Als
Nächstes
ist in 8 eine Seitenschnittansicht
eines Halters für
einen photoelektrischen Sensor des Transmissionstyps, die einen
Schlitzausbildungsvorgang für
eine Lichtabschirmungsplatte, die als ein Körper mit dem Halter ausgebildet
ist, durch Laserbearbeitung zeigt, gezeigt. Wie in der Figur gezeigt,
wird in diesem Beispiel der Lichtabschirmungsplattenabschnitt 71d als
ein Körper
bei der Herstellung des Halters 71 ausgebildet (Spritzguss). Anders
ausgedrückt,
wird in dem Einsinkabschnitt 71c, der den Lichtemissionslinsenaufnahmebereich 71a und
den Lichtemissionselementaufnahmebereich 71b verbindet,
zur Abschirmung des Einsinkabschnitts 71c ein Lichtabschirmungsplattenabschnitt 71d beim
Spritzgießen
des Halters 71 als ein Körper ausgebildet. Die Dicke
des Lichtabschirmungsplattenabschnitts 71d wird für ein Zulassen
der Ausbildung eines Durchdringungsloches beim Einstrahlen eines
Laserstrahls L3 geeignet ausgewählt.
Anders ausgedrückt,
werden der Halter 71 und der Lichtabschirmungsplattenabschnitt 71d beim
Spritzgießvorgang
als ein Körper
ausgebildet.
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Gemäß diesem
Aufbau wird ähnlich
der weiter oben auf die 5 Bezug
nehmenden Beschreibung der Halter 71 über eine Spannvorrichtung 80 an einem
XYθ-Tisch
einer Laserbearbeitungsvorrichtung befestigt, wonach durch Steuerung
der Bewegung des Tisches während
der Lasereinstrahlung ein Lichtdurchtrittsfenster mit einer vorgeschriebenen Form
in dem Lichtabschirmungsplattenabschnitt 71d als Öffnung ausgebildet
werden kann.
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Als
Nächstes
ist in 9 ein Aufbau
eines Halters für
einen photoelektrischen Sensor des Transmissionstyps mit einem in
einer Lichtabschirmungsplatte ausgebildeten Schlitz, die als ein
Körper mit
dem Halter durch Laserbearbeitung ausgebildet ist, gezeigt. Wie
in der Figur gezeigt, ist eine Linsenplatte 72 auf der
Vorderseite des Halters 71 und eine Lichtemissionsbasisplatte
auf der Rückseite
des Halters 71 angebracht. Auf der Rückseite der Linsenplatte 72 ist
ein Lichtemissionslinsenabschnitt 72a ausgebildet, und
dieser Lichtemissionslinsenabschnitt 72a ist in dem Lichtemissionslinsenaufnahmebereich 71a aufgenommen.
Andererseits ist ein Lichtemissionselement 73a auf der
Basisplatte 73 angebracht, und das Lichtemissionselement 73a ist
in einem Lichtemissionselementaufnahmebereich 71b des Halters
aufgenommen. Der Lichtemissionslinsenaufnahmebereich 71a und
der Lichtemissionselementaufnahmebereich 71b sind über den
Einsinkabschnitt 71c verbunden, und der Lichtabschirmungsplattenabschnitt 71d mit
dem Lichtdurchtrittsfenster 71g ist in dem Einsinkabschnitt 71c angeordnet.
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Daher
wird, was das vom Lichtemissionselement 73a eingestrahlte
Licht anbelangt, das eingestrahlte Licht hinsichtlich des Querschnittsaufbaus durch
das Lichtdurchtrittsfenster 71g geformt, dann das Licht
durch den Lichtemissionslinsenabschnitt 72a fokussiert
und auf ein Messobjekt eingestrahlt. Gemäß dem Element- und Linsenaufbau
dieser Art kann eine beliebige Form für das Lichtdurchtrittsfenster 71g gemäß dem Arbeiten
der Laserbearbeitungsvorrichtung eingestellt werden, durch Erstellung
von zwei Arten von Haltern, einem Halter mit einem Lichtabschirmungsplattenabschnitt 71d und
einem Halter ohne einen Lichtabschirmungsplattenabschnitt, durch
Erstellung von zwei Arten von Metallformungen, einer Metallformung
mit einem Lichtabschirmungsabschnitt 71d und einer Metallformung
ohne Lichtabschirmungsabschnitt 71d. Daher kann ein Element- und Linsenaufbau 70 mit
einem Lichtdurchtrittsfenster verschiedener Formen bei niedrigen
Kosten hergestellt werden.
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Als
Nächstes
ist eine Erläuterungsfigur,
die Abwandlungen von Schlitzausbildungsverfahren unter Verwendung
einer Laserbearbeitung zeigt, in 10 gezeigt. 10(a) zeigt ein Verfahren,
welches einen Lochöffnungsvorgang
bei einer Lichtabschirmungsplatte aus Kunststoff mit einer Laserbearbeitungsvorrichtung
durchführt,
wobei ein Durchgangsloch 81a durch Durchführen einer
Laserbearbeitung auf der dünnen
Laserabschirmungsplatte 81 ausgebildet wird. Dieses Verfahren
ist bevorzugt für den
Lichtabschirmungsplattenabschnitt 71d, der als ein Körper ausgebildet
ist, wie weiter oben unter Bezug auf die 8 und 9 beschrieben.
Anders ausgedrückt,
wird der Lichtabschirmungsplattenabschnitt 71d bei der
Ausbildung des Halters 71 durch Spritzgießen ausgebildet,
und ein Durchgangsloch wird darin durch Einstrahlen eines Laserstrahls
auf den Lichtabschirmungsplattenabschnitt 71d ausgebildet.
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10(b) zeigt ein Verfahren
der Ausbildung eines Lichtdurchtrittsfensters als eine Öffnung durch Laserbearbeitung
in einer dünnen
Metallplatte. In diesem Beispiel wird ein galvanisch auf einer Oberfläche einer
dünnen
Metallplatte 82 ausgebildeter Metallfilm 83 erstellt
und ein Lichtdurchtrittsfenster als Öffnung durch Einstrahlen eines
Laserstrahls auf einen dünnen
Plattenbereich 84 und Ausbilden eines Durchgangslochs 94a ausgebildet.
Ferner dient ein galvanisch ausgebildeter Metallfilm 83 zur
Verstärkung
und Aufrechterhaltung der Steifigkeit beim Presseinpassen in die
Lichtabschirmungsplattenanbringungsschlitze 23i und 23j.
Vorzugsweise ist die Dicke der dünnen
Metallplatte 82 ungefähr
10 μm bis 0,2
mm und die Dicke des galvanisch erzeugten Metallfilms ungefähr 0,5 mm
bis 2,0 mm.
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10(c) zeigt ein Verfahren
zur Ausbildung eines Lichtdurchtrittsfensters durch Durchführen einer
Laserbearbeitung auf einem abgeschiedenen Metallfilm. In diesem
Fall wird ein aufgedampfter Film aus Chrom auf einer Oberfläche einer
Glasplatte 85 ausgebildet, wonach ein Lichtdurchtrittsfenster
durch Ausbilden eines Bereichs 86a mit entferntem Chrom durch
Einstrahlen eines Laserbündels
ausgebildet wird. In diesem Beispiel wird der aufgedampfte Chromfilm 86 durch
die Einstrahlung eines Laserbündels
sublimiert und entfernt, und das Lichtdurchtrittsfenster lässt sich
einfach ausbilden. Außerdem
kann durch Verwenden einer Glasplatte 85, die optische Mehrfachschichten
aufweist, die Glasplatte 85 selbst optische Filtereigenschaften
haben, woraus sich der Vorteil ergibt, dass kein getrenntes optisches
Filter erstellt werden muss. Als Material für die Glasplatte 85 ist
ferner ein Material wie BK7 oder B270 bevorzugt, und die bevorzugte
Dicke beträgt
ungefähr
0,5 mm bis 2,0 mm.
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Dementsprechend
kann ein Lichtdurchtrittsfenster mit einer beliebigen Form auf der
Lichtabschirmungsplatte mit hoher Präzision durch geeignetes Auswählen aus
den in den 10(a) bis (c) gezeigten Verfahren ausgebildet
werden.
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Ferner
wird gemäß den 10(a) bis (c) das Lichtdurchtrittsfenster durch
Durchführen
einer Laserbearbeitung auf entweder einer dünnen Platte oder einem dünnen Film, (a) einer dünnen Kunststoffplatte 81, (b) einer dünnen Metallplatte
und (c) einem aufgedampften
Chromfilm durchgeführt,
weshalb eine Öffnung äquivalent
einem Schneidentyp gewonnen werden kann.
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Als
Nächstes
ist in 11 eine Systemkonfiguration
einer Laserbearbeitungseinrichtung gezeigt. Wie in der Figur gezeigt,
umfasst die Laserbearbeitungsvorrichtung 90 eine Rechenverarbeitungseinheit 91,
eine Laserbearbeitungseinheit 92, und eine optische Erkennungseinheit 93.
Die Rechenverarbei tungseinheit 91 umfasst CAD-Daten 91a und
eine Laser/Werkstück-NC-Einheit 91b.
Ferner umfasst die Laserbearbeitungseinheit 92 eine Lasereinheit 92a, eine
Spannungsversorgungseinheit 92b, eine Kühleinheit 92c, einen
Spiegel 92d, eine Fokussierungslinse 92e und eine
XYθ-Tischeinheit.
Die XYθ-Tischeinheit
umfasst hierbei einen X-Richtungs-Tisch 92f, einen Y-Richtungs-Tisch 92g und
einen θ-Richtungs-Tisch 92h.
Mit einer horizontalen Referenzebene sind diese Tische 92f bis 92h in
der Lage, eine Lagebestimmung in jeder der X-Richtung, Y-Richtung und
einer Drehrichtung mit einer vertikalen Achse als Mitte (θ-Richtung)
zu steuern. Das Werkstück
W wird dann auf den θ-Richtungs-Tisch 92h gelegt.
Gemäß der Erfindung
entspricht hierbei ein Kunststoffhalter 23 oder 71 dem
Werkstück
W.
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Andererseits
umfasst die optische Erkennungseinheit 93 eine Spannungsversorgungseinheit 93a für die Beleuchtung,
einen Halbspiegel 93b und eine Kamera 93c, die
eine CCD und dergleichen enthält.
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Gemäß obigem
Aufbau steuert, wenn die Laserbearbeitungsvorrichtung 90 zu
arbeiten beginnt, die Laser/Werkstück-NC-Einheit 91b geeignet die Bewegung
des Werkstücks
W durch geeignetes Steuern des X-Richtungs-Tischs 92f,
des Y-Richtungs-Tischs 92g und
des θ-Richtungs-Tischs 92h gemäß den CAD-Daten 91a.
Die Position des Werkstücks
W wird hierbei beruhend auf der Information von der Kamera 93c gesteuert.
Andererseits wird von der Lasereinheit 92a eingestrahltes
Laserlicht durch den Spiegel 92d direkt nach unten reflektiert
und dann durch die Fokussierungslinse 92e fokussiert und
auf die Oberfläche
des Werkstücks
W eingestrahlt. Dadurch werden, wie weiter oben unter Bezug auf
die 5 und 8 beschrieben, die Lichtdurchtrittsfenster 41a, 42a und 71g auf
der Lichtabschirmungsplatte 41, 42 oder dem Lichtabschirmungsplattenabschnitt 71 ausgebildet.
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Ein
Flussdiagramm, welches einen Software-Aufbau der Rechenverarbeitungseinheit 91 zeigt, ist
in 12 gezeigt. Wie in
der Figur gezeigt, wartet, wenn das Werkstück angebracht ist, die Vorrichtung entweder
darauf, dass der Startschalter eingeschaltet wird, oder sie wird
durch eine Autostartfunktion gestartet (Schritt 101), wonach
CAD-Daten gelesen werden (Schritt 102). Hierauf werden
nach Rückkehr der
XYθ-Tischvorrichtung
zurück
zum Ursprung (Schritt 103) die Bewegung in die Bearbeitungsposition
(Schritt 104) und die Laserbearbeitung (Schritt 105)
wiederholt ausgeführt.
Danach wird nach Abschluss der vorgesehenen Bearbeitung gemäß den CAD-Daten
das Werkstück
abgezogen (Schritt 106), und ein Vorgang für einen
Halter ist abgeschlossen. Durch Wiederholen des gleichen Vorgangs
kann die Ausbildung eines Lichtdurchtrittsfensters für diese Art
von photoelektrischem Sensor in dem Stil für die Produktion einer bestimmten
Marke durchgeführt werden.
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Gemäß der oben
beschriebenen Ausführungsform
kann, da ein Lichtdurchtrittsfenster, wie ein Schlitz, auf dem Halter
unter Verwendung der Laserbearbeitungstechnik ausgebildet wird,
jede Form von Lichtdurchtrittsfenster, wie etwa ein kreisförmiges Loch,
ein quadratisches Loch, oder irgendeine nicht normale Form, vorgesehen
werden. Ferner kann durch Ausbildung eines anders geformten Lichtdurchtrittsfensters
in einer Nachbearbeitung ein Halter mit einer Lichtdurchtrittsöffnung anderer
Form selbst für
nur ein Exemplar hergestellt werden, womit die Arten von Haltern
und die Lagerhaltungen vermindert werden können.
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Da
ferner ein Produkt mit einem Lichtdurchtrittsfenster beliebiger
Form und Größe durch
Laserbearbeitung einer Lichtabschirmungsplatte hergestellt wird,
kann die Menge an Arten von Lichtabschirmungsplattenmaterial und
Haltern ohne angebrachter Lichtabschirmungsplatte vermindert werden.
Infolgedessen wird das Herstellungsvolumen für jeden Typ erhöht, und
die Kosten des Lichtabschirmungsplattenmaterials und des Halters
ohne angebrachte Lichtabschirmungsplatte werden infolge des Massenfertigungseffekts
gesenkt, was zu einem Vorteil der Kostenverminderung für den photoelektrischen Sensor
selbst führt.
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Da
ferner die Verarbeitung für
Lichtdurchtrittsfenster direkt auf dem Halter durchgeführt wird, ist
die Lageexaktheit für
das Lichtdurchtrittsfenster verbessert. Genauer war im Falle der
Festlegung von Größe und Form
des Lichtdurchtrittsfensters unter Verwendung herkömmlicher
Metallformung die Lagegenauigkeit ungefähr ± 0,05 mm. Andererseits kann im
Falle einer direkten Ausbildung des Lichtdurchtrittsfensters durch
Laserbearbeitung gemäß der Erfindung
die Lagegenauigkeit kleiner oder gleich ± 0,03 mm sein.
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Auch
hat sich durch Nachbearbeitung des Lichtdurchtrittsfensters ein
weiterer Vorteil bestätigt, wonach
die optische Leistung verbessert wurde, da die Lagebeziehung zwischen
dem Lichtemissions- oder Lichtempfangselement und der Linse mit
höherer
Präzision
konfiguriert werden kann.
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Auch
lässt sich
eine Öffnung
entsprechend einem Schneidentyp gewinnen, da das Lichtdurchtrittsfenster
durch Laserbearbeitung entweder einer dünnen Platte oder einer Dünnschicht
ausgebildet wird.
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Auch
kann durch die Laserbearbeitung gemäß der Erfindung das Lichtdurchtrittsfenster
auf einer Lichtabschirmungsplatte ausgebildet werden, die in einer
geneigten Position gehalten wird. Ein photoelektrischer Sensor vom
Reflexionstyp mit einer in geneigter Lage gehaltenen Lichtabschirmungsplatte gewinnt
extrem scharfe Lichtempfangseigenschaften und hat deshalb den Vorteil
einer starken Verbesserung der Abstandsbegrenzungseigenschaften.
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Auch
kann im Falle eines auf eine Oberfläche einer Glasplatte zur Verwendung
als Lichtabschirmungsplatte aufgedampften Metallfilms durch Auswahl
des Materials für
die Glasplatte selbst so, dass sie optische Bandpassfiltereigenschaften
hat, womit die Lichtabschirmungsplatte die bloße Funktion eines Lichtdurchtrittsfensters übersteigt,
ein weiterer Vorteil einer neuartigen technischen Verbesserung erwartet
werden, da das Fenster selbst verschiedene optische Eigenschaften
haben kann.
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Wie
aus der obigen Beschreibung klar ist, ist es gemäß der Erfindung möglich, einen
photoelektrischen Sensor mit einer Lichtdurchtrittsöffnung beliebiger
Form rasch, bei niedrigen Kosten und mit hoher Präzision sowie
ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Produkts anzubieten.