JP2004298792A - 振動体 - Google Patents
振動体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004298792A JP2004298792A JP2003096314A JP2003096314A JP2004298792A JP 2004298792 A JP2004298792 A JP 2004298792A JP 2003096314 A JP2003096314 A JP 2003096314A JP 2003096314 A JP2003096314 A JP 2003096314A JP 2004298792 A JP2004298792 A JP 2004298792A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- driven
- driving
- output
- vibration
- generating means
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
【課題】一つの振動体によって被駆動体を多自由度で駆動させようとすると、電気−機械エネルギ変換素子の構造が複雑になったりする。
【解決手段】少なくとも電気−機械エネルギ変換素子を有し、平板状に形成された振動発生手段(1)と、この振動発生手段に突状に形成され、被駆動体に接触する出力取出し部(2)とを備え、振動発生手段は、複数の駆動周波数のうち各駆動周波数の交番信号の入力を受けることによって各駆動周波数に応じた複数の曲げ振動を発生させるとともに、出力取出し部を介して被駆動体に複数の異なる方向の駆動力を付与する。
【選択図】 図1
【解決手段】少なくとも電気−機械エネルギ変換素子を有し、平板状に形成された振動発生手段(1)と、この振動発生手段に突状に形成され、被駆動体に接触する出力取出し部(2)とを備え、振動発生手段は、複数の駆動周波数のうち各駆動周波数の交番信号の入力を受けることによって各駆動周波数に応じた複数の曲げ振動を発生させるとともに、出力取出し部を介して被駆動体に複数の異なる方向の駆動力を付与する。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、振動体および振動型駆動装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
単一の振動体で多自由度の駆動力を簡単な構成で生成することができる振動型アクチュエータが提案されている(例えば、特許文献1参照)。
【0003】
この特許文献1で提案されている振動型アクチュエータは、弾性体に縦振動および位相の異なる複数の横振動を励起する電気−機械エネルギ変換素子を設けた振動体を有し、縦振動および複数の横振動のうちの2つの振動を選択的に組み合わせ、弾性体の任意の平面内の点に楕円運動を形成させることで多自由度の駆動力を得ている。
【0004】
【特許文献1】
特開平11−164576号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した従来の振動型アクチュエータでは、複数の駆動モードを縮退させるため、電気−機械エネルギ変換素子の構造が複雑になったり、各駆動モードの共振周波数の調整が必須になったり、振動体性能のばらつきを抑えるために部品の仕上げなどに極めて細心の注意を払ったりしなければならない。このような理由により、従来の振動型アクチュエータは量産性に不向きである。
【0006】
また、従来の振動型アクチュエータにおいて出力を増大させるためには、同寸法のままでは限界があり、アクチュエータを大型化させたり、複数の振動体で構成して複合アクチュエータ化させたりする必要がある。この場合には、一つの振動体を用いて占有スペースを小さくしたいという従来技術の目的に相反するものであり好ましくない。
【0007】
そこで、本発明の目的は、量産性に優れ、占有スペースを極端に広げることなく容易に大出力化を達成することができる多自由度の振動型駆動装置やこれに用いられる振動体を提供するものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明の振動体は、少なくとも電気−機械エネルギ変換素子を有し、平板状に形成された振動発生手段と、この振動発生手段に突状に形成され、被駆動体に接触する出力取出し部とを備え、振動発生手段は、複数の駆動周波数のうち各駆動周波数の交番信号の入力を受けることによって各駆動周波数に応じた複数の曲げ振動を発生させるとともに、出力取出し部を介して被駆動体に複数の異なる方向の駆動力を付与することを特徴とする。
【0009】
【発明の実施の形態】
(第1実施形態)
図1は、本発明の第1実施形態における振動体の構造を説明する図である。1は平板状に形成された弾性体であり、2は柱状に形成され、互いに対向する3組の面を有する出力取出し部である。本実施形態では、弾性体1の寸法を、20mm(長さ、図1の矢印X方向)*10mm(幅、図1の矢印Y方向)*2mm(厚み)としている。また、出力取出し部2の先端には、不図示の被駆動体が接触する。
【0010】
弾性体1(振動発生手段)の裏面には、例えばPZTで構成された電気−機械エネルギ変換素子(不図示、振動発生手段)が溶接又は接着剤により接合している。なお、電気−機械エネルギ変換素子のみによって弾性体を構成するようにしてもよい。また、圧電薄膜などを用いれば、振動体の小型化を図ることができる。
【0011】
本実施形態において、高さhの出力取出し部2は、別体で構成されており、接着、溶接、焼きばめ、圧入などにより弾性体1と接合する。なお、出力取出し部2は弾性体1と一体的に構成してもよく、この場合にはプレスや鍛造などにより製造することができる。
【0012】
出力取出し部2の材質には、セラミックやSUSを用いることが好ましく、これにより出力取出し部2のうち被駆動体との接触部分に摩擦機能を付加することができる。
【0013】
本実施形態における振動体は、平板状の弾性体1の表面に出力取出し部2を設けただけであるため、単純な構成となる。このように振動体を単純な構造とすることで、この振動体から構成されるアクチュエータを容易に小型化することが可能となる。
【0014】
図2は、本実施形態における振動体の駆動モードを説明する図である。本実施形態の振動体では、弾性体1の長手方向(図1の矢印X方向)における第1の平板曲げモード(共振周波数fa)と、弾性体1の長手方向と直交する方向(図1の矢印Y方向)における第2の平板曲げモード(共振周波数fb)とを有している。
【0015】
ここで、電気−機械エネルギ変換素子に、駆動周波数がfa近傍の交流電圧を印加すると、出力取出し部2は図2に示すように水平方向(点線で示す)に対して角度θをなす方向に往復運動を始める。これにより、振動体は、図2の矢印Fxに示す駆動力を発生することが可能である。このFxの駆動力は、図1の弾性体1の長手方向における駆動力となる。
【0016】
一方、電気−機械エネルギ変換素子に、駆動周波数がfb近傍の交流電圧を印加すると、出力取出し部2が往復運動を行うことにより、振動体は、矢印Fxと直交する方向(図1の矢印Y方向)の駆動力(Fy)を発生する。
【0017】
ここで、出力取出し部2は、弾性体1のうち、上述した第1の平板曲げモードおよび第2の平板曲げモードのそれぞれによって上述した往復運動が可能となる位置に配置されている。
【0018】
図3は、上述した第1および第2の平板曲げモードと異なるモードである第3の平板曲げモードを説明する図である。
【0019】
本実施形態における振動体は、上述した第1および第2の平板曲げモードに加えて、図3に示すように弾性体1の対角線上を腹とする第3の平板曲げモード(共振周波数fd)を有する。ここで、電気−機械エネルギ変換素子に、駆動周波数がfd近傍の交流電圧を印加すると、出力取出し部2が往復運動を行うことにより、振動体は、弾性体1の上記対角線に対して直交する方向の駆動力を発生することができる。
【0020】
すなわち、出力取出し部2は、弾性体1のうち、上述した第3の平板曲げモードにおいて上述した往復運動が可能となる位置に配置されている。つまり、出力取出し部2は、第1から第3の平板曲げモードのそれぞれにおいて、曲げ振動の腹の中心と節の間となる位置に配置されていることになる。
【0021】
これにより、fa、fb、fdの3種類の共振周波数を被駆動体の駆動モードとして用いることが可能である。従って、電気−機械エネルギ変換素子に印加する交流電圧の駆動周波数(fa〜fd)を切り替えて、3種類の平板曲げモードのうち少なくとも2種類の平板曲げモードを選択することで、被駆動体の駆動方向を少なくとも2方向で切り替えることが可能である。
【0022】
(第2実施形態)
図4は、本発明の第2実施形態における振動体の構造を説明する図である。同図において、第1実施形態で説明した部材と同じ部材については同一符号を付して説明を省略する。
【0023】
第1実施形態のように出力取出し部2を柱状に形成した場合には、出力取出し部2と被駆動体との接触状態の関係上、駆動モードを限定しなければならない。特に、出力取出し部2は、矢印X方向と平行な側面と矢印Y方向と平行な側面を有するため、図3に示す駆動モードの場合には、出力取出し部2の角形の頂点において被駆動体への駆動力の伝達がなされる。
【0024】
このため、出力取出し部2および被駆動体の接触状態が不安定になり、異音を発するおそれがある。
【0025】
したがって、第1実施形態の出力取出し部2を用いた場合には、図3に示す駆動モードを使用することが困難である。本実施形態では、図4に示すように弾性体1の表面に円柱状に形成された出力取出し部3を設けている。
【0026】
これにより、出力取出し部3および被駆動体の接触状態(特に、図3の駆動モードにおける接触状態)を、第1実施形態の場合に比べて安定化させることができ、第1実施形態のように駆動モードを限定する必要もなくなるる
また、出力取出し部3は、各平板曲げモードにおける駆動周波数(fa〜fd)に対してほとんど応答することなく追従できることが必要である。出力取出し部3の振動モードが影響を受けると、被駆動体との接触状態が不安定になりやすく異音を発しやすい。
【0027】
このため、出力取出し部3の最低次振動モードの固有振動数を駆動周波数よりも1.5倍以上大きく設定することが好適である。すなわち、出力取出し部3の径を適宜、変更することにより固有振動数を調節し、被駆動体に対する接触状態を安定化させることができる。
【0028】
(第3実施形態)
図5は、本発明の第3実施形態における振動体の構造を説明する図である。同図において、第1実施形態で説明した部材については同一符号を付して説明を省略する。
【0029】
本実施形態では、出力取出し部4が、被駆動体の駆動方向に対して直交する方向に稜線を有する多角形状に形成されている。
【0030】
出力取出し部4のうち稜線4aは、被駆動体の矢印X方向の駆動方向に対して直交し、稜線4bは、被駆動体の矢印Y方向の駆動方向に対して直交するようになっている。また、出力取出し部4のうち稜線4cは、図5中の点線で示す弾性体1の対角線を腹とする平板曲げモードにおける被駆動体の駆動方向に対して直交するようになっている。
【0031】
出力取出し部4を上述した多角形状に形成することにより、被駆動体の駆動方向に応じて出力取出し部4と被駆動体との接触面積を大きくとることができるため、出力取出し部4および被駆動体の接触状態を安定させることができる。
【0032】
このように接触面積が大きくなることで高駆動力を得ることができる。しかも、接触面積が大きくなることで、出力取出し部4および被駆動体の接触部分の面圧を下げることができるため、高寿命の振動体を実現することができる。
【0033】
(第4実施形態)
図6は、上述した第1実施形態から第3実施形態の振動体を複数配置した多自由度の振動型駆動装置を説明する図である。
【0034】
図6(b)の矢印Iおよび矢印IIは、図2で説明した駆動モード(上述した第1および第2の平板曲げモード)における被駆動体への駆動力を示す。すなわち、矢印I方向の駆動力が、弾性体1の長手方向における曲げ振動(上述した第1の平板曲げモード)によって生じる駆動力であり、矢印II方向の駆動力が、弾性体1の長手方向と直交する方向における曲げ振動(上述した第2の平板曲げモード)によって生じる駆動力である。
【0035】
このように1つの振動体に対して2つの振動を励起することにより、すなわち、電気−機械エネルギ変換素子に駆動周波数(fa又はfb)の交流電圧を印加することにより、1つの振動体において2方向の駆動力を発生させることができる。
【0036】
本実施形態の振動型駆動装置では、図6(a)に示すように、4つの振動体を最小構成単位としてユニット化している。そして、これらの振動体は、同一平面内に配置されているとともに、図6(a)中の点線で示す矩形の各頂点に位置するように配置されている。
【0037】
各振動体は、図6(a)の矢印で示すように、2方向の駆動力を発生することができるようになっている。この4つの振動体のユニットにより、被駆動体を多自由度で往復運動させることができる。
【0038】
例えば、図8に示すように球状に形成された被駆動体5を各振動体の出力取出し部2(3,4)に接触させた構成の振動型駆動装置について説明する。
【0039】
球状の被駆動体5は、各振動体の出力取出し部2からの駆動力を受けることによって、各振動体における駆動力の合力の方向に駆動する。
【0040】
被駆動体5の駆動に対する分力を有する振動体は、4つの振動体のユニットのうち2つ又は3つの振動体であり、必然的に被駆動体5の駆動に対する分力を有していない振動体が少なくとも1つ存在する。すなわち、被駆動体5の所定方向への駆動に関与する振動体が2つ又は3つあり、被駆動体5の駆動に関与しない振動体が少なくとも1つ存在することになる。この少なくとも1つの振動体は、被駆動体5を駆動する際の摩擦負荷となっている。
【0041】
図9は、球状の被駆動体(ロータ)5と1つの振動体(出力取出し部)との接触部分を示した拡大図である。
【0042】
図9において、矢印Aで示す出力取出し部2の振動方向と、被駆動体5のうち出力取出し部2との接触点における接平面との成す角度をαとすると、角度αおよび駆動効率の関係はほぼ比例関係にあり、角度αが大きくなると駆動効率が向上するようになっている。また、角度αは、出力取出し部2の高さhに応じて異なってくる。
【0043】
従って、角度θおよび出力取出し部2の高さhを、被駆動体5に対する駆動効率が最も良好となるような値に適宜設定することができる。
【0044】
なお、本実施形態の振動型駆動装置は、4つの振動体からなるユニットで構成されているが、5つ以上の振動体を組み合わせて同等の機能を得るようにしてもよい。また、被駆動体5に対する出力(駆動力)に関しては、振動体の数を増やすことで容易に出力を向上させることが可能である。
【0045】
さらに、本実施形態では、4つの振動体を同一平面内に配置しているが、同一平面内でなくても、各振動体の出力取出し部2が被駆動体5に接触して被駆動体5を駆動するような構成であればどのような配置であってもよい。
【0046】
(第5実施形態)
図7は、上述した第1実施形態から第3実施形態で説明した振動体を複数配置した多自由度の振動型駆動装置を説明する図である。
【0047】
図7(b)の矢印Iおよび矢印IIに示す駆動力は、図6で説明した場合と同様である。一方、矢印IIIに示す駆動力は、図3で説明した駆動モード(第3の平板曲げモード)によって生じる被駆動体への駆動力を示す。
【0048】
本実施形態では、1つの振動体に対して3種類の振動を励起することにより、すなわち、電気−機械エネルギ変換素子に駆動周波数fa、fb、fdの交流電圧を印加することにより、1つの振動体において3方向の駆動力を発生させることができる。
【0049】
本実施形態の振動型駆動装置では、第4実施形態と同様に4つの振動体が同一平面内であって、点線で示す矩形の各頂点に位置するように配置されている(図7(a))。そして、この4つの振動体が、振動型駆動装置の最小構成単位となっている。各振動体は、図7(a)の矢印で示すように、3方向の駆動力を発生することができるようになっている。
【0050】
上述したように配置された4つの振動体において、各振動体の出力取出し部2(3、4)には、図8に示すように球状の被駆動体5が接触する。そして、被駆動体5は、振動体からの駆動力を受けることにより、多自由度で往復運動することができる。
【0051】
本実施形態では、各振動体において、矢印IおよびIIに示す駆動力に加えて、矢印IIIに示す駆動力を発生可能としている。
【0052】
第4実施形態で説明したように1つの振動体が2方向の駆動力しか発生しない場合には、上述したように必然的に被駆動体5の駆動方向の分力を発生することができない振動体が少なくとも1つ存在し、この振動体は、被駆動体5の摩擦抵抗としてのみ作用し、ある駆動条件においては起動しないことがありうる。
【0053】
このため、本実施形態では、矢印I、IIの駆動力に加え矢印IIIの駆動力を振動体に発生させることで、すべての振動体が被駆動体の駆動に分力を発生できるような構成としている。これにより、第4実施形態のように少なくとも1つの振動体が摩擦抵抗として作用することはなく、被駆動体5に生じる摩擦抵抗を軽減させることができる。
【0054】
すなわち、被駆動体5を所定方向に駆動する場合には、4つの振動体のうち各振動体における駆動力が、被駆動体5を所定方向に駆動させる駆動力の分力として働くことになる。
【0055】
なお、本実施形態では、4つの振動体で構成しているが、5つ以上の振動体を組み合わせて同等の機能を持たせるようにしてもよい。また、振動体の被駆動体5に対する出力に関しては、振動体の数を増やすことによって出力を向上させることが可能である。
【0056】
さらに、本実施形態では、4つの振動体を同一平面内に配置しているが、同一平面内でなくてもよい。
【0057】
以上説明した各実施形態は、以下に示す各発明を実施した場合の一例でもあり、下記の各発明は上記各実施形態に様々な変更や改良が加えられて実施されるものである。
【0058】
〔発明1〕 少なくとも電気−機械エネルギ変換素子を有し、平板状に形成された振動発生手段と、
この振動発生手段に突状に形成され、被駆動体に接触する出力取出し部とを備え、
前記振動発生手段は、複数の駆動周波数のうち各駆動周波数の交番信号の入力を受けることによって前記各駆動周波数に応じた複数の曲げ振動を発生させるとともに、前記出力取出し部を介して前記被駆動体に複数の異なる方向の駆動力を付与することを特徴とする振動体。
【0059】
上記発明1によれば、振動体の構成を単純な構成することができる。例えば、本発明の振動体を複数用いて振動型駆動装置を構成すれば、被駆動体を任意の方向に自由に駆動することが可能となる。
【0060】
これにより、従来技術のように1つの振動体を用いて被駆動体を多自由度で駆動する場合に比べて、簡単な構造とすることができ、量産性に優れたものとすることができる。しかも、各振動体で駆動周波数の制御を行えばよいため、従来技術のように各駆動モードの共振周波数の調整を行う必要がない。
【0061】
〔発明2〕 前記出力取出し部が円柱状に形成されていることを特徴とする前記発明1に記載の振動体。
【0062】
〔発明3〕 前記出力取出し部は、この長手直交方向の断面が多角形に形成されているとともに、前記多角形の少なくとも一辺が前記被駆動体に対する駆動方向に対して直交することを特徴とする前記発明1に記載の振動体。
【0063】
〔発明4〕 前記発明1から3のいずれかに記載の振動体を複数有するとともに、これらの振動体に接触する被駆動体を有しており、
前記複数の振動体のうち少なくとも2つの振動体が、前記被駆動体に対して同一又は異なる方向の駆動力を付与し、これらの駆動力の合力によって前記被駆動体を所定方向に駆動することを特徴とする振動型駆動装置。
【0064】
〔発明5〕 前記発明1から3のいずれかに記載の振動体を複数有するとともに、これらの振動体に接触する被駆動体を有しており、
前記複数の振動体のうち各振動体がそれぞれ、前記被駆動体に対して、前記被駆動体を所定方向に駆動させる駆動力の分力を付与することを特徴とする振動型駆動装置。
【0065】
【発明の効果】
本発明によれば、簡単な構成の振動体を用いているため、主に量産性に優れた振動型駆動装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1実施形態における振動体の外観斜視図。
【図2】振動体に対する駆動モードを説明する図。
【図3】振動体に対する駆動モードを説明する図。
【図4】第2実施形態における振動体の外観斜視図。
【図5】第3実施形態における振動体の外観斜視図。
【図6】第4実施形態である多自由度の振動型駆動装置を説明する図(a、b)。
【図7】第5実施形態である多自由度の振動型駆動装置を説明する図(a、b)。
【図8】球状の被駆動体を備えた振動型駆動装置の外観斜視図。
【図9】被駆動体および振動体の接触部分を示す拡大図。
【符号の説明】
1:弾性体
2、3、4:出力取出し部
5:被駆動体
【発明の属する技術分野】
本発明は、振動体および振動型駆動装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
単一の振動体で多自由度の駆動力を簡単な構成で生成することができる振動型アクチュエータが提案されている(例えば、特許文献1参照)。
【0003】
この特許文献1で提案されている振動型アクチュエータは、弾性体に縦振動および位相の異なる複数の横振動を励起する電気−機械エネルギ変換素子を設けた振動体を有し、縦振動および複数の横振動のうちの2つの振動を選択的に組み合わせ、弾性体の任意の平面内の点に楕円運動を形成させることで多自由度の駆動力を得ている。
【0004】
【特許文献1】
特開平11−164576号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した従来の振動型アクチュエータでは、複数の駆動モードを縮退させるため、電気−機械エネルギ変換素子の構造が複雑になったり、各駆動モードの共振周波数の調整が必須になったり、振動体性能のばらつきを抑えるために部品の仕上げなどに極めて細心の注意を払ったりしなければならない。このような理由により、従来の振動型アクチュエータは量産性に不向きである。
【0006】
また、従来の振動型アクチュエータにおいて出力を増大させるためには、同寸法のままでは限界があり、アクチュエータを大型化させたり、複数の振動体で構成して複合アクチュエータ化させたりする必要がある。この場合には、一つの振動体を用いて占有スペースを小さくしたいという従来技術の目的に相反するものであり好ましくない。
【0007】
そこで、本発明の目的は、量産性に優れ、占有スペースを極端に広げることなく容易に大出力化を達成することができる多自由度の振動型駆動装置やこれに用いられる振動体を提供するものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明の振動体は、少なくとも電気−機械エネルギ変換素子を有し、平板状に形成された振動発生手段と、この振動発生手段に突状に形成され、被駆動体に接触する出力取出し部とを備え、振動発生手段は、複数の駆動周波数のうち各駆動周波数の交番信号の入力を受けることによって各駆動周波数に応じた複数の曲げ振動を発生させるとともに、出力取出し部を介して被駆動体に複数の異なる方向の駆動力を付与することを特徴とする。
【0009】
【発明の実施の形態】
(第1実施形態)
図1は、本発明の第1実施形態における振動体の構造を説明する図である。1は平板状に形成された弾性体であり、2は柱状に形成され、互いに対向する3組の面を有する出力取出し部である。本実施形態では、弾性体1の寸法を、20mm(長さ、図1の矢印X方向)*10mm(幅、図1の矢印Y方向)*2mm(厚み)としている。また、出力取出し部2の先端には、不図示の被駆動体が接触する。
【0010】
弾性体1(振動発生手段)の裏面には、例えばPZTで構成された電気−機械エネルギ変換素子(不図示、振動発生手段)が溶接又は接着剤により接合している。なお、電気−機械エネルギ変換素子のみによって弾性体を構成するようにしてもよい。また、圧電薄膜などを用いれば、振動体の小型化を図ることができる。
【0011】
本実施形態において、高さhの出力取出し部2は、別体で構成されており、接着、溶接、焼きばめ、圧入などにより弾性体1と接合する。なお、出力取出し部2は弾性体1と一体的に構成してもよく、この場合にはプレスや鍛造などにより製造することができる。
【0012】
出力取出し部2の材質には、セラミックやSUSを用いることが好ましく、これにより出力取出し部2のうち被駆動体との接触部分に摩擦機能を付加することができる。
【0013】
本実施形態における振動体は、平板状の弾性体1の表面に出力取出し部2を設けただけであるため、単純な構成となる。このように振動体を単純な構造とすることで、この振動体から構成されるアクチュエータを容易に小型化することが可能となる。
【0014】
図2は、本実施形態における振動体の駆動モードを説明する図である。本実施形態の振動体では、弾性体1の長手方向(図1の矢印X方向)における第1の平板曲げモード(共振周波数fa)と、弾性体1の長手方向と直交する方向(図1の矢印Y方向)における第2の平板曲げモード(共振周波数fb)とを有している。
【0015】
ここで、電気−機械エネルギ変換素子に、駆動周波数がfa近傍の交流電圧を印加すると、出力取出し部2は図2に示すように水平方向(点線で示す)に対して角度θをなす方向に往復運動を始める。これにより、振動体は、図2の矢印Fxに示す駆動力を発生することが可能である。このFxの駆動力は、図1の弾性体1の長手方向における駆動力となる。
【0016】
一方、電気−機械エネルギ変換素子に、駆動周波数がfb近傍の交流電圧を印加すると、出力取出し部2が往復運動を行うことにより、振動体は、矢印Fxと直交する方向(図1の矢印Y方向)の駆動力(Fy)を発生する。
【0017】
ここで、出力取出し部2は、弾性体1のうち、上述した第1の平板曲げモードおよび第2の平板曲げモードのそれぞれによって上述した往復運動が可能となる位置に配置されている。
【0018】
図3は、上述した第1および第2の平板曲げモードと異なるモードである第3の平板曲げモードを説明する図である。
【0019】
本実施形態における振動体は、上述した第1および第2の平板曲げモードに加えて、図3に示すように弾性体1の対角線上を腹とする第3の平板曲げモード(共振周波数fd)を有する。ここで、電気−機械エネルギ変換素子に、駆動周波数がfd近傍の交流電圧を印加すると、出力取出し部2が往復運動を行うことにより、振動体は、弾性体1の上記対角線に対して直交する方向の駆動力を発生することができる。
【0020】
すなわち、出力取出し部2は、弾性体1のうち、上述した第3の平板曲げモードにおいて上述した往復運動が可能となる位置に配置されている。つまり、出力取出し部2は、第1から第3の平板曲げモードのそれぞれにおいて、曲げ振動の腹の中心と節の間となる位置に配置されていることになる。
【0021】
これにより、fa、fb、fdの3種類の共振周波数を被駆動体の駆動モードとして用いることが可能である。従って、電気−機械エネルギ変換素子に印加する交流電圧の駆動周波数(fa〜fd)を切り替えて、3種類の平板曲げモードのうち少なくとも2種類の平板曲げモードを選択することで、被駆動体の駆動方向を少なくとも2方向で切り替えることが可能である。
【0022】
(第2実施形態)
図4は、本発明の第2実施形態における振動体の構造を説明する図である。同図において、第1実施形態で説明した部材と同じ部材については同一符号を付して説明を省略する。
【0023】
第1実施形態のように出力取出し部2を柱状に形成した場合には、出力取出し部2と被駆動体との接触状態の関係上、駆動モードを限定しなければならない。特に、出力取出し部2は、矢印X方向と平行な側面と矢印Y方向と平行な側面を有するため、図3に示す駆動モードの場合には、出力取出し部2の角形の頂点において被駆動体への駆動力の伝達がなされる。
【0024】
このため、出力取出し部2および被駆動体の接触状態が不安定になり、異音を発するおそれがある。
【0025】
したがって、第1実施形態の出力取出し部2を用いた場合には、図3に示す駆動モードを使用することが困難である。本実施形態では、図4に示すように弾性体1の表面に円柱状に形成された出力取出し部3を設けている。
【0026】
これにより、出力取出し部3および被駆動体の接触状態(特に、図3の駆動モードにおける接触状態)を、第1実施形態の場合に比べて安定化させることができ、第1実施形態のように駆動モードを限定する必要もなくなるる
また、出力取出し部3は、各平板曲げモードにおける駆動周波数(fa〜fd)に対してほとんど応答することなく追従できることが必要である。出力取出し部3の振動モードが影響を受けると、被駆動体との接触状態が不安定になりやすく異音を発しやすい。
【0027】
このため、出力取出し部3の最低次振動モードの固有振動数を駆動周波数よりも1.5倍以上大きく設定することが好適である。すなわち、出力取出し部3の径を適宜、変更することにより固有振動数を調節し、被駆動体に対する接触状態を安定化させることができる。
【0028】
(第3実施形態)
図5は、本発明の第3実施形態における振動体の構造を説明する図である。同図において、第1実施形態で説明した部材については同一符号を付して説明を省略する。
【0029】
本実施形態では、出力取出し部4が、被駆動体の駆動方向に対して直交する方向に稜線を有する多角形状に形成されている。
【0030】
出力取出し部4のうち稜線4aは、被駆動体の矢印X方向の駆動方向に対して直交し、稜線4bは、被駆動体の矢印Y方向の駆動方向に対して直交するようになっている。また、出力取出し部4のうち稜線4cは、図5中の点線で示す弾性体1の対角線を腹とする平板曲げモードにおける被駆動体の駆動方向に対して直交するようになっている。
【0031】
出力取出し部4を上述した多角形状に形成することにより、被駆動体の駆動方向に応じて出力取出し部4と被駆動体との接触面積を大きくとることができるため、出力取出し部4および被駆動体の接触状態を安定させることができる。
【0032】
このように接触面積が大きくなることで高駆動力を得ることができる。しかも、接触面積が大きくなることで、出力取出し部4および被駆動体の接触部分の面圧を下げることができるため、高寿命の振動体を実現することができる。
【0033】
(第4実施形態)
図6は、上述した第1実施形態から第3実施形態の振動体を複数配置した多自由度の振動型駆動装置を説明する図である。
【0034】
図6(b)の矢印Iおよび矢印IIは、図2で説明した駆動モード(上述した第1および第2の平板曲げモード)における被駆動体への駆動力を示す。すなわち、矢印I方向の駆動力が、弾性体1の長手方向における曲げ振動(上述した第1の平板曲げモード)によって生じる駆動力であり、矢印II方向の駆動力が、弾性体1の長手方向と直交する方向における曲げ振動(上述した第2の平板曲げモード)によって生じる駆動力である。
【0035】
このように1つの振動体に対して2つの振動を励起することにより、すなわち、電気−機械エネルギ変換素子に駆動周波数(fa又はfb)の交流電圧を印加することにより、1つの振動体において2方向の駆動力を発生させることができる。
【0036】
本実施形態の振動型駆動装置では、図6(a)に示すように、4つの振動体を最小構成単位としてユニット化している。そして、これらの振動体は、同一平面内に配置されているとともに、図6(a)中の点線で示す矩形の各頂点に位置するように配置されている。
【0037】
各振動体は、図6(a)の矢印で示すように、2方向の駆動力を発生することができるようになっている。この4つの振動体のユニットにより、被駆動体を多自由度で往復運動させることができる。
【0038】
例えば、図8に示すように球状に形成された被駆動体5を各振動体の出力取出し部2(3,4)に接触させた構成の振動型駆動装置について説明する。
【0039】
球状の被駆動体5は、各振動体の出力取出し部2からの駆動力を受けることによって、各振動体における駆動力の合力の方向に駆動する。
【0040】
被駆動体5の駆動に対する分力を有する振動体は、4つの振動体のユニットのうち2つ又は3つの振動体であり、必然的に被駆動体5の駆動に対する分力を有していない振動体が少なくとも1つ存在する。すなわち、被駆動体5の所定方向への駆動に関与する振動体が2つ又は3つあり、被駆動体5の駆動に関与しない振動体が少なくとも1つ存在することになる。この少なくとも1つの振動体は、被駆動体5を駆動する際の摩擦負荷となっている。
【0041】
図9は、球状の被駆動体(ロータ)5と1つの振動体(出力取出し部)との接触部分を示した拡大図である。
【0042】
図9において、矢印Aで示す出力取出し部2の振動方向と、被駆動体5のうち出力取出し部2との接触点における接平面との成す角度をαとすると、角度αおよび駆動効率の関係はほぼ比例関係にあり、角度αが大きくなると駆動効率が向上するようになっている。また、角度αは、出力取出し部2の高さhに応じて異なってくる。
【0043】
従って、角度θおよび出力取出し部2の高さhを、被駆動体5に対する駆動効率が最も良好となるような値に適宜設定することができる。
【0044】
なお、本実施形態の振動型駆動装置は、4つの振動体からなるユニットで構成されているが、5つ以上の振動体を組み合わせて同等の機能を得るようにしてもよい。また、被駆動体5に対する出力(駆動力)に関しては、振動体の数を増やすことで容易に出力を向上させることが可能である。
【0045】
さらに、本実施形態では、4つの振動体を同一平面内に配置しているが、同一平面内でなくても、各振動体の出力取出し部2が被駆動体5に接触して被駆動体5を駆動するような構成であればどのような配置であってもよい。
【0046】
(第5実施形態)
図7は、上述した第1実施形態から第3実施形態で説明した振動体を複数配置した多自由度の振動型駆動装置を説明する図である。
【0047】
図7(b)の矢印Iおよび矢印IIに示す駆動力は、図6で説明した場合と同様である。一方、矢印IIIに示す駆動力は、図3で説明した駆動モード(第3の平板曲げモード)によって生じる被駆動体への駆動力を示す。
【0048】
本実施形態では、1つの振動体に対して3種類の振動を励起することにより、すなわち、電気−機械エネルギ変換素子に駆動周波数fa、fb、fdの交流電圧を印加することにより、1つの振動体において3方向の駆動力を発生させることができる。
【0049】
本実施形態の振動型駆動装置では、第4実施形態と同様に4つの振動体が同一平面内であって、点線で示す矩形の各頂点に位置するように配置されている(図7(a))。そして、この4つの振動体が、振動型駆動装置の最小構成単位となっている。各振動体は、図7(a)の矢印で示すように、3方向の駆動力を発生することができるようになっている。
【0050】
上述したように配置された4つの振動体において、各振動体の出力取出し部2(3、4)には、図8に示すように球状の被駆動体5が接触する。そして、被駆動体5は、振動体からの駆動力を受けることにより、多自由度で往復運動することができる。
【0051】
本実施形態では、各振動体において、矢印IおよびIIに示す駆動力に加えて、矢印IIIに示す駆動力を発生可能としている。
【0052】
第4実施形態で説明したように1つの振動体が2方向の駆動力しか発生しない場合には、上述したように必然的に被駆動体5の駆動方向の分力を発生することができない振動体が少なくとも1つ存在し、この振動体は、被駆動体5の摩擦抵抗としてのみ作用し、ある駆動条件においては起動しないことがありうる。
【0053】
このため、本実施形態では、矢印I、IIの駆動力に加え矢印IIIの駆動力を振動体に発生させることで、すべての振動体が被駆動体の駆動に分力を発生できるような構成としている。これにより、第4実施形態のように少なくとも1つの振動体が摩擦抵抗として作用することはなく、被駆動体5に生じる摩擦抵抗を軽減させることができる。
【0054】
すなわち、被駆動体5を所定方向に駆動する場合には、4つの振動体のうち各振動体における駆動力が、被駆動体5を所定方向に駆動させる駆動力の分力として働くことになる。
【0055】
なお、本実施形態では、4つの振動体で構成しているが、5つ以上の振動体を組み合わせて同等の機能を持たせるようにしてもよい。また、振動体の被駆動体5に対する出力に関しては、振動体の数を増やすことによって出力を向上させることが可能である。
【0056】
さらに、本実施形態では、4つの振動体を同一平面内に配置しているが、同一平面内でなくてもよい。
【0057】
以上説明した各実施形態は、以下に示す各発明を実施した場合の一例でもあり、下記の各発明は上記各実施形態に様々な変更や改良が加えられて実施されるものである。
【0058】
〔発明1〕 少なくとも電気−機械エネルギ変換素子を有し、平板状に形成された振動発生手段と、
この振動発生手段に突状に形成され、被駆動体に接触する出力取出し部とを備え、
前記振動発生手段は、複数の駆動周波数のうち各駆動周波数の交番信号の入力を受けることによって前記各駆動周波数に応じた複数の曲げ振動を発生させるとともに、前記出力取出し部を介して前記被駆動体に複数の異なる方向の駆動力を付与することを特徴とする振動体。
【0059】
上記発明1によれば、振動体の構成を単純な構成することができる。例えば、本発明の振動体を複数用いて振動型駆動装置を構成すれば、被駆動体を任意の方向に自由に駆動することが可能となる。
【0060】
これにより、従来技術のように1つの振動体を用いて被駆動体を多自由度で駆動する場合に比べて、簡単な構造とすることができ、量産性に優れたものとすることができる。しかも、各振動体で駆動周波数の制御を行えばよいため、従来技術のように各駆動モードの共振周波数の調整を行う必要がない。
【0061】
〔発明2〕 前記出力取出し部が円柱状に形成されていることを特徴とする前記発明1に記載の振動体。
【0062】
〔発明3〕 前記出力取出し部は、この長手直交方向の断面が多角形に形成されているとともに、前記多角形の少なくとも一辺が前記被駆動体に対する駆動方向に対して直交することを特徴とする前記発明1に記載の振動体。
【0063】
〔発明4〕 前記発明1から3のいずれかに記載の振動体を複数有するとともに、これらの振動体に接触する被駆動体を有しており、
前記複数の振動体のうち少なくとも2つの振動体が、前記被駆動体に対して同一又は異なる方向の駆動力を付与し、これらの駆動力の合力によって前記被駆動体を所定方向に駆動することを特徴とする振動型駆動装置。
【0064】
〔発明5〕 前記発明1から3のいずれかに記載の振動体を複数有するとともに、これらの振動体に接触する被駆動体を有しており、
前記複数の振動体のうち各振動体がそれぞれ、前記被駆動体に対して、前記被駆動体を所定方向に駆動させる駆動力の分力を付与することを特徴とする振動型駆動装置。
【0065】
【発明の効果】
本発明によれば、簡単な構成の振動体を用いているため、主に量産性に優れた振動型駆動装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1実施形態における振動体の外観斜視図。
【図2】振動体に対する駆動モードを説明する図。
【図3】振動体に対する駆動モードを説明する図。
【図4】第2実施形態における振動体の外観斜視図。
【図5】第3実施形態における振動体の外観斜視図。
【図6】第4実施形態である多自由度の振動型駆動装置を説明する図(a、b)。
【図7】第5実施形態である多自由度の振動型駆動装置を説明する図(a、b)。
【図8】球状の被駆動体を備えた振動型駆動装置の外観斜視図。
【図9】被駆動体および振動体の接触部分を示す拡大図。
【符号の説明】
1:弾性体
2、3、4:出力取出し部
5:被駆動体
Claims (1)
- 少なくとも電気−機械エネルギ変換素子を有し、平板状に形成された振動発生手段と、
この振動発生手段に突状に形成され、被駆動体に接触する出力取出し部とを備え、
前記振動発生手段は、複数の駆動周波数のうち各駆動周波数の交番信号の入力を受けることによって前記各駆動周波数に応じた複数の曲げ振動を発生させるとともに、前記出力取出し部を介して前記被駆動体に複数の異なる方向の駆動力を付与することを特徴とする振動体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003096314A JP2004298792A (ja) | 2003-03-31 | 2003-03-31 | 振動体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003096314A JP2004298792A (ja) | 2003-03-31 | 2003-03-31 | 振動体 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004298792A true JP2004298792A (ja) | 2004-10-28 |
Family
ID=33408419
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003096314A Pending JP2004298792A (ja) | 2003-03-31 | 2003-03-31 | 振動体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004298792A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009233625A (ja) * | 2008-03-28 | 2009-10-15 | Tamura Seisakusho Co Ltd | 超音波振動子の駆動方法及び装置 |
-
2003
- 2003-03-31 JP JP2003096314A patent/JP2004298792A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009233625A (ja) * | 2008-03-28 | 2009-10-15 | Tamura Seisakusho Co Ltd | 超音波振動子の駆動方法及び装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2690907B2 (ja) | 複合型圧電モータ | |
US7911112B2 (en) | Ultrasonic actuator | |
CN111464070B (zh) | 一种直线超声电机定子及其电激励方法 | |
JP4209465B2 (ja) | 駆動装置 | |
JP2004304887A (ja) | 振動型駆動装置 | |
JP2008278719A (ja) | 振動型アクチュエータ | |
KR20060097723A (ko) | 플랫 공명 전기-기계적 구동 장치 | |
JP4689993B2 (ja) | 振動波モータ | |
US8299682B2 (en) | Ultrasonic motor | |
JP4452275B2 (ja) | 圧電電気機械式駆動装置 | |
JP2005354787A (ja) | 振動波駆動装置 | |
JP2009130955A (ja) | 振動型アクチュエータ及びそれを備えた駆動装置 | |
US8987972B2 (en) | Vibrator in vibration type driving apparatus and manufacturing method thereof | |
JP4830165B2 (ja) | 超音波モータ用振動子 | |
JP2004304963A (ja) | 圧電アクチュエータ | |
US8525388B2 (en) | Vibration wave driving apparatus and manufacturing method of vibration body | |
JP2004298792A (ja) | 振動体 | |
KR101225008B1 (ko) | 초음파모터의 압전진동자 | |
JP2000295876A (ja) | 振動アクチュエータ | |
JPH05122949A (ja) | リニア型アクチユエータ | |
JPH08182351A (ja) | 超音波アクチュエータ | |
JP2012115038A (ja) | 振動型駆動装置における振動体とその製造方法 | |
JPH08251953A (ja) | 振動駆動装置 | |
JP2004297910A (ja) | 振動型駆動装置 | |
JP2009240149A (ja) | 超音波モータ |