JP2004287044A - 実体顕微鏡 - Google Patents

Abstract

【課題】この発明は、構成簡易にして、小型化の促進を図ったうえで、簡便にして容易な光路切り換え操作を実現することにある。
【解決手段】対物レンズ２ａからの光束を接眼レンズ１２ａに案内する反射光学系を構成する第１の反射部材５ａを、対物レンズ２ａの光軸１１ａ上に挿脱自在に配して、この第１の反射部材５ａを光軸１１ａ上に挿脱することにより、光路を切り換え設定し、選択的に接眼レンズ１２ａによる観察、あるいは撮像光路１３への光束の案内を実現するように構成し、所期の目的を達成した。
【選択図】 図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、例えば生きたままの生物等の標本を観察したり、各種の作業に用いたり、あるいは半導体デバイス工程での各種検査等の各種作業に用いられる実体顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、実体顕微鏡においては、左右一対で内向角を有する対物光学系の片側光路の途中に反射部材を配して、この反射部材で偏向させて分岐した撮像光路を形成して、この撮像光路に導いた観察像を写真カメラやテレビジョン（ＴＶ）カメラ等の撮像カメラで撮像する使用形態がある。
【０００３】
このような撮像光路を配する構成のものとしては、撮像光路の配備手段は、アダプターに撮像光路を設けた、いわゆる３眼鏡筒タイプのものがあり、片側光路の途中に、プリズム、ミラー、ハーフミラー等の反射部材を挿脱自在に配し、この反射部材を挿脱することにより、撮像光路と観察光路を切り換え、あるいは分割する（例えば、特許文献１参照）。この際、反射部材で偏向された撮像光路は、第２の反射部材を介して片側光路と平行になるように偏向されて実体顕微鏡の光軸と撮像カメラの光軸との距離を接近させるように構成される。
【０００４】
しかしながら、上記撮像光路の配備手段では、反射部材を１個、又は２個片側光路に配して、所望の撮像光路を構成しているために、部品点数が増加されることで、構成が複雑となるという不都合を有する。
【０００５】
また、この配備手段にあっては、その構成上、撮像光路の光軸が、実体顕微鏡の光軸と「ずれ」が生じるために、顕微鏡本体の奥行き方向又は幅方向が大きくなり、大型となるという不具合を有する。
【０００６】
係る事情は、実体顕微鏡を、プローバーやボンダー等の装置に組み込んで使用する場合、特に、撮像カメラを取付ける使用形態が多いために、小型化の促進が強く要請されている。
【０００７】
【特許文献１】
実用新案登録第０２５１９８９４号公報（２頁〜３頁、第１図、第２図）
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
以上述べたように、従来の実体顕微鏡では、観察光路の他に撮像光路を配備するように構成すると、構成が複雑で、大型となるという不具合を有する。
【０００９】
この発明は上記の事情に鑑みてなされたもので、構成簡易にして、小型化の促進を図り得、且つ、簡便にして容易な光路切り換え操作を実現し得るようにした実体顕微鏡を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
この発明は、観察部に対向して焦点調整自在に配される左右一対で内向角を有する対物光学系と、この対物光学系からの光束を結像する接眼光学系に、前記光束を案内する複数の反射部材が設けられた反射光学系と、この反射光学系の少なくとも１つの反射部材を前記対物光学系の光軸上に挿脱する挿脱手段と、前記反射光学系の反射部材が前記対物光学系の光軸上から脱された状態で、前記対物光学系からの光束が導かれる撮像光路とを備えて実体顕微鏡を構成した。
【００１１】
上記構成によれば、対物光学系からの光束を接眼光学系に案内する反射光学系の少なくとも１つの反射部材を、対物光学系の光軸上から挿脱自在に配して、この反射部材を光軸上に挿脱することにより、選択的に接眼光学系による観察、あるいは撮像光路への光束の案内が実現される。従って、特別に反射部材を付加することなく、簡易な構成で、撮像光路の形成が可能となり、容易に小型化の促進を図ることができる。
【００１２】
また、この発明は、前記挿脱手段を、前記反射部材を光軸上に挿脱する操作部材を備え、該操作部材の操作軸を前記反射光学系の眼幅調整軸と同軸に配して構成した。
【００１３】
上記構成によれば、操作部材の操作位置において、眼幅調整が行われると、その調整に連動して操作部材が操作軸周りに回動され、その操作位置が保持された状態で眼幅が調整される。従って、反射部材の挿脱と、接眼光学系の眼幅調整との安定した分離操作が可能となる。
【００１４】
また、この発明は、前記挿脱手段を、操作部材の操作軸を前記反射光学系の眼幅調整時に操作位置に位置規制する規制機構を備えて構成した。
【００１５】
上記構成によれば、操作部材の操作位置において、眼幅調整が行われると、操作部材の回動が規制されて眼幅が調整される。従って、反射部材の挿脱と、接眼光学系の眼幅調整との安定した分離操作が可能となる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。
【００１７】
図１及び図２は、この発明の一実施の形態に係る実体顕微鏡を示すもので、図１は、光学系を側面から見た状態を示し、図２は、光学系を正面から見た状態を示す。
【００１８】
即ち、対物光学系を構成する一対の対物レンズ２ａ、２ｂは、顕微鏡本体１内に左右一対で所望の内向角を有して焦点調整自在に配され、観察部３からの光束がそれぞれ入射される。この一対の対物レンズ２ａ、２ｂの光軸１１ａ、１１ｂ上には、変倍レンズ群４ａ、４ｂを介して反射光学系を構成する第１乃至第５の反射部材５ａ〜９ａ、５ｂ〜９ｂがそれぞれ配される。
【００１９】
この第１乃至第５の反射部材５ａ〜９ａ、５ｂ〜９ｂは、それぞれ光軸１１ａ，１１ｂをそれぞれ観察光路１０ａ，１０ｂに偏向させる。そして、この観察光路１０ａ、１０ｂには、接眼光学系を構成する一対の接眼レンズ１２ａ、１２ｂがそれぞれ配され、この接眼レンズ１２ａ、１２ｂには、対物レンズ２ａ、２ｂより入射された光束が変倍レンズ群４ａ、４ｂを通して導かれて、観察像が結像される。
【００２０】
上記第１乃至第５の反射部材５ａ〜９ａ、５ｂ〜９ｂは、その一方の片側光路の第１の反射部材５ａが、変倍レンズ群４ａの光軸１１ａ上に退避・挿入（挿脱）自在に配置される。この第１の反射部材５ａの配置される変倍レンズ群４ａの下流側の光軸１１ａ上には、撮像光路１３が設けられ、この撮像光路１３には、上記第１の反射部材５ａが光軸１１ａ上から脱された状態で、変倍レンズ群４ａからの光束が導かれる。
【００２１】
第１の反射部材５ａが光軸１１ａ上に挿入された状態においては、変倍レンズ群４ａを透過した光束が第１の反射部材５ａで反射された後、第２乃至第５の反射部材６ａ〜９ａにより偏向されて観察光路１０ａに導かれて接眼レンズ１２ａに案内される。
【００２２】
上記撮像光路１３には、結像レンズ２２が内装される撮像光路枠２３が設けられ、この撮像光路枠２３の先端には、写真装置やＴＶカメラ装置を取付けるためのアタッチメントを装着可能とするアタッチメント取付部２４が設けられる。このアタッチメント取付部２４には、観察形態に応じて写真カメラやＴＶカメラ等の撮像カメラ２５が選択的に着脱される。上記撮像光路枠２３の結像レンズ２２は、光束が導かれると、像を上記撮像カメラ２５の結像面２５１に結像する。
【００２３】
ここで、上記第１の反射部材５ａを光軸１１ａ上に挿脱して光路を切り換える挿脱手段について説明する。
【００２４】
即ち、上記第１の反射部材５ａは、図３、図４及び図５に示すように固定部材１５に固定され、この固定部材１５は、上記第２乃至第５の反射部材６ａ〜９ａが搭載された眼幅調整部材１６に設けたガイド１７に矢印方向に移動自在に嵌装される（図５参照）。これにより、固定部材１５は、ガイド１７に沿って移動され、眼幅調整部材１６のストッパ１８、１９に当接することによってその移動範囲を規制される。ここで、固定部材は、図示しない停止位置保持手段（クリック等）により、その停止位置において位置決め保持される。
【００２５】
上記固定部材１５の摺動機構としては、例えばアリガイド方式や、その他、コロガイド方式、ボールガイド方式等を用いて構成することが可能である。
【００２６】
また、上記固定部材１５には、操作部材２０が突設され、この操作部材２０の先端部は、上記顕微鏡本体１の挿通孔２１を通して外部に操作可能に突出配置される。これにより、固定部材１５は、その操作部材２０を操作することにより、ガイド１７に沿って矢印方向に移動されて、上記第１の反射部材５ａの光軸１１ａからの挿脱（挿入、退避）を実行する。
【００２７】
上記眼幅調整部材１６は、図６に示すように変倍レンズ群４ａの光軸１１ａ中心に矢印Ｄ方向の回動可能に配される。また、他方の片側光路に配される第１乃至第５の反射部材５ｂ〜９ｂは、同様に上記眼幅調整部材１６に搭載される。この眼幅調整部材１６は、変倍レンズ群４ｂの光軸中心の矢印Ｅ方向に回動可能に配される。これにより、両側光路を構成する左右一対の眼幅調整部材１６は、互いに反対方向へ回動付勢することにより、一対の接眼レンズ１２ａ、１２ｂ間の幅を変化させて眼幅調整を実行する。
【００２８】
上記構成において、撮像カメラ２５により観察像を撮像する場合は、操作部材２０を手にして固定部材１５を眼幅調整部材１６のガイド１７に沿って退避方向に引き出しストッパ１８に当接させる。ここで、固定部材１５に支持された第１の反射部材５ａは、変倍レンズ群４ａの光軸１１ａ上から退避されて、該変倍レンズ群４ａからの光束が撮像光路１３に導かれる状態に光路が切り換え設定される。ここで、アタッチメント取付部２４に取り付けた撮像カメラ２５には、変倍レンズ群４ａを透過した光束が結像レンズ２２を介して導かれて観察像が撮像される。
【００２９】
また、接眼レンズ１２ａ、１２ｂにより観察を行う場合は、操作部材２０を手にして固定部材１５を眼幅調整部材１６のガイド１７に沿って挿入方向に押し込みストッパ１９に当接させる。ここで、固定部材１５に支持された第１の反射部材５ａは、再び変倍レンズ群４ａの光軸１１ａに挿入される。ここで、変倍レンズ群４ａ、４ｂからの光束が第１乃至第５の反射部材５ａ〜９ａ、５ｂ〜９ｂを介して観察光路１０ａ、１０ｂに導かれて接眼レンズ１２ａ、１２ｂより肉眼で観察することが可能に光路が切り換えられる。
【００３０】
この接眼レンズ１２ａ、１２ｂによる観察状態において、眼幅調整は、例えば図示しない左右の接眼レンズ枠などをもち、接眼レンズ１２ａ、１２ｂ及び眼幅調整部材１６、１６を回動調整することにより行われる。
【００３１】
このように、上記実体顕微鏡は、対物レンズ２ａからの光束を接眼レンズ１２ａに案内する反射光学系を構成する第１の反射部材５ａを、対物レンズ２ａの光軸１１ａ上に挿脱自在に配して、この第１の反射部材５ａを光軸１１ａ上に挿脱することにより、光路を切り換え設定し、選択的に接眼レンズ１２ａによる観察、あるいは撮像光路１３への光束の案内を実現するように構成した。
【００３２】
これによれば、例えば光路切り換え専用の反射部材を付加することなく、簡易な構成で、撮像光路１３の形成が可能となり、容易に小型化の促進を図ることができる。
【００３３】
また、これによれば、撮像光路１３を変倍レンズ群４ａの光軸１１ａ上に配置しているので、顕微鏡本体１の大きさが奥行き方向にコンパクトに形成することができ、しかも、取り付けた撮像カメラ２５が顕微鏡本体１に対して奥行き方向に張り出さずにコンパクトに形成することができるため、例えばプローバーやボンダー等の装置に組み込んだ使用形態にも好適する。
【００３４】
また、この発明は、上記実施の形態に限ることなく、その他、図７乃至図９、あるいは図１０乃至図１４に示すように構成することも可能で、さらに有効な効果が期待される。但し、この図７乃至図１４の説明においては、上記図１乃至図６と同一部分について、同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【００３５】
図７乃至図９の実施の形態は、上記第１の反射部材５ａを固定部材２０１に固定し、この固定部材２０１を、移動部材２０２に図示しないクランプビスや接着等により搭載する。この移動部材２０２は、眼幅調整部材２０３に設けられたガイド２０４に沿って矢印Ｇ方向に移動自在に嵌装される。そして、この移動部材２０２は、眼幅調整部材２０３に設けたストッパ２０５、２０６に当接することにより、移動範囲が規制され、図示しない停止位置保持手段（クリック等）により、その停止位置が所定の位置に保持される。この摺動機構としては、例えば上記実施の形態と同様にアリガイド方式や、その他、コロガイド方式、ボールガイド方式等を用いて構成することが可能である。
【００３６】
また、上記顕微鏡本体１の撮像光路１３上は、結像レンズ２２を有した撮像光路枠２０８が図示しないクランプビスや接着等により配され、この撮像光路枠２０８の先端には、アタッチメント取付部２０９が設けられる。
【００３７】
撮像光路枠２０８の側面２箇所には、操作部材２１７、２１８を外部にわずかに突出させるための長孔２１０、２１１が設けられる。そして、この撮像光路枠２０８の内側には、環枠２１２が撮像光路１３中心と同軸的に回動自在に内装される。この環枠２１２の外周には、上記操作部材２１７、２１８が所定の間隔に突設され、この操作部材２１７、２１８が上記撮像光路枠２０８の長孔２１０、２１１に挿入される。これにより、撮像光路枠２０８には、上記環枠２１２が周方向に回動操作可能に組付けが可能に組付けられる（図７参照）。
【００３８】
また、上記環枠２１２の底面には、ピン２１３が設けられ、このピン２１３は、上記固定部材２０１上面に設けられた長溝２１４に移動自在に収容される。これにより、操作部材２１７、２１８が長孔２１０、２１１に沿って周方向に回動付勢されると、移動部材２０２及び眼幅調整部材２０３は、そのピン２１３と長溝２１４の作用により、矢印Ｇ方向に移動される。
【００３９】
上記構成において、環枠２１２は、その操作部材２１７、２１８を長孔２１０、２１１に沿って回動付勢すると、環枠２１２が回動される。すると、環枠２１２は、そのピン２１３で固定部材２０１の長溝２１４を押圧して移動部材２０２及び眼幅調整部材２０３を矢印Ｇ方向に移動させ、第１の反射部材５ａを光軸１１ａ上から挿脱させる。例えば、環枠２１２の操作部材２１７、２１８を、第１の反射部材５ａを光軸１１ａ上に挿入する一方方向に回動付勢して、光軸１１ａ上に挿入すると、変倍レンズ群４ａを透過した光束は、第１乃至第５の反射部材５ａ〜９ａを介して観察光路１０ａに導かれる。ここで、観察光路１０ａに導かれた光束は、接眼レンズ１２ａで結像されて肉眼で観察される。
【００４０】
この際、眼幅調整は、図示しない左右の接眼レンズ枠などを持ち、接眼レンズ１２ａ、１２ｂ及び眼幅調整部材２０３を回動調整して実行する。この眼幅調整時、光路切り換え用の操作部材２１７、２１８は、眼幅調整の回転軸（光軸１１ａ）と同軸で回ることで、初期位置が確保される。
【００４１】
また、環枠２１２の操作部材２１７、２１８を逆方向に回動付勢すると、第１の反射部５が光軸１１から退避される。ここで、変倍レンズ群４ａを透過した光束は、撮像光路１３に導かれ、アタッチメント取付部２０９に取り付けられた撮像カメラ２５で撮像される。
【００４２】
この実施の形態においては、操作部材２１７、２１８を、眼幅調整部材２０３と同軸的に配し、第１の反射部材５ａの挿脱操作位置において、眼幅調整が行われても、環枠２１２が初期位置を採ることにより、高精度な眼幅調整及び光路切換操作が実現される。そして、この実施の形態によれば、環枠２１２の操作部材２１７、２１８を、撮像光路枠２０８に対してわずかに突出させるだけで安定した光路切換及び眼幅調整操作の双方に供することができることにより、該操作部材２１７、２１８が各種作業の邪魔となることもない。
【００４３】
また、図１０乃至図１４の実施の形態は、第１の反射部材５ａを光軸１１ａ上に挿脱する挿脱手段に、眼幅調整時、眼幅調整部材１６が移動調整されても、操作部材３０７が可変しないようにした規制機構を設けて構成したことを特徴とする。
【００４４】
即ち、上記第１の反射部材５ａは、固定部材３０１に固定され、この固定部材３０１は、上記第２乃至第５の反射部材６ａ〜９ａが搭載された眼幅調整部材１６に設けたガイド１７に矢印方向に移動自在に嵌装されている。この固定部材に３０１は、第１の反射部材５ａを内装してリング状の環枠３０２が回動自在に配される。この環枠３０２の外周には、案内ピン３０３が設けられる。
【００４５】
固定部材３０１は、眼幅調整部材１６のガイド１７に沿って移動自在に設けられ、その移動により、該眼幅調整部材１６のストッパ１８、１９に当接することによってその移動範囲を規制される。ここで、固定部材３０１は、図示しない停止位置保持手段（クリック等）により、その停止位置において位置決め保持される。
【００４６】
上記環枠３０２の固定部材３０１には、操作部材３０７の湾曲状の案内溝部３０８に移動自在に収容される。この操作部材３０７は、上記顕微鏡本体１の挿通孔３０４に挿通されて外部操作自在に配される。
【００４７】
上記構成において、操作部材３０７が押し込まれて固定部材３０１がストッパ１８に当接されると、第１の反射部材５ａが、光軸１１ａに挿入され、変倍レンズ群４ａからの光束が第１乃至第５の反射部材５ａ〜９ａを介して観察光路１０ａに導かれて接眼レンズ１２ａによる肉眼による観察が可能となる。
【００４８】
ここで、眼幅調整部材１６が回転調整されて眼幅調整が行われると、環枠３０２が固定部材３０１に対して回動される。この結果、操作部材３０７は、その案内溝部３０８に対して環枠３０２の案内ピン３０３が挿入されていることで、その案内ピン３０３が操作部材３０７の案内溝部３０８に案内されて固定部材３０１に対して光軸１１ａを中心に回動されて、操作部材３０７が操作位置に保たれる。
【００４９】
また、操作部材３０７が押し込まれて固定部材３０１がストッパ１９に当接されると、第１の反射部材５ａが、光軸１１ａから離脱され、変倍レンズ群４ａからの光束が撮像光路に導かれて撮像カメラ２５による撮像が可能となる。この第１の反射部材５ａが光軸１１ａから退避している場合、眼幅調整部材１６が回転しても案内溝部３０８と案内ピン３０３とが回動自在に係合配置されているため操作部材３０７は、操作位置に保たれる。
【００５０】
即ち、操作部材３０７は、第１の反射部材５ａが光軸１１ａに挿入されている状態で、眼幅調整部材１６が回転しても環枠３０２が固定部材３０１に対して光軸１１ａを中心に回動されて初期位置に保たれる。そして、第１の反射部材５ａが光軸１１ａから退避している状態では、眼幅調整部材１６が回転しても案内溝部３０８と案内ピン３０３との作用により回動されて初期位置に保たれる。これにより、操作部材３０７の位置を保持したままで、眼幅調整時の眼幅調整部材１６の回動が可能で、該眼幅調整部材１６がどのような状態にあっても、光路切換え操作及び眼幅調整部材１６の摺動操作が実現される。
【００５１】
この実施の形態においては、眼幅調整時に光路切り換え用の操作部材３０７が移動しないので、眼幅調整操作の邪魔になることがなく、しかも、操作部材３０７の操作によりガタなく第１の反射部材５ａを、光軸１１ａ上に挿入あるいは退避させることができることにより、安定した確実な光路切換え操作及び眼幅調整操作が実現される。
【００５２】
なお、上記各実施の形態では、反射光学系を構成する第１乃至第５の反射部材５ａ〜９ａの中の第１の反射部材５ａのみを光軸上に挿脱するように構成した場合について説明したが、これに限ることなく、複数個を挿脱するように構成することも可能である。
【００５３】
また、上記各実施の形態では、光軸１１ａに配される反射光学系に構成した場合で説明したが、これに限ることなく、その他、光軸１１ｂに配される反射光学系に構成することも可能で、同様の効果が期待される。
【００５４】
さらに、反射光学系としては、上記第１乃至第５の反射部材５ａ〜９ａ、５ｂ〜９ｂを備える構成に限るものでなく、各種の反射光学系を用いて構成することが可能である。
【００５５】
よって、この発明は、上記実施の形態に限ることなく、その他、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で種々の変形を実施し得ることが可能である。さらに、上記実施形態には、種々の段階の発明が含まれており、開示される複数の構成要件における適宜な組合せにより種々の発明が抽出され得る。
【００５６】
例えば実施形態に示される全構成要件から幾つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明として抽出され得る。
【００５７】
【発明の効果】
以上詳述したように、この発明によれば、構成簡易にして、小型化の促進を図り得、且つ、簡便にして容易な光路切り換え操作を実現し得るようにした実体顕微鏡を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施の形態に係る実体顕微鏡の光学系の配置構成を側面から示した図である。
【図２】図１の光学系を正面から示した図である。
【図３】図１の光路切換構成を示した側面から示した図である。
【図４】図３の光路切換構成を上面から示した図である。
【図５】図３の固定部材の眼幅調整部材への組付け状態を示した図である。
【図６】図３の眼幅調整部材の調整動作を説明するために示した図である。
【図７】この発明の他の実施の形態に係る実体顕微鏡の要部を断面して示した図である。
【図８】図７のＸ―Ｘを断面して示した図である。
【図９】図７の外観の要部を側面から示した図である。
【図１０】この発明の他の実施の形態に係る実体顕微鏡の要部を断面して示した図である。
【図１１】図１０を上面から示した図である。
【図１２】図１０の固定部材の眼幅調整部材への組付け状態を示した図である。
【図１３】図１０の撮像光路切り換え状態を示した図である。
【図１４】図１０の観察光路切り換え状態を示した図である。
【符号の説明】
１ … 顕微鏡本体
２ａ、２ｂ … 対物レンズ
３ … 観察部
４ａ、４ｂ … 変倍レンズ群
５ａ〜９ａ、５ｂ〜９ｂ … 第１乃至第５の反射部材
１０ａ、１０ｂ … 観察光路
１１ａ、１１ｂ … 光軸
１２ａ、１２ｂ … 接眼レンズ
１３ … 撮像光路
１５ … 固定部材
１６ … 眼幅調整部材
１７ … ガイド
１８、１９ … ストッパ
２０ … 操作部材
２１ … 挿通孔
２２ … 結像レンズ
２３ … 撮像光路枠
２４ … アタッチメント取付部
２５ … 撮像カメラ
２５１ … 結像面
２０１ … 固定部材
２０２ … 移動部材
２０３ … 眼幅調整部材
２０４ … ガイド
２０５、２０６ … ストッパ
２０８ … 撮像光路枠
２０９ … アタッチメント取付部
２１０、２１１ … 長孔
２１２ … 環枠
２１３ … ピン
２１４ … 長溝
２１７、２１８ … 操作部材
３０１ … 固定部材
３０２ … 環枠
３０３ … 案内ピン
３０４ … 挿通孔
３０７ … 操作部材
３０８ … 案内溝部

Claims (3)

1. 観察部に対向して焦点調整自在に配される左右一対で内向角を有する対物光学系と、
   この対物光学系からの光束を結像する接眼光学系に、前記光束を案内する複数の反射部材が設けられた反射光学系と、
   この反射光学系の少なくとも１つの反射部材を前記対物光学系の光軸上に挿脱する挿脱手段と、
   前記反射光学系の反射部材が前記対物光学系の光軸上から脱された状態で、前記対物光学系からの光束が導かれる撮像光路と
   を具備したこと特徴とする実体顕微鏡。
2. 前記挿脱手段は、前記反射部材を光軸上に挿脱する操作部材を備え、該操作部材の操作軸を前記反射光学系の眼幅調整軸と同軸に配したことを特徴とする請求項１記載の実体顕微鏡。
3. 前記挿脱手段は、操作部材の操作軸を前記反射光学系の眼幅調整時に操作位置に位置規制する規制機構を有することを特徴とする請求項１又は２記載の実体顕微鏡。

Images