JP2004286743A - ガス測定フィーラ - Google Patents
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Abstract
【課題】電気的なエレメントの確実なコンタクティングを伴ったセンサ素子のモジュール式の製造が獲得されるようにする。
【解決手段】層13〜18が、ハウジング11内で該ハウジング11の長手方向軸線に対して横方向に延びていて、互いに位置決めされた貫通孔33を有しており、エレメント19〜24のコンタクティングが、貫通孔33を通して行われているようにした。
【選択図】図1
【解決手段】層13〜18が、ハウジング11内で該ハウジング11の長手方向軸線に対して横方向に延びていて、互いに位置決めされた貫通孔33を有しており、エレメント19〜24のコンタクティングが、貫通孔33を通して行われているようにした。
【選択図】図1
Description
本発明は、測定ガスの物理的な特性、特に測定ガスの温度またはガス成分の濃度を測定するためのガス測定フィーラであって、ハウジング内に配置された、平らな層から形成されたセンサ素子が設けられており、該センサ素子が、層に配置された電気的にコンタクティングされたエレメントを有している形式のものに関する。
このような形式の公知のガス測定フィーラ(ドイツ連邦共和国特許出願公開第10151291号明細書参照)は、管状の金属製のハウジングを有している。このハウジング内には、プレーナ技術で製作された、方形の横断面を備えた縦長のセンサ素子が配置されている。このセンサ素子を製作するためには、焼結されていないセラミックス性のシート(グリーンシート)に電気的なエレメント、たとえば電極、抵抗ヒータと、別の機能層(たとえば絶縁層または多孔質のガス透過性の保護層)とが印刷され、シートが貼り合わされ、焼結される。センサ素子は、セラミックス性の層複合体の大面、すなわち層平面がハウジングの長手方向軸線に対して平行に方向付けられているようにガス測定フィーラのハウジング内に配置されている。
センサ素子は、測定ガスにさらされる測定ガス側の端部と、測定ガスと反対の側の接続側の端部とを有している。この接続側の端部には制御装置への接続部が形成されている。接続側の端部には、センサ素子の外面にコンタクト面が設けられている。このコンタクト面は、センサ素子の測定ガス側の端部における電気的なエレメントに、層複合体の内部に配置された、層平面で延びる導体路によって電気的に接続されている。コンタクト面は導体エレメントにクランプコンタクティングによって電気的にコンタクティングされている。このクランプコンタクティングを介して、センサ素子は、ガス測定フィーラの外部に位置する制御装置に電気的に接続されている。コンタクト面はセンサ素子の外面に設けられている。導体エレメントをコンタクト面に押圧するクランプ力はハウジングの長手方向軸線に対して垂直に作用する。
測定ガス側の区分をハウジングの接続側の区分に対してシールするためには、センサ素子がその長手方向延在長さに沿って中央でシールエレメントによって取り囲まれている。このシールエレメントは、2つのステアタイト層と、両ステアタイト層の間に位置する1つの窒化ホウ素層とを有している。シールエレメントはセラミックス性の2つの成形部材の間に配置されている。両成形部材はシールエレメントを圧縮し、このシールエレメントがガス密にセンサ素子とハウジングとに当て付けられるように変形させる。
すでに測定フィーラが提案されている(ドイツ連邦共和国特許出願公開第10240245号明細書参照)。この測定フィーラでは、センサ素子が同じくセラミックス性の層複合体として形成されている。しかし、この層複合体の層平面はハウジングの長手方向軸線に対して垂直に方向付けられている。ハウジング内のセンサ素子の測定ガス側のシールは、センサ素子の、測定ガスにさらされる端面に設けられたシールリングによって行われる。このシールリングを介して、センサ素子は、このセンサ素子の、測定ガスと反対の側の接続側の端面に作用する圧縮ばねによって、ハウジングに形成された環状肩部に向かって押圧される。接続側の端面にはコンタクト面が被着させられている。このコンタクト面はスルーホール接続によって、ネルンストセルの電極を形成する、層の間に配置された電気的なエレメントに電気的に接続されている。同じ圧縮ばねが圧着プレートに作用し、この圧着プレート内に導入されたコンタクト線材をコンタクト面に押圧する。コンタクト線材は金属シース線路の金属シース内に案内されている。この場合、コンタクト線材は金属シースに対して絶縁されている。金属シース線路は溶接結合によってハウジングに位置固定されているかまたはハウジングと一体に結合されている。
このような測定フィーラは、構造体積の小さなセンサ素子の利点を有している。このセンサ素子では、このセンサ素子のシールおよびコンタクティングのために必要となる力がハウジングの長手方向軸線の方向に作用し、したがって、理想的な形式でセンサ素子の高い圧力負荷耐性が使用される。測定フィーラはその小さな構造体積に基づき、普段は接近することができない箇所への組付けのために適していて、初めて直接燃焼室内に挿入することもできる。
ドイツ連邦共和国特許出願公開第10151291号明細書
ドイツ連邦共和国特許出願公開第10240245号明細書
本発明の課題は、冒頭で述べた形式のガス測定フィーラを改良して、電気的なエレメントの確実なコンタクティングを伴ったセンサ素子のモジュール式の製造が獲得されるようにすることである。
この課題を解決するために本発明の構成では、層が、ハウジング内で該ハウジングの長手方向軸線に対して横方向に延びていて、互いに位置決めされた貫通孔を有しており、エレメントのコンタクティングが、貫通孔を通して行われているようにした。
請求項1の特徴を備えた本発明によるガス測定フィーラは、センサ素子自体がコンタクティングシステムに含まれており、したがって、このコンタクティングシステムが変更される必要なしに、たとえばその都度抵抗ヒータを備えたまたは抵抗ヒータなしのジルコニアセンサまたは広域センサ、窒素酸化物測定センサまたは温度センサに使用するためのセンサ素子の種々異なる構造のモジュール式の製造が可能となるという利点を有している。センサ素子構造に応じて、それぞれ異なる数の貫通孔がスルーホール接続のために使用される。新たなコンタクティングコンセプトは、あらゆる種類の振動負荷に対する高い強度をセンサに付与している。センサ素子の種々異なる構造の実現の結果としてのセンサ素子の長さ増減はコンタクティングに影響を与えない。
従属請求項に記載した手段によって、請求項1に記載したセンサ素子の有利な構成および改良形が可能となる。
以下に、本発明を実施するための最良の形態を図面につき詳しく説明する。
測定ガスの物理的な特性を測定するための一般的なガス測定フィーラに対する実施例として、図1に部分的に縦断面図で概略的に示した、内燃機関の排ガス内の酸素濃度を測定するための広域酸素センサは円筒状のセンサ素子12を有している。このセンサ素子12は、測定ガス側に挿入された接続管片32を備えた中空円筒状のハウジング11内に配置されている。センサ素子12はその測定ガス側の一方の端面121で測定ガスもしくは内燃機関の排ガスにさらされているのに対して、センサ素子12の、排ガスと反対の側の接続側の端面122では、評価電子装置を備えた、酸素センサの外部に配置された制御装置へのセンサ素子12の電気的な接続が行われている。
センサ素子12は、いわゆる「プレーナ技術」で製作されている。このプレーナ技術によって、複数の平らな層が組み立てられて層複合体が形成される。この層複合体は、たとえば酸化アルミニウムもしくはアルミナ(Al2O3)から成る絶縁シリンダ44によって取り囲まれている。各層は、固体電解質、たとえば酸化ジルコニウムもしくはジルコニア(ZrO2)から成る焼結されていないセラミックス性のシート(グリーンシート)から成っている。これらのシートには電気的なエレメントまたは機能層が印刷されている。グリーンシートはシートバインダを介して貼り合わされ、シート積層体が焼結される。シートの大面、すなわち層平面はハウジング11内でこのハウジング11の長手方向軸線に対して直角に方向付けられている。図1に示した、広域酸素センサに用いられるセンサ素子12は全部で6つのシートまたは固体電解質層を有している。これらのシートまたは固体電解質層のうち、以下、上側の固体電解質層はヒータシート13と呼び、このヒータシート13の下側に位置する固体電解質層はその層状化の順番に等温シート14、基準孔シート15、ネルンストセルシート16、中空室シート17と呼び、一番下側の固体電解質層はポンピングセルシート18と呼ぶ。前述したシートは図2〜図7にそれぞれ下面図(図a)、断面図(図b)および平面図(図c)で示してある。ヒータシート13(図2参照)の下側のシート面には、絶縁体25内に埋め込まれたメアンダ状の抵抗路19が印刷されており、ヒータシート13の、センサ素子12の接続側の端面122を成す上側のシート面には、絶縁層(図示せず)を介在して複数のコンタクト面20が印刷されている。ネルンストセルシート16(図5参照)の上側のシート面には基準電極21が印刷されており、ネルンストセルシート16の、基準電極21と反対の側の下側のシート面には測定電極22が印刷されている。基準電極21と測定電極22とは公知の形式でネルンストセルを形成している。ポンピングセルシート18(図7参照)の上側のシート面には内側のポンピング電極23が印刷されており、ポンピングセルシート18の、センサ素子12の測定ガス側の端面121を形成する下側のシート面には外側のポンピング電極24が印刷されている。一般的にこの外側のポンピング電極24には、さらに、多孔質のアルミナ(Al2O3)から成る保護層が印刷されている。この保護層は、ここでは図面を見やすくするために省略されている。
抵抗路19、コンタクト面20、基準電極21、測定電極22、内側のポンピング電極23および外側のポンピング電極24によって形成された全ての電気的なエレメントは白金または白金サーメットから製作されている。抵抗路19と個々の電極とは個々のシートを通してコンタクト面20にコンタクティング(接触接続)されている。基準孔シート15(図4参照)には基準孔26が打ち抜かれている。この基準孔26内には基準電極21が位置している。中空室シート17(図6参照)には円形の中空室27が打ち抜かれている。この中空室27内には測定電極22と内側のポンピング電極23とが位置している。ポンピングセルシート18(図7参照)には中央に拡散通路28が打ち抜かれている。この拡散通路28は多孔質の拡散障壁29で満たされているので、排ガスが測定室または中空室27内に拡散により進入することができる。ヒータシート13(図2参照)および等温シート14(図3参照)には、基準ガス通路30のそれぞれ1つの区分が打ち抜かれている。この区分を介して、基準孔26は、センサ素子12の接続側の端面122における、基準ガスとして使用される空気に接続されている。さらに、ポンピングセルシート18(図7参照)の下側のシート面には、絶縁リング45の下側に敷設されたシールリング31(図1参照)が印刷されている。このシールリング31によって、ハウジング11内に挿入されたセンサ素子12は排ガスに対して、センサ素子12の、外側のポンピング電極24を支持する測定ガス側の端面121しか排ガスに接触しないようにシールされている。図1に認知することができるように、シールリング31は、ハウジング11内に押し込まれた、このハウジング11に固く結合された管片32に形成された、半径方向内向きに突出した環状ウェブ321に向かって押圧され、したがって、シール作用を獲得している。
電気的なエレメント19〜24のスルーホール接続(貫通接続)のためには、各シート13〜17(図2〜図6参照)に複数の貫通孔33が打ち抜かれている。この場合、各シート13〜17には同じ孔パターンが形成されている。本実施例では、各シート13〜17に8つの貫通孔33が設けられている。これらの貫通孔33は等間隔を置いて1つのピッチ円に位置している。個々のシート13〜17における全てのピッチ円の半径は同じ大きさに寸法設定されている。ポンピングセルシート18には、電極23,24の取付けの理由から、外側のポンピング電極24のコンタクティングのためのただ1つの貫通孔43しか設けられていない。シート中心からのこの貫通孔43の半径方向の間隔は、シート13〜17に設けられた貫通孔33のためのピッチ円の半径よりも少なくとも貫通孔33の直径の分だけ小さく寸法設定されている。このずれは、排ガスが外側のポンピング電極24のスルーホール接続部を介して内側のポンピング電極23に到達することができないようにするために必要となる。内側のポンピング電極23は貫通孔43の領域に切欠き47を有している。この切欠き47の領域では、ポンピングセルシート18にコンタクト面48が被着させられている。このコンタクト面48は貫通孔43を取り囲んでいて、載置した中空室シート17に設けられた貫通孔33への導電的な接続部を形成している。貫通孔33の動径ベクトルは貫通孔43の動径ベクトルに整合している。全ての貫通孔33,43は同じ孔直径を有している。シート13〜18は、シート13〜17に設けられた貫通孔33の全ての動径ベクトルひいては貫通孔33自体が互いに整合しており、かつポンピングセルシート18に設けられた貫通孔43の動径ベクトルが、軸方向で重なり合って位置する列の貫通孔33の動径ベクトルに整合しているように位置決めされて積み重ねられている。全ての貫通孔33,43は肉薄の孔壁絶縁体34によってライニングされている(図9参照)。
抵抗路19と、一方で個々の電極21〜24と、他方でコンタクト面20との間のスルーホール接続部は導電性の孔壁ライニング46によって形成されている。この孔壁ライニング46は、軸方向で整合する相応の貫通孔33の孔壁絶縁体34に白金または白金サーメットの一貫した吸引または一貫した加圧によって被着させられる(図9参照)。この場合、電気的な各エレメント19,21〜24に対して、周方向でずらされて配置されたコンタクト面20の1つに対するコンタクティングが、シート13〜17に設けられた互いに整合する一連の貫通孔33によって形成されている。半径方向のより大きな延在長さを備えて形成された縦長のコンタクト面20は、ヒータシート13に設けられたそれぞれ1つの貫通孔33を取り囲むようにヒータシート13に配置されている。
すでに上述したように、コンタクト面20を介して、センサ素子12は、評価電子装置を備えた制御装置に電気的に接続される。このためには、アルミナ(Al2O3)から成る接続プレート35が設けられている。この接続プレート35はセンサ素子12の接続側の端面122に載着される。図8に下面図(図a)、断面図(図b)および平面図(図c)で示した接続プレート35はシート13〜18と同じ直径を有していて、中央の孔36を有している。この孔36はセンサ素子12の基準ガス通路30に軸方向で整合している。接続プレート35は二倍の数、ここでは全部で16個の貫通孔37を有している。これらの貫通孔37のうち、それぞれ半分、ここでは8つが、互いに異なる半径を備えた2つのピッチ円の一方に等間隔で配置されている。この場合、一方のピッチ円における各貫通孔37は他方のピッチ円における1つの貫通孔37と共に共通の動径ベクトルにある。ピッチ円の半径は、センサ素子12への接続プレート35の載着時に、所定の動径ベクトルにあるそれぞれ2つの貫通孔37が、ヒータシート13に設けられたコンタクト面20の1つに接触するように選択されている。センサ素子12に対する接続プレート35の位置決めを周方向でも確保するためには、接続プレート35の、センサ素子12に面した側の下面に、軸方向に突出したキー38(図8参照)が形成されている。このキー38は、ヒータシート13に設けられた溝39(図2参照)に形状接続的に、つまり、嵌合に基づく係合により挿入可能である。接続プレート35の、所定の動径ベクトルにある2つの貫通孔37を通してコンタクト線材40が引き通されている。この場合、図1に見ることができるように、このコンタクト線材40は、外側のピッチ円における貫通孔37を通して導入されていて、接続プレート35の下面に向かって折り曲げられていて、コンタクト線材40の自由端部で内側のピッチ円における別の貫通孔37を通って再び導出されている。この場合、コンタクト線材40の、接続プレート35の下面で延びる区分は接続プレート35に平らに接触している。センサ素子12内で電気的なエレメント19,21〜24にコンタクティングされるコンタクト面20の数および空間的な配置形式に相応して、相応に多くのコンタクト線材40が、前述した形式で、接続プレート35に設けられた、半径方向で整合するそれぞれ2つの貫通孔37を通して案内され、接続プレート35に位置固定される。この接続プレート35はハウジング11内に組み込まれているので、このハウジング11内へのセンサ素子12の押込みと同時に、接続プレート35に設けられたキー38に対する、ヒータシート13に設けられた溝29の軸方向の位置決め時に、スルーホール接続されたコンタクト面20が、対応したコンタクト線材40に自動的に当て付けられる。
図1に示したように、接続プレート35は圧縮ばね41を介して、ハウジング11に形成された環状肩部42に軸方向で支持される。センサ素子12の押込み後には、環状ウェブ321を有する管片32が押し込まれ、これによって、圧縮ばね41が軸方向の押圧力を接続プレート35にかつ接続プレート35とセンサ素子12とを介してシールリング31に加えるので、一方ではコンタクト線材40がコンタクト面20に向かって押圧され、他方ではシールリング31が、管片32に設けられた環状ウェブ321に向かって押圧される。管片32はこの位置でハウジング11に溶接される。これによって、同時に確実なコンタクティングとセンサ素子12のシールとが達成されている。
穿孔されたシートから成るセンサ素子12の構造は、有利には、センサ素子12のモジュール式の構造を許容しているので、種々異なる形式のセンサ素子を同様に製作することができる。この場合、各センサ素子の軸方向の構造長さしか変化させられない。広域酸素センサに用いられる前述したセンサ素子12の代わりに、空気過剰率=1センサ(ジルコニアセンサとも呼ばれる)に用いられるセンサ素子を構想したい場合には、内側のポンピング電極23と外側のポンピング電極24とを備えたポンピングセルシート18と、中空室シート17とが省略される。測定電極22が排ガスに直接さらされている。相応して、ヒータシート13に設けられたコンタクト面20のほとんどがスルーホール接続されず、相応して、コンタクト線材40が接続プレート35内にほとんど挿入されない。空気過剰率=1センサを抵抗ヒータなしに形成したい場合には、ヒータシート13が省略され、等温シート14にコンタクト面20が、前述した形式で印刷される。
図10には、温度センサとして構想された測定フィーラが縦断面図で部分的に示してある。この測定フィーラのセンサ素子50は排ガス温度を測定するために働く。センサ素子50は、それぞれ固体電解質から成る第1のシート51と第2のシート52とを有している。この第1のシート51と第2のシート52との間には第1の絶縁層53が設けられている。この第1の絶縁層53はメアンダ状の抵抗層55を完全に取り囲んでいるので、この抵抗層55は両シート51,52に対して絶縁されている。第1のシート51は第2の絶縁層54によって完全にカバーされている。第2の絶縁層54の、センサ素子50の接続側の端面502を形成する外面には、全周にわたって等間隔で配置された、半径方向に延びるコンタクト面56が設けられているので、第1のシート51に被着させられた第2の絶縁層54の上面は、図2に示したヒータシート13の上面と同じ外観像を有している。コンタクト面56の2つは抵抗層55に、絶縁層54と、シート51と、絶縁層53とを通って一貫して延びるスルーホール接続部を介して導電的に接続されている。このためには、各絶縁層53,54とシート51とが同じく貫通孔33を備えている。この場合、絶縁層53,54とシート51とは、図1によるセンサ素子12において図2および図3に示した孔パターンと同じ孔パターンを有している。ここでも、白金または白金サーメットから成る孔壁ライニングによるスルーホール接続が形成される。このスルーホール接続は、絶縁層53,54およびシート51の、互いに位置決めされて整合する貫通孔33に行われている。接続側では、すでに図1に示した測定フィーラに対して説明したように、センサ素子50に同じ接続プレート35が載着されている。この接続プレート35は2つのコンタクト線材40で圧縮ばね41によってコンタクト面56に押圧される。ばね圧は、同時に、管片32に形成された環状ウェブ321へのシールリング31の圧着のために働く。このシールリング31は、第2のシート52の、センサ素子50の測定ガス側の端面501を形成する下側の外面に、絶縁リング45を介在して配置されている。
抵抗層55を補償調整するためには、第1の絶縁層54と第1のシート51とに、互いに整合する開口が設けられている。この開口は、補償調整が行われた後、いわゆる「調整孔閉鎖体57」によって閉鎖される。
本発明は、図示の実施例に限定されるものではない。したがって、センサ素子12,50の高温使用時には、コンタクト面と電気的なエレメントとの間のスルーホール接続の形成のために、層複合体において軸方向で整合する貫通孔33内に白金線材を焼結により埋め込むことができる。このような事例では、コンタクト線材40を備えた接続プレート35が省略されてもよく、焼結により埋め込まれた白金線材の突出長さがコンタクト線材として使用されてもよい。この場合、圧縮ばね41はセンサ素子12;50の接続側の端面122;502に直接支持されることが望ましい。
11 ハウジング、 12 センサ素子、 13 ヒータシート、 14 等温シート、 15 基準孔シート、 16 ネルンストセルシート、 17 中空室シート、 18 ポンピングセルシート、 19 抵抗路、 20 コンタクト面、 21 基準電極、 22 測定電極、 23 ポンピング電極、 24 ポンピング電極、 25 絶縁体、 26 基準孔、 27 中空室、 28 拡散通路、 29 拡散障壁、 30 基準ガス通路、 31 シールリング、 32 接続管片、 33 貫通孔、 34 孔壁絶縁体、 35 接続プレート、 36 孔、 37 貫通孔、 38 キー、 39 溝、 40 コンタクト線材、 41 圧縮ばね、 42 環状肩部、 43 貫通孔、 44 絶縁シリンダ、 45 絶縁リング、 46 孔壁ライニング、 47 切欠き、 48 コンタクト面、 50 センサ素子、 51 シート、 52 シート、 53 絶縁層、 54 絶縁層、 55 抵抗層、 56 コンタクト面、 57 調整孔閉鎖体、 121 端面、 122 端面、 321 環状ウェブ、 501 端面、 502 端面
Claims (12)
- 測定ガスの物理的な特性、特に測定ガスの温度またはガス成分の濃度を測定するためのガス測定フィーラであって、ハウジング(11)内に配置された、平らな層(13〜18;51〜54)から形成されたセンサ素子(12;50)が設けられており、該センサ素子(12;50)が、層(13,16,18;53,54)に配置された電気的にコンタクティングされたエレメント(19〜24;55,56)を有している形式のものにおいて、層(13〜18;51〜54)が、ハウジング(11)内で該ハウジング(11)の長手方向軸線に対して横方向に延びていて、互いに位置決めされた貫通孔(33,43)を有しており、エレメント(19〜24;55,56)のコンタクティングが、貫通孔(33;43)を通して行われていることを特徴とする、測定ガスの物理的な特性を測定するためのガス測定フィーラ。
- 層(13〜18;51〜54)に設けられた貫通孔(33)が、ピッチ円に配置されており、個々の層(13〜18;51〜54)に設けられた貫通孔(33,43)の動径ベクトルが互いに整合している、請求項1記載のガス測定フィーラ。
- 層(13〜17;51〜54)の少なくとも一部で貫通孔(33)の孔パターンが同じである、請求項1または2記載のガス測定フィーラ。
- センサ素子(12;50)が、下側の端面(121,501)で測定ガスにさらされており、エレメント(19,21〜24;55)と白金線材とのコンタクティングが行われており、該白金線材が、センサ素子(12;50)の、測定ガスと反対の側の端面(122;502)で、軸方向で互いに整合した選び出された貫通孔(33)内に導入されていて、該貫通孔(33)内で白金ペーストによって封止されていて、次いで、焼結により埋め込まれている、請求項1から3までのいずれか1項記載のガス測定フィーラ。
- センサ素子(12;50)が、下側の端面(121;501)で測定ガスにさらされていて、センサ素子(12;50)の、測定ガスと反対の側の上側の端面(122;502)に、各層(13〜17;51〜53)に設けられた貫通孔(33)の数に相当する数のコンタクト面(20;56)を支持しており、該コンタクト面(20;56)が、それぞれ1つの貫通孔(33)を取り囲んでいる、請求項1から3までのいずれか1項記載のガス測定フィーラ。
- 一方で選び出されたエレメント(19,21〜24;55)と、他方で選び出されたコンタクト面(20;56)との間のコンタクティングが、軸方向で互いに整合した対応した貫通孔(33)を通して形成された、孔壁絶縁体(34)をカバーする、有利には白金から成る孔壁ライニング(46)によって生ぜしめられている、請求項5記載のガス測定フィーラ。
- センサ素子(12;50)の、コンタクト面(20;56)を支持する端面(122,502)に、コンタクト面(20;56)をコンタクティングするコンタクト線材(40)を貫通案内するための貫通孔(37)を備えた接続プレート(35)が載着されている、請求項5または6記載のガス測定フィーラ。
- 接続プレート(35)に設けられた貫通孔(37)が、外側のピッチ円と内側のピッチ円とに等間隔で配置されており、これによって、半径方向で位置決めされたそれぞれ2つの貫通孔(37)が、センサ素子(12;50)のコンタクト面(20;56)によってカバーされるようになっている、請求項7記載のガス測定フィーラ。
- コンタクト面(20;56)を覆うためのコンタクト線材(40)が、一方の孔円における1つの貫通孔(37)内に導入されていて、接続プレート(35)の、コンタクト面(20;56)に面した側の下面に沿って案内されていて、導入貫通孔(37)に対して半径方向で位置決めされた、他方のピッチ円における貫通孔(37)から再び導出されている、請求項8記載のガス測定フィーラ。
- 層(13〜18;51,52)が、固体電解質、有利にはジルコニア(ZrO2)から成っている、請求項1から9までのいずれか1項記載のガス測定フィーラ。
- 接続プレート(35)が、アルミナ(Al2O3)またはジルコニア(ZrO2)から成っている、請求項7から10までのいずれか1項記載のガス測定フィーラ。
- 層(13〜18;51,52)に設けられたエレメントが、ネルンストセルの電極(21,22)および/またはポンピングセルの電極(23,24)および/または抵抗ヒータの抵抗路(19)または温度依存性の抵抗層(55)であり、有利には白金または白金サーメットから成っている、請求項1から11までのいずれか1項記載のガス測定フィーラ。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2003112106 DE10312106B4 (de) | 2003-03-19 | 2003-03-19 | Gasmessfühler |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004286743A true JP2004286743A (ja) | 2004-10-14 |
Family
ID=32945975
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004073273A Pending JP2004286743A (ja) | 2003-03-19 | 2004-03-15 | ガス測定フィーラ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004286743A (ja) |
DE (1) | DE10312106B4 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102004053460A1 (de) | 2004-11-05 | 2006-05-11 | Emitec Gesellschaft Für Emissionstechnologie Mbh | Schutzelement für einen Messfühler, sowie entsprechender Messfühler und Wabenkörper |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4242659A (en) * | 1979-10-15 | 1980-12-30 | Leeds & Northrup Company | Thin film resistance thermometer detector probe assembly |
JPH0833327B2 (ja) * | 1990-06-11 | 1996-03-29 | 株式会社村田製作所 | 温度センサ |
DE19941051C2 (de) * | 1999-08-28 | 2003-10-23 | Bosch Gmbh Robert | Sensorelement zur Bestimmung der Sauerstoffkonzentration in Gasgemischen und Verfahren zur Herstellung desselben |
DE10151291B4 (de) * | 2000-11-14 | 2006-08-17 | Robert Bosch Gmbh | Gassensor |
DE10240245B4 (de) * | 2002-08-31 | 2006-08-31 | Robert Bosch Gmbh | Gasmessfühler |
-
2003
- 2003-03-19 DE DE2003112106 patent/DE10312106B4/de not_active Expired - Fee Related
-
2004
- 2004-03-15 JP JP2004073273A patent/JP2004286743A/ja active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE10312106A1 (de) | 2004-10-07 |
DE10312106B4 (de) | 2005-04-21 |
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