JP2004301787A - 基板またはパネル検査装置と基板またはパネル検査方法と基板またはパネル検査プログラム - Google Patents
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Abstract
【課題】検査対象物の欠陥を検出する性能を向上させることのできる基板またはパネル検査方法と基板またはパネル検査プログラムと基板またはパネル検査装置とを提供しようとする。
【解決手段】従来の光を透過するパターンが一様に配列した検査対象物の欠陥を検出する基板またはパネル検査方法にかわって、検査対象物をCCDカメラの視野に配置して前記CCDカメラの画素並びの直交方向へ相対移動させ、所定のトリガータイミングに従って前記CCDカメラの受光データを検査対象物の光の透過光量を表す値の2次元集合である行列データとして取り込み、前記行列データの各列毎に該列に並ぶ要素値の集合を演算して得られる列代表値を求め、前記列代表値を用いて前記行列データの各行毎に該行に並ぶ要素値を正規化するものとした。
【選択図】 図3
【解決手段】従来の光を透過するパターンが一様に配列した検査対象物の欠陥を検出する基板またはパネル検査方法にかわって、検査対象物をCCDカメラの視野に配置して前記CCDカメラの画素並びの直交方向へ相対移動させ、所定のトリガータイミングに従って前記CCDカメラの受光データを検査対象物の光の透過光量を表す値の2次元集合である行列データとして取り込み、前記行列データの各列毎に該列に並ぶ要素値の集合を演算して得られる列代表値を求め、前記列代表値を用いて前記行列データの各行毎に該行に並ぶ要素値を正規化するものとした。
【選択図】 図3
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光を透過または発光する特定のパターンが一様に配列した基板またはパネルである検査対象物の欠陥を検出する基板またはパネル検査方法と基板またはパネル検査プログラムと基板またはパネル検査装置とに係る。特に液晶パネル等のフラットパネルディスプレイに用いられるカラーフィルタ基板に適しており、抽出した輝度データから欠陥を見つけるためのデータ処理手順に特徴のある基板またはパネル方法と基板またはパネル検査プログラムと基板またはパネル検査装置とに関する。
【0002】
【従来の技術】
カラー液晶ディスプレイにおける液晶パネルの構造としては、ガラス基板に透明電極及びTFTマトリックス層、液晶層、透明電極、カラーフィルタ、ガラス基板を積層し、その両ガラス基板の上下に偏光板を設けて構成される。
【0003】
カラーフィルタは、R(赤)、G(緑)、B(青)の色ピクセルがドット単位で基板にコーティングされ配列されている。その配列方式には、RGBが碁盤の目状に整列した縦ストライプ方式、RGBが分散したモザイク方式、等がある。
カラーフィルタ基板の検査製作工程においては、このピクセルを透過する光の輝度が、所定の範囲内に収まるように製作され、その検査が行われる。
カラーフィルタ基板は、略四辺形の板状構造をしている。カラーフィルタ基板の色ピクセルの一単位を絵素(パターンに相当する。)と呼んでいる。
【0004】
図1と図2は、基板またはパネル検査方法と基板またはパネル検査装置を説明する図である。各絵素の輝度はイメージセンサを用いて検出される。イメージセンサは、例えば、複数個のCCD素子(検出素子)を一列に並べたもので、このCCD素子の一単位を画素と呼び、この画素の出力を画素データと呼んでいる。この様なイメージセンサをラインセンサと呼ぶ。
ラインセンサを、画素の並びがカラーフィルタ基板の一辺の方向(説明の便宜上、横方向と呼ぶ。)に沿うように、カラーフィルタ基板の上面に配置する。光源を、ラインセンサに対向する様に、カラーフィルタ基板の下面に配置する。一般に光源は、発光体が線上に伸びたもの(ライン光源と呼ぶ。)を用いる。
【0005】
ラインセンサの画素の並びに直交する向き(縦方向)に、ラインセンサとカラーフィルタ基板とを一定速度で相対移動させる。所定のタイミングでラインセンサの画素データを取り込み、画素データを保存する。画素の配列ピッチは絵素の配列ピッチよりも小さいので、一つの絵素に対してM×Nの画素データが記録される。
発明者らは、特開平8−128920で、基板またはパネル検査装置の構造を開示した。
また、発明者らは、特開平9−89660で、この画素データから絵素単位の透過光量(以下、絵素データとよぶ。)を求める手法を開示した。またさらに、発明者らは、特開平9−292307で、この画素データから絵素単位の透過光量を高速に求める手法を開示した。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
上述の基板またはパネル検査装置が抽出した絵素データを用いて再現した画像にモアレ縞が発生し、カラーフィルタ基板の欠陥検知性能に悪影響を及ぼすことがある。発明者らは、そのモアレ縞の発生が、カラーフィルタ基板の構成上の微細な周期性パターンやCCDカメラの画素の周期性パターンに起因するものであることを発見した。
また、画素データを取り込んだ際に、CCD画素の特性や光学系(ライン光源)の特性のばらつき、RGB毎の透過特性の差、電気ノイズ、又は回路の特性に起因するS/N比の劣化を防止するために、予めこれらの特性データを記録して、その特性データを基に取り込まれた画素データにシェーディング補正を施している。しかし、今以上に画素データおよび絵素データのS/N比を改善して、欠陥を検知する性能を向上させたいという要請があった。
さらにまた、発明者らは、ライン光源の照明光の時間的な変化が、画素データおよび絵素データのS/N比を悪化させ、欠陥を検知する性能に影響を与えていることを発見した。
【0007】
本発明は以上に述べた問題点と知見に鑑み案出されたもので、光を透過または発光する特定のパターンが一様に配列した基板またはパネルである検査対象物の欠陥を検出する従来の基板またはパネル検査方法と基板またはパネル検査プログラムと基板またはパネル検査装置とにかわって、より画素データとパターンデータのS/N比を改善して、検査対象物の欠陥を検出する性能を向上させることのできる基板またはパネル検査方法と基板またはパネル検査プログラムと基板またはパネル検査装置とを提供しようとする。
【0008】
【特許文献1】
特開平8−128920号公報
【特許文献2】
特開平9−089660号公報
【特許文献3】
特開平9−292307号公報
【0009】
【課題を解決するための機構】
上記目的を達成するため、本発明に係る光を透過または発光する特定のパターンが一様に配列した基板またはパネルである検査対象物の欠陥を検出する基板またはパネル検査方法を、検査対象物をCCDカメラの視野に配置して前記CCDカメラの画素並びの直交方向へ相対移動させる移動工程と、前記移動工程中に所定のトリガータイミングに従って前記CCDカメラの受光データを検査対象物の光の透過光量を表す値の2次元集合である行列データとして取り込むデータ取り込み工程と、前記行列データの各列毎に該列に並ぶ要素値の集合を演算して得られる列代表値を求める列代表値算定工程と、前記列代表値を用いて前記行列データの各行毎に該行に並ぶ要素値を正規化する列正規化工程と、を備えるものとした。
【0010】
上記本発明の構成により、移動工程で検査対象物をCCDカメラの視野に配置し前記CCDカメラの画素並びの直交方向へ相対移動させ、データ取り込み工程で前記移動工程中に所定のトリガータイミングに従ってCCDカメラの受光データを検査対象物の光の透過光量を表す値の2次元集合である行列データとして取り込み、列代表値算定工程で前記行列データの各列毎に該列に並ぶ要素値の集合を演算して得られる列代表値を求めるので、列代表値の集合がCCDカメラの特性の列の並び方向のばらつきに起因する光の透過光量のノイズデータを数値化でき、列正規化工程で前記列代表値を用いて前記行列データの各行毎に該行に並ぶ要素値を正規化するので、前記行列データからCCDカメラの特性の列の並び方向のばらつきに起因する光の透過光量のノイズを除去でき、検査対象物の光の透過光量を表す値のS/N比が向上する。
【0011】
さらに、本発明に係る基板またはパネル検査方法は、前記行列データの各行毎に該行に並ぶ要素値の集合を演算して得られる行代表値を求める行代表値算定工程と、前記行代表値を用いて前記行列データの各列毎に該列に並ぶ要素値を正規化する行正規化工程と、を備えるのが好ましい。
上記本発明の構成により、行代表値算定工程で前記行列データの各行毎に該行に並ぶ要素値の集合を演算して得られる行代表値を求めるので、行代表値の集合がCCDカメラの特性の行の並び方向のばらつきに起因する光の透過光量のノイズデータを数値化でき、行正規化工程で前記行代表値を用いて前記行列データの各列毎に該列に並ぶ要素値を正規化するので、前記行列データからCCDカメラの特性の行の並び方向のばらつきに起因する光の透過光量のノイズを除去でき、検査対象物の光の透過光量を表す値のS/N比が向上する。
【0012】
さらに、本発明に係る基板またはパネル検査方法は、前記行列データの要素値が検査対象物のパターン単位の透過光量であるのが好ましい。
上記本発明の構成により、前記行列データの要素値が検査対象物のパターン単位の透過光量であるので、行列データの要素値の数を少なくすることができ、データ処理が簡易になる。
【0013】
さらに、本発明に係る基板またはパネル検査方法は、前記行列データの各行毎に列の並び方向に並ぶ要素値がCCDカメラの画素並びに沿って並ぶパターンでの透過光量を表す、のが好ましい。
上記本発明の構成により、前記行列データの各行毎に列の並び方向に並ぶ要素値がCCDカメラの画素並びに沿って並ぶパターンでの透過光量を表すので、列代表値の集合がCCDカメラの画素並び方向のばらつきに起因する光の透過光量のノイズデータを数値化でき、前記行列データからCCDカメラの画素並び方向のばらつきに起因する光の透過光量のノイズを除去でき、検査対象物の光の透過光量を表す値のS/N比が向上する。
【0014】
さらに、本発明に係る基板またはパネル検査方法は、前記列代表値算定工程が、各列毎に該列に並ぶ要素値の積算値を求める積算工程を有する、のが好ましい。
上記本発明の構成により、前記列代表値算定工程が、各列毎に該列に並ぶ要素値の積算値を求める積算工程を有するので、列代表値の集合がCCDカメラの特性の列の並び方向の平均的なばらつきに起因する光の透過光量の共通するノイズデータを数値化できる。
【0015】
さらに、本発明に係る基板またはパネル検査方法は、前記列正規化工程が、列毎の前記列代表値で前記行列データの各行毎に該行に並ぶ該列の要素値を除算する除算工程を有する、のが好ましい。
上記本発明の構成により、前記列正規化工程が、列毎の前記列代表値で前記行列データの各行毎に該行に並ぶ該列の要素値を除算する除算工程を有するので、前記行列データからCCDカメラの特性の列の並び方向のばらつきに起因する光の透過光量のノイズを除去でき、特異的な信号の抽出が容易になる。
【0016】
また、上記目的を達成するため、本発明に係る光を透過または発光する特定のパターンが一様に配列した基板またはパネルである検査対象物の欠陥を検出する基板またはパネル検査装置を制御する基板またはパネル検査プログラムを、基板またはパネル検査装置に、検査対象物をCCDカメラの視野に配置し前記CCDカメラの画素並び方向の直交方向へ相対移動させる移動手順と、前記移動工程中に所定のトリガータイミングに従って前記CCDカメラの受光データを検査対象物の光の透過光量を表す値の2次元集合である行列データとして取り込むデータ取り込み手順と、前記行列データの各列毎に該列に並ぶ要素値の集合を演算して得られる列代表値を求める列代表値算定手順と、前記列代表値を用いて前記行列データの各行毎に該行に並ぶ要素値を正規化する列正規化手順と、を実行させるものとした。
【0017】
上記本発明の構成により、移動手順で検査対象物をCCDカメラの視野に配置し前記CCDカメラの画素並びの直交方向へ相対移動させ、データ取り込み工程で前記移動工程中に所定のトリガータイミングに従ってCCDカメラの受光データを検査対象物の光の透過光量を表す値の2次元集合である行列データとして取り込み、列代表値算定手順で前記行列データの各列毎に該列に並ぶ要素値の集合を演算して得られる列代表値を求めるので、列代表値の集合がCCDカメラの特性の列の並び方向のばらつきに起因する光の透過光量のノイズデータを数値化でき、列正規化手順で前記列代表値を用いて前記行列データの各行毎に該行に並ぶ要素値を正規化するので、前記行列データからCCDカメラの特性の列の並び方向のばらつきに起因する光の透過光量のノイズを除去でき、検査対象物の光の透過光量を表す値のS/N比が向上する。
【0018】
さらに、本発明に係る基板またはパネル検査プログラムは、基板またはパネル検査装置に、前記行列データの各行毎に該行に並ぶ要素値の集合を演算して得られる行代表値を求める行代表値算定手順と、前記行代表値を用いて前記行列データの各列毎に該列に並ぶ要素値を正規化する行正規化手順と、を実行させるのが好ましい。
上記本発明の構成により、行代表値算定手順で前記行列データの各行毎に該行に並ぶ要素値の集合を演算して得られる行代表値を求めるので、行代表値の集合がCCDカメラの特性の行の並び方向のばらつきに起因する光の透過光量のノイズデータを数値化でき、行正規化手順で前記行代表値を用いて前記行列データの各列毎に該列に並ぶ要素値を正規化するので、前記行列データからCCDカメラの特性の行の並び方向のばらつきに起因する光の透過光量のノイズを除去でき、検査対象物の光の透過光量を表す値のS/N比が向上する。
【0019】
さらに、本発明に係る基板またはパネル検査プログラムは、前記行列データの要素値が検査対象物のパターン単位の透過光量であるが好ましい。
上記本発明の構成により、前記行列データの要素値が検査対象物のパターン単位の透過光量であるので、行列データの要素値の数を少なくすることができ、データ処理が簡易になる。
【0020】
さらに、本発明に係る基板またはパネル検査プログラムは、前記行列データの各行毎に列の並び方向へ並ぶ要素値がCCDカメラの画素並びに沿って並ぶパターンでの透過光量を表す、のが好ましい。
上記本発明の構成により、前記行列データの各行毎に列の並び方向へ並ぶ要素値がCCDカメラの画素並びに沿って並ぶパターンでの透過光量を表すので、
列代表値の集合がCCDカメラの画素並び方向のばらつきに起因する光の透過光量のノイズデータを数値化でき、前記行列データからCCDカメラの画素並び方向のばらつきに起因する光の透過光量のノイズを除去でき、検査対象物の光の透過光量を表す値のS/N比が向上する。
【0021】
さらに、本発明に係る基板またはパネル検査プログラムは、前記列代表値算定手順が、各列毎に該列に並ぶ要素値の積算値を求める積算手順を有するのが好ましい。
上記本発明の構成により、前記列代表値算定工程が、各列毎に該列に並ぶ要素値の積算値を求める積算工程を有するので、列代表値の集合がCCDカメラの特性の列の並び方向の平均的なばらつきに起因する光の透過光量のノイズデータを数値化できる。
【0022】
さらに、本発明に係る基板またはパネル検査プログラムは、前記列正規化手順が、列毎の前記列代表値で前記行列データの各行毎に該行に並ぶ該列の要素値を除算する除算手順を有するのが好ましい。
上記本発明の構成により、前記列正規化工程が、列毎の前記列代表値で前記行列データの各行毎に該行に並ぶ該列の要素値を除算する除算工程を有するので、前記行列データからCCDカメラの特性の列の並び方向のばらつきに起因する光の透過光量のノイズを除去でき、特異的な信号の抽出が容易になる。
【0023】
また、上記目的を達成するため、本発明に係る光を透過または発光する特定のパターンが一様に配列した基板またはパネルである検査対象物の欠陥を検出する基板またはパネル検査装置を、CCDカメラを有する光学撮像系と、検査対象物を前記CCDカメラの視野に配置し前記CCDカメラの画素並びの直交方向へ相対移動させる走査系と、を備え、前記相対移動中に所定のトリガータイミングに従って前記CCDカメラの受光データを検査対象物の光の透過光量を表す値の2次元集合である行列データとして取り込み、前記行列データの各列毎に該列に並ぶ要素値の集合を演算して得られる列代表値を求め、前記列代表値を用いて前記行列データの各行毎に該行に並ぶ要素値を正規化するものとした。
【0024】
上記本発明の構成により、光学撮像系がCCDカメラを有し、走査系が検査対象物を前記CCDカメラの視野に配置し前記CCDカメラの画素並びの直交方向へ相対移動させ、前記相対移動中に所定のトリガータイミングに従ってCCDカメラの受光データを検査対象物の光の透過光量を表す値の2次元集合である行列データとして取り込み、前記行列データの各列毎に該列に並ぶ要素値の集合を演算して得られる列代表値を求め、前記列代表値を用いて前記行列データの各行毎に該行に並ぶ要素値を正規化するので、列代表値の集合がCCDカメラの特性の列の並び方向のばらつきに起因する光の透過光量のノイズデータを数値化でき、前記行列データからCCDカメラの特性の列の並び方向のばらつきに起因する光の透過光量のノイズを除去でき、検査対象物の光の透過光量を表す値のS/N比が向上する。
【0025】
さらに、本発明に係る基板またはパネル検査装置は、前記行列データの各行毎に該行に並ぶ要素値の集合を演算して得られる行代表値を求め、前記行代表値を用いて前記行列データの各列毎に該列に並ぶ要素値を正規化する、のが好ましい。
上記本発明の構成により、前記行列データの各行毎に該行に並ぶ要素値の集合を演算して得られる行代表値を求め、前記行代表値を用いて前記行列データの各列毎に該列に並ぶ要素値を正規化するので、行代表値の集合がCCDカメラの特性の行の並び方向のばらつきに起因する光の透過光量のノイズデータを数値化でき、前記行列データからCCDカメラの特性の行の並び方向のばらつきに起因する光の透過光量のノイズを除去でき、検査対象物の光の透過光量を表す値のS/N比が向上する。
【0026】
さらに、本発明に係る基板またはパネル検査装置は、前記行列データの要素値が検査対象物のパターン単位の透過光量であるが好ましい。
上記本発明の構成により、前記行列データの要素値が検査対象物のパターン単位の透過光量であるので、行列データの要素値の数を少なくすることができ、データ処理が簡易になる。
【0027】
さらに、本発明に係る基板またはパネル検査装置は、前記行列データの各行毎に列の並び方向に並ぶ要素値がCCDカメラの画素並びに沿って並ぶパターンでの透過光量を表す、のが好ましい。
上記本発明の構成により、前記行列データの各行毎に列の並び方向に並ぶ要素値がCCDカメラの画素並びに沿って並ぶパターンでの透過光量を表すので、列代表値の集合がCCDカメラの画素並び方向のばらつきに起因する光の透過光量のノイズデータを数値化でき、前記行列データからCCDカメラの画素並び方向のばらつきに起因する光の透過光量のノイズを除去でき、検査対象物の光の透過光量を表す値のS/N比が向上する。
【0028】
さらに、本発明に係る基板またはパネル検査装置は、前記列代表値が、各列毎に該列に並ぶ要素値の積算値を求めて得られる、のが好ましい。
上記本発明の構成により、前記列代表値が、各列毎に該列に並ぶ要素値の積算値を求めて得られるので、列代表値の集合がCCDカメラの特性の列の並び方向の平均的なばらつきに起因する光の透過光量のノイズデータを数値化できる。
【0029】
さらに、本発明に係る基板またはパネル検査装置は、列毎の前記列代表値で前記行列データの各行毎に該行に並ぶ該列の要素値を除算して要素値を正規化するのが好ましい。
上記本発明の構成により、列毎の前記列代表値で前記行列データの各行毎に該行に並ぶ該列の要素値を除算して要素値を正規化するので、前記行列データからCCDカメラの特性の列の並び方向のばらつきに起因する光の透過光量のノイズを除去でき、特異的な信号の抽出が容易になる。
【0030】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好ましい実施形態を、図面を参照して説明する。なお、各図において、共通する部分には同一の符号を付し、重複した説明を省略する。
【0031】
本発明の実施形態に係る基板またはパネル検査方法と基板またはパネル検査装置にその基板またはパネル検査手順を実行させる基板またはパネル検査プログラムと基板またはパネル検査装置とを説明する。図1は、本発明の実施形態に係る基板またはパネル検査装置の全体概念図である。図2は、本発明の実施形態に係る基板またはパネル検査装置の部分詳細図である。図3は、本発明の実施形態に係る基板またはパネル検査方法のフローチャート図である。
光を透過または発光する特定のパターンが一様に配列した基板またはパネルである検査対象物とは、例えば、フラットパネルディスプレイ本体やフラットパネルディスプレイを構成する基板をいう。
フラットパネルディスプレイ本体は、例えば、液晶パネルやPDPパネルや有機ELパネルである。
フラットパネルディスプレイを構成する基板は、例えば、LCD用や有機EL用のカラーフィルタ基板、TFT基板、PDP背面板である。
以下では、光を透過または発光する特定のパターンが一様に配列した基板またはパネルである検査対象物がカラーフィルタ基板であり、パターンが絵素である場合を例に説明する。
カラーフィルタ基板は、ガラス基板上にRGB夫々のフィルタが並んだものである。例えば、60μ×180μ、100μ×300μ等の大きさの絵素が、RGBに分かれて、並んでいる。例えば、768セル×1024セルの絵素が、カラーフィルタ基板2の面に配置されている。
【0032】
最初に、本発明に係る基板またはパネル検査方法を実行する基板またはパネル検査装置の構成を説明する。
基板またはパネル検査装置1は、光を透過または発光する特定のパターンが一様に配列した基板またはパネルである検査対象物の欠陥を検出する装置であって、光学撮像系10と光源系20と走査系30と画像処理装置40とで構成される。説明の容易のために、その他の補機の説明を省略する。
【0033】
光学撮像系10は、複数(例えば13台)のラインセンサ11で構成される。ラインセンサは、CCDカメラである。例えば、ラインセンサには一列に5000個の画素が並び、その画素の幅は12μである。従って、一台のラインセンサは60mmの幅を撮像できる。
ここで、説明の便宜のために、ラインセンサの画素の並び方向を横方向Xと、その直交方向を縦方向Yと呼ぶこととする。
【0034】
光源系20は、ラインセンサ11に対向して、カラーフィルタ基板2を挟んで、ラインセンサの下側に配置された光を放射する装置である。例えば、光学系20は、ライン光源21を有する。
ライン光源21から出た光は、カラーフィルタ基板2を透過して、ラインセンサ11に受光される。
【0035】
走査系30は、カラーフィルタ基板2をラインセンサ11とライン光源21との間に支持し、縦方向Yへカラーフィルタ基板2を相対移動させる装置である。
例えば、走査系30は、移動テーブル31と一対のガイドレール32と駆動装置(図示せず)とを有する。移動テーブル31は、カラーフィルタ基板を支持する構造体であり、ガイドレール32に縦方向Yに移動自在に支持される。駆動装置が、移動テーブル31を縦方向Yに移動させる。
【0036】
画像処理装置40は、光学撮像系10と光源系20と走査系30を制御して、画素データを取り込み、カラーフィルタ基板の欠陥を検査するデータ処理装置である。画像処理装置40は、主にコンピュータとインターフェースで構成され、後述する基板またはパネル検査プログラムにより基板またはパネル検査手順を実行する。
【0037】
次に、本発明に係る実施形態の基板またはパネル検査方法と基板またはパネル検査装置1にその基板またはパネル検査手順を実行させる基板またはパネル検査プログラムとを説明する。
基板またはパネル検査プログラムは、基板またはパネル検査装置に基板またはパネル検査手順を実行させる。
基板またはパネル検査手順は、移動手順S10とデータ取り込み手順S20と列代表値算定手順S30と列正規化手順S40と行代表値算定手順S50と行正規化手順S60と欠陥抽出手順S70とで構成される。
後述する行列データの各行毎に列の並び方向に並ぶ要素値がCCDカメラのセンサ並びに沿って並ぶ絵素の透過光量を表し、前記行列データの各列毎に行の並び方向に並ぶ要素値がCCDカメラの画素並びに直交して並ぶ絵素の透過光量を表すのが好ましい。
以下では、後述する行列データにおいて、各行毎に列の並び方向に並ぶデータが、カラーフィルタ基板2の横方向Xに並ぶ絵素単位の透過光量を表し、各列毎に行の並び方向に並ぶデータが、カラーフィルタ基板2の縦方向Yに並ぶ絵素単位の透過光量を表す場合を例にとり、説明する。
【0038】
移動手順S10では、カラーフィルタ基板2を互いに対向するCCDカメラ11と光源21との間に挟んでCCDカメラ11の画素並びの直交方向へ相対移動させる。
駆動装置(図示せず)が、移動テーブル31を縦方向Yへ所定の一定速度(例えば、80mm/sec)で移動する。光が、ライン光源21から射出され、カラーフィルタ基板2の絵素4を透過して、CCDカメラ11の画素3に射入する。CCDカメラ11は、射入した光の強さを画素データとして出力する。
【0039】
データ取り込み手順S20では、移動工程中S10に所定のトリガータイミングに従ってCCDカメラ11の受光データをカラーフィルタ基板2の光の透過光量を表す値の2次元集合である行列データとして取り込む。
移動テーブル31が移動する最中に、所定のトリガータイミングでCCDカメラの受光データを取り込む、
例えば、トリガータイミングのタイミングが150μsecであれば、移動デーブル31が12μ移動する度に画素データを取り込む事となる。
一つの絵素4の上に仮想の窓5を想定し、窓5を透過する光の透過光量を画素データを基に演算する。
各絵素単位の光の透過光量を行列データとしてまとめる。
【0040】
列代表値算定手順S30は、前記行列データの各列毎に該列に並ぶ要素値の集合を演算して得られる列代表値を求める手順である。
特に、列代表値算定手順S30が、各列毎に該列に並ぶ要素値の積算値を求める積算工程を有するのが好ましい。
ここで「要素値の集合を演算して得られる列代表値」とは、必ずしも要素値の全集合から演算される列代表値」である必要はなく、要素値の集合の持つ共通的特徴を表していれば足りる。例えば、「要素値の全集合」を所定のルールに基づいて間引いた「要素値の集合」でもよい。
「要素値の集合から演算される列代表値」は、要素値の集合の平均値、最大値、最小値、または積算値が好ましく、特に積算値または平均値が好ましい。
【0041】
列正規化手順S40は、列毎の列代表値を用いて前記行列データの各行毎に該行に並ぶ要素値を正規化する手順である。
特に、列正規化工程が、列毎の列代表値で行列データの各行毎に該行に並ぶ該列の要素値を除算する除算工程を有するのが好ましい。
例えば、行列データにおいて、列毎の列代表値(例えば、積算値や平均値)で行列データの各行毎に該行に並ぶ該当する列の要素値を除算する。
【0042】
行代表値算定手順S50は、前記行列データの各行毎に該行に並ぶ要素値の集合を演算して得られる行代表値を求める手順である。
特に、列代表値算定手順S30が、各行毎に該行に並ぶ要素値の積算値を求める積算工程を有するのが好ましい。
ここで「要素値の集合を演算して得られる行代表値」とは、必ずしも要素値の全集合から演算される行代表値」である必要はなく、要素値の集合の持つ共通的特徴を表していれば足りる。例えば、「要素値の全集合」を所定のルールに基づいて間引いた「要素値の集合」でもよい。
「要素値の集合から演算される行代表値」は、要素値の集合の平均値、最大値、最小値、または積算値が好ましく、特に積算値または平均値が好ましい。
【0043】
行正規化手順S60は、行代表値を用いて行列データの各列毎に該列に並ぶ要素値を正規化する手順である。
特に、行正規化工程が、行毎の行代表値で行列データの各列毎に該列に並ぶ該行の要素値を除算する除算工程を有するのが好ましい。
例えば、行列データにおいて、行毎の行代表値(例えば、積算値や平均値)で行列データの各列毎に該列に並ぶ該当する行の要素値を除算する。
【0044】
欠陥抽出手順S70は、上述の手順によりデータ処理された行列データを基に、カラーフィルタ基板の欠陥を発見する手順である。
例えば、しきい値を定め、そのしきい値を越えるデータをもつ絵素に欠陥があると判断する。この様にしてカラーフィルタ基板にある欠陥(特にムラ欠陥)を発見することができる。
【0045】
【実施例】
次に、本発明の実施形態にかかる基板またはパネル検査方法を用いた実施例を説明する。
実施例では、行列データにおいて、各行のデータ列が横方向Xに並んだ絵素の透過光量を表し、各列のデータ列が縦方向Yに並んだ絵素の透過光量を表す。
また、行代表値、列代表値として行または列に並ぶ全データの平均値を用い、正規化のために要素値を平均値で除算した。
本実施例では、カラーフィルタ基板の絵素4の透過光量の行列データの内の一本の縦方向CCDデータ(すなわち、一つの行に並ぶデータ)に着目して説明する。
図4は、実施例を示すグラフ図その1である。図5は、実施例を示すグラフ図その2である。図6は、実施例を示すグラフ図その3である。
図4では、欠陥のないカラーフィルタ基板の行列データに縦方向正規化処理(列正規化手順に相当する。)を施した場合の、縦方向CCDデータ(点線)と処理後の正規化データ(実線)を表している。縦方向CCDデータに含まれていたノイズ成分が除去されて、正規化データが平坦になっているのが分かる。このノイズ成分は、カラーフィルタ基板の構成上の微細な横方向の周期性パターンやCCD画素の周期性パターン等の横方向の変動ノイズに起因するものであると考えられる。
【0046】
図5では、欠陥のないカラーフィルタ基板の行列データに横方向正規化処理(行正規化手順に相当する。)を施した場合の、縦方向CCDデータ(点線)と処理後の正規化データ(実線)を表している。縦方向CCDデータに含まれていたノイズ成分が除去されて、正規化データが平坦になっているのが分かる。このノイズ成分は、ライン光源の照明光や電源回路の時間的な変化等の縦方向の変動ノイズに起因するものであると考えられる。
【0047】
図6は、欠陥のあるカラーフィルタ基板の行列データに縦方向正規化処理と横方向正規化処理を順番に施した場合の、縦方向CCDデータ(点線)と処理後の正規化データ(実線)を表している。縦方向CCDデータに含まれていたノイズ成分が除去されて、正規化データに平坦なデータ列の一箇所にピークがあるのが分かる。このピークが欠陥を表している。
【0048】
実施例でわかる様に、縦方向正規化処理と横方向正規化処理を順番に施すことにより、ノイズ成分が約10分の1に抑圧された。従って、従来ノイズ成分に隠れて検出できなかった欠陥に起因するピークも発見できることとなり、欠陥を検出する分解能が、約10倍増加した。
【0049】
上述の実施形態の基板またはパネル検査方法と基板またはパネル検査プログラムと基板またはパネル検査装置とを用いれば、今以上にカラーフィルタ基板の欠陥を検出する能力を向上させることができる。
また、縦方向正規化処理を施すことで、特にカラーフィルタ基板の構成上の微細な周期性パターンやCCD画素の周期性パターンに起因するノイズが除去され、基板またはパネル検査装置が抽出した絵素データにモアレ縞が発生しなくなる。
また、縦方向正規化処理を施すことで、CCD画素の特性や光学系(ライン光源)の特性のばらつき、RGB毎の透過特性の差、電気ノイズ、又は回路の特性に起因するノイズを除去でき、欠陥の検査能力が向上する。
また、横方向正規化処理を施すことで、特に、ライン光源の証明光の時間的な変化に起因するノイズを除去でき、欠陥の検査能力が向上する。
また、縦方向正規化処理および縦方向正規化処理を施す行列データが、画素でなく絵素の透過光量を表すデータなのでデータ処理のデータ数が減少し、処理のスループットが向上する。
【0050】
本発明は以上に述べた実施形態に限られるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で各種の変更が可能である。
縦方向正規化処理および縦方向正規化処理を施す例で説明したが、これに限定されず、例えば、縦方向正規化処理および縦方向正規化処理の一方の処理だけを施しても良い。
また。行列データが絵素の透過光量を表すとしたがこれに限定されず、例えば、行列データが画素の透過光量を表してもよい。
【0051】
【発明の効果】
以上説明したように本発明の光を透過または発光する特定のパターンが一様に配列した基板またはパネルである検査対象物の欠陥を検出する基板またはパネル検査方法と検査対象物の欠陥を検出する基板またはパネル検査装置を制御する基板またはパネル検査プログラムと基板またはパネル検査装置は、その構成により、以下の効果を有する。
検査対象物の透過光量を表す行列データから列に並ぶデータを代表する列代表値を求め、その列代表値で行列データを正規化するので、列代表値の集合がCCDカメラの特性の列の並び方向のばらつきに起因する光の透過光量のノイズデータを数値化して、前記行列データからCCDカメラの特性の列の並び方向のばらつきに起因する光の透過光量のノイズを除去でき、検査対象物の光の透過光量を表す値のS/N比が向上する。
また、検査対象物の透過光量を表す行列データから行に並ぶデータを代表する行代表値を求め、その行代表値で行列データを正規化するので、行代表値の集合がCCDカメラの特性の行の並び方向のばらつきに起因する光の透過光量のノイズデータを数値化でき、前記行列データからCCDカメラの特性の行の並び方向のばらつきに起因する光の透過光量のノイズを除去でき、検査対象物の光の透過光量を表す値のS/N比が向上する。
また、前記行列データの要素値が検査対象物のパターン単位の透過光量であるので、行列データの要素値の数を少なくすることができ、データ処理が簡易になる。
また、CCDカメラの画素の並び方向と行列データの各行毎の列の並び方向を一致させたので、列代表値の集合がCCDカメラの画素並び方向のばらつきに起因する光の透過光量のノイズデータを数値化でき、前記行列データからCCDカメラの特性の画素並び方向のばらつきに起因する光の透過光量のノイズを除去でき検査対象物の光の透過光量を表す値のS/N比が向上する。
また、前記列代表値算定工程が、各列毎に該列に並ぶ要素値の積算値を求めるので、列代表値の集合がCCDカメラの特性の列の並び方向の平均的なばらつきに起因する光の透過光量のノイズデータを数値化できる。
また、列毎の前記列代表値で前記行列データの各行毎に該行に並ぶ該列の要素値を除算するので、前記行列データからCCDカメラの特性の列の並び方向のなばらつきに起因する光の透過光量のノイズを除去でき、特異的な信号の抽出が容易になる。
従って、画素データとパターンデータのS/N比をより改善して、検査対象物の欠陥を検出の性能を向上させることのできる基板またはパネル検査方法と基板またはパネル検査プログラムと基板またはパネル検査装置とを提供できる。
【0052】
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態に係る基板またはパネル検査装置の全体概念図である。
【図2】本発明の実施形態に係る基板またはパネル検査装置の部分詳細図である。
【図3】本発明の実施形態に係る基板またはパネル検査方法のフローチャート図である。
【図4】実施例を示すグラフ図その1である。
【図5】実施例を示すグラフ図その2である。
【図6】実施例を示すグラフ図その3である。
【符号の説明】
a 画素データ
b 絵素データ
c 正規化処理後の絵素データ
X 横方向
Y 縦方向
1 基板またはパネル検査装置
2 カラーフィルタ基板
3 画素
4 絵素
5 仮想の窓
10 光学撮像系
11 CCDカメラ
20 光源系
21 ライン光源
30 走査系
31 移動テーブル
32 ガイドレール
40 画像処理装置
【発明の属する技術分野】
本発明は、光を透過または発光する特定のパターンが一様に配列した基板またはパネルである検査対象物の欠陥を検出する基板またはパネル検査方法と基板またはパネル検査プログラムと基板またはパネル検査装置とに係る。特に液晶パネル等のフラットパネルディスプレイに用いられるカラーフィルタ基板に適しており、抽出した輝度データから欠陥を見つけるためのデータ処理手順に特徴のある基板またはパネル方法と基板またはパネル検査プログラムと基板またはパネル検査装置とに関する。
【0002】
【従来の技術】
カラー液晶ディスプレイにおける液晶パネルの構造としては、ガラス基板に透明電極及びTFTマトリックス層、液晶層、透明電極、カラーフィルタ、ガラス基板を積層し、その両ガラス基板の上下に偏光板を設けて構成される。
【0003】
カラーフィルタは、R(赤)、G(緑)、B(青)の色ピクセルがドット単位で基板にコーティングされ配列されている。その配列方式には、RGBが碁盤の目状に整列した縦ストライプ方式、RGBが分散したモザイク方式、等がある。
カラーフィルタ基板の検査製作工程においては、このピクセルを透過する光の輝度が、所定の範囲内に収まるように製作され、その検査が行われる。
カラーフィルタ基板は、略四辺形の板状構造をしている。カラーフィルタ基板の色ピクセルの一単位を絵素(パターンに相当する。)と呼んでいる。
【0004】
図1と図2は、基板またはパネル検査方法と基板またはパネル検査装置を説明する図である。各絵素の輝度はイメージセンサを用いて検出される。イメージセンサは、例えば、複数個のCCD素子(検出素子)を一列に並べたもので、このCCD素子の一単位を画素と呼び、この画素の出力を画素データと呼んでいる。この様なイメージセンサをラインセンサと呼ぶ。
ラインセンサを、画素の並びがカラーフィルタ基板の一辺の方向(説明の便宜上、横方向と呼ぶ。)に沿うように、カラーフィルタ基板の上面に配置する。光源を、ラインセンサに対向する様に、カラーフィルタ基板の下面に配置する。一般に光源は、発光体が線上に伸びたもの(ライン光源と呼ぶ。)を用いる。
【0005】
ラインセンサの画素の並びに直交する向き(縦方向)に、ラインセンサとカラーフィルタ基板とを一定速度で相対移動させる。所定のタイミングでラインセンサの画素データを取り込み、画素データを保存する。画素の配列ピッチは絵素の配列ピッチよりも小さいので、一つの絵素に対してM×Nの画素データが記録される。
発明者らは、特開平8−128920で、基板またはパネル検査装置の構造を開示した。
また、発明者らは、特開平9−89660で、この画素データから絵素単位の透過光量(以下、絵素データとよぶ。)を求める手法を開示した。またさらに、発明者らは、特開平9−292307で、この画素データから絵素単位の透過光量を高速に求める手法を開示した。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
上述の基板またはパネル検査装置が抽出した絵素データを用いて再現した画像にモアレ縞が発生し、カラーフィルタ基板の欠陥検知性能に悪影響を及ぼすことがある。発明者らは、そのモアレ縞の発生が、カラーフィルタ基板の構成上の微細な周期性パターンやCCDカメラの画素の周期性パターンに起因するものであることを発見した。
また、画素データを取り込んだ際に、CCD画素の特性や光学系(ライン光源)の特性のばらつき、RGB毎の透過特性の差、電気ノイズ、又は回路の特性に起因するS/N比の劣化を防止するために、予めこれらの特性データを記録して、その特性データを基に取り込まれた画素データにシェーディング補正を施している。しかし、今以上に画素データおよび絵素データのS/N比を改善して、欠陥を検知する性能を向上させたいという要請があった。
さらにまた、発明者らは、ライン光源の照明光の時間的な変化が、画素データおよび絵素データのS/N比を悪化させ、欠陥を検知する性能に影響を与えていることを発見した。
【0007】
本発明は以上に述べた問題点と知見に鑑み案出されたもので、光を透過または発光する特定のパターンが一様に配列した基板またはパネルである検査対象物の欠陥を検出する従来の基板またはパネル検査方法と基板またはパネル検査プログラムと基板またはパネル検査装置とにかわって、より画素データとパターンデータのS/N比を改善して、検査対象物の欠陥を検出する性能を向上させることのできる基板またはパネル検査方法と基板またはパネル検査プログラムと基板またはパネル検査装置とを提供しようとする。
【0008】
【特許文献1】
特開平8−128920号公報
【特許文献2】
特開平9−089660号公報
【特許文献3】
特開平9−292307号公報
【0009】
【課題を解決するための機構】
上記目的を達成するため、本発明に係る光を透過または発光する特定のパターンが一様に配列した基板またはパネルである検査対象物の欠陥を検出する基板またはパネル検査方法を、検査対象物をCCDカメラの視野に配置して前記CCDカメラの画素並びの直交方向へ相対移動させる移動工程と、前記移動工程中に所定のトリガータイミングに従って前記CCDカメラの受光データを検査対象物の光の透過光量を表す値の2次元集合である行列データとして取り込むデータ取り込み工程と、前記行列データの各列毎に該列に並ぶ要素値の集合を演算して得られる列代表値を求める列代表値算定工程と、前記列代表値を用いて前記行列データの各行毎に該行に並ぶ要素値を正規化する列正規化工程と、を備えるものとした。
【0010】
上記本発明の構成により、移動工程で検査対象物をCCDカメラの視野に配置し前記CCDカメラの画素並びの直交方向へ相対移動させ、データ取り込み工程で前記移動工程中に所定のトリガータイミングに従ってCCDカメラの受光データを検査対象物の光の透過光量を表す値の2次元集合である行列データとして取り込み、列代表値算定工程で前記行列データの各列毎に該列に並ぶ要素値の集合を演算して得られる列代表値を求めるので、列代表値の集合がCCDカメラの特性の列の並び方向のばらつきに起因する光の透過光量のノイズデータを数値化でき、列正規化工程で前記列代表値を用いて前記行列データの各行毎に該行に並ぶ要素値を正規化するので、前記行列データからCCDカメラの特性の列の並び方向のばらつきに起因する光の透過光量のノイズを除去でき、検査対象物の光の透過光量を表す値のS/N比が向上する。
【0011】
さらに、本発明に係る基板またはパネル検査方法は、前記行列データの各行毎に該行に並ぶ要素値の集合を演算して得られる行代表値を求める行代表値算定工程と、前記行代表値を用いて前記行列データの各列毎に該列に並ぶ要素値を正規化する行正規化工程と、を備えるのが好ましい。
上記本発明の構成により、行代表値算定工程で前記行列データの各行毎に該行に並ぶ要素値の集合を演算して得られる行代表値を求めるので、行代表値の集合がCCDカメラの特性の行の並び方向のばらつきに起因する光の透過光量のノイズデータを数値化でき、行正規化工程で前記行代表値を用いて前記行列データの各列毎に該列に並ぶ要素値を正規化するので、前記行列データからCCDカメラの特性の行の並び方向のばらつきに起因する光の透過光量のノイズを除去でき、検査対象物の光の透過光量を表す値のS/N比が向上する。
【0012】
さらに、本発明に係る基板またはパネル検査方法は、前記行列データの要素値が検査対象物のパターン単位の透過光量であるのが好ましい。
上記本発明の構成により、前記行列データの要素値が検査対象物のパターン単位の透過光量であるので、行列データの要素値の数を少なくすることができ、データ処理が簡易になる。
【0013】
さらに、本発明に係る基板またはパネル検査方法は、前記行列データの各行毎に列の並び方向に並ぶ要素値がCCDカメラの画素並びに沿って並ぶパターンでの透過光量を表す、のが好ましい。
上記本発明の構成により、前記行列データの各行毎に列の並び方向に並ぶ要素値がCCDカメラの画素並びに沿って並ぶパターンでの透過光量を表すので、列代表値の集合がCCDカメラの画素並び方向のばらつきに起因する光の透過光量のノイズデータを数値化でき、前記行列データからCCDカメラの画素並び方向のばらつきに起因する光の透過光量のノイズを除去でき、検査対象物の光の透過光量を表す値のS/N比が向上する。
【0014】
さらに、本発明に係る基板またはパネル検査方法は、前記列代表値算定工程が、各列毎に該列に並ぶ要素値の積算値を求める積算工程を有する、のが好ましい。
上記本発明の構成により、前記列代表値算定工程が、各列毎に該列に並ぶ要素値の積算値を求める積算工程を有するので、列代表値の集合がCCDカメラの特性の列の並び方向の平均的なばらつきに起因する光の透過光量の共通するノイズデータを数値化できる。
【0015】
さらに、本発明に係る基板またはパネル検査方法は、前記列正規化工程が、列毎の前記列代表値で前記行列データの各行毎に該行に並ぶ該列の要素値を除算する除算工程を有する、のが好ましい。
上記本発明の構成により、前記列正規化工程が、列毎の前記列代表値で前記行列データの各行毎に該行に並ぶ該列の要素値を除算する除算工程を有するので、前記行列データからCCDカメラの特性の列の並び方向のばらつきに起因する光の透過光量のノイズを除去でき、特異的な信号の抽出が容易になる。
【0016】
また、上記目的を達成するため、本発明に係る光を透過または発光する特定のパターンが一様に配列した基板またはパネルである検査対象物の欠陥を検出する基板またはパネル検査装置を制御する基板またはパネル検査プログラムを、基板またはパネル検査装置に、検査対象物をCCDカメラの視野に配置し前記CCDカメラの画素並び方向の直交方向へ相対移動させる移動手順と、前記移動工程中に所定のトリガータイミングに従って前記CCDカメラの受光データを検査対象物の光の透過光量を表す値の2次元集合である行列データとして取り込むデータ取り込み手順と、前記行列データの各列毎に該列に並ぶ要素値の集合を演算して得られる列代表値を求める列代表値算定手順と、前記列代表値を用いて前記行列データの各行毎に該行に並ぶ要素値を正規化する列正規化手順と、を実行させるものとした。
【0017】
上記本発明の構成により、移動手順で検査対象物をCCDカメラの視野に配置し前記CCDカメラの画素並びの直交方向へ相対移動させ、データ取り込み工程で前記移動工程中に所定のトリガータイミングに従ってCCDカメラの受光データを検査対象物の光の透過光量を表す値の2次元集合である行列データとして取り込み、列代表値算定手順で前記行列データの各列毎に該列に並ぶ要素値の集合を演算して得られる列代表値を求めるので、列代表値の集合がCCDカメラの特性の列の並び方向のばらつきに起因する光の透過光量のノイズデータを数値化でき、列正規化手順で前記列代表値を用いて前記行列データの各行毎に該行に並ぶ要素値を正規化するので、前記行列データからCCDカメラの特性の列の並び方向のばらつきに起因する光の透過光量のノイズを除去でき、検査対象物の光の透過光量を表す値のS/N比が向上する。
【0018】
さらに、本発明に係る基板またはパネル検査プログラムは、基板またはパネル検査装置に、前記行列データの各行毎に該行に並ぶ要素値の集合を演算して得られる行代表値を求める行代表値算定手順と、前記行代表値を用いて前記行列データの各列毎に該列に並ぶ要素値を正規化する行正規化手順と、を実行させるのが好ましい。
上記本発明の構成により、行代表値算定手順で前記行列データの各行毎に該行に並ぶ要素値の集合を演算して得られる行代表値を求めるので、行代表値の集合がCCDカメラの特性の行の並び方向のばらつきに起因する光の透過光量のノイズデータを数値化でき、行正規化手順で前記行代表値を用いて前記行列データの各列毎に該列に並ぶ要素値を正規化するので、前記行列データからCCDカメラの特性の行の並び方向のばらつきに起因する光の透過光量のノイズを除去でき、検査対象物の光の透過光量を表す値のS/N比が向上する。
【0019】
さらに、本発明に係る基板またはパネル検査プログラムは、前記行列データの要素値が検査対象物のパターン単位の透過光量であるが好ましい。
上記本発明の構成により、前記行列データの要素値が検査対象物のパターン単位の透過光量であるので、行列データの要素値の数を少なくすることができ、データ処理が簡易になる。
【0020】
さらに、本発明に係る基板またはパネル検査プログラムは、前記行列データの各行毎に列の並び方向へ並ぶ要素値がCCDカメラの画素並びに沿って並ぶパターンでの透過光量を表す、のが好ましい。
上記本発明の構成により、前記行列データの各行毎に列の並び方向へ並ぶ要素値がCCDカメラの画素並びに沿って並ぶパターンでの透過光量を表すので、
列代表値の集合がCCDカメラの画素並び方向のばらつきに起因する光の透過光量のノイズデータを数値化でき、前記行列データからCCDカメラの画素並び方向のばらつきに起因する光の透過光量のノイズを除去でき、検査対象物の光の透過光量を表す値のS/N比が向上する。
【0021】
さらに、本発明に係る基板またはパネル検査プログラムは、前記列代表値算定手順が、各列毎に該列に並ぶ要素値の積算値を求める積算手順を有するのが好ましい。
上記本発明の構成により、前記列代表値算定工程が、各列毎に該列に並ぶ要素値の積算値を求める積算工程を有するので、列代表値の集合がCCDカメラの特性の列の並び方向の平均的なばらつきに起因する光の透過光量のノイズデータを数値化できる。
【0022】
さらに、本発明に係る基板またはパネル検査プログラムは、前記列正規化手順が、列毎の前記列代表値で前記行列データの各行毎に該行に並ぶ該列の要素値を除算する除算手順を有するのが好ましい。
上記本発明の構成により、前記列正規化工程が、列毎の前記列代表値で前記行列データの各行毎に該行に並ぶ該列の要素値を除算する除算工程を有するので、前記行列データからCCDカメラの特性の列の並び方向のばらつきに起因する光の透過光量のノイズを除去でき、特異的な信号の抽出が容易になる。
【0023】
また、上記目的を達成するため、本発明に係る光を透過または発光する特定のパターンが一様に配列した基板またはパネルである検査対象物の欠陥を検出する基板またはパネル検査装置を、CCDカメラを有する光学撮像系と、検査対象物を前記CCDカメラの視野に配置し前記CCDカメラの画素並びの直交方向へ相対移動させる走査系と、を備え、前記相対移動中に所定のトリガータイミングに従って前記CCDカメラの受光データを検査対象物の光の透過光量を表す値の2次元集合である行列データとして取り込み、前記行列データの各列毎に該列に並ぶ要素値の集合を演算して得られる列代表値を求め、前記列代表値を用いて前記行列データの各行毎に該行に並ぶ要素値を正規化するものとした。
【0024】
上記本発明の構成により、光学撮像系がCCDカメラを有し、走査系が検査対象物を前記CCDカメラの視野に配置し前記CCDカメラの画素並びの直交方向へ相対移動させ、前記相対移動中に所定のトリガータイミングに従ってCCDカメラの受光データを検査対象物の光の透過光量を表す値の2次元集合である行列データとして取り込み、前記行列データの各列毎に該列に並ぶ要素値の集合を演算して得られる列代表値を求め、前記列代表値を用いて前記行列データの各行毎に該行に並ぶ要素値を正規化するので、列代表値の集合がCCDカメラの特性の列の並び方向のばらつきに起因する光の透過光量のノイズデータを数値化でき、前記行列データからCCDカメラの特性の列の並び方向のばらつきに起因する光の透過光量のノイズを除去でき、検査対象物の光の透過光量を表す値のS/N比が向上する。
【0025】
さらに、本発明に係る基板またはパネル検査装置は、前記行列データの各行毎に該行に並ぶ要素値の集合を演算して得られる行代表値を求め、前記行代表値を用いて前記行列データの各列毎に該列に並ぶ要素値を正規化する、のが好ましい。
上記本発明の構成により、前記行列データの各行毎に該行に並ぶ要素値の集合を演算して得られる行代表値を求め、前記行代表値を用いて前記行列データの各列毎に該列に並ぶ要素値を正規化するので、行代表値の集合がCCDカメラの特性の行の並び方向のばらつきに起因する光の透過光量のノイズデータを数値化でき、前記行列データからCCDカメラの特性の行の並び方向のばらつきに起因する光の透過光量のノイズを除去でき、検査対象物の光の透過光量を表す値のS/N比が向上する。
【0026】
さらに、本発明に係る基板またはパネル検査装置は、前記行列データの要素値が検査対象物のパターン単位の透過光量であるが好ましい。
上記本発明の構成により、前記行列データの要素値が検査対象物のパターン単位の透過光量であるので、行列データの要素値の数を少なくすることができ、データ処理が簡易になる。
【0027】
さらに、本発明に係る基板またはパネル検査装置は、前記行列データの各行毎に列の並び方向に並ぶ要素値がCCDカメラの画素並びに沿って並ぶパターンでの透過光量を表す、のが好ましい。
上記本発明の構成により、前記行列データの各行毎に列の並び方向に並ぶ要素値がCCDカメラの画素並びに沿って並ぶパターンでの透過光量を表すので、列代表値の集合がCCDカメラの画素並び方向のばらつきに起因する光の透過光量のノイズデータを数値化でき、前記行列データからCCDカメラの画素並び方向のばらつきに起因する光の透過光量のノイズを除去でき、検査対象物の光の透過光量を表す値のS/N比が向上する。
【0028】
さらに、本発明に係る基板またはパネル検査装置は、前記列代表値が、各列毎に該列に並ぶ要素値の積算値を求めて得られる、のが好ましい。
上記本発明の構成により、前記列代表値が、各列毎に該列に並ぶ要素値の積算値を求めて得られるので、列代表値の集合がCCDカメラの特性の列の並び方向の平均的なばらつきに起因する光の透過光量のノイズデータを数値化できる。
【0029】
さらに、本発明に係る基板またはパネル検査装置は、列毎の前記列代表値で前記行列データの各行毎に該行に並ぶ該列の要素値を除算して要素値を正規化するのが好ましい。
上記本発明の構成により、列毎の前記列代表値で前記行列データの各行毎に該行に並ぶ該列の要素値を除算して要素値を正規化するので、前記行列データからCCDカメラの特性の列の並び方向のばらつきに起因する光の透過光量のノイズを除去でき、特異的な信号の抽出が容易になる。
【0030】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好ましい実施形態を、図面を参照して説明する。なお、各図において、共通する部分には同一の符号を付し、重複した説明を省略する。
【0031】
本発明の実施形態に係る基板またはパネル検査方法と基板またはパネル検査装置にその基板またはパネル検査手順を実行させる基板またはパネル検査プログラムと基板またはパネル検査装置とを説明する。図1は、本発明の実施形態に係る基板またはパネル検査装置の全体概念図である。図2は、本発明の実施形態に係る基板またはパネル検査装置の部分詳細図である。図3は、本発明の実施形態に係る基板またはパネル検査方法のフローチャート図である。
光を透過または発光する特定のパターンが一様に配列した基板またはパネルである検査対象物とは、例えば、フラットパネルディスプレイ本体やフラットパネルディスプレイを構成する基板をいう。
フラットパネルディスプレイ本体は、例えば、液晶パネルやPDPパネルや有機ELパネルである。
フラットパネルディスプレイを構成する基板は、例えば、LCD用や有機EL用のカラーフィルタ基板、TFT基板、PDP背面板である。
以下では、光を透過または発光する特定のパターンが一様に配列した基板またはパネルである検査対象物がカラーフィルタ基板であり、パターンが絵素である場合を例に説明する。
カラーフィルタ基板は、ガラス基板上にRGB夫々のフィルタが並んだものである。例えば、60μ×180μ、100μ×300μ等の大きさの絵素が、RGBに分かれて、並んでいる。例えば、768セル×1024セルの絵素が、カラーフィルタ基板2の面に配置されている。
【0032】
最初に、本発明に係る基板またはパネル検査方法を実行する基板またはパネル検査装置の構成を説明する。
基板またはパネル検査装置1は、光を透過または発光する特定のパターンが一様に配列した基板またはパネルである検査対象物の欠陥を検出する装置であって、光学撮像系10と光源系20と走査系30と画像処理装置40とで構成される。説明の容易のために、その他の補機の説明を省略する。
【0033】
光学撮像系10は、複数(例えば13台)のラインセンサ11で構成される。ラインセンサは、CCDカメラである。例えば、ラインセンサには一列に5000個の画素が並び、その画素の幅は12μである。従って、一台のラインセンサは60mmの幅を撮像できる。
ここで、説明の便宜のために、ラインセンサの画素の並び方向を横方向Xと、その直交方向を縦方向Yと呼ぶこととする。
【0034】
光源系20は、ラインセンサ11に対向して、カラーフィルタ基板2を挟んで、ラインセンサの下側に配置された光を放射する装置である。例えば、光学系20は、ライン光源21を有する。
ライン光源21から出た光は、カラーフィルタ基板2を透過して、ラインセンサ11に受光される。
【0035】
走査系30は、カラーフィルタ基板2をラインセンサ11とライン光源21との間に支持し、縦方向Yへカラーフィルタ基板2を相対移動させる装置である。
例えば、走査系30は、移動テーブル31と一対のガイドレール32と駆動装置(図示せず)とを有する。移動テーブル31は、カラーフィルタ基板を支持する構造体であり、ガイドレール32に縦方向Yに移動自在に支持される。駆動装置が、移動テーブル31を縦方向Yに移動させる。
【0036】
画像処理装置40は、光学撮像系10と光源系20と走査系30を制御して、画素データを取り込み、カラーフィルタ基板の欠陥を検査するデータ処理装置である。画像処理装置40は、主にコンピュータとインターフェースで構成され、後述する基板またはパネル検査プログラムにより基板またはパネル検査手順を実行する。
【0037】
次に、本発明に係る実施形態の基板またはパネル検査方法と基板またはパネル検査装置1にその基板またはパネル検査手順を実行させる基板またはパネル検査プログラムとを説明する。
基板またはパネル検査プログラムは、基板またはパネル検査装置に基板またはパネル検査手順を実行させる。
基板またはパネル検査手順は、移動手順S10とデータ取り込み手順S20と列代表値算定手順S30と列正規化手順S40と行代表値算定手順S50と行正規化手順S60と欠陥抽出手順S70とで構成される。
後述する行列データの各行毎に列の並び方向に並ぶ要素値がCCDカメラのセンサ並びに沿って並ぶ絵素の透過光量を表し、前記行列データの各列毎に行の並び方向に並ぶ要素値がCCDカメラの画素並びに直交して並ぶ絵素の透過光量を表すのが好ましい。
以下では、後述する行列データにおいて、各行毎に列の並び方向に並ぶデータが、カラーフィルタ基板2の横方向Xに並ぶ絵素単位の透過光量を表し、各列毎に行の並び方向に並ぶデータが、カラーフィルタ基板2の縦方向Yに並ぶ絵素単位の透過光量を表す場合を例にとり、説明する。
【0038】
移動手順S10では、カラーフィルタ基板2を互いに対向するCCDカメラ11と光源21との間に挟んでCCDカメラ11の画素並びの直交方向へ相対移動させる。
駆動装置(図示せず)が、移動テーブル31を縦方向Yへ所定の一定速度(例えば、80mm/sec)で移動する。光が、ライン光源21から射出され、カラーフィルタ基板2の絵素4を透過して、CCDカメラ11の画素3に射入する。CCDカメラ11は、射入した光の強さを画素データとして出力する。
【0039】
データ取り込み手順S20では、移動工程中S10に所定のトリガータイミングに従ってCCDカメラ11の受光データをカラーフィルタ基板2の光の透過光量を表す値の2次元集合である行列データとして取り込む。
移動テーブル31が移動する最中に、所定のトリガータイミングでCCDカメラの受光データを取り込む、
例えば、トリガータイミングのタイミングが150μsecであれば、移動デーブル31が12μ移動する度に画素データを取り込む事となる。
一つの絵素4の上に仮想の窓5を想定し、窓5を透過する光の透過光量を画素データを基に演算する。
各絵素単位の光の透過光量を行列データとしてまとめる。
【0040】
列代表値算定手順S30は、前記行列データの各列毎に該列に並ぶ要素値の集合を演算して得られる列代表値を求める手順である。
特に、列代表値算定手順S30が、各列毎に該列に並ぶ要素値の積算値を求める積算工程を有するのが好ましい。
ここで「要素値の集合を演算して得られる列代表値」とは、必ずしも要素値の全集合から演算される列代表値」である必要はなく、要素値の集合の持つ共通的特徴を表していれば足りる。例えば、「要素値の全集合」を所定のルールに基づいて間引いた「要素値の集合」でもよい。
「要素値の集合から演算される列代表値」は、要素値の集合の平均値、最大値、最小値、または積算値が好ましく、特に積算値または平均値が好ましい。
【0041】
列正規化手順S40は、列毎の列代表値を用いて前記行列データの各行毎に該行に並ぶ要素値を正規化する手順である。
特に、列正規化工程が、列毎の列代表値で行列データの各行毎に該行に並ぶ該列の要素値を除算する除算工程を有するのが好ましい。
例えば、行列データにおいて、列毎の列代表値(例えば、積算値や平均値)で行列データの各行毎に該行に並ぶ該当する列の要素値を除算する。
【0042】
行代表値算定手順S50は、前記行列データの各行毎に該行に並ぶ要素値の集合を演算して得られる行代表値を求める手順である。
特に、列代表値算定手順S30が、各行毎に該行に並ぶ要素値の積算値を求める積算工程を有するのが好ましい。
ここで「要素値の集合を演算して得られる行代表値」とは、必ずしも要素値の全集合から演算される行代表値」である必要はなく、要素値の集合の持つ共通的特徴を表していれば足りる。例えば、「要素値の全集合」を所定のルールに基づいて間引いた「要素値の集合」でもよい。
「要素値の集合から演算される行代表値」は、要素値の集合の平均値、最大値、最小値、または積算値が好ましく、特に積算値または平均値が好ましい。
【0043】
行正規化手順S60は、行代表値を用いて行列データの各列毎に該列に並ぶ要素値を正規化する手順である。
特に、行正規化工程が、行毎の行代表値で行列データの各列毎に該列に並ぶ該行の要素値を除算する除算工程を有するのが好ましい。
例えば、行列データにおいて、行毎の行代表値(例えば、積算値や平均値)で行列データの各列毎に該列に並ぶ該当する行の要素値を除算する。
【0044】
欠陥抽出手順S70は、上述の手順によりデータ処理された行列データを基に、カラーフィルタ基板の欠陥を発見する手順である。
例えば、しきい値を定め、そのしきい値を越えるデータをもつ絵素に欠陥があると判断する。この様にしてカラーフィルタ基板にある欠陥(特にムラ欠陥)を発見することができる。
【0045】
【実施例】
次に、本発明の実施形態にかかる基板またはパネル検査方法を用いた実施例を説明する。
実施例では、行列データにおいて、各行のデータ列が横方向Xに並んだ絵素の透過光量を表し、各列のデータ列が縦方向Yに並んだ絵素の透過光量を表す。
また、行代表値、列代表値として行または列に並ぶ全データの平均値を用い、正規化のために要素値を平均値で除算した。
本実施例では、カラーフィルタ基板の絵素4の透過光量の行列データの内の一本の縦方向CCDデータ(すなわち、一つの行に並ぶデータ)に着目して説明する。
図4は、実施例を示すグラフ図その1である。図5は、実施例を示すグラフ図その2である。図6は、実施例を示すグラフ図その3である。
図4では、欠陥のないカラーフィルタ基板の行列データに縦方向正規化処理(列正規化手順に相当する。)を施した場合の、縦方向CCDデータ(点線)と処理後の正規化データ(実線)を表している。縦方向CCDデータに含まれていたノイズ成分が除去されて、正規化データが平坦になっているのが分かる。このノイズ成分は、カラーフィルタ基板の構成上の微細な横方向の周期性パターンやCCD画素の周期性パターン等の横方向の変動ノイズに起因するものであると考えられる。
【0046】
図5では、欠陥のないカラーフィルタ基板の行列データに横方向正規化処理(行正規化手順に相当する。)を施した場合の、縦方向CCDデータ(点線)と処理後の正規化データ(実線)を表している。縦方向CCDデータに含まれていたノイズ成分が除去されて、正規化データが平坦になっているのが分かる。このノイズ成分は、ライン光源の照明光や電源回路の時間的な変化等の縦方向の変動ノイズに起因するものであると考えられる。
【0047】
図6は、欠陥のあるカラーフィルタ基板の行列データに縦方向正規化処理と横方向正規化処理を順番に施した場合の、縦方向CCDデータ(点線)と処理後の正規化データ(実線)を表している。縦方向CCDデータに含まれていたノイズ成分が除去されて、正規化データに平坦なデータ列の一箇所にピークがあるのが分かる。このピークが欠陥を表している。
【0048】
実施例でわかる様に、縦方向正規化処理と横方向正規化処理を順番に施すことにより、ノイズ成分が約10分の1に抑圧された。従って、従来ノイズ成分に隠れて検出できなかった欠陥に起因するピークも発見できることとなり、欠陥を検出する分解能が、約10倍増加した。
【0049】
上述の実施形態の基板またはパネル検査方法と基板またはパネル検査プログラムと基板またはパネル検査装置とを用いれば、今以上にカラーフィルタ基板の欠陥を検出する能力を向上させることができる。
また、縦方向正規化処理を施すことで、特にカラーフィルタ基板の構成上の微細な周期性パターンやCCD画素の周期性パターンに起因するノイズが除去され、基板またはパネル検査装置が抽出した絵素データにモアレ縞が発生しなくなる。
また、縦方向正規化処理を施すことで、CCD画素の特性や光学系(ライン光源)の特性のばらつき、RGB毎の透過特性の差、電気ノイズ、又は回路の特性に起因するノイズを除去でき、欠陥の検査能力が向上する。
また、横方向正規化処理を施すことで、特に、ライン光源の証明光の時間的な変化に起因するノイズを除去でき、欠陥の検査能力が向上する。
また、縦方向正規化処理および縦方向正規化処理を施す行列データが、画素でなく絵素の透過光量を表すデータなのでデータ処理のデータ数が減少し、処理のスループットが向上する。
【0050】
本発明は以上に述べた実施形態に限られるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で各種の変更が可能である。
縦方向正規化処理および縦方向正規化処理を施す例で説明したが、これに限定されず、例えば、縦方向正規化処理および縦方向正規化処理の一方の処理だけを施しても良い。
また。行列データが絵素の透過光量を表すとしたがこれに限定されず、例えば、行列データが画素の透過光量を表してもよい。
【0051】
【発明の効果】
以上説明したように本発明の光を透過または発光する特定のパターンが一様に配列した基板またはパネルである検査対象物の欠陥を検出する基板またはパネル検査方法と検査対象物の欠陥を検出する基板またはパネル検査装置を制御する基板またはパネル検査プログラムと基板またはパネル検査装置は、その構成により、以下の効果を有する。
検査対象物の透過光量を表す行列データから列に並ぶデータを代表する列代表値を求め、その列代表値で行列データを正規化するので、列代表値の集合がCCDカメラの特性の列の並び方向のばらつきに起因する光の透過光量のノイズデータを数値化して、前記行列データからCCDカメラの特性の列の並び方向のばらつきに起因する光の透過光量のノイズを除去でき、検査対象物の光の透過光量を表す値のS/N比が向上する。
また、検査対象物の透過光量を表す行列データから行に並ぶデータを代表する行代表値を求め、その行代表値で行列データを正規化するので、行代表値の集合がCCDカメラの特性の行の並び方向のばらつきに起因する光の透過光量のノイズデータを数値化でき、前記行列データからCCDカメラの特性の行の並び方向のばらつきに起因する光の透過光量のノイズを除去でき、検査対象物の光の透過光量を表す値のS/N比が向上する。
また、前記行列データの要素値が検査対象物のパターン単位の透過光量であるので、行列データの要素値の数を少なくすることができ、データ処理が簡易になる。
また、CCDカメラの画素の並び方向と行列データの各行毎の列の並び方向を一致させたので、列代表値の集合がCCDカメラの画素並び方向のばらつきに起因する光の透過光量のノイズデータを数値化でき、前記行列データからCCDカメラの特性の画素並び方向のばらつきに起因する光の透過光量のノイズを除去でき検査対象物の光の透過光量を表す値のS/N比が向上する。
また、前記列代表値算定工程が、各列毎に該列に並ぶ要素値の積算値を求めるので、列代表値の集合がCCDカメラの特性の列の並び方向の平均的なばらつきに起因する光の透過光量のノイズデータを数値化できる。
また、列毎の前記列代表値で前記行列データの各行毎に該行に並ぶ該列の要素値を除算するので、前記行列データからCCDカメラの特性の列の並び方向のなばらつきに起因する光の透過光量のノイズを除去でき、特異的な信号の抽出が容易になる。
従って、画素データとパターンデータのS/N比をより改善して、検査対象物の欠陥を検出の性能を向上させることのできる基板またはパネル検査方法と基板またはパネル検査プログラムと基板またはパネル検査装置とを提供できる。
【0052】
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態に係る基板またはパネル検査装置の全体概念図である。
【図2】本発明の実施形態に係る基板またはパネル検査装置の部分詳細図である。
【図3】本発明の実施形態に係る基板またはパネル検査方法のフローチャート図である。
【図4】実施例を示すグラフ図その1である。
【図5】実施例を示すグラフ図その2である。
【図6】実施例を示すグラフ図その3である。
【符号の説明】
a 画素データ
b 絵素データ
c 正規化処理後の絵素データ
X 横方向
Y 縦方向
1 基板またはパネル検査装置
2 カラーフィルタ基板
3 画素
4 絵素
5 仮想の窓
10 光学撮像系
11 CCDカメラ
20 光源系
21 ライン光源
30 走査系
31 移動テーブル
32 ガイドレール
40 画像処理装置
Claims (18)
- 光を透過または発光する特定のパターンが一様に配列した基板またはパネルである検査対象物の欠陥を検出する基板またはパネル検査方法であって、
検査対象物をCCDカメラの視野に配置し前記CCDカメラの画素並びの直交方向へ相対移動させる移動工程と、
前記移動工程中に所定のトリガータイミングに従って前記CCDカメラの受光データを検査対象物の光の透過光量を表す値の2次元集合である行列データとして取り込むデータ取り込み工程と、
前記行列データの各列毎に該列に並ぶ要素値の集合を演算して得られる列代表値を求める列代表値算定工程と、
前記列代表値を用いて前記行列データの各行毎に該行に並ぶ要素値を正規化する列正規化工程と、を備えることを特徴とする基板またはパネル検査方法。 - 前記行列データの各行毎に該行に並ぶ要素値の集合を演算して得られる行代表値を求める行代表値算定工程と、
前記行代表値を用いて前記行列データの各列毎に該列に並ぶ要素値を正規化する行正規化工程と、を備えることを特徴とする請求項1に記載の基板またはパネル検査方法。 - 前記行列データの要素値が検査対象物のパターン単位の透過光量であることを特徴とする請求項1または請求項2の一つに記載の基板またはパネル検査方法。
- 前記行列データの各行毎に列の並びに沿って並ぶ要素値がCCDカメラの画素並びに沿って並ぶパターンでの透過光量を表す、ことを特徴とする請求項1乃至請求項3に記載の基板またはパネル検査方法。
- 前記列代表値算定工程が、各列毎に該列に並ぶ要素値の積算値を求める積算工程を有する、ことを特徴とする請求項1乃至請求項3に記載の基板またはパネル検査方法。
- 前記列正規化工程が、列毎の前記列代表値で前記行列データの各行毎に該行に並ぶ該列の要素値を除算する除算工程を有する、ことを特徴とする請求項1乃至請求項3に記載の基板またはパネル検査方法。
- 光を透過または発光する特定のパターンが一様に配列した基板またはパネルである検査対象物の欠陥を検出する基板またはパネル検査装置を制御する基板またはパネル検査プログラムであって、
基板またはパネル検査装置に、
検査対象物をCCDカメラの視野に配置し前記CCDカメラの画素並び方向の直交方向へ相対移動させる移動手順と、
前記移動工程中に所定のトリガータイミングに従って前記CCDカメラの受光データを検査対象物の光の透過光量を表す値の2次元集合である行列データとして取り込むデータ取り込み手順と、
前記行列データの各列毎に該列に並ぶ要素値の集合を演算して得られる列代表値を求める列代表値算定手順と、
前記列代表値を用いて前記行列データの各行毎に該行に並ぶ要素値を正規化する列正規化手順と、を実行させることを特徴とする基板またはパネル検査プログラム。 - 基板またはパネル検査装置に、
前記行列データの各行毎に該行に並ぶ要素値の集合を演算して得られる行代表値を求める行代表値算定手順と、
前記行代表値を用いて前記行列データの各列毎に該列に並ぶ要素値を正規化する行正規化手順と、を実行させることを特徴とする請求項7に記載の基板またはパネル検査プログラム。 - 前記行列データの要素値が検査対象物のパターン単位の透過光量であることを特徴とする請求項7または請求項8の一つに記載の基板またはパネル検査プログラム。
- 前記行列データの各行毎に列の並び方向へ並ぶ要素値がCCDカメラの画素並びに沿って並ぶパターンでの透過光量を表す、ことを特徴とする請求項7乃至請求項9に記載の基板またはパネル検査プログラム。
- 前記列代表値算定手順が、各列毎に該列に並ぶ要素値の積算値を求める積算手順を有する、ことを特徴とする請求項7乃至請求項9に記載の基板またはパネル検査プログラム。
- 前記列正規化手順が、列毎の前記列代表値で前記行列データの各行毎に該行に並ぶ該当する該列の要素値を除算する除算手順を有する、ことを特徴とする請求項7乃至請求項9に記載の基板またはパネル検査プログラム。
- 光を透過または発光する特定のパターンが一様に配列した基板またはパネルである検査対象物の欠陥を検出する基板またはパネル検査装置であって、
CCDカメラを有する光学撮像系と、
検査対象物を前記CCDカメラの視野に配置して前記CCDカメラの画素並びの直交方向へ相対移動させる走査系と、を備え、
前記相対移動中に所定のトリガータイミングに従って前記CCDカメラの受光データを検査対象物の光の透過光量を表す値の2次元集合である行列データとして取り込み、
前記行列データの各列毎に該列に並ぶ要素値の集合を演算して得られる列代表値を求め、
前記列代表値を用いて前記行列データの各行毎に該行に並ぶ要素値を正規化する、ことを特徴とする基板またはパネル検査装置。 - 前記行列データの各行毎に該行に並ぶ要素値の集合を演算して得られる行代表値を求め、
前記行代表値を用いて前記行列データの各列毎に該列に並ぶ要素値を正規化する、ことを特徴とする請求項13に記載の基板またはパネル検査装置。 - 前記行列データの要素値が検査対象物のパターン単位の透過光量であることを特徴とする請求項13または請求項14の一つに記載の基板またはパネル検査装置。
- 前記行列データの各行毎に列の並び方向に並ぶ要素値がCCDカメラの画素並びに沿って並ぶパターンでの透過光量を表す、
ことを特徴とする請求項13乃至請求項15に記載の基板またはパネル検査装置。 - 前記列代表値が、各列毎に該列に並ぶ要素値の積算値を求めて得られる、ことを特徴とする請求項13乃至請求項15に記載の基板またはパネル検査装置。
- 列代表値を用いた正規化の際に、列毎の前記列代表値で前記行列データの各行毎に該行に並ぶ該列の要素値を除算して要素値を正規化することを特徴とする請求項13乃至請求項15に記載の基板またはパネル検査装置。
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-
2003
- 2003-04-01 JP JP2003097543A patent/JP2004301787A/ja active Pending
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