JP2004288266A - スタンパー製造方法およびスタンパー製造装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】情報記録媒体用基材のグルーブやランドの表面を十分に平滑に形成し得るスタンパーのスタンパー製造方法を提供する。
【解決手段】その表面に凹凸部が形成されたマスタースタンパー２をアルカリ水溶液に浸して非通電状態で浸漬洗浄し、浸漬洗浄したマスタースタンパー２を超音波洗浄し、超音波洗浄したマスタースタンパー２を酸化処理液に浸して凹凸部の表面を酸化処理し、酸化処理した凹凸部の表面に電解ニッケル層１１を形成し、凹凸部の凹凸形状が転写された電解ニッケル層１１をマスタースタンパー２から剥離することにより、情報記録媒体用基材を形成するための電解ニッケル層１１からなるスタンパーを製造する。
【選択図】 図７
【解決手段】その表面に凹凸部が形成されたマスタースタンパー２をアルカリ水溶液に浸して非通電状態で浸漬洗浄し、浸漬洗浄したマスタースタンパー２を超音波洗浄し、超音波洗浄したマスタースタンパー２を酸化処理液に浸して凹凸部の表面を酸化処理し、酸化処理した凹凸部の表面に電解ニッケル層１１を形成し、凹凸部の凹凸形状が転写された電解ニッケル層１１をマスタースタンパー２から剥離することにより、情報記録媒体用基材を形成するための電解ニッケル層１１からなるスタンパーを製造する。
【選択図】 図７
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、原盤に形成された凹凸部の凹凸形状を転写して情報記録媒体用基材を形成するためのスタンパーを製造するスタンパー製造方法およびスタンパー製造装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ＣＤ、ＤＶＤおよびブルーレイディスク（Ｂｌｕ−ｒａｙ Ｄｉｓｃ：ＢＤ）等の情報記録媒体用のディスク基材は、一般的に、グルーブやランドを形成するための微細な凹凸部を有するディスク基材作製用のスタンパー（以下、単に「スタンパー」ともいう）をセットした金型に例えばポリカーボネート等の樹脂を射出成形して作製される。この場合、このスタンパーは、射出成形で繰り返して使用されることによって凹凸部が徐々に摩耗する。このため、ディスク状基材を大量に作製するためには、同じ形状の凹凸部を有するスタンパーを複数製造しておく必要がある。この種のスタンパーを製造するスタンパー製造方法として、微細な凹凸部が形成されたマスタースタンパーを使用して、その凹凸部の凹凸形状を転写することによって同一形状の凹凸部を有するスタンパーを複数製造するスタンパー製造方法（一例として、特開平１１−７６６３公報に開示されているスタンパ製造方法）が従来から知られている。
【０００３】
この種のスタンパー製造方法に従ってスタンパーを製造する際には、最初に、マスタースタンパーを製造する。このマスタースタンパーの製造では、まず、ガラス基材の表面にフォトレジスト層を形成した後に、例えばフォトリソグラフィ法によって所定の形状の凹凸部をフォトレジスト層に形成する。次に、例えば無電解めっき処理を施すことによってフォトレジスト層における凹凸部の表面に無電解ニッケル層を形成する。次いで、無電解ニッケル層を電極として使用して電解めっき処理を施すことにより、無電解ニッケル層の上に電解ニッケル層を積層する。続いて、両ニッケル層からなる積層体をフォトレジスト層から剥離する。これにより、フォトレジスト層における凹凸部の凹凸形状が反転した状態で転写されたマスタースタンパーが製造される。次に、マスタースタンパーを例えば酸化処理液中に浸すことにより、その凹凸部の表面に酸化膜を形成する。次いで、電解めっき処理を施すことによってマスタースタンパーの凹凸部の表面にニッケル層を形成する。続いて、このニッケル層をマスタースタンパーから剥離する。これにより、マスタスタンパーの凹凸部の凹凸形状が反転した状態で転写されたスタンパーが製造される。以下、同様にして各工程を繰り返して実行することにより、互いに同一形状の凹凸部を有するスタンパーが複数製造される。
【０００４】
この場合、スタンパーを製造する際に、マスタスタンパーの凹凸部の表面に残留レジスト材や異物などの汚れ（以下、「汚れ等」ともいう）が付着しているときには、その汚れ等の形状がスタンパーに転写されることとなる。このため、この種のスタンパー製造方法では、マスタースタンパーの酸化処理に先立って超音波洗浄することでマスタスタンパーを洗浄している。
【０００５】
【特許文献１】
特開平１１−７６６３公報（第２−３頁）
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、従来のスタンパー製造方法には、以下の課題がある。すなわち、このスタンパー製造方法では、汚れ等を除去するためにマスタースタンパーを超音波洗浄している。しかし、超音波洗浄だけでは汚れ等を完全に除去することが困難なため、このスタンパー製造方法には、マスタースタンパーの凹凸部の表面に微細な汚れ等が残留してその形状が転写されることに起因して、スタンパーの凹凸部の表面を十分に平滑化するのが困難であるという課題が存在する。この場合、このスタンパーを使用してディスク基材を作製する際には、グルーブやランドの表面に荒れ（微細な凹凸）が生じる（形成される）こととなる。このため、このディスク基材を用いた情報記録媒体では、データ読み出し用のレーザービームを照射した際に、反射光に含まれるノイズ量がグルーブやランドの表面の荒れによって大きくなることに起因して、再生エラーが発生するおそれがあり、この点を改善するのが好ましい。
【０００７】
本発明は、かかる課題に鑑みてなされたものであり、情報記録媒体用基材のグルーブやランドの表面を十分に平滑に形成し得るスタンパーのスタンパー製造方法およびスタンパー製造装置を提供することを主目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成すべく本発明に係るスタンパー製造方法は、その表面に凹凸部が形成された原盤をアルカリ水溶液に浸して非通電状態で浸漬洗浄し、当該浸漬洗浄した原盤を超音波洗浄し、当該超音波洗浄した原盤を酸化処理液に浸して前記凹凸部の表面を酸化処理し、当該酸化処理した前記凹凸部の表面に金属層を形成し、前記凹凸部の凹凸形状が転写された前記金属層を前記原盤から剥離することにより、情報記録媒体用基材を形成するための当該金属層からなるスタンパーを製造する。
【０００９】
この場合、前記アルカリ水溶液として水酸化ナトリウム水溶液または水酸化カリウム水溶液を用いるのが好ましい。
【００１０】
また、本発明に係るスタンパー製造装置は、その表面に凹凸部が形成された原盤をアルカリ水溶液に浸して非通電状態で浸漬洗浄する浸漬洗浄装置と、前記浸漬洗浄した原盤を超音波洗浄する超音波洗浄装置と、前記超音波洗浄した原盤を酸化処理液に浸して前記凹凸部の表面を酸化処理する酸化処理装置と、前記酸化処理した前記凹凸部の表面に当該凹凸部の凹凸形状が転写されて情報記録媒体用基材を形成するためのスタンパーとして機能可能な金属層を形成する金属層形成装置とを備えている。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して、本発明に係るスタンパー製造方法およびスタンパー製造装置の好適な実施の形態について説明する。
【００１２】
図１に示すスタンパー１は、情報記録媒体（例えばブルーレイディスク）用のディスク基材を作製するためのスタンパーであって、本発明に係るスタンパー製造方法に従って本発明に係るスタンパー製造装置によって製造される。また、スタンパー１は、例えばニッケルによって全体として平板状に形成されて、ディスク基材の表面にグルーブやランドを形成するための微細な凹凸部がその表面（同図では上面）に形成されて構成されている。この場合、凹凸部における隣り合う凹部１ａ，１ａは、ディスク基材におけるグルーブの形成ピッチに応じて例えば０．３２μｍのピッチで形成されている。一方、図６に示すマスタースタンパー２は、本発明における原盤に相当し、スタンパー１を製造する際に使用される。また、マスタースタンパー２は、例えばニッケルによって全体として平板状に形成されて、スタンパー１の表面に凹凸部を形成（転写）するための微細な凹凸部がその表面（同図では下面）に形成されて構成されている。この場合、凹凸部における隣り合う凸部２ａ，２ａは、スタンパー１における凹部１ａ，１ａのピッチと同一のピッチで形成されている。
【００１３】
次に、このスタンパー１を製造する製造システム４１について、図面を参照して説明する。
【００１４】
製造システム４１は、図２に示すように、マスタースタンパー製造装置４２およびスタンパー製造装置４３を備えている。マスタースタンパー製造装置４２は、同図に示すように、フォトレジスト層形成装置５１、露光装置５２、現像装置５３、導電層付与装置５４および金属層形成装置５５を備えて構成され、マスタースタンパー２を製造する。フォトレジスト層形成装置５１は、図３に示すように、フォトレジスト材を例えばスピンコート法によってガラス基材２１の表面に塗布することにより、薄膜状のフォトレジスト層２２を形成する。露光装置５２は、同図に示すように、露光用のレーザービームＬを照射することにより、フォトレジスト層２２に潜像を形成する。現像装置５３は、潜像が形成されたフォトレジスト層２２を現像してレーザービームＬの照射部位を除去して凹部を形成することにより、図４に示すように、フォトレジスト層２２に凹凸部を形成する。導電層付与装置５４は、無電解めっき処理を施すことにより、フォトレジスト層２２の凹凸部の表面に無電解ニッケル層２３（図５参照）を形成する。金属層形成装置５５は、無電解ニッケル層２３を電極として使用して電解めっき処理を施すことにより、図５に示すように、無電解ニッケル層２３の上に電解ニッケル層２４を形成する。この場合、無電解ニッケル層２３と電解ニッケル層２４とからなる積層体（図６参照）がマスタースタンパー２を構成する。
【００１５】
スタンパー製造装置４３は、図２に示すように、浸漬洗浄装置６１、超音波洗浄装置６２、酸化処理装置６３および金属層形成装置６４を備えて構成され、マスタースタンパー２を使用してスタンパー１を製造する。浸漬洗浄装置６１は、マスタースタンパー製造装置４２によって製造されたマスタースタンパー２をアルカリ水溶液としての例えば水酸化ナトリウム水溶液に浸すことによって浸漬洗浄する。超音波洗浄装置６２は、浸漬洗浄後のマスタースタンパー２を界面活性剤が添加された洗浄水に浸した状態において超音波を印加することによって超音波洗浄する。酸化処理装置６３は、酸化処理液としての例えば過マンガン酸カリウム水溶液に超音波洗浄後のマスタースタンパー２を浸すことにより、マスタースタンパー２の凹凸部の表面を酸化処理する。金属層形成装置６４は、図７に示すように、酸化処理後のマスタースタンパー２に電解めっき処理を施すことにより、その凹凸部の表面に電解ニッケル層１１を形成する。この場合、この電解ニッケル層１１がスタンパー１として機能する。
【００１６】
次に、製造システム４１を用いてスタンパー１を形成する工程について、図面を参照して説明する。
【００１７】
最初に、マスタースタンパー製造装置４２を用いてマスタースタンパー２を製造する。このマスタースタンパー２の製造工程では、まず、フォトレジスト層形成装置５１が、ガラス基材２１（図３参照）の表面にフォトレジスト材（一例として、日本ゼオン（株）製のＤＶＲ１００）をスピンコートする。次に、フォトレジスト層形成装置５１は、ベーキングによってフォトレジスト材の残留溶剤を蒸発させる。これにより、図３に示すように、ガラス基材２１の表面にフォトレジスト層２２が形成される。次に、露光装置５２が、露光用のレーザービームＬをフォトレジスト層２２に照射すことにより、例えば形成ピッチが０．３２μｍ程度で、幅が０．１５μｍ程度の螺旋状の潜像を形成する。次いで、現像装置５３が、この状態のフォトレジスト層２２を現像する。これにより、図４に示すように、レーザービームＬの照射部位が除去されてフォトレジスト層２２に凹凸部が形成される。
【００１８】
続いて、導電層付与装置５４が、無電解めっき処理を施すことにより、図５に示すように、フォトレジスト層２２におけるレジストパターンの表面に導電性を有する無電解ニッケル層２３（導電層）を形成する。これにより、フォトレジスト層２２の表面が導電性を有することとなる。この場合、フォトレジスト層２２の表面に導電性を付与するための導電層の形成用素材はニッケルに限定されず、各種金属材料を用いることができる。また、導電層の形成方法は無電解めっき処理に限定されず、蒸着法やスパッタ法などの各種成膜方法によって各種金属材料層（例えば、ニッケル層）を形成してもよい。次いで、金属層形成装置５５が、無電解ニッケル層２３を電極として使用して電解めっき処理を施すことにより、同図に示すように、無電解ニッケル層２３の上に電解ニッケル層２４を形成（積層）する。この場合、両ニッケル層２３，２４からなる積層体が、後にマスタースタンパー２を構成する。続いて、両ニッケル層２３，２４からなる積層体をフォトレジスト層２２（ガラス基材２１）から剥離する。具体的には、フォトレジスト層２２および両ニッケル層２３，２４が形成されているガラス基材２１全体に水（純粋）をシャワー状に掛け流す。この場合、これらが電解めっきによって例えば５０度程度まで温度上昇しているため、水の掛け流しによってこれらがそれぞれ温度低下して収縮する。この際に、フォトレジスト材、ニッケルおよびガラスの収縮率（熱膨張率）が互いに異なるため、両ニッケル層２３，２４からなる積層体とフォトレジスト層２２（ガラス基材２１）との間に隙間が生じて、両ニッケル層２３，２４からなる積層体がフォトレジスト層２２から剥離する。これにより、図６に示すように、その表面にフォトレジスト層２２の凹凸部の凹凸形状が反転した状態で転写された両ニッケル層２３，２４からなるマスタースタンパー２が製造される。
【００１９】
次に、スタンパー製造装置４３を用いてスタンパー１を製造する。このスタンパー１の製造工程では、まず、浸漬洗浄装置６１が、例えば２０質量％の水酸化ナトリウム水溶液にマスタースタンパー２を例えば３分間浸漬する。この場合、浸漬洗浄装置６１は、電解用の電圧を印加する（電流を流す）ことなく（非通電状態で）マスタースタンパー２を浸漬する。この際に、水酸化ナトリウム水溶液の洗浄作用により、マスタースタンパー２における凹凸部の汚れ等が微細なものまで十分に除去される。なお、水酸化ナトリウムの濃度は２０質量％に限定されず任意の濃度に規定することができる。この場合、水酸化ナトリウム水溶液の濃度に応じた適正な時間だけマスタースタンパー２を浸漬するのが好ましい。また、水酸化ナトリウム水溶液に代えて、水酸化カリウム水溶液を用いることもできる。
【００２０】
次いで、超音波洗浄装置６２が、浸漬洗浄後のマスタースタンパー２を界面活性剤が添加された洗浄水に浸して、その状態で超音波を印加することによって超音波洗浄する。これにより、汚れ等がさらに十分に除去される。続いて、酸化処理装置６３が、酸化処理液としての例えば過マンガン酸カリウム水溶液に超音波洗浄後のマスタースタンパー２を浸して酸化処理を行う。この際に、過マンガン酸カリウム水溶液によってマスタースタンパー２における凹凸部の表面が酸化されて、その表面に酸化皮膜が形成される。この場合、この酸化皮膜が形成されたことにより、後にマスタースタンパー２の凹凸部の表面に形成される電解ニッケル層１１の剥離処理が容易となる。次に、金属層形成装置６４が、図７に示すように、酸化処理後のマスタースタンパー２に電解めっき処理を施すことによりその凹凸部の表面に電解ニッケル層１１を形成する。次いで、マスタースタンパー２の表面に形成された電解ニッケル層１１をマスタースタンパー２から剥離する。具体的には、マスタースタンパー２における凹凸部の表面と、電解ニッケル層１１との境目に例えば刃物の刃先を挿入する。この際に、マスタースタンパー２の凹凸部の表面に酸化皮膜が形成されているため、電解ニッケル層１１は、マスタースタンパー２から容易に剥離する。この場合、剥離装置等を用いて電解ニッケル層１１の剥離作業を自動化してもよい。これにより、図１に示すように、その表面にマスタースタンパー２の凹凸部の凹凸形状が反転した状態で転写された電解ニッケル層１１からなるスタンパー１が製造される。この場合、マスタースタンパー２における凹凸部の表面の汚れ等が十分に除去されているため、スタンパー１の凹凸部の表面が十分に平滑な状態に形成される。
【００２１】
次に、スタンパー１を使用して情報記録媒体用のディスク基材を製造する。この際には、スタンパー１をセットした射出成形用の金型に例えばポリカーボネート等の樹脂を射出する。これにより、スタンパー１の凹凸部が樹脂に転写されることによってその表面にグルーブおよびランドが形成されて、ディスク基材が製造される。この場合、スタンパー１の凹凸部の表面が十分に平滑な状態に形成されているため、ディスク基材は、そのグルーブおよびランドの表面が、十分に平滑な状態に形成される。したがって、このディスク基材を用いた情報記録媒体（例えばブルーレイディスク）において、読み出し用レーザービームの照射時に反射した光に含まれるノイズが十分に低減される結果、情報記録媒体から高いＣ／Ｎ比で記録データを読み出すことができる。
【００２２】
なお、スタンパー１、および従来のスタンパー製造方法によって製造したスタンパー７１（図９参照）の凹凸部を走査電子顕微鏡で観察した。この結果、図８に示すように、スタンパー１の凹凸部には、汚れ等に起因すると思われる模様や影が視認されなかった。一方、図９に示すように、スタンパー７１では、その凹凸部における凹部７１ａに汚れ等に起因すると思われる斑点状の模様が視認された。
【００２３】
また、スタンパー１を使用して作製したディスク基材を用いた情報記録媒体のグルーブにデータ読み出し用レーザービームを照射して反射光に含まれているノイズ量を測定した。さらに、従来のスタンパー製造方法によって製造したスタンパー７１を使用して作製したディスク基材を用いた情報記録媒体に対しても、同様にして反射光のノイズを測定した。この結果、図１０の特性Ａが示すように、スタンパー１を使用して作製した情報記録媒体のノイズ量は、スタンパー７１を使用して作製した情報記録媒体のノイズ量（同図の特性Ｂ）と比較して、１５ＭＨｚ以下の低い周波数帯において最大で２ｄＢ程度小さかった。以上の結果から、超音波洗浄に先立って浸漬洗浄を行って製造したスタンパー１を使用することにより、照射したレーザービームの反射光に含まれるノイズ量を低減し得る情報記録媒体用のディスク基材を作製できるのが明らかである。
【００２４】
このように、このスタンパー製造方法およびスタンパー製造装置４３によれば、マスタースタンパー２をアルカリ溶液に浸して浸漬洗浄した後に超音波洗浄し、超音波洗浄したマスタースタンパー２の凹凸部の表面を酸化処理した後に電解ニッケル層１１を形成し、その電解ニッケル層１１をマスタースタンパー２から剥離してスタンパー１を製造することにより、マスタースタンパー２における凹凸部の表面の汚れ等を十分に除去することができるため、その凹凸部の表面が十分に平滑なスタンパー１を製造することができる。したがって、スタンパー１を使用して情報記録媒体のディスク基材を作製した際に、グルーブおよびランドの表面を十分に平滑に形成することができるため、このディスク基材を用いた情報記録媒体において、照射したレーザービームの反射光に含まれるノイズを十分に低減させることができる結果、再生エラーの発生を十分に防止することができる。
【００２５】
また、洗浄作用に優れた水酸化ナトリウム水溶液または水酸化カリウム水溶液をアルカリ水溶液として用いることにより、マスタースタンパー２における凹凸部の表面の汚れ等をより十分に除去することができる。
【００２６】
なお、本発明は、上記した発明の実施の形態に限定されない、例えば上記した発明の実施の形態では、スタンパー１を使用して情報記録媒体用のディスク基材を作製する例について説明したが、スタンパー１をマスタースタンパー（マザースタンパー）として使用して上記した製造方法と同様にしてスタンパー１の凹凸部の凹凸形状を転写したスタンパー（チャイルドスタンパー）を製造することもできる。この場合、スタンパー１をアルカリ溶液に浸して浸漬洗浄することにより、スタンパー１における凹凸部の表面の汚れ等を十分に除去することができるため、その凹凸部の表面が十分に平滑なスタンパー（チャイルドスタンパー）を製造することができる。また、上記した発明の実施の形態では、アルカリ水溶液としてＮａＯＨ水溶液またはＫＯＨ水溶液を用いる例について説明したが、他のアルカリ水溶液を用いることもできる。また、上記した発明の実施の形態では、情報記録媒体としてブルーレイディスク作製用のスタンパー１を製造する例について説明したが、ＣＤ、ＣＤ−Ｒ、ＣＤ−ＲＷ、ＤＶＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＡＭ、ＤＶＤ−ＲおよびＤＶＤ−ＲＷなどの各種情報記録媒体（光記録媒体）用のディスク基材を作製するためのスタンパーを製造することができる。さらに、所定の配列ピッチで互いに分離された同心円状のデータ記録用トラックが数多く形成されたディスクリートトラック型の記録媒体などの磁気記録媒体を作製するためのスタンパーを製造することもできる。
【００２７】
【発明の効果】
以上のように、本発明に係るスタンパー製造方法およびスタンパー製造方法によれば、その表面に凹凸部が形成された原盤をアルカリ溶液に浸して浸漬洗浄した後に超音波洗浄し、超音波洗浄した原盤の凹凸部の表面を酸化処理した後に金属層を形成し、その金属層を原盤から剥離してスタンパーを製造することにより、原盤における凹凸部の表面の汚れ等を十分に除去することができるため、その凹凸部の表面が十分に平滑なスタンパーを製造することができる。したがって、そのスタンパーを使用して情報記録媒体用基材を作製した際に、グルーブおよびランドの表面を十分に平滑に形成することができるため、この情報記録媒体用基材を用いた情報記録媒体において、照射したレーザービームの反射光に含まれるノイズを十分に低減させることができる結果、エラーの発生を防止することができる。
【００２８】
また、本発明に係るレジストパターン形成方法によれば、洗浄作用に優れた水酸化ナトリウム水溶液または水酸化カリウム水溶液をアルカリ水溶液として用いることにより、原盤における凹凸部の表面の汚れ等をより十分に除去することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係るスタンパー１の断面図である。
【図２】本発明の実施の形態に係るスタンパーの製造システム４１の構成を示すブロック図である。
【図３】ガラス基材２１の表面に形成したフォトレジスト層２２に露光用のレーザービームＬを照射している状態の断面図である。
【図４】フォトレジスト層２２に凹凸部を形成した状態の断面図である。
【図５】フォトレジスト層２２の凹凸部の表面に無電解ニッケル層２３および電解ニッケル層２４を形成した状態の断面図である。
【図６】マスタースタンパー２の断面図である。
【図７】マスタースタンパー２の凹凸部の表面に電解ニッケル層１１を形成した状態の断面図である。
【図８】スタンパー１における凹凸部の表面を観察した観察図である。
【図９】従来のスタンパー７１における凹凸部の表面を観察した観察図である。
【図１０】スタンパー１およびスタンパー７１を使用して作製したディスク基材を用いた各情報記録媒体にレーザービームを照射して、その反射光におけるノイズ量を測定した測定結果図である。
【符号の説明】
１ スタンパー
２ マスタースタンパー
１１ 電解ニッケル層
４１ 製造システム
４２ マスタースタンパー製造装置
４３ スタンパー製造装置
６１ 浸漬洗浄装置
６２ 超音波洗浄装置
６３ 酸化処理装置
６４ 金属層形成装置
【発明の属する技術分野】
本発明は、原盤に形成された凹凸部の凹凸形状を転写して情報記録媒体用基材を形成するためのスタンパーを製造するスタンパー製造方法およびスタンパー製造装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ＣＤ、ＤＶＤおよびブルーレイディスク（Ｂｌｕ−ｒａｙ Ｄｉｓｃ：ＢＤ）等の情報記録媒体用のディスク基材は、一般的に、グルーブやランドを形成するための微細な凹凸部を有するディスク基材作製用のスタンパー（以下、単に「スタンパー」ともいう）をセットした金型に例えばポリカーボネート等の樹脂を射出成形して作製される。この場合、このスタンパーは、射出成形で繰り返して使用されることによって凹凸部が徐々に摩耗する。このため、ディスク状基材を大量に作製するためには、同じ形状の凹凸部を有するスタンパーを複数製造しておく必要がある。この種のスタンパーを製造するスタンパー製造方法として、微細な凹凸部が形成されたマスタースタンパーを使用して、その凹凸部の凹凸形状を転写することによって同一形状の凹凸部を有するスタンパーを複数製造するスタンパー製造方法（一例として、特開平１１−７６６３公報に開示されているスタンパ製造方法）が従来から知られている。
【０００３】
この種のスタンパー製造方法に従ってスタンパーを製造する際には、最初に、マスタースタンパーを製造する。このマスタースタンパーの製造では、まず、ガラス基材の表面にフォトレジスト層を形成した後に、例えばフォトリソグラフィ法によって所定の形状の凹凸部をフォトレジスト層に形成する。次に、例えば無電解めっき処理を施すことによってフォトレジスト層における凹凸部の表面に無電解ニッケル層を形成する。次いで、無電解ニッケル層を電極として使用して電解めっき処理を施すことにより、無電解ニッケル層の上に電解ニッケル層を積層する。続いて、両ニッケル層からなる積層体をフォトレジスト層から剥離する。これにより、フォトレジスト層における凹凸部の凹凸形状が反転した状態で転写されたマスタースタンパーが製造される。次に、マスタースタンパーを例えば酸化処理液中に浸すことにより、その凹凸部の表面に酸化膜を形成する。次いで、電解めっき処理を施すことによってマスタースタンパーの凹凸部の表面にニッケル層を形成する。続いて、このニッケル層をマスタースタンパーから剥離する。これにより、マスタスタンパーの凹凸部の凹凸形状が反転した状態で転写されたスタンパーが製造される。以下、同様にして各工程を繰り返して実行することにより、互いに同一形状の凹凸部を有するスタンパーが複数製造される。
【０００４】
この場合、スタンパーを製造する際に、マスタスタンパーの凹凸部の表面に残留レジスト材や異物などの汚れ（以下、「汚れ等」ともいう）が付着しているときには、その汚れ等の形状がスタンパーに転写されることとなる。このため、この種のスタンパー製造方法では、マスタースタンパーの酸化処理に先立って超音波洗浄することでマスタスタンパーを洗浄している。
【０００５】
【特許文献１】
特開平１１−７６６３公報（第２−３頁）
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、従来のスタンパー製造方法には、以下の課題がある。すなわち、このスタンパー製造方法では、汚れ等を除去するためにマスタースタンパーを超音波洗浄している。しかし、超音波洗浄だけでは汚れ等を完全に除去することが困難なため、このスタンパー製造方法には、マスタースタンパーの凹凸部の表面に微細な汚れ等が残留してその形状が転写されることに起因して、スタンパーの凹凸部の表面を十分に平滑化するのが困難であるという課題が存在する。この場合、このスタンパーを使用してディスク基材を作製する際には、グルーブやランドの表面に荒れ（微細な凹凸）が生じる（形成される）こととなる。このため、このディスク基材を用いた情報記録媒体では、データ読み出し用のレーザービームを照射した際に、反射光に含まれるノイズ量がグルーブやランドの表面の荒れによって大きくなることに起因して、再生エラーが発生するおそれがあり、この点を改善するのが好ましい。
【０００７】
本発明は、かかる課題に鑑みてなされたものであり、情報記録媒体用基材のグルーブやランドの表面を十分に平滑に形成し得るスタンパーのスタンパー製造方法およびスタンパー製造装置を提供することを主目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成すべく本発明に係るスタンパー製造方法は、その表面に凹凸部が形成された原盤をアルカリ水溶液に浸して非通電状態で浸漬洗浄し、当該浸漬洗浄した原盤を超音波洗浄し、当該超音波洗浄した原盤を酸化処理液に浸して前記凹凸部の表面を酸化処理し、当該酸化処理した前記凹凸部の表面に金属層を形成し、前記凹凸部の凹凸形状が転写された前記金属層を前記原盤から剥離することにより、情報記録媒体用基材を形成するための当該金属層からなるスタンパーを製造する。
【０００９】
この場合、前記アルカリ水溶液として水酸化ナトリウム水溶液または水酸化カリウム水溶液を用いるのが好ましい。
【００１０】
また、本発明に係るスタンパー製造装置は、その表面に凹凸部が形成された原盤をアルカリ水溶液に浸して非通電状態で浸漬洗浄する浸漬洗浄装置と、前記浸漬洗浄した原盤を超音波洗浄する超音波洗浄装置と、前記超音波洗浄した原盤を酸化処理液に浸して前記凹凸部の表面を酸化処理する酸化処理装置と、前記酸化処理した前記凹凸部の表面に当該凹凸部の凹凸形状が転写されて情報記録媒体用基材を形成するためのスタンパーとして機能可能な金属層を形成する金属層形成装置とを備えている。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して、本発明に係るスタンパー製造方法およびスタンパー製造装置の好適な実施の形態について説明する。
【００１２】
図１に示すスタンパー１は、情報記録媒体（例えばブルーレイディスク）用のディスク基材を作製するためのスタンパーであって、本発明に係るスタンパー製造方法に従って本発明に係るスタンパー製造装置によって製造される。また、スタンパー１は、例えばニッケルによって全体として平板状に形成されて、ディスク基材の表面にグルーブやランドを形成するための微細な凹凸部がその表面（同図では上面）に形成されて構成されている。この場合、凹凸部における隣り合う凹部１ａ，１ａは、ディスク基材におけるグルーブの形成ピッチに応じて例えば０．３２μｍのピッチで形成されている。一方、図６に示すマスタースタンパー２は、本発明における原盤に相当し、スタンパー１を製造する際に使用される。また、マスタースタンパー２は、例えばニッケルによって全体として平板状に形成されて、スタンパー１の表面に凹凸部を形成（転写）するための微細な凹凸部がその表面（同図では下面）に形成されて構成されている。この場合、凹凸部における隣り合う凸部２ａ，２ａは、スタンパー１における凹部１ａ，１ａのピッチと同一のピッチで形成されている。
【００１３】
次に、このスタンパー１を製造する製造システム４１について、図面を参照して説明する。
【００１４】
製造システム４１は、図２に示すように、マスタースタンパー製造装置４２およびスタンパー製造装置４３を備えている。マスタースタンパー製造装置４２は、同図に示すように、フォトレジスト層形成装置５１、露光装置５２、現像装置５３、導電層付与装置５４および金属層形成装置５５を備えて構成され、マスタースタンパー２を製造する。フォトレジスト層形成装置５１は、図３に示すように、フォトレジスト材を例えばスピンコート法によってガラス基材２１の表面に塗布することにより、薄膜状のフォトレジスト層２２を形成する。露光装置５２は、同図に示すように、露光用のレーザービームＬを照射することにより、フォトレジスト層２２に潜像を形成する。現像装置５３は、潜像が形成されたフォトレジスト層２２を現像してレーザービームＬの照射部位を除去して凹部を形成することにより、図４に示すように、フォトレジスト層２２に凹凸部を形成する。導電層付与装置５４は、無電解めっき処理を施すことにより、フォトレジスト層２２の凹凸部の表面に無電解ニッケル層２３（図５参照）を形成する。金属層形成装置５５は、無電解ニッケル層２３を電極として使用して電解めっき処理を施すことにより、図５に示すように、無電解ニッケル層２３の上に電解ニッケル層２４を形成する。この場合、無電解ニッケル層２３と電解ニッケル層２４とからなる積層体（図６参照）がマスタースタンパー２を構成する。
【００１５】
スタンパー製造装置４３は、図２に示すように、浸漬洗浄装置６１、超音波洗浄装置６２、酸化処理装置６３および金属層形成装置６４を備えて構成され、マスタースタンパー２を使用してスタンパー１を製造する。浸漬洗浄装置６１は、マスタースタンパー製造装置４２によって製造されたマスタースタンパー２をアルカリ水溶液としての例えば水酸化ナトリウム水溶液に浸すことによって浸漬洗浄する。超音波洗浄装置６２は、浸漬洗浄後のマスタースタンパー２を界面活性剤が添加された洗浄水に浸した状態において超音波を印加することによって超音波洗浄する。酸化処理装置６３は、酸化処理液としての例えば過マンガン酸カリウム水溶液に超音波洗浄後のマスタースタンパー２を浸すことにより、マスタースタンパー２の凹凸部の表面を酸化処理する。金属層形成装置６４は、図７に示すように、酸化処理後のマスタースタンパー２に電解めっき処理を施すことにより、その凹凸部の表面に電解ニッケル層１１を形成する。この場合、この電解ニッケル層１１がスタンパー１として機能する。
【００１６】
次に、製造システム４１を用いてスタンパー１を形成する工程について、図面を参照して説明する。
【００１７】
最初に、マスタースタンパー製造装置４２を用いてマスタースタンパー２を製造する。このマスタースタンパー２の製造工程では、まず、フォトレジスト層形成装置５１が、ガラス基材２１（図３参照）の表面にフォトレジスト材（一例として、日本ゼオン（株）製のＤＶＲ１００）をスピンコートする。次に、フォトレジスト層形成装置５１は、ベーキングによってフォトレジスト材の残留溶剤を蒸発させる。これにより、図３に示すように、ガラス基材２１の表面にフォトレジスト層２２が形成される。次に、露光装置５２が、露光用のレーザービームＬをフォトレジスト層２２に照射すことにより、例えば形成ピッチが０．３２μｍ程度で、幅が０．１５μｍ程度の螺旋状の潜像を形成する。次いで、現像装置５３が、この状態のフォトレジスト層２２を現像する。これにより、図４に示すように、レーザービームＬの照射部位が除去されてフォトレジスト層２２に凹凸部が形成される。
【００１８】
続いて、導電層付与装置５４が、無電解めっき処理を施すことにより、図５に示すように、フォトレジスト層２２におけるレジストパターンの表面に導電性を有する無電解ニッケル層２３（導電層）を形成する。これにより、フォトレジスト層２２の表面が導電性を有することとなる。この場合、フォトレジスト層２２の表面に導電性を付与するための導電層の形成用素材はニッケルに限定されず、各種金属材料を用いることができる。また、導電層の形成方法は無電解めっき処理に限定されず、蒸着法やスパッタ法などの各種成膜方法によって各種金属材料層（例えば、ニッケル層）を形成してもよい。次いで、金属層形成装置５５が、無電解ニッケル層２３を電極として使用して電解めっき処理を施すことにより、同図に示すように、無電解ニッケル層２３の上に電解ニッケル層２４を形成（積層）する。この場合、両ニッケル層２３，２４からなる積層体が、後にマスタースタンパー２を構成する。続いて、両ニッケル層２３，２４からなる積層体をフォトレジスト層２２（ガラス基材２１）から剥離する。具体的には、フォトレジスト層２２および両ニッケル層２３，２４が形成されているガラス基材２１全体に水（純粋）をシャワー状に掛け流す。この場合、これらが電解めっきによって例えば５０度程度まで温度上昇しているため、水の掛け流しによってこれらがそれぞれ温度低下して収縮する。この際に、フォトレジスト材、ニッケルおよびガラスの収縮率（熱膨張率）が互いに異なるため、両ニッケル層２３，２４からなる積層体とフォトレジスト層２２（ガラス基材２１）との間に隙間が生じて、両ニッケル層２３，２４からなる積層体がフォトレジスト層２２から剥離する。これにより、図６に示すように、その表面にフォトレジスト層２２の凹凸部の凹凸形状が反転した状態で転写された両ニッケル層２３，２４からなるマスタースタンパー２が製造される。
【００１９】
次に、スタンパー製造装置４３を用いてスタンパー１を製造する。このスタンパー１の製造工程では、まず、浸漬洗浄装置６１が、例えば２０質量％の水酸化ナトリウム水溶液にマスタースタンパー２を例えば３分間浸漬する。この場合、浸漬洗浄装置６１は、電解用の電圧を印加する（電流を流す）ことなく（非通電状態で）マスタースタンパー２を浸漬する。この際に、水酸化ナトリウム水溶液の洗浄作用により、マスタースタンパー２における凹凸部の汚れ等が微細なものまで十分に除去される。なお、水酸化ナトリウムの濃度は２０質量％に限定されず任意の濃度に規定することができる。この場合、水酸化ナトリウム水溶液の濃度に応じた適正な時間だけマスタースタンパー２を浸漬するのが好ましい。また、水酸化ナトリウム水溶液に代えて、水酸化カリウム水溶液を用いることもできる。
【００２０】
次いで、超音波洗浄装置６２が、浸漬洗浄後のマスタースタンパー２を界面活性剤が添加された洗浄水に浸して、その状態で超音波を印加することによって超音波洗浄する。これにより、汚れ等がさらに十分に除去される。続いて、酸化処理装置６３が、酸化処理液としての例えば過マンガン酸カリウム水溶液に超音波洗浄後のマスタースタンパー２を浸して酸化処理を行う。この際に、過マンガン酸カリウム水溶液によってマスタースタンパー２における凹凸部の表面が酸化されて、その表面に酸化皮膜が形成される。この場合、この酸化皮膜が形成されたことにより、後にマスタースタンパー２の凹凸部の表面に形成される電解ニッケル層１１の剥離処理が容易となる。次に、金属層形成装置６４が、図７に示すように、酸化処理後のマスタースタンパー２に電解めっき処理を施すことによりその凹凸部の表面に電解ニッケル層１１を形成する。次いで、マスタースタンパー２の表面に形成された電解ニッケル層１１をマスタースタンパー２から剥離する。具体的には、マスタースタンパー２における凹凸部の表面と、電解ニッケル層１１との境目に例えば刃物の刃先を挿入する。この際に、マスタースタンパー２の凹凸部の表面に酸化皮膜が形成されているため、電解ニッケル層１１は、マスタースタンパー２から容易に剥離する。この場合、剥離装置等を用いて電解ニッケル層１１の剥離作業を自動化してもよい。これにより、図１に示すように、その表面にマスタースタンパー２の凹凸部の凹凸形状が反転した状態で転写された電解ニッケル層１１からなるスタンパー１が製造される。この場合、マスタースタンパー２における凹凸部の表面の汚れ等が十分に除去されているため、スタンパー１の凹凸部の表面が十分に平滑な状態に形成される。
【００２１】
次に、スタンパー１を使用して情報記録媒体用のディスク基材を製造する。この際には、スタンパー１をセットした射出成形用の金型に例えばポリカーボネート等の樹脂を射出する。これにより、スタンパー１の凹凸部が樹脂に転写されることによってその表面にグルーブおよびランドが形成されて、ディスク基材が製造される。この場合、スタンパー１の凹凸部の表面が十分に平滑な状態に形成されているため、ディスク基材は、そのグルーブおよびランドの表面が、十分に平滑な状態に形成される。したがって、このディスク基材を用いた情報記録媒体（例えばブルーレイディスク）において、読み出し用レーザービームの照射時に反射した光に含まれるノイズが十分に低減される結果、情報記録媒体から高いＣ／Ｎ比で記録データを読み出すことができる。
【００２２】
なお、スタンパー１、および従来のスタンパー製造方法によって製造したスタンパー７１（図９参照）の凹凸部を走査電子顕微鏡で観察した。この結果、図８に示すように、スタンパー１の凹凸部には、汚れ等に起因すると思われる模様や影が視認されなかった。一方、図９に示すように、スタンパー７１では、その凹凸部における凹部７１ａに汚れ等に起因すると思われる斑点状の模様が視認された。
【００２３】
また、スタンパー１を使用して作製したディスク基材を用いた情報記録媒体のグルーブにデータ読み出し用レーザービームを照射して反射光に含まれているノイズ量を測定した。さらに、従来のスタンパー製造方法によって製造したスタンパー７１を使用して作製したディスク基材を用いた情報記録媒体に対しても、同様にして反射光のノイズを測定した。この結果、図１０の特性Ａが示すように、スタンパー１を使用して作製した情報記録媒体のノイズ量は、スタンパー７１を使用して作製した情報記録媒体のノイズ量（同図の特性Ｂ）と比較して、１５ＭＨｚ以下の低い周波数帯において最大で２ｄＢ程度小さかった。以上の結果から、超音波洗浄に先立って浸漬洗浄を行って製造したスタンパー１を使用することにより、照射したレーザービームの反射光に含まれるノイズ量を低減し得る情報記録媒体用のディスク基材を作製できるのが明らかである。
【００２４】
このように、このスタンパー製造方法およびスタンパー製造装置４３によれば、マスタースタンパー２をアルカリ溶液に浸して浸漬洗浄した後に超音波洗浄し、超音波洗浄したマスタースタンパー２の凹凸部の表面を酸化処理した後に電解ニッケル層１１を形成し、その電解ニッケル層１１をマスタースタンパー２から剥離してスタンパー１を製造することにより、マスタースタンパー２における凹凸部の表面の汚れ等を十分に除去することができるため、その凹凸部の表面が十分に平滑なスタンパー１を製造することができる。したがって、スタンパー１を使用して情報記録媒体のディスク基材を作製した際に、グルーブおよびランドの表面を十分に平滑に形成することができるため、このディスク基材を用いた情報記録媒体において、照射したレーザービームの反射光に含まれるノイズを十分に低減させることができる結果、再生エラーの発生を十分に防止することができる。
【００２５】
また、洗浄作用に優れた水酸化ナトリウム水溶液または水酸化カリウム水溶液をアルカリ水溶液として用いることにより、マスタースタンパー２における凹凸部の表面の汚れ等をより十分に除去することができる。
【００２６】
なお、本発明は、上記した発明の実施の形態に限定されない、例えば上記した発明の実施の形態では、スタンパー１を使用して情報記録媒体用のディスク基材を作製する例について説明したが、スタンパー１をマスタースタンパー（マザースタンパー）として使用して上記した製造方法と同様にしてスタンパー１の凹凸部の凹凸形状を転写したスタンパー（チャイルドスタンパー）を製造することもできる。この場合、スタンパー１をアルカリ溶液に浸して浸漬洗浄することにより、スタンパー１における凹凸部の表面の汚れ等を十分に除去することができるため、その凹凸部の表面が十分に平滑なスタンパー（チャイルドスタンパー）を製造することができる。また、上記した発明の実施の形態では、アルカリ水溶液としてＮａＯＨ水溶液またはＫＯＨ水溶液を用いる例について説明したが、他のアルカリ水溶液を用いることもできる。また、上記した発明の実施の形態では、情報記録媒体としてブルーレイディスク作製用のスタンパー１を製造する例について説明したが、ＣＤ、ＣＤ−Ｒ、ＣＤ−ＲＷ、ＤＶＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＡＭ、ＤＶＤ−ＲおよびＤＶＤ−ＲＷなどの各種情報記録媒体（光記録媒体）用のディスク基材を作製するためのスタンパーを製造することができる。さらに、所定の配列ピッチで互いに分離された同心円状のデータ記録用トラックが数多く形成されたディスクリートトラック型の記録媒体などの磁気記録媒体を作製するためのスタンパーを製造することもできる。
【００２７】
【発明の効果】
以上のように、本発明に係るスタンパー製造方法およびスタンパー製造方法によれば、その表面に凹凸部が形成された原盤をアルカリ溶液に浸して浸漬洗浄した後に超音波洗浄し、超音波洗浄した原盤の凹凸部の表面を酸化処理した後に金属層を形成し、その金属層を原盤から剥離してスタンパーを製造することにより、原盤における凹凸部の表面の汚れ等を十分に除去することができるため、その凹凸部の表面が十分に平滑なスタンパーを製造することができる。したがって、そのスタンパーを使用して情報記録媒体用基材を作製した際に、グルーブおよびランドの表面を十分に平滑に形成することができるため、この情報記録媒体用基材を用いた情報記録媒体において、照射したレーザービームの反射光に含まれるノイズを十分に低減させることができる結果、エラーの発生を防止することができる。
【００２８】
また、本発明に係るレジストパターン形成方法によれば、洗浄作用に優れた水酸化ナトリウム水溶液または水酸化カリウム水溶液をアルカリ水溶液として用いることにより、原盤における凹凸部の表面の汚れ等をより十分に除去することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係るスタンパー１の断面図である。
【図２】本発明の実施の形態に係るスタンパーの製造システム４１の構成を示すブロック図である。
【図３】ガラス基材２１の表面に形成したフォトレジスト層２２に露光用のレーザービームＬを照射している状態の断面図である。
【図４】フォトレジスト層２２に凹凸部を形成した状態の断面図である。
【図５】フォトレジスト層２２の凹凸部の表面に無電解ニッケル層２３および電解ニッケル層２４を形成した状態の断面図である。
【図６】マスタースタンパー２の断面図である。
【図７】マスタースタンパー２の凹凸部の表面に電解ニッケル層１１を形成した状態の断面図である。
【図８】スタンパー１における凹凸部の表面を観察した観察図である。
【図９】従来のスタンパー７１における凹凸部の表面を観察した観察図である。
【図１０】スタンパー１およびスタンパー７１を使用して作製したディスク基材を用いた各情報記録媒体にレーザービームを照射して、その反射光におけるノイズ量を測定した測定結果図である。
【符号の説明】
１ スタンパー
２ マスタースタンパー
１１ 電解ニッケル層
４１ 製造システム
４２ マスタースタンパー製造装置
４３ スタンパー製造装置
６１ 浸漬洗浄装置
６２ 超音波洗浄装置
６３ 酸化処理装置
６４ 金属層形成装置
Claims (3)
- その表面に凹凸部が形成された原盤をアルカリ水溶液に浸して非通電状態で浸漬洗浄し、当該浸漬洗浄した原盤を超音波洗浄し、当該超音波洗浄した原盤を酸化処理液に浸して前記凹凸部の表面を酸化処理し、当該酸化処理した前記凹凸部の表面に金属層を形成し、前記凹凸部の凹凸形状が転写された前記金属層を前記原盤から剥離することにより、情報記録媒体用基材を形成するための当該金属層からなるスタンパーを製造するスタンパー製造方法。
- 前記アルカリ水溶液として水酸化ナトリウム水溶液または水酸化カリウム水溶液を用いる請求項１記載のスタンパー製造方法。
- その表面に凹凸部が形成された原盤をアルカリ水溶液に浸して非通電状態で浸漬洗浄する浸漬洗浄装置と、前記浸漬洗浄した原盤を超音波洗浄する超音波洗浄装置と、前記超音波洗浄した原盤を酸化処理液に浸して前記凹凸部の表面を酸化処理する酸化処理装置と、前記酸化処理した前記凹凸部の表面に当該凹凸部の凹凸形状が転写されて情報記録媒体用基材を形成するためのスタンパーとして機能可能な金属層を形成する金属層形成装置とを備えているスタンパー製造装置。
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Cited By (4)
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|---|---|---|---|---|
| KR20170029639A (ko) * | 2014-09-02 | 2017-03-15 | 후지필름 가부시키가이샤 | 롤 금형의 제조 방법 및 롤 금형 |
| WO2017061310A1 (ja) * | 2015-10-06 | 2017-04-13 | 富士フイルム株式会社 | 経皮吸収シートの製造方法 |
| JP2017070705A (ja) * | 2015-10-06 | 2017-04-13 | 富士フイルム株式会社 | 経皮吸収シートの製造方法 |
| CN109851363A (zh) * | 2019-01-31 | 2019-06-07 | 中南大学 | 一种带梯度界面层的含异质元素SiC纤维及其制备方法和设备 |
-
2003
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Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20170029639A (ko) * | 2014-09-02 | 2017-03-15 | 후지필름 가부시키가이샤 | 롤 금형의 제조 방법 및 롤 금형 |
| KR101867248B1 (ko) * | 2014-09-02 | 2018-06-12 | 후지필름 가부시키가이샤 | 롤 금형의 제조 방법 |
| WO2017061310A1 (ja) * | 2015-10-06 | 2017-04-13 | 富士フイルム株式会社 | 経皮吸収シートの製造方法 |
| JP2017070705A (ja) * | 2015-10-06 | 2017-04-13 | 富士フイルム株式会社 | 経皮吸収シートの製造方法 |
| CN108138344A (zh) * | 2015-10-06 | 2018-06-08 | 富士胶片株式会社 | 经皮吸收片材的制造方法 |
| US10814527B2 (en) | 2015-10-06 | 2020-10-27 | Fujifilm Corporation | Method of producing transdermal absorption sheet |
| CN108138344B (zh) * | 2015-10-06 | 2022-09-09 | 富士胶片株式会社 | 经皮吸收片材的制造方法 |
| CN109851363A (zh) * | 2019-01-31 | 2019-06-07 | 中南大学 | 一种带梯度界面层的含异质元素SiC纤维及其制备方法和设备 |
| CN109851363B (zh) * | 2019-01-31 | 2021-08-27 | 中南大学 | 一种带梯度界面层的含异质元素SiC纤维及其制备方法和设备 |
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