JP2004296583A

JP2004296583A - 試料載置用可動ステージ、回路パターンの製造装置、及び回路パターンの検査装置

Info

Publication number: JP2004296583A
Application number: JP2003084337A
Authority: JP
Inventors: Maki Mizuochi; 真樹水落; Yoshimasa Fukushima; 芳雅福嶋; Tadayuki Kubo; 忠之久保
Original assignee: Hitachi High Technologies Corp; Canon Inc; Hitachi High Tech Corp
Current assignee: Canon Inc; Hitachi High Tech Corp
Priority date: 2003-03-26
Filing date: 2003-03-26
Publication date: 2004-10-21
Anticipated expiration: 2023-03-26
Also published as: JP3946655B2; US20040250776A1

Abstract

【課題】発塵を防ぎ、真空度の劣化、及び真空内の汚染の危険性を回避しつつ、試料載置部の温度制御を実現し、高精度な露光及び検査を可能とする。
【解決手段】トップテーブル２１或いは試料保持機構７に温度センサ２３を具備し、移動の無い固定側ガイド部材１８１内に、熱交換用媒体２４１の通路２５１を設け、この媒体２４１の制御により試料載置部の温度を制御する。静止部に熱交換用媒体２４１の流路２５１が存在し、可撓性配管による発塵、真空ポンプへのダメージや、熱交換用媒体２４１による真空内の汚染の危険性を回避しつつ、試料載置部の温度制御を行うことが可能である。
【選択図】図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、温度調整が容易な試料載置用可動ステージ、回路パターンの製造装置、及び回路パターンの検査装置の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】
【特許文献１】特開２０００−２６０６８３号公報
【特許文献２】特開昭６２−６３２１８号公報
【特許文献３】特開昭６３−１２００５０号公報
回路パターンを形成するウエハ、マスク（レチクル：Ｒｅｔｉｃｌｅとも呼ぶ）等を製造又は検査する装置において、これら試料に荷電粒子線又は縮小Ｘ線（ＥＵＶ：ＥｘｔｒｅｍｅＵｌｔｒａＶｉｏｌｅｔ）を照射することが行われている。このとき、荷電粒子線、なかでも電子線は、真空中で使用されることが必須である。また、ステッパ（Ｓｔｅｐｐｅｒ）及びスキャナと呼ばれる縮小投影露光装置の光源は、回路パターンの微細化に伴い、エキシマレーザよりも波長の短いＸ線、縮小Ｘ線の使用が検討されている。この縮小Ｘ線も、真空中又は減圧雰囲気中での使用が必須である。
【０００３】
以下、回路パターンの製造装置の一例として、電子線を用いて試料に回路パターンを描画する電子線描画装置を例に採って説明する。
【０００４】
電子線描画装置は、超高真空の環境において電子線を発生し、走査することで半導体基盤上、或いはステッパ等の露光装置に用いられるマスクと呼ばれるガラス基盤上にＬＳＩ回路パターンを形成する装置である。回路パターンの微細化に伴い、要求されるパターンの位置精度は年々厳しくなっている。位置精度の誤差要因として、温度変化による試料及び試料載置テーブルの膨張、収縮が挙げられる。温度変化の原因としては、次の４例が挙げられる。
【０００５】
（１）電子線（ステッパ、スキャナではエキシマレーザ、或いはＥＵＶ）による試料上での露光熱。
【０００６】
（２）ボールネジ、或いは摩擦駆動部に代表される駆動部の発熱。
【０００７】
（３）クロスローラガイドに代表される案内機構の摺動による発熱。
【０００８】
（４）環境温度の変化。
【０００９】
試料の膨張及び収縮は、そのままパターンの誤差に繋がり、試料載置テーブルの膨張及び収縮はミラーと試料間の距離変動を招き、その結果パターンの位置精度を低下させる。
【００１０】
この問題を解決するために、特開２０００−２６０６８３号公報には、次のような構成が提案されている。すなわち、駆動力を摩擦でステージへ伝える摺動部及び駆動源を冷却するためのヒートシンクを備え、さらに試料保持手段に設けられた温度センサをもとに、試料と保持手段を所望の温度にするためのヒータを備えている。具体的には、超音波モータ自体の発熱と駆動力を発生する摺動部分の発熱を除くために、ガイドを構成する可動の中間ブロック部８内にヒートシンク１０を通している。
【００１１】
なお、試料載置テーブルの移動を、空気などで気体潤滑する技術は、特開昭６２−６３２１８号公報や特開昭６３−１２００５０号公報等に開示されている。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、可動部にヒートシンクを通すためには、チューブやベローズに代表される柔軟な管により冷媒を引き回す必要がある。ここで、樹脂チューブや金属ベローズでは、ステージ移動に伴う擦れによる発塵や、繰返しの動きによる疲労が問題となる。真空中でチューブやベローズが疲労し、亀裂や割れが生ずると冷媒が真空中に流出し、水に代表される一般的な冷媒では、蒸発して一気に真空度が低下し、真空ポンプへダメージ与える危険がある。また、蒸発した冷媒は真空内に隈なく拡散するため、真空内の内壁は汚染される。このような事態が発生した場合、製造装置の稼動は停止し、破損した配管の交換、真空ポンプのチェック、真空内に面する内面のクリーニングなどのメンテナンス作業が必要となり、装置の立上げに掛かる時間は膨大となる。また、装置が半導体製造ラインに導入されている場合は、製造工程の見直しが必要となる。
【００１３】
本発明の目的は、真空雰囲気内の汚染の危険性を回避しつつ、試料載置部の温度制御を実現し、高精度な露光及び検査が可能な試料載置用可動ステージを提供することである。
【００１４】
また、本発明の他の目的は、高精度な露光及び検査が可能な試料載置用可動ステージを用いた回路パターンの製造装置又は回路パターンの検査装置を提供することである。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、真空又は減圧雰囲気中で試料を載置するテーブルと、可動側と固定側とを含みこれらの相対的な移動によりテーブルの移動を案内するガイドと、試料載置部の近傍に配置した温度センサと、前記ガイドを介して試料載置部を冷却するための熱交換用媒体の流路と、この熱交換制御により試料載置部の温度を調整する温度調整手段を備えた試料載置用可動ステージにおいて、熱交換用媒体の流路を、前記ガイドを構成する部材のうち移動の無い固定側のガイド部材内又はこの固定側のガイド部材に密接配置した部材内を通して形成したことを特徴とする。
【００１６】
この構成により、静止部に熱交換用媒体の流路が存在し、可撓性配管による発塵、真空ポンプへのダメージや、熱交換用媒体による真空内の汚染の危険性を回避しつつ、試料載置部の温度制御を行うことが可能である。
【００１７】
本発明はまた、テーブルを一平面内でＸ軸及びＹ軸方向にそれぞれ案内する第１及び第２のガイドのほかに、テーブルを一平面内で自在方向に案内する気体潤滑式の第３のガイドを設け、この第３のガイドを構成する移動の無い固定側のガイド部材内又はこの固定側のガイド部材に密接配置した部材内を通して熱交換用媒体の流路を形成したことを特徴とする。
【００１８】
ここで、テーブルが移動する平面のほぼ全域において、テーブルの直下に熱交換用媒体の流路が存在するように、前記流路を張りめぐらすことが望ましい。
【００１９】
これらの構成により、試料載置部に距離的にも熱伝導的にも近い静止部に熱交換用媒体の流路が存在することによって、より効果的に試料載置部の温度制御を行うことが可能となる。
【００２０】
本発明のその他の目的及び特徴は以下の実施形態の説明で明らかにする。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施例を図１〜図１１を用いて説明する。
【００２２】
図１は、本発明の一実施例による試料載置用可動ステージを用いた電子線描画装置の概略構成図である。図１において、カラム（Ｃｏｌｕｍｎ）１内で発せられた電子線２は、試料室３内のステージ４に載置される試料５に照射される。ステージ４の構成部品であるトップテーブル６は、試料保持手段（試料保持機構）７とミラー８を具備し、ミラー８をレーザ測長することで試料位置を把握し、管理される。真空中に干渉計９を配置して、レーザが、空気の揺らぎ及び気圧の変化の影響を受けにくくしている。試料室３は、定盤１０上に載置され、定盤１０は、振動絶縁の機能を有するマウント１１により支持される。更に、マウント１１は床１２に設置されたベース１３上に配置される。ここで、カラム１及び試料室３内は、真空ポンプ１４，１５により真空排気され、電子線経路は高真空度が維持されている。この実施例では、ステージ４において、トップテーブル６の移動をガイドするガイドのうち、動かない固定側ガイド部材１８１に配管２６２を通して導かれた熱交換用の媒体の流路２５１を設けている。詳細は図２以降で説明する。
【００２３】
図２は、図１におけるステージ４の平面図である。図３は本発明の第１の実施例によるその側面図で、要部のみ断面して示している。ステージ４は、試料室３の床であるステージベース１６上に次のように形成されている。ステージベース１６上のガイド支持材１７に、Ｘ軸方向（第１）のガイド１８が取付けられ、このガイド１８上にＸ軸方向への移動テーブル１９が配置される。このＸ軸方向移動テーブル１９上にはＹ軸方向（第２）のガイド２０が構成され、この上にＸ，Ｙ軸方向に移動可能に試料載置テーブル（トップテーブル）２１が搭載されている。トップテーブル２１には、試料保持機構７及びミラー８１，８２が配置され、試料保持機構７に試料５を載置している。
【００２４】
具体的には、ステージベース１６上のガイド支持材１７には、Ｘ軸方向ガイド１８は２列の固定側ガイド部材１８１，１８２を有し、これらに沿って可動側ガイド部材１８３，１８４がＸ軸方向に移動する。これらのガイド部材１８３，１８４上には、弾性体２２を挟んで移動テーブル１９が搭載される。この移動テーブル１９上には、Ｙ軸方向ガイド２０の２列の固定側ガイド部材２０１，２０２が搭載される。このＹ軸方向ガイド２０の２列の固定側ガイド部材２０１，２０２上をＹ軸方向に移動可能なように、Ｙ軸方向可動側ガイド部材２０３，２０４が各々構成されている。これらの可動側ガイド部材２０３，２０４上に取付けられたトップテーブル２１は、Ｘ及びＹ軸の２次元方向に移動可能である。
【００２５】
そして、ミラー８１，８２を用いてレーザ測長することで、試料位置を把握し、その管理が為される。
【００２６】
また、トップテーブル２１には、温度センサ２３が取付けられ、試料５の近傍又はトップテーブル２１の温度が測定可能である。
【００２７】
図２，３から明らかなように、ガイド支持材１７には、熱交換用媒体２４１，２４２の流路２５が形成されており、配管２６１〜２６４が各々の継手２７１〜２７４により接続される。尚、図中の矢印は冷媒２４１，２４２の流れる方向を示している。
【００２８】
次に、温度調整について述べる。トップテーブル２１上の温度センサ２３により得られる情報を基に、図示しない温度調整手段（装置）により、媒体２４の温度を制御し、ガイド支持材１７を通して、試料載置部の温度を調整する。温度調整による熱は、ガイド支持材１７から、次の順に伝達し、試料５の近傍に取付けられた温度センサ２３によりその変化を検出できる。すなわち、Ｘ軸方向の固定側ガイド部材１８１，１８２、同可動側ガイド部材１８３，１８４、弾性体２２、移動テーブル１９、Ｙ軸方向の固定側ガイド部材２０１，２０２、同可動側ガイド部材２０３，２０４、トップテーブル２１の順に伝達する。
【００２９】
図４は、本発明の第２の実施例による図３の変形例である。図３との違いは、ガイド支持材１７が無く、Ｘ軸方向の固定側ガイド部材１８１，１８２内に熱交換用の媒体通路２５１を形成していることである。その他は、図３と全く同一である。
【００３０】
このように、第１の（Ｘ軸方向の）ガイド１８の移動の無い固定側ガイド部材１８１，１８２、又はこの固定側ガイド部材１８１，１８２に密接に取り付けられたガイド支持部材１７に、熱交換用の媒体通路２５や２５１を形成している。そして、第１の（Ｘ軸方向の）ガイド１８の移動する可動側ガイド部材１８３，１８４や、第２の（Ｙ軸方向の）ガイド２０の各部材２０１〜２０４は、移動させられるので、熱交換用の媒体通路を形成していない。したがって、配管２６１〜２６４は、静止構造物として形成することができ、次のような効果が得られる。
【００３１】
（１）冷媒２４１，２４２を流す配管２６１〜２６４を可動的に形成することに伴う擦れによる発塵、繰返しによる疲労の心配はない。
【００３２】
（２）試料５や試料保持機構７（試料載置部）に対し、静止部のなかで距離的にも、熱伝導的にも最も近い場所を温度調整でき、温度調整効率が高い。
【００３３】
この実施例によれば、発塵、配管の破損を回避しつつ、効率良く試料載置部の温度調整を行うことができる。
【００３４】
ところで、本構成による熱の伝達は時定数が大きいため、早くトップテーブルの温度を変化させたい場合には、熱交換用媒体の流量、或いはその温度変化を大きくする必要がある。これに伴い、ステージベース１６及び移動テーブル１９にも温度変化が起きるため、それらに取り付く固定側ガイドの熱膨張係数が大きく異なる場合、両者の伸び量の違いが生じ、変形する危惧がある。そこで、図３及び図４のように、移動テーブル１９と、第１のガイド１８の可動側ガイド部材１８３，１８４との間に、水平方向に変形容易な弾性体２２を介在させることで、移動テーブル１９の変形を回避できる。また、ここでは図示していないが、ステージベース１６とガイド支持材１７（図３）との間、又は第１のガイド１８の固定側ガイド部材１８１，１８２（図４）との間にも弾性体を介在させることで、同様の効果を期待できる。更に、各構成部品の接触面積を大きくすること、或いは熱伝達率の高い材料で構成することも時定数を小さくする効果がある。
【００３５】
本実施例でのガイドは、転動体による転がり潤滑を想定しているが、接触摺動型のガイドでも同様の効果を得ることが可能である。
【００３６】
図５〜図１１は、本発明の他の実施例として、真空中における気体潤滑式のガイドを用いたエアベアリングステージの例である。
【００３７】
図５は、本発明の第３の実施例による図１のステージ４の平面図である。図６はそのＡ―Ａ断面図、図７は同じくＢ―Ｂである。
【００３８】
ステージベース１６１上に、Ｘ軸方向の第１のガイド１８の固定側ガイド部材１８５，１８６が配置される。その可動側ガイド部材１８７，１８８は、ガイドバー１８９によりトップテーブル２１に連結されている。同様に、Ｙ軸方向の第２のガイド２０の固定側ガイド部材２０５，２０６が配置される。その可動側ガイド部材２０７，２０８は、ガイドバー２０９によりトップテーブル２１に連結されている。移動テーブル１９１は、各ガイドバー１８９，２０９により、Ｘ軸及びＹ軸方向の移動を規制され、ステージベース１６１との間で気体潤滑することで、上下方向に規制される。つまり、移動テーブル１９１とステージベース１６１は、気体潤滑式の第３のガイドの可動側ガイド部材及び固定側ガイド部材を構成している。移動テーブル１９１上には、試料５及びミラー８１，８２を載置するトップテーブル２１が搭載され、トップテーブル２１上には温度センサ２３が取付けられている。
【００３９】
ここで、図５及び図６から明らかなように、ステージベース（固定側ガイド部材を構成）１６１には、熱交換用媒体２４３の流路２５２が張りめぐらされている。この流路２５２は、トップテーブル２１の移動する一平面のほぼ全域をカバーしており、試料載置部がどこにあっても、その直下部には熱交換用媒体２４３の流路２５２が存在し、効果的に温度制御が行われる。
【００４０】
また、図５及び図７から明らかなように、第１（Ｘ軸方向）のガイド１８の固定側ガイド部材１８５，１８６には熱交換用媒体２４４，２４５の流路２５３，２５４が形成されている。同様に、第２（Ｙ軸方向）のガイド２０の固定側ガイド部材２０５，２０６には熱交換用媒体２４６，２４７の流路（図示せず）が形成されている。一方、ステージベース１６１から試料載置部に至る熱伝導径路中に、多数の温度センサ２３群２３１〜２３１０が配置され、各部の温度を計測している。これらのセンサ２３群からの情報を下に、上記各熱交換用媒体２４３〜２４７の各々を独立に温度調整可能であり、試料載置部の恒温制御と、部材間の熱膨張係数の違いによる歪の防止制御とを実行する。
【００４１】
図８は、上記本発明の実施例に使用される真空中の気体潤滑を示した模式図である。多孔質軸受２８から流出する気体は、多孔質軸受２８を囲うように形成された気体排気用溝２９を通り、図示していない真空ポンプによって排気され、試料室の真空度を維持する。通常、気体潤滑式のガイドは、固定側ガイド部材（ステージベース）１６１と、可動側ガイド部材（移動テーブル）１９１との隙間ΔＧが数〜数十［μｍ］と小さい。このため、その隙間を流れる流体により固定側ガイド部材１６１と可動側ガイド部材１９１間で熱交換され、固定側ガイド部材１６１の熱は可動側ガイド部材１９１に伝達される。また、多孔質軸受２８から気体排気用溝３０までの距離ΔＬが大きいほど、熱的な接触面積が大きくなり、固定側ガイド部材１６１と可動側ガイド部材１９１間の熱交換はし易くなる。３１は排気配管、３２はギャップセンサである。
【００４２】
本構成例では、移動テーブル１９１に対して、対向する固定側ガイド部材１６１から熱的に繋がっているガイドバー１８９，２０９と、ステージベース１６１とにより熱交換が為され、トップテーブル２１の温度を所望の温度に設定できる。ここで、固定側ガイド部材１６１とステージベース１６１の熱膨張係数が異なる場合、同一の温度変化が生ずると熱膨張、或いは熱収縮の量が異なるため、固定側ガイド部材１６１及びステージベース１６１は変形し、ステージの姿勢精度が劣化する。更に、固定側ガイド部材１６１と可動側ガイド部材１９１の隙間を越えるほど変形が生じた場合は、ガイド部材間のかじりが発生し、気体潤滑そのものが成立たない危惧がある。そこで、前記したように、温度センサ２３群を固定側ガイド部材１６１と可動側ガイド部材１９１に取付け、各構成部品の熱膨張係数を考慮して、熱交換用媒体の温度、或いは流量を個別に制御して、上記のような問題を回避する。また、図８に示すように、微小な変位を検出可能なギャップセンサ３２を可動側ガイド部材１９１に取付け、固定側ガイド部材１６１とのギャップΔＧを測定し、温度変化によるギャップ変動が小さくなるよう各ガイドの温度を制御しても、回避可能である。例えば、トップテーブル２１の温度に対してはステージベース１６１の温度調整を主体とし、ギャップセンサ３２からの情報を基に固定側ガイド部材１６１の温度調整をする。これにより、各部品の変形を回避しつつ、トップテーブル２１を所望の温度に設定することが可能である。
【００４３】
図９及び図１０は、本発明の第４の実施例によるステージ４の一部を断面して示す側面図である。この実施例では、ステージベース１６に熱交換用媒体の流路を形成する代わりに、ステージベース１６に密接して温度調整部材３３を取付け、間接的にステージベース１６の温度調整を行う。温度調整部材３３には、熱交換用媒体２４８の通路２５４を設けている。
【００４４】
この構成によれば、温度調整板（部材）３３を、ステージベース１６に取付けることで、ステージベース１６に複雑な流路を形成する必要がない。これにより、ステージベース１６の剛性を維持できるため、ガイド面を精度良く仕上げることができる。また、第１、第２のガイドの固定側ガイド部材例えば２０５，２０６とステージベース１６との間に、水平方向に変形容易な弾性体３４，３５を取り付けている。この弾性体３４，３５を介することで、各部品の熱膨張係数の違いや、大きな温度勾配に起因する固定側ガイド部材例えば２０５，２０６及びステージベース１６の変形を比較的容易に回避できる。
【００４５】
図１１は、本発明の第５の実施例による試料載置部の要部側面図である。図に示すように、トップテーブル２１上に、電気的に温度制御可能な電気発熱手段又は電気吸熱手段（例えば、ペルチェ素子やヒータ）３６を用いることで、短時間の温度変化にも対応する制御が可能となる。ここで、加熱の機能しか無いヒータの使用にあたっては、ヒータ無しの状態でトップテーブル２１が常に所望の温度よりも低くなるように前記熱交換用媒体を温度調整する。そして、温度制御装置は、温度センサ２３からの情報に基き、ヒータ３６による加熱をＯＮ／ＯＦＦ制御するのみで、トップテーブル２１を所望の温度に制御可能である。
【００４６】
以上説明したステージ４を電子線描画装置に代表される半道体製造装置又は検査装置に適用すれば、発塵、真空ポンプへのダメージ及び真空内の汚染の危険性を回避しつつ、試料載置部の温度制御を行い、高精度な露光や検査が可能となる。
【００４７】
【発明の効果】
本発明によれば、発塵を防ぎ、真空度の劣化、及び真空内の汚染の危険性を回避しつつ、試料載置部の温度制御を実現し、高精度な露光及び検査が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例による試料載置用可動ステージを用いた電子線描画装置の概略構成図。
【図２】本発明の一実施例による図１におけるステージ４の平面図。
【図３】本発明の第１の実施例による図１におけるステージ４の側面図。
【図４】本発明の第２の実施例による図１におけるステージ４の側面図。
【図５】本発明の第３の実施例によるステージ４の平面図。
【図６】図５のＡ−Ａ断面図。
【図７】図５のＢ−Ｂ断面図。
【図８】本発明の第３の実施例による気体潤滑式ガイドの説明図。
【図９】本発明の第４の実施例によるステージ４の一部を断面して示す側面図。
【図１０】本発明の第４の実施例によるステージ４の異なる一部を断面して示す側面図。
【図１１】本発明の第５の実施例による試料載置部の要部側面図。
【符号の説明】
１…カラム、２…電子線、３…試料室、４…ステージ、５…試料、６，２１…トップテーブル、７…試料保持機構（手段）、１６…ステージベース、１７…ガイド支持材、１８…第１のＸ軸方向のガイド、１９…移動テーブル、２０…第２のＹ軸方向のガイド、２３…温度センサ、２４…熱交換用の媒体、２５…流路、２６…配管、３３…温度調整部材、３６…電気的に温度制御可能な手段。

Claims

真空又は減圧雰囲気中で試料を載置するテーブルと、可動側と固定側とを含みこれらの相対的な移動により前記テーブルの移動を案内するガイドと、試料載置部の近傍に配置した温度センサと、前記ガイドを介して前記試料載置部を冷却するための熱交換用媒体の流路と、この熱交換制御により前記試料載置部の温度を調整する温度調整手段を備えた試料載置用可動ステージにおいて、前記熱交換用媒体の流路を、前記ガイドを構成する部材のうち移動の無い固定側のガイド部材内を通して形成したことを特徴とする試料載置用可動ステージ。
真空又は減圧雰囲気中で試料を載置するテーブルと、可動側と固定側とを含みこれらの相対的な移動により前記テーブルの移動を案内するガイドと、試料載置部の近傍に配置した温度センサと、前記ガイドを介して前記試料載置部を冷却するための熱交換用媒体の流路と、この熱交換制御により前記試料載置部の温度を調整する温度調整手段を備えた試料載置用可動ステージにおいて、前記熱交換用媒体の流路は、移動の無い固定側のガイド部材に密着して取付けた部材内を通して形成したことを特徴とする試料載置用可動ステージ。
請求項１又は２において、前記ガイドは、可動側ガイド部材と固定側ガイド部材とを気体潤滑によって摺動させる手段を備えたことを特徴とする試料載置用可動ステージ。
真空又は減圧雰囲気中で試料を載置するテーブルと、前記テーブルを一平面内でＸ軸及びＹ軸方向にそれぞれ案内する第１及び第２のガイドと、試料載置部の近傍に配置した温度センサと、前記ガイドを介して前記試料載置部を冷却するための熱交換用媒体の流路と、この熱交換制御により前記試料載置部の温度を調整する温度調整手段を備えた試料載置用可動ステージにおいて、前記テーブルを前記一平面内で自在方向に案内する気体潤滑式の第３のガイドと、前記熱交換用媒体の流路を、前記第３のガイドを構成する移動の無い固定側のガイド部材内又はこの固定側のガイド部材に密接配置した部材内を通して形成したことを特徴とする試料載置用可動ステージ。
請求項４において、前記テーブルが移動する平面のほぼ全域において、前記テーブルの直下に前記熱交換用媒体の流路が存在するように、前記流路を張りめぐらしたことを特徴とする試料載置用可動ステージ。
請求項１〜５のいずれかにおいて、前記熱交換用媒体の流路から前記試料載置テーブルに至る伝熱経路中に配置した第２の温度センサと、前記熱交換用媒体の流路を複数系統備え、前記温度調整手段は、前記第２の温度センサによる情報と、前記試料の近傍に配置した温度センサによる情報とに基いて、前記複数系統に独立して前記流路を流れる媒体の温度を制御する手段を備えたことを特徴とする試料載置用可動ステージ。
請求項１〜６のいずれかにおいて、電気による発熱又は吸熱手段を、前記試料の近傍に配置し、前記温度調整手段は、前記温度センサからの情報に基き、前記発熱又は吸熱手段を制御するように構成したことを特徴とする試料載置用可動ステージ。
請求項１〜６のいずれかにおいて、前記試料の近傍に配置した電気発熱手段と、この電気発熱手段の不動作中に、前記熱交換用の媒体を用いて前記試料載置部を所望の温度よりも低くなるように制御する前記温度調整部と、前記試料載置部が所望の温度に近づくように、前記温度センサからの情報に基き前記電気発熱手段を制御する温度制御装置を備えたことを特徴とする試料載置用可動ステージ。
荷電粒子線、Ｘ線、及び縮小Ｘ線（ＥＵＶ）を照射して回路パターンを試料に形成する回路パターンの製造装置において、請求項１〜８のいずれかの試料載置用可動ステージを備えたことを特徴とする回路パターンの製造装置。
回路パターンを備えた試料に荷電粒子線を照射して前記回路パターンを検査する回路パターンの検査装置において、請求項１〜８のいずれかの試料載置用可動ステージを備えたことを特徴とする回路パターンの検査装置。