JP2004294181A - 超音波振動子およびこれを用いた流体の流れ測定装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】超音波振動子の不要振動を抑制し、流体の流れ測定に使用した場合に測定の高精度化を図ったものである。
【解決手段】金属製のキャップ2の頂壁の外面に音響整合層4を、内面に圧電体5をそれそれ接着し、前記キャップ2の外周面で、しかも振動の腹に相当する部位には振動抑制用の弾性体12を装着したもので、この弾性体12がキャップ外周面の振動負荷となり、結果的にその振動発生が抑制されることとなる。
【選択図】 図2
【解決手段】金属製のキャップ2の頂壁の外面に音響整合層4を、内面に圧電体5をそれそれ接着し、前記キャップ2の外周面で、しかも振動の腹に相当する部位には振動抑制用の弾性体12を装着したもので、この弾性体12がキャップ外周面の振動負荷となり、結果的にその振動発生が抑制されることとなる。
【選択図】 図2
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧電体を利用した超音波振動子およびこの超音波振動子を利用した流体の流れ測定装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来この種の超音波振動子は、金属製キャップの頂壁外面に音響整合層を、頂壁内面に圧電体をそれぞれ接着したものが一般的であった。金属製キャップと圧電体との接着にはエポキシ樹脂などが使用される(特許文献1)。
【0003】
【特許文献1】
特開平11−118550号公報
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
金属製キャップに密封された従来の超音波振動子では、キャップに不要振動が生起し、これに起因して超音波振動子としても不要振動モードが発生することがあった。
【0005】
このため、残響が大きくなる課題があり、また高精度で計測範囲の広いシングアラウンド方式の測定装置に使用した場合には、信号のS/Nが低下することがあった。
【0006】
本発明はこのような従来の課題を解決したもので、超音波振動子の不要振動モード発生を抑制し、測定装置に使用した場合は高精度な流体の流れ測定が行なえるようにしたものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記課題を解決するために、頂壁を有する金属製のキャップと、前記頂壁の外面に接着した音響整合層と、前記頂壁の内面に接着した圧電体とを備え、前記キャップの外周面には振動抑制用の弾性体を装着した超音波振動子として、キャップの不要振動発生を抑制したものである。
【0008】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態は、頂壁を有する金属製のキャップと、前記頂壁の外面に接着した音響整合層と、前記頂壁の内面に接着した圧電体とを備え、前記キャップの外周面には振動抑制用の弾性体を装着して超音波振動子としたものである。
【0009】
前記弾性体はキャップが振動しようとするときの負荷となり、結果的にその振動を抑制することとなる。
【0010】
弾性体はキャップの外周面を面状に覆うものでも、或いは一部に弾着するものでもよい。一部に弾着するものではキャップにおける外周面であって、その周壁の振動腹部に相当する部位に位置させれば、振動抑制が効果的に行なわれることとなる。
【0011】
複数の振動腹部が存在する場合は、その全てに弾性体を弾着するのが望ましい。弾性体は、例えば断面円形のリング状体とする。
【0012】
また、キャップの外周面を第1の弾性体で面状に覆うとともに、前記キャップにおける外周面であって、その周壁の振動腹部に相当する部位に第2の弾性体を弾接し、かつこの第2の弾性体はキャップの外周面、または第1の弾性体の外周面に位置させれば、より一層の振動抑止効果が期待できるものである。
【0013】
弾性体の周方向長さをキャップにおける外周面の周方向長さより10%以上短くすれば、しっかりとした弾着となり、その分、振動に対する負荷を確実に増大させることができる。
【0014】
弾性体の装着部位は、キャップの外周面に特定されることはなく、その内周面を弾性体で面状に覆うことも考えられる。この場合、弾性体は塗布できるものを採用する。
【0015】
そして、前記した超音波振動子を流路の流体流れ方向に間隔をおいて少なくとも一対配置し、これら超音波振動子間の超音波伝搬時間にもとづき計測手段が前記流路を流れる流体の流速を測定し得るようにすれば、高精度な測定が可能であり、もちろん、前記流速をもとに流量も演算して計測できることは今更いうまでもないことであろう。
【0016】
【実施例】
以下、本発明の実施例について図面を参照して説明する。
【0017】
(実施例1)
図1、2は超音波振動子を示し、外周方向へ延びるフランジ1を下部開放端より形成した金属製のキャップ2は、その頂壁3の外面に音響整合層4を、内面に圧電体5をそれぞれ有するものである。
【0018】
前記音響整合層4と圧電体5はエポキシ樹脂などの接着剤で頂壁3に接着固定されている。
【0019】
圧電体5は直方体状をなすとともに、効率的に縦振動モードで励振し、横振動モードを抑制するためのスリット6が上面から縦に形成してある。
【0020】
キャップ2の下方開放部は、フランジ1に外周部が溶接された金属製の端子板7で閉塞されており、この端子板7に一方の電極端子8が接続されている。
【0021】
他方の電極端子9はハーメチックガラスなどの絶縁材10を介して端子板7を絶縁状態で貫通し、リード線11により圧電体5の下面に接続されている。
【0022】
つまり、圧電体5は上面がキャップ2、端子板7を介して一方の電極端子8に、下面がリード線11を介して他方の電極端子9に接続されているもので、図示はしていないが、電気的接続を良好なものとするために前記上、下面には焼き付け銀などからなる電極が構成されている。
【0023】
そして、キャップ2の外周面にはシリコンゴムなどからなる断面円形のリング状の弾性体12が弾着してある。
【0024】
前記の構成において、電極端子8、9に高周波電圧を投入すると、端子板7およびキャップ2を介して圧電体5の上部電極にその電圧が印加され、またリード線11を介して圧電体5の下部電極にも電圧が印加される。前記電圧の印加によって圧電体5が高周波で振動することとなる。
【0025】
そして、リング状の弾性体12はそれが弾着されているキャップ2の周壁の不要振動負荷として作用し、同振動を抑制することとなる。
【0026】
因みに、図3は、超音波振動子における整合層4の表面中央部の振動特性を示す。
【0027】
すなわち、400〜650[kHZ]内における高周波からなる矩形波で構成したバースト波を用いて超音波振動子を駆動したときの振動振幅の周波数特性を示すもので、横軸に周波数を、縦軸に振動振幅の相対値をとっている。
【0028】
実線Aは実施例1の超音波振動子(弾性体12有り)の、破線Bは従来の超音波振動子(弾性体12を取り除いたもの)の各振動振幅の周波数特性である。なお、実線の実線両矢印Cは、400〜650[kHZ]の範囲にわたる主振動(縦振動)範囲を示す。また破線両矢印Dは、不要振動領域を示し、周波数範囲は150〜250[kHZ]であった。
【0029】
以上から、キャップ2の外周面にリング状の弾性体12が弾着することで、破線両矢印Dで示した不要振動が大きく抑制されていることが理解できるであろう。
【0030】
図4は超音波振動子におけるキャップ周壁の振動振幅特性(弾性体12を取り除いたもの)であって、実線Eのごとくキャップ周壁高さ方向に3つ振動の腹と、2つの振動の節が存在する。中央の振動の腹の位相と、他の上および下の2つの振動の腹との位相は逆相関係にあった。
【0031】
上記実施例1において、弾性体12を中央の振動の腹に対応して取付けると図3の破線両矢印Dで示す不要振動が効率よく抑制できるものである。
【0032】
リング状弾性体12の周長は、キャップ2における外周面の周長より10%以上短く設定するのが望ましい。
【0033】
前記設定によって弾性体12は確実にキャップ2の外周面に弾着して、振動抑制効果を発揮するものである。
【0034】
このように弾性体12を振動の腹部に対応して弾着することにより、不要振動を効率的に抑制できるもので、よって、超音波振動子の振動特性が主振動のみとなり、振動のS/Nが大きく向上する。
【0035】
弾性体12のとしては、前記したシリコンゴムのほか、フッ素ゴム、温度特性に優れたフロロシリコンゴムなどをはじめとするゴム、或いは、粘弾性特性に優れたゲル状の材料などが考えられる。
【0036】
(実施例2)
図5は、キャップ2の周壁であって振動の腹部に相当する外周面の3箇所にリング状の弾性体12a、12b、12cを弾着したものである。
【0037】
このようにキャップ2の周壁であって全ての振動の腹部に相当する外周面に弾性体12a、12b、12cを弾着することで、より一層不要振動の発生を抑制できることとなる。
【0038】
(実施例3)
図6は、キャップ2の外周面の全面に筒状の弾性体12dを弾着させたものである。弾性体12dとしては肉厚3mm以上のシリコンゴムで形成した。
【0039】
この構成では、弾性体12dの弾着でキャップ2の外周面の全面が締め付けられるようになり、すなわち、全ての振動の腹部が弾性体12dで締め付けられるため、不要振動の抑制が効率的にできるとともに、キャップ2の周壁を伝搬する弾性振動も抑制できることとなる。
【0040】
弾性体12dの肉厚として大きい方が不要振動の抑制効果が高いが、キャップ2への弾着作業性を考慮してその値は適宜選択すればよい。
【0041】
(実施例4)
図7は、キャップ2の外周面の全面に筒状の弾性体12dを弾着させ、さらにこの筒状の弾性体12dの外側で、かつキャップ2の周壁の全ての振動の腹部に相当する部位にリング状の弾性体12a、12b、12cを弾着させた例である。
【0042】
この構成によって、不要振動の全ての腹部にリング状の弾性体12a、12b、12cの力が強く作用するとともに、筒状の弾性体12dの存在によって密着性も向上するところから、不要振動、並びに、弾性振動の抑制効果が一段と高められるものである。
【0043】
筒状の弾性体12dとリング状の弾性体12a、12b、12cとの位置関係は前記構成に限定されず、逆にリング状の弾性体12a、12b、12cを内側にして、これらを覆うように筒状の弾性体12dを弾着することも可能である。
【0044】
さらに筒状の弾性体12dとリング状の弾性体12a、12b、12cとは別体である必要はなく、予め一体に成形したものを使用してもよい。
【0045】
(実施例5)
図8は、実施例1の構成に加え、キャップ2の周壁内面全体に筒状の弾性体12dを接着剤で接着させたものである。この場合、筒状の弾性体12dは減径して、すなわち外周方向に反発力が働くようにキャップ2の周壁内面に弾着されている。
【0046】
もちろん、リング状の弾性体12はキャップ2における周壁の中央の振動の腹に相当する外周面に弾着してある。
【0047】
この実施例5によれば、キャップ2の周壁は内外周面から振動の抑制が図られるものである。
【0048】
なお、筒状の弾性体12dとしては残響抑制用の塗料を採用すれば、簡単に、しかも効率的にキャップ2の周壁内面への配置ができることとなる。
【0049】
前記各実施例において、実施例2、4、5のリング状弾性体、および、実施例3、4の筒状弾性体は、実施例1と同様の材料からなり、また周長は、キャップにおける外周面の周長より10%以上短く設定してある。
【0050】
(実施例6)
次に、不要振動の抑制と、超音波振動子のS/Nとの関係について説明する。
【0051】
超音波振動子のS/N、即ち、信号(S)および雑音(N)は、自己送受信法で評価した。
【0052】
なお、自己送受信法とは、超音波振動子から超音波を平板状の超音波反射板に向け送信し、超音波反射板で反射してきた超音波を同一の超音波振動子で受信する方法で、一般に良く知られた評価法である。
【0053】
図9は自己送受信法において用いられる超音波振動子の駆動兼受信回路ブロックを示す。
【0054】
20は超音波振動子21を駆動する発振器を示し、超音波を駆動するためのバ−スト信号を発生する。このバ−スト信号は、送信側のダイオ−ドブロック22を介して超音波振動子21および負荷抵抗23(約1[kohm]に設定)に供給される。
【0055】
超音波振動子21のインピ−ダンスは共振近傍では負荷抵抗23に比べ充分小さいので、発振器から供給されるバ−スト信号は全て超音波振動子21に供給されると考えられる。
【0056】
このバ−スト信号により、超音波振動子21からは、超音波24が超音波反射板25に向かって送出される。
【0057】
平板状の超音波反射板25は、アルミ、SUSなどの金属平板で構成した。
【0058】
なお、超音波振動子21と超音波反射板25との距離は、約150[mm]に設定した。
【0059】
超音波反射板25で反射した超音波26は、同一の超音波振動子21で受信される。この超音波振動子21は、反射した超音波26を受信すると、電圧を発生する。
【0060】
この発生した電圧は信号抵抗27(約1[kohm]に設定)を介してオシロスコ−プ28で受信される。通常の場合、超音波振動子21で発生する受信電圧はダイオ−ドの閾値約0.9[V]よりも小さいので、超音波振動子21で発生した受信電圧は、受信側ダイオ−ドブロック29を減衰することなく通過し、オシロスコ−プ28で受信される。
【0061】
なお、発振器29からの電圧は、オシロスコ−プ28へ信号抵抗23を介しての供給されるが、受信側ダイオ−ドブロック29の閾値電圧約0.9[V]でクリップされるため、それ以上の高電圧が印加されることはない。このため、発振器からの供給電圧でオシロスコ−プが壊れることはない。
【0062】
このようにして得られる自己送受信波形を図10に示す。横軸に超音波振動子駆動後の経過時間を示し、縦軸にオシロスコ−プ28の受信電圧を示す。
【0063】
実線Eは超音波振動子21の駆動電圧および受信電圧を示し、円F内の信号は、送信された超音波が反射板25で反射され戻って来て、超音波振動子21で受信された超音波の受信信号を示す。
【0064】
なお、受信電圧Eの左の方の大きい電圧は、超音波振動振動子1に印加された駆動信号が残響として超音波振動子内に残っている様子を示している。
【0065】
図11は、図10の受信電圧を対数にして得た図を示す。
【0066】
円G内の信号が反射板で反射して来た超音波による受信電圧Hを示す。破線Iは、駆動電圧の残響を示す曲線である。 この曲線Iの受信電圧H時点における電圧の推定値Jを雑音電圧Vnとし、受信電圧値Hを信号電圧Vsとした。信号対雑音、いわゆるS/NをS/N=Vs/Vn と定義し用いた。不要振動が大きく認められる超音波振動子では、S/Nは約10以下、即ち約20[dB]以下であるが、上記実施例に示した不要振動を抑制した超音波振動子21では、S/Nは、約18以上、即ち約25[dB]以上であった。
【0067】
このように、不要振動を抑制することにより、超音波振動子のS/Nを大きく改善することが出来た。
【0068】
(実施例7)
次に、前記実施例の不要振動を抑制した超音波振動子を用いた流体の流れ測定装置について説明する。
【0069】
第12図は測定装置30の断面図を示す。
【0070】
気体、液体などの流体の流れる流路31には、流体流れ方向に間隔をおいて少なくとも一対の超音波振動子32、33が配置してある。
【0071】
前記一対の超音波振動子32、33は流路31を間にして斜めに対向している。
【0072】
図中の片矢印34は流体の流れる方向を示し、超音波が超音波振動子32、33間を伝播する方向は破線両矢印35で示す。
【0073】
なお、超音波の伝播する距離をLとする。また、超音波が伝播する方向35と流体が流れる方向片矢印34との交叉角をαとする。
【0074】
また、流路31を流れる気体あるいは液体中を伝播する超音波の伝播速度をVs、流体の流速をVfとする。
【0075】
このような構成において、上流側の超音波振動子32から下流側の超音波振動子33へ超音波を伝播させた場合、伝播時間Tudは、
Tud=L/(Vs+Vf・cosα)で示され、
逆に、下流側の超音波振動子33から上流側の超音波振動子32へ超音波を伝播させた場合、伝播時間Tduは、
Tdu= L/(Vs−Vf・cosα)で示される。
これらより、
Vs+Vf・cosα=L/Tud
Vs−Vf・cosα=L/Tdu となり、
Vf=[L/(2cosα)][(1/Tud)−(1/Tdu)]
となる。
【0076】
このようにして流体の流速Vfが、超音波振動子間を伝播する超音波の伝播時間TudおよびTduを計測することにより得られる。 通常の場合、距離Lおよび交叉角αは既知であるから、流速Vfが演算により得られる。
【0077】
さらに、この流速Vfと、流路31の断面積Sおよび流速分布を補正する補正係数Kとを乗算すれば、流量Qが得られる。即ち、
Q=K・S・Vf となる。
【0078】
なお、数[L/h]の低流速、低流量範囲まで計測する場合、これらの時間計測精度は、数[nsec]のオ−ダ−あるいはそれ以下の高精度が要求される。このような高精度を容易に実現すること困難なので、通常の場合には、残響の小さい超音波振動子を用いシングアラウンド方式が採用される。
【0079】
シングアラウンド方式を簡単に説明すると、例えば、上流側の超音波振動子32から超音波を送信し、下流側の超音波振動子33で受信する。
【0080】
この受信信号を上流側の超音波振動子32に伝達し、この伝達信号を受けて再度上流側超音波振動子32から超音波を送信し、下流側の超音波振動子33で受信する。
【0081】
このように一方向の送受信を数回〜数百回繰り返し実施し、その合計時間および繰り返し回数Nを計測する。
【0082】
その後、逆方向、即ち、下流側の超音波振動子33から上流側の超音波子振動子32に対し同様に超音波の送受信を繰り返す。
【0083】
このようにすることにより、例えば、容易に実現できる数百kHz〜数十MHzの時間精度のクロックであっても、超音波の伝播時間を上記に示した数[nsec]オ−ダ−あるいはそれ以下の高精度で計測することが可能となる。
【0084】
この場合、超音波振動子32、33の残響特性が十分でないと、複数回の送受信を繰り返している内に、S/Nが悪化し、高精度に時間計測できなくなる。
【0085】
このため、残響の小さい超音波振動子が求められている。
【0086】
本実施例においては、上記実施例で説明した残響の少ない超音波振動子を用いているので、高精度計測のできるシングアラウンド方式をS/Nよく実現することができ、広い流れ範囲、即ち、低流速、低流量域から高流速、高流量まで計測できる流量計を実現することができた。
【0087】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように本発明のによれば、残響を小さくして高精度の超音波振動子が得られるものであり、またこの超音波振動子を流体の流れ測定装置に使用すれば、流速およびまたは流量の測定が確実にできるものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例における超音波振動子の側面図
【図2】同超音波振動子の断面図
【図3】振動特性図
【図4】超音波振動子の振動形態を示す説明図
【図5】本発明の他の実施例における超音波振動子の側面図
【図6】本発明のさらに他の実施例における超音波振動子の側面図
【図7】(a)本発明のさらに他の実施例における超音波振動子の側面図(b)弾性体の断面図
【図8】本発明のさらに他の実施例における超音波振動子の断面図
【図9】超音波振動子の駆動兼受信回路のブロック図
【図10】超音波振動子の自己受信波形図
【図11】超音波振動子の受信電圧を対数により示した説明図
【図12】超音波振動子を使用した流れ測定装置の概略説明図
【符号の説明】
2 キャップ
3 頂壁
4 音響整合層
5 圧電体
12、12a、12b、12c、12d 弾性体
32、33 超音波振動子
36 流量記憶手段
37 流量表示手段
38 計測異常判別手段
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧電体を利用した超音波振動子およびこの超音波振動子を利用した流体の流れ測定装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来この種の超音波振動子は、金属製キャップの頂壁外面に音響整合層を、頂壁内面に圧電体をそれぞれ接着したものが一般的であった。金属製キャップと圧電体との接着にはエポキシ樹脂などが使用される(特許文献1)。
【0003】
【特許文献1】
特開平11−118550号公報
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
金属製キャップに密封された従来の超音波振動子では、キャップに不要振動が生起し、これに起因して超音波振動子としても不要振動モードが発生することがあった。
【0005】
このため、残響が大きくなる課題があり、また高精度で計測範囲の広いシングアラウンド方式の測定装置に使用した場合には、信号のS/Nが低下することがあった。
【0006】
本発明はこのような従来の課題を解決したもので、超音波振動子の不要振動モード発生を抑制し、測定装置に使用した場合は高精度な流体の流れ測定が行なえるようにしたものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記課題を解決するために、頂壁を有する金属製のキャップと、前記頂壁の外面に接着した音響整合層と、前記頂壁の内面に接着した圧電体とを備え、前記キャップの外周面には振動抑制用の弾性体を装着した超音波振動子として、キャップの不要振動発生を抑制したものである。
【0008】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態は、頂壁を有する金属製のキャップと、前記頂壁の外面に接着した音響整合層と、前記頂壁の内面に接着した圧電体とを備え、前記キャップの外周面には振動抑制用の弾性体を装着して超音波振動子としたものである。
【0009】
前記弾性体はキャップが振動しようとするときの負荷となり、結果的にその振動を抑制することとなる。
【0010】
弾性体はキャップの外周面を面状に覆うものでも、或いは一部に弾着するものでもよい。一部に弾着するものではキャップにおける外周面であって、その周壁の振動腹部に相当する部位に位置させれば、振動抑制が効果的に行なわれることとなる。
【0011】
複数の振動腹部が存在する場合は、その全てに弾性体を弾着するのが望ましい。弾性体は、例えば断面円形のリング状体とする。
【0012】
また、キャップの外周面を第1の弾性体で面状に覆うとともに、前記キャップにおける外周面であって、その周壁の振動腹部に相当する部位に第2の弾性体を弾接し、かつこの第2の弾性体はキャップの外周面、または第1の弾性体の外周面に位置させれば、より一層の振動抑止効果が期待できるものである。
【0013】
弾性体の周方向長さをキャップにおける外周面の周方向長さより10%以上短くすれば、しっかりとした弾着となり、その分、振動に対する負荷を確実に増大させることができる。
【0014】
弾性体の装着部位は、キャップの外周面に特定されることはなく、その内周面を弾性体で面状に覆うことも考えられる。この場合、弾性体は塗布できるものを採用する。
【0015】
そして、前記した超音波振動子を流路の流体流れ方向に間隔をおいて少なくとも一対配置し、これら超音波振動子間の超音波伝搬時間にもとづき計測手段が前記流路を流れる流体の流速を測定し得るようにすれば、高精度な測定が可能であり、もちろん、前記流速をもとに流量も演算して計測できることは今更いうまでもないことであろう。
【0016】
【実施例】
以下、本発明の実施例について図面を参照して説明する。
【0017】
(実施例1)
図1、2は超音波振動子を示し、外周方向へ延びるフランジ1を下部開放端より形成した金属製のキャップ2は、その頂壁3の外面に音響整合層4を、内面に圧電体5をそれぞれ有するものである。
【0018】
前記音響整合層4と圧電体5はエポキシ樹脂などの接着剤で頂壁3に接着固定されている。
【0019】
圧電体5は直方体状をなすとともに、効率的に縦振動モードで励振し、横振動モードを抑制するためのスリット6が上面から縦に形成してある。
【0020】
キャップ2の下方開放部は、フランジ1に外周部が溶接された金属製の端子板7で閉塞されており、この端子板7に一方の電極端子8が接続されている。
【0021】
他方の電極端子9はハーメチックガラスなどの絶縁材10を介して端子板7を絶縁状態で貫通し、リード線11により圧電体5の下面に接続されている。
【0022】
つまり、圧電体5は上面がキャップ2、端子板7を介して一方の電極端子8に、下面がリード線11を介して他方の電極端子9に接続されているもので、図示はしていないが、電気的接続を良好なものとするために前記上、下面には焼き付け銀などからなる電極が構成されている。
【0023】
そして、キャップ2の外周面にはシリコンゴムなどからなる断面円形のリング状の弾性体12が弾着してある。
【0024】
前記の構成において、電極端子8、9に高周波電圧を投入すると、端子板7およびキャップ2を介して圧電体5の上部電極にその電圧が印加され、またリード線11を介して圧電体5の下部電極にも電圧が印加される。前記電圧の印加によって圧電体5が高周波で振動することとなる。
【0025】
そして、リング状の弾性体12はそれが弾着されているキャップ2の周壁の不要振動負荷として作用し、同振動を抑制することとなる。
【0026】
因みに、図3は、超音波振動子における整合層4の表面中央部の振動特性を示す。
【0027】
すなわち、400〜650[kHZ]内における高周波からなる矩形波で構成したバースト波を用いて超音波振動子を駆動したときの振動振幅の周波数特性を示すもので、横軸に周波数を、縦軸に振動振幅の相対値をとっている。
【0028】
実線Aは実施例1の超音波振動子(弾性体12有り)の、破線Bは従来の超音波振動子(弾性体12を取り除いたもの)の各振動振幅の周波数特性である。なお、実線の実線両矢印Cは、400〜650[kHZ]の範囲にわたる主振動(縦振動)範囲を示す。また破線両矢印Dは、不要振動領域を示し、周波数範囲は150〜250[kHZ]であった。
【0029】
以上から、キャップ2の外周面にリング状の弾性体12が弾着することで、破線両矢印Dで示した不要振動が大きく抑制されていることが理解できるであろう。
【0030】
図4は超音波振動子におけるキャップ周壁の振動振幅特性(弾性体12を取り除いたもの)であって、実線Eのごとくキャップ周壁高さ方向に3つ振動の腹と、2つの振動の節が存在する。中央の振動の腹の位相と、他の上および下の2つの振動の腹との位相は逆相関係にあった。
【0031】
上記実施例1において、弾性体12を中央の振動の腹に対応して取付けると図3の破線両矢印Dで示す不要振動が効率よく抑制できるものである。
【0032】
リング状弾性体12の周長は、キャップ2における外周面の周長より10%以上短く設定するのが望ましい。
【0033】
前記設定によって弾性体12は確実にキャップ2の外周面に弾着して、振動抑制効果を発揮するものである。
【0034】
このように弾性体12を振動の腹部に対応して弾着することにより、不要振動を効率的に抑制できるもので、よって、超音波振動子の振動特性が主振動のみとなり、振動のS/Nが大きく向上する。
【0035】
弾性体12のとしては、前記したシリコンゴムのほか、フッ素ゴム、温度特性に優れたフロロシリコンゴムなどをはじめとするゴム、或いは、粘弾性特性に優れたゲル状の材料などが考えられる。
【0036】
(実施例2)
図5は、キャップ2の周壁であって振動の腹部に相当する外周面の3箇所にリング状の弾性体12a、12b、12cを弾着したものである。
【0037】
このようにキャップ2の周壁であって全ての振動の腹部に相当する外周面に弾性体12a、12b、12cを弾着することで、より一層不要振動の発生を抑制できることとなる。
【0038】
(実施例3)
図6は、キャップ2の外周面の全面に筒状の弾性体12dを弾着させたものである。弾性体12dとしては肉厚3mm以上のシリコンゴムで形成した。
【0039】
この構成では、弾性体12dの弾着でキャップ2の外周面の全面が締め付けられるようになり、すなわち、全ての振動の腹部が弾性体12dで締め付けられるため、不要振動の抑制が効率的にできるとともに、キャップ2の周壁を伝搬する弾性振動も抑制できることとなる。
【0040】
弾性体12dの肉厚として大きい方が不要振動の抑制効果が高いが、キャップ2への弾着作業性を考慮してその値は適宜選択すればよい。
【0041】
(実施例4)
図7は、キャップ2の外周面の全面に筒状の弾性体12dを弾着させ、さらにこの筒状の弾性体12dの外側で、かつキャップ2の周壁の全ての振動の腹部に相当する部位にリング状の弾性体12a、12b、12cを弾着させた例である。
【0042】
この構成によって、不要振動の全ての腹部にリング状の弾性体12a、12b、12cの力が強く作用するとともに、筒状の弾性体12dの存在によって密着性も向上するところから、不要振動、並びに、弾性振動の抑制効果が一段と高められるものである。
【0043】
筒状の弾性体12dとリング状の弾性体12a、12b、12cとの位置関係は前記構成に限定されず、逆にリング状の弾性体12a、12b、12cを内側にして、これらを覆うように筒状の弾性体12dを弾着することも可能である。
【0044】
さらに筒状の弾性体12dとリング状の弾性体12a、12b、12cとは別体である必要はなく、予め一体に成形したものを使用してもよい。
【0045】
(実施例5)
図8は、実施例1の構成に加え、キャップ2の周壁内面全体に筒状の弾性体12dを接着剤で接着させたものである。この場合、筒状の弾性体12dは減径して、すなわち外周方向に反発力が働くようにキャップ2の周壁内面に弾着されている。
【0046】
もちろん、リング状の弾性体12はキャップ2における周壁の中央の振動の腹に相当する外周面に弾着してある。
【0047】
この実施例5によれば、キャップ2の周壁は内外周面から振動の抑制が図られるものである。
【0048】
なお、筒状の弾性体12dとしては残響抑制用の塗料を採用すれば、簡単に、しかも効率的にキャップ2の周壁内面への配置ができることとなる。
【0049】
前記各実施例において、実施例2、4、5のリング状弾性体、および、実施例3、4の筒状弾性体は、実施例1と同様の材料からなり、また周長は、キャップにおける外周面の周長より10%以上短く設定してある。
【0050】
(実施例6)
次に、不要振動の抑制と、超音波振動子のS/Nとの関係について説明する。
【0051】
超音波振動子のS/N、即ち、信号(S)および雑音(N)は、自己送受信法で評価した。
【0052】
なお、自己送受信法とは、超音波振動子から超音波を平板状の超音波反射板に向け送信し、超音波反射板で反射してきた超音波を同一の超音波振動子で受信する方法で、一般に良く知られた評価法である。
【0053】
図9は自己送受信法において用いられる超音波振動子の駆動兼受信回路ブロックを示す。
【0054】
20は超音波振動子21を駆動する発振器を示し、超音波を駆動するためのバ−スト信号を発生する。このバ−スト信号は、送信側のダイオ−ドブロック22を介して超音波振動子21および負荷抵抗23(約1[kohm]に設定)に供給される。
【0055】
超音波振動子21のインピ−ダンスは共振近傍では負荷抵抗23に比べ充分小さいので、発振器から供給されるバ−スト信号は全て超音波振動子21に供給されると考えられる。
【0056】
このバ−スト信号により、超音波振動子21からは、超音波24が超音波反射板25に向かって送出される。
【0057】
平板状の超音波反射板25は、アルミ、SUSなどの金属平板で構成した。
【0058】
なお、超音波振動子21と超音波反射板25との距離は、約150[mm]に設定した。
【0059】
超音波反射板25で反射した超音波26は、同一の超音波振動子21で受信される。この超音波振動子21は、反射した超音波26を受信すると、電圧を発生する。
【0060】
この発生した電圧は信号抵抗27(約1[kohm]に設定)を介してオシロスコ−プ28で受信される。通常の場合、超音波振動子21で発生する受信電圧はダイオ−ドの閾値約0.9[V]よりも小さいので、超音波振動子21で発生した受信電圧は、受信側ダイオ−ドブロック29を減衰することなく通過し、オシロスコ−プ28で受信される。
【0061】
なお、発振器29からの電圧は、オシロスコ−プ28へ信号抵抗23を介しての供給されるが、受信側ダイオ−ドブロック29の閾値電圧約0.9[V]でクリップされるため、それ以上の高電圧が印加されることはない。このため、発振器からの供給電圧でオシロスコ−プが壊れることはない。
【0062】
このようにして得られる自己送受信波形を図10に示す。横軸に超音波振動子駆動後の経過時間を示し、縦軸にオシロスコ−プ28の受信電圧を示す。
【0063】
実線Eは超音波振動子21の駆動電圧および受信電圧を示し、円F内の信号は、送信された超音波が反射板25で反射され戻って来て、超音波振動子21で受信された超音波の受信信号を示す。
【0064】
なお、受信電圧Eの左の方の大きい電圧は、超音波振動振動子1に印加された駆動信号が残響として超音波振動子内に残っている様子を示している。
【0065】
図11は、図10の受信電圧を対数にして得た図を示す。
【0066】
円G内の信号が反射板で反射して来た超音波による受信電圧Hを示す。破線Iは、駆動電圧の残響を示す曲線である。 この曲線Iの受信電圧H時点における電圧の推定値Jを雑音電圧Vnとし、受信電圧値Hを信号電圧Vsとした。信号対雑音、いわゆるS/NをS/N=Vs/Vn と定義し用いた。不要振動が大きく認められる超音波振動子では、S/Nは約10以下、即ち約20[dB]以下であるが、上記実施例に示した不要振動を抑制した超音波振動子21では、S/Nは、約18以上、即ち約25[dB]以上であった。
【0067】
このように、不要振動を抑制することにより、超音波振動子のS/Nを大きく改善することが出来た。
【0068】
(実施例7)
次に、前記実施例の不要振動を抑制した超音波振動子を用いた流体の流れ測定装置について説明する。
【0069】
第12図は測定装置30の断面図を示す。
【0070】
気体、液体などの流体の流れる流路31には、流体流れ方向に間隔をおいて少なくとも一対の超音波振動子32、33が配置してある。
【0071】
前記一対の超音波振動子32、33は流路31を間にして斜めに対向している。
【0072】
図中の片矢印34は流体の流れる方向を示し、超音波が超音波振動子32、33間を伝播する方向は破線両矢印35で示す。
【0073】
なお、超音波の伝播する距離をLとする。また、超音波が伝播する方向35と流体が流れる方向片矢印34との交叉角をαとする。
【0074】
また、流路31を流れる気体あるいは液体中を伝播する超音波の伝播速度をVs、流体の流速をVfとする。
【0075】
このような構成において、上流側の超音波振動子32から下流側の超音波振動子33へ超音波を伝播させた場合、伝播時間Tudは、
Tud=L/(Vs+Vf・cosα)で示され、
逆に、下流側の超音波振動子33から上流側の超音波振動子32へ超音波を伝播させた場合、伝播時間Tduは、
Tdu= L/(Vs−Vf・cosα)で示される。
これらより、
Vs+Vf・cosα=L/Tud
Vs−Vf・cosα=L/Tdu となり、
Vf=[L/(2cosα)][(1/Tud)−(1/Tdu)]
となる。
【0076】
このようにして流体の流速Vfが、超音波振動子間を伝播する超音波の伝播時間TudおよびTduを計測することにより得られる。 通常の場合、距離Lおよび交叉角αは既知であるから、流速Vfが演算により得られる。
【0077】
さらに、この流速Vfと、流路31の断面積Sおよび流速分布を補正する補正係数Kとを乗算すれば、流量Qが得られる。即ち、
Q=K・S・Vf となる。
【0078】
なお、数[L/h]の低流速、低流量範囲まで計測する場合、これらの時間計測精度は、数[nsec]のオ−ダ−あるいはそれ以下の高精度が要求される。このような高精度を容易に実現すること困難なので、通常の場合には、残響の小さい超音波振動子を用いシングアラウンド方式が採用される。
【0079】
シングアラウンド方式を簡単に説明すると、例えば、上流側の超音波振動子32から超音波を送信し、下流側の超音波振動子33で受信する。
【0080】
この受信信号を上流側の超音波振動子32に伝達し、この伝達信号を受けて再度上流側超音波振動子32から超音波を送信し、下流側の超音波振動子33で受信する。
【0081】
このように一方向の送受信を数回〜数百回繰り返し実施し、その合計時間および繰り返し回数Nを計測する。
【0082】
その後、逆方向、即ち、下流側の超音波振動子33から上流側の超音波子振動子32に対し同様に超音波の送受信を繰り返す。
【0083】
このようにすることにより、例えば、容易に実現できる数百kHz〜数十MHzの時間精度のクロックであっても、超音波の伝播時間を上記に示した数[nsec]オ−ダ−あるいはそれ以下の高精度で計測することが可能となる。
【0084】
この場合、超音波振動子32、33の残響特性が十分でないと、複数回の送受信を繰り返している内に、S/Nが悪化し、高精度に時間計測できなくなる。
【0085】
このため、残響の小さい超音波振動子が求められている。
【0086】
本実施例においては、上記実施例で説明した残響の少ない超音波振動子を用いているので、高精度計測のできるシングアラウンド方式をS/Nよく実現することができ、広い流れ範囲、即ち、低流速、低流量域から高流速、高流量まで計測できる流量計を実現することができた。
【0087】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように本発明のによれば、残響を小さくして高精度の超音波振動子が得られるものであり、またこの超音波振動子を流体の流れ測定装置に使用すれば、流速およびまたは流量の測定が確実にできるものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例における超音波振動子の側面図
【図2】同超音波振動子の断面図
【図3】振動特性図
【図4】超音波振動子の振動形態を示す説明図
【図5】本発明の他の実施例における超音波振動子の側面図
【図6】本発明のさらに他の実施例における超音波振動子の側面図
【図7】(a)本発明のさらに他の実施例における超音波振動子の側面図(b)弾性体の断面図
【図8】本発明のさらに他の実施例における超音波振動子の断面図
【図9】超音波振動子の駆動兼受信回路のブロック図
【図10】超音波振動子の自己受信波形図
【図11】超音波振動子の受信電圧を対数により示した説明図
【図12】超音波振動子を使用した流れ測定装置の概略説明図
【符号の説明】
2 キャップ
3 頂壁
4 音響整合層
5 圧電体
12、12a、12b、12c、12d 弾性体
32、33 超音波振動子
36 流量記憶手段
37 流量表示手段
38 計測異常判別手段
Claims (11)
- 頂壁を有する金属製のキャップと、前記頂壁の外面に接着した音響整合層と、前記頂壁の内面に接着した圧電体とを備え、前記キャップの外周面には振動抑制用の弾性体を装着した超音波振動子。
- キャップの外周面を弾性体で面状に覆った請求項1記載の超音波振動子。
- キャップにおける外周面であって、その周壁の振動腹部に相当する部位に弾性体を弾接させた請求項1記載の超音波振動子。
- キャップにおける外周面外周面であって、その周壁の振動腹部に相当する全ての部位に弾性体を弾接させた請求項3記載の超音波振動子。
- 弾性体をリング状に形成した請求項3または4記載の超音波振動子。
- キャップの外周面を第1の弾性体で面状に覆うとともに、前記キャップにおける外周面であって、その周壁の振動腹部に相当する部位に第2の弾性体を弾接し、かつこの第2の弾性体はキャップの外周面、または第1の弾性体の外周面に位置させた超音波振動子。
- キャップにおける外周面の周方向長さより弾性体の周方向長さを10%以上短くした請求項1〜6のいずれか1項記載の超音波振動子。
- キャップの内周面を弾性体で面状に覆った請求項1記載の超音波振動子。
- 塗布された弾性体である請求項8記載の超音波振動子。
流量計。 - 請求項1〜9のいずれか1項記載の超音波振動子を流路の流体流れ方向に間隔をおいて少なくとも一対配置し、これら超音波振動子間の超音波伝搬時間にもとづき計測手段が前記流路を流れる流体の流速を測定するようにした流体の流れ測定装置。
- 計測手段の計測結果にもとづき流量を演算する演算手段を具備した流体の流れ測定装置。
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2003
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